JP6541600B2 - 樹脂成形装置及び樹脂成形方法並びに流動性材料の吐出装置 - Google Patents

Description

本発明は、トランジスタ、集積回路（Integrated Circuit ：ＩＣ）、発光ダイオード（Light Emitting Diode：ＬＥＤ）などのチップ状の電子部品（以下適宜「チップ」という。）を、液状樹脂を用いて樹脂封止する場合などに使用される、樹脂成形装置及び樹脂成形方法並びに流動性材料の吐出装置に関するものである。本出願書類においては、「液状」という用語は常温において液状であって流動性を有することを意味しており、流動性の高低、言い換えれば粘度の程度を問わない。

従来から、基板に装着された半導体チップは、例えば、シリコーン樹脂やエポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂からなる液状樹脂を用いて樹脂封止される。樹脂封止する技術としては、圧縮成形、トランスファ成形などの樹脂成形技術が使用される。液状樹脂を用いる樹脂成形においては、主剤となる液状樹脂に、硬化剤などの補助剤となる液状樹脂を混合させ、混合された液状樹脂を加熱することによって樹脂成形が行われる。

液状樹脂を用いる樹脂封止では、樹脂吐出機構であるディスペンサの先端に取り付けられたノズルから下型に設けられたキャビティに液状樹脂が供給される。樹脂封止する製品に対応して、キャビティの大きさや形状は多種多様である。したがって、製品に対応して下型には大面積を有する１個のキャビティ又は小面積を有する複数のキャビティなどが設けられる。下型に１個のキャビティが設けられる場合であれば、１個のディスペンサによって液状樹脂が供給される。下型に複数のキャビティが設けられる場合であっても、１個のディスペンサによって複数のキャビティに順次液状樹脂を供給することができる。しかしながら、１個のディスペンサを用いて複数のキャビティに順次液状樹脂を供給するので、供給に要する時間が長くなり生産性が低下する。複数のキャビティにそれぞれ対応するように、複数のディスペンサを設けて液状樹脂を供給することもできるが、装置全体の構成が複雑になり、かつ費用も高くなる。

複数のキャビティに液状樹脂を供給するために、ディスペンサの先端に複数のノズルを設けることができる。この場合には、複数のノズルから同時に所定量の液状樹脂を、それぞれのキャビティに供給する。したがって、複数のノズルから均等に安定して液状樹脂を供給することが重要となる。

多数個取りによる圧縮成形を可能にする成形装置として、「樹脂成形材料６を可塑化して押し出す押出機１の先端に可塑化樹脂成形材料６を送り出す複数の分岐路２を設けると共に各分岐路２に計量機構と射出機構を具備する押出ノズル３を設けて形成されるマルチノズル押出機４と、押出ノズル３から押し出される可塑化樹脂成形材料６が供給される圧縮成形金型５とから成る」成形装置が提案されている（例えば、特許文献１の段落〔０００５〕、図１〜図２参照）。

特開平６−１１４８６７号公報

しかしながら、特許文献１に開示された従来の成形装置は、次のような課題を有する。特許文献１の図１に示されるように、可塑化樹脂成形材料６を送り出す送り出し路１４の先端には複数に分岐される分岐路２が接続してある。そしてこの各分岐路２の先端に押出ノズル３の基部に設けた計量・射出ユニット１７が接続してある。各押出ノズル３の計量・射出ユニット１７に供給された可塑化樹脂成形材料６は、各計量・射出ユニット１７において個別に計量されて射出され、各押出ノズル３のノズル口１８から圧縮成形金型５の下金型５ａの各キャビティに供給されて投入される。

このような装置構成では、各計量・射出ユニット１７において、それぞれのユニットが各キャビティに供給する可塑化樹脂成形材料６を計量して各押出ノズルに射出する。したがって、キャビティの数に対応するだけの計量・射出ユニット１７を設けて、それぞれのユニット１７が射出量を制御する。したがって、多数個取りをするために装置構成が複雑になり、かつ装置の費用が高くなる。

本発明は上記の課題を解決するもので、複数の吐出口からの流動性樹脂の吐出量のばらつきを容易に低減することができる樹脂成形装置及び樹脂成形方法並びに流動性材料の吐出装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明に係る樹脂成形装置は、互いに対向して配置される上型及び下型の少なくとも一方にキャビティが設けられた成形型と、キャビティに流動性樹脂を供給するために、流動性樹脂を吐出する樹脂吐出機構と、成形型を型締めする型締機構とを備え、樹脂吐出機構は、流動性樹脂の流入口と吐出口との間において分岐された分岐流路を有する流路部材と、それぞれの分岐流路内に配置され、流動性樹脂の通過に伴い回転可能な回転体と、分岐流路内に配置された回転体のそれぞれを連動させて回転させる連動機構とを含む。

上記の課題を解決するために、本発明に係る樹脂成形方法は、互いに対向して配置される上型及び下型の少なくとも一方にキャビティが設けられた成形型を用い、キャビティに流動性樹脂を供給するために、流動性樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、樹脂材料が供給された成形型を型締めする型締工程とを含み、樹脂吐出工程は、流動性樹脂の流入口と吐出口との間において分岐された分岐流路内のそれぞれに配置された回転体を連動させて回転させることにより、流動性樹脂をそれぞれの回転体を通過させる。

上記の課題を解決するために、本発明に係る流動性材料の吐出装置は、流動性材料の流入口と吐出口との間において分岐された分岐流路を有する流路部材と、それぞれの分岐流路内に配置され、流動性材料の通過に伴い回転可能な回転体と、分岐流路内に配置された回転体のそれぞれを連動させて回転させる連動機構とを備える。

本発明によれば、複数の吐出口からの流動性樹脂の吐出量のばらつきを容易に低減することができる。

実施形態１の樹脂成形装置において、装置の概要を示す平面図である。 （ａ）〜（ｃ）は、実施形態１の樹脂成形装置において、基板に装着されたチップを樹脂封止する過程を示す概略断面図である。 （ａ）は実施形態１の樹脂成形装置において使用されるディスペンサを示す概略図、（ｂ）は実施形態１において使用される樹脂吐出部を示す概略図、（ｃ）は（ｂ）のＡ−Ａ線断面図である。 （ａ）は実施形態１において使用される樹脂吐出部の変形例を示す概略図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。 （ａ）は実施形態２において使用される樹脂吐出部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。 （ａ）は実施形態３において使用される樹脂吐出部を示す平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。 実施形態１〜３で示した各樹脂吐出部の変形例をそれぞれ示す概略断面図である。

以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照して説明する。本出願書類におけるいずれの図についても、わかりやすくするために、適宜省略し又は誇張して模式的に描かれている。同一の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
〔実施形態１〕

（樹脂成形装置の構成）
本発明に係る樹脂成形装置の構成について、図１を参照して説明する。

図１に示される樹脂成形装置１は、例えば、圧縮成形法を使用した樹脂成形装置である。樹脂成形装置１は、基板供給・収納モジュール２と、４つの成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄと、樹脂供給モジュール４とを、それぞれ構成要素として備える。構成要素である基板供給・収納モジュール２と、各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄと、樹脂供給モジュール４とは、それぞれ他の構成要素に対して互いに着脱されることができ、かつ、交換されることができる。

