JP2015088864A - 圧電振動片、及び圧電振動子 - Google Patents

Abstract

【課題】長さ方向に対して安定に実装できる圧電振動片、及びそのような圧電振動片を備えた圧電振動子を提供する。【解決手段】圧電振動片５０は、基部２９と、先端部とは反対側にある基端部が前記基部に接続された一対の振動腕部２１、２４と、前記基部に接続された複数の支持腕部４０、４１と、それぞれの前記支持腕部に設けられたマウント部１６、１７と、を備えた圧電振動片であって、それぞれの前記マウント部は、前記圧電振動片の重心Ｇ１を通る直線上であって、かつ、前記振動腕部の先端部側と基端部側とに配置されている。【選択図】図４

Description

本発明は、圧電振動片、及び圧電振動子に関する。

近年、携帯電話や携帯情報端末機器には、時刻源や制御信号等のタイミング源、リファレンス信号源等として水晶等を利用した圧電振動子が用いられている。この種の圧電振動子は、様々なものが知られており、例えば、その１つとして、一対の振動腕部の端部を連結する基部から、振動腕部の外側に振動腕部と同じ方向に延びる一対の支持腕部を備えた圧電振動片を有するものがある（例えば、特許文献１参照）。

特開２００９−１６９８８号公報

上記のような圧電振動片では、マウント部が圧電振動片の幅方向に振動腕部を挟んで設けられているため、パッケージに実装した際に、圧電振動片の長さ方向に対して不安定となる場合があった。そのため、衝撃等を受けた際に、圧電振動片が傾き、圧電振動片とパッケージとが接触してしまう虞があった。

本発明の一つの態様は、上記問題点に鑑みて成されたものであって、長さ方向に対して安定に実装できる圧電振動片、及びそのような圧電振動片を備えた圧電振動子を提供することを目的の一つとする。

本発明の圧電振動片の一つの態様は、基部と、先端部とは反対側にある基端部が前記基部に接続された一対の振動腕部と、前記基部に接続された複数の支持腕部と、それぞれの前記支持腕部に設けられたマウント部と、を備えた圧電振動片であって、それぞれの前記マウント部は、前記圧電振動片の重心を通る直線上であって、かつ、前記振動腕部の先端部側と基端部側とに配置されている。

また、それぞれの前記マウント部は、前記振動腕部の長さ方向に前記重心を挟んで配置されていてもよい。

また、前記支持腕部が折れ曲がり部を有しており、前記折れ曲がり部よりも先端側に前記マウント部が形成されていてもよい。

また、前記マウント部は、前記振動腕部の幅方向において、前記一対の振動腕部の間に位置してもよい。

また、複数の前記マウント部は、それぞれから前記重心までの直線距離が略等しくなるように配置されていてもよい。

また、前記基部又は前記支持腕部のうちの少なくとも一方には、切欠き部が形成されていてもよい。

本発明の圧電振動子の一つの態様は、ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、前記マウント部において前記ベース部材にマウントされ、前記キャビティ内に収容されていてもよい。

本発明の一つの態様によれば、長さ方向に対して安定に実装できる圧電振動片、及びそのような圧電振動片を備えた圧電振動子が提供される。

第１実施形態の圧電振動子を示す分解斜視図である。 第１実施形態の圧電振動子を示す平面図である。 第１実施形態の圧電振動子を示す図であって、図２におけるIII−III断面図である。 第１実施形態の圧電振動片を示す平面図である。 第１実施形態の圧電振動片を示す図であって、図４におけるV−V断面図である。 第２実施形態の圧電振動片を示す平面図である。 発振器の実施形態の一例を示す図である。 電子機器の実施形態の一例を示す図である。 電波時計の実施形態の一例を示す図である。

以下、図を参照しながら、本発明の実施形態に係る圧電振動片、及び圧電振動子について説明する。
なお、本発明の範囲は、以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意に変更可能である。また、以下の図面においては、各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等を異ならせる場合がある。

（第１実施形態）
［圧電振動子］
図１から図３は、本実施形態の圧電振動子１を示す図である。図１は、分解斜視図である。図２は、平面図である。図３は、図２におけるIII−III断面図である。図２においては、封口板４の図示を省略している。
本実施形態の圧電振動子１は、図１に示すように、外形が略直方体状のいわゆるセラミックパッケージタイプの表面実装型振動子である。圧電振動子１は、気密に封止されたキャビティＣを有するパッケージ２と、キャビティＣに収容された圧電振動片５０とを備える。

なお、以下の説明においては、ＸＹＺ軸を設定し、このＸＹＺ座標系を参照しつつ各部材の位置関係を説明する。この際、圧電振動片５０（図１参照）の厚み方向と平行な方向をＺ軸方向、Ｚ軸方向と垂直で、圧電振動子１（図１参照）の長さ方向と平行な方向をＸ軸方向、Ｚ軸方向及びＸ軸方向と垂直で、圧電振動子１の幅方向と平行な方向をＹ軸方向とする。

パッケージ２は、図１に示すように、パッケージ本体（ベース部材）３と、封口板（リッド部材）４とを備える。パッケージ本体３は、有底の凹部３ａを有する部材である。凹部３ａは、後述するシールリング１２の内側面１２ａと、後述する第２ベース基板１１上に形成された貫通孔１１ａの内側面と、後述する第１ベース基板１０の上面１０ａとで構成されている。

封口板４は、パッケージ本体３の凹部３ａの開口を塞いでおり、パッケージ本体３と接合されている。キャビティＣは、パッケージ本体３の凹部３ａの内側に相当する内部空間であり、パッケージ本体３と封口板４とによって、パッケージ２の外部と仕切られている。

パッケージ本体３は、第１ベース基板１０と、第１ベース基板１０上に配置された第２ベース基板１１と、第２ベース基板１１上に配置されたシールリング１２とを含む。

第１ベース基板１０と第２ベース基板１１とは、それぞれ、平面視（ＸＹ面視）において外形が概ね長方形の板状部材である。第２ベース基板１１は、平面視（ＸＹ面視）において外形寸法が第１ベース基板１０とほぼ同じである。

第１ベース基板１０と第２ベース基板１１とは、それぞれ、セラミックス製である。第１ベース基板１０と第２ベース基板１１との形成材料は、例えば、アルミナを主成分とする高温焼成セラミックス（ＨＴＣＣ：Ｈｉｇｈ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）であってもよいし、ガラスセラミックス等の低温焼成セラミックス（ＬＴＣＣ：Ｌｏｗ Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ Ｃｏ−Ｆｉｒｅｄ Ｃｅｒａｍｉｃ）であってもよい。

