CN104275278B - 排气系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。

Description

排气系统

技术领域

本发明涉及用来将涂布液涂布于基板上的涂布装置的排气系统，尤其涉及排出存在于管套内空气的排气系统。

背景技术

在液晶显示器、等离子体显示器等平板显示器中使用在由玻璃等构成的基板上涂布抗蚀剂液的基板(称为涂布基板)。所述涂布基板通过使抗蚀剂液(以下，称为涂布液)均匀涂布的涂布装置来形成。也就是说，涂布装置包括用来放置基板的平台和具有排出涂布液的管套部的涂布单元，并通过进行从管套部的细缝喷嘴排出涂布液的同时使基板和涂布单元相对移动的涂布动作来在基板上形成固定厚度的涂布膜。

通常，在进行这种涂布动作之前，先进行如下述专利文献1所示的排气处理。也就是说，在管套部上设置有用来暂时贮存通过泵等供给的涂布液的歧管，如果在气泡或空气残留物等空气混在一起的状态下进行涂布动作，则排出涂布液的压力容易产生变化，将成为导致涂布不匀的主要原因。因此，通过排气处理将存在于歧管内的空气排出去，由此能够从细缝喷嘴稳定地排出涂布液，以能够防止涂布不匀的发生。

具体来说，如图5所示，在管套部100上与供给涂布液的涂布液供给孔101不同地设置有多个排出歧管102内空气的排气孔103。并且，对于每个排气孔103分别设置有排气罐104，排气孔103与排气罐104之间通过排气配管105一一对应地连接。在排气处理中，通过从涂布液供给孔101供给涂布液来从细缝喷嘴106和排气孔103排出歧管102内存在的空气将与涂布液一同排出。并且，通过从涂布液供给孔101持续供给涂布液来将歧管102内的空气全部排出，以用涂布液填满歧管102。所述排气处理结束后，通过进行涂布动作来在基板上稳定地形成涂布膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1特开2009-131788号公报

发明内容

过去，贮存于排气罐内的涂布液(含有空气的涂布液)都要废弃掉。但是，近年来，随着液晶面板的价格下降，存在想要再利用贮存于排气罐内涂布液的需求。因此，通过使排气罐内贮存的涂布液在气泡去除装置中通过而完全去除涂布液中的空气后(脱气后)返回至用来向歧管供给涂布液的泵，由此实现涂布液的再利用。

但是，不仅在涂布前进行的排气处理需要时间，而且使排气罐内贮存的涂布液在气泡去除装置上通过而实现再利用也需要较长时间。其结果，存在整个涂布装置的生产处理时间变长的问题。另外，如果需要的时间较长，则会造成排气罐内贮存的涂布液在大气中长时间暴露而劣化。如果将这样的涂布液再利用，则会存在对涂布膜的品质产生影响的忧虑。

本发明是鉴于上述存在的问题而做出的，其目的在于提供一种排气系统，该排气系统能够在短时间内进行排气处理，并且能够抑制涂布液的劣化而再利用排气处理中排出的涂布液。

为了解决上述课题，本发明的排气系统，是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，其特征在于，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。

根据上述排气系统，能够通过用所述减压器对排气罐内的压力进行减压，从排气孔排出空气以及含有空气的涂布液(空气混入液)时，由于排气罐内的压力低于在大气压状态下排气的情况时的压力，因此能够在短时间内容易地从排气孔排出空气混入液。

并且，通过排气罐的减压，在排气罐内贮存的涂布液暴露于比大气压低的压力状态，因此，与排气罐内的压力为大气压的情况相比，容易排出涂布液中含有的空气(容易脱气)，并且能够在短时间内去除涂布液中含有的空气。另外，通过继续对排气罐进行减压，即使对在大气压中难以去除的涂布液中溶存的空气也能够去除。因此，不仅能够在短时间内进行排气处理，而且即使再利用排气罐内的涂布液时，也能够抑制涂布液的劣化。

