CN104742293A - 树脂成型装置及树脂成型方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种树脂成型装置及树脂成型方法。在树脂成型装置中，使混合液状树脂的供给机构容易移动。树脂成型装置具备：成型模；型腔，设置于成型模，用于收容混合液状树脂；供给机构，用于向型腔供给混合液状树脂；液状树脂保管机构，设置于供给机构，用于保管多种液状树脂；分送器，设置于供给机构，且通过混合多种液状树脂而生成混合液状树脂并向型腔喷出混合液状树脂；和移动机构。移动机构使液状树脂保管机构和分送器成为一体而从待机位置移动至型腔的附近。由此，缩短将多种液状树脂从液状树脂保管机构移送至分送器的距离。因此，能够使供给机构容易移动。

Description

树脂成型装置及树脂成型方法

技术领域

本发明涉及一种使用液状树脂对晶体管、集成电路(Integrated Circuit：IC)和发光二极管(Light Emitting Diode：LED)等电子部件进行树脂封装的情况等中所使用的树脂成型装置及树脂成型方法。在本申请文件中，所谓“液状”意味着在常温下为液状且具有流动性，并且流动性的高低即粘度的程度不限。

背景技术

以往以来，使用例如硅酮树脂或环氧树脂等具有热硬化性且将光线透过的液状树脂作为树脂材料来树脂封装LED等光学元件。作为树脂封装的技术使用压缩成型、传递模塑成型等树脂成型技术。在树脂成型中，混合将作为主剂的液状树脂和硬化剂等作为辅助剂的液状树脂，通过加热经混合的液状树脂(以下，称作“混合液状树脂”)而使其硬化。

使用液状树脂的树脂成型装置具备填充有主剂的容器和填充有硬化剂的容器。在混合容器等中混合从填充有主剂的容器和填充有硬化剂的容器中以一定的比例供给的两种液状树脂(以下，称作“双液”)。根据树脂成型的对象，调整主剂和硬化剂的混合比，使液状树脂的粘度等最佳化。当混合双液时，事先将主剂和硬化剂在常温下保管到各自的容器中，并在实际使用时混合双液，形成混合液状树脂。还具有如下情况：通过将事先混合主剂和硬化剂而成为单液的混合液状树脂填充到容器中，来使用其混合液状树脂。需要根据产品和用途选择最佳的主剂和硬化剂。

作为混合多种液状材料的液状材料计量运送装置，提出有如下的液状材料计量运送装置(例如，参照专利文献1的段落[0011]和图1)：一种向混合多种液状材料的混合装置计量并运送各个液状材料的液状材料计量运送装置，由材料供给装置和材料计量装置构成，从所述材料计量装置向混合装置分别运送液状树脂，其中，所述材料供给装置从储存有各自的液状树脂的容器中分别排出各个液状树脂材料，所述材料计量装置分别接收从所述材料供给装置中排出的各个液状材料的供给，并且分别以所需的量排出各个液状材料。

专利文献1：特开2005-254539号公报

然而，在如上述的混合液状材料的装置中，产生如下问题。分别构成材料供给装置、材料计量装置、混合装置和喷射装置，从而将液状材料从材料供给装置移送至最终的喷射装置的路径非常长。因此，作为装置总体大型化，从而成为复杂的结构。

进一步，由于装置总体大型化且移送液状材料的路径较长，因此难以使喷射装置在装置内移动。因此，难以应对具有多个成型模的树脂成型装置等。对IC和LED等半导体元件进行树脂封装的树脂成型装置为如下结构：通过设置多个成型模，来有效树脂封装大量的产品。近年来，排列多个具有成型模的成型模块的、所谓模块结构的树脂成型装置成为主流。根据如上述的混合液状材料的装置，难以应对排列有多个成型模块的树脂成型装置。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而提出的，其目的在于，提供一种树脂成型装置及树脂成型方法，该装置及方法能够以简单的结构使喷出机构小型化，并且，通过设置将喷出机构和液状树脂保管机构一体化而构成的供给机构，从而能够在装置内使供给机构移动而供给混合液状树脂。

