KR101615626B1 - 잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치 - Google Patents

잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치에 관한 것이다. 본 발명은 잉크가 수용되는 잉크 용기; 상기 잉크 용기의 전단에 연결되고, 상기 잉크의 유량을 감지하는 유량 센서; 상기 잉크 용기로부터 이송된 잉크를 기판에 토출시키는 노즐; 및 상기 유량 센서로부터 감지된 신호를 전달받아 상기 잉크의 유량를 제어함으로써, 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 토출 압력 제어유닛을 포함할 수 있다.

Description

잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치{Ink flux controlling apparatus and inkjet printing apparatus including the same}
본 발명은 잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 실시간으로 잉크의 유량을 모니터링하여 잉크의 토출 압력을 제어할 수 있는 잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치에 관한 것이다.
정보화 기술이 발달함에 따라 사용자와 정보간의 연결 매체인 표시장치의 시장이 커지고 있다. 이에 따라, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display: LCD), 유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED) 및 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP) 등과 같은 평판표시장치(Flat Panel Display: FPD)의 사용이 증가하고 있다.
이러한 평판표시장치 중 특히 유기 전계 발광소자는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.
이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이 있다.
유기 전계 발광소자를 이용하여 평판표시장치를 제조하는 방법으로서 잉크젯 프린팅 방법이 있다. 일반적으로 잉크젯 프린팅 방법은 기판이 로딩된 스테이지가 이동하게 되고, 상부에서 기판을 향하여 잉크 액적을 토출하게 된다.
이때, 잉크젯 노즐에서의 분사 압력은 잉크의 유량에 의해 변경될 수 있다. 즉, 잉크의 유량이 커지면 잉크의 토출 압력이 높아지고, 반대로 잉크의 유량이 작아지면 잉크의 토출 압력이 낮아진다. 잉크의 토출 압력을 조절하는 것은 기판에 패턴을 형성하는 데에 큰 영향을 미치기 때문에, 이를 적절하게 조절할 수 있는 기술 개발이 필요하다.
대한민국 공개특허공보 제10-2013-0125631호(2013.11.19. 공개)
본 발명은 실시간으로 잉크의 유량을 모니터링하여 잉크의 토출 압력을 제어할 수 있는 잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 잉크 유량 제어장치는 잉크가 수용되는 잉크 용기; 상기 잉크 용기의 전단에 연결되고, 상기 잉크의 유량을 감지하는 유량 센서; 상기 잉크 용기로부터 이송된 잉크를 기판에 토출시키는 노즐; 및 상기 유량 센서로부터 감지된 신호를 전달받아 상기 잉크의 유량를 제어함으로써, 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 토출 압력 제어유닛을 포함할 수 있다.
상기 잉크 용기에는 내부에 발생한 버블을 제거하는 버블제거 가스가 유입되는 버블제거 가스 유입 라인이 연결될 수 있다.
상기 버블제거 가스는 상기 잉크의 유입을 중단시킨 후 진공 상태에서 유입될 수 있다.
상기 잉크 용기는 서로 다른 잉크가 수용되는 복수개로 구성되고, 상기 잉크 용기는 각각 복수개의 노즐과 연결되어 잉크를 공급할 수 있다.
상기 토출 압력 제어유닛은, 상기 유량 센서에서 감지된 신호를 수신하는 신호 수신부; 및 상기 신호 수신부로부터 전달된 신호를 기초로 하여 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 토출 압력 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 의한 잉크젯 프린팅 장치는 기판이 로딩되는 기판 스테이지; 상기 기판의 상부를 따라 이동하면서 상기 기판에 잉크를 토출시키는 제1 노즐; 상기 제1 노즐의 후방에서 이동하면서 상기 기판의 결함 여부를 검사하는 검사유닛; 상기 검사유닛의 후방에서 이동하면서 결함이 발생한 부분에 잉크를 토출시키는 제2 노즐; 상기 검사유닛으로부터 상기 기판의 결함 여부에 대한 정보를 전송받아 상기 제2 노즐로 리페어 명령을 전송하는 리페어 제어부; 및 상기 제1 노즐 또는 제2 노즐로 유입되는 잉크의 유량을 제어하는 잉크 유량 제어장치를 포함할 수 있다.