另外，还可以是下述结构：在所述管套部上设置有多个排气孔，通过各排气孔与所述排气罐通过配管连接，从各排气孔排出的含有空气的涂布液被贮存于共有的排气罐内。

这样的结构，与各排气孔分别设有排气罐的情况相比，能够节省空间。另外，如果设置有多个排气罐，则为了使从各排气孔排出的涂布液的量调成一致，需要分别实施对排气罐进行减压时的压力设定。从该观点考虑，优选的是将从各排气孔排出的含有空气的涂布液贮存在共有的排气罐内的结构。

另外，还可以是下述结构：包括对所述排气罐内的压力进行加压的加压器，通过用所述加压器对所述排气罐内进行加压，使脱气后的所述排气罐内的涂布液返回到所述管套部的歧管内。

根据这种结构，在脱气结束后，通过所述加压器对排气罐内进行加压，由此贮存于排气罐内的涂布液能够返回到歧管内。也就是说，排气罐内的涂布液在脱气结束后不用通过气泡去除装置，可以立即返回到歧管内，因此，能够缩短脱气后的涂布液暴露于大气中的时间，并且能够尽可能抑制涂布液的劣化而返回至歧管内。

另外，还可以是下述结构：所述减压器和所述加压器为共有的压力调节器。

根据这种结构，由于减压器和加压器做成共有的压力调节器，因此能够减少装置的部件数量，以能够降低成本。

根据本发明的排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且能够抑制涂布液的劣化而再利用在排气处理中排出的涂布液。

附图说明

图1为示出本发明实施方式的涂布装置的立体图；

图2为示出涂布单元的脚部附近的概略图；

图3为概略地示出管套部和排气罐之间的配管路径的图；

图4为示出管套部的歧管的图；

图5为示出现有涂布装置的管套部和排气罐结构的图。

附图标号说明

10 基板

21 平台

25 废液托盘

30 涂布单元

34 管套部

34a 细缝喷嘴

41 歧管

42 涂布液供给孔

43 排气孔

44 放气孔

53 排气配管

60 排气罐

70 压力调节器

70a 真空发生器

具体实施方式

利用附图说明根据本发明的实施方式。

图1为概略地示出本发明的设置有排气罐的涂布装置的立体图，图2为示出涂布装置的涂布单元的脚部附近的图，图3为概略地示出管套部与排气罐之间的配管路径的图，图4为示出管套部的歧管的图。

如图1～图4所示，涂布装置是用来在基板10上形成药液或抗蚀剂液等液状物(以下，称为涂布液)的涂布膜的装置，包括：基台2；平台21，用来放置基板10；涂布单元30，该涂布单元30以相对于所述平台21能够向特定方向移动的方式构成。

另外，在以下的说明中，将涂布单元30移动的方向作为X轴方向、与X轴方向水平垂直的方向作为Y轴方向、与X轴方向和Y轴方向都垂直的方向作为Z轴方向来进行说明。

在所述基台2的中央部分配置有平台21。所述平台21是用来放置被搬入的基板10的装置。在所述平台21上设置有基板保持装置，通过所述基板保持装置来保持基板10。具体来说，在平台21外表面上形成有多个吸引孔，通过吸引孔上产生的吸引力来能够将基板10吸附于平台21的外表面上以保持所述基板10。

另外，在平台21上设置有能够使基板10进行升降动作的基板升降机构。具体来说，在平台21的外表面上形成有多个销孔，在所述销孔内埋设有能够向Z轴方向进行升降动作的顶升销(图中未示出)。也就是说，如果基板10在顶升销从平台21的外表面突出的状态下被搬入，则顶升销的前端部分与基板10抵接而能够保持基板10。另外，通过使顶升销从突出的状态下降而收纳于销孔内，能够将基板10放置于平台21的外表面上。

