CN104423035B

CN104423035B - 光扫描装置以及光扫描单元

Info

Publication number: CN104423035B
Application number: CN201410419597.3A
Authority: CN
Inventors: 丸山佑纪; 阿部美里
Original assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Current assignee: Mitsumi Electric Co Ltd
Priority date: 2013-08-23
Filing date: 2014-08-22
Publication date: 2018-05-29
Anticipated expiration: 2034-08-22
Also published as: JP6236987B2; US20150055203A1; KR20150022646A; JP2015041075A; CN104423035A; US9354443B2

Abstract

本发明提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。本光扫描装置是使反射镜摆动而扫描入射的可见光的光扫描装置，上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、和层叠于上述金属膜上的增强反射膜。

Description

光扫描装置以及光扫描单元

技术领域

本发明涉及具有反射镜的光扫描装置以及光扫描单元。

背景技术

以往，在以400～700nm的可见光区域激光为光源的投影器等所使用的不可动的反射镜中，在石英、玻璃的基体材料上形成金属膜，在该金属膜上形成由低折射率膜和高折射率膜构成的电介质多层膜以实现高反射率。例如，例示了如下反射镜，即、在基板上具有九层以上的多层膜，该多层膜由金属膜、以及将低折射率膜和高折射率膜交替地层叠于金属膜上而成的电介质多层膜构成(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006－220903号公报

然而，在上述那样的不可动的反射镜中，入射光向反射镜的入射角度总是为一定角度，因此未研究考虑到反射率的入射角度依赖性的膜结构。

另一方面，光扫描装置所使用的反射镜根据与光源的位置关系而以各种各样的入射角度使用(例如，0°～50°左右)，并且反射镜自身摆动(例如，±10°左右)，因此即使在入射角度变动的情况下，也需要成能够确保规定值以上的高反射率那样的膜结构。

而且，由于不可动的反射镜能够使用比较厚的基板(数mm左右)，因此即使形成于基板上的膜的总厚度较厚，基板自身也不会变形。因此，即使层叠的膜的数量增加而总厚度变厚也不会成为大的弊病，从而也未进行减少层叠的膜的数量而使总厚度变薄的研究。

另一方面，由于光扫描装置所使用的反射镜摆动，因此需要使用比较薄的基板(数10μ～数100μm左右)。在使用比较薄的基板的情况下，若增加层叠于基板上的膜的数量而总厚度变厚，则有可能产生基板自身变形，因此优选减少层叠的膜的数量而使总厚度变薄。

发明内容

本发明是鉴于上述的情形而提出的技术方案，课题是提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。

用于解决课题的方案

本光扫描装置200是使反射镜110而扫描入射的可见光的光扫描装置200，其特征在于，上述反射镜110具有形成于基板111上的金属膜112、以及层叠于上述金属膜112上的增强反射膜113、114。

此外，上述的参照符号是为了容易理解而标注的符号，只不过一例而已，并不限定于图示的方式。

发明的效果如下。

根据公开的技术，能够提供一种具有反射镜的光扫描装置，该反射镜上形成有考虑了反射率的入射角度依赖性的膜结构的多层膜。

附图说明

图1是例示本实施方式的光扫描装置的图。

图2是例示本实施方式的光扫描单元的图。

图3是例示反射镜的层结构的剖视图。

图4是例示实施例1的多层膜的反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。

图5是例示比较例的金属膜的反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。

图6是例示实施例1的多层膜的反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。

图7是例示比较例的金属膜的反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。

图8是比较实施例1以及比较例的平均反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。

图9是比较实施例1以及比较例的平均反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。

图10是例示入射角度为5°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(P偏光入射)的图。

图11是例示入射角度为50°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(P偏光入射)的图。

图12是从图10选出规定的波长数据而图示的图。

图13是从图11选出规定的波长数据而图示的图。

图14是例示入射角度为5°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(S偏光入射)的图。

图15是入射角度为50°的情况的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(S偏光入射)的图。

图16是从图14选出规定的波长数据而图示的图。

图17是从图15选出规定的波长数据而图示的图。

图中：

100—光扫描单元，110—反射镜，111—基板，112—金属膜，113—低折射率膜，114—高折射率膜，115—保护膜，119—多层膜，200—光扫描装置，300—电压生成电路，400—前端IC，440—LD，500—反射镜驱动器IC。

