CN104852703B - 压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表 - Google Patents

Abstract

本发明题为压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。提供能够抑制振动臂部的强度下降并同时抑制以2次弯曲模式振动的压电振动片及压电振动器。另外，提供具备这样的压电振动器且可靠性优异的振荡器、电子设备及电波钟表。本发明的压电振动片的一个方式的特征在于，具备基部和与基部连接且沿宽度方向并排地配置的一对振动臂部，在振动臂部的主面，形成有沿宽度方向并排且沿振动臂部的长度方向延伸的多个槽部和将相邻的多个槽部连结的连结槽部，在相邻的槽部彼此之间，沿长度方向形成有壁部，壁部的至少一部分设在比槽部的长度方向的中心更靠近振动臂部的前端侧，连结槽部在前端侧将相邻的槽部彼此连结。

Description

压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表

技术领域

本发明涉及压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟表。

背景技术

已知一种音叉型石英振动器，该音叉型石英振动器以抑制振动臂部的强度下降并同时降低等效电阻的值，即CI（Crystal Impedance（晶体阻抗））值为目的，在振动臂部形成有多个槽部（例如，专利文献1）。

专利文献1：日本特开2006－60727号公报。

发明内容

发明要解决的课题

此外，关于振动臂部的振动模式，除了基本波模式以外，还存在2次弯曲模式（高次谐波模式）。为了得到稳定的频率特性，优选使振动臂部以基本波模式振动。

然而，例如，在如专利文献1所记载的构成中，由于2次弯曲模式的CI值（以下，R2值）降低的程度比基本波模式的CI值（以下，R1值）降低的程度更大，因而存在振动臂部容易以2次弯曲模式振动这一问题。

本发明的一个方式是鉴于上述问题点而作出的，其目的之一在于，提供能够抑制振动臂部的强度下降并同时抑制以2次弯曲模式振动的压电振动片及压电振动器。另外，本发明的一个方式，其目的之一在于，提供具备这样的压电振动器且可靠性优异的振荡器、电子设备及电波钟表。

用于解决课题的方案

本发明的压电振动片的一个方式，其特征在于：具备基部和与所述基部连接并沿宽度方向并排地配置的一对振动臂部，在所述振动臂部的主面，形成有沿所述宽度方向并排且沿所述振动臂部的长度方向延伸的多个槽部和将相邻的所述多个槽部连结的连结槽部，在相邻的所述槽部彼此之间，沿所述长度方向形成有壁部，所述壁部的至少一部分设在比所述槽部的长度方向的中心更靠近所述振动臂部的前端侧，所述连结槽部在所述前端侧将相邻的所述槽部彼此连结。

也可以作为这样的构成：所述连结槽部形成于在所述振动臂部以2次弯曲模式振动时成为所述振动臂部中的所述前端侧的振动节部的部分的附近。

也可以作为这样的构成：所述连结槽部形成于在所述振动臂部以2次弯曲模式振动时成为所述振动臂部中的所述前端侧的振动节部的部分。

也可以作为这样的构成：所述连结槽部在所述前端侧的端部将相邻的所述槽部彼此连结。

也可以作为这样的构成：所述壁部被所述连结槽部分割成所述基部侧的第1壁部和所述前端侧的第2壁部。

也可以作为这样的构成：设在一对所述振动臂部的所述连结槽部彼此通过一对所述振动臂部彼此之间的所述宽度方向的中心，并且，相对于与所述长度方向平行的中心线而线对称地设置。

本发明的压电振动器的一个方式，其特征在于，具备：封装件，具有基底部件和盖部件，所述盖部件叠合于所述基底部件而接合并在与所述基底部件之间形成有气密封闭的空腔；以及上述的压电振动片，装配于所述基底部件中的安装面，容纳于所述空腔内。

本发明的振荡器的一个方式，其特征在于：具备上述的压电振动器，所述压电振动器作为振子而与集成电路电连接。

本发明的电子设备的一个方式，其特征在于：具备上述的压电振动器，所述压电振动器与计时部电连接。

本发明的电波钟表的一个方式，其特征在于：具备上述的压电振动器，所述压电振动器与滤波器部电连接。

发明的效果

依据本发明的一个方式，提供能够抑制振动臂部的强度下降并同时抑制以2次弯曲模式振动的压电振动片及压电振动器。另外，依据本发明的一个方式，提供具备这样的压电振动器且可靠性优异的振荡器、电子设备及电波钟表。

附图说明

图1是示出第1实施方式的压电振动器的分解立体图。

图2是示出第1实施方式的压电振动器的截面图。

图3是示出第1实施方式的压电振动片的平面图。

图4是示出第1实施方式的压电振动片的图，是图3中的IV－IV截面图。

图5是示出第1实施方式的压电振动片的图，是图3中的V－V截面图。

图6是示出第2实施方式的压电振动片的平面图。

图7是示出第3实施方式的压电振动片的平面图。

图8是示出振荡器的实施方式的一个例子的图。

图9是示出电子设备的实施方式的一个例子的图。

图10是示出电波钟表的实施方式的一个例子的图。

图11是示出参考例的压电振动片的平面图。

图12是参考例的压电振动片以基本波模式振动的情况下的行动说明图。

图13是参考例的压电振动片以2次弯曲模式振动的情况下的行动说明图。

图14是示出参考例的压电振动片的R1值及R2值的变化的图表。

具体实施方式

以下，参照附图，同时，对本发明的实施方式所涉及的压电振动片及压电振动器进行说明。

此外，本发明的范围不限定于以下的实施方式，能够在本发明的技术的思想的范围内任意地变更。另外，在以下的附图中，为了容易理解各构成，有时候使实际的构造与各构造中的比例尺或数量等不同。

（第1实施方式）

[压电振动器]

图1及图2是示出本实施方式的压电振动器1的图。图1是分解立体图。图2是截面图。图3至图5是示出本实施方式的压电振动片100的图。图3是平面图。图4是图3中的IV－IV截面图。图5是图3中的V－V截面图。

