CN104781442A - 具有改善的光学吸收性质的涂覆锌-锡-氧化物的塑料膜 - Google Patents

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Abstract

本发明提供具有锌-锡-氧化物涂层的经涂覆的塑料膜，其具有改善的吸收性质，特别是在380至430nm的蓝光光谱范围内，本发明还提供该锌-锡-氧化物涂层本身及其制造方法，及包含相应的经涂覆的塑料膜的电子装置。

Description

具有改善的光学吸收性质的涂覆锌-锡-氧化物的塑料膜
本发明提供具有锌-锡-氧化物涂层的经涂覆的塑料膜，其具有改善的吸收性质，特别是在380至430nm的蓝光光谱范围内，本发明还提供该锌-锡-氧化物涂层本身及其制造方法，及包含相应的经涂覆的塑料膜的电子装置。
为制造柔性电子元件，特别需要保护电子装置免受氧及水蒸汽影响的柔性基材。这种氧及水蒸汽的阻隔通过相应地涂覆柔性塑料基材，特别是塑料膜来实现。作为适用于这种阻隔涂层的涂层已知的是例如无机涂层如氧化铝、二氧化钛或氮化硅。根据EP2148899A1，锌-锡-氧化物(ZTO)同样适合作为塑料基材的无机阻隔涂层，例如用于食品的包装。根据EP2148899A1，相对于氧化铝及氮化硅，这样的涂层在施加在柔性塑料基材上时具有较少形成裂纹的优点。
然而，除了所要求的性质，即对氧气及水蒸汽的渗透形成足够的阻隔之外，对于柔性电子装置中的使用而言该柔性基材必须在可见光谱范围内具有好的透射率。为此，在该光谱范围内该吸收率不允许在任何范围内明显增加，因为在该装置中在可见光范围内的局部增加的吸收率导致色偏移并因此造成假的色彩印象。但是，ZTO具有在低于430nm的蓝色光谱范围内增加吸收的缺点，这导致在该涂层中的淡黄的色彩印象并因此对于电子装置中的使用而言是不希望的。传统的ZTO-涂层，例如EP2148899A1中所述的，例如在层厚度为90nm的情况下，在380至430nm的光谱范围内具有大于4％的吸收率。
因此，需要改善这种ZTO-涂层的吸收性质，从而也改善该经涂覆的基材的吸收性质，特别是还能使其用作柔性电子装置中的涂覆了阻隔剂的(barrierebeschichtet)基材。
由B.-Y.Oh等人，Journal of Crystal Growth 281(2005)475-480已知，用作透明导电涂层的溅射的掺杂铝的氧化锌层(ZnO：Al)，通过事后用氢热处理，在300至700nm光谱范围内具有改善的电和光学性质。但为此，该涂层必须在氢气气氛下在300℃的温度下处理10至120分钟。然而，这种H2-后处理对锌-锡-氧化物-阻隔涂层的影响尚不明确。此外，这种后处理对于大规模工业生产而言不仅是额外的非常昂贵的工艺步骤，而且由于在较高温度下使用纯氢也是有巨大安全风险的，其需要工艺学上的安全措施，例如相应密封这种装置。因此在连续生产工艺中，这种后处理完全不能进行或仅能以高昂的费用进行。此外，这种后处理由于高温不适用于塑料基材。
因此，本发明的目的是提供涂覆有ZTO-阻隔涂层的基材和相对于已知的ZTO-涂层改善了光学吸收性质的ZTO-阻隔涂层，并找到其简单的制备方法。
所述目的令人惊讶地通过借助溅射工艺在工艺气体中的氢气的存在下沉积这种ZTO-涂层得以实现。