具体实施方式

以下，参照附图对用于实施发明的方式进行说明。在附图中，对于相同的构成部分，存在标注相同符号并省略重复的说明的情况。

图1是例示了本实施方式的光扫描装置的图。本实施方式的光扫描装置200是使从激光器等光源照射的光扫描的光扫描装置，例如是利用压电元件使反射镜驱动的MEMS(Micro Electro Mechanical System，微电子机械系统)反射镜等。

具体而言，光扫描装置200具有反射镜110、反射镜支撑部120、扭转梁130A、130B、连结梁140A、140B、第一驱动梁150A、150B、可动框160、第二驱动梁170A、170B、以及固定框180。并且，第一驱动梁150A、150B分别具有驱动源151A、151B。第二驱动梁170A、170B分别具有驱动源171A、171B。第一驱动梁150A、150B、第二驱动梁170A、170B作为使反射镜110在上下或左右摆动而扫描激光的促动器发挥功能。

在反射镜支撑部120，以沿着反射镜110的圆周的方式形成有狭缝122。通过狭缝122，能够将反射镜支撑部120轻型化并且将扭转梁130A、130B的扭转向反射镜110传递。

在光扫描装置200，在反射镜支撑部120的表面支撑有反射镜110，反射镜支撑部120与处于两侧的扭转梁130A、130B的端部连结。扭转梁130A、130B构成摆动轴，在轴向上延伸并从轴向两侧支撑反射镜支撑部120。通过扭转梁130A、130B扭转，从而支撑于反射镜支撑部120的反射镜110摆动，进行使照射到反射镜110的光的反射光扫描的动作。扭转梁130A、130B分别连结支撑于连结梁140A、140B，并与第一驱动梁150A、150B连结。

第一驱动梁150A、150B、连结梁140A、140B、扭转梁130A、130B、反射镜支撑部120以及反射镜110被可动框160包围。第一驱动梁150A、150B各自的一方侧支撑于可动框160。第一驱动梁150A的另一方侧向内周侧延伸而与连结梁140A、140B连结。第一驱动梁150B的另一方侧也同样地向内周侧延伸而与连结梁140A、140B连结。

第一驱动梁150A、150B以在与扭转梁130A、130B正交的方向上夹着反射镜110以及反射镜支撑部120的方式成对地设置。在第一驱动梁150A、150B的表面分别形成有驱动源151A、151B。驱动源151A、151B由第一驱动梁150A、150B的表面上的形成于压电元件的薄膜的上表面的上部电极、和形成于压电元件的下表面的下部电极构成。驱动源151A、151B与施加于上部电极和下部电极的驱动电压的极性相应地伸长或缩小。

因此，如果在第一驱动梁150A和第一驱动梁150B交替地施加不同的位相的驱动电压，则第一驱动梁150A和第一驱动梁150B在反射镜110的左侧和右侧交替地向上下相反侧振动，能够使扭转梁130A、130B作为摆动轴或旋转轴来使反射镜110绕轴摆动。以后将反射镜110绕扭转梁130A、130B的轴摆动的方向称为水平方向。例如第一驱动梁150A、150B的水平驱动使用共振振动，能够高速地对反射镜110进行摆动驱动。

而且，在可动框160的外部连结有第二驱动梁170A、170B的一端。第二驱动梁170A、170B以从左右两侧夹住可动框160的方式成对地设置。就第二驱动梁170A而言，与第一驱动梁150A平行地延伸的梁用端部与邻接的梁连结，作为整体而具有Z字状的形状。并且，第二驱动梁170A的另一端与固定框180的内侧连结。第二驱动梁170B也同样地，与第一驱动梁150B平行地延伸的梁用端部与邻接的梁连结，作为整体而具有Z字状的形状。并且，第二驱动梁170B的另一端与固定框180的内侧连结。

在第二驱动梁170A、170B的表面，分别在不包含曲线部的每矩形单位形成有驱动源171A、171B。驱动源171A由第二驱动梁170A的表面上的形成于压电元件的薄膜的上表面的上部电极、和形成于压电元件的下表面的下部电极构成。驱动源171B由第二驱动梁170B的表面上的形成于压电元件的薄膜的上表面的上部电极、和形成于压电元件的下表面的下部电极构成。

在第二驱动梁170A、170B中，通过在与每矩形单位邻接的驱动源171A、171B彼此施加不同极性的驱动电压，来使邻接的矩形梁向上下相反方向翘曲，将各矩形梁的上下运动的积蓄传递至可动框160。第二驱动梁170A、170B通过该动作来使反射镜110在与平行方向正交的方向亦即垂直方向上摆动。例如第二驱动梁170A、170B的垂直驱动能够使用非共振振动。