此外，在以下的说明中，设定XYZ轴，参照该XYZ坐标系，同时，说明各部件的位置关系。此时，以压电振动器1（参照图1）的厚度方向作为Z轴方向，以压电振动器1的长度方向作为Y轴方向，以压电振动器1的宽度方向作为X轴方向。

本实施方式的压电振动器1，如图1所示，是外形为大致长方体状的所谓的陶瓷封装件类型的表面安装型振动器。压电振动器1具备具有气密地封闭的空腔C1的封装件2和容纳于空腔C1的压电振动片100。

封装件2，如图1所示，具备封装件本体（基底部件）3和封口板（盖部件）4。封装件本体3是具有有底的凹部3a的部件。凹部3a由后述的密封环52的内侧面52a、形成于后述的第2基底基板51上的贯通孔51a的内侧面以及后述的第1基底基板50的上表面50a构成。

封口板4将封装件本体3的凹部3a的开口堵塞，与封装件本体3接合。空腔C1是相当于封装件本体3的凹部3a的内侧的内部空间，通过封装件本体3和封口板4而与封装件2的外部分隔。

封装件本体3包括第1基底基板50、配置于第1基底基板50上的第2基底基板51以及配置于第2基底基板51上的密封环52。

第1基底基板50和第2基底基板51分别是平面视图（XY面视图）呈现为外形为大概长方形的板状部件。第2基底基板51平面视图（XY面视图）呈现为外形尺寸与第1基底基板50大致相同。

第1基底基板50和第2基底基板51分别是陶瓷制。第1基底基板50和第2基底基板51的形成材料也可以是例如以氧化铝作为主要成分的高温烧制陶瓷（HTCC：HighTemperature Co-Fired Ceramic，高温共烧陶瓷），也可以是玻璃陶瓷等低温烧制陶瓷（LTCC：Low Temperature Co-Fired Ceramic，低温共烧陶瓷）。

在第1基底基板50，第2基底基板51侧（＋Z侧）的上表面50a的一部分相当于封装件本体3的凹部3a的底面。

第2基底基板51重叠于第1基底基板50，与第1基底基板50通过烧结等而结合。即，第2基底基板51与第1基底基板50一体化。

在第2基底基板51，如图1及图2所示，形成有贯通孔51a。贯通孔51a的内侧面构成封装件本体3的凹部3a的侧壁的一部分。在贯通孔51a的宽度方向的一方侧（－X侧）的内侧面，突出至贯通孔51a而设有安装部55。在贯通孔51a的宽度方向的另一方侧（＋X侧）的内侧面，突出至贯通孔51a而设有安装部56。安装部55和安装部56互相对置而设置。贯通孔51a的平面视图（XY面视图）形状是从矩形除去安装部55、56的平面视图（XY面视图）形状而得到的形状。

安装部55、56的密封环52侧（＋Z侧）的面是装配有压电振动片100的安装面55a、56a。在安装面55a，设有电极焊盘53。在安装面56a，设有电极焊盘54。安装部55、56的平面视图（XY面视图）形状，在本实施方式中，例如，是矩形状。安装部55、56，如图2所示，经由电极焊盘53、54而与压电振动片100接触。

电极焊盘53和电极焊盘54是与压电振动片100电连接的一对端子。电极焊盘53及电极焊盘54是例如凸点电极。

详细而言，在后文阐述，在压电振动片100，设有基板安装用的装配部17及装配部18。电极焊盘53与形成于压电振动片100的装配部17的未图示的装配电极电连接，电极焊盘54与形成于压电振动片100的装配部18的未图示的装配电极电连接。

密封环52，如图1所示，是平面视图（XY面视图）呈现为矩形状的框状部件，构成封装件本体3的凹部3a的侧壁的一部分。密封环52，平面视图（XY面视图）呈现的外形尺寸比第2基底基板51更小一圈。密封环52，通过使用银焊料等焊剂或焊料等的烧接而接合于第2基底基板51的密封环52侧（＋Z侧）的面（以下，第2基底基板51的上表面）。密封环52也可以通过相对于形成在第2基底基板51的上表面的金属接合层的熔敷等而与第2基底基板51的上表面接合。该金属接合层也可以使用电解镀敷法、非电解镀敷法、蒸镀法、溅射法的至少1个来形成。

密封环52是导电性的部件，例如，包括镍基合金。该镍基合金也可以包括科瓦合金、埃林瓦尔镍铬合金、因瓦合金、42－合金中的1种或2种以上。密封环52的形成材料也可以从热膨胀系数与第1基底基板50及第2基底基板51接近的材料选择。例如，在作为第1基底基板50及第2基底基板51的形成材料而使用热膨胀系数为6.8×10^-6/℃的氧化铝的情况下，密封环52的形成材料也可以是热膨胀系数为5.2×10^-6/℃的科瓦合金，也可以是热膨胀系数为4.5～6.5×10^-6/℃的42－合金。

密封环52的内形，除了形成有安装部55、56的部位以外，与贯通孔51a平面视图（XY面视图）呈现为重叠。

封口板4，如图2所示，重叠于密封环52上，将密封环52的开口（凹部3a的开口）堵塞。上述的空腔C1是被第1基底基板50、第2基底基板51、密封环52以及封口板4包围的空间。即，压电振动片100，平面视图（XY面视图）呈现为容纳于密封环52的内侧。

封口板4是导电性的基板，与密封环52接合。密封环52例如通过使辊电极接触所导致的缝焊、激光焊接、超声波焊接等焊接而与封口板4接合。在将封口板4与密封环52焊接的情况下，如果在封口板4的下表面（－Z侧的面）和密封环52的上表面（＋Z侧的面）的一方或双方设有镍、金等的接合层，则焊接导致的接合的可靠性提高，例如，容易确保空腔C1的气密性。