在此已令人惊讶地发现，由于工艺气体中氢气的存在得到这样的阻隔涂层，其一方面在380至430nm的光谱范围内具有小的吸收系数，而另一方面其阻隔性能仍与工艺气体中没有氢气的传统方式制得的阻隔涂层一样好。这对本领域技术人员而言是未预料到的，因为工艺气体中氢气的存在造成压力增加，这又导致所产生的阻隔涂层的孔隙度增加。增加的孔隙度会不利影响该层的阻隔性能，而非常令人惊讶的是，这在本发明的经涂覆的塑料基体的情况中却不是这种情况。
因此，本发明提供经涂覆的塑料基材，其包含基层，该基层包含至少一种塑料，优选至少一种热塑性塑料，和至少一层锌-锡-氧化物涂层，其特征在于，该锌-锡-氧化物涂层在工艺气体中的氢气存在下以溅射工艺制成。
在此，该锌-锡-氧化物涂层可直接位于所述包含至少一种塑料，优选至少一种热塑性塑料的基层上。而根据本发明也还可以有另外的层位于该基层和锌-锡-氧化物涂层之间。
本发明进一步提供基于锌-锡-氧化物的针对气体及蒸气，优选针对氧气、氮气和/或水蒸汽，特别优选针对氧气和/或水蒸汽的渗透阻隔涂层，其特征在于，该锌-锡-氧化物涂层是在工艺气体中的氢气存在下以溅射工艺制成。此外，本发明的涂层可以是针对氮气的附加的阻隔涂层。
与工艺气体中没有添加氢气制成的涂层相比，这种锌-锡-氧化物-涂层令人惊讶地在380至430nm的蓝色光谱范围内具有明显更低的吸收率，并因此较少泛黄(Gelbstich)。在此，吸收率在该光谱范围内可降至小于5％，优选降至小于4％。由于并非如在B.-Y.Oh等人中所述的情况中那样需要纯的氢气-气氛，而是工艺气体中相对小量的氢气就已足以改善吸收率，在溅射工艺中由于向工艺气体添加氢气对ZTO-涂层的吸收性质造成的影响就更是令人惊讶。在以溅射工艺制备时，除了氢气之外，该工艺气体还包含至少一种惰性气体，优选氩气。在以溅射工艺制备时，该工艺气体特别优选另外包含氧气。
该工艺气体优选包含0.1至20体积％，特别优选0.5至15体积％，非常特别优选1至12体积％的氢气。这些体积％数据在此基于所述工艺气体包括可能存在的惰性气体的总体积计。
在该涂层中的锌-锡-氧化物优选为元素锌、锡及氧的化学化合物，其中锌的质量含量为5至70％，优选10至70％。
此外，该锌-锡-氧化物优选为ZnSnxOy，其中x代表0.2至10.0的数，y代表1.4至21.0的数。这种锌-锡-氧化物是所谓的混合氧化物，其具有不同含量的相ZnSnO3、Zn2SnO4，以及此外任选的ZnO和SnO2和任选尚未反应的Zn及Sn。
为了改善阻隔性能，可在所述基材上施加一层或多层锌-锡-氧化物涂层。在本发明的具体实施方式中，该锌-锡-氧化物涂层也可以与另外的层相间。在每种情况中，该锌-锡-氧化物涂层的厚度为10至1000nm，优选20至500nm，特别优选50至250nm。在多层锌-锡-氧化物涂层的情况中，它们可为相同组成或不同组成的ZnSnxOy。在本发明的优选实施方式中，在各锌-锡-氧化物涂层中的组成ZnSnxOy基本上相同。此外，在多层涂层的情况中，各锌-锡-氧化物-涂层的层厚度可相同或不同。在本发明的优选实施方式中，各锌-锡-氧化物涂层各自的层厚度是相同的。此外，在多层涂层的情况中，层间的过渡可以是清晰的(在过渡处的层的组成的变化是不连贯的)或者也可以是无明显界限的(该组成跨越该过渡经一定的距离连续改变)。
在380至430nm的光谱范围内，该锌-锡-氧化物-涂层优选具有小于0.5l/μm，特别优选小于0.3l/μm的吸收系数。可如此测定该吸收系数，即使用传统的光谱仪测量透射率和反射率，由这些测量数据计算吸收率，并由此得到所研究的380至430nm的光谱范围内的吸收率的平均值。由此借助于层厚度可计算吸收系数。