第１ベース基板１０において、第２ベース基板１１側（＋Ｚ側）の上面１０ａの一部は、パッケージ本体３の凹部３ａの底面に相当する。
第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０に重ねられており、第１ベース基板１０と焼結などで結合されている。すなわち、第２ベース基板１１は、第１ベース基板１０と一体化されている。

第２ベース基板１１には、図１及び図３に示すように、貫通孔１１ａが形成されている。貫通孔１１ａの内側面は、パッケージ本体３の凹部３ａの側壁の一部を構成している。貫通孔１１ａの長さ方向の一方側（＋Ｘ側）の内側面には、貫通孔１１ａに突出して実装部６０が設けられている。貫通孔１１ａの長さ方向の他方側（−Ｘ側）の内側面には、貫通孔１１ａに突出して実装部６１が設けられている。実装部６０と実装部６１とは、互いに対向して設けられている。貫通孔１１ａの平面視（ＸＹ面視）形状は、矩形から実装部６０，６１の平面視（ＸＹ面視）形状を除いた形状である。

実装部６０，６１のシールリング１２側（＋Ｚ側）の面は、圧電振動片５０がマウントされる実装面６０ａ，６１ａである。実装面６０ａには、電極パッド１４が設けられている。実装面６１ａには、電極パッド１５が設けられている。実装部６０，６１の平面視（ＸＹ面視）形状は、本実施形態においては、例えば、矩形状である。実装部６０，６１は図２及び図３に示すように、電極パッド１４，１５を介して圧電振動片５０と接触する。

電極パッド１４と電極パッド１５とは、圧電振動片５０と電気的に接続される一対の端子である。電極パッド１４及び電極パッド１５は、例えば、バンプ電極である。
詳しくは後述するが、圧電振動片５０には、基板実装用のマウント部１６及びマウント部１７が設けられている。電極パッド１４は、圧電振動片５０のマウント部１６に形成されたマウント電極と電気的に接続され、電極パッド１５は、圧電振動片５０のマウント部１７に形成されたマウント電極と電気的に接続される。

シールリング１２は、平面視（ＸＹ面視）で矩形状の枠状部材であり、パッケージ本体３の凹部３ａの側壁の一部を構成する。シールリング１２は、平面視（ＸＹ面視）における外形寸法が、第２ベース基板１１よりも一回り小さい。シールリング１２は、銀ロウ等のロウ材や半田材等を用いた焼付けによって、第２ベース基板１１のシールリング１２側（＋Ｚ側）の面（以下、第２ベース基板１１の上面）に接合されている。シールリング１２は、第２ベース基板１１の上面に形成された金属接合層に対する溶着等によって、第２ベース基板１１の上面と接合されていてもよい。この金属接合層は、電解メッキ法、無電解メッキ法、蒸着法、スパッタ法の少なくとも１つを用いて形成されていてもよい。

シールリング１２は、導電性の部材であり、例えば、ニッケル基合金を含む。このニッケル基合金は、コバール、エリンバー、インバー、４２−アロイのうち１種または２種以上を含んでいてもよい。シールリング１２の形成材料は、第１ベース基板１０及び第２ベース基板１１と熱膨張係数が近い材料から選択されていてもよい。例えば、第１ベース基板１０及び第２ベース基板１１の形成材料として、熱膨張係数が６．８×１０^-6／℃のアルミナを用いる場合には、シールリング１２の形成材料は、熱膨張係数が５．２×１０^-6／℃のコバールであってもよいし、熱膨張係数が４．５〜６．５×１０^-6／℃の４２−アロイであってもよい。

シールリング１２の内形は、実装部６０，６１が形成されている箇所を除いて、貫通孔１１ａと平面視（ＸＹ面視）で重なっている。

封口板４は、シールリング１２上に重ねられており、シールリング１２の開口（凹部３ａの開口）を塞いでいる。上述のキャビティＣは、第１ベース基板１０と第２ベース基板１１とシールリング１２と封口板４とに囲まれる空間である。すなわち、圧電振動片５０は、平面視（ＸＹ面視）で、シールリング１２の内側に収容されている。

封口板４は、導電性の基板であり、シールリング１２と接合されている。シールリング１２は、例えば、ローラ電極を接触させることによるシーム溶接、レーザ溶接、超音波溶接などの溶接によって、封口板４と接合される。封口板４とシールリング１２とを溶接する場合に、封口板４の下面（−Ｚ側の面）とシールリング１２の上面（＋Ｚ側の面）との一方または双方にニッケル、金等の接合層が設けられていると、溶接による接合の信頼性が向上し、例えば、キャビティＣの気密性を確保しやすくなる。

第１ベース基板１０の下方側（−Ｚ側）の面には、外部電極１８及び外部電極１９が設けられている。
外部電極１８及び外部電極１９は、圧電振動子１の外部のデバイス、例えば、圧電振動子１が実装されるデバイスからの電力の供給を受ける端子である。

パッケージ本体３には、電極パッド１４と外部電極１８とを電気的に接続する第１配線（図示せず）と、電極パッド１５と外部電極１９とを電気的に接続する第２配線（図示せず）とが設けられている。すなわち、外部電極１８に印加された電位は、第１配線及び電極パッド１４を介して、圧電振動片５０のマウント部１６に形成されたマウント電極に印加される。また、外部電極１９に印加された電位は、第２配線及び電極パッド１５を介して、圧電振動片５０のマウント部１７に形成されたマウント電極に印加される。圧電振動片５０は、各マウント電極に供給される電力によって、振動する。

なお、第１配線は、例えば、第１ベース基板１０を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して外部電極１８と導通する第１貫通電極と、第２ベース基板１１を厚み方向（Ｚ軸方向）に貫通して電極パッド１４と導通する第２貫通電極と、第１ベース基板１０と第２ベース基板との間に設けられ、第１貫通電極と第２貫通電極とを電気的に接続する接続配線とを含む。電極パッド１５と外部電極１９とを電気的に接続する第２配線は、第１配線と同様の構成である。第１配線と第２配線の構成は、適宜変更できる。