在第1基底基板50的下方侧（－Z侧）的面，设有外部电极57及外部电极58。

外部电极57及外部电极58是接受来自压电振动器1的外部的器件，例如，安装有压电振动器1的器件的电力的供给的端子。

在封装件本体3，设有将电极焊盘53与外部电极57电连接的第1布线（未图示）和将电极焊盘54与外部电极58电连接的第2布线（未图示）。即，施加于外部电极57的电位经由第1布线及电极焊盘53而施加于形成在压电振动片100的装配部17的装配电极。另外，施加于外部电极58的电位经由第2布线及电极焊盘54而施加于形成在压电振动片100的装配部18的装配电极。压电振动片100通过供给至各装配电极的电力而振动。

此外，第1布线包括例如：第1贯通电极，沿厚度方向（Z轴方向）贯通第1基底基板50，与外部电极57导通；第2贯通电极，沿厚度方向（Z轴方向）贯通第2基底基板51，与电极焊盘53导通；以及连接布线，设在第1基底基板50与第2基底基板51之间，将第1贯通电极与第2贯通电极电连接。将电极焊盘54与外部电极58电连接的第2布线是与第1布线同样的构成。第1布线和第2布线的构成能够适当变更。

[压电振动片]

接着，对本实施方式的压电振动片100进行说明。

压电振动片100是在石英、钽酸锂或铌酸锂等的压电体形成有作为电极或布线而起作用的导电膜图案等附带物的板状的零件。本实施方式的压电振动片100是所谓的侧臂型的压电振动片。

此外，在本实施方式中，对压电振动片100的压电体为石英的情况进行说明。

压电振动片100，如图3所示，具备：基部10；一对振动臂部21、22，与基部10连接，沿宽度方向（X轴方向）并排地配置；两个支撑臂部15、16，与基部10的振动臂部21、22的宽度方向（X轴方向）的两侧连接；以及两个装配部17、18，设在支撑臂部15、16。在本实施方式中，基部10、一对振动臂部21、22及支撑臂部15、16一体地形成，邻接的各部分无界面地连续。在图3及图4中，为了表示各部分的范围，由双点划线表示各部分的基端或前端。在后述的图6及图7中也是如此。

基部10将支撑臂部15、16与振动臂部21、22连接。

基部10的平面视图（XY面视图）形状，如图3所示，为矩形状。

在基部10的振动臂部21、22的宽度方向两侧（±X侧）的端部，分别连接有支撑臂部15、16。在基部10的振动臂部21、22的长度方向的一方侧（＋Y侧），连接有振动臂部21、22。

振动臂部21、22分别在长度方向的一方侧（－Y侧）的端部与基部10连接。振动臂部21和振动臂部22，通过振动臂部21与振动臂部22之间的宽度方向（X轴方向）的中心，相对于与振动臂部21、22的长度方向（Y轴方向）平行的中心线P21而线对称地设置。

由于振动臂部21和振动臂部22，形状及尺寸相同，因而在以下的说明中，有时候作为代表而仅对振动臂部21进行说明。

振动臂部21具备以大致均匀的宽度直线地延伸的带状部11和宽度（X轴方向长度）比带状部11更宽的锤部13。同样如此，振动臂部22具备带状部12和锤部14。

锤部13、14分别从与带状部11、12的基部10连接的一侧的相反侧（＋Y侧）的前端以沿带状部11、12的长度方向（Y轴方向）的方式延伸而形成。锤部13、14的宽度（X轴方向长度）比带状部11、12的宽度（X轴方向长度）更大而形成。锤部13、14以基部10作为固定端而设定在沿宽度方向（X轴方向）振动的自由端。

振动臂部21的带状部11从基部10沿压电振动器1的长度方向（Y轴方向）直线地延伸。

在带状部11的压电振动片100的表面（＋Z侧的主面）19a，形成有槽部31a及槽部32a和连结槽部35a。槽部31a和槽部32a沿振动臂部21的宽度方向（X轴方向）并排地形成。槽部31a、32a从振动臂部21的基部10侧（－Y侧）的端部与振动臂部21的长度方向（Y轴方向）大致平行地延伸。槽部31a、32a的深度方向与压电振动片100的厚度方向（Z轴方向）大致平行。

槽部31a、32a的截面视图（ZX面视图）形状未特别地限定，也可以是矩形状，也可以是多边形状，也可以是其他的形状。在本实施方式中，槽部31a、32a的截面视图（ZX面视图）形状，如图5所示，例如，是5边形状。在本实施方式中，如后所述，槽部31a、32a通过蚀刻而形成，因而槽部31a、32a的内壁成为与结晶面相应的形状。

连结槽部35a，如图3所示，将槽部31a与槽部32a连结。即，槽部31a的内部与槽部32a的内部经由连结槽部35a而连通。连结槽部35a通过槽部31a、32a的长度方向（Y轴方向）的中心，而且，形成于比与宽度方向（X轴方向）平行的中心线P11更靠近前端侧（＋Y侧）。换言之，连结槽部35a在槽部31a、32a的长度方向的前端侧（＋Y侧）将相邻的槽部31a与槽部32a连结。在本实施方式中，连结槽部35a形成于在振动臂部21以2次弯曲模式振动时成为前端侧（＋Y侧）的振动节部的部分或其附近。

此外，在本说明书中，连结槽部35a设在2次弯曲模式下的振动臂部21的成为前端侧（＋Y侧）的振动节部的部分，意味着在成为前端侧的振动节部的部分未设置壁部的状态，连结槽部35a的长度方向（Y轴方向）的中心位置没有必要与前端侧的振动节部的位置一致。即，连结槽部35a设在2次弯曲模式下的振动臂部21的成为前端侧（＋Y侧）的振动节部的部分，是指连结槽部35a包括成为前端侧的振动节部的部分即可。