为了解决上述问题，本发明所涉及的树脂成型装置具备：

上模；

下模，与所述上模相对设置；

型腔，设置于所述上模和所述下模中的至少一个上；

收容部，用于收容将在所述型腔中进行硬化的混合液状树脂；

供给机构，向所述收容部供给混合液状树脂；和

合模机构，对至少具有所述上模和所述下模的成型模进行合模，

所述树脂成型装置的特征在于，具备：

液状树脂保管机构，设置于所述供给机构，用于保管多种液状树脂；

多个容器，设置于所述液状树脂保管机构，用于按种类保管所述多种液状树脂；

喷出机构，设置于所述供给机构，用于向所述收容部喷出所述混合液状树脂；

多个液状树脂储存机构，设置于所述喷出机构，用于按种类储存从所述多个容器移送来的所述多种液状树脂；

多个液状树脂送出机构，设置于所述喷出机构，用于按种类且以一定的量送出已储存的所述多种液状树脂；

液状树脂混合机构，设置于所述喷出机构，用于通过混合被送出的所述多种液状树脂而生成混合液状树脂；和

第一移动机构，使所述供给机构从待机位置移动至所述收容部的附近，

所述第一移动机构使所述液状树脂保管机构和所述喷出机构成为一体而移动。

另外，本发明所涉及的树脂成型装置具有如下的实施方式：

进一步具备使所述喷出机构从所述收容部的附近移动至所述收容部的上方的第二移动机构，

所述第二移动机构使所述多个液状树脂储存机构、所述多个液状树脂送出机构和所述液状树脂混合机构成为一体而移动。

另外，本发明所涉及的树脂成型装置具有如下的实施方式：

进一步具备：

储存送出部，设置于所述喷出机构；

混合喷出部，设置于所述喷出机构，且与所述储存送出部分开；和

第三移动机构，使所述混合喷出部从所述收容部的附近移动至所述收容部的上方，

所述储存送出部至少具有所述多个液状树脂储存机构和所述多个液状树脂送出机构，

所述混合喷出部至少具有液状树脂混合机构。

另外，本发明所涉及的树脂成型装置具有如下的实施方式：

进一步具备向所述多个容器供给压缩空气的加压机构，

通过从所述加压机构分别向所述多个容器供给的所述压缩空气分别按压所述多种液状树脂，从而从所述多个容器向所述多个液状树脂储存机构分别移送所述多种液状树脂。

另外，本发明所涉及的树脂成型装置具有如下的实施方式：

进一步具备：

供给模块，所述供给机构在所述供给模块中待机；和

至少一个成型模块，至少具有所述成型模和所述合模机构，

所述至少一个成型模块能够相对于所述供给模块装卸，

所述至少一个成型模块能够相对于其他成型模块装卸，

在安装有所述供给模块和所述至少一个成型模块的状态下，所述供给机构沿所述供给模块和所述至少一个成型模块排列的方向移动。

为了解决上述问题，本发明所涉及的树脂成型方法包括：

准备至少具有上模和与所述上模相对设置的下模的成型模的工序；

在收容部中收容将在设置于所述上模和所述下模中的至少一个上的型腔中进行硬化的混合液状树脂的工序；和

对所述成型模进行合模的工序，

所述树脂成型方法的特征在于，进一步包括：

准备供给机构的工序，所述供给机构由具备多个容器的液状树脂保管机构、分别储存多种液状树脂的多个液状树脂储存机构、分别送出所述多种液状树脂的多个液状树脂送出机构和接收并混合分别被送出的所述多种液状树脂的液状树脂混合机构构成为一体；

将所述多种液状树脂按种类分别保管在多个容器中的工序；

从所述多个容器向所述多个液状树脂储存机构分别移送所述多种液状树脂的工序；

分别储存移送来的所述多种液状树脂的工序；

分别以一定的量计量已储存的所述多种液状树脂的工序；

分别向所述液状树脂混合机构送出计量出的所述多种液状树脂的工序；

通过在所述液状树脂混合机构中混合所述多种液状树脂而生成所述混合液状树脂的工序；

使供给机构移动至所述成型模的附近的工序；

至少使所述液状树脂混合机构从所述成型模的附近移动至所述收容部的上方的工序；

朝向所述收容部喷出所述混合液状树脂的工序；

将所述收容部中收容着的所述混合液状树脂收容在所述型腔的工序；

对所述成型模进行合模的工序；和

在将所述成型模合模的状态下使所述混合液状树脂硬化的工序。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的实施方式：

在至少使所述液状树脂混合机构移动的工序中，使所述供给机构移动至所述收容部的上方。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的实施方式：

在至少使所述液状树脂混合机构移动的工序中，使液状树脂混合机构移动至所述收容部的上方。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的实施方式：

在所述进行移送的工序中，进一步包括通过压缩空气分别按压被分别保管在所述多个容器中的所述多种液状树脂的工序。

另外，本发明所涉及的树脂成型方法具有如下的实施方式：

进一步包括：

准备供给模块和至少具有所述成型模和所述合模机构的至少一个成型模块的工序，所述供给机构在所述供给模块中待机；和

安装所述供给模块和所述至少一个成型模块的工序，

在使所述供给机构移动的工序中，在安装有所述供给模块和所述至少一个成型模块的状态下，使所述供给机构沿所述供给模块和所述至少一个成型模块排列的方向移动。

根据本发明，树脂成型装置具备：收容部，用于收容应在具有成型模的型腔中进行硬化的混合液状树脂；供给机构，向收容部供给混合液状树脂；液状树脂保管机构，设置于供给机构且用于保管多种液状树脂；喷出机构，设置于供给机构且向收容部喷出混合液状树脂；和第一移动机构，使供给机构从待机位置移动至收容部的附近。第一移动机构使液状树脂保管机构和喷出机构成为一体而移动。由此，能够缩短将多种液状树脂从液状树脂保管机构移送至喷出机构的距离。因此，能够使供给机构容易移动。

附图说明

图1是表示本发明所涉及的树脂成型装置的概要的俯视图。

图2是表示图1所示的树脂成型装置的一个实施例中的供给机构的示意图。图2的(a)是表示供给机构向可动下模的型腔供给混合液状树脂的状态的示意图，图2的(b)是表示供给机构的示意性俯视图。

图3是表示图2所示供给机构和压缩机的结构的示意图。

图4是图2所示的供给机构所具有的分送器的示意图。

图5是表示图1所示的树脂成型装置的其他实施例中的供给机构的示意图。图5的(a)是表示供给机构向可动下模的型腔供给混合液状树脂的状态的示意图，图5的(b)是表示供给机构的示意性俯视图。

附图标记说明

1…树脂成型装置，2…基板供给并收纳模块，3A、3B、3C、3D…成型模块，4…液状树脂供给模块(供给模块)，5…封装前基板(基板)，6…封装前基板供给部，7…已封装基板，8…已封装基板收纳部，9…装载器，10…卸载器，11…导轨，12…可动下模(下模)，13…型腔、总体型腔(收容部)，14…离型膜，15…供给机构，16…液状树脂保管机构，17…分送器(喷出机构)，18…主剂用筒(容器)，19…硬化剂用筒(容器)，20…移动机构(第一移动机构)，21…抽真空机构，22…控制部，23…固定上模(上模)，24…薄膜按压部件，25…LED芯片，26…独立型腔(收容部)，27、29、56、58…氟树脂管，28…主剂的储存部(液状树脂储存机构)，30…硬化剂的储存部(液状树脂储存机构)，31…主剂的计量送出机构(液状树脂送出机构)，32…硬化剂的计量送出机构(液状树脂送出机构)，33、57…混合室(液状树脂混合机构)，34…静态搅拌机(液状树脂混合机构)，35…混合部(液状树脂混合机构)，36…喷嘴(液状树脂混合机构)，37…混合液状树脂，38…移动机构(第二移动机构)，39…主剂(液状树脂)，40…硬化剂(液状树脂)，41…压缩机(加压机构)，42…尼龙管，43、44…电-气调压阀，45、46、50、54…柱塞，47、51…伺服电动机，48、52…滚珠丝杠，49、53…滚珠丝杠螺母，55…通道，59…混合喷出部，60…移动机构(第三移动机构)，61、62储存送出部，CL…合模机构。

具体实施方式

如图1至图3所示，树脂成型装置1具备：成型模；型腔13，设置于成型模且用于收容混合液状树脂37；供给机构15，用于向型腔13供给混合液状树脂37；液状树脂保管机构16，设置于供给机构15，用于保管多种液状树脂；分送器17，设置于供给机构15，通过混合多种液状树脂而生成混合液状树脂37并向型腔13喷出混合液状树脂37；和移动机构20。移动机构20使液状树脂保管机构16和分送器17成为一体而从待机位置移动至型腔13的附近。由此，缩短将主剂39和硬化剂40从液状树脂保管机构16移送至分送器17的距离。因此，能够使供给机构15容易移动。

