CN104711107A - 硅废浆回收系统、冷却液回收液、回收磨粒,回收切削粉 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种硅废浆的整体回收系统、冷却液回收液、回收磨粒，以及回收切削粉，能够从硅废浆中高效地回收高纯度的冷却液回收液、回收磨粒、回收切削粉，而不产生废弃物的回收系统。本发明的硅废浆的回收系统的特征在于，包括对从含有冷却液、磨粒、切削屑、铁屑的硅废浆中得到的分离固体成分照射超声波的超声波处理工序(B)、从照射了超声波的所述分离固体成分中分离回收磨粒与回收切削粉的分离工序(C)。

Description

硅废浆回收系统、冷却液回收液、回收磨粒,回收切削粉

技术领域

本发明涉及硅废浆回收系统，以及由该硅废浆的回收系统得到的冷却液回收液，回收磨粒，回收切削粉。

背景技术

已知线锯装置是一种用以切断、切削半导体单晶硅、太阳能电池的单晶硅或多晶硅的手段。在线锯装置中，使线锯在冷却液与磨粒相混合的切割浆料中行进以进行切断、切削。进行切断、切削的过程中使切割浆料在装置内循环，而随着切割、切削的进行，切割浆料中将积累切削屑(切割、切削半导体单晶硅等材料时产生的硅屑)及金属屑(进行切割、切削时产生的来自锯条的铁粉以及除铁之外的金属粉)，从而降低切割、切削性能。

进行切断、切削后的含有切削屑的切割浆料(例如硅废浆)中含有可使用的冷却液及切削粉等。通常，一旦切割浆料中的切削屑超过一定量就会废弃切割浆料，但也有从切割浆料中回收冷却液及磨粒的尝试(专利文献1～6)。

专利文献1：日本特开平9-225937号公报

专利文献2：日本特开2003-225700号公报

专利文献3：日本特开2005-313030号公报

专利文献4：日本特开2005-349507号公报

专利文献5：日本特开2006-315099号公报

专利文献6：日本特开2011-005561号公报

最近，从环境问题以及回收再利用的观点出发，产生了对于从硅废浆中回收冷却液、磨粒、切削屑等材料而不产生废弃物的回收系统的需求。尤其是出于希望将回收的成分用于切断、切削之外的用途的要求，希望有能以更高效率，回收更高纯度的冷却液、磨粒、切削屑等材料的回收系统。

例如，专利文献1中的废浆渣再利用系统从废浆渣中将有效磨粒与水溶性的冷却液成分进行再利用，然而切削屑及铁屑将被废弃，因此从环境保护以及回收再利用的观点来看并不充分。另外，在使用液体旋风分离机处理之前，对浆料进行稀释时使用了大量的稀释液，因此为废液的处理带来困难。

专利文献2中的废浆料再利用系统不产生工业废料，使残留液体成分及有效磨粒可被再利用，然而得到的残留液体成分是经过稀释的因而纯度较低，另外得到的磨粒的纯度也并不充分。

专利文献3中的研磨、切削剂废浆渣的再生处理方法可回收冷却液与磨粒，然而废弃了其他的成分，因此从环境以及回收再利用的观点来看并不充分。另外，处理之后的磨粒只经过了离心分离，纯度并不充分。

专利文献4中的冷却液回收系统中，分离出的废浆料，以及从废冷却液中去除的固体成分将被废弃，并且使用了碱而使此后的废水处理成为必须，因此从环境的观点来看并不充分。尤其因进行了碱处理使切削屑溶解，从而不能够回收切削屑。另外，磨粒只经过了离心分离，纯度并不充分。

专利文献5中的研磨、切削剂废浆渣的再生处理方法所得到的产物中仍含有废液所含有的微量氧化成分(含有微量的氧化成分)，因此纯度并不充分，并且废弃了切削屑、铁屑、以及磨粒的碎片，从环境的观点来看并不充分。另外，因为使用了需要特殊设备的超临界二氧化碳流体而成本较高。

专利文献6中的硅锭切割系统在铁屑与磨粒相混合的状态下进行筛分，回收的磨粒的纯度并不充分。另外，虽然使用酸对筛分后的磨粒中混有的铁进行溶解处理，然而在酸处理后进行废液处理时将对环境产生负担。

尽管如此，现状下没有回收系统能够高效地从硅废浆中回收高纯度的冷却液、磨粒、切削屑等全部成分，而不产生废弃物(例如不使用酸或碱等进行处理)。

发明内容

从而，本发明的目的在于提供能够从硅废浆中高效地回收高纯度的回收磨粒、回收切削粉，而不产生废弃物的回收系统。

另外，本发明的另一个目的在于提供能够从硅废浆中高效地回收高纯度的冷却液回收液，而不产生废弃物的回收系统。

于是，本发明的发明者们为了达到所述目的而进行深入研究的结果，发现通过对硅废浆进行分离的冷却液回收工序、之后照射超声波的超声波处理工序、以及照射超声波之后分离回收磨粒、回收切削粉的分离工序，可高效地得到高纯度的冷却液回收液、回收磨粒、回收切削粉，从而完成了本发明。

即本发明提供一种硅废浆的回收系统，其特征在于包括对从含有冷却液、磨粒、切削屑、铁屑的硅废浆中得到的分离固体成分照射超声波的超声波处理工序(B)、从照射了超声波的所述分离固体成分中分离出回收磨粒、回收切削粉的分离工序(C)。

所述分离固体成分优选为通过对所述硅废浆进行分离，以得到分离固体成分与冷却液回收液的冷却液回收工序(A)而得到的分离固体成分。

在所述超声波处理工序(B)中，优选对所述分离固体成分照射频率为10～38kHz的超声波。

在所述冷却液回收工序(A)中，进行分离的方法优选为从离心分离、过滤器过滤、以及蒸馏中选择的至少一种分离方法。

在所述分离工序(C)中，优选利用沉降速度的差异从照射了超声波的所述分离固体成分中分离回收磨粒、回收切削粉。

并且，优选包括对所述回收磨粒添加稀释液，并照射超声波后利用沉降速度的差异进行分离以清洗回收磨粒的清洗工序(D)。

并且，本发明提供由所述回收系统得到的冷却液回收液。

并且，本发明提供由所述回收系统得到的回收磨粒。

并且，本发明提供由所述回收系统得到的回收切削粉。

并且，本发明提供一种冷却液回收液，其特征在于冷却液含量为88重量％以上，由下述臭气评价方法所评价的臭气强度小于2.5，且舒适/不适度大于-1。

(臭气测定方法)

评价者6人对评价样本进行嗅闻，根据以下所示的分为6个等级的臭气强度表示方法，以及分为9个等级的舒适/不适度表示方法进行评价，以其平均值作为臭气强度以及舒适/不适度。

臭气强度表示方法

0：无臭，1：将将可感觉到的臭味，2：可以辨别臭味来源的微弱的臭味，3：可轻易感觉到的臭味，4：较强的臭味，5：强烈的臭味

舒适/不适度表示方法

-4：极度不适，-3：非常不适，-2：不适，-1：稍稍不适，0：既非舒适也非不适，1：稍稍舒适，2：舒适，3：非常舒适，4：极度舒适

并且，本发明提供一种冷却液回收液，其特征在于冷却液含量为88重量％以上，且水含量小于5重量％。

所述冷却液回收液优选作为切削用冷却液的原料。

所述冷却液回收液优选作为助磨剂的原料。

所述冷却液回收液优选作为合成树脂的原料。

所述冷却液回收液优选作为燃料。

所述回收磨粒优选作为用于切削的磨粒。

所述回收磨粒优选作为钢铁辅助材料。

所述回收磨粒优选作为水泥的原料。

所述回收切削粉优选作为钢铁辅助材料。

所述回收切削粉选作为水泥的原料。

本发明的回收系统通过具备所述结构，可高效地从硅废浆中得到高纯度的回收磨粒、回收切削粉，而不会产生废弃物。

附图说明

图1为本发明的回收系统的一例的流程图。

图2为本发明的回收系统中的冷却液回收工序(A)的一例的流程图。

图3为本发明的回收系统中的冷却液回收工序(A)的一例的流程图。

图4为本发明的超声波处理工序(B)的一例的流程图。

图5为在分离工序(C)之后，进一步设置了清洗工序(D)、产品化工序(E)、废液回收工序(F)的情况的一例的流程图。

图6为实施例1中的硅废浆(1)的干燥固体的粒度分布图。

图7为实施例1中的回收磨粒的粒度分布图。

图8为使用扫描电子显微镜(SEM)对实施例1中的硅废浆(1)的干燥固体进行拍摄所得的图(照片)。

图9为使用扫描电子显微镜(SEM)对实施例1中的回收磨粒进行拍摄所得的图(照片)。

图10为实施例2中的硅废浆(2)的干燥固体的粒度分布图。

图11为实施例2中的回收磨粒的粒度分布图。

图12为使用扫描电子显微镜(SEM)对实施例2中的硅废浆(2)的干燥固体进行拍摄所得的图(照片)。

图13为使用扫描电子显微镜(SEM)对实施例2中的回收磨粒进行拍摄所得的图(照片)。

具体实施方式

本发明的回收系统至少包括超声波处理工序(B)，以及分离工序(C)。本发明的回收系统优选至少包括例如冷却液回收工序(A)、超声波处理工序(B)，以及分离工序(C)。所述冷却液回收工序(A)之前、所述分离工序(C)之后、所述各工序(冷却液回收工序(A)、超声波处理工序(B)，以及分离工序(C))之间也可以包括其他工序。

利用在本发明的回收系统，在各个工序所产生的所有分离成分都可达到一定程度以上的纯度从而可以再利用，因此不会产生任何废弃物。

在本说明书中有时将冷却液回收工序(A)称为“冷却液回收工序”，将超声波处理工序(B)称为“超声波处理工序”，将分离工序(C)称为“分离工序”。

在本说明书中，“冷却液回收液”指含有冷却液的溶液，“回收磨粒”指以磨粒为主要成分的混合物，“回收切削粉”指以切削粉及/或铁粉为主要成分的混合物。

图1为本发明的回收系统的一例的示意图。在本发明的回收系统中，例如优选从硅废浆中于冷却液回收工序(A)分离冷却液回收液，并通过超声波处理工序(B)以及分离工序(C)，分离回收磨粒以及回收切削粉。

【冷却液回收工序(A)】

冷却液回收工序(A)为对至少含有冷却液、磨粒、切削屑、铁屑的硅废浆进行分离，得到分离固体成分与冷却液回收液的工序。通过对所述硅废浆进行分离，可得到含有冷却液的冷却液回收液，以及以磨粒、切削屑、铁屑为主要成分的分离固体成分。

(硅废浆)

对于所述硅废浆没有特别的限定，但作为例子可举出用线锯等装置对工件进行加工时所使用过的废液等。

另外，在本说明书中“废液”指原液(加工工件之前添加的溶液)中混入了某些成分的物质。所述硅废浆可以是完成对所述工件的加工之后所排出的废液，也可以是对所述工件加工时(加工过程中)所取出的液体。

另外，所述硅废浆中也可以额外含有水、分散剂、消泡剂等物质。

对于所述工件没有特别的限定，但作为例子可举出半导体单晶硅、用于太阳能电池的单晶硅或多晶硅(例如，用于制作太阳能电池基板的单晶硅或多晶硅等)等含硅的工件(例如，只由硅成分构成的工件、以硅为主要成分的工件等)。

另外，使用由除硅之外的成分构成的工件(例如，除硅之外的陶瓷、钆镓石榴石、钽酸锂、铌酸锂、钼酸铅单晶、二氧化碲单晶、锗酸铋单晶为主要成分的工件等)的废液时，有时也可得到与本发明相同的效果。

对于所述工件的加工方法没有特别的限定，但作为例子可举出工件的切断、切削、研磨等。即所述硅废浆为对含有硅成分的工件进行加工时所使用过的废液。

另外，所述硅废浆可以是加工一个工件时所使用过的废液，也可以是加工两个以上的工件时所使用过的废液的混合液。另外，所述硅废浆可以是在一种加工方法中所使用过的废液，也可以是在多种加工方法中所使用过的废液的混合液。

对于所述冷却液没有特别的限定，但作为例子可举出以矿物油为主的油性冷却液；水溶性二元醇(乙二醇、丙二醇、丁二醇、二甘醇、二甘醇单甲醚、聚亚烷基二醇(聚乙二醇、丙二醇等)、甲氧基聚乙二醇、乙氧基乙二醇、单烷氧基乙二醇、甘油、单烷氧基甘油、二烷氧基甘油等)等水溶性冷却液；这些物质的混合物等。所述冷却液可以单独地，或将两种以上组合使用。