另外，在本说明书中，连结槽部35a设在2次弯曲模式下的振动臂部21的成为前端侧（＋Y侧）的振动节部的部分的“附近”，意味着例如连结槽部35a与振动节部的位置的偏差成为振动臂部21的长度的1/6以下左右。另外，连结槽部35a与振动节部的位置的偏差意味着在振动节部未形成连结槽部35a的情况下的从振动节部至最近的一侧的连结槽部35a的端部的距离。

在带状部11中的压电振动片100的背面（－Z侧的主面）19b，如图4及图5所示，与表面19a同样地，形成有槽部31b及槽部32b和连结槽部35b。在本实施方式中，槽部31a和槽部31b形成为，平面视图（XY面视图）呈现为重叠。槽部32a和槽部32b形成为，平面视图呈现为重叠。连结槽部35a和连结槽部35b形成为，平面视图呈现为重叠。

如图3至图5所示，与振动臂部21同样地，在振动臂部22的带状部12中的表面19a，形成有槽部33a及槽部34a和连结槽部36a。在带状部12中的背面19b，形成有槽部33b及槽部34b和连结槽部36b。

此外，由于各槽部及各连结槽部分别是同样的构成，因而有时候作为代表而仅对槽部31a及连结槽部35a进行说明。

如图3所示，振动臂部21中的连结槽部35a、35b与振动臂部22中的连结槽部36a、36b相对于中心线P21而线对称地设置。

此外，在本说明书中，“线对称”不仅意味着严格地线对称的情况，还包括尺寸比为0.9以上且1.1以下左右的范围及位置的偏差为对象物的宽度的5%以下左右的范围。另外，还包括在石英被蚀刻时由结晶面决定的内壁的形状的微小的差异。

如图3及图4所示，在相邻的槽部31a与槽部32a之间，形成有将槽部31a与槽部32a隔开的第1壁部41a及第2壁部42a。

第1壁部41a从槽部31a、32a的基部10侧（－Y侧）的端部延伸至槽部31a、32a的长度方向的前端侧（＋Y侧）而设置。即，第1壁部41a从基部10延伸至比中心线P11更靠近前端侧（＋Y侧）而设置。换言之，第1壁部41a的一部分设在比中心线P11更靠近振动臂部21的前端侧（＋Y侧）。

第2壁部42a从槽部31a、32a的前端侧（＋Y侧）的端部延伸至基部10侧（－Y侧）而设置。第2壁部42a的整体设在比中心线P11更靠近前端侧（＋Y侧）。

第1壁部41a和第2壁部42a夹着连结槽部35a并沿振动臂部21的长度方向（Y轴方向）对置而设置。换言之，形成于槽部31a与槽部32a之间的壁部被连结槽部35a分割成第1壁部41a和第2壁部42a。

第1壁部41a及第2壁部42a的截面视图（ZX面视图）形状未特别地限定，也可以是矩形状，也可以是多边形状，也可以是其他的形状。在本实施方式中，第1壁部41a及第2壁部42a的截面视图（ZX面视图）形状，如图5所示，例如，是梯形状。在本实施方式中，如后所述，槽部31a、32a通过蚀刻而形成，因而第1壁部41a及第2壁部42a的侧壁成为与结晶面相应的形状。

与上述同样地，在相邻的槽部31b与槽部32b之间，形成有将槽部31b和槽部32b隔开的第1壁部41b及第2壁部42b。

另外，在振动臂部22中同样如此，在相邻的槽部33a与槽部34a之间，形成有将槽部33a与槽部34a隔开的第1壁部43a及第2壁部44a。在相邻的槽部33b与槽部34b之间，形成有将槽部33b与槽部34b隔开的第1壁部43b及第2壁部44b。

第1壁部41b、43a、43b与第1壁部41a同样。第2壁部42b、44a、44b与第2壁部42a同样。

在本实施方式中，槽部31a、32a及连结槽部35a通过蚀刻而形成。作为蚀刻的方法，未特别地限定，也可以选择干法蚀刻，也可以选择湿法蚀刻。

在振动臂部21中的表面19a、背面19b及槽部31a、31b、32a、32b的内壁，形成有未图示的激振电极。关于振动臂部22，也是如此。

一对支撑臂部15、16，在从基部10延伸至振动臂部21、22的宽度方向（X轴方向）两侧之后，沿振动臂部21、22的长度方向（Y轴方向），朝向振动臂部21、22的前端侧（＋Y侧）弯曲延伸而形成。

在支撑臂部15、16的背面19b侧（－Z侧），分别设有装配部17、18。设有装配部17、18的位置是在支撑臂部15、16振动时成为振动节的位置。

在支撑臂部15、16的装配部17、18，形成有未图示的装配电极，通过未图示的引出电极而与形成在振动臂部21、22的外表面上的激振电极连接。而且，如果将既定的电压施加于这些各电极，则通过一对振动臂部21、22的双方的激振电极彼此的相互作用而导致一对振动臂部21、22沿互相接近或离开的方向（X轴方向）以既定的谐振频率振动。

依据本实施方式，由于在槽部31a及槽部32a的前端侧（＋Y侧）形成有连结槽部35a，因而能够抑制振动臂部的强度下降，同时，抑制以2次弯曲模式振动。以下，详细地说明。

图11至图14是用于对振动臂部的振动模式进行说明的图。图11是示出参考例的压电振动片2001的平面图。图12是示出压电振动片2001以基本波模式振动的情况的行动说明图。图13是示出压电振动片2001以2次弯曲模式振动的情况的行动说明图。图14是示出压电振动片2001中的R1值及R2值的变化的图表。

如图11所示，音叉型的压电振动片2001是具备沿宽度方向并排地配置的一对振动臂部2010、2011和将这一对振动臂部2010、2011的长度方向基端连结的基部2020的薄板状的石英片。而且，在一对振动臂部2010、2011的外表面上，形成有使这一对振动臂部2010、2011振动的激振电极2030。