例如，在驱动源171B包含从左侧朝向可动框160排列的驱动源171DL、171CL、171BL、171AL，右侧的驱动源171A包含从可动框160朝向右侧排列的驱动源171AR、171BR、171CR、171DR的情况下，通过以同波形对驱动源171Ax和驱动源171Cx(四个)进行驱动，以与前者相位不同的同波形对驱动源171Bx、驱动源171Dx(四个)进行驱动，从而能够向垂直方向摆动。

对驱动源151A的上部电极以及下部电极施加驱动电压的驱动配线与设于固定框180的端子组TA所包含的规定的端子连接。而且，对驱动源151B的上部电极以及下部电极施加驱动电压的驱动配线与设于固定框180的端子组TA所包含的规定的端子连接。而且，对驱动源171A的上部电极以及下部电极施加驱动电压的驱动配线与设于固定框180的端子组TA所包含的规定的端子连接。而且，对驱动源171B的上部电极以及下部电极施加驱动电压的驱动配线与设于固定框180的端子组TB所包含的规定的端子连接。

而且，光扫描装置200具有压电传感器191、192，该压电传感器191、192检测对驱动源151A、151B施加驱动电压而使反射镜在水平方向上摆动的状态下的反射镜110的水平方向的倾斜状况。压电传感器191、192设于连结梁140B。此外，在本实施方式中，压电传感器192是用于取得与连结梁140A、140B的重量的平衡的虚拟传感器。

而且，光扫描装置200具有压电传感器195、196，该压电传感器195、196检测对驱动源171A、171B施加驱动电压而使反射镜在垂直方向上摆动的状态下的反射镜110的垂直方向的倾斜状况。压电传感器195设于第二驱动梁170A所具有的一个矩形梁，压电传感器196设于第二驱动梁170B所具有的一个矩形梁。

压电传感器191伴随反射镜110的水平方向的倾斜状况，输出从扭转梁130B传递的与连结梁140B的位移对应的电流值。压电传感器195伴随反射镜110的垂直方向的倾斜状况，输出第二驱动梁170A中与设有压电传感器195的矩形梁的位移对应的电流值。压电传感器196伴随反射镜110的垂直方向的倾斜状况，输出第二驱动梁170B中与设有压电传感器196的矩形梁的位移对应的电流值。

在本实施方式中，使用压电传感器191的输出来检测反射镜110的水平方向的倾斜状况。而且，在本实施方式中，使用压电传感器195、196来检测反射镜110的垂直方向的倾斜状况。此外，在本实施方式中，也可以在光扫描装置200的外部设置倾斜检测部，该倾斜检测部根据从各压电传感器输出的电流值来进行反射镜110的倾斜状况的检测。而且，在本实施方式中，也可以在光扫描装置200的外部设置驱动控制部，该驱动控制部基于倾斜检测部的检测结果来控制向驱动源151A、151B、驱动源171A、171B供给的驱动电压。

压电传感器191、195、以及196由形成于压电元件的薄膜的上表面的上部电极、和形成于压电元件的下表面的下部电极构成。在本实施方式中，各压电传感器的输出成为与上部电极和下部电极连接的传感器配线的电流值。

从压电传感器191的上部电极以及下部电极引出的传感器配线与设于固定框180的端子组TB所包含的规定的端子连接。而且，从压电传感器195的上部电极以及下部电极引出的传感器配线与设于固定框180的端子组TA所包含的规定的端子连接。而且，从压电传感器196的上部电极以及下部电极引出的传感器配线与设于固定框180的端子组TB所包含的规定的端子连接。

图2是例示本实施方式的光扫描单元的图。参照图2，本实施方式的光扫描单元100具有光扫描装置200、电压生成电路300、前端IC(Integrated Circuit)400、LD(LaserDiode)440、以及反射镜驱动器IC500。电压生成电路300、前端IC400、LD440、以及反射镜驱动器IC500是控制光扫描装置200的光扫描控制装置。

电压生成电路300向光扫描单元100的各部分供给电源。前端IC400对输入的视频信号实施规定的信号处理，并供给至LD440。前端IC400通过反射镜驱动器IC500将控制反射镜110的摆动的控制信号供给至光扫描装置200。前端IC400具有视频信号处理部410、LD驱动器420、以及反射镜控制部430。

