CN104973420A - 基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法，所述基板搬运机器人驱动装置包括：搬运驱动部、升降驱动部、旋转驱动部、移动驱动部、蛇行补偿导出部、控制部，其中，所述控制部在第一蛇行方向上将蛇行补偿值分配到升降驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个，在第二蛇行方向上将蛇行补偿值分配到旋转驱动部、搬运驱动部以及移动驱动部中的至少一个。

Description

基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法

技术领域

本发明涉及在电子部件的制造过程中用于搬运基板的基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法。

背景技术

显示装置、太阳能电池、半导体元件等(以下称“电子部件”)经过各种工序制造。这些制造工序中使用用于制造电子部件的基板(Substrate)。例如，所述制造工序可包括在基板上沉积导体、半导体、电介质等薄膜的沉积工序以及使沉积后的薄膜形成为规定图案的蚀刻工序等。这些制造工序是在进行相关工序的工艺腔室内完成。而基板搬运机器人用于在所述工艺腔室之间搬运基板。

图1是现有技术中的基板搬运机器人的概略方框图。

参照图1，现有技术中的基板搬运机器人1包括：搬运臂10，支撑基板；升降部20，升降所述搬运臂10；以及旋转部30，用来旋转所述搬运臂10。

所述搬运臂10在支撑所述基板的状态下沿着水平方向移动，以此搬运所述基板。所述搬运臂10包括：臂底座11，设置在所述升降部20上；第一臂机构12，结合于所述臂底座11；第二臂机构13，结合于所述第一臂机构12；以及支撑机械手14，结合于所述第二臂机构13。

所述臂底座11支撑所述第一臂机构12，以支撑所述第二臂机构13以及支撑在所述支撑机械手14上的基板。

所述第一臂机构12可旋转地结合于所述臂底座11。所述第一臂机构12以结合于所述臂底座11的部位为旋转轴而旋转。

所述第二臂机构13可旋转地结合于所述第一臂机构12。所述第二臂机构13以结合于所述第一臂机构12的部位为旋转轴而旋转。

所述支撑机械手14支撑所述基板的底面。所述支撑机械手14可旋转地结合于所述第二臂机构13。所述支撑机械手14以结合于所述第二臂机构13的部位为旋转轴而旋转。

虽然未图示，所述臂底座11上设有动力源(未图示)，用来移动所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑机械手14。所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑机械手14上分别设有滑轮(未图示)。所述动力源通过传动带(未图示)与所述滑轮相连接。由此，当所述动力源以旋转轴为中心旋转所述第一臂机构12时，通过这种联动作用，所述第二臂机构13和所述支撑机械手14分别以各自的旋转轴为中心旋转。由此，现有技术中的基板搬运机器人1以使所述第一臂机构12以及所述第二臂机构13彼此重叠或者展开的方式移动所述第一臂机构12以及所述第二臂机构13，从而能够移动所述支撑机械手14，并由此进行在所述工艺腔室之间搬运所述基板的工序。

所述升降部20沿着上下方向移动所述支撑机械手14。所述升降部20通过升降所述臂底座11来升降所述支撑机械手14。

所述旋转部30旋转所述升降部20。所述旋转部20通过旋转所述升降部20来旋转支撑在所述支撑机械手14上的所述基板。

在此，现有技术中的基板搬运机器人1通过调节所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑机械手14的旋转方向以及旋转程度，以使所述支撑机械手14能够沿着直线轨迹移动。然而，由于所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑机械手14各自发生的变形、所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑机械手14各自旋转的速度以及旋转时产生的反作用力、传动带的刚性等各种原因，所述支撑机械手14无法沿着所述直线轨迹移动，而是进行蛇行(meandering)。

因此，现有技术中的基板搬运机器人1存在如下问题。

第一，在现有技术中的基板搬运机器人1中，所述支撑机械手14无法沿着所述直线轨迹移动，而是蛇行，所以存在所述支撑机械手14有可能被所述工艺腔室、存储盒等构件撞击的危险。因此，现有技术中的基板搬运机器人1存在由于所述支撑机械手14以及所述基板损坏或破损而导致工艺费用上升的问题。