如图12所示，如果电压施加于形成在各振动臂部2010的激振电极2030，则压电振动片2001以一对振动臂部2010、2011的前端接近/离开的方式沿既定方向以既定的谐振频率振动。此外，在以下的说明中，将这样以一对振动臂部2010、2011的前端接近/离开的方式振动的振动模式称为基本波模式。

如图13所示，在压电振动片2001以2次弯曲模式振动的情况下，分别在振动臂部2010、2011的基端形成有振动节部2010a、2011a，并且，在前端侧形成有振动节部2010b、2011b，以这些振动臂部2010、2011的基端侧的振动节部2010a、2011a与前端侧的振动节部2010b、2011b之间的大致中央的位移量变得最大的方式产生振幅。

此时，在将振动臂部2010、2011的全长设为L100时，振动臂部2010、2011的基端与前端侧的振动节部2010b、2011b之间的距离SL1成为约（3×L100）/4左右。而且，振动臂部2010、2011的基端与振动臂部2010、2011的位移量变得最大的位置P100（以下，称为最大振幅部P100）之间的距离SL2成为约L100/2左右。

在这样的情况下，由于振动模式变化而导致压电振动片2001的频率也变化。例如，在音叉型的压电振动片2001的情况下，频率从32kHz变化至200kHz。因此，优选使压电振动片2001以基本波模式振动。

在此，如果大大地形成在振动臂部2010、2011形成的槽部2040，则能够相应地使CI值下降。为了大大地形成槽部2040，考虑扩大槽宽、加深槽深或延长槽长。然而，任一种方法都存在如下的问题点。

首先，在延长槽长TL100的情况下，不但基本波模式的CI值（R1值）下降，而且2次弯曲模式的CI值（R2值）也下降。而且，R2值比R1值更大幅地下降。

如图14所示，能够确认，与随着TL100/L100的值变大的R1值的下降梯度相比，R2值的下降梯度更大。

在此，如果R2值比R1值更小，则振动臂部2010以2次弯曲模式振动。例如，在压电振动片2001的情况下，如图14所示，如果TL100/L100的值成为约0.58，则R2值比R1值更小，存在振动臂部2010以2次弯曲模式振动这一问题。

另一方面，在扩大槽宽或加深槽深的情况下，振动臂部的强度有可能下降。特别地，在厚度方向的弯曲刚性下降且振动臂部振动时，有时候产生厚度方向的振动偏移。

针对这些问题，依据本实施方式，连结槽部35a形成于槽部31a及槽部32a的前端侧（＋Y侧）。因此，在振动臂部21以2次弯曲模式振动时成为前端侧的振动节部的部分容易振动，难以成为振动节。即，依据本实施方式，能够抑制2次弯曲模式的CI值（R2值）降低。

另外，依据本实施方式，第1壁部41a的一部分设在槽部31a、32a的前端侧（＋Y侧）。因此，能够降低基本波模式的CI值（R1值）。

因此，依据本实施方式，能够降低R1值，同时，抑制R2值降低，因而能够抑制振动臂部21以2次弯曲模式振动。

另外，另一方面，依据本实施方式，沿宽度方向并排地设置多个槽部。由此，形成有第1壁部41a及第2壁部42a，能够抑制振动臂部21的强度下降。

另外，通过设置多个槽部，从而能够增大槽部内壁的表面积，因而能够增大形成于槽部内壁的激振电极的表面积。由此，能够增大电场效率，其结果是，能够降低CI值。

通过以上方式，依据本实施方式，得到能够抑制振动臂部的强度下降并同时抑制以2次弯曲模式振动的压电振动片。

另外，依据本实施方式，连结槽部35a形成于在振动臂部21以2次弯曲模式振动时成为前端侧的振动节部的部分或其附近，因而成为前端侧的振动节部的部分更容易振动。即，依据本实施方式，能够进一步抑制振动臂部21以2次弯曲模式振动。换言之，依据本实施方式，能够进一步抑制R2值降低。

另外，依据本实施方式，设在振动臂部21的连结槽部35a、35b和设在振动臂部22的连结槽部36a、36b，通过振动臂部21、22彼此之间的中心，相对于与振动臂部21、22的长度方向平行的中心线P21而线对称地设置。由此，依据本实施方式，能够抑制压电振动片100的振动特性变得不稳定。

另外，依据本实施方式，由于连结槽部35a设置成分割壁部，因而能够在形成有壁部的范围内任意地决定形成连结槽部35a的位置。因此，依据本实施方式，容易将连结槽部35a形成于成为振动节部的部分或其附近。

另外，依据本实施方式的压电振动器1，由于具备上述说明的压电振动片100，因而得到可靠性优异的压电振动器。

此外，在本实施方式中，也能够采用以下的构成及方法。

在上述说明的实施方式中，作为在振动臂部21的表面19a形成有1个连结槽部35a的构成，但不限于此。在本实施方式中，例如，也可以在振动臂部21的表面19a形成多个连结槽部。

另外，在上述说明的实施方式中，作为在表面19a和背面19b的两面形成有槽部及连结槽部的构成，但不限于此。在本实施方式中，例如，也可以是在两面形成有槽部而仅在单面形成有连结槽部的构成，也可以是仅在单面形成槽部及连结槽部的构成。

另外，在上述说明的实施方式中，第1壁部41a及第2壁部42a都作为至少一部分设在比中心线P11更靠近前端侧（＋Y侧）的构成，但不限于此。在本实施方式中，在壁部的至少一部分设在比中心线P11更靠近前端侧（＋Y侧）的范围内，第1壁部41a及第2壁部42a怎样配置都可以。