另外，涂布单元30是通过向基板10排出涂布液而在基板10上形成涂布膜的装置。如图1和图2所示，所述涂布单元30包括与基台2连接的脚部31和沿Y轴方向延伸的管套部34，所述涂布单元30按照能够以沿Y轴方向横跨基台2上的状态向X轴方向移动的方式安装。具体来说，在基台2的Y轴方向两端部分分别设置有沿X轴方向延伸的导轨22，脚部31在所述导轨22上能够自由滑动。还有，在脚部31上安装有线性马达33，通过驱动所述线性马达33能够使涂布单元30向X轴方向移动并在任意位置上停止。

另外，如图2所示，在涂布单元30的脚部31上安装有将涂布液进行涂布的管套部34。具体来说，在所述脚部31上设置有沿Z轴方向延伸的导轨37和沿所述导轨37滑动的滑动器35，滑动器35与管套部34连接。并且，在滑动器35上安装有通过伺服马达来驱动的滚珠丝杠机构，通过驱动所述伺服马达，能够使滑动器35向Z轴方向移动且在任意位置上停止。也就是说，管套部34以能够相对于保持在平台21上的基板10进行接触和分离的方式被支持。

另外，管套部34是向基板10排出涂布液以在基板10上形成涂布膜的装置。所述管套部34是具有沿一个方向延伸的形状的柱状部件，以与涂布单元30的行使方向几乎呈垂直的方式设置。在所述管套部34上形成有沿长尺寸方向延伸的细缝喷嘴34a，向管套部34供给的涂布液从细缝喷嘴34a在整个长尺寸方向上均匀地排出。因此，通过以从细缝喷嘴34a排出涂布液的状态使涂布单元30向X轴方向行使，由此在整个细缝喷嘴34a的长尺寸方向上且在基板10上能够形成固定厚度的涂布膜。另外，在本实施方式中，将为涂布涂布液而以从细缝喷嘴34a排出涂布液的状态使涂布单元30移动的动作称之为涂布动作。

另外，如图3、图4所示，管套部34包括歧管41，用来贮存涂布液；涂布液供给孔42，用来向所述歧管41供给涂布液；排气孔43，用来排出歧管41中存在的气泡或空气残留物等。在这里，将排气孔43如下地区分：面向纸面而位于左侧的排气孔43称之为排气孔43L，位于右侧的排气孔43称之为排气孔43R，不区分时，统称为排气孔43。

歧管41是将供给的涂布液暂时贮存的装置，在本实施方式中，在管套部34内沿长尺寸方向形成。具体来说，歧管41具有沿管套部34的长尺寸方向延伸的形状，歧管41以在长尺寸方向中央部分的中央部41a上最高、在长尺寸方向两端部分的侧端部41b上低的方式形成，歧管41的下侧部分与细缝喷嘴34a连通。歧管41的中央部41a的顶面部分与放气孔44连通，在所述放气孔44的下侧部分中连通有涂布液供给孔42。所述涂布液供给孔42通过供给配管55与用来供给涂布液的涂布液供给用泵51连接，当使涂布液供给用泵51运行而供给涂布液时，从涂布液供给孔42向歧管41供给涂布液。并且，当供给涂布液时，歧管41内空气以及被供给的涂布液中的空气受浮力作用而聚集于中央部41a，并通过放孔44排出去。

另外，放气孔44与放气配管52连接，所述放气配管52与排气罐60连接。也就是说，随着涂布液的供给，歧管41内空气以及混入有空气的涂布液(称为空气混入液)通过放气孔44和放气配管52排出至所述排气罐60内。在所述配管上设置有放气阀52a。涂布动作是在关闭所述放气阀52a的状态下进行，因此，在涂布动作中，被供给的涂布液不会从放气孔44漏出。

排气罐60是用来贮存歧管41内空气以及在涂布液中混合有气泡的涂布液的装置。在本实施方式中，在涂布装置中只设置有一个排气罐60，并且所述排气罐60设置于涂布单元30的脚部31上(参照图2)。在所述排气罐60上连接有与管套部34连接的放气配管52和后述的排气配管53，能够使从歧管41排出的空气以及含有空气的涂布液贮存于排气罐60内。另外，排气罐60安装于脚部31，因此，即使涂布单元30移动，管套部34与排气罐60之间的距离也不会发生变化。因此，与排气罐60连接的放气配管52和排气配管53保持固定长度。另外，在本实施方式中，排气罐60和涂布液供给用泵51由配管51a连接。在所述配管51a上设置有阀51b，通过关闭和开启阀51b，能够控制排气罐60和涂布液供给用泵51的连接状态。