第二，对于现有技术中的基板搬运机器人1，曾提出过如下方案：通过降低所述第一臂机构12、所述第二臂机构13以及所述支撑机械手14旋转的速度以减少所述支撑机械手14脱离所述直线轨迹蛇行的程度。然而，根据这种方案，在现有技术中的基板搬运机器人1中由于基板搬运机器人1搬运所述基板所需的时间增加，降低了所述电子部件的生产率及合格率。

发明内容

本发明为了解决如上所述的问题而提出，目的在于提供能够减少支撑机械手脱离直线轨迹蛇行的程度的基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法。

此外，本发明的目的在于提供能够缩短为了制造电子部件而搬运基板所需时间的基板搬运机器人驱动装置以及利用该装置的基板搬运方法。

为了实现如上所述的目的，本发明可包括如下的结构。

本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置可包括：搬运驱动部，搬运用于支撑基板的支撑机械手；升降驱动部，用于驱动升降臂，所述升降臂沿着竖直方向升降所述支撑机械手以改变所述支撑机械手所处的高度；旋转驱动部，用于驱动旋转部，所述旋转部旋转所述升降臂以改变所述支撑机械手的方向；移动驱动部，用于驱动移动部，所述移动部沿着移动方向移动所述旋转部；蛇行补偿导出部，根据所设定的目标位置导出蛇行补偿值；以及控制部，将由所述蛇行补偿导出部导出的蛇行补偿值分配为平行于竖直方向的第一蛇行方向以及垂直于所述第一蛇行方向的第二蛇行方向，从而根据所设定的目标位置来生成相对于所述搬运驱动部、所述升降驱动部、所述旋转驱动部以及所述行进驱动部的驱动角度。所述控制部可在所述第一蛇行方向上将蛇行补偿值分配到所述升降驱动部、所述搬运驱动部以及所述移动驱动部中的至少一个，在所述第二蛇行方向上将蛇行补偿值分配到所述旋转驱动部、所述搬运驱动部以及所述移动驱动部中的至少一个。

本发明涉及的基板搬运方法可包括以下步骤：设定相对于基板搬运机器人的各驱动部的目标位置；根据所设定的目标位置导出蛇行补偿值；对基于所设定的目标位置确定的目标角度以及所导出的蛇行补偿值进行运算，以导出驱动角度；判断所述目标角度与所述驱动角度之间的差值是否超过预设的基准范围；以及若所述目标角度与所述驱动角度之间的差值超过预设的基准范围，则使所述基板搬运机器人停止动作。

根据本发明，具有如下效果。

本发明通过减少所述支撑机械手脱离直线轨迹蛇行的程度，从而可防止由于支撑机械手或者支撑在支撑机械手上的基板损坏或破损而导致的工艺费用的上升，从而有助于减少使用基板来制造电子部件所需的工艺费用以及电子部件的制造单价。

本发明能够减少支撑机械手在搬运基板的过程中蛇行的程度，同时还增加支撑机械手移动的速度，由此缩短搬运基板所需的时间，从而可提高电子部件的生产率及合格率。

附图说明

图1是现有技术中的基板搬运机器人的概略方框图。

图2是本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置的概略方框图。

图3是示出了设有本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置的基板搬运机器人的立体图。

图4是对本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置以及基板搬运机器人进行建模的机器人模型的示意图。

图5是用来说明本发明涉及的基板搬运方法的工艺流程图。

附图标记

100：基板搬运机器人驱动装置

110：搬运驱动部

120：升降驱动部

130：旋转驱动部

140：移动驱动部

200：基板搬运机器人

210：搬运臂

220：升降臂

230：旋转部

240：移动部

具体实施方式

以下参照附图对本发明涉及的基板搬运机器人的优选实施例进行详细说明。

图2是本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置的概略方框图。

参照图2，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100可以包括：搬运驱动部110，用于搬运支撑机械手214；升降驱动部120，用于驱动升降臂220，所述驱动升降臂220用于沿着竖直方向升降所述支撑机械手214；旋转驱动部130，用于驱动旋转部230，所述旋转部230用于旋转所述升降臂220旋转部；移动驱动部140，用于驱动移动部240，所述移动部240用于移动所述旋转部230；蛇行补偿导出部150，用于导出蛇行补偿值；以及控制部160，用于生成相对于所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140的驱动角度。