参照图1和图2，对本发明所涉及的树脂成型装置的实施例1进行说明。本申请文件中的任一幅图为了易于理解均进行适当省略或夸张以示意性地绘制。对相同的结构要素使用相同的附图标记，并适当省略说明。

图1所示的树脂成型装置1具有分别作为结构要素的基板供给并收纳模块2、四个成型模块3A、3B、3C、3D和树脂供给模块4。作为结构要素的基板供给并收纳模块2、成型模块3A、3B、3C、3D和树脂供给模块4相对于各个其他结构要素能够彼此装卸，并且能够交换。例如，在安装有基板供给并收纳模块2和成型模块3A的状态下，能够在成型模块3A上安装成型模块3B，并且在成型模块3B上安装树脂供给模块4。

在基板供给并收纳模块2中设置有用于供给封装前基板5的封装前基板供给部6和用于收纳已封装基板7的已封装基板收纳部8。在封装前基板7上例如作为光学元件安装有LED芯片。在基板供给并收纳模块2中设置有装载器9和卸载器10，并且沿X方向设置有支撑装载器9和卸载器10的导轨11。装载器9和卸载器10沿导轨11移动。

在导轨11上支撑的装载器9和卸载器10沿X方向在基板供给并收纳模块2、各成型模块3A、3B、3C、3D和树脂供给模块4之间移动。因此，在安装有基板供给并收纳模块2和成型模块3A的状态下，装载器9和卸载器10沿基板供给并收纳模块2和成型模块3A排列的方向(X方向)移动。

此外，装载器9和卸载器10沿Y方向移动。即，装载器9和卸载器10沿水平方向移动。此外，在本申请文件中，所谓水平方向和垂直方向这一术语除了严密的水平方向和垂直方向之外，还包括方向朝向不妨碍进行移动的结构要素的动作的程度倾斜的情况。

在各成型模块3A、3B、3C、3D中设置有能够升降的可动下模12和与可动下模12相对而配置的固定上模(未图示，参照图2)。固定上模和可动下模12构成成型模。各成型模块具有对固定上模和可动下模12进行合模及开模的合模机构CL。作为用于收容混合液状树脂的部分(以下，适当称作“收容部”)的型腔13设置于可动下模12中，并且型腔13被离型膜14覆盖。

在液状树脂供给模块4中设置有供给机构15。供给机构15被支撑在导轨11上，并且沿导轨11移动。因此，在安装有液状树脂供给模块4和成型模块3D的状态下，供给机构15沿液状树脂供给模块4和成型模块3D排列的方向(X方向)移动。

供给机构15通过将液状树脂保管机构16和作为混合液状树脂喷出机构的分送器17一体化而构成。在液状树脂保管机构16设置有用于储存作为主剂的液状树脂的主剂用筒18和用于储存作为硬化剂的液状树脂的硬化剂用筒19。

在液状树脂供给模块4中设置有移动机构20。通过移动机构20使支撑在导轨11上的供给机构15沿导轨11在X方向上移动。具体来说，供给机构15在液状树脂供给模块4和各成型模块3A、3B、3C、3D之间移动。分送器17沿Y方向移动。此外，还可以使供给机构15沿Y方向移动。

此外，在本申请文件中，“一体化”、“一体化而构成”和“成为一体而移动”等书面语意味着多个结构要素为一组且该一组能够进行移动。“一体化”、“一体化而构成”和“成为一体而移动”等书面语包括成为一组且能够进行移动的多个结构要素可彼此分离的情况。此外，“A和B一体化而成的C”等表述不排除在C包括除A和B以外的结构要素的情况。

在液状树脂供给模块4中设置有抽真空机构21，该抽真空机构21通过从在成型模块3A、3B、3C、3D中将固定上模和可动下模12合模的状态下的型腔13中强制抽吸空气并将其排出。在液状树脂供给模块4中设置有控制树脂成型装置1总体的动作的控制部22。图1中表示了在液状树脂供给模块4中设置有抽真空机构21和控制部22的情况。不限于此，还可以在其他模块中设置抽真空机构21和控制部22。

参照图1和图2，对供给机构15向设置在可动下模12上的型腔13供给混合液状树脂的机构进行说明。如图2的(a)所示，在各成型模块3A、3B、3C、3D(参照图1)中设置有固定上模23、可动下模12和薄膜按压部件24。至少由固定上模23和可动下模12构成成型模。各成型模块3A、3B、3C、3D具有对成型模进行合模及开模的合模机构CL(参照图1)。

离型膜14覆盖型腔13及其周围。薄膜按压部件24为如下部件：在型腔13的周围中，用于将离型膜14按压到可动下模12的型面来进行固定。薄膜按压部件24在中央部具有开口，并且成型模位于该开口的内部。在固定上模23上通过吸附或用夹子等固定而配置有例如安装有LED芯片25等的封装前基板5。在可动下模12上设置有总体型腔13和在总体型腔13中与各个LED芯片25相对应的独立型腔26。

供给离型膜14并使之覆盖总体型腔13的整个面。在总体型腔13的周围，通过薄膜按压部件24将离型膜14按压到可动下模12的型面来进行固定。吸附离型膜14，并使之沿各独立型腔26中的型面。此外，图2的(a)中表示了使用薄膜按压部件24的情况。不限于此，还可以不使用离型膜14和薄膜按压部件24。

如图2的(b)所示，供给机构15通过将液状树脂保管机构16和分送器17一体化而构成。在液状树脂保管机构16中，设置有用于储存作为主剂的液状树脂的主剂用筒18和用于储存作为硬化剂的液状树脂的硬化剂用筒19。作为主剂，可使用具有热硬化性和透光性的硅酮树脂和环氧树脂等。

图2所示的分送器17为在实际使用时混合主剂和硬化剂的双液混合类型的分送器。此外，在供给机构15的侧面(图2的(b)中的下侧)设置有液状树脂保管机构16。代替此，还可以在供给机构15的后侧(图2的(b)中的右侧)设置有液状树脂保管机构16。

