CN104576873B - 利用微结构形成表面电浆的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种利用微结构形成表面电浆的方法，是于取得一基材体后，以一携带物质携带多个纳米金属结构粒子于该基材体上以自组装方式形成一微结构，其中，该微结构是由该些纳米金属结构粒子以选自于由非连续面以及部分连续面的方式所构成。因此，借由自组装方式形成非连续面及部分连续面的微结构，而可作为表面电浆，以避免使用化学气相沉积等高成本工艺方式，达到大量降低制作成本以及制作时间的目的。除此之外，本发明亦打破表面电浆波的结构设计限制，进一步提升表面电浆波的产生效果。

Description

利用微结构形成表面电浆的方法
技术领域
本发明涉及一种表面电浆的制作方法，尤指一种利用微结构形成表面电浆的方法。
背景技术
金属的“表面电浆作用”在现今的社会中应用的相当广泛，研究人员发现以特别的方式设计纳米金属结构于介电质间的界面，可以产生电磁波与纳米金属结构的交互作用，并发现许多奇特的纳米光学性质，此类的光电特性都可利用改变本身的结构、尺寸、相对位置、周期性排列方式与纳米结构周围介电质种类加以控制。若能够掌控这些纳米结构参数，产生表面电浆共振效应，即可设计特殊的纳米结构系统，其所产生的表面电浆效益可应用于许多光电产品，以及学术方面研究与光电特性量测应用之上。由于其特性，表面电浆效应现阶段已开始初步应用于如：拉曼光谱量测、薄膜厚度与光学常數量测、太阳能电池系统、光学传感器结构、生物传感器等众多方面。
更特别的，表面电浆亦可用于提高发光二极管的发光效率。研究人员发现，在纳米金属与介电质交界处的表面电浆效应可放大电磁场作用，产生所谓近场效应，而提高附近量子点或量子井的发光效率（SP-QW），进而提升固态发光二极管的出光效率与亮度。
甚至，由于量子井中的电子、电洞对复合时，其释放光能并无方向性，在无其它引导机制下，造成可用光仅剩背对基板向上光。若此面出光需穿透异质层辐射至大气中，其中产生的光学作用导致部分出光被局限于异质层，转换为其它能量形式而再次削减，形成出光量层层降低。若在异质层与外界接触表面，设计一表面电浆结构，即可将因光学作用而损失的光能顺利吸收形成耦合，再通过表面电浆结构中的设计，造成动量的损耗转化为光子輻射而出，此即所谓的局部表面电浆共振效应（Localized Surface Plasmon Resonance,LSPR）。
其中如中国台湾专利公告第I395348号的“半导体发光元件”所公开的一种利用光放射效率高的表面电浆子（Surface Plasmon）的发光二极管元件，其中公开了利用在金属层表面形成特定形状的多个透孔，将该些透孔依特定的位置进行排列形成金属表面光栅后，可激发表面电浆子以获得较佳的光放射效率。
另外，如中国台湾专利公告第I363440号的“发光元件、发光二极管及发光元件的制造方法”，其公开一种具有表面电浆耦合单元的发光二极管元件结构，利用表面电浆耦合单元的设置，产生表面电浆，进而提升发光二极管的发光效率。
然而，上述形成表面电浆的方法，大多是利用蒸镀或溅镀配合黄光光掩膜、显影蚀刻的方式，形成多个纳米金属结构区块，或再利用退火的方式使该些纳米金属区块因表面张力的影响而形成如球状的结构，在工艺上较为复杂而耗费成本。
表面电浆依照结构类型可分为有限厚度金属薄膜表面电浆波（Surface PlasmonPolaritions,SPP）及局域性表面电浆波（Localized Surface Plasmons,LSP)。其中，SPP可存在于金属与介电质的表面，而LSP可以共振模式存在于纳米金属结构间。就目前的技术而言，尚无技术可同时提供类SPP及LSP的表面电浆共振技术于同一系统性结构中。并且，目前也无法提供一较佳且低成本的工艺方法以同时形成SPP及LSP的表面电浆。
再者，表面电浆一般来说仅能存在于金属与介电质之间的区域，其结构设计受到极大的限制，仍有改进的空间。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种利用微结构形成表面电浆的方法，解决必须利用化学气相沉积进行连续性的金属结构沉积以产生表面电浆，而有高成本及耗时的问题。