排气孔43是用来在排气处理中排出歧管41内空气的装置，排气孔43共设置有两个，分别在管套部34的长尺寸方向两端部上各设置有一个。在这里所说的排气处理是指为了不让空气从细缝喷嘴34a排出到基板10上而进行的去除歧管41内空气的处理，通常，在进行涂布动作之前先进行排气处理。具体来说，清洗歧管41后，或者，将管套部34更换成新的管套部34后，通过从涂布液供给孔42供给涂布液来进行排气处理。也就是说，通过从涂布液供给孔42供给涂布液，将歧管41内空气以及含有空气的涂布液从细缝喷嘴34a、放气孔44、排气孔43挤出去，由此从歧管41排出空气。

所述排气孔43以与歧管41连通的方式形成，并且所述排气孔43与排气配管53连接。因此，当进行排气处理时，歧管41内空气以及含有空气的涂布液从排气孔43通过排气配管53被排出至排气罐60内。这些排气配管53与共有的排气罐60连接，因此，从任意一个排气孔43排出的空气以及含有空气的涂布液都会排出至排气罐60内。所述排气配管53具有沿管套部34延伸的平行部分531和与该平行部分531垂直的垂直部分532。也就是说，与排气孔43连接的一侧的相反一侧的平行部分531上连接有将方向改变90度的接头54，与所述接头54连接的垂直部分532与排气罐60连接。由此，从排气孔43排出的空气以及含有空气的涂布液经过平行部分531以及垂直部分532后被排出至排气罐60内。

另外，排气配管53设定成使在排气配管53中产生的压力损失均等。具体来说，通过调节排气配管53的配管直径、配管长度来设定压力损失。也就是说，如图3所示，排气配管53的平行部分531使用相同直径的配管(在图3中，表示排气配管53的线的粗细表示配管内径)。排气罐60设置于排气孔43R的附近，因此，与排气孔43R连接的排气配管53的平行部分531比与排气孔43L连接的排气配管53的平行部分531短。因此，只比较排气配管53的平行部分531时，排气孔43L一侧的压力损失大。另外，比较排气配管53的垂直部分532时，与排气孔43R连接的排气配管53的直径比与排气孔43L连接的排气配管53的直径小。也就是说，以与排气孔43R连接的排气配管53的压力损失大于与排气孔43L连接的排气配管53的压力损失的方式设定。也就是说，按照下述方式设定：由于以共有排气罐60的方式与排气孔43连接的排气配管53的长度不同，因此通过将部分排气配管53的直径做小来使整个排气配管53上产生的压力损失在任意排气配管53中相等。在本实施方式中，与排气孔43连接的排气配管53的平行部分531使用相同直径的配管，只是垂直部分532使用直径不同的排气配管53，由此调节压力损失。这样，通过使直接与排气孔43连接的排气配管53的平行部分531的直径相同，由此能够降低管套部34的制造成本，同时通过改变垂直部分532的直径来对压力损失容易进行调节。另外，相等地设定压力损失并不是仅仅指使压力损失完全一致，还可以指空气从任一排气孔43顺利排出，并排出程度相同。