主剂用筒18通过例如作为配管的氟树脂管27与设置在分送器17上的主剂的储存部28连接。硬化剂用筒19通过作为配管的氟树脂管29与设置在分送器17上的硬化剂的储存部30连接。主剂的储存部28和硬化剂的储存部30均为不锈钢(stainless steel)制。

氟树脂管27、29的长度为与供给机构15所具有的分送器18沿Y方向移动的距离相对应的长度即可。优选氟树脂管27、29具有耐压性、耐热性和柔软性等。

主剂的计量送出机构31与主剂的储存部28连接。硬化剂的计量送出机构32与硬化剂的储存部30连接。主剂的储存部28和硬化剂的储存部30均连接至称作混合室33的通用的空间。

在混合室33连接有作为静态混合部件的静态搅拌机34。混合室33和静态搅拌机34一起构成将主剂和硬化剂混合的混合部35。在静态搅拌机34的前端安装有作为喷出部的喷嘴36。在混合部35中通过将主剂和硬化剂混合而生成的混合液状树脂37从喷嘴36的前端向正下方(-Z方向)喷出。

在供给机构15上设置有使供给机构15所具有的分送器17沿Y方向移动的移动机构38。可以使分送器17也沿上下方向(Z方向)移动。可以使图2的(a)所示的分送器17以在铅直面内(包括Y轴和Z轴的面内)或水平面内(包括X轴和Y轴的面内)以某一点为中心局部旋转的方式往复移动。此时，分送器17以其前端部描绘圆弧的局部的方式进行往复移动。

图2所示的静态搅拌机34和喷嘴36可以彼此装卸。因此，能够彼此交换静态搅拌机34和喷嘴36。代替此，可设为静态搅拌机34和喷嘴36一体化而成的部件。此外，可以使从喷嘴36的前端喷出混合液状树脂37的方向为水平方向，并且还可以使其为斜下方。

参照图1和图2，关于树脂成型装置1的动作，对使用成型模块3C的情况进行说明。例如，将安装有LED芯片25的封装前基板5使安装有LED芯片25的面朝下地从封装前基板供给部6转交给装载器9。接下来，使装载器9从基板供给并收纳模块2沿导轨11且沿+X方向移动至成型模块3C。

接下来，在成型模块3C中，使装载器9沿-Y方向移动至可动下模12与固定上模23(参照图2)之间的规定的位置。将使安装有LED芯片25的面朝下的封装前基板5固定在固定上模23的下表面。在将封装前基板5配置在固定上模的下表面之后，使装载器9移动至基板供给并收纳模块2中的原来的位置。

接下来，使用移动机构20，使供给机构15从液状树脂供给模块4中的待机位置，沿导轨11且沿-X方向移动至成型模块3C。由此，使供给机构15移动至模块3C中的可动下模12附近的规定的位置。图1表示使供给机构15移动至模块3C中的可动下模12附近的规定的位置的状态。

接下来，使用移动机构38，使分送器17从供给机构15移动至可动下模12上方的规定的位置。

接下来，如图2的(a)所示，从分送器17的喷嘴36向型腔13供给混合液状树脂37。此时，朝向作为收容部的型腔12喷出混合液状树脂37的工序和将收容部中收容着的混合液状树脂37收容在型腔13中的工序通用。

具体来讲，将储存在主剂用筒18中的主剂，经由氟树脂管27移送至主剂的储存部28。使用计量送出机构31，从主剂的储存部28向混合室33送出主剂。将储存在硬化剂用筒19中的硬化剂，经由氟树脂管29移送至硬化剂的储存部30。使用计量送出机构32，从硬化剂的储存部30向混合室33送出硬化剂。在混合室33中使主剂和硬化剂汇合。使用静态搅拌机31，进一步混合在混合室33中进行汇合并开始混合的混合液状树脂37。由此生成混合液状树脂37。从分送器17的喷嘴36向型腔13喷出混合液状树脂37。

此外，还可以同时进行使分送器17从供给机构15移动至可动下模12上方的规定的位置的工序和生成混合液状树脂37的工序。

接下来，在将混合液状树脂37供给至型腔13之后，通过使用移动机构38来使分送器17后退到供给机构15。通过使用移动机构20来使供给机构15移动至液状树脂供给模块4中的原来的待机位置。

接下来，在成型模块3C中，向型腔13供给混合液状树脂37之后，通过使用合模机构CL来使可动下模12向上移动，对固定上模23和可动下模12进行合模。通过进行合模，从而将安装在封装前基板5上的LED芯片25浸渍在被供给至型腔13的混合液状树脂37中。此时，可通过使用设置在可动下模12上的型腔底面部件(未图示)，来对型腔13内的混合液状树脂37施加规定的树脂压力。

此外，在进行合模的过程中，可以通过使用抽真空机构21来抽吸型腔13内。由此，在型腔13内残留的空气和在混合液状树脂37中所包含的气泡等被排出到成型模的外部。此外，型腔13内被设定为规定的真空度。

接下来，通过仅加热使混合液状树脂37硬化所需时间，从而使混合液状树脂37硬化而形成硬化树脂。由此，通过与型腔13的形状相对应地形成的硬化树脂对安装在封装前基板5上的LED芯片25进行树脂封装。在使混合液状树脂37硬化之后，通过使用合模机构CL来对固定上模23和可动下模12进行开模。

接下来，使装载器9退避至不妨碍卸载器10移动至成型模块3C的适当的位置。例如，使装载器9从基板供给并收纳模块2退避至成型模块3D或液状树脂供给模块4中的适当的位置。之后，使卸载器10从基板供给并收纳模块2沿导轨11且沿+X方向移动至成型模块3C。

接下来，在成型模块3C中，使卸载器10沿-Y方向移动至可动下模12与固定上模23之间的规定的位置，并且卸载器10从固定上模23接收已封装基板7。在接收已封装基板7之后，使卸载器10返回到基板供给并收纳模块2，并且将已封装基板7收纳到已封装基板收纳部8。在该时刻，完结最初的封装前基板5的树脂封装，从而完成最初的已封装基板7。

接下来，使退避至成型模块3D或液状树脂供给模块4中的适当的位置的装载器9移动至基板供给并收纳模块2。从封装前基板供给部6向装载器9转交下一个封装前基板5。如此重复树脂封装。