为达上述目的，本发明提供一种利用微结构形成表面电浆的方法，包含有以下步骤：
S1：取得一基材体；以及
S2：以一携带物质携带多个纳米金属结构粒子于该基材体上以自组装方式形成一微结构，其中，该微结构是由该些纳米金属结构粒子以选自于由非连续面以及部分连续面的方式所构成。
其中，步骤S2中，该携带物质为挥发性的液体，该纳米金属结构粒子于该携带物质中均匀分散，且该步骤S2中更具有以下步骤：
S21：以选自于由旋转涂布、喷涂、点滴涂布及浸泡所组成的群组的方式将该携带物质及该纳米金属结构粒子形成于该基材体上；
S22：该纳米金属结构粒子相互之间于该携带物质中移动，而以自组装方式形成多个二维六角最密结构；及
S23：进行烘干，使该携带物质逐渐挥发，而该二维六角最密结构层层堆叠形成一作为部分连续面构成微结构的金属粒子堆叠膜层。
其中，该携带物质为丙酮或异丙醇。
其中，步骤S2之后，更具有步骤S3：形成一第一介电质层于该金属粒子堆叠膜层远离该基材体的一侧，该金属粒子堆叠膜层中的该纳米金属结构粒子借由吸附或扩散方式进入该第一介电质层中，而形成一第一粒子悬浮层。
其中，该第一介电质层的材质为选自于由氧化铟锡、氧化铝锌及氧化锌所组成的群组。
其中，步骤S1中，该基材体具有多个凹槽，于步骤S2之后，更具有一步骤S4：沉积一介电物质于该金属粒子堆叠膜层上，该纳米金属结构粒子会以自组装方式包覆该介电物质，而形成多个结构球。
其中，步骤S2中，该纳米金属结构粒子借由吸附或扩散方式进入该基材体中，形成一第二粒子悬浮层。
其中，步骤S1中，该基材体的表面具有一第二介电质层，于步骤S2中，该纳米金属结构粒子借由吸附或扩散方式进入该第二介电质层中，形成一第二粒子悬浮层。
其中，步骤S2中，该携带物质为非挥发性的液体，该纳米金属结构粒子于该携带物质中均匀分散，并于该基材体上形成一作为非连续面构成微结构的纳米粒子悬浮膜。
本发明的利用微结构形成表面电浆的方法，可以解决必须利用化学气相沉积进行连续性的金属结构沉积以产生表面电浆，而有高成本及耗时的问题，还可以解决表面电浆共振区域的结构限制，形成立体表面电浆结构，提升表面电浆波的作用产生复合式效果。
由上述说明可知，本发明的特点在于利用携带物质配合自组装的方式，形成非连续面以及部分连续面的微结构，进而作为表面电浆形成的结构，不需使用化学气相沉积等高成本工艺，而具有低成本、低工艺时间的优势。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
附图说明
图1为本发明的步骤流程示意图。
图2A至图2D为本发明的结构工艺示意图。
图3为本发明第一实施例的微观剖面示意图。
图4为本发明第二实施例的工艺流程图。
图5为本发明的扫描电子显微镜示意图。
图6为本发明第三实施例的微观剖面示意图。
图7A至图7E为本发明的发光二极管工艺结构示意图。
图8为本发明的发光二极管电流电压曲线示意图。
图9A为本发明的发光效率于20mA的转换示意图。
图9B为本发明的发光效率于350mA的转换示意图。
图10为本发明的光穿透曲线示意图。
其中，附图标记：
10：基材体
10a：基材体
11：基板
12：N型半导体层
13：复合量子井层
14：P型半导体层
15：第二介电质层
20：金属粒子堆叠膜层
21：纳米金属结构粒子
22：携带物质
22a：携带物质
23：纳米粒子悬浮膜
30：第一介电质层
31：第二粒子悬浮层
40：第一粒子悬浮层
40a：第一粒子悬浮层
50：光刻胶
60：透明导电层
70：电极
81：表面电浆发光二极管
82：一般发光二极管
91：对照曲线
92：低转速曲线
93：高转速曲线
L1、L2：光吸收区
具体实施方式
有关本发明的详细说明及技术内容，现就配合图示说明如下：
请参阅图1及图2A至图2D所示，本发明为一种复合式立体表面电浆形成方法，包含有步骤：