对于所述磨粒没有特别的限定，但作为例子可举出碳化硅(SiC)、氧化铝、氧化锆、二氧化硅等。所述磨粒可以单独地，或将两种以上组合使用。

对于所述磨粒的平均粒径没有特别的限定，但作为一例，优选为5～88μm，更优选为5～40μm，尤其优选为6～18μm。

所述磨粒的平均粒径可由例如激光衍射散射法、或通过电子显微镜的观察进行测定。在本说明书中，平均粒径指根据日本工业标准JISR1629由激光衍射散射法测定的数值。

对于所述切削屑没有特别的限定，但作为例子可举出硅，硅之外的陶瓷、钆镓石榴石、钽酸锂、铌酸锂、钼酸铅单晶、二氧化碲单晶、锗酸铋单晶等。对于所述切削屑的平均粒径没有特别的限定，但作为一例，优选为8.8μm以下(例如0.1～8.8μm)，更优选为1.8μm以下。另外，切削屑指由工件的加工而产生的工件的碎片(碎屑)。

对于所述铁屑的平均粒径没有特别的限定，但作为一例，优选为0.3～30μm，更优选为0.9～4μm。由于平均粒径在0.3μm以上，在冷却液回收工序(A)的离心分离中铁屑易于沉降，从而冷却液与铁屑可更加容易地分离。另外，铁屑指用线锯等装置对工件进行加工时产生的来自锯条的铁粉等(锯条的碎片(碎屑)等)。

对于所述硅废浆中液体成分的比例没有特别的限定，但作为一例，相对硅废浆总重(100重量％)优选为30～70重量％，更优选为35～65％重量％。对于所述硅废浆中固体成分的比例没有特别的限定，但作为一例，相对硅废浆总重(100重量％)优选为30～70重量％，更优选为35～65重量％。由于液体成分以及固体成分的比例在所述范围之内，可更加高效地回收冷却液回收液、回收磨粒、回收切削粉。

对于所述硅废浆的固体成分中磨粒的比例没有特别的限定，但作为一例，相对所述硅废浆的固体成分总重(100重量％)优选为10重量％以上(例如10～75重量％等(其中，作为下限值更优选为40重量％。而作为上限值更优选为70重量％，尤其优选为65重量％，最优选为63重量％))。

对于所述硅废浆的固体成分中切削屑的比例没有特别的限定，但作为一例，相对所述硅废浆的固体成分总重(100重量％)优选为70重量％以下(例如5～70重量％等(其中，作为上限值更优选为60重量％，尤其优选为40重量％，最优选为36重量％))。

对于所述硅废浆的固体成分中铁屑的比例没有特别的限定，但作为一例，相对所述硅废浆的固体成分总重(100重量％)优选为20重量％以下(例如0.5～20重量％等(其中，作为上限值更优选为10重量％以下))。

由于所述硅废浆的固体成分中磨粒、切削屑、铁屑的比例在所述范围之内，可更加高效地回收冷却液回收液、回收磨粒、回收切削粉，并且可得到纯度更高的冷却液回收液与回收磨粒。

另外，即使所述硅废浆中磨粒的比例、切削屑的比例、铁屑的比例超过所述范围而其含量较高的情况下，使用本发明的回收系统也可以回收冷却液回收液、回收磨粒、回收切削粉。

对所述硅废浆也可以在所述冷却液回收工序(A)之前进行稀释、pH值调节、超声波照射、加热、分散、磁分离等处理。

在所述冷却液回收工序(A)中虽然没有特别的限定，但作为一例，优选使用从离心分离、过滤器过滤、以及蒸馏所形成的群中所选择的至少一种分离手段，将硅废浆分离为分离固体成分与冷却液回收液。分离所述硅废浆的手段(方法)可根据硅废浆中的固体成分浓度，以及硅废浆的固体成分中的铁屑浓度等而适当进行。另外，所述分离手段也可以是不加压而进行的分离手段。

其中，出于可以更高效地、以更高纯度得到冷却液回收液的观点，优选使用从离心分离所述硅废浆之后通过蒸馏分离的方法、以过滤器过滤所述硅废浆之后进行蒸馏的方法、以及对所述硅废浆进行蒸馏分离的方法中所选择的一种分离方法，将硅废浆分离为分离固体成分与冷却液回收液。

所述硅废浆在某些情况下会散发异味。该异味被认为是由以冷却液的氧化物为代表的具有气味(异味)的成分(例如，对工件进行加工时产生的冷却液的氧化物等具有气味的成分)引起的。作为异味的原因，冷却液的氧化物以及树脂化物(冷却液的缩聚物)的影响尤其重要。作为冷却液的氧化物，例如当冷却液是丙二醇时，可举出丙酮醇及甲基乙二醛为例。

即使冷却液的氧化物在冷却液回收液中的含量较少(例如相对冷却液回收液总重(100重量％)含有1100重量ppm)，也会成为异味的原因，而使用冷却液回收液的工作环境在某些情况下将会恶化。

即使冷却液的树脂化物在冷却液回收液中的含量较少(例如相对冷却液回收液总重(100重量％)含有6000重量ppm以上)，也会成为异味的原因，而使用冷却液回收液的工作环境在某些情况下将会恶化。

冷却液的树脂化物由于沸点较高，可通过分馏时将其作为残余馏分去除，或通过蒸馏时使其作为分离固体成分残留下来，以将其从冷却液回收液中去除。另外，冷却液的树脂化物的量可以通过例如将蒸馏后的液体成分加热至冷却液的沸点之上，并随后测量留下的残渣的量的方法进行测定。

本发明的发明者们发现，若冷却液与铁(铁屑)相混合存在，冷却液将因为铁可作为冷却液的氧化反应的催化剂而更加容易氧化，尤其处于长时间的高温下(例如，蒸馏时加热所造成的高温(例如100～250℃))将有利于冷却液的氧化反应发生。另外，所述硅废浆中的冷却液在高温(例如大于100℃(例如100～250℃))会氧化而变性，而通过其反应在某些情况下会产生氢气。

例如，在蒸馏时，若相对冷却液100重量％存在0.8重量％以上的铁屑，在某些情况下通过蒸馏得到的冷却液回收液中将生成1100重量ppm以上的冷却液的氧化物。因此在冷却液回收工序(A)中，优选不在冷却液与铁屑混合存在的状态下进行长时间加热(例如蒸馏时的加热)。即若减少与冷却液混合存在的铁(铁屑)的比例，将能够抑制冷却液的氧化并得到纯度更高(冷却液的氧化物较少)的冷却液回收液，而从此观点出发，所述冷却液回收工序(A)中的分离手段更优选为所述离心分离所述硅废浆之后通过蒸馏分离的手段。

(过滤器过滤)

通过对所述硅废浆进行过滤器过滤，可以不需要加热而将所述硅废浆分离为以冷却液为主要成分的冷却液回收液，以及以磨粒、切削屑、铁屑为主要成分的分离固体成分。

通过所述过滤器过滤，可以将冷却液与铁屑分离。因此，过滤器过滤之后的冷却液在其后的工序中及保管时不易氧化(过滤器过滤之后的冷却液中，除含有的冷却液的氧化物(对工件进行加工时产生的冷却液的氧化物等)之外不易产生新的冷却液的氧化物)。另外，过滤器过滤之后的冷却液即使在高温下(例如，即使进行蒸馏)也不易被氧化。

通过对所述硅废浆进行过滤器过滤，由于硅废浆中，除含有的冷却液的氧化物之外在过滤器过滤之后不易产生新的冷却液的氧化物，因此可得到冷却液的氧化物较少(例如，冷却液的氧化物的含量相对冷却液回收液(如果冷却液回收液含有水则是除去了水分的冷却液回收液)总重(100重量％)为0.01～0.1重量％等)的冷却液回收液。另外，作为过滤器过滤之后的回收冷却液中含有的冷却液的氧化物，可举出对工件进行加工时所产生的冷却液的氧化物等为例。

对于所述过滤器过滤所使用的过滤器没有特别的限定，但作为例子可举出不织布、织物、网、布等基于纤维的过滤器、基于树脂的过滤器、玻璃棉等。过滤器过滤所使用的过滤器优选为不会在所述过滤器过滤的过程中发生堵塞的过滤器。

对于所述过滤器过滤没有特别的限定，但优选在小于100℃(例如20℃～99℃)的温度进行。由于进行过滤器过滤的温度在所述范围，在过滤器过滤的过程中不会发生加热所引起的冷却液的变性(冷却液的氧化)，从而可得到冷却液的氧化物的比例较低，纯度较高的冷却液回收液。

另外，也可以在冷却液不会发生氧化的程度范围内进行加热(例如加热至20℃～99℃)。在某些情况下通过加热可使所述硅废浆中的水分蒸发，从而得到含水量较低的冷却液回收液。所述过滤器过滤可以进行一次，也可以进行多次。对于所述过滤器过滤没有特别的限定，但优选为压滤。

在某些情况下，由所述过滤器过滤进行分离的分离固体成分中残留有冷却液成分。因此从有效利用分离固体成分中残留的冷却液成分的观点，以及提高超声波处理工序(B)、分离工序(C)的效率的观点出发，优选在过滤器过滤之后进行蒸馏。另外，通过过滤器过滤之后的蒸馏分离的冷却液成分可作为冷却液回收液加以利用。

通过过滤器过滤分离的冷却液回收液可以直接作为回收的冷却液使用，也可以从得到冷却液浓度更高的冷却液回收液的观点出发，进行蒸馏、离心分离等以进一步提纯。另外，通过过滤器过滤之后的蒸馏而分离的含有磨粒、切削屑、铁屑等成分的混合物可以作为分离固体成分加以利用。

(离心分离)

通过对所述硅废浆进行离心分离，可以不需要加热而容易地，且以较低成本将所述硅废浆分离为以冷却液为主要成分的冷却液回收液，以及以磨粒、切削屑、铁屑为主要成分的分离固体成分。

尤其是对硅废浆进行离心分离时，可将其分离为含有冷却液以及切削屑，并且铁屑的比例较低的轻液(冷却液回收液)与含有磨粒以及铁屑的重液(分离固体成分)。即通过离心分离，可将冷却液与铁屑分离。因此，离心分离之后的轻液中所含有的冷却液在其后的工序中及保管时，不易发生冷却液的氧化(除轻液中含有的冷却液的氧化物(对工件进行加工时产生的冷却液的氧化物中，被分离到轻液中的部分等)之外，不易产生新的冷却液的氧化物)。尤其是离心分离之后的轻液中含有的冷却液即使在高温下(例如，即使进行蒸馏)也不易被氧化。另外，离心分离之后的轻液相比所述过滤器过滤，更优选使用所述离心分离，因为即使在硅废浆的粘度较高的情况下也可分离冷却液与铁(铁屑)。

通过对所述硅废浆进行离心分离，由于除硅废浆中含有的冷却液的氧化物之外，在离心分离之后不易产生新的冷却液的氧化物，因此可得到冷却液的氧化物较少的冷却液回收液(例如，冷却液的氧化物的含量相对冷却液回收液(如果冷却液回收液含有水则是除去了水分的冷却液回收液)总重(100重量％)，为0.05～0.3重量％的冷却液回收液等)。另外，作为离心分离之后的回收冷却液中含有的冷却液的氧化物，可举出对工件进行加工时所产生的冷却液的氧化物等为例。

对于所述离心分离中的离心力没有特别的限定，但优选例如为1500g～3000g，更优选为2000g～2500g。由于离心力在所述范围之内，可得到铁屑的比例更加低的轻液。

所述离心分离优选在冷却液不易发生氧化的温度(例如5℃～99℃)进行。所述离心分离可以进行一次，也可以进行多次。

对于所述离心分离后的轻液中所含有的铁屑的比例没有特别的限定，但作为一例，相对轻液中所含有的冷却液总重(100重量％)为3重量％以下(例如优选为0.1～3重量％，更优选为2重量％以下，尤其优选为0.8重量％以下)。通过例如反复进行离心分离、与过滤器过滤相结合等方法，可降低离心分离之后轻液中的铁屑的比例。

对于所述离心分离之后的轻液中所含有的铁屑相对离心分离之前的硅废浆中所含有的铁屑的比例没有特别的限定，但作为一例，相对离心分离之前的硅废浆中所含有的铁屑总重(100重量％)，优选为35重量％以下，更优选为20重量％以下。