所述包含基层的塑料基材，优选热塑性塑料基材，优选是柔性塑料基材，特别优选是单层或多层塑料膜，所述基层包含至少一种塑料，优选至少一种热塑性塑料。该塑料基材优选为包含基层的塑料基材，该基层包含至少一种热塑性塑料。在多层热塑性塑料膜作为基材的情况中，其可以是借助共挤出、挤出层压或层压，优选借助共挤出制备的热塑性塑料膜。该包含基层的单层或多层塑料膜的层厚度优选为10μm至1000μm，特别优选20至500μm，非常特别优选50至300μm。
适用于该塑料层的热塑性塑料可彼此独立地为选自烯属不饱和单体的聚合物和/或双官能反应性化合物的缩聚产物的热塑性塑料。特别优选的是透明的热塑性塑料。
特别适合的热塑性塑料为基于二酚的聚碳酸酯或共聚碳酸酯，聚-或共聚丙烯酸酯及聚-或共聚甲基丙烯酸酯例如并优选聚甲基丙烯酸甲酯，含苯乙烯的聚合物或共聚物例如并优选透明聚苯乙烯或聚苯乙烯丙烯腈(SAN)，透明的热塑性聚氨酯，还有聚烯烃，例如并优选透明的聚丙烯类型或基于环烯烃的聚烯烃(例如Hoechst)，对苯二甲酸或萘二羧酸的缩聚物或共缩聚物，例如并优选聚-或共聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET或CoPET)、乙二醇改性的PET(PETG)或聚-或共聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT或CoPBT)，聚-或共聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN或CoPEN)或上述的混合物。
该热塑性塑料优选为基于二酚的聚碳酸酯或共聚碳酸酯，聚-或共聚丙烯酸酯，聚-或共聚甲基丙烯酸酯，含苯乙烯的聚合物或共聚物，热塑性聚氨酯，聚烯烃，对苯二甲酸的共缩聚物，萘二羧酸的聚-或共缩聚物，或其混合物。
在本发明的一个实施方式中，该至少一种热塑性塑料不含聚对苯二甲酸乙二醇酯。
特别优选具有高透明度及低雾度值的那些热塑性塑料，因为它们特别适用于光及光电应用，例如在显示器应用中。这种热塑性塑料特别优选为基于二酚的聚碳酸酯或共聚碳酸酯，聚-或共聚丙烯酸酯，聚-或共聚甲基丙烯酸酯，或对苯二甲酸或萘二羧酸的聚-或共聚缩合物，例如并优选聚-或共聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET或CoPET)，乙二醇改性的PET(PETG)，或聚-或共聚对苯二甲酸丁二醇酯(PBT或CoPBT)，聚-或共聚萘二甲酸乙二醇酯(PEN或CoPEN)或上述的混合物。
这种塑料膜及其制备是本领域技术人员已知的，而且此外是商购可得的。
在本发明的优选实施方式中，可在该待涂覆的塑料基材，优选塑料膜的表面上施加平滑层。这样的平滑层优选具有小于500nm，特别优选小于200nm，非常特别优选小于150nm的表面粗糙度(作为Ra值(平均粗度)测量)。在优选的实施方式中，这样的平滑层具有小于100nm，优选小于50nm，特别优选小于20nm的表面粗糙度。使用Contour GT-KO Optical Surface-profiler根据DIN ENISO 4287可测得这样的平滑层的表面粗糙度。如此事先施加这样的平滑层可带来下述优点，即在锌-锡-氧化物涂层中产生较小量的缺陷，并相应地可获得更好的对气体及蒸气，优选对氧气和/或水蒸汽的渗透阻隔。