基板供給・収納モジュール２には、封止前基板５を供給する封止前基板供給部６と封止済基板７を収納する封止済基板収納部８とが設けられる。封止前基板５には、例えば、半導体チップなどが装着される。基板供給・収納モジュール２には、ローダ９とアンローダ１０とが設けられ、ローダ９とアンローダ１０とを支えるレール１１がＸ方向に沿って設けられる。ローダ９とアンローダ１０とは、レール１１に沿ってＸ方向に移動する。

レール１１に支えられたローダ９とアンローダ１０とは、基板供給・収納モジュール２と各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄと樹脂供給モジュール４との間を、Ｘ方向に移動する。ローダ９には、各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄにおいて、封止前基板５を上型に供給するための移動機構１２が設けられる。各成形モジュールにおいて、移動機構１２はＹ方向に移動する。アンローダ１０には、各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄにおいて、封止済基板７を上型から受け取る移動機構１３が設けられる。各成形モジュールにおいて、移動機構１３はＹ方向に移動する。

各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄには、昇降可能な下型１４と、下型１４に相対向して配置された上型（図示なし、図２参照）とが設けられる。上型と下型１４とは併せて成形型を構成する。各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄは、上型と下型１４とを型締め及び型開きする型締機構１５を有する（図の二点鎖線で示される部分）。流動性樹脂又は流動性材料である液状樹脂が収容され硬化する空間であるキャビティ１６が下型１４に設けられる。言い換えれば、キャビティ１６は液状樹脂が収容される収容部である。図１においては、下型１４に２個のキャビティ１６が設けられた場合を示す。キャビティ１６の型面に離型フィルムを被覆することができる。なお、ここでは、下型にキャビティが設けられた構成について説明するが、キャビティは上型に設けられても良いし、上型と下型との両方に設けられても良い。

樹脂供給モジュール４には、キャビティ１６に液状樹脂を供給する樹脂搬送機構１７が設けられる。樹脂搬送機構１７は、レール１１によって支えられ、レール１１に沿ってＸ方向に移動する。樹脂搬送機構１７には、液状樹脂の吐出機構又は吐出装置であるディスペンサ１８が設けられる。ディスペンサ１８は先端部に液状樹脂を吐出する樹脂吐出部１９を備える。樹脂吐出部１９にはキャビティ１６の数に対応して複数のノズルが設けられる（図３〜図７参照）。各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄにおいて、ディスペンサ１８は移動機構２０によってＹ方向に移動し、キャビティ１６に液状樹脂を供給する。

図１に示されるディスペンサ１８は、予め主剤と硬化剤とが混合された液状樹脂を使用する１液タイプのディスペンサである。主剤としては、例えば、熱硬化性を有するシリコーン樹脂やエポキシ樹脂などが使用される。液状樹脂を吐出する際に主剤と硬化剤とを混合する２液混合タイプのディスペンサを使用することもできる。

樹脂供給モジュール４には真空引き機構２１が設けられる。真空引き機構２１は、各成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄにおいて上型と下型１４とを型締めする直前にキャビティ１６から、空気を強制的に吸引して排出する。樹脂供給モジュール４には、樹脂成形装置１全体の動作を制御する制御部２２が設けられる。図１においては、真空引き機構２１と制御部２２とを樹脂供給モジュール４に設けた場合を示した。これに限らず、真空引き機構２１と制御部２２とを他のモジュールに設けてもよい。

制御部２２は、液状樹脂の吐出、封止前基板５及び封止済基板７の搬送、成形型の加熱、成形型の開閉などを制御する。言い換えれば、制御部２２は、基板供給・収納モジュール２、成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ及び材料供給モジュール４における各動作の制御を行う。

制御部２２が配置される位置はどこでも良く、基板供給・収納モジュール２、成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ、樹脂供給モジュール４のうちの少なくとも一つに配置することもできるし、各モジュールの外部に配置することもできる。また、制御部２２は、制御対象となる動作に応じて、少なくとも一部を分離させた複数の制御部として構成することもできる。

（樹脂成形装置の動作）
図１〜図２を参照して、樹脂成形装置１において、基板に装着されたチップを樹脂封止する動作について説明する。樹脂成形装置１の動作として成形モジュール３Ｃを使用する場合について説明する。

最初に、例えば、チップ２３（図２（ａ）参照）が装着された封止前基板５を、チップ２３が装着された面を下側にして、封止前基板供給部６からローダ９に受け渡す。次に、ローダ９を、基板供給・収納モジュール２からレール１１に沿って成形モジュール３Ｃまで＋Ｘ方向に移動させる。

次に、成形モジュール３Ｃにおいて、移動機構１２を使用して、封止前基板５を下型１４と上型２４（図２（ａ）参照）との間の所定の位置まで−Ｙ方向に移動させる。チップ２３が装着された面を下側にした封止前基板５を、上型２４の下面に吸着、クランプ等によって固定する。封止前基板５を上型２４の下面に配置した後に、移動機構１２をローダ９まで後退させる。ローダ９を基板供給・収納モジュール２における元の待機位置まで移動させる。

次に、樹脂搬送機構１７を使用して、ディスペンサ１８を、樹脂供給モジュール４における待機位置から、レール１１に沿って成形モジュール３Ｃまで−Ｘ方向に移動させる。このことによって、樹脂搬送機構１７を、モジュール３Ｃにおける下型１４の近傍の所定の位置まで移動させる。移動機構２０を使用して、ディスペンサ１８を下型１４の上方における所定の位置まで移動させる（図２（ａ）参照）。

次に、図２（ａ）に示されるように、ディスペンサ１８の樹脂吐出部１９から下型１４に設けられたキャビティ１６に向かって液状樹脂２５を吐出する。このことによって、キャビティ１６に液状樹脂２５を供給する。

次に、液状樹脂２５をキャビティ１６に供給した後に、移動機構２０を使用してディスペンサ１８を樹脂搬送機構１７まで後退させる。樹脂搬送機構１７を樹脂供給モジュール４における元の待機位置まで移動させる。

次に、成形モジュール３Ｃにおいて、型締機構１５を使用して下型１４を上昇させることによって、上型２４と下型１４とを型締めする（図２（ｂ）参照）。型締めすることによって、封止前基板５に装着されたチップ２３を、キャビティ１６に供給された液状樹脂２５に浸漬させる。このとき、下型１４に設けられたキャビティ底面部材（図示なし）を使用して、キャビティ１６内の液状樹脂２５に所定の樹脂圧力を加えることができる。

なお、型締めする過程において、真空引き機構２１を使用してキャビティ１６内を吸引してもよい。このことによって、キャビティ１６内に残留する空気や液状樹脂２５中に含まれる気泡などが成形型の外部に排出される。加えて、キャビティ１６内が所定の真空度に設定される。

次に、下型１４に設けられたヒータ（図示なし）を使用して、液状樹脂２５を硬化させるために必要な時間だけ、液状樹脂２５を加熱する。このことによって、液状樹脂２５を硬化させて硬化樹脂２６を成形する（図２（ｃ）参照）。このことにより、封止前基板５に装着されたチップ２３を、キャビティ１６の形状に対応して成形された硬化樹脂２６によって樹脂封止する。液状樹脂２５を硬化させた後に、型締機構１５を使用して上型２４と下型１４とを型開きする。上型２４の下面には樹脂封止された成形品２７（封止済基板７）が固定されている（図２（ｃ）参照）。