在进行说明之前，先对设有本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置的基板搬运机器人进行说明。

图3是示出了设有本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置的基板搬运机器人的立体图。

参照图3，所述基板搬运机器人200包括：搬运臂210，用于移动基板S；升降臂220，升降所述搬运臂210以改变所述搬运臂210所处的高度；旋转部230，旋转所述升降臂220以改变所述搬运臂210的方向；以及移动部240，用于移动所述旋转部230。

所述搬运臂210移动所述基板S。所述搬运臂210可旋转地结合于所述升降臂220。所述搬运臂10包括：臂底座211，结合于所述升降臂220；第一臂单元212，可旋转地结合于所述臂底座211；第二臂单元213，可旋转地结合于所述第一臂单元212；以及支撑机械手214，支撑所述基板S。

所述升降臂220沿着竖直方向升降所述搬运臂210以改变所述搬运臂210所处的高度。通过由所述升降臂220来升降所述搬运臂210，从而能够使支撑在所述支撑机械手214上的所述基板S上下移动。所述升降臂220可结合于所述旋转部230。

所述旋转部230旋转所述升降臂220以改变所述搬运臂210的方向。随着所述旋转部230以旋转轴为中心旋转，所述搬运臂210及所述升降臂220能够一同旋转。

所述移动部240沿着移动方向移动所述搬运臂210以搬运所述基板S。通过由所述移动部240来移动所述旋转部230，从而能够使所述搬运臂210以及所述升降臂220沿着移动方向移动。

在此，所述搬运臂210在移动所述基板S的过程中有可能并不沿着直线轨迹移动，而是向着左右及上下方向蛇行。在这种情况下，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100向第一蛇行方向以及垂直于所述第一蛇行方向的第二蛇行方向分配由蛇行补偿导出部150导出的蛇行补偿值，以根据所述设定的目标位置来生成相对于所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140的驱动角度。

由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100可实现如下效果。

第一，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100减少所述支撑机械手214脱离所述直线轨迹蛇行的程度，从而能够防止所述支撑机械手214或者所述基板S被所述构件撞击。由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100可防止由于所述支撑机械手214以及所述基板S损坏或破损而导致的工艺费用的上升。

第二，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100与现有技术相比，无需降低旋转所述第一臂单元212、所述第二臂单元213以及所述支撑机械手214的速度也能使所述支撑机械手214位于设定的目标位置。由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100缩短搬运所述基板S所需的时间，从而可提高所述电子部件的生产率及合格率。

以下，参照附图对所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130、所述移动驱动部140、所述蛇行补偿导出部150以及所述控制部160进行详细说明。

参照图2及图3，所述搬运驱动部110旋转所述第一臂单元212、所述第二臂单元213以及所述支撑机械手214中的至少一个。由此，所述搬运驱动部110能够使所述搬运臂210进行将所述基板S搬入所述工艺腔室或所述存储盒的搬入工序、以及将所述基板S搬出所述工艺腔室或所述存储盒的搬出工序。所述搬运驱动部110可设置在所述搬运臂210上。

所述升降驱动部120提供使所述升降臂220沿着竖直方向移动的驱动力。在这种情况下，所述升降驱动部120能够驱动所述升降臂220，使得所述升降臂220能够改变所述支撑机械手214所处的高度。所述升降驱动部120可设置在所述升降臂220上。

所述旋转驱动部130提供使所述旋转部230旋转的驱动力。所述旋转驱动部130通过旋转所述旋转部230，从而能够使所述升降臂220及所述搬运臂210以所述旋转部230的旋转轴为基准沿着相同的方向旋转。所述旋转驱动部130可设置在所述旋转部230上。

所述移动驱动部140提供使所述移动部240沿着移动方向移动的驱动力。所述移动驱动部140通过移动所述移动部240，从而能够使所述旋转部230、所述升降臂220以及所述搬运臂210沿着所述移动部240的移动方向移动。所述移动驱动部140可设置在所述移动部240上。