S1：取得一基材体10，如图2A所示，该基材体10可依据需求的不同而可为太阳能电池、光学传感器、发光二极管等光电元件或单一、复合膜层以作为基底。
S2：形成微结构，配合参阅图2B所示，以一携带物质22携带多个纳米金属结构粒子21于该基材体10上以自组装方式形成一微结构，其中，该微结构是由该些纳米金属结构粒子21以选自于由非连续面以及部分连续面的方式所构成。该携带物质22可为固体、液体或气体，该些纳米金属结构粒子21可为金、银或铝等金属材质，或为上述金属材质的化合物、合金或混和物等，该些纳米金属结构粒子21均匀分散于该携带物质22中，该些纳米金属结构粒子21于该携带物质22中的浓度于本实施例中小于5000ppm，且金属的粒径介于1nm至100nm之间，加上氧化及混和物质后，其粒径可能会大于100nm。其中，需特别说明的是，本发明所称的“部分连续面”及“非连续面”是指该些纳米金属结构粒子21之间的连接关系是部分连接的，或者是相互之间不连接的状况，而非如利用化学气相沉积，使得金属是以分子状态而为“完全连续面”的连接。而“部分连续面”与“非连续面”在特性上与“完全连续面”会有相当的不同，本发明因此特别强调必须为纳米级的金属结构所形成的粒子状物体，并以“部分连续面”或“非连续面”而形成的微结构，才得以作为本发明的表面电浆的形成方法。
于本发明的第一实施例中，该携带物质22为挥发性的液体，如为丙酮(ACE)或异丙醇(IPA)，该步骤S2中更具有以下步骤：
S21：形成，以选自于由旋转涂布、喷涂、点滴涂布及浸泡所组成的群组的方式将该些携带物质22及该些纳米金属结构粒子21形成于该基材体10上，如图2B所示；
S22：成型，该些纳米金属结构粒子21相互之间借由于该携带物质22中移动，而以自组装方式形成多个二维六角最密结构，此即为部分连续面的结构；及
S23：进行烘干，如图2C所示，使该携带物质22逐渐挥发，而该些二维六角最密结构层层堆叠形成一作为部分连续面构成微结构的金属粒子堆叠膜层20，其中烘干的温度介于500℃以下，较佳的，烘干的温度可介于95℃～170℃之间，烘干时间可于1hr之内，较佳的，烘干时间可于30秒至5分钟之间。
于上述说明中，是以旋转涂布作为实施例，旋转涂布的目的在于去除晶圆表面溶液中多余未排列的纳米金属结构粒子21并使薄膜均匀，于适当转速与旋涂时间下，成膜厚度越均匀密致。为了使该些纳米金属结构粒子21形成该金属粒子堆叠膜层20，于本实施例中，是控制旋转涂布的速度在8000rpm以下。而实际上，转速是有关于成膜的厚度、均匀性，而浓度的控制牵涉到电特性、光特性、电场与磁场效应以及厚度等皆会有所不同。
完成上述的金属粒子堆叠膜层20后，即可作为表面电浆的产生结构，但为了更进一步的解除表面电浆的产生限制，更可具有下列步骤：
S3：形成一第一介电质层30，如图2D所示，于该金属粒子堆叠膜层20远离该基材体10的一侧形成该第一介电质层30，该第一介电质层30的材质为氧化铟锡（ITO）、氧化铝锌（AZO）或氧化锌（ZnO）等，该金属粒子堆叠膜层20中的该些纳米金属结构粒子21借由吸附或扩散方式进入该第一介电质层30中，而形成一第一粒子悬浮层40，形成该第一介电质层30的方式是利用电子束蒸镀、离子束蒸镀、激光式镀膜、磊晶式镀膜或电浆辅助化学气相沉积等，借此使特定波段产生绕射、折射、全反射等光学现象，以形成全反射消散场（AttenuatedTotal Reflection,ATR）强化表面电浆耦合机制。
通过该金属粒子堆叠膜层20以及该第一粒子悬浮层40而分别形成有限厚度金属薄膜表面电浆波（SPP）以及局域性表面电浆波（LSP)，而可因近场效应发生共振的现象，即LSP-SPP减缩写为SP-SP，借此强化表面电浆作用，而可作为复合式的立体表面电浆结构。