次に、ローダ９を、アンローダ１０が成形モジュール３Ｃまで移動することを妨げない適当な位置まで退避させる。例えば、基板供給・収納モジュール２から、成形モジュール３Ｄ又は樹脂供給モジュール４における適当な位置まで、ローダ９を退避させる。その後に、アンローダ１０を、基板供給・収納モジュール２からレール１１に沿って成形モジュール３Ｃまで＋Ｘ方向に移動させる。

次に、成形モジュール３Ｃにおいて、移動機構１３を下型１４と上型２４との間の所定の位置まで−Ｙ方向に移動させた後に、移動機構１３が上型２４から封止済基板７を受け取る。封止済基板７を受け取った後、移動機構１３をアンローダ１０まで戻す。アンローダ１０を基板供給・収納モジュール２に戻して、封止済基板７を封止済基板収納部８に収納する。この時点で、最初の封止前基板５の樹脂封止が完了して、最初の封止済基板７が完成する。

次に、成形モジュール３Ｄ又は樹脂供給モジュール４における適当な位置まで退避させていたローダ９を、基板供給・収納モジュール２に移動させる。封止前基板供給部６からローダ９に次の封止前基板５を受け渡す。以上のようにして樹脂封止を繰り返す。

樹脂成形装置１において、制御部２２が、封止前基板５の供給、樹脂搬送機構１７及びディスペンサ１８の移動、液状樹脂２５の吐出、上型２４と下型１４との型閉め及び型開き、封止済基板７の収納などの動作を制御する。

（ディスペンサの構成）
図３を参照して、樹脂成形装置１において使用されるディスペンサ１８について説明する。図３に示されるように、ディスペンサ１８は、液状樹脂２５を送出する樹脂送出機構２８と、液状樹脂２５を貯留する貯留部であるシリンジ２９と、液状樹脂２５を移送する樹脂移送部３０と、液状樹脂２５を吐出する樹脂吐出部１９とを備える。ディスペンサ１８において、樹脂送出機構２８とシリンジ２９と樹脂移送部３０と樹脂吐出部１９とが接続されることによってディスペンサ１８は一体的に構成される。したがって、シリンジ２９又は樹脂吐出部１９を、それぞれ用途に応じて別のシリンジ２９又は樹脂吐出部１９に交換できる。

樹脂送出機構２８は、サーボモータ３１と、サーボモータ３１によって回転するボールねじ３２と、ボールねじナット（図示なし）に取り付けられ回転運動を直動運動に変換するスライダ３３と、スライダ３３の先端部に固定されたロッド３４と、ロッド３４の先端に取り付けられたプランジャ３５とを備える。サーボモータ３１が回転することによって、ボールねじ３２、スライダ３３、ロッド３４をそれぞれ介してプランジャ３５がＹ方向に移動する。

サーボモータ３１はモータの回転を制御できるモータである。サーボモータ３１は、モータの回転を監視する回転検出器（エンコーダ）３６を有する。エンコーダ３６は、サーボモータ３１の回転角、回転速度を検出してフィードバックする。サーボモータ３１の回転を制御することによって、プランジャ３５の位置制御、速度制御、トルク制御などを、精度よく行うことができる。加えて、サーボモータ３１の負荷トルクを監視することによって、ディスペンサ１８に異常（液状樹脂の詰りなど）が発生しているかどうかを検知することができる。

図３（ａ）に示されるディスペンサ１８は、予め主剤と硬化剤とが混合された液状樹脂２５を使用する１液タイプのディスペンサである。図３においては、樹脂吐出部１９として、２個の樹脂吐出口３７有する樹脂吐出部を使用する場合を示す。樹脂吐出部１９を交換することによって、更に多くの樹脂吐出口を有する樹脂吐出部を使用することができる（図４〜図７参照）。

（樹脂吐出部の構成）
図３〜図４を参照して、樹脂成形装置１において使用される樹脂吐出部の実施形態１について説明する。図３（ｃ）に示されるように、樹脂吐出部１９は、液状樹脂２５が流入する樹脂流入口４０と液状樹脂２５が吐出される樹脂吐出口３７との間に流路が分岐された分岐流路４１を有する流路部材３８と流路部材３８の両端に取り付けられる２個のノズル３９とを備える。流路部材３８の中央には、液状樹脂２５が供給される樹脂流入口４０が設けられる。樹脂流入口４０から水平方向に沿って両側に伸びる分岐流路４１が設けられる。よって、分岐流露４１は、一軸において互いに逆側に伸びるように２つに分岐されている。ノズル３９には、分岐流路４１につながり鉛直方向に沿って伸びる樹脂流路４２が設けられる。樹脂流路４２の先端に樹脂吐出口３７が設けられる。ノズル３９は流路部材３８に着脱可能で交換することができる。製品や用途に対応して口径や形状が異なるノズルを選択して使用することができる。なお、図３（ｂ）、（ｃ）、図４（ａ）、（ｂ）及び後述の図５（ｂ）、図６（ｂ）、図７（ａ）〜（ｃ）において、回転体の溝の形状（方向）と回転方向とは、模式的に図示したものであり、必ずしも液状樹脂の流れる方向に一致させることを意図していない。

流路部材３８には、分岐流路４１において回転可能な連動機構である回転軸４３が設けられる。回転軸４３は流路部材３８の両端において支持される。樹脂流入口４０の両側において、回転軸４３に螺旋状の溝４４を有する回転体４５がそれぞれはめ込まれる。例えば、回転体４５はスクリューやロータなどによって構成される。したがって、回転体４５は回転軸４３と共に回転する回転体であり、回転軸４３は２つの回転体４５に共通する回転軸である。樹脂流入口４０の両側に配置される回転体４５は、螺旋状の溝４４の向きがそれぞれ逆方向になるようにして回転軸４３にはめ込まれる。したがって、２つの回転体４５は互いに方向が反対側となる螺旋状の溝４４を有する。このことにより、樹脂流入口４０に供給された液状樹脂２５の樹脂圧力によって、回転体４５と回転軸４３とは一体となって同じ方向に回転する。なお、回転体４５を構成することができるロータとしては、モーノポンプに用いられる偏心回転可能なロータを使用することができる。モーノポンプのロータを使用する場合には、例えば、分岐流路４１の内部においてロータの周囲に雌ネジ状の弾性体を配置し、回転軸系に２つのユニバーサルジョイント及びそれらのユニバーサルジョイントを連結するカップリングロッドを用いることにより、ロータを偏心回転させることができる。

回転体４５は、使用する液状樹脂の種類、粘度、比重などに対応して取り換えることができる。したがって、回転体４５の材質、長さ、口径や螺旋状の溝４４のピッチ、高さ、テーパ角などを液状樹脂に対応して最適化することができる。