适用于这种平滑层的材料是本领域技术人员已知的。它们可为，例如，用于辐射固化涂层或基于聚氨酯或环氧树脂涂层的涂层组合物。优选为用于辐射固化涂层的材料，特别是基于丙烯酸酯的那些。
辐射固化涂层优选可从包含可辐射固化的聚合物和/或单体的涂层组合物获得。
适合的可辐射交联的聚合物是那些可借助电磁辐射交联的聚合物，例如借助UV射线、电子束、X-射线或伽玛射线，优选借助UV辐射或电子辐射。特别优选可借助辐射交联的带有烯属不饱和基团的聚合物。这样的烯属不饱和基团可为，例如，丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯、乙烯基醚、丙烯基醚及马来酰亚胺基团。适合的烯属不饱和聚合物为，例如并优选(甲基)丙烯酸酯化的聚(甲基)丙烯酸酯，聚氨酯(甲基)丙烯酸酯，聚酯(甲基)丙烯酸酯，聚醚(甲基)丙烯酸酯，环氧(甲基)丙烯酸酯，(甲基)丙烯酸酯化的油及不饱和聚酯。(R.Schwalm，UVCoatings，2007，Elsevier，93-139页)。特别优选的烯属不饱和聚合物为(甲基)丙烯酸酯化的聚(甲基)丙烯酸酯或聚氨酯(甲基)丙烯酸酯。
适合的可辐射交联的单体特别是可借助电磁辐射交联的那些单体，例如借助UV射线、电子束、X-射线或伽玛射线，优选借助UV辐射或电子束。优选为不饱和单体。不饱和单体优选可为丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯，优选丙烯酸-C1-C20-烷基酯或甲基丙烯酸-C1-C20-烷基酯，乙烯基芳族化合物，优选C1-C20-乙烯基芳族化合物，例如苯乙烯，乙烯基甲苯，α-丁基苯乙烯或4-n-丁基苯乙烯，羧酸的乙烯基酯，优选C1-C20-羧酸的乙烯基酯，例如，月桂酸乙烯基酯、硬脂酸乙烯基酯、丙酸乙烯基酯及乙酸乙烯基酯，乙烯基醚，优选C1-C20-醇的乙烯基醚，例如，乙烯基甲基醚，乙烯基异丁基醚，乙烯基己基醚或乙烯基辛基醚，不饱和腈，例如，丙烯腈或甲基丙烯腈，或具有一个或多个双键的烯，优选一个或两个双键，优选具有一个或多个双键的C1-C20-烯，优选一个或两个双键，例如，乙烯、丙烯、异丁烯、丁二烯或异戊二烯。该可辐射交联的单体特别优选为丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯，优选丙烯酸-C1-C20-烷基酯或甲基丙烯酸-C1-C20-烷基酯。
这样的丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯，优选丙烯酸-C1-C20-烷基酯或甲基丙烯酸-C1-C20-烷基酯的合适例子为丙烯酸甲酯，丙烯酸乙酯，丙烯酸正丁酯，丙烯酸异丁酯，丙烯酸叔丁酯，丙烯酸-2-乙基-己酯，丙烯酸异癸酯，丙烯酸正月桂酯，丙烯酸-C12-C15-烷基酯，丙烯酸正硬脂基酯，丙烯酸正丁氧基乙酯，丙烯酸丁氧基二甘醇酯，丙烯酸甲氧基三甘醇酯，丙烯酸环己酯，丙烯酸四氢糠酯，丙烯酸苄酯，丙烯酸-2-苯氧基乙酯，丙烯酸异冰片酯，丙烯酸-2-羟基乙酯，丙烯酸-2-羟基丙酯，丙烯酸-2-羟基乙酯，丙烯酸-2-羟基丁酯，丙烯酸-2-羟基丁酯，丙二醇(methandiol)二丙烯酸酯，丙三醇二丙烯酸酯，新戊二醇二丙烯酸酯，2-丁基-2-乙基-1，3-丙二醇二丙烯酸酯，三羟甲基丙烷二丙烯酸酯，季戊四醇三丙烯酸酯，丙三醇三丙烯酸酯，1，2，4-丁烷三醇三丙烯酸酯，三羟甲基丙烷三丙烯酸酯，三环癸烷二甲醇二丙烯酸酯，双三羟甲基丙烷四丙烯酸酯，季戊四醇四丙烯酸酯，二季戊四醇四丙烯酸酯，二季戊四醇五丙烯酸酯，二季戊四醇六丙烯酸酯，及相应的甲基丙烯酸酯。