需特别说明的是，除了往远离该基材体10的一方形成粒子悬浮结构之外，亦可借由活化该基材体10的方式，由该金属粒子堆叠膜层20往该基材体10方向形成粒子悬浮结构，其中，如图3所示，可于步骤S1中，使该基材体10的表面或本身具有一第二介电质层15，而于后续进行该金属粒子堆叠膜层20的工艺时，使该些纳米金属结构粒子21借由吸附或扩散方式进入该第二介电质层15中，形成一第二粒子悬浮层31。另外，亦可通过于500～600℃下进行加热或于280℃、500Kg/cm2进行压合而活化该基材体10，同样使该些纳米金属结构粒子21进入该基材体10而形成该第二粒子悬浮层31。
除此之外，亦可借由调整该些纳米金属粒子21含量，在不形成该金属粒子堆叠膜层20的状况下，往该基材体10或该介电质层30方向以吸附或扩散等自组装方式形成该第二粒子悬浮层31或该第一粒子悬浮层40。
再者，本发明亦公开了一种形成金属结构球的第二实施例，请配合参阅图4所示，于步骤S1中，该基材体10具有多个凹槽（未图示），而于完成上述步骤S2之后，直接进行步骤S4：沉积一介电物质于该金属粒子堆叠膜层20上，该些纳米金属结构粒子21会以自组装方式包覆该介电物质，而形成多个结构球。借由此结构，同样也可达到产生表面电浆的效果，其扫描电子显微镜图可参阅如图5所示。
以巨观来说，该金属粒子堆叠膜层20可形成所谓的有限厚度金属薄膜表面电浆波（SPP）。此外，同样以巨观的角度来看，该第一粒子悬浮层40中含有纳米金属结构粒子21成分以及介电质成分，且该第一粒子悬浮层40中的纳米金属结构粒子21是由该金属粒子堆叠膜层20表面的该些纳米金属结构粒子21，通过化学吸附或物理扩散等因素而构成，亦即所谓的自组装排列方式。因此，可将于该第一粒子悬浮层40上所形成的表面电浆波视为一局域性表面电浆波（LSP)。因此，该金属粒子堆叠膜层20与该第一粒子悬浮层40可共同产生一复合式表面电浆波。由此，本结构为表面电浆有限厚度薄膜耦合共振膜态，并由表面电浆原理中，TE（transverse electric wave，TE wave，横电波)偏振光无法形成表面电浆，因其电场垂直入射面；而TM（transverse magnetic wave，TM wave，横磁波）偏振电场平行入射面，而可形成连续波产生表面电浆。以本发明更进一步的举例来说，吸收波段外光能可顺利穿透，而吸收波段中，未获吸收的光能（TE偏振光、吸收达饱和后多余的TM偏振光）亦可穿透；而获得吸收的光能，因金属粒子堆叠膜层20以及第一粒子悬浮层40产生表面电浆耦合共振模态，转化为TE偏振光出射。
除此之外，本发明亦可借由工艺条件的不同，而直接形成粒子悬浮结构，其为本发明的第三实施例，请配合参阅图6所示，于步骤S2中，该携带物质22a为非挥发性的液体，因此不会因为挥发或蒸发而消失，该些纳米金属结构粒子21均匀分散于该携带物质22a中，接着以选自于由旋转涂布、喷涂、点滴涂布及浸泡所组成的群组的方式形成于该基材体10上，并且通过自然干燥或烘干的方式，使该携带物质22a固化，而作为非连续面构成微结构的一纳米粒子悬浮膜23，因而同样可作为表面电浆的产生结构。需特别说明，由于本实施例中的该些纳米金属结构粒子21相互之间利用分散运动相互分隔，而相互之间不连接，形成非连续面的微结构。
因此，由上述的制作方法制得的复合式立体表面电浆波可应用于多种产业上，如发光二极管的发光效率提升、太阳能电池的光电转换效率等。
以发光二极管的出光举例来说，光路径依序为：基材体10、金属粒子堆叠膜层20、第一粒子悬浮层40、第一介电质层30，通过此光路径而导引的出光，可不断纯化，提升其中TE偏振光比例与取光效率，也可降低因光学现象于整体结构所造成的光能耗损程度，而若将光路径反过来亦可达到相同的作用。请配合参阅图7A～图7E，本发明是以水平式表面电浆发光二极管元件作为举例说明：
P1：取得一基材体10a，该基材体10a为LED（Light-Emitting Diode，发光二极管）结构，首先，于基材体10a的表面进行清洁，如图7A所示，其中该基材体10a包含有一基板11、一N型半导体层12、一复合量子井（Multiple Quantum wall,MQW）层13以及一P型半导体层14。