另外，在本实施方式中，压电振动片100的压电体也可以不由石英形成。

另外，在本实施方式中，槽部31a的形成方法未特别地限定，使用除了蚀刻以外的怎样的方法都可以。

另外，在本实施方式中，连结槽部35a，在比中心线P11更靠近前端侧（＋Y侧）的范围内，设在何处都可以。

（第2实施方式）

第2实施方式，相对于第1实施方式，在连结槽部设于多个槽部的前端侧的端部的点不同。

此外，在以下的说明中，有时候通过对与上述实施方式同样的构成适当标记同一符号等而省略说明。

图6是示出本实施方式的压电振动片200的平面图。

本实施方式的压电振动片200，如图6所示，具备：基部10；一对振动臂部221、222，与基部10连接，沿宽度方向（X轴方向）并排地配置；两个支撑臂部15、16，与基部10中的振动臂部221、222的宽度方向（X轴方向）的两侧连接；以及两个装配部17、18，设在支撑臂部15、16。

振动臂部221、222具备带状部211、212和锤部13、14。

在带状部211中的表面19a，形成有槽部231、槽部232以及连结槽部235。槽部231、232，除了由连结槽部235连结的位置不同以外，都与第1实施方式的槽部31a、32a同样。

连结槽部235在前端侧（＋Y侧）的端部将槽部231与槽部232连结。即，连结槽部235通过槽部231、232的长度方向（Y轴方向）的中心，而且，形成于比与宽度方向（X轴方向）平行的中心线P12更靠近前端侧（＋Y侧）。

通过形成槽部231和槽部232，从而在槽部231与槽部232之间形成壁部241。

壁部241从槽部231、232的基部10侧（－Y侧）的端部延伸至槽部231、232的长度方向的前端侧（＋Y侧）而设置。即，壁部241从基部10延伸至比中心线P12更靠近前端侧（＋Y侧）而设置。换言之，壁部241的一部分设在比中心线P12更靠近振动臂部221的前端侧（＋Y侧）。

在本实施方式中，由于连结槽部235设在槽部231、232的前端侧（＋Y侧）的端部，因而壁部241未被分割，而是作为一体而形成。

在带状部211的背面19b，与表面19a同样地，形成有未图示的两个槽部和将两个槽部连结的未图示的连结槽部。各槽部及连结槽部分别形成为，与槽部231、232及连结槽部235平面视图（XY面视图）呈现为重叠。

在振动臂部222的表面19a，与振动臂部221同样地，形成有槽部233、234、连结槽部236以及壁部242。关于背面19b，也是如此。

形成于振动臂部221的连结槽部235和形成于振动臂部222的连结槽部236通过振动臂部221、222彼此之间的宽度方向（X轴方向）的中心，并且，相对于与振动臂部221、222的长度方向（Y轴方向）平行的中心线P22而线对称地设置。

依据本实施方式，由于连结槽部235设在槽部231、232的前端侧（＋Y侧）的端部，因而容易形成连结槽部235。

（第3实施方式）

第3实施方式，相对于第1实施方式，在形成于各振动臂部的槽部为3个的点不同。

此外，在以下的说明中，有时候通过对与上述实施方式同样的构成适当标记同一符号等而省略说明。

图7是示出本实施方式的压电振动片300的平面图。

本实施方式的压电振动片300，如图7所示，具备：基部10；一对振动臂部321、322，与基部10连接，沿宽度方向（X轴方向）并排地配置；两个支撑臂部15、16，与基部10中的振动臂部321、322的宽度方向（X轴方向）的两侧连接；以及两个装配部17、18，设在支撑臂部15、16。

振动臂部321、322具备带状部311、312和锤部13、14。

在带状部311中的表面19a，形成有槽部331、槽部332、槽部333以及连结槽部337。槽部331、332、333分别与第1实施方式的槽部31a、32a同样。

连结槽部337将槽部331、槽部332以及槽部333连结。换言之，槽部331的内部、槽部332的内部以及槽部333的内部通过连结槽部337而连通。连结槽部337通过槽部331、332、333的长度方向（Y轴方向）的中心，而且，形成于比与宽度方向（X轴方向）平行的中心线P13更靠近前端侧（＋Y侧）。换言之，连结槽部337在比中心线P13更靠近前端侧（＋Y侧）将槽部331、槽部332以及槽部333连结。

通过形成槽部331和槽部332，从而在槽部331与槽部332之间，形成有第1壁部341及第2壁部343。通过形成槽部332和槽部333，从而在槽部332与槽部333之间，形成第1壁部342及第2壁部344。

第1壁部341、342及第2壁部343、344与第1实施方式的第1壁部41a及第2壁部42a同样。

在带状部311的背面19b，与表面19a同样地，形成有三个槽部和将三个槽部连结的连结槽部。各槽部及连结槽部分别形成为，与槽部331、332、333及连结槽部337平面视图（XY面视图）呈现为重叠。

在振动臂部322的表面19a，与振动臂部321同样地，形成有槽部334、335、336、连结槽部338、第1壁部345、346以及第2壁部347、348。关于背面19b，也是如此。

形成于振动臂部321的连结槽部337和形成于振动臂部322的连结槽部338，通过振动臂部321、322彼此之间的宽度方向（X轴方向）的中心，并且，相对于与振动臂部321、322的长度方向（Y轴方向）平行的中心线P23而线对称地设置。

依据本实施方式，由于在1个振动臂部的单面形成有三个槽部，因而能够进一步降低CI值。

此外，在上述说明的实施方式中，连结槽部337作为将三个槽部331、槽部332以及槽部333连结的构成，但不限于此。在本实施方式中，连结槽部337也可以是仅将三个槽部331、槽部332以及槽部333中的相邻的两个槽部连结的构成。

另外，在本实施方式中，例如，将槽部331与槽部332连结的连结槽部和将槽部332与槽部333连结的连结槽部也可以分别个别地设置。

此外，在上述说明的各实施方式中，作为在1个振动臂部的单面形成有2个或3个槽部的构成，但不限于此。在各实施方式中，也可以在1个振动臂部的单面形成4个以上槽部。形成于1个振动臂部的单面的槽部的数量越多，就越是能够降低CI值。