在某些情况下，由所述离心分离进行分离的分离固体成分(重液)中残留有冷却液成分。因此从有效利用分离固体成分中残留的冷却液的观点，以及提高超声波处理工序(B)、分离工序(C)的效率的观点出发，优选在离心分离之后进行蒸馏、干燥。另外，通过所述离心分离之后的蒸馏而分离的冷却液成分可作为冷却液回收液加以利用。

对离心分离之后的轻液进行蒸馏时，对于离心分离之后的轻液中所含有的铁屑的比例没有特别的限定，但作为一例，相对离心分离之后的轻液中的液体成分(100重量％)优选为小于0.8重量％。由于轻液中铁屑的比例在所述范围之内，可抑制冷却液回收液中冷却液的氧化(相对冷却液回收液总量，将冷却液氧化物的产生量抑制在1100重量ppm以下)，从而可以得到没有异味，且纯度更高的冷却液回收液。

通过所述离心分离进行分离的轻液可以直接作为回收的冷却液使用，也可以从得到纯度更高的冷却液回收液的观点出发，进行蒸馏、离心分离等以进一步提纯。另外，通过所述离心分离之后的蒸馏分离的含有磨粒、切削屑、铁屑等成分的混合物可以作为分离固体成分加以利用。

(蒸馏)

在某些情况下，在对工件进行加工等过程中使用过的硅废浆含有较多水分(例如含有20％左右的水分)。因此在回收冷却液回收液时，优选具备去除水分的工序。

通过对所述硅废浆进行蒸馏，可以将所述硅废浆分离为以冷却液为主要成分的冷却液回收液，以及以磨粒、切削屑、铁屑为主要成分的分离固体成分。尤其是可以通过蒸馏减少冷却液回收液中的水的比例。

另外，在本说明书中蒸馏包括简单蒸馏、分馏、精馏等。

对于进行所述蒸馏时的压力没有特别的限定，例如可以是常压蒸馏也可以是减压蒸馏。另外，蒸馏所使用的蒸馏塔可以是简单蒸馏塔，也可以是精馏塔。对于精馏塔的理论塔板数没有特别的限定。另外，蒸馏可以是间歇蒸馏(分批蒸馏)，也可以是连续蒸馏。对于进行所述蒸馏时的温度没有特别的限定，但作为一例，如果目的是将水分离，那么可举出蒸馏温度为小于冷却液沸点的温度为例。另外，优选不对高沸物进行长时间加热(例如蒸馏时的加热)。

所述蒸馏优选较短的蒸馏时间。另外，从抑制蒸馏中生成新的冷却液的氧化物的观点出发，所述蒸馏优选在冷却液与铁屑没有混合存在的状态下进行。即所述蒸馏优选在通过例如所述过滤器过滤或所述离心分离等将铁屑选择性地去除之后进行。其中，从得到纯度更高的冷却液回收液(冷却液的浓度较高的冷却液回收液)，以及分离固体成分的观点出发，优选在所述离心分离之后进行所述蒸馏。

由于冷却液的氧化物具有低沸点，因此通过简单蒸馏将其与冷却液分离较为困难，而将冷却液的氧化物从冷却液与冷却液的氧化物混合存在的状态分离出来，一直以来被认为困难较大。然而本发明的发明者们发现，通过进行精馏，可高效且容易地分离冷却液与冷却液的氧化物。即通过精馏，可以从含有冷却液与冷却液的氧化物的混合物中得到冷却液的氧化物的含量为1100重量ppm以下的冷却液回收液(没有异味的冷却液回收液、臭气强度小于2.5，且舒适/不适度大于-1的冷却液回收液等)。

尤其是通过减少冷却液中铁屑的比例而进行蒸馏，由于在蒸馏中不易生成新的冷却液的氧化物这一点，以及硅废浆中含有的冷却液的氧化物(例如，对工件进行加工时产生的冷却液的氧化物等)可由精馏几乎完全去除这一点，若将铁屑与冷却液分离之后对分离后的冷却液进行精馏，将得到冷却液的氧化物的含量显著较低的冷却液回收液。

对于所述蒸馏没有特别的限定，但从可以更加降低水分的比例，并且可以降低除冷却液与水之外的成分的比例的观点出发，优选为分馏。另外，冷却液回收液中的冷却液的氧化物(低沸点的氧化物)的比例可由分馏降低。即通过对分馏后的主要馏分进行进一步精馏，可得到水分以及冷却液的氧化物更加少的冷却液回收液。

由所述蒸馏分离的水及分离后的残留馏分可用于例如助燃剂、辅助燃料的水成分、本发明的回收系统中的稀释液等用途，因此不会成为废弃物。由所述蒸馏分离的水可尤其适宜地作为本发明的回收系统中的稀释液使用。

由所述冷却液回收工序(A)得到的分离固体成分可由超声波处理工序(B)、分离工序(C)分离为回收磨粒、回收切削粉。

另外，硅废浆、冷却液回收液或分离固体成分中的铁屑也可通过使用磁铁分离，将其含量降低一定程度。

以下将描述冷却液回收工序(A)的优选的具体形态的示例。

图2为冷却液回收工序(A)的一例的示意图。所述硅废浆通过所述离心分离，被分离为以冷却液与切削屑为主要成分的轻液(a)，以及以磨粒及铁屑为主要成分的重液(b)。之后，通过对轻液(a)进行蒸馏，可得到冷却液回收液A，以及分离固体成分A。另外，通过对重液(b)在与轻液(a)不同的蒸馏器内进行蒸馏，可得到冷却液回收液B，以及分离固体成分B。另外，离心分离后的轻液与重液可以使用同一蒸馏器进行蒸馏，也可以使用不同的蒸馏器进行蒸馏。另外，通过分馏可降低轻液(a)及重液(b)的水分的比例，使其纯度更高。

轻液(a)中的铁屑比例较低，而蒸馏过程中冷却液不易氧化，因此蒸馏之后所得到的所述冷却液回收液A中冷却液的氧化物较少。重液(b)的铁屑的比例相比轻液(a)较高从而在蒸馏过程中容易发生冷却液的氧化，而在某些情况下所述冷却液回收液B含有冷却液的氧化物。另外，可通过精馏使冷却液回收液A、冷却液回收液B中冷却液的氧化物的比例降低。

所述冷却液回收液A及冷却液回收液B可根据所含有的成分的比例等，用于不同的用途。作为氧化物较少的冷却液回收液的用途可举出切削用的冷却液等为例。作为可以含有氧化物的冷却液回收液的用途可举出防冻液或防冻液的原料、冷却液或冷却液的原料、燃料或燃料的原料等。

所述分离固体成分A中切削屑的比例较高，而所述分离固体成分B中磨粒及铁屑的比例较高。即在所述冷却液回收工序(A)中，通过在所述离心分离之后进行所述蒸馏，可将硅废浆分离为切削屑的比例较高的分离固体成分与磨粒及铁屑的比例较高的分离固体成分。

对于离心分离之后进行蒸馏得到的切削屑的比例较高的分离固体成分(例如，所述轻液(a)的蒸馏之后的固体成分，分离固体成分A)中的切削屑的比例没有特别的限定，但例如相对切削屑的比例较高的分离固体成分总量(100重量％)，优选为60～99重量％，更优选为70～99重量％。

对于离心分离之后进行蒸馏得到的磨粒及铁屑的比例较高的分离固体成分(例如，所述重液(b)的蒸馏之后的固体成分，分离固体成分B)中的磨粒的比例没有特别的限定，但例如相对磨粒及铁屑的比例较高的分离固体成分总量(100重量％)，优选为10～95重量％，更优选为35～95重量％。

对于离心分离之后进行蒸馏得到的磨粒及铁屑的比例较高的分离固体成分(例如，所述重液(b)的蒸馏之后的固体成分，分离固体成分B)中的铁屑的比例没有特别的限定，但例如相对磨粒及铁屑的比例较高的分离固体成分总量(100重量％)，优选为0.1～10重量％，更优选为0.1～5重量％。

在离心分离之后进行蒸馏所得到的切削屑的比例较高的分离固体成分(例如分离固体成分A)，以及在离心分离之后进行蒸馏所得到的磨粒及铁屑的比例较高的分离固体成分(例如分离固体成分B)除了用于超声波处理工序(B)之外，也可根据所含有的成分的比例等，用于不同的用途。

磨粒及铁屑的比例较高的所述分离固体成分可作为例如用于钢铁的脱氧剂、钢铁辅助材料(硅添加剂等)、水泥原料使用。切削屑的比例较高的分离固体成分也是所含有的铁粉的比例较低而切削粉的比例较高的回收切削粉，也可作为例如用于钢铁的脱氧剂、钢铁辅助材料(硅添加剂等)、水泥原料、金属硅原料、硅树脂原料使用。

图3为冷却液回收工序(A)的一例的示意图。所述硅废浆通过所述过滤器过滤，被分离为冷却液回收液，以及主要含有磨粒、切削屑、铁屑的固体成分。之后，通过对固体成分进行蒸馏，可得到冷却液回收液，以及分离固体成分。

【超声波处理工序(B)】

在所述超声波处理工序(B)中，对从所述硅废浆得到的所述分离固体成分照射超声波。其中，优选对所述冷却液回收工序(A)中所得到的所述分离固体成分进行超声波照射。

在所述冷却液回收工序(A)中所得到的所述分离固体成分中，含有部分成分聚集的物质(例如，切削屑与铁屑聚集的物质、切削屑聚集的物质等)，以及化学键合的物质。因此在分离工序(C)中对回收磨粒进行回收时，磨粒与其他成分的界面(例如，磨粒，以及铁屑与切削屑的聚集物的界面等)不易辨认，从而在某些情况下回收磨粒中的磨粒的浓度(回收磨粒的纯度)会降低，或回收磨粒的回收效率会降低。因此通过对冷却液回收工序(A)中所得到的分离固体成分进行超声波照射，以此破坏(分离、分散)各个成分的聚集(在某些情况下部分化学键合也会离解)，从而在分离工序(C)中分离为回收磨粒与回收切削粉的效率将提高。尤其是即使在分离工序(C)中所得到的回收磨粒的清洗次数较少，也可以得到纯度较高的回收磨粒，因此可以高效地得到纯度较高的回收磨粒(磨粒的比例较高的回收磨粒)。

从能够高效地进行超声波分散的观点出发，优选在所述超声波处理工序(B)之前稀释所述分离固体成分(稀释工序)。另外，从能够高效地进行超声波分散的观点出发，也可以在所述超声波处理工序(B)之前对所述分离固体成分进行粉碎(尤其是块状颗粒的粉碎)。

对于稀释液没有特别的限定，但可以使用例如水、碱性水溶液(例如氨水、甲胺水溶液、小苏打水溶液等)、含有表面活性剂的水溶液(例如含有非离子表面活性剂的水溶液、含有阴离子表面活性剂的水溶液、含有阳离子表面活性剂的水溶液等)、冷却液，或这些物质的组合进行稀释。其中，从有效利用本发明的回收系统所得到的全部溶液的观点出发，优选使用水，或水与冷却液的混合液(例如，在冷却液回收工序(A)中进行了分馏的情况下所得到的水分较多的初馏成分等)进行稀释。

对于稀释后的所述分离固体成分溶液(通过稀释工序所得到的将分离固体成分稀释后的溶液)中固体成分的总含量没有特别的限定，但例如优选相对分离固体成分溶液总量(100重量％)为5～50重量％。

另外，所述稀释液可在分离工序(d3)后的产品化工序(E)，或在废液回收工序(F)中进行回收，且回收的溶液可作为稀释液进行再利用，因此不会成为废弃物。

在所述超声波处理工序(B)中，照射超声波的次数可以例如是一次，也可以是两次以上。其中，超声波处理工序(B)中优选包括从由超声波粉碎工序(b1)、超声波分散工序(b3)中所选择的至少一种照射超声波的工序。超声波粉碎工序(b1)指照射频率较小，能量较高的超声波的工序。超声波分散工序(b3)指照射频率较大，能量较低的超声波的工序(尤其是照射与超声波粉碎工序(b1)中频率相同或更大的超声波的工序)。

另外，在超声波处理工序(B)中也可以包括其他工序。

对于所述超声波处理工序(B)没有特别的限定，但从更加提高分离工序(C)中回收磨粒与回收切削粉的回收效率，以及更加减少为得到高纯度的回收磨粒所需的清洗次数的观点出发，优选顺序包括超声波粉碎工序(b1)、筛分工序(b2)、超声波分散工序(b3)。

对于所述超声波处理工序(B)中超声波的频率没有特别的限定，但例如优选为10～45kHz。若超声波的频率大于45kHz，其能量将比较小，在某些情况下需要较长时间才能得到照射超声波的效果(例如聚集成分的分离)，而在另一些情况下会得不到效果。另外，在进行两次以上的超声波照射的情况(例如包括超声波粉碎工序(b1)与超声波分散工序(b3)的情况)下，优选每一次都照射所述频率范围的超声波。