使用控制部22，控制封装前基板5的供给、供给机构15及分送器17的移动、混合液状树脂37的喷出、固定上模23和可动下模12的合模及开模以及已封装基板7的收纳等所有的动作。

根据本实施例，将液状树脂保管机构16和分送器17一体化而构成。由此，分送器17的移动距离为从可动下模12的附近至可动下模12的上方中的规定位置这种短距离。因此，能够缩短氟树脂管27、29的距离。由于在使供给机构15整体沿-Y方向移动而使其移动至可动下模12附近的规定位置的情况下，分送器17的移动距离进一步变短，因此能够进一步缩短氟树脂管27、29的距离。

通过缩短氟树脂管27、29的距离，从而第一，能够使供给机构15本身小型化。由此，能够在液状树脂供给模块4与各成型模块3A、3B、3C、3D之间，经由导轨11使供给机构15容易移动。

第二，能够抑制伴随分送器17的移动而在氟树脂管27、29上产生弯曲和挠曲的现象。由此在氟树脂管27、29中，能够抑制在弯曲部中积存有液状树脂(主剂、硬化剂)和空气的现象。因此，能够将液状树脂稳定地移送至分送器17的储存部28、30。

根据本实施例，从可动下模12附近移动至可动下模12上方的规定位置处的分送器17通过将下面的结构要素一体化而构成。这些结构要素为如下：用于分别储存多种液状树脂的储存部28、30、仅以规定量送出已被储存的多种液状树脂的计量送出机构31、32、将被送出的多种液状树脂混合而形成混合液状树脂的混合部35和喷出混合液状树脂的喷嘴36。由此能够使分送器17本身小型化。因此，能够使将分送器17和液状树脂保管机构16一体化而成的供给机构15小型化。

根据本实施例，使用静态搅拌机34进一步混合在混合室33中汇合并开始混合的主剂和硬化剂。因此，能够缩短静态搅拌机34。由此，能够进一步使分送器17本身进一步小型化。因此，能够使将分送器17和液状树脂保管机构16一体化而成的供给机构15进一步小型化。

根据本实施例，主剂的储存部28和硬化剂的储存部30为不锈钢(stain-less steel)制。例如，聚丙烯制的储存部由于受到移送液状树脂时的压力(树脂压力)而膨胀。另一方面，不锈钢制的储存部即使受到树脂压力，也不会膨胀。因此，储存部28、30不会因树脂压力而变形。由此，储存部28、30的内径不会有变动。因此，能够通过计量送出机构31、32，无偏差地且稳定地送出规定量的液状树脂。

根据本实施例，作为图1所示的结构要素的基板供给并收纳模块2、成型模块3A、3B、3C、3D和液状树脂供给模块4分别相对于其他结构要素能够装卸，并且，能够被交换。由此，能够在事后增加或减少树脂成型装置1中的成型模块。因此，能够根据市场动向的变化等，将成型模块作为单位来进行增减和转移设置。图1中表示了沿X方向安装排列有各结构要素以及设置有四个成型模块的情况。不限于此，可设置有一个以上且任意数量的成型模块。

此外，在后述的各实施例中通用本实施例所涉及的以下的记载。

在本实施例中，如图2的(a)所示，沿水平方向配置有分送器17本身，换言之，横向配置有分送器17本身。由此，能够缩小树脂成型装置1的高度。还可以沿铅直方向配置分送器17本身，换言之，可以纵向配置分送器17本身。由此，能够缩小树脂成型装置1的平面面积。此外，还可以朝向斜下方配置分送器17本身。根据液状树脂所具有的粘度等特性，还可以朝向斜上方或朝上配置分送器17本身。

在本实施例中，供给机构15移动的方向(X方向)和分送器17移动的方向(Y方向)正交。不限于此，供给机构15移动的方向和分送器17移动的方向可以不正交，并且还可以是相同的方向。

在本实施例中，使供给机构15整体移动至模块3C中的可动下模12附近的规定的位置。在该工序中，还可以使供给机构15整体沿-Y方向移动而使其移动至可动下模12附近的规定的位置。换言之，“模块3C中的可动下模12附近的规定的位置”这一书面语包括从成型模块3C中的导轨11上的位置至供给机构15能够最靠近可动下模12的位置。

(实施例2)

参照图3，对本发明所涉及的树脂成型装置1的实施例2进行说明。在图3中，在两个筒18中储存有主剂39，并且在两个筒19中储存有硬化剂40。主剂39和硬化剂40均为液状树脂。作为加压机构的压缩机41例如通过尼龙管42与各筒18、19连接。从压缩机41经由尼龙管42向各筒18、19供给压缩空气。在压缩机41与筒18、19之间，分别设置有控制压缩空气的压力的电-气调压阀43、44。通过使用电-气调压阀43、44，能够多级控制从压缩机41分别供给的压缩空气的压力。

通过使用切换阀(未图示)，来向两个筒18中的一个筒18供给压缩空气。通过使用切换阀(未图示)，来向两个筒19中的一个筒19供给压缩空气。图3表示分别设置有两个筒18、19的情况。还可以分别设置有三个以上的筒。

在各筒18的内部分别设置有根据从压缩机41供给的压缩空气的压力进行进退的柱塞45。在各筒19的内部分别设置有根据从压缩机41供给的压缩空气的压力进行进退的柱塞46。

在树脂成型装置1(参照图1)中，由液状树脂保管机构16和分送器17一体化而成的供给机构15(参照图1、图2)在液状树脂供给模块4和各成型模块3A、3B、3C、3D之间进行移动。因此，作为用于从压缩机41供给压缩空气的配管36优选使用具有柔软性的尼龙管42。

参照图3，对分送器17的动作进行说明。从压缩机41依次经由尼龙管42和电-气调压阀43，向一个主剂用筒18内供给压缩空气。通过使用供给至一个筒18内的压缩空气，来按压该筒18内的柱塞45。通过被按压的柱塞45下降来按压主剂39。由此，经由氟树脂管27，向设置在分送器17上的主剂的储存部28移送主剂39。

同样地，从压缩机41依次经由尼龙管42和电-气调压阀43，向一个硬化剂用筒19内供给压缩空气。通过使用被供给至一个筒19内的压缩空气，来按压该筒19内的柱塞46。通过被按压的柱塞46下降来按压硬化剂40。由此，经由氟树脂管29，向设置在分送器17上的硬化剂的储存部30移送硬化剂40。