［圧電振動片］
次に、本実施形態の圧電振動片５０について説明する。
図４及び図５は、本実施形態の圧電振動片５０を示す図である。図４は、平面図（ＸＹ面図）である。図５は、図４におけるV−V断面図である。
圧電振動片５０は、水晶、タンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム等の圧電体に、電極あるいは配線として機能する導電膜パターンなどの付帯物が形成された板状の部品である。本実施形態の圧電振動片５０は、いわゆるサイドアーム型の圧電振動片である。

圧電振動片５０は、図４に示すように、基部２９と、基部２９に接続され、幅方向（Ｙ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部２０（振動腕部２１，２４）と、基部２９における振動腕部２０の幅方向（Ｙ軸方向）の両側に接続された２つの支持腕部４０，４１と、支持腕部４０，４１に設けられた２つのマウント部１６，１７とを備える。本実施形態において、基部２９、一対の振動腕部２０及び支持腕部４０，４１とは、一体的に形成されており、隣接する各部が界面なく連続している。図４においては、各部の範囲を示すために、各部の基端あるいは先端を２点鎖線で示している。

基部２９は、支持腕部４０，４１と振動腕部２０（振動腕部２１，２４）とを接続している。
基部２９は、図４に示すように、一つの折れ曲がり部を有して振動腕部２０の幅方向（Ｙ軸方向）に延びている。この折れ曲がり部の角度は略９０°とする。また、基部２９の振動腕部２０が接続されている側とは逆側（−Ｘ側）における、基部２９の長さ方向（Ｙ軸方向）の中央には、切欠き部２９ａが形成されている。切欠き部２９ａは、基部２９の長さ方向（Ｙ軸方向）において、振動腕部２１と振動腕部２４との間となるように形成されている。切欠き部２９ａは、マウント部１６とほぼ同心で、径がマウント部１６よりも大きい円弧形状の切欠きである。基部２９の平面視（ＸＹ面視）形状は、矩形から切欠き部２９ａの平面視（ＸＹ面視）形状を除いた形状である。なお、切欠き部は基部２９のみならず、支持腕部４０、４１に形成されていてもよい。すなわち、基部２９又は支持腕部４０、４１のうちの少なくとも一方に形成されていればよい。これにより、振動腕部２０、２１で生じた振動を切欠き部２９ａで減衰させることができ、所謂「振動漏れ」の課題を低減することができる。

基部２９の切欠き部２９ａが形成されている側と逆側（＋Ｘ側）には、振動腕部２１，２４が接続されている。基部２９の振動腕部２０が接続されている側と逆側（−Ｘ側）における図示上側（＋Ｙ側）の端部には、支持腕部４０が接続されている。基部２９の振動腕部２０が接続されている側（＋Ｘ側）における図示下側（−Ｙ側）の端部には、支持腕部４１が接続されている。

一対の振動腕部２０は、図４に示すように、振動腕部２１と振動腕部２４とを含む。
振動腕部２１，２４は、それぞれ長さ方向の一方側（−Ｘ側）の端部で基部２９と接続されている。振動腕部２１と振動腕部２４とは、圧電振動片５０の重心Ｇ１を通り、長さ方向（Ｘ軸方向）に平行な直線Ｍ１に対して、線対称に設けられている。すなわち、直線Ｍ１は、振動腕部２１と振動腕部２４との幅方向（Ｙ軸方向）の中心を通り、振動腕部２１，２４の長さ方向（Ｘ軸方向）に平行な中心線と同一線上に位置する。振動腕部２１と振動腕部２４とは、形状及び寸法が同一であるため、以下の説明においては、代表して、振動腕部２１についてのみ説明する場合がある。

振動腕部２１は、略均一な幅で直線的に延びる帯状部２２と、幅（Ｙ軸方向長さ）が帯状部２２よりも広いハンマー部２３とを備える。同様にして、振動腕部２４は、帯状部２５と、ハンマー部２６とを備える。

振動腕部２１の帯状部２２は、基部２９から圧電振動子１の長さ方向（Ｘ軸方向）に沿って、後述する支持腕部４１の連結辺部４１ａと同じ側（＋Ｘ側）に直線的に延びている。すなわち、帯状部２２（振動腕部２１）の長さ方向は、圧電振動子１の長さ方向（Ｘ軸方向）とほぼ平行であり、支持腕部４１の連結辺部４１ａの長さ方向（Ｘ軸方向）ともほぼ平行である。

帯状部２２には、溝部２７が形成されている。溝部２７は、振動腕部２１の長さ方向（Ｘ軸方向）とほぼ平行に延びている。溝部２７は、図４に示すように、圧電振動片５０の表面（＋Ｚ側の面）５０ａ及び裏面（−Ｚ側の面）５０ｂに形成されており、その深さ方向が圧電振動片５０の厚さ方向（Ｚ軸方向）とほぼ平行である。同様にして、振動腕部２４の帯状部２５には、溝部２８が形成されている。

ハンマー部２３は、帯状部２２における基部２９と接続されている側と逆側（＋Ｘ側）の端部に設けられている。同様にして、ハンマー部２６は、帯状部２５における基部２９と接続されている側と逆側（＋Ｘ側）の端部に設けられている。

振動腕部２１の表面には、図５に示すように、励振電極３２と、励振電極３３とが形成されている。
励振電極３２は、溝部２７における振動腕部２１の表面と、溝部２７の周囲における振動腕部２１の表面とに連続して形成されている。励振電極３２は、基部２９と支持腕部４０とに設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１６に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。すなわち、励振電極３２は、図１に示した外部電極１８と電気的に接続されている。

励振電極３３は、励振電極３２と不連続に形成されており、励振電極３２と絶縁である。励振電極３３は、振動腕部２１のうち、圧電振動片５０の表面５０ａと、圧電振動片５０の表面５０ａと交差する側面（Ｙ軸方向に垂直な面）と、圧電振動片５０の裏面５０ｂとに連続して形成されている。
励振電極３３は、基部２９と支持腕部４１とに設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１７に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。すなわち、励振電極３３は、図１に示した外部電極１９と電気的に接続されている。

励振電極３２及び励振電極３３は、外部電極１８及び外部電極１９から電力の供給を受けて、振動腕部２１を構成する圧電体に電界を印加する。振動腕部２１は、励振電極３２及び励振電極３３から電界が印加されると、後述する支持腕部４１の連結辺部４１ａに近づく向きと離れる向きとに、基部２９との接続端を起点として振動する（図４参照）。