所述蛇行补偿导出部150根据所设定的目标位置导出蛇行补偿值。所述蛇行补偿导出部150可将导出的蛇行补偿值提供到所述控制部160。其中，所设定的目标位置可以是所述基板S需要借助所述支撑机械手214而被搬运的位置。此外，所述蛇行补偿值可以是用来补偿所设定的目标位置与所述支撑机械手214在搬运所述基板S的过程中进行蛇行而改变的位置之间的差距的值。

所述控制部160根据所设定的目标位置来生成相对于所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140的驱动角度。更为仔细地说，所述控制部160可以向所述第一蛇行方向以及所述第二蛇行方向分配由所述蛇行补偿导出部150导出的蛇行补偿值，以根据所设定的目标位置来分别生成相对于所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140的驱动角度。例如，所述控制部160可在所述第一蛇行方向上将所导出的蛇行补偿值分配到所述升降驱动部120、所述搬运驱动部110以及所述移动驱动部140中的至少一个，而在所述第二蛇行方向上将所导出的蛇行补偿值分配到所述搬运驱动部110、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140中的至少一个。

在这种情况下，所述升降驱动部120可根据通过所述控制部160分配而得的蛇行补偿值来使所述支撑机械手214向着与所述第一蛇行方向的相反的方向移动，从而能够补偿由于所述支撑机械手214蛇行而出现的目标位置与驱动角度之间的差值。此时，在向所述第一蛇行方向蛇行的过程中，所述支撑机械手214也有可能向着所述第二蛇行方向移动。在这种情况下，所述控制部160可以通过所述升降驱动部120来补偿目标位置与驱动角度之间的差值的同时，还可以通过所述搬运驱动部110以及所述移动驱动部140来补偿所述第二蛇行方向上的目标位置与驱动角度之间的差值。

此外，所述搬运驱动部110、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140可根据通过所述控制部160分配而得的蛇行补偿值来使所述支撑机械手214向着与所述第二蛇行方向相反的方向移动，从而能够补偿由于所述支撑机械手214蛇行而出现的目标位置与驱动角度之间的差值。如上所述，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100通过所述控制部160来分配驱动角度，从而能够减少支撑机械手214脱离所述直线轨迹蛇行的程度。由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100可防止所述支撑机械手214或者所述基板S被所述构件撞击，因此能够防止由于所述支撑机械手214以及所述基板S损坏或破损而导致的工艺费用的上升。由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100与现有技术相比，能够减少使用所述基板S来制造电子部件所需的工艺费用，从而有助于降低所述电子部件的制造单价。

此外，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100也可以通过所述控制部160来分配驱动角度，以控制所述搬运臂210、所述升降臂220、所述旋转部230以及所述移动部240，从而补偿目标位置与驱动角度之间的差值。由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100与现有技术相比，无需降低旋转所述第一臂单元212、所述第二臂单元213以及所述支撑机械手214的速度也能使所述支撑机械手214位于所设定的目标位置。因此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100能够缩短搬运所述基板S所需的时间，从而能够提高所述电子部件的生产率及合格率。

图4是示出了对本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置以及基板搬运机器人进行建模的机器人模型。

机器人模型300对所述搬运臂210、所述升降臂220、所述旋转部230以及所述移动部240、所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140进行建模的模型，其如图4所示。

在此，所述控制部160利用所述机器人模型300来生成所述驱动角度。在本发明中所考虑的所述机器人模型300如下数学式1。在下式中，M表示连杆惯性矩阵，C是科里奥利力，G是重力，K是刚性矩阵，J_m是电机惯性矩阵，θ_m是驱动角度，θ_L是目标角度，是角速度，是角加速度，τ_m是电机转矩。在此，K可以是根据上述的基板搬运机器人200的高度或者姿势而变化的值。

【数学式1】

$M{\stackrel{\·\·}{\mathrm{\θ}}}_L+C({\mathrm{\θ}}_L\·{\stackrel{\·}{\mathrm{\θ}}}_L)+G\left({\mathrm{\θ}}_L\right)=K({\mathrm{\θ}}_m-{\mathrm{\θ}}_L)$