对于所述超声波处理工序(B)中超声波的照射时间没有特别的限定，但例如优选为10～180分钟，更优选为10～150分钟，尤其优选为10～120分钟。由于超声波的照射时间在所述范围内，在分离工序(C)中能够高效地分离回收磨粒与回收切削屑。另外在分离工序(C)中，能够得到纯度更高的回收磨粒。

对于所述超声波处理工序(B)中照射超声波时的温度没有特别的限定，但可举出1～40℃为例。若温度超过40℃，某些情况下磨粒将由于发生反应等原因被着色。另外由于不易产生分离界面的原因，某些情况下产率将下降。

在所述超声波处理工序(B)中可以在搅拌所述分离固体成分的同时进行照射，也可以静置所述分离固体成分并且进行照射。其中，为防止分散的颗粒再次聚集，优选静置状态下照射。若在搅拌的同时进行，则优选在进行不会引起沉淀等现象的强度的搅拌(例如，相当于线速度10～30cm/s(尤其是20cm/s)的搅拌)的同时照射超声波。

从能够分离超声波照射难以分离的铁屑与切削屑化学键合所形成的物质的观点出发，所述超声波处理工序(B)也可以在使用磁铁吸附铁屑的同时进行。

(超声波粉碎工序(b1))

超声波粉碎工序(b1)例如优选设置在紧接冷却液回收工序(A)之后，并且优选对冷却液回收工序(A)中所得到的分离固体成分使用超声波进行粉碎。

从能够高效地进行超声波照射的观点出发，可以在所述超声波粉碎工序(b1)之前稀释所述分离固体成分(稀释工序)。作为稀释液可举出所述溶剂为例。对于稀释后的所述分离固体成分溶液中固体成分的总含量没有特别的限定，但例如优选相对分离固体成分溶液总量(100重量％)为5～50重量％，更优选为10～30重量％。

对于所述超声波粉碎工序(b1)中超声波的频率没有特别的限定，但例如优选为小于30kHz(例如，10～30kHz)，更优选为15kHz以下。若超声波粉碎工序(b1)中超声波的频率大于30kHz，在某些情况下聚集成分的粉碎将需要较长时间。尤其是在超声波粉碎工序(b1)之后设置筛分工序(b2)的情况下，由于超声波的频率在所述范围内，筛分机将不易堵塞，并且切削粉与铁粉的聚集将被破坏，从而在筛分工序(b2)中可以高效地将磨粒、切削粉、铁粉分离。

对于所述超声波粉碎工序(b1)中超声波的照射时间没有特别的限定，但例如优选为10～180分钟，更优选为10～150分钟，尤其优选为10～120分钟。由于超声波粉碎工序(b1)中的照射时间在所述范围内，在筛分工序(b2)中能够高效地将磨粒，以及切削屑与铁粉分离。

对于所述超声波处理工序(b1)中照射超声波时的温度没有特别的限定，但可举出1～40℃为例。

在所述超声波处理工序(b1)中可以在搅拌所述分离固体成分的同时进行照射，也可以静置所述分离固体成分并且进行照射。其中，优选在搅拌的同时进行照射。若在搅拌的同时进行，优选在进行不会引起沉淀等现象的强度的搅拌(例如，相当于线速度10～30cm/s(尤其是20cm/s)的搅拌)的同时照射超声波。

所述超声波处理工序(b1)也可以例如在使用磁铁吸附铁屑的同时进行。

(筛分工序(b2))

在所述超声波处理工序(b1)与所述超声波分散工序(b3)之间，优选设有例如筛分工序(b2)。其中，所述筛分工序(b2)优选设置在紧接所述超声波粉碎工序(b1)之后。所述筛分工序(b2)是从所述分离固体成分中分离出以切削屑及/或铁屑为主要成分的细颗粒浆体，以及以磨粒为主要成分的粗颗粒浆体的工序。

对于在所述筛分工序(b2)中分离所述分离固体成分的方法没有特别的限定，但可举出沉降分离、离心分离等。其中从操作的简便性考虑，优选离心分离。

对于在所述筛分工序(b2)中的所述离心分离没有特别的限定，但例如优选由湿式筛分机进行。对于所述湿式筛分机没有特别的限定，但作为例子可举出液体旋风分离机、卧螺分离机等。其中，从筛分效率较好的观点出发，优选使用液体旋风分离机。

对于使用液体旋风分离机处理的分离固体成分的固体成分浓度没有特别的限定，但例如优选10～30重量％。对于液体旋风分离机的上喷嘴直径与下喷嘴直径的比值(喷嘴直径比值)没有特别的限定，但例如优选为1～7。对于液体旋风分离机工作的压力没有特别的限定，但例如优选为0.4～1.0MPa。由于所述固体成分浓度、喷嘴直径比值、及/或工作压力在所述范围内，可以更加高效地分离出细颗粒浆体与粗颗粒浆体。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述细颗粒浆体与所述粗颗粒浆体的比例没有特别的限定，但例如优选细颗粒浆体的重量与粗颗粒浆体的重量的比值(细颗粒浆体的重量：粗颗粒浆体的重量)为90：10～60：40，更优选为80：20～65：35。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述细颗粒浆体的固体成分浓度没有特别的限定，但例如优选相对细颗粒浆体总量(100重量％)为3～20重量％，更优选为4～15重量％。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述细颗粒浆体中磨粒的比例没有特别的限定，但例如优选相对细颗粒浆体中的固体成分总量(100重量％)为45重量％以下(例如0.5～45重量％)，更优选为0.5～40重量％。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述细颗粒浆体中切削屑与铁屑的比例(切削屑与铁屑的量之和所占的比例)没有特别的限定，但例如优选相对细颗粒浆体中的固体成分总量(100重量％)为55重量％以上(例如55～99.5重量％)，更优选为60～99.5重量％。

由于所述筛分工序(b2)之后的所述细颗粒浆体中固体成分浓度、磨粒的比例、切削屑的比例、及/或铁屑的比例在所述范围内，可得到纯度更高的回收切削粉。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述粗颗粒浆体的固体成分浓度没有特别的限定，但例如优选相对粗颗粒浆体总量(100重量％)为50～80重量％，更优选为60～70重量％。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述粗颗粒浆体中磨粒的比例没有特别的限定，但例如优选相对粗颗粒浆体中的固体成分总量(100重量％)为60重量％以上(例如60～99重量％)，更优选为80～99重量％。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述粗颗粒浆体中切削屑与铁屑的比例没有特别的限定，但例如优选相对粗颗粒浆体中的固体成分总量(100重量％)为40重量％以下(例如1～40重量％)，更优选为1～20重量％。

由于所述筛分工序(b2)之后的所述粗颗粒浆体中固体成分浓度、磨粒的比例、切削屑的比例、及/或铁屑的比例在所述范围内，可高效地得到纯度更高的回收切削粉。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述细颗粒浆体没有特别的限定，但例如可在废液回收工序(F)中进行浓缩、脱水干燥以增加固体成分浓度之后作为回收切削粉。另外，由废液回收工序(F)得到的液体成分可作为超声波粉碎工序(b1)及超声波分散工序(b3)之前调整粘度及浓度的稀释液使用。因此，在废液回收工序(F)中不会产生废弃物。

对于所述筛分工序(b2)之后的所述粗颗粒浆体没有特别的限定，但例如可在超声波分散工序(b3)对其进行超声波照射，也可以在分离工序(C)中将其分离为回收磨粒与回收切削粉。

所述筛分工序(b2)使用液体旋风分离机进行筛分的情况下，可以非常高效地将磨粒与铁屑分离。尤其若在筛分工序(b2)之前照射一定频率(例如30kHz以下)的超声波(例如若设置超声波粉碎工序(b1))，液体旋风分离机对磨粒与铁屑的分离能力将显著增加，而以磨粒为主要成分的粗颗粒浆体中的铁屑的比例将大幅度减少。通过将使用液体旋风分离机的筛分工序(b2)设置在分离工序(C)之前，能够将难以分离的磨粒与铁屑高效地分离，因此在分离工序(C)中可以得到纯度较高的回收磨粒。另外，由于能在分离工序(C)之前分离磨粒与铁屑，从而为得到纯度较高的回收磨粒所需要的清洗工序(D)的次数将减少，能够更加高效地得到纯度较高的回收磨粒。

(超声波分散工序(b3))

所述超声波分散工序(b3)例如优选设置为紧接在所述筛分工序(b2)之后。

从能够高效地照射超声波的观点出发，在所述超声波分散工序(b3)之前可对固体成分(例如，粗颗粒浆体)进行稀释。作为稀释液可以加入例如水、碱性水溶液(例如氨水、甲胺水溶液、小苏打水溶液等)、含有表面活性剂的水溶液(例如含有非离子表面活性剂的水溶液、含有阴离子表面活性剂的水溶液、含有阳离子表面活性剂的水溶液等)、冷却液，或这些物质组合而成的稀释液(低粘度液体)，进行稀释并调节粘度。其中，从有效利用本发明的回收系统所得到的全部溶液的观点出发，优选使用水，或水与冷却液的混合液(例如，在冷却液回收工序(A)中进行了分馏的情况下所得到的水分较多的初馏成分等)进行稀释。

对于稀释后的溶液中固体成分的总含量(例如，稀释后的粗颗粒浆体中固体成分的总含量)没有特别的限定，但例如优选相对溶液总量(100重量％)为10～50重量％，更优选为20～30重量％。

分离固体成分或粗颗粒浆体的固体成分浓度大于50重量％时，某些情况下在超声波分散工序(b3)中无法得到超声波的分散效果，因此优选使用稀释液(水等)进行稀释。在筛分工序(b2)所得到的粗颗粒浆体的固体成分浓度较高，因此优选在所述超声波分散工序(b3)之前对粗颗粒浆体进行稀释，使固体成分的总含量处于所述范围内。

对于所述超声波分散工序(b3)的超声波的频率没有特别的限制，但例如优选20kHz以上(例如20～45kHz)，更优选20～38kHz。若超声波分散工序(b3)的超声波的频率小于20kHz，超声波的能量将较大而系统的温度将上升，在某些情况下将发生其他反应。尤其是在超声波分散工序(b3)之后进行静置分离时，某些情况下静置分离将需要较长时间。另外，某些情况下波长过长从而微小的聚集颗粒不能够被分散。若所述频率大于45kHz，在某些情况下超声波的能量将过小从而得不到聚集成分的分散效果。

对于所述超声波分散工序(b3)中超声波的照射时间没有特别的限定，但例如优选为10～180分钟，更优选为10～150分钟，尤其优选为10～120分钟，尤其优选为10～60分钟，再尤其优选为20～30分钟。由于超声波分散工序(b3)的照射时间在所述范围内，静置分离时可以高效地分离回收磨粒与回收切削粉。另外，若照射时间较长，系统的温度将有可能上升而发生其他反应。

在所述超声波分散工序(b3)中可以在搅拌的同时进行照射，也可以静置并进行照射。其中，为防止分散的颗粒再次聚集，优选静置并进行照射。若在搅拌的同时进行，则优选在进行不会引起沉淀等现象的强度的搅拌(例如，相当于线速度10～30cm/s(尤其是20cm/s)的搅拌)的同时照射超声波。

所述超声波分散工序(b3)也可以例如在使用磁铁吸附铁屑的同时进行。

所述分离工序(C)为静置分离的情况下，通过在静置分离之前设置所述超声波分散工序(b3)，能够在静置分离工序中更加高效地分离回收磨粒与回收切削粉。

以下将描述超声波处理工序(B)的优选的具体实施方式的示例。

图4为超声波处理工序(B)的一例的示意图。从能够高效地照射超声波的观点出发，使用所述稀释液对冷却液回收工序(A)中所得到的分离固体成分进行稀释，使其具有适度的浓度、粘度。之后，从提高铁屑与磨粒分离的效率的观点出发，进行超声波照射，使分离固体成分中的聚集成分(尤其是切削屑与铁屑聚集的成分)分散(超声波粉碎工序(b1))。之后，使用湿式筛分机(尤其是液体旋风分离机)等进行筛分，得到以磨粒为主要成分的粗颗粒浆体，以及以切削屑和/或铁屑为主要成分的细颗粒浆体(筛分工序(b2))。从能够高效地照射超声波的观点出发，使用稀释液对粗颗粒浆体进行稀释。之后，照射与超声波粉碎工序(b1)频率相同或更大的超声波(超声波分散工序(b3))。