视频信号处理部410进行分离所输入的视频信号所包含的同步信号、亮度信号以及色度信号的处理。视频信号处理部410将亮度信号以及色度信号供给至LD驱动器420，将同步信号供给至反射镜控制部430。LD驱动器420基于从视频信号处理部410输出的信号，控制LD440。

光扫描装置200的压电传感器191的输出S1、压电传感器195以及196各自的输出S2经由反射镜驱动器IC500输入至反射镜控制部430。反射镜控制部430基于从反射镜驱动器IC500输入的输出S1以及S2、同步信号来控制反射镜110的摆动。更为具体而言，反射镜控制部430通过反射镜驱动器IC500输出光扫描装置200的驱动源151A、151B、171A、171B的驱动电压(以下为驱动信号)。

在此，对构成光扫描装置200的反射镜110的层结构进行说明。图3是例示反射镜的层结构的剖视图。参照图3，反射镜110具有基板111和多层膜119。多层膜119具有金属膜112、低折射率膜113、高折射率膜114、以及保护膜115。但是，也可以不必设置保护膜115。

基板111是用于形成金属膜112等的作为基体的部分，例如由硅(Si)形成。基板111的厚度例如能够为数10～数100μm左右。

金属膜112例如通过溅射法等形成于基板111的上表面。作为金属膜112，优选选择反射镜110所反射的可见光区域(波长400nm以上且700nm以下的区域，以下相同)中的反射率高的金属。作为金属膜112的材料，例如能够使用纯银(Ag)、银合金等。金属膜112的厚度例如能够为200nm左右。

低折射率膜113例如通过ALD法(原子层堆积法)等层叠于金属膜112的上表面。低折射率膜113通过与高折射率膜114成对而构成层叠电介质膜，该层叠电介质膜作为提高可见光区域中的低波长域(比波长550nm低的波长侧的区域，以下相同)的反射率的增强反射膜发挥功能。因此，作为低折射率膜113，优选选择与高折射率膜114的折射率差大的材料。

作为低折射率膜113的材料，例如能够使用氧化铝(Al₂O₃)、二氧化硅(SiO₂)、氟化镁(MgF)等。此外，氧化铝(Al₂O₃)的折射率为1.7左右，二氧化硅(SiO₂)的折射率为1.4左右，氟化镁(MgF)的折射率为1.4左右。低折射率膜113的厚度能够为光学膜厚，例如为0.51×λ/4(λ＝550nm)左右。

高折射率膜114例如通过ALD法(原子层堆积法)等层叠于低折射率膜113的上表面。高折射率膜114通过与低折射率膜113成对而构成层叠电介质膜，该层叠电介质膜作为提高可见光区域中的低波长域的反射率的增强反射膜而发挥功能。因此，作为高折射率膜114，优选选择与低折射率膜113的折射率差大的材料。

作为高折射率膜114的材料，例如能够使用氧化钛(TiO₂)、氧化钽(Ta₂O₃)、氧化锆(ZrO₂)、氧化铪(HfO₂)、氧化钇(Y₂O₃)等。此外，它们的折射率均为2.0～2.4左右。高折射率膜114的厚度能够光学膜厚，例如为0.82×λ/4(λ＝550nm)左右。

保护膜115例如通过ALD法(原子层堆积法)等层叠于高折射率膜114的上表面。保护膜115具有防止高折射率膜114的折射率因温湿度变化等而变动的功能。因此，在不担心这种问题的情况下也可以不设置保护膜115。

作为保护膜115的材料，例如能够使用氧化铝(Al₂O₃)、二氧化硅(SiO₂)等。保护膜115的厚度能够为光学膜厚，例如为0.25×λ/4(λ＝550nm)左右。

这样，在基板111上形成可见光区域中的反射率高的金属膜112，并且，通过层叠作为增强反射膜发挥功能的低折射率膜113以及高折射率膜114，能够提高可见光区域中的低波长域的反射率，并且能够减低可见光区域的反射率的入射角度依赖性。

但是，由于存在入射光为P偏光的情况和为S偏光的情况，因此在P偏光入射以及S偏光入射的各情况下，优选能够提高可见光区域中的低波长域的反射率，并且降低可见光区域的反射率的入射角度依赖性。