J_mθ_m+K(θ_m-θ_L)＝τ_m

所述控制部160可包括：运算部161，运算驱动角度与所设定的目标位置之间的差值；以及判断部162，判断差值是否超过预设的基准范围。

所述运算部161运算所设定的目标位置与所述驱动角度之间的差值。在这种情况下，所述运算部161可以使由所述蛇行补偿导出部150运算的蛇行补偿值根据运算出的差值而变化。

所述判断部162判断修正后的驱动角度与所设定的目标位置之间的差值是否超过基准范围。例如，如果差值在基准范围以内，则所述判断部162使所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140驱动，以驱动所述基板搬运机器人200。此外，如果差值超过基准范围，则所述判断部162使所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140停止，以停止所述基板搬运机器人200。

由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100能够根据由所述运算部161运算出的差值是否超过基准范围来控制所述基板搬运机器人200的动作，从而能够减少目标位置与驱动角度之间的差距。由此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100可进一步减少由于发生运算错误而引起目标位置与驱动角度之间的差距超过基准范围而导致所述支撑机械手214以及所述基板S被所述构件的撞击。因此，本发明涉及的基板搬运机器人驱动装置100能够防止所述支撑机械手214以及所述基板S破损的现象，从而缩短使用所述基板S来制造电子部件所需的工艺费用，进而能够更加有助于降低所述电子部件的制造单价。

以下参照附图对本发明涉及的基板搬运方法的优选实施例进行详细说明。

图5是用来说明本发明涉及的基板搬运方法的工艺流程图。

参照图5，本发明涉及的基板搬运方法S100可包括：设定目标位置的工序S110；导出蛇行补偿值的工序S120；导出驱动角度的工序S130；判断差值是否超过预设的基准范围的工序S140；以及停止所述基板搬运机器人200的工序S150。

设定所述目标位置的工序S110可通过设定所述支撑机械手214需要被移动到的目标位置而实现。设定所述目标位置的工序S110可通过如下方式实现：由所述基板搬运机器人200以及基板搬运机器人驱动装置100向构成为与所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140相同的机器人模型300(图4中示出)输入设定值。

根据所述设定的目标位置导出蛇行补偿值的工序S120可通过如下方式实现：在对所述机器人模型300输入目标位置时所述支撑机械手214蛇行而导致脱离目标位置，因而可以利用所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140来导出用于补偿所述支撑机械手214位置的蛇行补偿值。

导出所述驱动角度的工序S130通过运算基于所设定的目标位置确定的目标角度以及所导出的蛇行补偿值，以导出驱动角度。导出所述驱动角度的工序S130为了使由于蛇行而脱离目标位置的所述支撑机械手214移动到目标位置，能够导出所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140的动作值。导出所述驱动角度的工序S130可通过利用所述机器人模型300来向所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140分配驱动角度而实现。

由此，本发明涉及的基板搬运方法S100通过分配驱动角度，以控制所述搬运臂210、所述升降臂220、所述旋转部230以及所述移动部240，从而能够补偿目标位置与驱动角度之间的差值。因此，本发明涉及的基板搬运方法S100与现有技术相比，无需降低旋转所述第一臂单元212、所述第二臂单元213以及所述支撑机械手214的速度也能使所述支撑机械手214位于所设定的目标位置。由此，本发明涉及的基板搬运方法S100缩短搬运所述基板S所需的时间，从而能够提高所述电子部件的生产率及合格率。

判断所述差值是否超过基准范围的工序S140可通过如下方式实现：通过运算目标角度以及驱动角度，以判断目标角度与驱动角度之间的差值是否超过基准范围。判断所述差值是否超过基准范围的工序S140可以由上述的基板搬运方法S100的所述运算部161以及所述判断部162来进行。

停止所述基板搬运机器人200的工序S150可通过如下方式实现：如果所述目标角度与所述驱动角度之间的差值超过基准范围，则为了停止所述基板搬运机器人200而使所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140停止工作。