回転体４５に設ける溝の形状としては、図４に示すように、２つの回転体４５について、互いに方向が反対側となり、回転軸４３に直交する方向から見て回転軸４３に対して傾斜する複数の直線状の溝４４ａとすることもできる。なお、図４（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図３（ｂ）、（ｃ）に対応する。また、図４には回転軸４３に直交する方向から見て直線状の溝４４ａを示したが、回転軸４３に直交する方向から見て少なくとも回転軸４３に対して傾斜する部分を含む曲線状の溝とすることもできる。

回転体４５には、溝に代えて穴を設けても良い。具体的には、図３、４に示したような回転体４５の外周を覆うようにして、溝４４、４４ａを穴とするような形状とすることができる。

（ディスペンサの動作）
図３を参照して、ディスペンサ１８が液状樹脂２５を吐出する動作について説明する。図３（ａ）に示されるように、サーボモータ３１を回転させることによってボールねじ３２を回転させる。ボールねじ３２が回転することによって、ボールねじナットに取り付けられたスライダ３３が−Ｙ方向に前進する。スライダ３３が前進することによって、スライダ３３に固定されたロッド３４が−Ｙ方向に前進する。シリンジ２９内において、ロッド３４が−Ｙ方向に前進することによって、ロッド３４の先端に取り付けられたプランジャ３５が−Ｙ方向に前進する。プランジャ３５が−Ｙ方向に前進することによって、シリンジ２９内に貯留されている液状樹脂２５を押圧して−Ｙ方向に押し出す。プランジャ３５によって押し出された液状樹脂２５が樹脂移送部３０を経由して樹脂吐出部１９の流路部材３８に供給される。

図３（ｂ）に示されるように、流路部材３８に供給された液状樹脂２５は、樹脂流入口４０から両側の分岐流路４１に分岐して流動する。図３〜図７においては、液状樹脂２５が流動する方向を太い矢印で示す。分岐した液状樹脂２５は、それぞれの回転体４５に形成された螺旋状の溝４４に沿って両側に流動する。回転体４５は螺旋状の溝４４の向きがそれぞれ逆方向になるようにして配置されるので、液状樹脂２５の樹脂圧力によってそれぞれの回転体４５を同じ方向に回転させようとする力が働く。したがって、液状樹脂２５が樹脂流入口４０から両側に流動して分岐流路４１内の回転体４５を通過することによって、回転体４５と回転軸４３とが一体となって同じ方向に回転する。言い換えれば、それぞれの回転体４５は回転軸４３の回転に同期連動して同じ速度で回転する。

それぞれの回転体４５が同じ速度で回転するので、それぞれの回転体４５から同じ流量の液状樹脂２５を送出することができる。回転体４５と回転軸４３とが一体となって同じ速度で回転することによって、液状樹脂２５を均等に送出することができる。したがって、螺旋状の溝４４を有する回転体４５は、液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部としての機能を有する。

回転体４５によってそれぞれ均等に送出された液状樹脂２５は、分岐流路４１、樹脂流路４２、樹脂吐出口３７を順次経由してキャビティ１６（図２（ａ）参照）に吐出される。したがって、２個のノズル３９からそれぞれのキャビティ１６に同じ流量の液状樹脂２５を均等に供給することができる。

（作用効果）
本実施形態では、キャビティ１６に流動性樹脂又は流動性材料である液状樹脂２５を供給するために、液状樹脂２５を吐出する樹脂吐出機構又は吐出装置であるディスペンサ１８を、液状樹脂２５の流入口と吐出口との間において分岐された分岐流路４１を有する流路部材３８と、それぞれの分岐流路４１内に配置され、液状樹脂２５の通過に伴い回転可能な回転体である回転体４５と、分岐流路４１内に配置された回転体４５のそれぞれを連動させて回転させる連動機構である回転軸４３とを含む構成としている。

このような構成とすることにより、複数の吐出口からの液状樹脂２５の吐出量のばらつきを容易に低減することができる。また、吐出時の負荷トルクを監視することによって、例えば複数の吐出口のうちの一つが詰まった場合などにおいて、一部の吐出口からだけ液状樹脂２５が吐出されるような不具合を抑えることができる。

さらに、本実施形態では、分岐流路４１が一軸において互いに逆側に伸びるように２つに分岐されており、２つの回転体４５が共通する回転軸４３により連動して回転するように、２つの回転体４５が互いに方向が反対側となる螺旋状の溝を有する構成としている。

このような構成とすることにより、確実に２つの吐出口からの液状樹脂２５の吐出量のばらつきを容易に低減することができる。

より詳細には、本実施形態によれば、ディスペンサ１８において、樹脂吐出部１９の両端に２個のノズル３９を設ける。樹脂吐出部１９において、分岐流路４１に回転可能な回転軸４３を設ける。樹脂吐出部１９の中央に設けられた樹脂流入口４０の両側において、回転軸４３に螺旋状の溝４４を有する回転体４５をそれぞれはめ込む。螺旋状の溝４４の向きがそれぞれ逆方向になるようにして回転体４５を回転軸４３にはめ込むので、回転体４５と回転軸４３とは一体となって同じ方向に回転する。それぞれの回転体４５が回転軸４３の回転に同期連動して同じ速度で回転する。このことによって、それぞれの回転体４５が有する螺旋状の溝４４を経由して同じ流量の液状樹脂２５が均等に送出される。螺旋状の溝４４を有する回転体４５が同期連動して回転することによって、それぞれの回転体４５が液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部として機能する。したがって、それぞれの回転体４５を経由して樹脂吐出部１９の両端に設けられた２個のノズル３９からそれぞれのキャビティ１６に同じ流量の液状樹脂２５を均等に供給することができる。

本実施形態によれば、螺旋状の溝４４を有する複数の回転体４５を回転軸４３と共に同じ速度で回転させる。複数の回転体４５が同期連動して回転するので、それぞれの回転体４５が液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部として機能する。したがって、非常に簡単な構造で、かつ費用を抑制した樹脂計量部を構成することができる。加えて、回転体４５は、液状樹脂に対応して取り換えることができる。液状樹脂の種類、粘度、比重などに対応して最適な回転体４５を使用することができる。したがって、非常に簡単な構成で多種多様な液状樹脂に対応することができる。

本実施形態においては、基板供給・収納モジュール２と樹脂供給モジュール４との間に、４個の成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３ＤをＸ方向に並べて装着した。基板供給・収納モジュール２と樹脂供給モジュール４とを１つのモジュールにして、そのモジュールに１個の成形モジュール３ＡをＸ方向に並べて装着してもよい。さらに、その成形モジュール３Ａに他の成形モジュール３Ｂを装着してもよい。これらのことによって、生産形態や生産量に対応して、成形モジュール３Ａ、３Ｂ、・・・を増減することができる。したがって、樹脂成形装置１の構成を最適にすることができるので、生産性の向上を図ることができる。

なお、本実施形態では、樹脂成形装置１として、基板供給・収納モジュール２と、４つの成形モジュール３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄと、樹脂供給モジュール４とを備える構成についてして説明した。樹脂成形装置は、この構成に限定されず、少なくとも成形型と、流動性樹脂を吐出する樹脂吐出機構と、成形型を型締めする型締機構とを備え、樹脂成形を行う機能を有する装置であれば良い。
〔実施形態２〕