此外，烷氧基化的，优选乙氧基化的上述提及的丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯也适合用作丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯。
用于涂覆该基膜的涂层组合物优选包含至少一种适合于这种平滑层的光引发剂。所述光引发剂也可与该可交联聚合物共价结合。该辐射化学诱导的聚合优选借助用400nm至1pm波长的辐射进行，例如，UV射线、电子束、X-射线或伽玛射线。
当使用UV辐射时，在光引发剂存在下引发固化。原则上将光引发剂区分为两种类型，单分子类型(I)及双分子类型(II)。适用的类型(I)-体系为芳族酮化合物，例如，结合有叔胺的二苯甲酮类化合物，烷基二苯甲酮，4，4’-双(二甲基胺基)二苯甲酮(米氏酮)，蒽酮及卤化的二苯甲酮类或上述类型的混合物。另外合适的是类型(II)-光引发剂，诸如苯偶姻及其衍生物，苯偶酰缩酮，酰基氧化膦，2，4，6-三甲基苯甲酰基-二苯基氧化膦，双酰基氧化膦，苯酰甲酸酯，樟脑醌，α-氨基烷基苯基酮、α，α-二烷氧基苯乙酮及α-羟基烷基苯基酮。优选易于加入水性分散体中的光引发剂。这样的产品是例如(二苯甲酮与(1-羟基环己基)苯基酮的混合物，BASF SE，Ludwigshafen，DE)，(苯基双-(2，4，6-三甲基苯甲酰基)氧化膦，BASF SE，Ludwigshafen，DE)，(寡聚-[2-羟基2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)-苯基]-丙酮]，Lamberti，Aldizzate，意大利)。也可使用这些化合物的混合物。
所述锌-锡-氧化物涂层优选是针对气体及蒸气的渗透阻隔层，特别优选针对氧气、氮气和/或水蒸汽，最特别优选针对氧气和/或水蒸汽，尤其优选针对氧气及水蒸汽。
在根据本发明的经涂覆的膜中，优选可在最外层上或在锌-锡-氧化物涂层上施加抗反射层。通过这种抗反射层可额外地提高根据本发明的经涂覆的塑料基材，优选塑料膜的透射率。这样的层是本领域技术人员已知的。它们可为，例如，由具有低折射率的材料，例如SiO2、MgF2等材料构成的层，复合多层结构，其中相间着具有不同折射率的材料的薄层，或是具有折射率梯度的层。
优选地，根据本发明的经涂覆的塑料基材，优选塑料膜，在可见光谱范围内具有大于75％，特别优选大于80％的透射率。最特别优选地，根据本发明的经涂覆的塑料基材在可见光谱范围内也可具有大于85％，优选甚至大于90％的透射率，特别是与另外的抗反射层组合时。
优选地，根据本发明的经涂覆的塑料基材，优选塑料膜，具有小于0.5cm3/m2/天，特别优选小于0.1cm3/m2/天的氧气渗透率和/或小于0.1g/m2/天，特别优选小于0.01g/m2/天的水蒸汽渗透率。
根据本发明的经涂覆的塑料基材，优选塑料膜，可以以简单的没有另外的复杂的后处理步骤的方法制成。特别是通过卷到卷工艺的连续工艺过程是可行的。
本发明此外提供生产本发明的经涂覆的塑料基材，优选经涂覆的塑料膜的方法，其中借助真空溅射工艺在塑料基材，优选塑料膜上施加至少一层锌-锡-氧化物，所述方法的特征在于，其工艺气体包含氢气。