由此，本发明涉及的基板搬运方法S100，如果目标角度与驱动角度之间的差值超过基准范围，则停止所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140的工作，从而能够防止所述支撑机械手214因差值而被所述构件撞击从而导致所述支撑机械手214以及所述基板S破损的现象。由此，本发明涉及的基板搬运方法S100能够防止所述支撑机械手214以及所述基板S的破损，因此减少使用所述基板S来制造电子部件所需的工艺费用，从而能够更加有助于降低所述电子部件的制造单价。

此外，本发明涉及的基板搬运方法S100还可以包括驱动所述基板搬运机器人200的工序S160。

驱动所述基板搬运机器人200的工序S160可通过如下方式实现：如果目标角度与驱动角度之间的差值在基准范围以内，就使所述搬运驱动部110、所述升降驱动部120、所述旋转驱动部130以及所述移动驱动部140驱动，以便搬运支撑在所述支撑机械手214上的所述基板S。

本发明所属领域的技术人员可以清楚理解，以上说明的本发明并非限定于上述的实施例及附图，在不脱离本发明的技术思想的范围内能够进行多种替换、变形以及变更。

Claims (4)

1.一种基板搬运机器人驱动装置，其特征在于，包括：

搬运驱动部，搬运用于支撑基板的支撑机械手；

升降驱动部，用于驱动升降臂，所述升降臂沿着竖直方向升降所述支撑机械手以改变所述支撑机械手所处的高度；

旋转驱动部，用于驱动旋转部，所述旋转部旋转所述升降臂以改变所述支撑机械手的方向；

移动驱动部，用于驱动移动部，所述移动部沿着移动方向移动所述旋转部；

蛇行补偿导出部，根据所设定的目标位置导出蛇行补偿值；以及

控制部，将由所述蛇行补偿导出部导出的蛇行补偿值分配为平行于竖直方向的第一蛇行方向以及垂直于所述第一蛇行方向的第二蛇行方向，从而根据所设定的目标位置来生成相对于所述搬运驱动部、所述升降驱动部、所述旋转驱动部以及所述移动驱动部的驱动角度，

其中，所述控制部在所述第一蛇行方向上将蛇行补偿值分配到所述升降驱动部、所述搬运驱动部以及所述移动驱动部中的至少一个，而在所述第二蛇行方向上将蛇行补偿值分配到所述旋转驱动部、所述搬运驱动部以及所述移动驱动部中的至少一个。

2.根据权利要求1所述的基板搬运机器人驱动装置，其特征在于，

所述控制部利用机器人模型来生成基于所设定的目标角度的所述驱动角度，

所述机器人模型满足如下数学式：

$M{\stackrel{..}{\mathrm{\θ}}}_L+C({\mathrm{\θ}}_L\·{\stackrel{.}{\mathrm{\θ}}}_L)+G\left({\mathrm{\θ}}_L\right)=K({\mathrm{\θ}}_m-{\mathrm{\θ}}_L)$

J_mθ_m+K(θ_m-θ_L)＝τ_m

其中，M是连杆惯性矩阵，C是科里奥利力，G是重力，K是刚性矩阵，J_m是电机惯性矩阵，θ_m是驱动角度，θ_L是目标角度，是角速度，是角加速度，τ_m是电机转矩。

3.根据权利要求1所述的基板搬运机器人驱动装置，其特征在于，

所述控制部包括：

运算部，运算所述驱动角度与所设定的目标位置之间的差值；以及

判断部，判断运算出的差值是否超过预设的基准范围，

若所述驱动角度与所设定的目标位置之间的差值超过基准范围，则使所述搬运驱动部、所述升降驱动部、所述旋转驱动部以及所述移动驱动部停止动作。

4.一种基板搬运方法，其特征在于，包括以下步骤：

设定相对于基板搬运机器人的各驱动部的目标位置；

根据所设定的目标位置导出蛇行补偿值；

对基于所设定的目标位置确定的目标角度以及导出的蛇行补偿值进行运算，以导出驱动角度；

判断所述目标角度与所述驱动角度之间的差值是否超过预设的基准范围；以及

若所述目标角度与所述驱动角度之间的差值超过预设的基准范围，则使所述基板搬运机器人停止动作。