（樹脂吐出部の構成）
図５を参照して、樹脂成形装置１において使用される樹脂吐出部の実施形態２について説明する。実施形態１との違いは樹脂吐出部に更に多くのノズル及び並設流路を設けたことである。

図５（ｂ）に示されるように、樹脂吐出部４６は流路部材４７を備え、流路部材４７は複数並設されたノズル４８を備える。図５においては、４個のノズル４８が流路部材４７に設けられた場合を示す。これに限らず、ノズル４８を５個以上設けることもできるし、２又は３個のノズルを設けることもできる。

流路部材４７には、液状樹脂２５が供給される樹脂流入口４０と、樹脂流入口４０から水平方向に沿って両側に伸びる分岐流路４１とが設けられる。各ノズル４８には、分岐流路４１から分岐して鉛直方向に沿って伸びる並設流路４２ａが複数並設される。各並設流路４２ａの先端に樹脂吐出口３７がそれぞれ設けられる。ノズル４８は流路部材４７に着脱可能で交換することができるように構成しても良い。製品や用途に対応して口径や長さが異なるノズルを選択して使用することができる。また、各並設流路４２ａの先端に着脱可能なノズルを別途取り付けるようにすれば、回転体４５を複数種類のノズルに対して共通化して使用することができる。

各ノズル４８には、並設流路４２ａにおいて回転可能な連動部材である回転軸４９がそれぞれ設けられる。各回転軸４９には、螺旋状の溝４４を有する回転体４５がそれぞれはめ込まれる。回転体４５はスクリューやロータなどによって構成される。回転体４５は回転軸４９と共に回転する回転体である。各回転体４５は、螺旋状の溝４４の向きがそれぞれ同じ方向になるようにして回転軸４９にはめ込まれる。このことによって、それぞれの回転体４５と回転軸４９とは一体となって同じ方向に回転する。それぞれの回転軸４９は、流路部材４７の上面と支持部材５０とによって鉛直方向に支持される。

なお、溝の形状については、実施形態１において説明したような直線状の複数の溝（図４参照）としても良いし、曲線状の複数の溝としても良い。また、実施形態１において説明したように、溝に代えて穴を用いても良い。

図５（ａ）に示されるように、各回転軸４９の一端（図５（ｂ）においては上端）には連動機構である回転板としてプーリ５１がそれぞれ接続される。各プーリ５１の外周に接触して回転可能な連動機構であるベルト５２が、それぞれのプーリ５１を囲むようにして設けられる。各回転体４５が同じ方向に回転することによって、回転軸４９を介してそれぞれのプーリ５１が回転体４５と同じ方向に回転する。それぞれのプーリ５１が同じ方向に回転することによってベルト５２が回転する。それぞれのプーリ５１の外径は任意に設定することができる。

（樹脂吐出部の動作）
図５を参照して、樹脂吐出部４６から液状樹脂２５を吐出する動作について説明する。図５（ｂ）に示されるように、樹脂吐出部４６に供給された液状樹脂２５は、樹脂流入口４０から両側の分岐流路４１に分岐して流動する。分岐流路４１は分岐して流動した液状樹脂２５によって満たされる。液状樹脂２５は、分岐流路４１から各ノズル４８に形成された並設流路４２ａにそれぞれ流動する。それぞれの並設流路４２ａにおいて、各回転軸４９にはめ込まれた回転体４５は、螺旋状の溝４４の向きがそれぞれ同じ方向なるようにして配置されている。このことによって、液状樹脂２５の樹脂圧力によってそれぞれの回転体４５を同じ方向に回転させようとする力が働く。したがって、液状樹脂２５が各並設流路４２ａを流動して各回転体４５を通過することによって、回転体４５と回転軸４９とが一体となって同じ方向に回転する。

図５（ａ）に示されるように、各回転体４５と回転軸４９とが一体となって同じ方向に回転するので、それぞれのプーリ５１も回転軸４９及び回転体４５と同じ方向に回転する。各プーリ５１がすべて同じ方向に回転するので、それぞれのプーリ５１とベルト５２との摩擦力によってベルト５２がそれぞれのプーリ５１の外周に沿って回る。このことによって、ベルト５２が一定の速度でプーリ５１の外周に沿って回る。

ベルト５２が一定の速度で回ることによって、ベルト５２がそれぞれのプーリ５１を同じ速度で同じ方向に回転させる。各プーリ５１が同じ速度で同じ方向に回転することによって、回転軸４９を介してそれぞれの回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転する。したがって、ベルト５２の回る速度に同期連動してそれぞれの回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転する。このことによって、それぞれの回転体４５から同じ流量の液状樹脂２５を送出することができる。それぞれの回転体４５がベルト５２の回る速度に同期連動して回転するので、回転体４５は液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部として機能する。

各回転体４５によってそれぞれ均等に送出された液状樹脂２５は、各樹脂吐出口３７からキャビティに吐出される。したがって、４個のノズル４８からそれぞれのキャビティに同じ流量の液状樹脂２５を均等に供給することができる。

（作用効果）
本実施形態では、分岐流路４１が並設された複数の並設流路４２ａを含み、回転体４５がそれぞれの並設流路４２ａ内に配置されており、連動機構として並設流路４２ａ内の回転体４５のそれぞれに設けられた回転軸４９と回転軸４９に接続された回転板であるプーリ５１とを含む構成としている。

このような構成によれば、吐出口の数にかかわらず、複数の吐出口からの液状樹脂２５の吐出量のばらつきを容易に低減することができる。

さらに、本実施形態では、連動機構として複数の回転体４５に対応するプーリ５１を連結するベルト５２を更に含み、それぞれの回転体４５が方向の揃った螺旋状の溝４４を有する構成としている。

このような構成によれば、吐出口の数にかかわらず、確実に複数の吐出口からの液状樹脂２５の吐出量のばらつきを容易に低減することができる。

より詳細には、本実施形態によれば、ディスペンサ１８において、樹脂吐出部４６に液状樹脂２５を吐出する複数のノズル４８を設ける。各ノズル４８に設けられた並設流路４２ａに回転可能な回転軸４９をそれぞれ設ける。各回転軸４９に螺旋状の溝４４を有する回転体４５をそれぞれはめ込む。各回転軸４９の一端にはプーリ５１をそれぞれ接続する。各回転体４５は螺旋状の溝４４の向きがそれぞれ同じ方向になるようにして回転軸４９にはめ込まれる。したがって、液状樹脂２５の樹脂圧力によって、回転体４５と回転軸４９とプーリ５１とが一体となって同じ方向に回転する。各プーリ５１がすべて同じ方向に回転するので、ベルト５２が各プーリ５１の外周に沿って一定の速度で回る。

ベルト５２が一定の速度で回ることによって、ベルト５２の回る速度に同期連動してプーリ５１と回転軸４９と回転体４５とが一体となって同じ速度で同じ方向に回転する。それぞれの回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転するので、回転体４５が有する螺旋状の溝４４を経由して同じ流量の液状樹脂２５をそれぞれ均等に送出することができる。各回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転することによって、それぞれの回転体４５が液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部として機能する。したがって、それぞれの回転体４５を経由して樹脂吐出口３７からそれぞれのキャビティ１６に同じ流量の液状樹脂２５を均等に供給することができる。