此外，即使将多层膜119做成依次层叠金属膜112、高折射率膜114、低折射率膜113、保护膜115的结构也起到相同的效果。也就是，也可以使低折射率膜113和高折射率膜114的层叠顺序相反。但是，作为高折射率膜114的材料的氧化钛(TiO₂)等与金属膜112的紧贴性不太好。另一方面，作为低折射率膜113的氧化铝(Al₂O₃)等与金属膜112的紧贴性良好。因此，如果从与金属膜112的紧贴性的观点来看，则优选依次层叠金属膜112、低折射率膜113、高折射率膜114、保护膜115的结构。

(实施例1)

制作图3所示的多层膜119，在P偏光入射以及S偏光入射的各情况下，对反射率以及反射率的入射角度依赖性进行了评价。入射角度为5°、30°、50°这三种。

在此，入射角度是反射镜110为初始状态(未摆动的状态)时的、激光相对于多层膜119的最表面的法线方向入射的角度。也就是，在激光从多层膜119的最表面的法线方向入射的情况下，入射角度＝0°。此外，通过反射镜110摆动(例如，±10°左右)，从而入射角度变动。

实施例1中制作的多层膜119的层结构如下。作为基板111的材料，使用了硅(Si)。作为金属膜112，通过溅射法形成厚度约200nm的纯银(Ag)的膜。作为低折射率膜113，通过ALD法(原子层堆积法)形成光学膜厚约0.51×λ/4(λ＝550nm)＝约40nm的氧化铝(Al₂O₃)的膜。作为高折射率膜114，通过ALD法(原子层堆积法)形成了光学膜厚约0.82×λ/4(λ＝550nm)＝约47nm的氧化钛(TiO₂)的膜。作为保护膜115，通过ALD法(原子层堆积法)形成了光学膜厚约0.25×λ/4(λ＝550nm)＝约20nm的氧化铝(Al₂O₃)的膜。

而且，作为比较例，制作在硅基板上仅形成有金属膜的样品，进行了同样的评价。作为金属膜，通过溅射法形成厚度约200nm的纯银(Ag)的膜。比较例的金属膜(纯银膜)是形成于硅基板上的一层膜，在其未形成任何膜。

以下，参照图4～图9对评价结果进行说明。图4是例示了实施例1的多层膜的反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。图5是例示了比较例的金属膜的反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。参照图4以及图5，对于任意的入射角度，实施例1的多层膜119与比较例的金属膜相比，可知都提高P偏光入射中的可见光区域中的低波长域的反射率。而且，尤其是在可见光区域中的低波长域，可知P偏光入射中的入射角度依赖性得到改善。

图6是例示了实施例1的多层膜的反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。图7是例示了比较例的金属膜的反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。参照图6以及图7，对于任意的入射角度，实施例1的多层膜119与比较例的金属膜相比，可知都提高S偏光入射中的可见光区域中的低波长域的反射率。而且，尤其是可见光区域中的高波长域(比波长550nm高的波长侧的区域，以下相同)，S偏光入射中的入射角度依赖性得到改善。

图8是比较实施例1以及比较例的平均反射率的入射角度依赖性(P偏光入射)的图。图9是比较实施例1以及比较例的平均反射率的入射角度依赖性(S偏光入射)的图。此外，平均反射率是在整个可见光区域将各波长的反射率平均后的反射率。从图8可知，对于任意的入射角度，实施例1的多层膜119与比较例的金属膜相比，都提高P偏光入射中的可见光区域的平均反射率。而且，从图9可知，对于任意的入射角度，实施例1的多层膜119与比较例的金属膜相比，都提高S偏光入射中的可见光区域的平均反射率。

这样，实施例1的多层膜119与比较例的金属膜相比较，在P偏光入射以及S偏光入射中，对于任意的入射角度，都提高可见光区域的平均反射率，尤其是提高可见光区域中的低波长域的反射率。而且，尤其是在可见光区域中的低波长域，P偏光入射中的入射角度依赖性得到改善，在可见光区域中的高波长域，S偏光入射中的入射角度依赖性得到改善。

(实施例2)

在实施例2中，作为高折射率膜114的材料，在使用氧化钛(TiO₂)的情况下，对氧化钛(TiO₂)的最佳膜厚进行了研究。在实施例2中，与实施例同样地制作了多层膜119。但是，制作了由氧化钛(TiO₂)构成的高折射率膜114的光学膜厚分别为约17nm、约27nm、约37nm、约47nm、约57nm的五种样品。并且，在P偏光入射以及S偏光入射的各情况下，对反射率的高折射率膜的膜厚依赖性进行了评价。入射角度为5°、50°这两种。