用于溅射工艺的合适靶(电极)优选是由至少包含锌及锡的合金制成的那些，或是至少包含锌-锡-氧化物的那些。在使用锌-锡-氧化物-靶的情况中，其也可包含少量的另外的添加物，例如，氮。
除了氢气之外，在以溅射工艺生产时该工艺气体包含至少一种惰性气体，优选氩气。优选地，该工艺气体另外包含氧气。当所述靶是由包含锌和锡的合金制成的靶时，优选是由主要包含锌和锡的合金制成的靶时，氧气在该工艺气体中尤其是必不可少的。
在优选实施方式中本发明的方法连续进行。由此，该生产特别优选可以以简单的卷到卷工艺进行(参见例如图1)。
图1显示了用于施行这种卷到卷工艺的装置的原理草图。
作为溅射工艺可使用所有常用的已知方法，例如，直流溅射(DC溅射)，高频溅射(HF溅射)，离子束溅射，磁控管溅射或反应溅射。优选借助金属靶的DC-溅射制备锌-锡-氧化物层。优选选择提高工艺稳定性的双磁控管装置。在此特别优选用10至100kHz之间的脉动直流电操作该系统。但是，使用高频溅射方法(HF溅射)同样可行。尤其是由此可溅射陶瓷的锌-锡-氧化物-靶。
所使用的靶的几何形状可在很大程度上变化。可使用平面矩形靶。亦可使用所谓的管形靶。从而确保增长的工艺寿命。
本发明的渗透阻隔涂层或本发明的经涂覆的塑料基材适用于生产包装材料，及由于它们的光学性质也适用于生产电子装置，特别是柔性电子装置。
因此，本发明此外提供根据本发明的渗透阻隔涂层或根据本发明的经涂覆的塑料基材在包装材料的生产中或在电子装置，优选柔性电子装置的生产中的应用。
所述包装材料可为用于食品包装的包装材料，或是用于包装对氧气和/或水蒸汽敏感的工业物品的包装材料，例如，太阳能电池，薄膜太阳能电池、锂基薄膜电池组、有机发光二极管、透明的任选真空绝缘的面板、平面有机发光元件、LCD显示器、TFT显示器等。
本发明此外提供包含至少一种根据本发明的经涂覆的塑料基材或至少一层根据本发明的渗透阻隔涂层的电子装置，优选柔性电子装置。
电子装置，特别是柔性电子装置，可为，例如，E-阅读器，LCD-显示屏，LCD-电视机，OLED-显示器及发光体，触控板，PDAs，移动电话等。
下面的实施例用作示例性说明本发明而不应将其理解为对本发明的限制。
实施例：
在卷到卷真空涂覆装置中，在下列条件下，将锌-锡-氧化物溅射层施加至聚碳酸酯膜(膜宽度600mm，膜厚度175μm)上：
涂覆技术：
-脉冲磁控溅射
-中频脉冲50kHz
-双磁控管布置
-锌-锡-靶-
-受控的反应过程
-功率10KW
在工艺气体中不含氢气的情况下，在各一块聚碳酸酯基材上分别溅射层厚度为70nm和115nm的锌-锡-氧化物(ZTO)层，其中该工艺气体由130sccm氧气及200sccm氩气组成。在工艺气体中存在35sccm氢气的情况下，在各一块聚碳酸酯基材上分别溅射厚度为110nm的ZTO层及厚度为70nm的ZTO层，其中除了氢气之外，此处的工艺气体还含130sccm氧气和200sccm氩气。由这四个涂覆有ZTO层的基材测定光学透射T可见光及层吸收率A蓝。
借助PerkinElmer的光谱仪Lambda900进行光学光谱测量(测量范围350至800nm，检测包括基材的透射率和反射率，使用积分球(Ulbricht球)，借助透射率和反射率计算吸收率，校正基材的吸收率)。
根据DIN EN 410，不考虑标准光源D65的光谱分布，借助测定的光透射度τv计算光学透射率T可见光。