振動腕部２４の表面には、図５に示すように、励振電極３４と、励振電極３５とが形成されている。
励振電極３４は、振動腕部２１における励振電極３３に対応する位置に形成されている。励振電極３４は、基部２９と支持腕部４０とに設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１６に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。

励振電極３５は、振動腕部２１における励振電極３２に対応する位置に形成されている。励振電極３５は、基部２９と支持腕部４１とに設けられた引き出し電極（図示せず）を介して、後述するマウント部１７に形成されたマウント電極と電気的に接続されている。

振動腕部２４は、振動腕部２１と同様に、外部電極１８及び外部電極１９から供給される電力によって、励振電極３２及び励振電極３３から振動腕部を構成する圧電体に電界が印加され、後述する支持腕部４１の連結辺部４１ａに近づく向きと離れる向きとに、基部２９との接続端を起点として振動する。

支持腕部４０は、図４に示すように、連結辺部４０ａと、接続辺部４０ｂと、マウント辺部４０ｃとを備える。
連結辺部４０ａは、基部２９の振動腕部２０が接続されている側とは逆側（−Ｘ側）における図示上側（＋Ｙ側）の端部から振動腕部２０が延びる向きと逆向き（−Ｘ向き）に延びている。

接続辺部４０ｂは、連結辺部４０ａの延びている側（−Ｘ側）の端部から、圧電振動片５０の幅方向における振動腕部２０側（図示下側，−Ｙ側）に延びている。接続辺部４０ｂは、基部２９の長さ方向（Ｙ軸方向）の中央まで延びている。接続辺部４０ｂは、連結辺部４０ａとマウント辺部４０ｃとを接続している。

マウント辺部４０ｃは、接続辺部４０ｂの延びている側（−Ｙ側）の端部に設けられている。すなわち、マウント辺部４０ｃは、圧電振動片５０の幅方向（Ｙ軸方向）の位置が、基部２９の長さ方向（Ｙ軸方向）の中央となるように設けられている。マウント辺部４０ｃの裏面５０ｂ側（−Ｚ側）には、マウント部（第２マウント部）１６が設けられている。
マウント辺部４０ｃの平面視（ＸＹ面視）形状は、ほぼ円形状である。マウント辺部４０ｃの直径は、接続辺部４０ｂの幅よりも大きい。マウント辺部４０ｃの外形は、基部２９に形成された切欠き部２９ａの外形に沿っている。

支持腕部４１は、連結辺部４１ａと、接続辺部４１ｂと、マウント辺部４１ｃとを備える。
連結辺部４１ａは、基部２９の振動腕部２０が接続されている側（＋Ｘ側）における図示下側（−Ｙ側）の端部から、振動腕部２０が延びる向きと同じ向き（＋Ｘ向き）に、振動腕部２０よりも長く延びている。

接続辺部４１ｂは、連結辺部４１ａの延びている側（＋Ｘ側）の端部から、圧電振動片５０の幅方向における振動腕部２０側（図示上側，＋Ｙ側）に延びている。接続辺部４１ｂは、圧電振動片５０の幅方向（Ｙ軸方向）における、振動腕部２１のハンマー部２３と振動腕部２４のハンマー部２６との隙間７０の位置まで延びている。接続辺部４１ｂは、連結辺部４１ａとマウント辺部４１ｃとを接続している。

マウント辺部４１ｃは、接続辺部４１ｂの延びている側（＋Ｙ側）の端部に設けられている。すなわち、マウント辺部４１ｃは、圧電振動片５０の幅方向（Ｙ軸方向）の位置が、隙間７０の幅方向（Ｙ軸方向）の範囲内に含まれるように設けられている。マウント辺部４１ｃの裏面５０ｂ側（−Ｚ側）には、マウント部（第１マウント部）１７が設けられている。
マウント辺部４１ｃの平面視（ＸＹ面視）形状は、ほぼ円形状である。マウント辺部４１ｃの直径は、接続辺部４１ｂの幅よりも大きい。

支持腕部４０の接続辺部４０ｂの幅Ｗ１は、支持腕部４１の接続辺部４１ｂの幅Ｗ２よりも大きい。これにより、本実施形態においては、接続辺部４０ｂと接続辺部４１ｂとの質量を調整し、圧電振動片５０のうち、直線Ｍ１よりも図示上側（＋Ｙ側）の質量と、直線Ｍ１よりも図示下側（−Ｙ側）の質量とが同一となるように設定している。すなわち、本実施形態では、圧電振動片５０の重心Ｇ１が、振動腕部２１と振動腕部２４との幅方向（Ｙ軸方向）の中心線上に位置するように設定されている。

マウント部１６，１７は、図２及び図３に示すように、電極パッド１４，１５を介して第２ベース基板１１の実装部６０，６１と接触する部分である。本実施形態においては、マウント部１６，１７を平面視（ＸＹ面視）形状が円形状として表しているが、これに限られず、例えば、矩形状であっても、他の形状（例えば、多角形状）であってもよい。

マウント部（第２マウント部）１６は、支持腕部４０のマウント辺部４０ｃの裏面５０ｂ側（−Ｚ側）に設けられている。すなわち、マウント部１６は、圧電振動片５０の長さ方向（Ｙ軸方向）において、基部２９の中央となるように設けられている。圧電振動片５０の幅方向（Ｙ軸方向）において、マウント部１６の位置は、基部２９における切欠き部２９ａが形成されている位置、言い換えると、振動腕部２１と振動腕部２４との間の位置である。

マウント部１６には、マウント電極（図示せず）が形成されている。マウント部１６に形成されたマウント電極は、図１に示した電極パッド１４と電気的に接続される。例えば、図３に示すように、マウント部１６が電極パッド１４と導電性接着剤（図示せず）を介して接触することで、マウント部１６に形成されたマウント電極は、電極パッド１４と導通する。

マウント部（第１マウント部）１７は、図４に示すように、支持腕部４１のマウント辺部４１ｃの裏面５０ｂ側（−Ｚ側）に設けられている。すなわち、マウント部１７は、振動腕部２０に対して、振動腕部２０の基部２９と接続されている側と逆側（＋Ｘ側）で、かつ、振動腕部２０の幅方向（Ｙ軸方向）における振動腕部２１と振動腕部２４との間に設けられている。