另外，在各实施方式中，使用侧臂型的压电振动片，但也可以是音叉型的压电振动片，也可以是中心臂型的压电振动片。

另外，在各实施方式中，作为使用压电振动片的压电振动器，对陶瓷封装件类型的表面安装型振动器进行了说明，但也能够将压电振动片适用于由玻璃材料形成的基底基板及盖基板通过阳极接合来接合而成的玻璃封装件类型的压电振动器。

（具备压电振动器的设备的实施方式）

[振荡器]

接着，对具备压电振动器1的本实施方式的振荡器进行说明。

图8是示出本实施方式的振荡器1000的图。

振荡器1000具备基板1010、集成电路1020、电子零件1030以及压电振动器1。

电子零件1030是例如电容器等，安装于基板1010。集成电路1020是振荡器用，安装于基板1010。

集成电路1020与压电振动器1和电子零件1030的各个经由省略图示的布线而电连接。压电振动器1例如在基板1010安装于集成电路1020的附近。压电振动器1是参照图1等而上述说明的实施方式的压电振动器，作为振子而起作用。振荡器1000的至少一部分也可以适当用未图示的树脂模制。

振荡器1000，如果将电力供给至压电振动器1，则压电振动器1的压电振动片振动。压电振动片的振动根据压电振动片所具有的压电特性而向电信号转换。该电信号从压电振动器1向集成电路1020输出。集成电路1020通过对从压电振动器1输出的电信号执行各种处理而生成频率信号。

振荡器1000能够应用于例如钟表用的单功能振荡器、控制计算机等各种装置的动作时机的时机控制装置、提供时刻或日历等的装置等。集成电路1020根据振荡器1000所要求的功能而构成，也可以包括所谓的RTC（实时时钟）模块。

依据本实施方式，由于具备压电振动器1，因而与上述的实施方式同样地，得到可靠性优异的振荡器1000。

[电子设备]

接着，作为具备压电振动器1的本实施方式的电子设备的一个方式，对便携信息设备进行说明。

该便携信息设备是像手表这样的方式，与一般的便携电话相比，非常小型而且重量轻，能够进行与便携电话同样的通信。该便携信息设备在相当于表盘的部分配置有液晶显示器等的显示部，能够在显示部显示时刻信息等。另外，该便携信息设备在带的内侧部分设有扬声器、麦克风等输入输出部，能够利用输入输出部来通话等。

图9是示出本实施方式的便携信息设备1100的一个例子的图。

图9所示的便携信息设备1100具备计时部1110、显示部1120、通信部1130、控制部1140、电源部1150、电压检测部1160以及电源截断部1170。

控制部1140对便携信息设备1100的各部分总括地进行控制。例如，控制部1140对计时部1110对时刻的计测、显示部1120对信息的显示以及通信部1130导致的与外部的通信等进行控制。控制部1140包括例如预先写入有程序的ROM、读出写入该ROM的程序并按照该程序而执行各种处理的CPU以及用作该CPU的工作区的RAM。

计时部1110具备集成电路和压电振动器1。该集成电路包括振荡电路、寄存器电路、计数器电路以及接口电路。压电振动器1是上述说明的实施方式所涉及的压电振动器。压电振动器1接受电力的供给，压电振动片振动，将该振动转换成与压电振动片所具有的压电特性相应的电信号。从压电振动器1输出的电信号向集成电路的振荡电路输入。

在计时部1110的集成电路中，振荡电路的输出被二进制化并由寄存器电路和计数器电路计数。该计数结果经由接口电路而供给至控制部1140。控制部1140通过基于来自集成电路的计数结果而执行各种运算等来算出时刻或日期等，基于其算出结果而使显示部1120显示时刻、日期、日历等各种信息。

通信部1130进行与外部的通信，即向外部发送数据及从外部接收数据。通信部1130包括无线部1200、声音处理部1210、切换部1220、放大部1230、声音输入输出部1240、电话号码输入部1250、来电音产生部1260以及呼叫控制存储器部1270。

无线部1200经由天线1280而将经编码的声音数据等各种数据与基站交换。声音处理部1210将从无线部1200输入的数据解码并向放大部1230输出。另外，声音处理部1210将从放大部1230输入的数据编码并向无线部1200输出。放大部1230进行声音处理部1210与声音输入输出部1240之间的信号的交接，并且，将所交接的信号适当放大至既定的电平。声音输入输出部1240包括扬声器及麦克风等，将与来自放大部1230的信号相应的声音向外部输出，从外部接受声音的输入。

另外，切换部1220根据响应于来自基站的呼出等的来自控制部1140的指令而将来电音产生部1260与放大部1230连接。来电音产生部1260根据响应于来自基站的呼出的来自控制部1140的指令而将来电音的数据输出至切换部1220。即，控制部1140响应于来自基站的呼出等，使来电音的数据向放大部1230输出，由此，通过声音输入输出部1240而使来电音输出。

呼叫控制存储器部1270存放通信的接打呼叫控制所涉及的程序。另外，电话号码输入部1250具备例如0至9的号码键及其他键，通过这些号码键等的下压而利用于通话对象的电话号码等的输入。

电源部1150包括例如锂离子二次电池，向便携信息设备1100的各部分供给电力。电压检测部1160对从电源部1150向便携信息设备1100的各部分供给的电压进行检测。电压检测部1160，在所检测到的电压成为既定值以下的情况下，将电压为既定值以下的信息通知给控制部1140。该既定值是作为为了使通信部1130稳定地进行动作而需要的电压而预先设定的值，例如，为3V左右。从电压检测部1160接受电压下降的通知的控制部1140禁止或限制包括无线部1200、声音处理部1210、切换部1220及来电音产生部1260的多个功能部的至少一部分的动作。在该情况下，控制部1140将多个功能部中的功耗相对地大的功能部的动作比多个功能部中的功耗相对地小的功能部更先禁止或限制。控制部1140使示出由于供给电力的下降而导致功能停止或受限的信息显示于显示部1120。该显示也可以包括文字，也可以包括记号，例如，也可以是对显示于显示部1120的电话图标标记×（叉）记号的方式。电源截断部1170选择性地使对多个功能部中的由于电压下降而导致功能停止的功能部的电力的供给停止。