以下，参照图10～图17对评价结果进行说明。图10是例示入射角度为5°的情况下的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(P偏光入射)的图。图11是例示入射角度为50°的情况下的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(P偏光入射)的图。图12以及图13是从图10以及图11选出规定波长的数据来图示的图。此外，规定的波长为在激光投射中通常使用的450nm(B)、520nm(G)、638nm(R)这三波长。

从图10～图13可知，对于任意的入射角度，若高折射率膜114的膜厚变薄，则成为P偏光入射中的特定的波长域的反射率下降的倾向，若高折射率膜114的膜厚变厚，则成为P偏光入射中的高反射区域(例如，反射率为90％以上的区域)向长波长侧移位的倾向。

图14是例示入射角度为5°的情况下的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(S偏光入射)的图。图15是例示入射角度为50°的情况下的、实施例2的多层膜的反射率的高折射率膜的膜厚依赖性(S偏光入射)的图。图16以及图17是从图14以及图15选出与图12以及图13相同的波长的数据而图示的图。

从图14～图17可知，对于任意的入射角度，若高折射率膜114的膜厚变薄，则成为S偏光入射中的特定的波长区域的反射率下降的倾向，若高折射率膜114的膜厚变厚，则成为S偏光入射中的高反射区域(例如，反射率为90％以上的区域)向长波长侧移位的倾向。

尤其是若着眼于450nm(B)、520nm(G)、638nm(R)这三波长来综合判定图10～图17的数据，则只要高折射率膜114的膜厚在47nm以上且57nm以下的范围，即使在P偏光入射以及S偏光入射的任意的情况下，都能够在规定的入射角度范围确保高反射率，从而优选。

这样，在基板111上形成可见光区域中的反射率高的金属膜112，并且通过层叠作为增强反射膜发挥功能的低折射率膜113以及高折射率膜114，从而即使在P偏光入射以及S偏光入射的任意的情况下，都能够提高可见光区域中的低波长域的反射率，并且能够降低可见光区域的反射率的入射角度依赖性。而且，提高反射率的结果，能够降低入射的激光的光量，能够降低在LD驱动器等中消耗的电力。

而且，多层膜119能够以少的膜结构实现高反射率，因此能够使多层膜119的总厚度比以往更薄。由此，能够降低基板111自身变形的可能性。但是，在基板111自身未变形的范围，也可以层叠多组低折射率膜113以及高折射率膜114的组。

以上对本发明的优选实施方式以及实施例进行了详细叙述，但本发明并不限制于上述的实施方式以及实施例，在不脱离本发明的范围能够对上述的实施方式以及实施例加以各种变形以及置换。

Claims

1.一种光扫描装置，具有反射以所希望范围的波长而且以所希望范围的入射角度入射的激光的反射镜、和使上述反射镜向上下或左右摆动而在两轴上扫描上述激光的促动器，上述光扫描装置的特征在于，

上述反射镜具有形成于基板上的金属膜、层叠于上述金属膜上的增强反射膜、和层叠于上述增强反射膜上的保护膜，

上述增强反射膜是由层叠于上述金属膜上的低折射率膜、和层叠于上述低折射率膜上的高折射率膜构成的层叠电介质膜，

上述低折射率膜的光学膜厚是0.51×λ/4，上述高折射率膜的光学膜厚是0.82×λ/4，上述保护膜的光学膜厚是0.25×λ/4，

上述激光相对于上述增强反射膜的入射角度在P偏光入射及S偏光入射的各情况下是0＜θ＜50°的范围，

其中，λ是上述所希望范围的波长的中心波长，θ是上述激光从上述增强反射膜的最表面的法线方向入射的角度为0°的情况的入射角度。

2.根据权利要求1所述的光扫描装置，其特征在于，

上述基板由硅形成。

3.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其特征在于，

上述金属膜的材料是银。

4.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其特征在于，

上述低折射率膜的材料是氧化铝，上述高折射率膜的材料是氧化钛。

5.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其特征在于，

上述保护膜的材料是氧化铝。

6.根据权利要求1或2所述的光扫描装置，其特征在于，

上述增强反射膜供具有400nm以上且700nm以下的波长的激光入射。

7.一种光扫描单元，其特征在于，

具备权利要求1～6任一项中所述的上述光扫描装置，

并具有：控制上述反射镜的上下或左右的摆动的反射镜控制部；以及

通过来自上述反射镜控制部的控制信号来驱动促动器的驱动器。