进一步，在本实施方式中，在全部排气配管53中产生的压力损失的合计值按照在不从细缝喷嘴34a中吸入空气的范围内比在细缝喷嘴34a中产生的压力损失小的方式设定。这样，当进行排气处理时，能够控制所供给的涂布液浪费地从细缝喷嘴34a排出的量。也就是说，当进行排气处理时，如果从涂布液供给孔42供给涂布液，则歧管41内存在的空气从细缝喷嘴34a、放气孔44以及排气孔43排出，如果涂布液贮存于歧管41内，则空气受浮力作用而上升，从而空气以及含有空气的涂布液从放气孔44以及排气孔43排出。在该状态下，如果在细缝喷嘴34a中产生的压力损失值与在全部排气配管53中产生的压力损失的合计值相比越小，与从排气孔43的排出相比越容易从细缝喷嘴34a排出。但是，由于空气受浮力作用而上升，因此没有混入有空气的涂布液会从更容易排出的细缝喷嘴34a大量排出。因此，在不从细缝喷嘴34a吸入空气的范围内，通过将在排气配管53中产生的压力损失的合计值设定为比在细缝喷嘴34a中产生的压力损失小，以使难以从细缝喷嘴34a中排出，即使空气受浮力作用而上升，也能够抑制从细缝喷嘴34a的排出而能够防止涂布液被浪费掉。

另外，在这里所说的从细缝喷嘴34a吸入空气是指在后述的排气阀53a全部开启的状态下所有排气配管53的压力损失的合计值与在细缝喷嘴34a中产生的压力损失相比显著小时，从细缝喷嘴34a吸入空气而液体向排气配管53流动的现象，通常根据通过涂布液供给孔42供给的涂布液的压损比率，向细缝喷嘴34a和排气配管53分配，但是，此时，向排气配管53流动的液体比通过涂布液供给孔42供给的涂布液多。也就是说，从细缝喷嘴34a不吸入空气的范围是指从涂布液供给孔42供给的涂布液以从细缝喷嘴34a不吸入空气的程度最大限度地向排气配管53排出空气以及含有空气的涂布液的状态。

另外，在所述排气配管53上设置有排气阀53a。通过在关闭所述排气阀53a的状态下进行涂布动作，在涂布动作中不会发生所供给的涂布液通过排气孔43漏出的现象。

另外，在排气罐60中连接有压力调节器70。所述压力调节器70是用来调节排气罐60内压力的装置，能够对排气罐60内进行减压或加压。

在本实施方式中，作为压力调节器70使用真空发生器70a。所述真空发生器70a安装在废液托盘25上，通过使真空发生器70a运行，能够对排气罐60内进行减压或加压。

所述真空发生器70a具有三个端口，也就是说，所述真空发生器70a具有真空端口71、压缩空气端口72和排气端口73。并且，当从压缩空气端口72供给压缩空气并从排气端口73排出时，能够在真空端口71上产生负压。

在本实施方式中，在真空端口71中连接有真空配管71a，真空端口71通过真空配管71a与排气罐60连通。也就是说，空气通过真空配管71a能够在真空发生器70a与排气罐60之间往返流动。

另外，压缩空气端口72与压缩空气配管72a连接，压缩空气端口72通过压缩空气配管72a与压缩空气泵74连接。也就是说，由压缩空气泵被压缩的空气(压缩空气)能够通过压缩空气配管72a、压缩空气端口72被供给至真空发生器70a内。另外，最好所述压缩空气泵74能够控制供给至真空发生器70a的压缩空气的压力值。也就是说，使对排气罐60内进行减压或加压时的压力值与向真空发生器70a供给的压缩空气的压力值大致成比例。另外，还可以通过在压缩空气配管72a之间设置用来调节压力的调压器(图中未示出)的结构，能够控制供给至真空发生器70a的压缩空气的压力值。

另外，在排气端口73中连接有排气配管73a。在所述排气配管73a上安装排气阀73b，通过使排气阀73b处于开启状态，能够排出真空发生器70a内的空气。因此，通过在开启排气阀73b的状态下从压缩空气泵74供给空气并从排气配管73a排出，由此可以在真空配管71a中产生负压，能够对排气罐60内进行减压(作为减压器的真空发生器70a)。另外，如果在关闭排气阀73b的状态下从压缩空气泵74供给空气，则在真空发生器70a内部失去去处的空气通过真空配管71a供给至排气罐60，由此能够对排气罐60内的压力进行加压(作为加压器的真空发生器70a)。