依据本实施方式，由于具备压电振动器1，因而与上述的实施方式同样地，得到可靠性优异的便携信息设备1100。

[电波钟表]

接着，对具备压电振动器1的本实施方式的电波钟表进行说明。

电波钟表具有使所显示的时刻与根据标准电波而取得的时刻一致的功能。标准电波是通过包括被称为时间代码的时刻信息的调制信号来对既定频率的载波进行AM调制而得到的。标准电波，例如在日本国内，从福岛县的发送台和佐贺县的发送台发送。从福岛县的发送台发送的标准电波，载波的频率是40kHz，从佐贺县的发送台发送的标准电波，载波的频率是60kHz。

图10是示出本实施方式的电波钟表1300的图。该电波钟表1300具备天线1310、放大器1320、滤波器部1330、检波整流电路1340、波形整形电路1350、CPU 1360以及RTC 1370。

天线1310接收标准电波。放大器1320将天线1310所接收的标准电波的信号放大并向滤波器部1330输出。滤波器部1330将来自放大器1320的信号滤波且调谐并向检波整流电路1340输出。检波整流电路1340将来自滤波器部1330的信号检波解调并向波形整形电路1350输出。波形整形电路1350从来自检波整流电路1340的信号取得时间代码，将该时间代码向CPU 1360供给。CPU 1360从时间代码取得关于当前的年、累计日、星期、时刻等的时刻的信息。RTC 1370是所谓的实时时钟，保存当前的年、月、日、时、分、秒等的信息。CPU 1360使关于从时间代码取得的时刻的信息反映于RTC 1370所保存的信息。将RTC 1370所保存的信息适当读出并利用于时刻的显示。

滤波器部1330包括相当于经滤波的信号的频率的谐振频率的压电振动器。在滤波器部1330中，压电振动器作为谐振器而起作用。例如，图10的电波钟表1300，假设在日本国内使用，滤波器部1330包括谐振频率为40kHz的压电振动器1a和谐振频率为60kHz的压电振动器1b。此外，假设在除了日本国内以外的地区使用的电波钟表1300根据与所使用的地区相对应的标准电波的载波的频率，设定滤波器部1330的压电振动器的谐振频率。

在本实施方式中，滤波器部1330的压电振动器1a和压电振动器1b分别是与上述说明的实施方式的压电振动器1同样的压电振动器。

依据本实施方式，由于具备具有与压电振动器1同样的构成的压电振动器1a、1b，因而与上述的实施方式同样地，得到可靠性优异的电波钟表1300。

此外，在上述的说明中，作为振荡器、电子设备及电波钟表的例子，示出具备安装有第1实施方式的压电振动片100的压电振动器1的例子，但不限于此。作为振荡器、电子设备及电波钟表的实施方式，也可以是例如具备安装有第2实施方式及第3实施方式所示的压电振动片中的任一个的压电振动器的构成。

[符号说明]

1、1a、1b…压电振动器，2…封装件，3…封装件本体（基底部件），4…封口板（盖部件），10、2020…基部，19a…表面（主面），19b…背面（主面），21、22、221、222、321、322、2010…振动臂部，31a、31b、32a、32b、33a、33b、34a、34b、231、232、233、234、331、332、333、334、335、336、2040…槽部，35a、35b、36a、36b、235、236、337、338…连结槽部，41a、41b、43a、43b、341、342、345、346…第1壁部，42a、42b、44a、44b、343、344、347、348…第2壁部，55a、56a…安装面，100、200、300、2001…压电振动片，241、242…壁部，1000…振荡器，1020…集成电路，1110…计时部，1300…电波钟表，1330…滤波器部，2010a、2010b…振动节部，C1…空腔，P21、P22、P23…中心线。

Claims (9)

1.一种压电振动片，其特征在于，具备：

基部；以及

一对振动臂部，与所述基部连接，沿宽度方向并排地配置，

在所述振动臂部的主面，形成有沿所述宽度方向并排且沿所述振动臂部的长度方向延伸的多个槽部和将相邻的所述多个槽部连结的连结槽部，

在相邻的所述槽部彼此之间，沿所述长度方向形成有壁部，

所述壁部的至少一部分设在比所述槽部的长度方向的中心更靠近所述振动臂部的前端侧，

所述连结槽部在所述前端侧将相邻的所述槽部彼此连结，

所述连结槽部形成于在所述振动臂部以2次弯曲模式振动时成为所述振动臂部中的所述前端侧的振动节部的部分的附近。

2.如权利要求1所述的压电振动片，其特征在于，所述连结槽部形成于在所述振动臂部以2次弯曲模式振动时成为所述振动臂部中的所述前端侧的振动节部的部分。

3.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，所述连结槽部在所述前端侧的端部将相邻的所述槽部彼此连结。

4.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，所述壁部被所述连结槽部分割成所述基部侧的第1壁部和所述前端侧的第2壁部。

5.如权利要求1或2所述的压电振动片，其特征在于，设在一对所述振动臂部的所述连结槽部彼此通过一对所述振动臂部彼此之间的所述宽度方向的中心，并且，相对于与所述长度方向平行的中心线而线对称地设置。

6.一种压电振动器，其特征在于，具备：

封装件，具有基底部件和盖部件，所述盖部件叠合于所述基底部件而接合并在与所述基底部件之间形成有气密封闭的空腔；以及

权利要求1至5的任一项所述的压电振动片，装配于所述基底部件中的安装面，容纳于所述空腔内。

7.一种振荡器，其特征在于，具备权利要求6所述的压电振动器，所述压电振动器作为振子而与集成电路电连接。

8.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求6所述的压电振动器，所述压电振动器与计时部电连接。

9.一种电波钟表，其特征在于，具备权利要求6所述的压电振动器，所述压电振动器与滤波器部电连接。