控制部22(参照图1)以如下方式控制主剂39的移送和硬化剂40的移送。同步进行从压缩机41供给的压缩空气按压一个筒18内的主剂39的动作和通过使用计量送出机构31来从该筒18内向储存部28吸入主剂39的动作。同步进行通过从压缩机41供给压缩空气而按压一个筒19内的硬化剂40的动作和通过使用计量送出机构32来从该筒19内向储存部30吸入硬化剂40的动作。如此，能够在各个储存部28、30中不形成真空状态的情况下向储存部28稳定地填满主剂39且向储存部30稳定地填满硬化剂40。

根据液状树脂的粘度的高低，也可以例如通过使用电-气调压阀43、44来从高压至低压多级控制压缩空气的压力。由此，能够分别向储存部28、30进一步稳定地填满主剂39和硬化剂40。通过使用电-气调压阀43、44来根据液状树脂的粘度使压力最佳化，从而能够进一步控制氟树脂管27、29中的液状树脂和空气的积存。

根据本实施例，能够得到与实施例1相同的效果。

此外，根据本实施例，分别设置有多个筒18、19。由此，在一个筒中的液状树脂为空的情况下，能够通过切换至剩余的一个筒中并与氟树脂管27、29连接。因此，由于无需为了交换筒而停止树脂成型装置1的运转，不会降低生产率。

此外，根据本实施例，通过使用电-气调压阀43、44来将压缩空气的压力控制为多级，例如将压缩空气的压力控制为四级至五级。由此，能够进一步抑制氟树脂管27、29中的液状树脂和空气的积存。

此外，可通过使用静电电容式传感器、光束传感器、红外线传感器和接近传感器等来对各筒18内的主剂39和各筒19内的硬化剂40的液量进行管理。通过对液量进行管理，从而在分别设置为多个的筒18、19中，检测出一个筒18、19的液状树脂的剩余不多的情况。

在树脂成型装置1进行动作的状态下，当一个筒18、19的液状树脂的剩余不多时，通过切换至其他未使用的筒18、19并使用该未使用的筒18、19中的液状树脂33。具体来讲，第一，将主剂39的剩余不多的筒18切换至其他未使用的筒18。第二，将硬化剂40的剩余不多的筒19切换至其他未使用的筒19。由此，能够避免在填满于储存部28的主剂39以及填满于储存部30的硬化剂40为空的情况。因此，能够避免在混合室33中混入空气的情况。

(实施例3)

参照图4，对本发明所涉及的树脂成型装置1的实施例3中所使用的分送器17进行说明。作为主剂39的计量送出机构31，设置有伺服电动机47、滚珠丝杠48和滚珠丝杠螺母49。在主剂39的储存部28中设置有被安装在滚珠丝杠48的前端上的柱塞50。通过伺服电动机47，滚珠丝杠48旋转并按压柱塞50。通过柱塞50按压主剂39而向混合室33送出规定量的主剂39。

同样地，作为硬化剂的计量送出机构32，设置有伺服电动机51、滚珠丝杠52和滚珠丝杠螺母53。在硬化剂40的储存部30中设置有被安装在滚珠丝杠51的前端上的柱塞54。通过伺服电动机51，滚珠丝杠52旋转并按压柱塞54。通过柱塞54向混合室33送出规定量的硬化剂40。

分别被送出至混合室33的通道55的规定量的主剂39和规定量的硬化剂40在通道55中进行汇合而开始混合。之后，主剂39和硬化剂40被送出至静态搅拌机34。

此外，通过分别控制三通阀(未图示)而切换如下的一系列动作。第一系列动作为如下的动作：从筒18(参照图3)经由氟树脂管27向储存部28移送主剂39的动作和从储存部28向混合室33送出主剂39的动作。第二系列动作为如下的动作：从筒19(参照图3)经由氟树脂管29向储存部30移送硬化剂40的动作和从储存部30向混合室33送出硬化剂40的动作。

参照图4，对分送器17的动作进行说明。首先，分别从计量送出机构31和计量送出机构32向混合室33的通道55内送出一定比例的主剂39和硬化剂40。

在该工序中，根据进行树脂成型的对象，以最佳的比例混合主剂39和硬化剂40。例如，通过分别控制伺服电动机47、51的旋转速度而控制柱塞50、54的移动量(行程)。通过分别控制伺服电动机47、51的旋转速度，从而能够高精度地控制柱塞50、54的移动量。因此，能够高精度地控制主剂39和硬化剂40的送出量。

接下来，通过使用静态搅拌机34来进一步混合在通道55内进行汇合并开始混合的主剂39和硬化剂40。由此，生成混合液状树脂(参照图2所示的混合液状树脂37)。

接下来，从安装在静态搅拌机34的前端上的喷嘴36的开口朝向正下方喷出混合液状树脂，并供给至图2所示的型腔13。

根据本实施例，通过高精度地控制柱塞50、54的移动量，从而能够分别稳定地且高精度地送出一定量的主剂39和硬化剂40。因此，分送器17能够稳定地且高精度地喷出混合液状树脂37(参照图2)。

此外，可以使主剂39的送出开始时间和硬化剂40的送出开始时间一致，并且，可以使主剂39的送出完结时间和硬化剂40的送出完结时间一致。由此，能够进一步稳定混合液状树脂37(参照图2)的喷出。

在结束主剂39和硬化剂40的送出之后，也可通过使伺服电动机47、51反向旋转，从而从喷嘴36的前端部抽吸混合液状树脂37(参照图2)。由此，能够防止混合液状树脂37从喷嘴36的前端部垂滴的现象。

图4中表示了通过柱塞50、54静态按压液状树脂(主剂39和硬化剂40)的情况。不限于此，还可以设为如下的结构：在柱塞50、54的前端设置螺旋状的旋转部件，以动态按压液状树脂。另外，还可以设为如使储存部28、30本身旋转的结构。

作为液状树脂的计量送出机构，使用了使用伺服电动机和滚珠丝杠的送出机构(伺服液压缸方式)。不限于此，还可以使用例如步进电动机与滚珠丝杠的组合、单轴偏心螺杆方式(单螺杆泵方式)或气缸等送出机构。

(实施例4)