本実施形態によれば、樹脂吐出部４６に液状樹脂２５を吐出する多数のノズル４８を設ける。多数のノズル４８には、螺旋状の溝４４を有する回転体４５がそれぞれ設けられる。ベルト５２の回る速度に同期連動してそれぞれの回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転するので、回転体４５は液状樹脂２５を均等に送出する。したがって、多数のキャビティが設けられた場合であっても、それぞれのキャビティに液状樹脂２５を均等に供給することができる。

本実施形態によれば、複数の回転体４５が同期連動して回転するので、それぞれの回転体４５が液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部として機能する。したがって、非常に簡単な構造で、かつ費用を抑制した樹脂計量部を構成することができる。加えて、回転体４５は、液状樹脂に対応して取り換えることができる。液状樹脂の種類、粘度、比重などに対応して最適な回転体４５を使用することができる。したがって、非常に簡単な構成で多種多様な液状樹脂に対応することができる。
〔実施形態３〕

（樹脂吐出部の構成）
図６を参照して、樹脂成形装置１において使用される樹脂吐出部の実施形態３について説明する。実施形態２との違いは、プーリとベルトとの組み合わせではなく歯車の組み合わせによってそれぞれの回転体４５を同じ速度で同じ方向に回転させることである。

図６（ｂ）に示されるように、樹脂吐出部４６、流路部材４７、ノズル４８、回転体４５、回転軸４９、支持部材５０などの構成は実施形態２と全く同じなので説明を省略する。

図６（ａ）に示されるように、各回転軸４９の一端（図６（ｂ）においては上端）には連動機構である歯車５３がそれぞれ接続される。隣り合う歯車５３と歯車５３との間には、それぞれの歯車５３にかみ合うようにして連動機構である別の歯車５４がそれぞれ設けられる。歯車５３と歯車５４とは双方とも平歯車である。隣接する歯車５３と歯車５４とは、互いにかみ合うことによってそれぞれが反対方向に回転する。歯車５３と歯車５４との歯車比は任意に設定することができる。

（樹脂吐出部の動作）
図６を参照して、樹脂吐出部４６から液状樹脂２５を吐出する動作について説明する。実施形態２と同様に、液状樹脂２５が分岐流路４１から各並設流路４２ａを流動することによって、回転体４５と回転軸４９とが一体となって同じ方向に回転する。

図６（ａ）に示されるように、回転体４５と回転軸４９とが一体となって同じ方向に回転するので、各回転軸４９に接続された歯車５３が回転軸４９と同じ方向にそれぞれ回転する。それぞれの歯車５３は時計回りに回転する。各歯車５３が時計回りに回転することによって、各歯車５４は逆に反時計回りに回転する。歯車５３と歯車５４との歯車比は一定に設定されるので、歯車５３と歯車５４とはそれぞれが一定の速度で互いに逆方向に回転する。したがって、各歯車５３は一定の速度で同じ方向に回転し、各歯車５４は一定の速度で逆の方向に回転する。

それぞれの歯車５３が同じ速度で同じ方向に回転することによって、回転軸４９を介してそれぞれの回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転する。したがって、各歯車５３の回転する速度に同期連動して回転体４５は同じ速度で同じ方向に回転する。このことによって、それぞれの回転体４５から同じ流量の液状樹脂２５を送出することができる。それぞれの回転体４５が歯車５３の回転する速度に同期連動して回転するので、回転体４５は液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部として機能する。

各回転体４５によってそれぞれ均等に送出された液状樹脂２５は、各樹脂吐出口３７からキャビティに吐出される。したがって、４個のノズル４８からそれぞれのキャビティに同じ流量の液状樹脂２５を均等に供給することができる。

（作用効果）
本実施形態では、分岐流路４１が並設された複数の並設流路４２ａを含み、回転体４５がそれぞれの並設流路４２ａ内に配置されており、連動機構として並設流路４２ａ内の回転体４５のそれぞれに設けられた回転軸４９と回転軸４９に接続された回転板である歯車５３とを含む構成としている。

このような構成によれば、吐出口の数にかかわらず、複数の吐出口からの液状樹脂２５の吐出量のばらつきを容易に低減することができる。

さらに、本実施形態では、連動機構として隣り合う回転体４５に対応する歯車５３の両方にかみ合うように配置された歯車５４を更に含み、それぞれの回転体４５が方向の揃った螺旋状の溝４４を有する構成としている。

このような構成によれば、吐出口の数にかかわらず、確実に複数の吐出口からの液状樹脂２５の吐出量のばらつきを容易に低減することができる。

より詳細には、本実施形態によれば、樹脂吐出部４６に液状樹脂２５を吐出する複数のノズル４８を設ける。並設流路４２ａに回転可能な回転軸４９をそれぞれ設け、各回転軸４９に螺旋状の溝４４を有する回転体４５をそれぞれはめ込む。各回転軸４９の一端には歯車５３をそれぞれ接続する。隣り合う歯車５３と歯車５３との間には、それぞれの歯車５３にかみ合うようにして別の歯車５４をそれぞれ設ける。歯車５３と歯車５４との歯車比は一定に設定されるので、各歯車５３は一定の速度で同じ方向に回転し、各歯車５４は一定の速度で逆の方向に回転する。

各歯車５３の回転する速度に同期連動して回転体４５は同じ速度で同じ方向に回転する。それぞれの回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転するので、回転体４５が有する螺旋状の溝４４を経由して同じ流量の液状樹脂２５をそれぞれ均等に送出することができる。各回転体４５が同じ速度で同じ方向に回転することによって、それぞれの回転体４５が液状樹脂２５を均等に送出する樹脂計量部として機能する。したがって、それぞれの回転体４５を経由して樹脂吐出口３７からそれぞれのキャビティ１６に同じ流量の液状樹脂２５を均等に供給することができる。

（実施形態３の変形例）
実施形態３の変形例として、歯車５４を省略して、隣り合う歯車５３同士を直接かみ合わすようにする構成とすることができる。この変形例の構成においては、隣り合う歯車５３と歯車５３とがそれぞれ互いに反対方向に回転する。したがって、隣り合う回転体４５の螺旋状の溝を、互いに方向が反対側となるように設ければよい。それぞれの歯車５３の回転する速度に同期連動して隣り合う回転体４５は逆方向に同じ速度で回転する。このことによって、それぞれの回転体４５から液状樹脂２５を均等に送出することができる。この変形例においても、上述の実施形態３と同様の作用効果を奏することができる。
〔実施形態４〕

（樹脂吐出部の変形例）
図７を参照して、樹脂成形装置１において使用される樹脂吐出部の実施形態１〜３の変形例についてそれぞれ説明する。実施形態１〜３との違いは、回転体４５を補助的に回転させる回転機構としてモータを外部にそれぞれ設けたことである。図７（ｂ）、（ｃ）においては、便宜上支持部材５０を省略して図示する。