筛分工序(b2)中所得到的细颗粒浆体可在废液回收工序(F)中分离为液体成分与固体成分，作为回收切削粉。另外，在废液回收工序(F)中分离出的液体成分可用于例如超声波处理工序(B)中的稀释液等。因此，从超声波处理工序(B)不会产生废弃物。

【分离工序(C)】

所述分离工序(C)为，从所述超声波处理工序(B)中照射了超声波的所述分离固体成分(或是分离自分离固体成分的粗颗粒浆体)分离回收磨粒与回收切削粉的工序。即通过所述分离工序(C)，可从所述分离固体成分得到回收磨粒与回收切削粉。

所述分离工序(C)中优选为例如利用沉降速度的差异，选择性地使磨粒沉降，从而分离回收磨粒与回收切削粉的工序。对于利用沉降速度的差异的分离没有特别的限定，但例如可以是离心分离，也可以是静置分离。所述分离工序(C)没有特别的限定，但优选设置在所述超声波分散工序(b3)之后。

所述分散工序(C)为静置分离的情况下，对于静置时间(至少生成界面的静置时间)没有特别的限定，但可举出30～120分钟为例。另外，所述静置分离可以例如测定正在分离中的分离固体成分或粗颗粒浆体的上清液的浊度，并进行到上清液的浊度超过一定值。作为监测上清液的浊度的方法，可举出设置浊度监测传感器以监测浊度的方法为例。

对于所述静置分离的上清液的浊度没有特别的限定，但可举出2500～4500度为例。由于浊度在所述范围内，可提高回收磨粒的纯度。所述浊度可将样品放入厚15mm的容器内，使用光纤传感器(产品名称“数字光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)进行测定。浊度为使用所述光纤传感器测量透过样品的光的量所得的值，值越大表示越透明。

在经判断认为即使经过所述静置分离，上清液的浊度也无法超过一定的值(例如，浊度为2500度)而无法得到目标纯度的回收磨粒的情况下，也可以抽走所述静置分离之后的上清液，并设置清洗静置分离后的沉淀物的清洗工序(D)。

设置所述清洗工序(D)的情况下，虽没有特别的限定，但例如优选静置分离后的沉淀物(100重量％)中铁屑的浓度在1重量％以下。铁屑的浓度可由例如筛分及磁分离降低。

所述分离工序(C)也可以例如在使用磁铁吸附铁屑的同时进行。

本发明的发明者们发现，在所述分离工序(C)之前，通过超声波粉碎工序(b1)及筛分工序(b2)将以磨粒为主要成分的粗颗粒浆体中的铁屑的比例降低，则在超声波分散工序(b3)中聚集成分将被分离，而在分离工序(C)中沉淀成分与上清液成分的界面将显著地变明显。因此在分离工序(C)之前，若顺序设有超声波粉碎工序(b1)、筛分工序(b2)、超声波分散工序(b3)，分离的效率将更加提高，并可得到纯度更高的回收磨粒。

从得到纯度更高的回收磨粒的观点出发，优选对分离工序(C)之后的回收磨粒实施清洗工序(D)、产品化工序(E)。另外，从得到纯度更高的回收切削粉的观点出发，优选对分离工序(C)之后的回收切削粉实施废液回收工序(F)。

【清洗工序(D)】

所述清洗工序(D)为对回收磨粒添加稀释液，并照射超声波之后，利用沉降速度的差异将其分离而清洗回收磨粒的工序。所述清洗工序(D)为例如清洗所述分离工序(C)之后的沉淀物，从而更加提高回收磨粒中的磨粒浓度的工序(从分离工序(C)之后的沉淀物中，将磨粒与其他成分分离的工序)。

所述清洗工序(D)例如优选包括将沉淀物稀释的稀释工序(d1)、使用超声波使沉淀物中的成分分散的超声波分散工序(d2)、利用沉降速度的差异的分离工序(d3)等。

(稀释工序(d1))

在所述稀释工序(d1)中，对于将分离工序(C)之后的沉淀物稀释的稀释液没有特别的限定，但作为例子可举出所述的稀释液及分离工序(C)之后的上清液浓缩后而成的液体成分。

对于稀释后的溶液中固体成分的总含量没有特别的限定，但例如优选相对稀释后的溶液总量(100重量％)为10～50重量％，更优选为20～30重量％。

(超声波分散工序(d2))

所述超声波分散工序(d2)的条件可与所述超声波分散工序(b3)相同，也可以与其不同。

对于所述超声波分散工序(d2)的超声波的频率没有特别的限制，但例如优选20kHz以上(例如20～45kHz)，更优选20～38kHz。若超声波分散工序(d2)的超声波的频率小于20kHz，超声波的能量将较大而系统的温度将上升，在某些情况下将发生其他反应。尤其是在超声波分散工序(d2)之后进行静置分离时，某些情况下静置分离将需要较长时间。另外，某些情况下波长过长从而微小的聚集颗粒不能够被分散。若所述频率大于45kHz，在某些情况下超声波的能量将过小从而得不到聚集成分的分散效果。

对于所述超声波分散工序(d2)中超声波的照射时间没有特别的限定，但例如优选为10～180分钟，更优选为10～150分钟，尤其优选为10～120分钟，再尤其优选为10～60分钟，最优选为20～30分钟。由于超声波分散工序(d2)的照射时间在所述范围内，通过分离工序(d3)可以高效地清洗回收磨粒。另外，若照射时间较长，系统的温度将有可能上升而发生其他反应。

在所述超声波分散工序(d2)中可以在搅拌的同时照射超声波，也可以静置并进行照射。其中，为防止分散的颗粒再次聚集，优选静置并进行照射。若在搅拌的同时进行，则优选在进行不会引起沉淀等现象的强度的搅拌(例如，相当于线速度10～30cm/s(尤其是20cm/s)的搅拌)的同时照射超声波。

所述超声波分散工序(d2)也可以例如在使用磁铁吸附铁屑的同时进行。

(分离工序(d3))

在所述分离工序(d3)中可以利用沉降速度的差异，选择性地使磨粒沉降，从而分离磨粒与其他成分。对于所述分离工序(d3)中利用沉降速度的差异进行的分离没有特别的限定，但例如可以是离心分离，也可以是静置分离。

所述分离工序(d3)为静置分离的情况下，对于静置时间(至少有界面生成的静置时间)没有特别的限定，但可举出30～120分钟为例。另外，所述分离工序(d3)为静置分离的情况下，例如可以测定正在分离的稀释液的浊度，并静置到浊度小于一定值为止。作为监测稀释液的上清液的浊度的方法，可举出设置浊度监测传感器以监测浊度的方法为例。

对于所述分离工序(d3)之后的上清液的浊度没有特别的限定，但可举出2500～4000度为例。由于浊度在所述范围内，可提高回收磨粒的纯度。所述浊度可通过将样品放入厚15mm的容器内，使用光纤传感器(产品名称“光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)进行测定。

在经判断认为即使经过所述分离工序(d3)，上清液的浊度也不能超过一定的值(例如，浊度为2500度)而无法得到目标纯度的回收磨粒的情况下，也可以抽走所述分离工序(d3)之后的上清液，并对沉淀物再次处以清洗工序(D)。

所述分离工序(d3)也可以例如在使用磁铁吸附铁屑的同时进行。

所述清洗工序(D)可以反复进行。对于所述清洗工序(D)的反复次数没有特别的限定，但例如优选1～10次。通过反复进行所述清洗工序(D)，可以降低回收磨粒中的切削粉、铁粉的浓度，从而得到纯度更高的回收磨粒。

在所述清洗工序(D)中的分离工序(d3)分离的上清液可在废液回收工序(F)中分离为固体成分与液体成分之后，将液体成分再次用于清洗工序(D)中的稀释工序(d1)，因此不产生废液。

另外，将所述清洗工序(D)中的分离工序(d3)中所分离的上清液通过废液回收工序(F)分离为固体成分与液体成分之后的固体成分为切削粉、铁粉浓度更高的回收切削粉。

【产品化工序(E)】

通过产品化工序(E)对由所述清洗工序(D)得到的回收磨粒进行干燥，使其液体成分挥发，可以得到纯度更高的回收磨粒。

对于所述产品化工序(E)中干燥的温度、时间没有特别的限定。

【废液回收工序(F)】

所述废液回收工序(F)为对清洗工序(D)中的分离工序(d3)所分离的上清液等进行浓缩，以提高回收切削粉的纯度的工序。

对于所述废液回收工序(F)中浓缩的方法没有特别的限定，但作为例子可举出压滤、真空过滤、超滤、蒸馏、蒸发干燥等。其中，从操作的简便性以及可高效地浓缩的观点，优选为压滤。

所述废液回收工序(F)中得到的回收切削粉可进一步通过从磁分离、静置分离、离心分离(例如使用液体旋风分离机的分离)中所选择的至少一种手段(例如所述清洗工序(D)等)等分离，分离为磨粒、铁粉、切削粉。

所述废液回收工序(F)中浓缩之后的液体成分可作为例如冷却液回收工序(A)中的稀释液、超声波处理工序(B)之前的稀释液(超声波粉碎工序(b1)之前的稀释液或超声波分散工序(b3)之前的稀释液等)、稀释工序(d1)的稀释液等使用。因此废液回收工序(F)中不产生废弃物。

以下将描述清洗工序(D)、产品化工序(E)、废液回收工序(F)的优选的具体实施方式的示例。

图5为在分离工序(C)之后进一步设置了清洗工序(D)、产品化工序(E)、废液回收工序(F)的情况的一例的示意图。在图5所示的工序中，在稀释工序(d1)中对回收磨粒进行稀释，经过超声波分散工序(d2)之后，在分离工序(d3)中分离为沉淀成分与上清液。沉淀成分通过产品化工序(E)可成为纯度更高的回收磨粒。另外经过废液回收工序(F)，可从上清液得到纯度更高的回收切削粉。废液回收工序(F)中得到的液体成分可在稀释工序(d1)中作为稀释液使用。

【冷却液回收液】

本发明的冷却液回收液例如优选为从所述硅废浆(例如固体成分的比例较高的硅废浆、尤其是磨粒的比例较高的硅废浆)得到的含有冷却液的液体。本发明的冷却液回收液可以是只由冷却液组成的液体，也可以是以冷却液为主要成分的溶液(混合液)。其中，本发明的冷却液回收液优选为从所述硅废浆得到的以冷却液为主要成分的溶液。

本发明的冷却液回收液优选冷却液的含量相对冷却液回收液总量(100重量％)为88重量％以上，并且由下述臭气评价方法所评价的臭气强度小于2.5，且舒适/不适度大于-1。冷却液的含量、臭气强度及舒适/不适度在所述范围内的冷却液回收液可尤其适宜地作为切削用的冷却液使用。另外，臭气强度可以通过例如蒸馏(尤其是精馏、分馏)等降低。另外，舒适/不适度可以通过例如蒸馏(尤其是精馏、分馏)等提高。

(臭气测定方法)

根据日本工业标准JIS K-0102，使用以下方法进行了臭气测定。

根据以下所示的分为6个等级的臭气强度表示方法，以及分为9个等级的舒适/不适度表示方法对溶液的臭气强度及舒适/不适度进行评价。评价者6人对相同的溶液进行相同的评价，以6个人的评价结果的平均值作为臭气强度以及舒适/不适度。

另外，臭气的测定在温度25℃的环境下进行。

(臭气强度表示方法)

0：无臭

1：将将可感觉到的臭味

2：可以辨别臭味来源的微弱的臭味

3：可轻易感觉到的臭味

4：较强的臭味

5：强烈的臭味

(舒适/不适度表示方法)

-4：极度不适

-3：非常不适

-2：不适

-1：稍稍不适

0：既非舒适也非不适

1：稍稍舒适

2：舒适

3：非常舒适

4：极度舒适

另外，本发明的冷却液回收液优选冷却液的含量相对冷却液回收液总重(100重量％)为88重量％以上，且色相为APHA40以下(例如10～40，优选为20～30)。

若本发明的冷却液回收液中含有冷却液的树脂化物(例如，若相对冷却液回收液总量(100重量％)含有6000重量ppm以上)，某些情况下色相将超过APHA40。所述色相可通过例如蒸馏降低。