参照图5，对本发明所涉及的树脂成型装置1的实施例4进行说明。与实施例1的区别为在供给机构15中将分送器17划分为两个块。具体来讲，将分送器17划分为如下两个块：即，通过计量并送出经储存的液状树脂的块(储存送出部)和通过将被送出的液状树脂混合来喷出的块(混合喷出部)。进而，将储存送出部划分为主剂的储存送出部和硬化剂的储存送出部。混合喷出部能够沿Y方向移动。

如图5所示，主剂的储存部28通过氟树脂管56与混合室57连接。硬化剂的储存部30通过氟树脂管58与混合室57连接。在混合室57连接有静态搅拌机34。混合室57和静态搅拌机34一起构成将主剂和硬化剂混合的混合部35。混合部35和喷嘴36一体化而一起构成混合喷出部59。在分送器17设置有使混合喷出部59沿Y方向移动的移动机构60。各个主剂的计量送出机构31和储存部28一起构成主剂的储存送出部61。各个硬化剂的计量送出机构32和储存部30一起构成硬化剂的储存送出部62。

在供给机构15内，通过移动机构60使混合喷出部59沿-Y方向(朝向可动下模12的方向)。也可以使混合喷出部59沿上下方向(Z方向)移动。可以使图5的(a)所示的分送器17以在铅直面内(包括Y轴和Z轴的面内)或水平面内(包括X轴和Y轴的面内)以某一点为中心局部旋转的方式往复移动。

在本实施例中，将分送器17划分为如下两个块：即，包括主剂的储存送出部61和硬化剂的储存送出部62的第一块和包括混合喷出部59的第二块。从第一块分开的第二块即混合喷出部59通过移动机构60沿Y方向移动。

首先，使用计量送出机构31按规定量计量被储存在主剂的储存部28中的主剂。将规定量的主剂通过氟树脂管56送出至称作混合室57的空间。同样地，使用计量送出机构32按规定量计量被储存在硬化剂的储存部30中的硬化剂。将规定量的硬化剂经由氟树脂管58送出至称作混合室57的空间。

接下来，在混合室57中使按一定的比例送出的主剂和硬化剂进行汇合并开始混合。将开始混合的主剂和硬化剂移送至静态搅拌机34并进一步混合。由此生成混合液状树脂37。

接下来，使用移动机构60，使混合喷出部59移动至可动下模12上方的规定的位置。还可以同时进行使混合喷出部59移动的工序和生成混合液状树脂37的工序。

接下来，从分送器17前端的喷嘴36朝向正下方喷出混合液状树脂37。由此，向型腔13供给混合液状树脂37。

根据本实施例，能够得到与实施例1相同的效果。

此外，根据本实施例，可得到能够对多张大面积的基板持续地且稳定地供给所需的混合液状树脂37这一效果。具体来讲，将分送器17划分为如下两个块：即，包括主剂的储存送出部61和硬化剂的储存送出部62的第一块和包括混合喷出部59的第二块。使混合喷出部59相对于可动下模12进行进退，并且，不使主剂的储存送出部61和硬化剂的储存送出部62进行进退。由此，能够增加主剂的储存部28和硬化剂的储存部30的容积，从而能够在储存部28、30中分别储存大容量的主剂和硬化剂。因此，能够对多张大面积的基板持续地且稳定地供给所需的混合液状树脂37。

此外，在上述的各实施例中，关于对LED芯片进行树脂封装时所使用的树脂成型装置及树脂成型方法进行了说明。进行树脂封装的对象可以是IC或晶体管等半导体芯片，也可以是无源元件。当对安装于印刷基板或陶瓷基板等的基板上的一个或多个电子部件的芯片进行树脂封装时，可适用本发明。

此外，不限于对电子部件进行树脂封装的情况，也可在通过树脂成型制造透镜、光学模块或导光板等光学部件的情况和制造一般的树脂成型品的情况等中适用本发明。

在各实施例中，对采用压缩成型的树脂成型装置及树脂成型方法进行了说明。此外，可在采用传递模塑成型的树脂成型装置及树脂成型方法中适用本发明。此时，向设置在成型模上的由圆筒状的空间构成的树脂收纳部(在下方配置有叫做柱塞的升降部件，通常收纳由固体树脂构成的树脂材料的部分，叫做料筒)供给混合液状树脂。

在各实施例中，对于将设置在下模上的型腔作为收容部，并且向该型腔中供给混合液状树脂的示例进行了说明。除型腔之外，收容部也可以是下面的任一种结构。在第一种结构中，收容部为在下模上设置的料筒(如上所述)。

在第二种结构中，收容部为包括基板的上表面的空间且为包括在该基板的上表面上装配的芯片(半导体芯片、无源部件的芯片等电子部件的芯片)的空间。供给混合液状树脂并使之覆盖在基板的上表面上装配的芯片。

在第三种结构中，收容部为包括硅晶片等半导体基板的上表面的空间。供给混合液状树脂并使之覆盖在半导体基板上形成的半导体电路等功能部。

在第四种结构中，收容部为包括最终应被收容于成型模的型腔中的薄膜的上表面的空间。该结构中的收容部为例如通过薄膜凹陷而形成的凹部。混合液状树脂被供给到通过薄膜凹陷而形成的凹部中。作为该薄膜的目的，可以列举提高离型性、由薄膜表面上的凹凸构成的形状转印和在薄膜上事先形成的图案的转印等。使用适当的运送机构，和薄膜一起运送在薄膜的凹部中收容的混合液状树脂，并且最终收容于成型模的型腔中。

在第一至第四种结构中的任一种结构下，在收容部中收容的混合液状树脂也会最终被收容于成型模的型腔的内部，并且在型腔的内部进行硬化。

在第二至第四种结构中的任一种结构下，也能够在相对的一对成型模的外部向收容部供给混合液状树脂，并且在成型模之间运送至少包括该收容部的结构要素。

在各实施例中，在基板供给并收纳模块2与液状树脂供给模块4之间，沿X方向排列安装有四个成型模块3A、3B、3C、3D。还可以将基板供给并收纳模块2和液状树脂供给模块4作为一个模块，并且在该模块上沿X方向排列安装一个成型模块3A。进而，还可以在该一个模块上沿X方向排列并安装一个成型模块3A，并且在成型模块3A上安装其他成型模块3B。

在各实施例中，还可以在混合室33的内部设置搅拌机构。由此，能够进一步缩短静态搅拌机34。可以使用旋转叶片或磁力搅拌器(magnetic stirrer)等作为搅拌机构。