マウント部１７には、マウント部１６と同様にして、マウント電極（図示せず）が形成されている。マウント部１７に形成されたマウント電極は、マウント部１６と同様にして、電極パッド１５と電気的に接続される。

マウント部１６とマウント部１７とは、圧電振動片５０の重心Ｇ１を通る一つの直線Ｍ１上で、かつ、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）に重心Ｇ１を挟んで設けられている。言い換えると、直線Ｍ１は、重心Ｇ１と、マウント部１６と、マウント部１７とを通る直線である。直線Ｍ１は、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）とほぼ平行である。

また、マウント部１６とマウント部１７とは、振動腕部２０を、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）に挟んで設けられている。
マウント部１６から重心Ｇ１までの直線距離Ｌ１と、マウント部１７から重心Ｇ１までの直線距離Ｌ２とは、同一の大きさに設定されている。

ここで、本明細書において「同一」であるとは、正確に同一でなくてもよく、例えば、直線距離Ｌ１と直線距離Ｌ２との比が０．９以上、１．１以下程度の比率である範囲を含むものとする。他の種々の寸法についても同様である。

本実施形態によれば、マウント部１６とマウント部１７とが、圧電振動片５０の重心Ｇ１を通る直線Ｍ１上で、かつ、圧電振動片５０の長さ方向（Ｘ軸方向）に重心Ｇ１を挟んで設けられている。そのため、圧電振動片５０をマウント部１６，１７において実装した際に、重心Ｇ１の一方側にのみマウント部１６，１７を配置した場合と比較して圧電振動片５０の傾きが小さくなり、圧電振動片５０を長さ方向に安定して実装することが可能である。これにより、本実施形態によれば、衝撃を受ける等した際に、圧電振動片５０がパッケージ２に接触することを抑制できる圧電振動子が得られる。

また、本実施形態によれば、マウント部１６とマウント部１７とが、振動腕部２０を長さ方向（Ｘ軸方向）に挟んで設けられているため、圧電振動片５０をより安定して実装することができる。また、支持腕部４０、４１が折れ曲がり部を有していたり、折れ曲がった後に振動腕部２１、２４の幅方向における中間地点まで延びていることにより、振動腕部２１、２４で生じた振動を支持腕部４０、４１において減衰させることができる。よって所謂「振動漏れ」の現象を抑えることが可能になる。

マウント部と電極パッドとを導電性接着剤によって接着して、圧電振動片を実装する場合においては、マウント部と電極パッドとの間から導電性接着剤が漏れ、電極パッドの周囲に広がって固まる場合がある。このような場合において、マウント部と振動腕部との距離が近いと、圧電振動子に衝撃が加えられ、圧電振動片（主として、振動腕部）が圧電振動子の厚み方向に振動した際に、圧電振動片と漏れて固まった導電性接着剤とが接触してしまう虞があった。

これに対して、本実施形態によれば、マウント部１７は、長さ方向（Ｙ軸方向）の位置が、振動腕部２１，２４の隙間７０に位置するように設けられているため、マウント部１７を振動腕部２０に近い位置に設けた場合であっても、漏れた導電性接着剤は、隙間７０に広がる。これにより、本実施形態によれば、衝撃等により、圧電振動片５０の振動腕部２０が圧電振動子１の厚み方向（Ｚ軸方向）に振動した場合に、振動腕部２０が漏れて固まった導電性接着剤と接触することを抑制できる。また、隙間７０により、本実施形態によれば、振動腕部２１，２４が実装部６１と接触することを抑制できる。

また、本実施形態によれば、基部２９のマウント部１６側（−Ｘ側）における長さ方向（Ｙ軸方向）の中央、すなわち、マウント部１６の位置には、切欠き部２９ａが形成されている。これにより、上記と同様に、マウント部１６を基部２９に近い位置に設けた場合であっても、漏れた導電性接着剤は、切欠き部２９ａに広がる。これにより、本実施形態によれば、衝撃等により、圧電振動片５０の基部２９が圧電振動子１の厚み方向（Ｚ軸方向）に振動した場合に、基部２９が漏れて固まった導電性接着剤と接触することを抑制できる。また、切欠き部２９ａにより、本実施形態によれば、基部２９が実装部６０と接触することを抑制できる。

また、本実施形態によれば、上記のようにして、マウント部１６，１７をそれぞれ基部２９，振動腕部２０に近い位置に設けることができるため、圧電振動片５０を小型化することができる。

また、本実施形態によれば、マウント部１７は、振動腕部２０に対して、振動腕部２０が基部２９と接続されている側と逆側（＋Ｘ側）に配置されているため、圧電振動片５０上を、振動腕部２０から基部２９を介してマウント部１７までを辿る距離を大きくすることができる。これにより、本実施形態によれば、振動腕部２０の振動が、マウント部１７に伝わるまでの間に減衰され、パッケージ２に振動が漏れることを抑制できる。

また、本実施形態によれば、マウント部１６から重心Ｇ１までの直線距離Ｌ１と、マウント部１７から重心Ｇ１までの直線距離Ｌ２とが同一に設定されているため、圧電振動片５０をより安定してパッケージ２に実装することができる。

また、本実施形態によれば、重心Ｇ１とマウント部１６，１７とを通る直線Ｍ１は、幅方向（Ｙ軸方向）における振動腕部２１と振動腕部２４との中心線と同一線上に位置しているため、圧電振動片５０をより安定して実装できる。

また、実設計上においては、パッケージ２における凹部３ａの内側面と圧電振動片５０とのクリアランスは、幅方向（Ｙ軸方向）に対して、長さ方向（Ｘ軸方向）の方が大きい。本実施形態によれば、振動腕部２０を、クリアランスが大きい長さ方向（Ｘ軸方向）に挟んで、マウント部１６，１７が設けられているため、パッケージ２内、より詳細には、電極パッド１４，１５に導電性接着剤を塗布することが容易である。

なお、本実施形態においては、下記の構成を採用することもできる。

上記説明した本実施形態においては、直線Ｍ１は、振動腕部２１と振動腕部２４との幅方向（Ｙ軸方向）の中心線と同一線上に位置するように設定されているが、これに限られない。本実施形態においては、例えば、直線Ｍ１が振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）に対して斜めになるように設定されていてもよい。言い換えると、本実施形態においては、マウント部１６，１７がそれぞれ、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）に離間して設けられると共に、振動腕部２０の幅方向（Ｙ軸方向）に離間して設けられていてもよい。