根据JIS K0071-1：1998所记载的方法制作标准样品，肉眼观察对所述色相进行了APHA(哈森色数)的评价。

另外，本发明的冷却液回收液优选冷却液的含量相对冷却液回收液总重(100重量％)为88重量％以上，且水的含量为小于5重量％。

本发明的冷却液回收液可以通过例如本发明的回收系统得到。对于通过本发明的回收系统得到的冷却液回收液也可以加入pH调节剂、添加剂(例如分散剂、防锈剂等)。

对于本发明的冷却液回收液中冷却液的含量(冷却液的纯度)没有特别的限定，但作为一例，相对冷却液回收液总重(如果冷却液回收液含有水则是除去了水分的冷却液回收液)(100重量％)优选为88重量％以上，更优选为90重量％以上，尤其优选为95重量％以上，特别优选为99重量％以上。另外，冷却液的所述含量可以相对冷却液回收液总重(如果冷却液回收液含有水则是除去了水分的冷却液回收液)(100重量％)为100重量％。

对于本发明的冷却液回收液中铁屑的比例(铁屑的含量)没有特别的限定，但作为一例，相对冷却液回收液总重(如果冷却液回收液含有水则是除去了水分的冷却液回收液)(100重量％)优选为5重量ppm以下。尤其优选冷却液回收液中的水的比例为5重量％以下，且铁屑的比例为5重量ppm以下。

对于本发明的冷却液回收液中水的比例(水的含量)没有特别的限定，但作为一例，相对冷却液回收液总重(100重量％)优选为15重量％以下，更优选为12重量％以下，尤其优选为小于5重量％，特别优选为1重量％以下。若水的比例在所述范围内，则可以将本发明的冷却液回收液作为切削用的冷却液或冷却液的原料、合成树脂或合成树脂的原料、增塑剂或增塑剂的原料、表面活性剂或表面活性剂的原料来使用。

本发明的冷却液回收液例如优选冷却液的含量相对冷却液回收液总重(100重量％)为88重量％以上，且水的含量为小于5重量％。

冷却液回收液中水的比例可以通过例如蒸馏降低。尤其是从分馏所得到的回收液(初馏馏分、主要馏分、残余馏分)中的主要馏分，可得到水的比例较低、冷却液的浓度较高的冷却液回收液。

对于本发明的冷却液回收液所含有的冷却液的氧化物的比例(冷却液的氧化物的含量)没有特别的限定，但作为一例，相对冷却液回收液总重(如果冷却液回收液含有水则是除去了水分的冷却液回收液)(100重量％)优选为1000重量ppm以下。

另外，使用所述的臭气测定方法对丙二醇的氧化物丙酮醇浓度为250重量ppm、500重量ppm、750重量ppm、1000重量ppm、1500重量ppm的丙二醇溶液进行评价，得到了以下的结果。另外，含有丙酮醇的丙二醇的臭气主要来自丙酮醇。

丙酮醇浓度250重量ppm的臭气强度：1.8、舒适/不适度：0.0

丙酮醇浓度500重量ppm的臭气强度：1.8、舒适/不适度：-0.2

丙酮醇浓度750重量ppm的臭气强度：2.2、舒适/不适度：-0.2

丙酮醇浓度1000重量ppm的臭气强度：2.3、舒适/不适度：-0.3

丙酮醇浓度1500重量ppm的臭气强度：3.5、舒适/不适度：-1.5

冷却液回收液的臭气(臭气强度、以及舒适/不适度)可通过例如减少冷却液回收液中冷却液的氧化物的比重从而减轻，由此进行抑制。冷却液回收液中的杂质(例如铁屑、切削屑等)的比例可通过例如蒸馏等降低。冷却液的氧化物的比例可通过例如使用本发明的回收系统进行分离、进行精馏等方法降低。另外进行了分馏的情况下，不仅是初馏馏分的丙酮醇，而残余馏分的焦臭也可以去除。

对于本发明的冷却液回收液没有特别的限定，但例如优选为透明(例如无色透明、淡黄色透明等)。其中，本发明的冷却液回收液优选具有经过下述判断有无丁达尔现象的方法，判定为无丁达尔现象的透明程度。

(判断有无丁达尔现象的方法)

将冷却液回收液置入厚3cm的玻璃样品瓶(无色透明)，在暗处照射LED光的状态下，从垂直于LED光线的方向进行肉眼观察，若没有散射光所造成的浑浊则判断为无丁达尔现象，若有散射光所造成的浑浊则判断为有丁达尔现象。

所述硅废浆中含有胶状的颗粒。对于硅废浆中所含有的胶状的颗粒没有特别的限定，但作为例子可举出硅与铁的胶体粒子等。通过对含有胶状的颗粒的硅废浆进行蒸馏，可得到经过所述判断有无丁达尔现象的方法，判定为无丁达尔现象的冷却液回收液。另一方面，即使对含有胶状的颗粒的硅废浆进行过滤器过滤，也不能得到经过所述判断有无丁达尔现象的方法，判定为无丁达尔现象的冷却液回收液。即对于从含有胶状的颗粒的硅废浆分离胶状的颗粒的方法(得到透明的冷却液回收液的方法)没有特别的限定，但作为例子可举出蒸馏，超滤等。

对于本发明的冷却液回收液没有特别的限定，但从例如更加易于使用，以及更加适合用作切削用的冷却液或冷却液的原料、合成树脂或合成树脂的原料、增塑剂或增塑剂的原料、表面活性剂或表面活性剂的原料的观点出发，优选冷却液的含量为88重量％以上，所述臭气强度及舒适/不适度在所述范围内，色相在所述范围内，且水的含量在所述范围内。进一步地，优选冷却液的氧化物的比例、冷却液的树脂化物的比例、铁屑的比例在所述范围内，且为透明。

对于本发明的冷却液回收液没有特别的限定，但可用于除药品、化妆品之外的用途，例如用于切削用的冷却液、助磨剂、合成树脂(聚酯等)、增塑剂、表面活性剂、防冻剂、冷却液、燃料，以及这些物质的原料。其中，用作合成树脂(聚酯等)、合成树脂(聚酯等)的原料、增塑剂、增塑剂的原料、表面活性剂、表面活性剂的原料、冷却液、冷却液的原料的用途时，尤其优选不含氧化物。

另外，本发明的冷却液回收液在所述用途中，可以单独使用(可以作为新的材料使用)，也可以作为补充液使用。

【回收磨粒】

本发明的回收磨粒例如优选为以所述硅废浆中所得到的磨粒为主要成分的混合物。本发明的回收磨粒可通过例如本发明的回收系统得到。通过本发明的回收系统得到的回收磨粒满足工业用JIS规格(例如JISR6001、1998等)。

对于本发明的回收磨粒中磨粒的比例(磨粒的含量)没有特别的限定，但作为一例，相对回收磨粒总重(100重量％)优选为80重量％以上，更优选为98重量％以上，尤其优选为99重量％以上。

对于本发明的回收磨粒中切削屑的比例没有特别的限定，但作为一例，相对回收磨粒总重(100重量％)优选为9重量％以下，更优选为1重量％以下，尤其优选为0.5重量％以下，特别优选为0.1重量％以下。

对于本发明的回收磨粒中铁屑的比例没有特别的限定，但作为一例，相对回收磨粒总重(100重量％)优选为5重量％以下，更优选为1重量％以下，尤其优选为0.5重量％以下，最优选为0.1重量％以下。

即本发明的回收磨粒例如优选磨粒的比例为98重量％以上(优选为99重量％以上)，切削屑的比例为1重量％以下(优选为0.5重量％以下)，铁屑的比例为1重量％以下(优选为0.5重量％以下)。

对于本发明的回收磨粒没有特别的限定，但可作为例如切削用的磨粒、催化剂的原料、陶瓷(瓷器、瓦、耐火材料等)的原料、燃料、钢铁辅助材料(硅添加剂、碳添加剂、加热剂、脱氧剂等)、水泥原料使用。另外，由于磨粒在对工件进行加工之后也几乎没有磨损，因此可以作为磨粒再次使用。另外，磨损的磨粒可用于切削用的磨粒之外的用途。

另外，本发明的回收磨粒在所述用途中，可以单独使用(可以作为新的材料使用)，也可以作为补充的固体使用。

【回收切削粉】

本发明的回收切削粉例如优选以所述硅废浆中所得到的切削粉及/或铁粉为主要成分。本发明的回收切削粉可通过例如本发明的回收系统得到。

对于本发明的回收切削粉中切削粉及铁粉的比例没有特别的限定，但作为一例，相对回收切削粉总重(100重量％)优选为50重量％以上，更优选为60重量％以上，尤其优选为65重量％以上。

对于本发明的回收切削粉中磨粒的比例没有特别的限定，但作为一例，相对回收切削粉总重(100重量％)优选为30重量％以下，更优选为20重量％以下，尤其优选为10重量％以下。

对于使用后的硅(硅废浆中的硅)，硅的氧化只在切削屑的表面发生，而内部残留有未氧化的硅，因此硅废浆中所含有的切削粉的二氧化硅比例较低。另外，使用本发明的回收系统，分离回收切削粉时切削屑不会发生化学变化，因此可以回收二氧化硅的比例较低的切削屑。

本发明的回收切削粉可作为钢铁辅助材料(硅添加剂、碳添加剂、加热剂、脱氧剂、造熔渣剂等)、水泥的原料、金属硅的原料使用。铁粉的比例较高的情况下，本发明的回收切削粉尤其优选作为钢铁辅助材料、水泥的原料使用。切削粉的比例较高的情况下，本发明的回收切削粉尤其优选作为钢铁辅助材料(造熔渣剂、硅添加剂)、水泥的原料、金属硅的原料使用。

另外，本发明的回收切削粉在所述用途中，可以单独使用(可以作为新的材料使用)，也可以作为补充的固体使用。

【实施例】

以下根据实施例以及比较例对本发明进行更详细的说明，但本发明不限于这些例子。另外，在以下实施例以及比较例中，某些情况下相对原料的回收率不为100％(例如为99％的情况等)，但并不意味着产生了废弃物，而是由于吸附于机器的成分等造成的，且此成分可通过持续进行回收得到回收、利用。

另外，各个成分的分析方法使用了以下所记载的方法。

(实施例1)

将丙二醇作为冷却液，将碳化硅磨粒(GC#1200)的切削液作为磨粒使用，回收了500重量份的切削了用于制作太阳能电池基板的多晶硅之后的硅废浆(1)。回收的硅废浆(1)为暗褐色。表1显示回收的硅废浆(1)的重量、液体成分与固体成分的比例，以及固体成分的成分分析结果。

【表1】

此后，使用间歇式离心分离机在离心力2000g、离心时间5分钟的条件下，离心分离500重量份的所述硅废浆(1)，得到轻液(a-1)，以及重液(b-1)。表2显示离心分离之后的轻液(a-1)及重液(b-1)的比例。

【表2】

此后，对175重量份的轻液(a-1)，以及313重量份的重液(b-1)分别使用不同的湿壁塔蒸馏装置进行减压蒸馏。轻液(a-1)、重液(b-1)的蒸馏条件为在30mmHg的压力下蒸馏至蒸干(直至即将没有液体蒸出)。对于轻液(a-1)，以蒸馏时的馏出温度在60℃以上且小于100℃的馏出液为初馏馏分，以馏出温度在100℃以上且小于140℃的馏出液为主要馏分，以馏出温度在140℃以上且小于180℃的馏出液为残余馏分，将回收液体分为初馏馏分、主要馏分、残余馏分的三部分。对于重液(b-1)，在180℃以下蒸馏并分为液体成分(蒸馏液体成分)与固体成分(蒸馏固体成分)。

表3显示蒸馏后的轻液(a-1)以及蒸馏后的重液(b-1)的液体成分与固体成分的比例。表4显示蒸馏后的轻液(a-1)的液体成分以及蒸馏后的重液(b-1)的液体成分的成分分析结果。蒸馏后的初馏馏分及主要馏分为无色透明。另外，残余馏分为淡黄色透明。另外，主要馏分没有焦臭。对于重液(b-1)进行了简单蒸馏。

表5显示蒸馏后的轻液(a-1)的固体成分以及蒸馏后的重液(b-1)的固体成分的成分分析结果。另外，蒸馏后的轻液(a-1)的固体成分以及重液(b-1)的固体成分的液体含量为10重量％以下。

【表3】

【表4】

【表5】

如表4所示，蒸馏后的轻液(a-1)的液体成分相比蒸馏后的重液(b-1)的液体成分，初馏馏分、主要馏分、残余馏分中的丙二醇的氧化物(丙酮醇)的浓度均为更低。另外，通过进行分馏，作为主要馏分得到了水分含量1.5重量％、丙二醇98.2重量％、丙二醇的氧化物(丙酮醇)0.1重量％的高纯度的冷却液回收液。将固体成分中铁屑的比例较多的重液(b-1)蒸馏所得到的回收液体相比轻液(a-1)的回收液体，含有较多的丙二醇的氧化物(丙酮醇)及杂质。