在各实施例中，作为第一特征，主剂的储存部28和硬化剂的储存部30一起连接至称作混合室33的通用的空间。作为第二特征，主剂的储存部28和硬化剂的储存部30一起连接至称作混合室57的通用的空间。此外，在第二特征中，还可以根据液状树脂所具有的粘度等特性，主剂的储存部28和硬化剂的储存部30一起直接连接至静态搅拌机34。在第二特征的变形例中，静态搅拌机34整体作为液状树脂混合机构来发挥作用。通过省略混合室，能够使分送器17本身进一步小型化。

在各实施例中，使用了两种树脂材料。不限于此，可以使用三种以上的树脂材料。

本发明并不限定于上述的各实施例，在不脱离本发明的主旨的范围内，可按照需要，任意并且适当组合而进行变更，或选择性地采用。例如，可组合实施例2和实施例4。

Claims (10)

1.一种树脂成型装置，具备：

上模；

下模，与所述上模相对设置；

型腔，设置于所述上模和所述下模中的至少一个上；

收容部，用于收容将在所述型腔中进行硬化的混合液状树脂；

供给机构，向所述收容部供给所述混合液状树脂；和

合模机构，对至少具有所述上模和所述下模的成型模进行合模，

所述树脂成型装置的特征在于，具备：

液状树脂保管机构，设置于所述供给机构，用于保管多种液状树脂；

多个容器，设置于所述液状树脂保管机构，用于按种类保管所述多种液状树脂；

喷出机构，设置于所述供给机构，用于向所述收容部喷出所述混合液状树脂；

多个液状树脂储存机构，设置于所述喷出机构，用于按种类储存从所述多个容器移送来的所述多种液状树脂；

多个液状树脂送出机构，设置于所述喷出机构，用于按种类且以一定的量送出已储存的所述多种液状树脂；

液状树脂混合机构，设置于所述喷出机构，用于通过混合被送出的所述多种液状树脂而生成所述混合液状树脂；和

第一移动机构，使所述供给机构从待机位置移动至所述收容部的附近，

所述第一移动机构使所述液状树脂保管机构和所述喷出机构成为一体而移动。

2.根据权利要求1所述的树脂成型装置，其特征在于，

进一步具备使所述喷出机构从所述收容部的附近移动至所述收容部的上方的第二移动机构，

所述第二移动机构使所述多个液状树脂储存机构、所述多个液状树脂送出机构和所述液状树脂混合机构成为一体而移动。

3.根据权利要求1所述的树脂成型装置，其特征在于，

进一步具备：

储存送出部，设置于所述喷出机构；

混合喷出部，设置于所述喷出机构，且与所述储存送出部分开；和

第三移动机构，使所述混合喷出部从所述收容部的附近移动至所述收容部的上方，

所述储存送出部至少具有所述多个液状树脂储存机构和所述多个液状树脂送出机构，

所述混合喷出部至少具有所述液状树脂混合机构。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的树脂成型装置，其特征在于，

进一步具备向所述多个容器供给压缩空气的加压机构，

通过从所述加压机构分别向所述多个容器供给的所述压缩空气分别按压所述多种液状树脂，从而从所述多个容器向所述多个液状树脂储存机构分别移送所述多种液状树脂。

5.根据权利要求1至3中的任一项所述的树脂成型装置，其特征在于，

进一步具备：

供给模块，所述供给机构在所述供给模块中待机；和

至少一个成型模块，至少具有所述成型模和所述合模机构，

所述至少一个成型模块能够相对于所述供给模块装卸，

所述至少一个成型模块能够相对于其他成型模块装卸，

在安装有所述供给模块和所述至少一个成型模块的状态下，所述供给机构沿所述供给模块和所述至少一个成型模块排列的方向移动。

6.一种树脂成型方法，包括：

准备至少具有上模和与所述上模相对设置的下模的成型模的工序；

在收容部中收容将在设置于所述上模和所述下模中的至少一个上的型腔中进行硬化的混合液状树脂的工序；和

对所述成型模进行合模的工序，

所述树脂成型方法的特征在于，进一步包括：

准备供给机构的工序，所述供给机构由具备多个容器的液状树脂保管机构、分别储存多种液状树脂的多个液状树脂储存机构、分别送出所述多种液状树脂的多个液状树脂送出机构和接收并混合分别被送出的所述多种液状树脂的液状树脂混合机构构成为一体；

将所述多种液状树脂按种类分别保管在所述多个容器中的工序；

从所述多个容器向所述多个液状树脂储存机构分别移送所述多种液状树脂的工序；

分别储存移送来的所述多种液状树脂的工序；

分别以一定的量计量已储存的所述多种液状树脂的工序；

分别向所述液状树脂混合机构送出计量出的所述多种液状树脂的工序；

通过在所述液状树脂混合机构中混合所述多种液状树脂而生成所述混合液状树脂的工序；

使所述供给机构移动至所述成型模的附近的工序；

至少使所述液状树脂混合机构从所述成型模的附近移动至所述收容部的上方的工序；

朝向所述收容部喷出所述混合液状树脂的工序；

将所述收容部中收容着的所述混合液状树脂收容在所述型腔的工序；

对所述成型模进行合模的工序；和

在将所述成型模合模的状态下使所述混合液状树脂硬化的工序。

7.根据权利要求6所述的树脂成型方法，其特征在于，

在至少使所述液状树脂混合机构移动的工序中，使所述供给机构移动至所述收容部的上方。

8.根据权利要求6所述的树脂成型方法，其特征在于，

在至少使所述液状树脂混合机构移动的工序中，使所述液状树脂混合机构移动至所述收容部的上方。

9.根据权利要求6至8中的任一项所述的树脂成型方法，其特征在于，

在所述进行移送的工序中，进一步包括通过压缩空气分别按压被分别保管在所述多个容器中的所述多种液状树脂的工序。

10.根据权利要求6至8中的任一项所述的树脂成型方法，其特征在于，

进一步包括：

准备供给模块和至少具有所述成型模和所述合模机构的至少一个成型模块的工序，所述供给机构在所述供给模块中待机；和

安装所述供给模块和所述至少一个成型模块的工序，

在使所述供给机构移动的工序中，在安装有所述供给模块和所述至少一个成型模块的状态下，使所述供给机构沿所述供给模块和所述至少一个成型模块排列的方向移动。