P2：利用微影配合一光刻胶50于该P型半导体层14上制作平台图案并进行蚀刻，如图7B所示，于本实施例中，是使用感应式耦合电浆蚀刻（Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching，ICP-RIE）进行蚀刻，去除光刻胶50后清洁晶圆。
P3：如图7C所示，形成一纳米金属结构粒子21涂层，是将一含有单一种类或多种混和的多个纳米金属结构粒子21以及一携带物质22，利用选自于由旋转涂布、喷涂、点滴涂布及浸泡等方式所组成的群组的方法，涂布于该基材体10的表面。该携带物质22可为丙酮(ACE)或异丙醇(IPA)或其它易挥发或沸点低的溶剂，该些纳米金属结构粒子21可为金、银或铝等金属材质，并可单独作为该些纳米金属结构粒子21，或以混和方式作为该些纳米金属结构粒子21，或可为氧化物材质而涂布后利用烘干去除该携带物质22，以形成该金属粒子堆叠膜层。
P4：形成一透明导电层60于该金属粒子堆叠膜层20上，利用电子束蒸镀、离子束蒸镀、激光式镀膜、磊晶式镀膜或电浆辅助化学气相沉积等方式，于该金属粒子堆叠膜层20远离该基材体10的表面形成该第一透明导电层60，而通过该第一透明导电层60的设置，可使特定波段产生绕射、折射、全反射等光学现象，因此，可形成全反射消散场（AttenuatedTotal Reflection,ATR）强化表面电浆耦合机制。其中，请配合参阅图7D所示，该些纳米金属结构粒子21以吸附扩散方式自行排列于该第一透明导电层60中，而于该第一透明导电层60相邻该金属粒子堆叠膜层20的一侧形成该第一粒子悬浮层40a，由于形成该第一透明导电层60时，该些纳米金属结构粒子21随着该第一透明导电层60逐渐形成，而不断因进行吸附、扩散等因素而悬浮于其中，使该些纳米金属结构粒子21于第一透明导电层60中扩散，借此自行排列形成该第一粒子悬浮层40a于第一透明导电层60中。借此，该金属粒子堆叠膜层20及该第一粒子悬浮层40a用以共同产生一复合式表面电浆波。及
P5：制作电极70，如图7E所示，分别于该透明导电层60及该N型半导体层12上形成个别的电极70，以形成发光二极管结构。
请再配合参阅图8所示，其为本发明所制作的具有复合式立体表面电浆结构的表面电浆发光二极管81以及一般发光二极管82的电流电压曲线图，可看出该表面电浆发光二极管81与一般发光二极管82的电压电流转换曲线并无太大差异。但在如图9A输入20mA电流及图9B输入350mA电流的发光效率表现图中，可明显的看出本发明的表面电浆发光二极管81的发光效率远较一般发光二极管82的效率好上许多，由此可证明，本案确实利用复合式的立体表面电浆技术，提升发光二极管的发光效率。
请配合参阅图10所示，其为利用本发明所制作的结构对于不同波长的穿透率，也代表光的吸收率，其中，分别包含有一对照曲线91、一低转速曲线92以及一高转速曲线93，该对照曲线91为一般未有表面电浆的结构，该低转速曲线92则代表利用低转速的旋转涂布而形成该金属粒子堆叠膜层20的光穿透曲线，该高转速曲线93则代表利用高转速的旋转涂布而形成该金属粒子堆叠膜层20的光穿透曲线，因此，该低转速曲线92所形成的金属粒子堆叠膜层20较厚，相对的，该高转速曲线93所形成的金属粒子堆叠膜层20较薄。但不论是该低转速曲线92或该高转速曲线93，都可以明显的看出有两个光吸收区L1、L2，其分别为本发明所称的SPP及LSP的光吸收现象，进而代表本案的结构确实同时包含有SPP及LSP，而具有复合立体表面电浆的特点，具有更佳的利用效率。其中，于本实施例中，低转速曲线92是代表转速为2000rpm，高转速曲线93代表转速为4000rpm。
综上所述，本发明具有下列特点：
一、不需使用高成本的沉积工艺，而利用自组装方式形成微结构，而达到表面电浆的形成效果。
二、利用该金属粒子堆叠膜层上的纳米金属结构粒子，形成该第一粒子悬浮层，进而使该金属粒子堆叠膜层以及该第一粒子悬浮层皆可形成表面电浆波，打破传统表面电浆的形成结构设计限制，而形成复合式立体表面电浆波，进一步提升表面电浆波的产生效果。
三、利用旋转涂布或喷涂、浸泡、点滴涂布的方式，便可形成该金属粒子堆叠膜层以及纳米金属结构粒子的堆叠表面，让后续的第一粒子悬浮层可顺利成型，并有效降低制作成本。