另外，蒸馏后的轻液(a-1)(初馏馏分、主要馏分、残余馏分)，以及蒸馏后的重液(b-1)的臭气如以下所述。

轻液(a-1)蒸馏后的初馏馏分：臭气强度3.0、舒适/不适度-1.2

轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分：臭气强度2.3、舒适/不适度-0.3

轻液(a-1)蒸馏后的残余馏分：臭气强度3.5、舒适/不适度-1.5

重液(b-1)的馏出液：臭气强度3.5、舒适/不适度-1.5

轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分为没有臭气的高品质的冷却液回收液。另外，轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分中含有的丙二醇的树脂化物在检测极限之下(相对轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分总重(100重量％)为小于6000重量ppm)。

另外，蒸馏后的轻液(a-1)(初馏馏分、主要馏分、残余馏分)，以及蒸馏后的重液(b-1)的色相如以下所述。

轻液(a-1)蒸馏后的初馏馏分：APHA20

轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分：APHA30

轻液(a-1)蒸馏后的残余馏分：APHA60

重液(b-1)的馏出液：APHA50

另外，对于轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分检测是否有丁达尔现象的结果，没有发现丁达尔现象。

如表5所示，轻液(a-1)蒸馏后的固体成分以切削屑为主要成分。另外重液(b-1)蒸馏后的固体成分以磨粒为主要成分。另外，与轻液(a-1)相比，铁屑在重液(b-1)中含有更多。

向轻液(a-1)的主要馏分添加水，使其水分含量与未用于切削工序的新的冷却液(丙二醇)相当，并测定其在15～50℃的粘度。表6显示轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分以及新的冷却液在各个温度下的粘度。如表6所示，轻液(a-1)蒸馏后的主要馏分的粘度变化与新的冷却液程度相当。

粘度的测定使用粘度计(3号转子)，在25℃的液体温度下进行。

【表6】

此后，将100重量份的重液(b-1)的固体成分(分离固体成分)、300重量份的水置入具有螺旋搅拌功能的浓度调整槽，使固体成分的含量变为25重量％。之后，以不会产生沉淀的程度缓慢搅拌，同时在常温下使用频率15kHz的超声波照射120分钟。结果几乎没有可通过肉眼观察或触摸发现的粗颗粒(聚集物)。将粉碎后的浆体通过270目(53μm)的筛子，确认了没有聚集物。表7显示粉碎后的浆体(将分离固体成分稀释而得到的溶液)的液体成分与固体成分的比例、重量。

【表7】

此后，使用液体旋风分离机处理400重量份的粉碎后的浆体，得到细颗粒浆体(c-1)与粗颗粒浆体(d-1)。表8显示筛分后的细颗粒浆体(c-1)与粗颗粒浆体(d-1)的比例、液体成分与固体成分的比例、成分分析结果。

如表8所示，经过液体旋风分离机的筛分，细颗粒浆体的切削屑以及铁屑的比例较高，而粗颗粒浆体的磨粒的比例较高。铁屑较多地迁移至细颗粒浆体，而粗颗粒浆体中的铁屑含量较低，为0.6重量％。

【表8】

此后，向100重量份的粗颗粒浆体添加220重量份的水，使固体成分浓度成为20重量％，搅拌均匀后在常温下使用频率26kHz的超声波照射30分钟，使聚集颗粒分散。此后，将照射了超声波的粗颗粒浆体静置120分钟，使其分离为沉淀物与其他物质(上清液)并回收了上清液。向残留的沉淀物添加与回收的水等量的水，使固体成分浓度成为20重量％。之后，使用磁铁进行了磁分离。通过磁分离回收的固体成分可经过废液回收工序，将其作为回收切削粉。

之后，重复进行搅拌均匀后在常温下使用频率26kHz的超声波照射30分钟，静置120分钟，并回收上清液的一整套清洗工序，直到上清液的浊度(使用光纤传感器(产品名称“数字光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)测定的浊度)变为2500度以上。清洗次数总计为4次。

此后，使用干燥机使沉淀物干燥，使其通过325目(45μm)的筛子，将通过筛子的物质作为回收磨粒进行回收。没有未通过筛子的物质。表9显示得到的回收磨粒的重量与进行成分分析的结果。相对粗颗粒浆体所含有的磨粒，回收磨粒中的磨粒的回收率为88.9重量％。另外，图6与图7分别显示硅废浆(1)的干燥固体的粒度分布与回收磨粒的粒度分布。图8、图9分别显示使用扫描电子显微镜(SEM)拍摄的硅废浆(1)的干燥固体与回收磨粒。另外，粒度分布使用了激光衍射散射法进行测定。

使用压滤机(滤布的材质：聚丙烯，过滤压力：0.4MPa)对清洗时回收的上清液进行浓缩，使所得到的固体成分蒸发干燥，得到回收切削粉(1-1)(18.4重量份)。表10显示得到的回收切削粉的重量与进行成分分析的结果。

另外，将使用压滤机将轻液(a-1)蒸馏后的固体成分、细颗粒浆体(c-1)浓缩，并将所得到的固体成分蒸发干燥的物质，以及使用压滤机将清洗时回收的上清液浓缩，并将所得到的固体成分蒸发干燥的物质混合，得到了回收切削粉(1-2)(80.8重量份)。表10显示得到的回收切削粉(1-2)的重量与进行成分分析的结果。

另外，使用所述的压滤机进行浓缩而分离的液体也可以在与上述相同的清洗工序中，作为稀释液使用。

【表9】

【表10】

如表9所示，所得到的回收磨粒为几乎不含切削粉、铁粉，且磨粒的浓度非常高的高纯度回收磨粒。另外，若将图6、图7进行比较，所得到的回收磨粒中不存在硅废浆(1)中存在的粒径1μm左右的颗粒，即切削屑。另外，如图9所示，所得到的回收磨粒中的磨粒上没有附着切削屑，而切削屑及铁屑已被去除。另外，确认了磨粒的形状没有破损。

另外，在实施例1中回收的初馏馏分可作为助磨剂原料、主要馏分可作为切削用的冷却液原料、残余馏分可作为助磨剂原料、回收磨粒可作为切削用的磨粒、回收切削粉可作为钢铁辅助材料使用，而实施例1中没有产生废弃物。

(实施例2)

将二甘醇以及二甘醇单甲醚的混合物作为冷却液，将碳化硅磨粒(GC#1200)的切削液作为磨粒使用，回收了500重量份的切削了用于制作太阳能电池基板的多晶硅之后的硅废浆(2)。

表11显示硅废浆(2)的重量、液体成分与固体成分的比例，以及固体成分的成分分析结果。

【表11】

对500重量份的回收的硅废浆(2)使用蒸馏装置进行减压蒸馏。蒸馏条件为30mmHg的压力下，蒸馏至蒸干(直至即将没有液体蒸出)。以馏出温度在60℃以上且小于100℃的馏出液为初馏馏分，以馏出温度在100℃以上且小于170℃的馏出液为主要馏分，以馏出温度在170℃以上且小于200℃的馏出液为残余馏分，分为初馏馏分、主要馏分、残余馏分的三部分。表12显示蒸馏后液体成分与固体成分的比例。表13、表14显示蒸馏后的液体成分以及固体成分的成分分析结果。

如表13所示，相比初馏馏分、残余馏分，主要馏分所含的水分较少，得到了高纯度的二甘醇以及二甘醇单甲醚的回收液。另外，蒸馏后的固体成分的液体含量为10重量％以下。

【表12】

【表13】

【表14】

另外，对蒸馏后的初馏馏分、主要馏分、残余馏分的臭气进行了评价，结果如以下所述。

蒸馏后的初馏馏分：臭气强度2.0、舒适/不适度0

蒸馏后的主要馏分：臭气强度2.3、舒适/不适度0

蒸馏后的残余馏分：臭气强度2.5、舒适/不适度-1.0

另外，蒸馏后的初馏馏分及主要馏分为无色透明，残余馏分为淡黄色透明。另外，蒸馏后的主要馏分中含有的二甘醇或二甘醇单甲醚的树脂化物在检测极限之下(相对蒸馏后的主要馏分总重(100重量％)为小于6000重量ppm)。

另外，对蒸馏后的初馏馏分、主要馏分、残余馏分的色相进行了评价，结果如以下所述。

蒸馏后的初馏馏分：APHA20

蒸馏后的主要馏分：APHA30

蒸馏后的残余馏分：APHA70

另外，对于蒸馏后的主要馏分检测是否有丁达尔现象的结果，没有发现丁达尔现象。

对于以实施例1中同样的方法调整了水分的主要馏分与未用于切削工序的新的冷却液，分析了由温度变化引起的粘度变化(表15)。如表15所示，主要馏分的粘度变化与新的冷却液程度相当。另外，粘度的测量在与实施例1同样的条件下进行。

【表15】

此后，向344重量份的蒸馏后的固体成分添加1370重量份的水，使固体成分浓度成为20重量％，搅拌均匀后在常温下使用频率26kHz的超声波照射30分钟，使聚集颗粒分散。此后，静置120分钟，使其分离为沉淀物与其他物质(上清液)。向残留的沉淀物添加与回收的水等量的水。之后，使用磁铁进行了磁分离。通过磁分离回收的固体成分可经过废液回收工序，将其作为回收切削粉。

之后，重复进行以搅拌均匀后在常温下使用频率26kHz的超声波照射30分钟，静置120分钟，并回收上清液的一整套清洗工序，直到上清液的浊度(使用光纤传感器(产品名称“数字光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)测定的浊度)变为2500度以上。清洗次数总计为6次。

此后，使用干燥机进行干燥，使其通过325目(45μm)的筛子，将通过筛子的物质作为回收磨粒进行回收。表16显示得到的回收磨粒的重量与进行成分分析的结果。相对蒸馏后的固体成分所含有的磨粒，回收磨粒中的磨粒的回收率为78.6重量％。

另外，图10显示硅废浆(2)的干燥固体的粒度分布，图11显示回收磨粒的粒度分布。图12显示使用扫描电子显微镜拍摄的硅废浆(2)的干燥固体，图13显示拍摄的回收磨粒的干燥固体。

使用与实施例1同样的方法，使用压滤机对清洗时回收的上清液进行浓缩，使所得到的固体成分蒸发干燥，得到回收切削粉(157.1重量份)。表17显示得到的回收切削粉的重量与进行成分分析的结果。

【表16】

【表17】

如表16所示，所得到的回收磨粒为几乎不含切削粉、铁粉，且磨粒的浓度非常高的高纯度回收磨粒。另外，如图11所示，所得到的回收磨粒中不存在硅废浆(2)中存在的粒径1μm左右的颗粒，即为切削屑。另外，如图13所示，所得到的回收磨粒中的磨粒上没有附着切削屑，而切削屑及铁屑已被去除。另外，确认了磨粒的形状没有破损。

另外，与实施例1中同样地，在实施例2中也确认了没有废弃物。

(实施例3)

将丙二醇作为冷却液，将碳化硅磨粒(GC#1500)的切削液作为磨粒使用，回收了切削用于制作太阳能电池基板的多晶硅之后的硅废浆(3)。使用与实施例1同样的方法，对230重量份的硅废浆(3)进行蒸馏，回收了100重量份的固体成分、130重量份的液体成分。表18显示蒸馏后的固体成分的成分分析结果。

【表18】

将100重量份的蒸馏后的固体成分与400重量份的水置入搅拌槽，使固体成分的浓度变为20重量％并搅拌均匀之后，在常温下使用频率38kHz的超声波照射30分钟，使聚集颗粒分散。此后，静置120分钟，使其分离为沉淀物与其他物质(上清液)。向残留的沉淀物添加与回收的水等量的水。之后，使用磁铁进行了磁分离。通过磁分离回收的固体成分可经过废液回收工序，将其作为回收切削粉。

之后，重复进行搅拌均匀后在常温下使用频率38kHz的超声波照射30分钟，静置120分钟，并回收上清液的一整套清洗工序，直到上清液的浊度(使用光纤传感器(产品名称“数字光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)测定的浊度)变为2500度以上。清洗次数总计为7次，而该清洗所耗费的清洗水的量为总计2800重量份。

此后，使用干燥机对沉淀物进行干燥，并使其通过325目(45μm)的筛子，将56.7重量份的通过筛子的物质作为回收磨粒进行回收。表19显示得到的回收磨粒的重量与进行成分分析的结果。