另外，当不向所述真空发生器70a供给压缩空气时，通过开启后述的排气阀73b来可以设定使排气罐60向大气开放的状态。也就是说，通过适当控制向真空发生器70a供给的压缩空气以及排气阀73b，能够将排气罐的压力状态根据需要设定成为减压、加压和大气开放状态的任意一种状态。通过暂时将排气罐设定为大气开放状态，还能够实施通常的通过虹吸效果的排气。

通过使所述真空发生器70a运行来能够辅助地进行排气处理。也就是说，如果通过排气处理从涂布液供给孔42供给涂布液，则歧管41内的空气以及含有空气的涂布液从细缝喷嘴34a、放气孔44、排气孔43被挤出。此时，如果使真空发生器70a运行而对排气罐60内进行减压，则与排气罐60内的压力为大气压时的情况相比从放气孔44以及排气孔43更容易排出空气以及含有空气的涂布液。也就是说，从放气孔44以及排气孔43排出的空气以及含有空气的涂布液通过排气配管53、放气配管52根据虹吸效果流动至排气罐60内，因此，通过对排气罐60内进行减压，能够促进该流动。也就是说，能够增加单位时间内流动的空气以及含有空气的涂布液的量。因此，与不运行真空发生器70a而排气罐60处于大气压的情况相比，通过使真空发生器70a作为减压器起作用，能够更快地结束排气处理。另外，通过使真空发生器70a运行，由此在进行排气处理时，相对于通过涂布液供给用泵51向歧管41供给的涂布液的总量，能够提高从排气孔43排出的涂布液的比率。也就是说，管套部34的歧管41内存在的含有空气的涂布液能够积极地容易从排气配管53排出，因此，能够抑制浪费地被排出的涂布液的量。

另外，通过使所述真空发生器70a运行，在进行排气处理时能够同时对排气罐60内贮存的含有空气的涂布液进行气泡去除处理。也就是说，如果进行排气处理，则在排气罐60内会贮存含有空气的涂布液(空气混入液)。此时，通过使真空发生器70a作为减压器来运行，由此对排气罐60内进行减压，使之保持在低于大气压的压力状态。因此，贮存于排气罐60内的空气混入液中的空气(气泡)容易浮到液面上来，并且浮上来的气泡在液面上消失。也就是说，通过对排气罐60内进行减压，与排气罐60内的压力为大气压的情况相比，能够促进空气混入液中的气泡(空气)的去除，由此即使在排气处理中也能够同时进行气泡去除处理。这样，在进行排气处理时能够同时进行所述气泡去除处理而含有空气的涂布液将会从在排气罐60内少量存在状态开始能够被进行脱气处理，因此，与排气罐60内贮存一定量的涂布液后开始进行减压和脱气的情况相比，能够更加有效地进行气泡去除处理。

并且，即使管套部34的歧管41内的空气的去除结束和空气以及含有空气的涂布液的向排气罐60的排出结束后，通过使真空发生器70a继续运行来也对排气罐60内的含有空气的涂布液继续进行气泡去除处理。也就是说，将排气罐60内的含有空气的涂布液不必移到其它气泡去除装置的情况下能够进行气泡去除处理。因此，能够尽可能地抑制因涂布液与大气接触而导致的涂布液的劣化，能够在短时间内使涂布液再生。

另外，作为压力调节器70的真空发生器70a也能够起到加压器的作用。具体来说，如果在关闭排气配管73a的排气阀73b的状态下从压缩空气泵74供给空气，则能够防止从真空发生器70a向排气配管73a的流动，因此来自压缩空气泵74的空气被供给至真空配管71a。也就是说，通过向真空配管71a供给空气，空气会向排气罐60流动，由此对排气罐60内进行加压。另外，此时，配管51a的阀51b处于关闭状态。