図７（ａ）に示されるように、樹脂吐出部１９において、回転機構であるモータ５５が回転軸４３に接続される。モータ５５としては、例えば、サーボモータやステッピングモータなどが使用される。液状樹脂２５が高粘度を有する液状樹脂の場合には、液状樹脂２５が流動する速度が遅いので回転体４５を回転させようとする駆動力（樹脂圧力）が十分でない場合がある。そのような場合には、モータ５５を補助的に使用して回転体４５を回転させる。このことにより、回転体４５は一定の速度で回転するので液状樹脂２５を安定して流動させることができる。

図７（ａ）においては、樹脂吐出部１９に設けられた回転軸４３とモータ５５とを直接接続した。これに限らず、回転軸４３とモータ５５との間において、ベルトとプーリとの組み合わせ、ピニオンと歯車との組み合わせ、チェーンとスプロケットとの組み合わせなどを使用することができる。これらのことによって、モータ５５の回転速度に対応して回転軸４３及び回転体の４５の回転速度を調整することができる。したがって、液状樹脂２５の種類、粘度、比重などに対応して、液状樹脂２５を流動させる速度を最適化することができる。

図７（ｂ）に示されるように、樹脂吐出部４６において、モータ５５の先端にはプーリ５６が接続される。プーリ５６はベルト５２を介して樹脂吐出部４６に設けられたそれぞれのプーリ５１につながる。モータ５５が回転することによって、プーリ５６を介してベルト５２を回転させる。ベルト５２が回転することによって、回転軸４９及び回転体４５を回転させる。モータ５５に接続されたプーリ５６の直径と、樹脂吐出部４６の回転軸４９に接続されたそれぞれのプーリ５２の直径とを調整することによって、回転軸４９及び回転体４５の回転速度を調整することができる。したがって、液状樹脂２５の種類、粘度、比重などに対応して、液状樹脂２５を流動させる速度を最適化することができる。

図７（ｃ）に示されるように、樹脂吐出部４６において、モータ５５の先端には歯車５７が接続される。モータ５５に接続された歯車５７と樹脂吐出部４６の回転軸４９に接続された歯車５３とをかみ合わせる。モータ５５を反時計回りに回転させることによって歯車５７が反時計回りに回転し、歯車５３が時計回りに回転する。モータ５５に接続された歯車５７と樹脂吐出部４６の回転軸４９に接続された歯車５３との歯車比を調整することによって、回転軸４９及び回転体４５の回転速度を調整することができる。したがって、液状樹脂２５の種類、粘度、比重などに対応して、液状樹脂２５を流動させる速度を最適化することができる。

回転軸４９及び回転体の４５の回転速度は、例えば、モータ５５に接続されるピニオン、クラウン歯車、平歯車などの組み合わせを使用することによって調整することができる。

各実施例においては、回転体４５として、円柱状部材に回転軸貫通用の貫通部と溝部又は穴部とを形成した構造について説明した。回転体は、この構造に限定されない。回転軸は、例えば、中央部が太い太鼓状、中央部が細い鼓状、円錐状等の部材に、回転軸貫通用の貫通部と溝部又は穴部とを形成した構造とすることもできる。回転軸をいずれの形状にしても、分岐流路の形状を回転体の形状に対応させることにより、回転体を回転可能とすることができる。

各実施形態においては、樹脂吐出部に複数のノズルを設けて複数のキャビティに液状樹脂２５を供給する場合を示した。複数のノズルを使用する場合には、どこかのノズルに液状樹脂２５の詰りが発生するおそれがある。液状樹脂２５の詰りが発生すると液状樹脂２５を流動させる負荷が大きくなるので、ディスペンサ１８のサーボモータ３１に加わる負荷トルクが大きくなる。したがって、サーボモータ３１に加わる負荷トルクを監視することによって液状樹脂２５の詰りを検知することができる。このことによって、複数のノズルを使用した場合であっても、ディスペンサ１８に異常が発生しているかどうかを容易に発見することができる。

各実施形態においては、樹脂送出機構２８として、サーボモータ３１とボールねじ３２との組み合わせを使用した。これに限らず、ステッピングモータとボールねじとの組み合わせ、一軸偏心ねじ方式、エアシリンダなどの送出手段を用いることができる。

各実施形態においては、下型１４に複数のキャビティ１６を設けた場合を示した。これに限らず、変形例として、大面積を有するキャビティを１個設けた場合であっても、各実施形態におけるディスペンサ１８を適用することができる。この場合には、大面積のキャビティに複数のノズルから液状樹脂２５を同時に吐出することができるので、短時間で均一に液状樹脂２５を供給することができる。

各実施形態においては、主剤と硬化剤とが予め混合されて生成された液状樹脂２５を使用する１液タイプのディスペンサ１８を示した。これに限らず、実際に使用する際にディスペンサにおいて主剤と硬化剤とを混合して使用する２液混合タイプのディスペンサを使用した場合においても、各実施形態における樹脂吐出部を適用すれば同様の効果を奏する。

各実施形態においては、下型１４に設けられたキャビティ１６を収容部として、そのキャビティ１６に液状樹脂２５を供給する例を説明した。キャビティの他に、収容部は次のいずれであってもよい。

第１に、収容部は、基板の上面を含む空間であってその基板の上面に実装されているチップ（半導体チップ、半導体が用いられていない非半導体チップなどの電子部品のチップ）を含む空間である。液状樹脂２５は、基板の上面に実装されているチップを覆うようにして供給される。この場合には、チップと基板との間の電気的な接続をフリップチップによって行うことが好ましい。

第２に、収容部は、シリコンウェーハなどの半導体基板の上面を含む空間である。液状樹脂２５は、半導体基板に形成されている半導体回路などの機能部を覆うようにして供給される。この場合には、半導体基板の上面に突起状電極（bump）が形成されていることが好ましい。

第３に、収容部は、最終的に成形型のキャビティに収容されるはずのフィルムにおける上面を含む空間である。この場合における収容部は、例えば、フィルムがくぼむことによって形成される凹部である。液状樹脂２５は、フィルムがくぼむことによって形成された凹部に供給される。このフィルムの目的としては、離型性の向上、フィルムの表面における凹凸からなる形状の転写、フィルムに予め形成された図柄の転写などが挙げられる。フィルムの凹部に収容された液状樹脂を、フィルムとともに、適切な搬送機構を使用して搬送して最終的に成形型のキャビティに収容する。

第１〜第３の場合のいずれにおいても、収容部に収容された液状樹脂２５は、最終的に成形型のキャビティの内部に供給され収容されて、キャビティの内部において硬化する。

第１〜第３の場合のいずれにおいても、相対向する１対の成形型の外部において収容部に液状樹脂２５を供給し、その収容部を少なくとも含む構成要素を成形型の間に搬送することができる。

各実施形態においては、半導体チップを樹脂封止する際に使用される樹脂成形装置及び樹脂成形方法を説明した。樹脂封止する対象はＩＣ、トランジスタなどの半導体チップでもよく、非半導体チップでもよい。リードフレーム、プリント基板、セラミックス基板などの基板に装着された１個又は複数個のチップを硬化樹脂によって樹脂封止する際に本発明を適用することができる。

加えて、電子部品を樹脂封止する場合に限らず、レンズ、リフレクタ（反射板）、導光板、光学モジュールなどの光学部品、その他の樹脂製品を樹脂成形によって製造する場合に、本発明を適用することができる。