使用压滤机对清洗时回收的上清液进行浓缩，使所得到的固体成分蒸发干燥，得到了回收切削粉(34.5重量份)。表20显示得到的回收切削粉的重量与进行成分分析的结果。另外，与实施例1中同样地，在实施例3中也确认了没有废弃物。

【表19】

【表20】

(比较例1)

与实施例3同样地回收蒸馏后的固体成分以及液体成分，将100重量份的固体成分与400重量份的水置入搅拌槽，使固体成分的浓度变为20重量％。之后除了未照射超声波之外，与实施例3同样地回收了回收磨粒。直到上清液的浊度(使用光纤传感器(产品名称“数字光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)测定的浊度)变为2500度以上为止所需的清洗次数为22次，而清洗所耗费的清洗水的量为8800重量份。

此后，使用干燥机进行干燥，并使用20μm的筛子处理，将34.1重量份的通过筛子的物质作为回收磨粒进行回收。表21显示得到的磨粒的重量与进行成分分析的结果。

使用压滤机对清洗时回收的上清液进行浓缩，使所得到的固体成分蒸发干燥，得到了回收切削粉(57.1重量份)。表22显示得到的回收切削粉的重量与进行成分分析的结果。另外，与实施例1中同样地，在比较例1中也确认了没有废弃物。

【表21】

【表22】

表23显示实施例3及比较例1中的磨粒的回收率、清洗次数，以及使用的清洗水的量。

【表23】

在比较例1中没有进行超声波照射，因此聚集的磨粒与切削屑没有被剥离，从而清洗次数增加。相比比较例1，实施例3的清洗次数及清洗水的量更少，并得到了高纯度的回收磨粒。另外，实施例3的回收率也相对较高，高效地得到了回收磨粒。

(实施例4)

将丙二醇作为冷却液，将碳化硅磨粒(GC#1500)的切削液作为磨粒使用，回收了切削用于制作太阳能电池基板的多晶硅之后的硅废浆(4)。使用与实施例1同样的方法对硅废浆(4)进行蒸馏，回收了100重量份的固体成分。表24显示蒸馏后的固体成分的成分分析结果。

【表24】

将100重量份的蒸馏后的固体成分与400重量份的水置入搅拌槽，使固体成分的浓度变为20重量％。之后，在常温下使用频率26kHz的超声波照射30分钟，将聚集颗粒粉碎。与实施例1同样地，使用液体旋风分离机对粉碎的固体成分(20重量％的浆体)进行处理，筛分并得到了细颗粒浆体(c-2)与粗颗粒浆体(d-2)。表25显示所得到的细颗粒浆体(c-2)与粗颗粒浆体(d-2)的比例、液体成分与固体成分的比例、固体成分的成分分析结果。

【表25】

向143重量份的粗颗粒浆体(d-2)添加水，使其固体成分浓度变为20重量％，并与实施例1同样地进行清洗、干燥，得到了56.5重量份的回收磨粒。直到上清液的浊度(使用光纤传感器(产品名称“数字光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)测定的浊度)变为2500度以上为止所需的清洗次数为4次，而清洗所耗费的清洗水的量为1170重量份。

表26显示得到的回收磨粒的成分分析结果。

使用压滤机对清洗时回收的上清液进行浓缩，使所得到的固体成分蒸发干燥，得到了回收切削粉(4-1)(20.7重量份)。另外，将细颗粒浆体(c-2)的固体成分与回收切削粉(4-1)混合，得到了回收切削粉(4-2)(34.8重量份)。表27显示所得到的回收切削粉(4-1)及回收切削粉(4-2)的重量与进行成分分析的结果。

在实施例4中没有废弃物。

【表26】

【表27】

(实施例5)

与实施例4同样地回收蒸馏后的固体成分，将100重量份的固体成分与400重量份的水置入搅拌槽，使固体成分的浓度变为20重量％。之后除了未进行频率为26kHz的超声波以及其后使用液体旋风分离机的筛分之外，与实施例4同样地得到了回收磨粒。所得到的回收磨粒为39.4重量份。直到上清液的浊度(使用光纤传感器(产品名称“数字光纤放大器FS-V21”，制造商基恩士)测定的浊度)变为2500度以上为止所需的清洗次数为6次，而清洗所耗费的清洗水的量为5400重量份。表28显示所得到的回收磨粒的成分分析结果。

使用压滤机对清洗时回收的上清液进行浓缩，使所得到的固体成分蒸发干燥，得到了回收切削粉(53.7重量份)。表29显示所得到的回收切削粉的重量与进行成分分析的结果。在实施例5中没有废弃物。

【表28】

【表29】

表30显示实施例4以及实施例5中的清洗次数，以及使用的清洗水的量。

【表30】

	清洗次数(次)	使用的清洗水的量(重量份)
			实施例4	4	1170
实施例5	6	5400

相比实施例5，实施例4的清洗次数及清洗水的量均为更少，能够高效地回收磨粒。通过使用液体旋风分离机在清洗工序之前的筛分工序选择性地去除切削屑与铁屑，能够减少在其后的清洗工序中的清洗次数及清洗水的量。

(实施例6)

将丙二醇作为冷却液，将碳化硅磨粒(GC#1200)的切削液作为磨粒使用，对于切削用于制作太阳能电池基板的多晶硅之后的硅废浆(5)，不进行离心分离而仅以实施例1中重液(b-1)的蒸馏条件相同的条件进行蒸馏，得到了100重量份的蒸馏后的液体成分。表31显示所得到的蒸馏后的液体成分的成分分析结果。

【表31】

对于蒸馏后的液体成分(表31中的蒸馏后的液体成分)，使用具有湿壁塔的蒸馏装置进行了精馏。精馏的条件为减压(300～400mmHg)，馏出温度为100℃～115℃。精馏后，所得到的初馏馏分为32重量份，主要馏分为68单位蒸馏。表32显示所得到的初馏馏分及主要馏分的水分含量、成分分析结果。

【表32】

对于蒸馏后的液体成分(表31中的蒸馏后的液体成分)进行精馏所得到的主要馏分为去除了水及氧化成分(丙酮醇)的高纯度冷却液(丙二醇)。另外，在直接对硅废浆(5)进行精馏的情况下，尽管需要较长的时间操作，也可以得到与所述同样的高纯度冷却液。

另外，对硅废浆(5)的蒸馏后的液体成分，以及精馏后的主要馏分的臭气进行了评价，结果如以下所述。

硅废浆(5)的蒸馏后的液体成分：臭气较强，未进行评价

精馏后的主要馏分：臭气强度2.3、舒适/不适度-0.3

另外，蒸馏后的主要馏分中含有的丙二醇的树脂化物在检测极限之下(相对精馏后的主要馏分总重(100重量％)为小于6000重量ppm)。

实施例以及比较例中使用的分析方法如以下所述。

(冷却液成分的分析方法)

GC-FID分析法(检测器：氢火焰离子化检测器)

所用仪器：产品名“GC-2014C-R8A”(制造商株式会社岛津制作所)

色谱柱：产品名“Rtx-Wax”(长30m×内径0.32mm，膜厚0.1μm，制造商岛津GLC)

载气：He

检测器：FID(检测器温度210℃)

(冷却液中的水分的分析方法)

卡尔·费休法

所用仪器：产品名“MKS-500”，制造商京都电子工业株式会社

(固体成分中的成分的分析方法)

波长色散X射线荧光分析

所用仪器：产品名“ZSXPrimusIII+”(制造商株式会社Rigaku)

另外，将蒸馏后的液体成分加热至冷却液的沸点以上，在冷却液完全气化之后测定残余的残渣的量，由树脂化物的重量相对蒸馏后的液体成分(100重量％)的比例算出冷却液的树脂化物的量。

实施例以及比较例中使用的臭气的评价方法如以下所述。

(臭气测定方法)

根据以下所示的分为6个等级的臭气强度表示方法，以及分为9个等级的舒适/不适度表示方法对溶液的臭气强度及舒适/不适度进行评价。评价者6人(20代男性1名、30代男性3名、40代男性2名)对相同的溶液进行相同的评价，以6个人的评价结果的平均值作为臭气强度以及舒适/不适度。

另外，臭气的测定在温度25℃的环境下进行。

(臭气强度表示方法)

0：无臭

1：将将可感觉到的臭味

2：可以辨别臭味来源的微弱的臭味

3：可轻易感觉到的臭味

4：较强的臭味

5：强烈的臭味

(舒适/不适度表示方法)

-4：极度不适

-3：非常不适

-2：不适

-1：稍稍不适

0：既非舒适也非不适

1：稍稍舒适

2：舒适

3：非常舒适

4：极度舒适

实施例以及比较例中使用的色相的评价方法如以下所述。

根据JIS K0071-1：1998所记载的方法制作标准样品，肉眼观察进行APHA(哈森色数)的评价。

实施例中使用的判断有无丁达尔现象的方法如以下所述。

将蒸馏后的主要馏分置入厚3cm的玻璃样品瓶(无色透明)，在暗处对样品瓶照射LED光的条件下，从垂直于LED光线的方向进行肉眼观察，若没有散射光所造成的浑浊则判断为无丁达尔现象，若有散射光所造成的浑浊则判断为有丁达尔现象。

【标记说明】

1冷却液回收工序(A)

2超声波处理工序(B)

3清洗工序(C)

Claims (21)

1.一种硅废浆回收系统，其特征在于，包括：

对从含有冷却液、磨粒、切削屑、铁屑的硅废浆中得到的分离固体成分照射超声波的超声波处理工序(B)、

从照射了超声波的所述分离固体成分中分离回收磨粒、回收切削粉的分离工序(C)。

2.如权利要求1所述的硅废浆回收系统，其特征在于，

所述分离固体成分为通过将所述硅废浆进行分离，以得到分离固体成分与冷却液回收液的冷却液回收工序(A)而得到的分离固体成分。

3.如权利要求1或2所述的硅废浆回收系统，其特征在于，

在所述超声波处理工序(B)中，对所述分离固体成分照射频率为10～38kHz的超声波。

4.如权利要求2或3所述的硅废浆回收系统，其特征在于，

在所述冷却液回收工序(A)中，进行分离的方法为从离心分离、过滤器过滤、以及蒸馏中选择的至少一种分离方法。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的硅废浆回收系统，其特征在于，

在所述分离工序(C)中，利用沉降速度的差异，从照射了超声波的所述分离固体成分中分离回收磨粒、回收切削粉。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的硅废浆回收系统，其特征在于，

进一步包括对所述回收磨粒添加稀释液，并照射超声波后利用沉降速度的差异进行分离以清洗回收磨粒的清洗工序(D)。

7.由权利要求2至6中任意一项所述的硅废浆回收系统得到的冷却液回收液。

8.由权利要求1至6中任意一项所述的硅废浆回收系统得到的回收磨粒。

9.由权利要求1至6中任意一项所述的硅废浆回收系统得到的回收切削粉。

10.一种冷却液回收液，其特征在于，

冷却液含量为88重量％以上，且由下述臭气评价方法所评价的臭气强度小于2.5，且舒适/不适度大于-1。

(臭气测定方法)

评价者6人对评价样本进行嗅闻，根据以下所示的分为6个等级的臭气强度表示方法，以及分为9个等级的舒适/不适度表示方法进行评价，以其平均值作为臭气强度以及舒适/不适度。

臭气强度表示方法

0：无臭，1：将将可感觉到的臭味，2：可以辨别臭味来源的微弱的臭味，3：可轻易感觉到的臭味，4：较强的臭味，5：强烈的臭味

舒适/不适度表示方法

-4：极度不适，-3：非常不适，-2：不适，-1：稍稍不适，0：既非舒适也非不适，1：稍稍舒适，2：舒适，3：非常舒适，4：极度舒适

11.一种冷却液回收液，其特征在于，

冷却液含量为88重量％以上，且色相为APHA40以下。

12.一种冷却液回收液，其特征在于，

冷却液含量为88重量％以上，且水含量小于5重量％。

13.如权利要求7、10、11及12中任意一项所述的冷却液回收液，其为用于切削的冷却液的原料。

14.如权利要求7、10、11及12中任意一项所述的冷却液回收液，其为助磨剂的原料。

15.如权利要求7、10、11及12中任意一项所述的冷却液回收液，其为合成树脂的原料。

16.如权利要求7、10、11及12中任意一项所述的冷却液回收液，其为燃料。

17.如权利要求8所述的回收磨粒，其为用于切削的磨粒。

18.如权利要求8所述的回收磨粒，其为钢铁辅助材料。

19.如权利要求8所述的回收磨粒，其为水泥的原料。

20.如权利要求9所述的回收切削粉，其为钢铁辅助材料。

21.如权利要求9所述的回收切削粉，其为水泥的原料。