层吸收率A蓝的计算作为380nm至430nm波长范围内的校正基材影响的吸收光谱的平均值进行。
然后如下计算吸收系数：
吸收系数[1/μm]＝1000·ln(100/(100-A蓝[％]))/层厚度[nm]。
表1：溅射的锌-锡-氧化物层的结果
*该工艺气体中的35sccmH2相当于该工艺气体中10.6体积％H2
该结果表明，与没有氢气存在的情况相比较，在工艺气体中存在氢气的条件下，在380至430nm的光谱范围内的吸收率明显较低，这明显地降低了产生不期望的泛黄的风险。该结果清楚地示于图2中，在其中显示了介于380至430nm之间的光学吸收谱(由透射率和反射率计算的)的截图放大。
在此，反应性气体中存在氢气不会损害该层在可见光谱范围内的好的透射率。
表2：渗透阻隔的结果
在有氢气的工艺气体中生产的样品与没有氢气沉积的具有相等层厚度的样品相比较，对于约70nm厚的层(比较例1及实施例2)而言，仅表现出在检测误差范围内的差异。对于约110nm厚的层(比较例2及实施例1)而言，水蒸汽渗透率(WVTR)-值相同，而仅在氧气渗透率(OTR)方面又有在检测误差范围内的差异。

Claims (11)

1.经涂覆的塑料基材，其包含基层，所述基层包含至少一种塑料及至少一层锌-锡-氧化物涂层，其中所述锌-锡-氧化物涂层可通过溅射工艺在工艺气体中的氢气存在下得到，所述至少一种塑料不包含聚对苯二甲酸乙二醇酯，并且所述经涂覆的塑料基材在380至430nm的光谱范围内具有小于0.51/μm的吸收系数。
2.根据权利要求1的经涂覆的塑料基材，其特征在于，在所述基层中的至少一种塑料为热塑性塑料，其中所述至少一种热塑性塑料不包含聚对苯二甲酸乙二醇酯。
3.根据权利要求1或2的经涂覆的塑料基材，其特征在于，所述一种或多种塑料为基于二酚的聚碳酸酯或共聚碳酸酯，聚-或共聚丙烯酸酯，聚-或共聚甲基丙烯酸酯，含苯乙烯的聚合物或共聚物，热塑性聚氨酯，聚烯烃，对苯二甲酸的共聚缩合物，萘二羧酸的聚或共聚缩合物，或其混合物。
4.根据权利要求1-3至少之一的经涂覆的塑料基材，其特征在于，所述锌-锡-氧化物为元素锌、锡和氧的化学化合物，其中锌的质量含量为5至70％。
5.根据权利要求1-4至少之一的经涂覆的塑料基材，其特征在于，所述工艺气体另外包含氧气。
6.根据权利要求1-5至少之一的经涂覆的塑料基材，其特征在于，所述锌-锡-氧化物的涂层的厚度在每种情况中为10至1000nm。
7.根据权利要求1-6至少之一的经涂覆的塑料基材，其特征在于，所述锌-锡-氧化物涂层为气体及蒸汽的渗透阻隔层。
8.根据权利要求1-8至少之一的经涂覆的塑料基材，其特征在于，在所述锌-锡-氧化物涂层上具有抗反射层。
9.根据权利要求1-8至少之一的经涂覆的塑料基材，其特征在于，所述塑料基材为塑料膜。
10.基于锌-锡-氧化物的对气体和蒸气，优选对氧气和/或水蒸汽的渗透阻隔涂层，其中所述锌-锡-氧化物涂层可在非聚对苯二甲酸乙二醇酯的塑料基材上通过溅射工艺在工艺气体中的氢气存在下得到，并且所述经涂覆的塑料基材在380至430nm的光谱范围内具有小于0.51/μm的吸收系数。
11.电子装置，其包含根据权利要求1-9至少之一的至少一种经涂覆的塑料基材或根据权利要求10的至少一种渗透阻隔涂层。
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