本発明は、上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で、必要に応じて、任意にかつ適宜に組み合わせ、変更し、又は選択して採用できるものである。

１ 樹脂成形装置
２ 基板供給・収納モジュール
３Ａ、３Ｂ、３Ｃ、３Ｄ 成形モジュール
４ 樹脂供給モジュール
５ 封止前基板
６ 封止前基板供給部
７ 封止済基板
８ 封止済基板収納部
９ ローダ
１０ アンローダ
１１ レール
１２、１３ 移動機構
１４ 下型（成形型）
１５ 型締機構
１６ キャビティ
１７ 樹脂搬送機構
１８ ディスペンサ（樹脂吐出機構、流動性材料の吐出装置）
１９、４６ 樹脂吐出部
２０ 移動機構
２１ 真空引き機構
２２ 制御部
２３ チップ
２４ 上型（成形型）
２５ 液状樹脂（流動性樹脂、流動性材料）
２６ 硬化樹脂
２７ 成形品
２８ 樹脂送出機構
２９ シリンジ
３０ 樹脂移送部
３１ サーボモータ
３２ ボールねじ
３３ スライダ
３４ ロッド
３５ プランジャ
３６ エンコーダ
３７ 樹脂吐出口（吐出口）
３８、４７ 流路部材
３９、４８ ノズル
４０ 樹脂流入口（流入口）
４１ 分岐流路
４２ 樹脂流路
４２ａ 並設流路（分岐流路）
４３、４９ 回転軸（連動機構）
４４ 螺旋状の溝
４４ａ 直線状の溝
４５ 回転体
５０ 支持部材
５１ プーリ（回転板、連動機構）
５２ ベルト（連動機構）
５３ 歯車（回転板、連動機構）
５４ 歯車（連動機構）
５５ モータ（回転機構）
５６ プーリ（連動機構）
５７ 歯車（回転機構）

Claims (14)

1. 互いに対向して配置される上型及び下型の少なくとも一方にキャビティが設けられた成形型と、
   前記キャビティに流動性樹脂を供給するために、前記流動性樹脂を吐出する樹脂吐出機構と、
   前記成形型を型締めする型締機構とを備え、
   前記樹脂吐出機構は、
   前記流動性樹脂の流入口と吐出口との間において分岐された分岐流路を有する流路部材と、
   それぞれの前記分岐流路内に配置され、前記流動性樹脂の通過に伴い回転可能な回転体と、
   前記分岐流路内に配置された前記回転体のそれぞれを連動させて回転させる連動機構とを含む、樹脂成形装置。
2. 請求項１に記載された樹脂成形装置において、
   前記分岐流路は、一軸において互いに逆側に伸びるように２つに分岐されており、
   前記連動機構は、前記分岐流路に対応する２つの前記回転体に共通する回転軸であり、
   ２つの前記回転体は、互いに方向が反対側となる螺旋状の溝を有する筒状部材である、樹脂成形装置。
3. 請求項１に記載された樹脂成形装置において、
   前記分岐流路は、並設された複数の並設流路を含み、
   前記回転体は、それぞれの前記並設流路内に配置されており、
   前記連動機構は、前記並設流路内の前記回転体のそれぞれに設けられた回転軸と、前記回転軸に接続された回転板とを含む、樹脂成形装置。
4. 請求項３に記載された樹脂成形装置において、
   前記回転板は、プーリであり、
   前記連動機構は、複数の前記回転体に対応する前記プーリを連結するベルトを含み、
   それぞれの前記回転体は、方向が揃った螺旋状の溝を有する筒状部材である、樹脂成形装置。
5. 請求項３に記載された樹脂成形装置において、
   前記回転板は、第１の歯車であり、
   隣り合う前記回転体に対応する前記第１の歯車は、互いにかみ合うように配置されており、
   隣り合う前記回転体は、互いに方向が反対側となる螺旋状の溝を有する筒状部材である、樹脂成形装置。
6. 請求項３に記載された樹脂成形装置において、
   前記回転板は、第１の歯車であり、
   前記連動機構は、隣り合う前記回転体に対応する前記第１の歯車の両方にかみ合うように配置された第２の歯車を含み、
   それぞれの前記回転体は、方向が揃った螺旋状の溝を有する筒状部材である、樹脂成形装置。
7. 請求項１〜６のいずれか１つに記載された樹脂成形装置において、
   前記回転体に回転力を与える回転機構を備える、樹脂成形装置。
8. 請求項１〜７に記載された樹脂成形装置において、
   前記成形型と前記型締機構とを有する少なくとも１個の成形モジュールを備え、
   前記１個の成形モジュールと他の成形モジュールとが着脱されることができる、樹脂成形装置。
9. 互いに対向して配置される上型及び下型の少なくとも一方にキャビティが設けられた成形型を用い、前記キャビティに流動性樹脂を供給するために、前記流動性樹脂を吐出する樹脂吐出工程と、
   前記流動性樹脂が供給された前記成形型を型締めする型締工程とを含み、
   前記樹脂吐出工程は、前記流動性樹脂の流入口と吐出口との間において分岐された分岐流路内のそれぞれに配置された回転体を連動させて回転させることにより、前記流動性樹脂をそれぞれの前記回転体を通過させる、樹脂成形方法。
10. 請求項９に記載された樹脂成形方法において、
    前記分岐流路は、一軸において互いに逆側に伸びるように２つに分岐されており、
    ２つの前記回転体は、互いに方向が反対側となる螺旋状の溝を有する筒状部材である
    前記分岐流路に対応する２つの前記回転体に共通する回転軸を用いて、２つの前記回転体を連動させて回転させる、樹脂成形方法。
11. 請求項９に記載された樹脂成形方法において、
    前記分岐流路は、並設された複数の並設流路を含み、
    前記回転体は、それぞれの前記並設流路内に配置されており、
    前記並設流路内の前記回転体のそれぞれに設けられた回転軸に接続された回転板を、連動させて回転させる、樹脂成形方法。
12. 流動性材料の流入口と吐出口との間において分岐された分岐流路を有する流路部材と、
    それぞれの前記分岐流路内に配置され、前記流動性材料の通過に伴い回転可能な回転体と、
    前記分岐流路内に配置された前記回転体のそれぞれを連動させて回転させる連動機構とを備える、流動性材料の吐出装置。
13. 請求項１２に記載された流動性材料の吐出装置において、
    前記分岐流路は、一軸において互いに逆側に伸びるように２つに分岐されており、
    前記連動機構は、前記分岐流路に対応する２つの前記回転体に共通する回転軸であり、
    ２つの前記回転体は、互いに方向が反対側となる螺旋状の溝を有する筒状部材である、流動性材料の吐出装置。
14. 請求項１２に記載された流動性材料の吐出装置において、
    前記分岐流路は、並設された複数の並設流路を含み、
    前記回転体は、それぞれの前記並設流路内に配置されており、
    前記連動機構は、前記並設流路内の前記回転体のそれぞれに設けられた回転軸と、前記回転軸に接続された回転板とを含む、流動性材料の吐出装置。

Images