四、可依据工艺条件的设定，选择进行金属粒子堆叠膜层20、第一粒子悬浮层40、第二粒子悬浮层31、结构球或者纳米粒子悬浮膜的形成，而可符合使用的需求。
五、借由表面电浆耦合作用可提高其TE偏振性出光比例，可作为表面电浆式滤光膜。
六、利用旋转涂布、喷涂或浸泡等方式可一并搭配蚀刻工艺进行中，而大幅降低制作成本以及制作程序的复杂度，符合使用需求。
七、使原本局限的光能，因本结构使其转换为出射光并具方向性，降低因光学现象于整体结构所造成的光能耗损程度。
八、该第一粒子悬浮层中粒子可视为LSP，与堆叠薄膜SPP可形成SP-SP的结构，而强化表面电浆作用。
九、由获得吸收的入射光源产生的表面电浆，若逆推其形成偶合机制，可由表面电浆转换为光子再次辐射而出，与其未获得吸收的入射光源混合，造成混光效益产生出射光源。
十、可利用此工艺设计，改变使用溶液中溶剂种类或溶质颗粒大小、浓度等参数，设计适当环境因素后，制作表面电浆光子晶体并定义其形状，或制作固态量子处理器、固态储存技术等磁性材料应用。
十一、若提高纳米金属结构粒子于溶液中的浓度，可于适当温度下，利用此结构进行剥离工艺。
十二、于配置溶液时，因不同金属表面电浆吸收波段不同，其所对应释放频谱波长亦不相同，因此可互为入射光源产生出射光，且该多个纳米金属结构粒子可为单一种类或多种混合，借以调配所需频谱波长的混色出射光。
十三、若施作于不同类型基材体之上时，可将金属粒子堆叠膜层以及第一介电质层直接撕起，覆盖于另外一个空白基材体上，同样也可产生表面电浆的相同效果。
当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (7)

1.一种利用微结构形成表面电浆的方法，其特征在于，包含有以下步骤：
S1：取得一基材体；
S2：以一携带物质携带多个纳米金属结构粒子于该基材体上以自组装方式形成一微结构，其中，该微结构是由该纳米金属结构粒子以选自于由非连续面以及部分连续面的方式所构成；该携带物质为挥发性的液体，该纳米金属结构粒子于该携带物质中均匀分散，且该步骤S2中更具有以下步骤：
S21：以选自于由旋转涂布、喷涂、点滴涂布及浸泡所组成的群组的方式将该携带物质及该纳米金属结构粒子形成于该基材体上；
S22：该纳米金属结构粒子相互之间于该携带物质中移动，而以自组装方式形成多个二维六角最密结构；及
S23：进行烘干，使该携带物质逐渐挥发，而该二维六角最密结构层层堆叠形成一作为部分连续面构成微结构的金属粒子堆叠膜层；以及
S3：形成一第一介电质层于该金属粒子堆叠膜层远离该基材体的一侧，该金属粒子堆叠膜层中的该纳米金属结构粒子借由吸附或扩散方式进入该第一介电质层中，而形成一第一粒子悬浮层。
2.根据权利要求1所述利用微结构形成表面电浆的方法，其特征在于，该携带物质为丙酮或异丙醇。
3.根据权利要求1所述利用微结构形成表面电浆的方法，其特征在于，该第一介电质层的材质为选自于由氧化铟锡、氧化铝锌及氧化锌所组成的群组。
4.根据权利要求1所述利用微结构形成表面电浆的方法，其特征在于，步骤S1中，该基材体具有多个凹槽，于步骤S2之后，更具有一步骤S4：沉积一介电物质于该金属粒子堆叠膜层上，该纳米金属结构粒子会以自组装方式包覆该介电物质，而形成多个结构球。
5.根据权利要求1所述利用微结构形成表面电浆的方法，其特征在于，步骤S2中，该纳米金属结构粒子借由吸附或扩散方式进入该基材体中，形成一第二粒子悬浮层。
6.根据权利要求1所述利用微结构形成表面电浆的方法，其特征在于，步骤S1中，该基材体的表面具有一第二介电质层，于步骤S2中，该纳米金属结构粒子借由吸附或扩散方式进入该第二介电质层中，形成一第二粒子悬浮层。
7.根据权利要求1所述利用微结构形成表面电浆的方法，其特征在于，步骤S2中，该纳米金属结构粒子于该携带物质中均匀分散，并于该基材体上形成一作为非连续面构成微结构的纳米粒子悬浮膜。
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