通过使所述真空发生器70a作为加压器运行，由此在涂布液的脱气处理结束后能够立即将所述涂布液再利用。具体来说，在排气处理和脱气处理结束后，在关闭放气阀52a以及排气阀53a的状态下切断歧管与排气罐60的连通。然后，如果在关闭排气阀73b的状态下从压缩空气泵供给压缩空气，则压来自缩空气泵74的空气通过真空配管71a流动到排气罐60内，排气罐60内将被加压。然后，如果在开启阀51b的状态下对排气罐60内进行加压，则排气罐60内的已去除气泡的涂布液通过排管51a被供给至涂布液供给用泵51。也就是说，排气罐60内的涂布液在没有暴露于大气中的情况下被供给至涂布液供给用泵51而返回到歧管41内，因此排气罐60内的涂布液在不发生氧化等劣化的情况下可以再利用。

另外，废液托盘25是在进行排气处理时用来接收从细缝喷嘴34a排出的涂布液的装置。真空发生器70a是以排气配管73a端口朝向废液托盘25的中央侧的姿势被安装。这样，即使为了对排气罐60内进行减压而含有空气的涂布液被吸引到真空配管71a内后从排气配管73a排出的情况下，因含有空气的涂布液也会被排出至废液托盘25而能够防止弄脏设置有涂布装置的地面。

根据上述实施方式中的涂布装置，通过用所述减压器对排气罐60内压力进行减压来从排气孔排出含有空气的涂布液(空气混入液)时，与排气罐60内的压力为大气压的情况相比，能够更容易地在短时间内从排气孔43排出空气混入液。并且，通过对排气罐60内进行减压，贮存于排气罐60内的涂布液暴露在低于大气压的压力状态，因此，与排气罐60内的压力为大气压的情况相比，涂布液中的空气更容易地被排出(更容易脱气)，能够在短时间内去除涂布液中的空气。因此，不仅能够在短时间内进行排气处理，而且即使再利用排气罐60内的涂布液时也能够防止涂布液劣化。

另外，在上述实施方式中，针对利用具备减压器功能以及加压器功能这两种功能的压力调节器70的例子进行了说明，但是还可以分别设置减压器或者加压器。当分别设置减压器或者加压器时，例如可以按照以下的方式构成：作为减压器将真空泵通过配管与排气罐60连通，作为加压器将压缩空气泵74通过配管与排气罐60连通。

另外，在上述实施方式中，只对通过加压器使脱气后的排气罐60内的涂布液返回到歧管41内的例子进行了说明，但还可以通过涂布液供给用泵51从排气罐60使脱气后的涂布液返回。也就是说，使阀51b处于开启状态而使涂布液供给用泵51进行吸引来将排气罐60的涂布液暂时贮存在涂布液供给用泵51内，然后，通过使涂布液供给用泵51进行排出动作来使脱气后的涂布液返回到歧管41内。此时，还可以使用加压器辅助进行涂布液供给用泵51的吸引动作。另外，还可以通过移动排气罐60来使脱气后的排气罐60内的涂布液返回到歧管41内。

另外，在上述实施方式中，对利用共有的排气罐60的例子进行了说明，但是还可以针对各个排气孔43利用各自的排气罐60。即使是这种情况，为了使排气配管53、放气配管52的压力损失各相同，也需要适当地调节排气配管53以及放气配管52的直径以及长度。

Claims (4)

1.一种排气系统，是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，其特征在于，

在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔、和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，

所述排气系统包括：

排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；

减压器，对所述排气罐内的压力进行减压，且，

设置有连接所述排气罐和用于向所述管套部供给涂布液的涂布液供给用泵的配管，在所述配管上设置有用于控制所述排气罐和所述涂布液供给用泵的连接状态的阀。

2.根据权利要求1所述的排气系统，其特征在于，在所述管套部上设置有多个排气孔，通过各排气孔与所述排气罐通过配管连接，从各排气孔排出的含有空气的涂布液贮存于共有的排气罐内。

3.根据权利要求1或2所述的排气系统，其特征在于，所述排气系统包括对所述排气罐内的压力进行加压的加压器，通过用所述加压器对所述排气罐内进行加压，使脱气后的所述排气罐内的涂布液返回到所述管套部的歧管内。

4.根据权利要求3所述的排气系统，其特征在于，所述减压器和所述加压器为共有的压力调节器。