また、本実施形態においては、例えば、直線Ｍ１が、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）とほぼ平行で、かつ、振動腕部２０を幅方向（Ｙ軸方向）に挟んだ両側のうちいずれか一方側に位置するように設定してもよい。すなわち、本実施形態においては、マウント部１６，１７における振動腕部２０の幅方向（Ｙ軸方向）の位置が、振動腕部２１と振動腕部２４との間とならないように配置してもよい。

本実施形態においては、切欠き部２９ａは、形成されていなくてもよい。

本実施形態においては、支持腕部４０と支持腕部４１とは、基部２９の長さ方向（Ｙ軸方向）における同じ側の端部に接続されていてもよい。

（第２実施形態）
次に、第２実施形態の圧電振動片について説明する。
第２実施形態の圧電振動片は、第１実施形態の圧電振動片５０に対して、支持腕部の両端がそれぞれ基部と接続されている点において異なる。

図６は、本実施形態の圧電振動片１５０を示す平面図である。
なお、以下の説明においては、上記実施形態と同様の構成については、適宜同一の符号を付す等により説明を省略する場合がある。

本実施形態の圧電振動片１５０は、図６に示すように、基部２９と、基部２９に接続され、幅方向（Ｙ軸方向）に並んで配置された一対の振動腕部２０（振動腕部２１，２４）と、基部２９における振動腕部２０の幅方向（Ｙ軸方向）の両側に接続された２つの支持腕部１４０，１４１と、支持腕部１４０，１４１に設けられた２つのマウント部１１６，１１７とを備える。本実施形態において、基部２９、一対の振動腕部２０及び支持腕部１４０，１４１とは、一体的に形成されており、隣接する各部が界面なく連続している。図６においては、各部の範囲を示すために、各部の基端あるいは先端を２点鎖線で示している。
また、本実施形態においては、圧電振動片１５０は、圧電振動片１５０の重心Ｇ２と、マウント部１１６，１１７とを通り、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）と平行な直線Ｍ２に対して、線対称となっている。

支持腕部１４０は、連結辺部１４０ａ，１４０ｂと、接続辺部１４０ｃと、マウント辺部１４０ｄとを備える。支持腕部１４０の表面１５０ａ側（＋Ｚ側）、及び支持腕部１４０の裏面１５０ｂ側（−Ｚ側）には、引き出し電極（図示せず）が形成されている。
連結辺部１４０ａは、基部２９の振動腕部２０が接続されている側とは逆側（−Ｘ側）における図示上側（＋Ｙ側）の端部から振動腕部２０が延びる向きと逆向き（−Ｘ向き）に延びている。
連結辺部１４０ｂは、基部２９の振動腕部２０が接続されている側とは逆側（−Ｘ側）における図示下側（−Ｙ側）の端部から振動腕部２０が延びる向きと逆向き（−Ｘ向き）に延びている。

接続辺部１４０ｃは、圧電振動片５０の幅方向（Ｙ軸方向）に沿って延びて形成されている。接続辺部１４０ｃは、連結辺部１４０ａの延びている側（−Ｘ側）の端部と、連結辺部１４０ｂの延びている側（−Ｘ側）の端部とを接続している。

マウント辺部１４０ｄは、接続辺部１４０ｃの長さ方向（Ｙ軸方向）の中央に設けられている。すなわち、マウント辺部１４０ｄは、圧電振動片５０の幅方向（Ｙ軸方向）の位置が、基部２９の長さ方向（Ｙ軸方向）の中央となるように設けられている。マウント辺部１４０ｄの裏面１５０ｂ側（−Ｚ側）には、マウント部（第２マウント部）１１６が設けられている。
マウント辺部１４０ｄの平面視（ＸＹ面視）における外形は、基部２９に形成された切欠き部２９ａの外形に沿っている。

支持腕部１４１は、連結辺部１４１ａ，１４１ｂと、接続辺部１４１ｃと、マウント辺部１４１ｄとを備える。支持腕部１４１の表面１５０ａ側（＋Ｚ側）、及び支持腕部１４１の裏面１５０ｂ側（−Ｚ側）には、引き出し電極（図示せず）が形成されている。
連結辺部１４１ａは、基部２９の振動腕部２０が接続されている側（＋Ｘ側）における図示上側（＋Ｙ側）の端部から、振動腕部２０が延びる向きと同じ向き（＋Ｘ向き）に、振動腕部２０よりも長く延びている。
連結辺部１４１ｂは、基部２９の振動腕部２０が接続されている側（＋Ｘ側）における図示下側（−Ｙ側）の端部から、振動腕部２０が延びる向きと同じ向き（＋Ｘ向き）に、振動腕部２０よりも長く延びている。

接続辺部１４１ｃは、圧電振動片１５０の幅方向（Ｙ軸方向）に沿って延びて形成されている。接続辺部１４１ｃは、連結辺部１４１ａの延びている側（＋Ｘ側）の端部と、連結辺部１４１ｂの延びている側（＋Ｘ側）の端部とを接続している。

マウント辺部１４１ｄは、接続辺部１４１ｃの長さ方向（Ｙ軸方向）の中央に設けられている。マウント辺部１４１ｄは、圧電振動片１５０の幅方向（Ｙ軸方向）の位置が、振動腕部２１と振動腕部２４との隙間７０に位置するように設けられている。マウント辺部１４１ｄの裏面１５０ｂ側（−Ｚ側）には、マウント部（第１マウント部）１１７が設けられている。

マウント部１１６とマウント部１１７とは、圧電振動片１５０の重心Ｇ２を通る一つの直線Ｍ２上で、かつ、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）に重心Ｇ２を挟んで設けられている。言い換えると、直線Ｍ２は、重心Ｇ２と、マウント部１１６と、マウント部１１７とを通る直線である。

また、マウント部１１６とマウント部１１７とは、振動腕部２０を、振動腕部２０の長さ方向（Ｘ軸方向）に挟んで設けられている。
マウント部１１６から重心Ｇ２までの直線距離Ｌ３と、マウント部１１７から重心Ｇ２までの直線距離Ｌ４とは、同一の大きさに設定されている。

本実施形態によれば、第１実施形態と同様にして、安定して実装することが可能な圧電振動片が得られる。

また、本実施形態によれば、直線Ｍ２に対して、圧電振動片１５０の平面視（ＸＹ面視）形状が線対称に設けられているため、重心Ｇ２を一対の振動腕部２０の間となるように設定することが容易である。

（圧電振動子を備える機器の実施形態）
［発振器］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の発振器について説明する。
図７は、本実施形態の発振器１０００を示す図である。
発振器１０００は、基板１０１０と、集積回路１０２０と、電子部品１０３０と、圧電振動子１とを備える。
電子部品１０３０は、例えば、キャパシタなどであり、基板１０１０に実装されている。集積回路１０２０は、発振器用であり、基板１０１０に実装されている。

集積回路１０２０は、圧電振動子１と電子部品１０３０とのそれぞれと、図示略の配線を介して電気的に接続されている。圧電振動子１は、例えば、基板１０１０において集積回路１０２０の近傍に実装される。圧電振動子１は、図１などを参照して上記説明した実施形態の圧電振動子であり、発振子として機能する。発振器１０００の少なくとも一部は、適宜、図示しない樹脂によりモールドされていてもよい。

発振器１０００は、圧電振動子１に電力が供給されると、圧電振動子１の圧電振動片が振動する。圧電振動片の振動は、圧電振動片が有する圧電特性により、電気信号へ変換される。この電気信号は、圧電振動子１から集積回路１０２０へ出力される。集積回路１０２０は、圧電振動子１から出力された電気信号に各種処理を実行することで、周波数信号を生成する。

発振器１０００は、例えば、時計用の単機能発振器、コンピューターなどの各種装置の動作タイミングを制御するタイミング制御装置、時刻あるいはカレンダーなどを提供する装置などに応用できる。集積回路１０２０は、発振器１０００に要求される機能に応じて構成され、いわゆるＲＴＣ（リアルタイムクロック）モジュールを含んでいてもよい。

本実施形態によれば、圧電振動子１を備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた発振器１０００が得られる。

［電子機器］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の電子機器の一つの形態として、携帯情報機器について説明する。
この携帯情報機器は、腕時計のような形態であり、一般的な携帯電話よりも格段に小型かつ軽量であるが、携帯電話と同様の通信が可能である。この携帯情報機器は、文字盤に相当する部分に液晶ディスプレイなどの表示部が配置されており、表示部に時刻情報などを表示可能である。また、この携帯情報機器は、バンドの内側部分にスピーカ、マイクロフォンなどの入出力部が設けられており、入出力部を利用して通話などが可能である。

図８は、本実施形態の携帯情報機器１１００の一例を示す図である。
図８に示す携帯情報機器１１００は、計時部１１１０と、表示部１１２０と、通信部１１３０と、制御部１１４０と、電源部１１５０と、電圧検出部１１６０と、電源遮断部１１７０とを備える。

制御部１１４０は、携帯情報機器１１００の各部を総括的に制御する。例えば、制御部１１４０は、計時部１１１０による時刻の計測、表示部１１２０による情報の表示、通信部１１３０による外部との通信などを制御する。制御部１１４０は、例えば、予めプログラムが書き込まれたＲＯＭと、このＲＯＭに書き込まれたプログラムを読み出し、このプログラムに従って各種処理を実行するＣＰＵと、このＣＰＵのワークエリアとして使用されるＲＡＭとを含む。

計時部１１１０は、集積回路と、圧電振動子１とを備える。この集積回路は、発振回路と、レジスタ回路と、カウンタ回路と、インターフェース回路とを含む。圧電振動子１は、上記説明した実施形態に係る圧電振動子である。圧電振動子１は、電力の供給を受けて圧電振動片が振動し、この振動を、圧電振動片が有する圧電特性に応じた電気信号に変換する。圧電振動子１から出力された電気信号は、集積回路の発振回路へ入力される。

計時部１１１０の集積回路において、発振回路の出力は、二値化されてレジスタ回路とカウンタ回路とにより計数される。この計数結果は、インターフェース回路を介して制御部１１４０に供給される。制御部１１４０は、集積回路からの計数結果に基づいて各種演算などを実行することで時刻や日付などを算出し、その算出結果に基づいて、表示部１１２０に時刻、日付、カレンダーなどの各種情報を表示させる。

通信部１１３０は、外部との通信、すなわち外部へのデータの送信および外部からのデータの受信を行う。通信部１１３０は、無線部１２００と、音声処理部１２１０と、切替部１２２０と、増幅部１２３０と、音声入出力部１２４０と、電話番号入力部１２５０と、着信音発生部１２６０と、呼制御メモリ部１２７０とを含む。

無線部１２００は、符号化された音声データ等の各種データを、アンテナ１２８０を介して基地局とやりとりする。音声処理部１２１０は、無線部１２００から入力されたデータを、復号化して増幅部１２３０へ出力する。また、音声処理部１２１０は、増幅部１２３０から入力されたデータを、符号化して無線部１２００へ出力する。増幅部１２３０は、音声処理部１２１０と音声入出力部１２４０との間の信号の受け渡しを行うとともに、受け渡される信号を適宜、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部１２４０は、スピーカおよびマイクロフォンなどを含み、増幅部１２３０からの信号に応じた音声を外部へ出力し、外部から音声の入力を受け付ける。

また、切替部１２２０は、基地局からの呼び出しなどに応じた制御部１１４０からの指令により、着信音発生部１２６０を増幅部１２３０と接続する。着信音発生部１２６０は、基地局からの呼び出しに応じた制御部１１４０からの指令により、着信音のデータを切替部１２２０に出力する。すなわち、制御部１１４０は、基地局からの呼び出しなどに応じて、着信音のデータを増幅部１２３０へ出力させることにより、音声入出力部１２４０によって着信音を出力させる。

呼制御メモリ部１２７０は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部１２５０は、例えば０から９の番号キー及びその他のキーを備え、これら番号キー等の押下により、通話先の電話番号等の入力に利用される。

電源部１１５０は、例えば、リチウムイオン二次電池を含み、携帯情報機器１１００の各部へ電力を供給する。電圧検出部１１６０は、電源部１１５０から携帯情報機器１１００の各部へ供給されている電圧を検出する。電圧検出部１１６０は、検出した電圧が所定値以下になった場合に、電圧が所定値以下であることを制御部１１４０に通知する。この所定値は、通信部１１３０を安定して動作させるために必要とされる電圧として予め設定されている値であり、例えば、３Ｖ程度である。電圧検出部１１６０から電圧降下の通知を受けた制御部１１４０は、無線部１２００、音声処理部１２１０、切替部１２２０、及び着信音発生部１２６０を含む複数の機能部の少なくとも一部の動作を、禁止または制限する。この場合に、制御部１１４０は、複数の機能部のうち相対的に消費電力が大きい機能部の動作を、複数の機能部のうち相対的に消費電力が小さい機能部よりも先に禁止または制限する。制御部１１４０は、供給電力の低下によって機能が停止または制限されていることを示す情報を、表示部１１２０に表示させる。この表示は、文字を含んでいてもよいし、記号を含んでいてもよく、例えば、表示部１１２０に表示された電話アイコンに×（バツ）印を付ける態様でもよい。電源遮断部１１７０は、複数の機能部のうち、電圧低下により機能が停止する機能部への電力の供給を選択的に停止する。

本実施形態によれば、圧電振動子１を備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた携帯情報機器１１００が得られる。

［電波時計］
次に、圧電振動子１を備える本実施形態の電波時計について説明する。
電波時計は、表示する時刻を、標準電波から取得される時刻に合わせる機能を有する。標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を含む変調信号によって、所定周波数の搬送波にＡＭ変調をかけたものである。標準電波は、例えば日本国内では、福島県の送信所と佐賀県の送信所とから送信されている。福島県の送信所から送信される標準電波は、搬送波の周波数が４０ｋＨｚであり、佐賀県の送信所から送信される標準電波は、搬送波の周波数が６０ｋＨｚである。

図９は、本実施形態の電波時計１３００を示す図である。この電波時計１３００は、アンテナ１３１０と、アンプ１３２０と、フィルタ部１３３０と、検波整流回路１３４０と、波形整形回路１３５０と、ＣＰＵ１３６０と、ＲＴＣ１３７０とを備える。

アンテナ１３１０は、標準電波を受信する。アンプ１３２０は、アンテナ１３１０が受信した標準電波の信号を、増幅してフィルタ部１３３０へ出力する。フィルタ部１３３０は、アンプ１３２０からの信号を、濾波、同調して検波整流回路１３４０へ出力する。検波整流回路１３４０は、フィルタ部１３３０からの信号を、検波復調して波形整形回路１３５０へ出力する。波形整形回路１３５０は、検波整流回路１３４０からの信号からタイムコードを取得し、このタイムコードをＣＰＵ１３６０へ供給する。ＣＰＵ１３６０は、タイムコードから現在の年、積算日、曜日、時刻等の時刻に関する情報を取得する。ＲＴＣ１３７０は、いわゆるリアルタイムクロックであり、現在の年、月、日、時、分、秒などの情報を保持している。ＣＰＵ１３６０は、タイムコードから取得した時刻に関する情報を、ＲＴＣ１３７０が保持する情報に反映させる。ＲＴＣ１３７０が保持する情報は、適宜読みだされて、時刻の表示に利用される。

フィルタ部１３３０は、濾波する信号の周波数に相当する共振周波数の圧電振動子を含む。フィルタ部１３３０において、圧電振動子は、共振子として機能する。例えば、図９の電波時計１３００は、日本国内での使用が想定されたものであり、フィルタ部１３３０は、共振周波数が４０ｋＨｚの圧電振動子１ａと、共振周波数が６０ｋＨｚの圧電振動子１ｂとを含む。なお、日本国内以外の地域での使用が想定される電波時計１３００は、使用される地域に対応した標準電波の搬送波の周波数に応じて、フィルタ部１３３０の圧電振動子の共振周波数が設定される。
本実施形態において、フィルタ部１３３０の圧電振動子１ａと圧電振動子１ｂとは、それぞれ、上記説明した実施形態の圧電振動子１と同様の圧電振動子である。

本実施形態によれば、圧電振動子１と同様の構成を有する圧電振動子１ａ，１ｂを備えているため、上述したのと同様にして、信頼性に優れた電波時計１３００が得られる。

なお、上記の説明においては、発振器、電子機器及び電波時計の例として、第１実施形態の圧電振動片５０が実装された圧電振動子１を備える例を示したが、これに限られない。発振器、電子機器及び電波時計の実施形態としては、例えば、第２実施形態の圧電振動片１５０が実装された圧電振動子を備える構成であってもよい。

１，１ａ，１ｂ…圧電振動子、２…パッケージ、３…パッケージ本体（ベース部材）、４…封口板（リッド部材）、１６，１１６…マウント部（第２マウント部）、１７，１１７…マウント部（第１マウント部）、２０，２１，２４…振動腕部、２９…基部、２９ａ…切欠き部、４０，４１，１４０，１４１…支持腕部、５０，１５０…圧電振動片、６０ａ，６１ａ…実装面、Ｃ…キャビティ、Ｇ１，Ｇ２…重心、Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４…直線距離、Ｍ１，Ｍ２…直線

Claims (7)

1. 基部と、
   先端部とは反対側にある基端部が前記基部に接続された一対の振動腕部と、
   前記基部に接続された複数の支持腕部と、
   それぞれの前記支持腕部に設けられたマウント部と、
   を備えた圧電振動片であって、
   それぞれの前記マウント部は、前記圧電振動片の重心を通る直線上であって、かつ、前記振動腕部の先端部側と基端部側とに配置されている圧電振動片。
2. それぞれの前記マウント部は、前記振動腕部の長さ方向に前記重心を挟んで配置されている請求項１に記載の圧電振動片。
3. 前記支持腕部が折れ曲がり部を有しており、前記折れ曲がり部よりも先端側に前記マウント部が形成されている請求項１または２に記載の圧電振動片。
4. 前記マウント部は、前記振動腕部の幅方向において、前記一対の振動腕部の間に位置する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の圧電振動片。
5. 複数の前記マウント部は、それぞれから前記重心までの直線距離が略等しくなるように配置されている請求項１乃至４のいずれか１項に記載の圧電振動片。
6. 前記基部又は前記支持腕部のうちの少なくとも一方には、切欠き部が形成されている請求項１乃至５のいずれか１項に記載の圧電振動片。
7. ベース部材と、前記ベース部材に重ね合わされて接合されると共に前記ベース部材との間に気密封止されたキャビティを形成するリッド部材と、を有するパッケージと、
   前記マウント部において前記ベース部材にマウントされ、前記キャビティ内に収容された請求項１乃至６のいずれか１項に記載の圧電振動片と、を備える圧電振動子。

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