상기 제1 노즐, 검사유닛 및 제2 노즐은 서로 독립적으로 이동되도록 제어될 수 있다.
상기 제1 노즐은 상기 기판에 연속적으로 잉크를 토출시키고, 상기 제2 노즐은 상기 기판에 잉크를 액적 형태로 토출시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 실시간으로 잉크의 유량을 모니터링하여 잉크의 토출 압력을 제어할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 개략적으로 보인 구성도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 유량 제어장치를 개략적으로 보인 구성도.
도 3은 복수개의 노즐이 구비된 잉크 유량 제어장치를 개략적으로 보인 구성도.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함한다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하, 본 발명에 의한 잉크 유량 제어장치 및 이를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치의 일 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치를 개략적으로 보인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 잉크 유량 제어장치를 개략적으로 보인 구성도이며, 도 3은 복수개의 노즐이 구비된 잉크 유량 제어장치를 개략적으로 보인 구성도이다.
이에 도시된 바에 따르면, 본 발명에 의한 잉크젯 프린팅 장치는 기판이 로딩되는 기판 스테이지(12); 상기 기판의 상부를 따라 이동하면서 상기 기판에 잉크를 토출시키는 제1 노즐(6); 상기 제1 노즐(6)의 후방에서 이동하면서 상기 기판의 결함 여부를 검사하는 검사유닛(10); 상기 검사유닛(10)의 후방에서 이동하면서 결함이 발생한 부분에 잉크를 토출시키는 제2 노즐(8); 및 상기 잉크의 유량을 실시간으로 제어하여 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 잉크 유량 제어장치(20)를 포함할 수 있다.
기판 스테이지(12)는 기판이 로딩된 상태에서 X방향 및 Y방향으로 이동이 가능하도록 제어될 수 있다. 즉, 기판 스테이지(12)는 평면 상에서 전후방향 및 좌우방향으로 이동이 가능하다. 본 도면에는 구체적으로 도시되지 않았지만, 기판 스테이지(12)에는 가열부(미도시)가 구비될 수 있다. 상기 가열부는 제1 노즐(6)에서 토출된 잉크가 패턴을 벗어나 흐르지 않고 기판의 표면에서 가경화되도록 하는 역할을 한다.
잉크젯 프린팅 장치는 지지대(2)를 포함하고, 지지대(2)에는 제1 헤드(4) 및 제2 헤드(7)가 각각 이동가능하게 설치된다. 제1 헤드(4) 및 제2 헤드(7)는 지지대(2)를 따라 직선운동을 하면서 잉크의 토출 위치를 결정하게 된다.
한편, 본 실시예에서는 잉크의 토출을 위한 노즐(6,8)이 두 개로 구성된다. 즉, 노즐(6,8)은 패턴 형성을 위한 잉크를 토출시키는 제1 노즐(6)과, 제1 노즐(6)의 후방에서 이동하며 리페어를 위한 잉크를 토출시키는 제2 노즐(8)을 포함한다.
제1 노즐(6)은 실질적으로 기판에 패턴을 형성하기 위한 잉크를 토출시키는 역할을 한다. 따라서, 제1 노즐(6)은 연속적으로 잉크를 토출시켜 기판에 패턴을 형성하는 것이 바람직하다. 제1 노즐(6)에서 토출되는 잉크는 고분자물질(Polymer)을 포함하며, 특히 평판표시장치 중 유기 전계 발광소자에 형성되는 발광층일 수 있다.
다음으로, 제1 노즐(6)의 후방에 검사유닛(10)이 배치되어 기판의 결함 여부를 실시간으로 검사하게 된다. 검사유닛(10)은 일반적으로 카메라와 같이 기판의 결함 여부를 촬영할 수 있는 장비로 구성된다. 중요한 것은 검사유닛(10)이 제1 노즐(6)의 후방에서 이동하며 제1 노즐(6)에서 토출된 잉크가 정상적으로 기판에 패턴을 형성하였는지 여부를 실시간으로 검사할 수 있도록 하는 것이다. 즉, 프린팅 공정을 완료한 후 별도의 검사장비를 이용하여 기판을 검사하는 것이 아니고 프린팅 공정과 동시에 검사공정을 진행하도록 하는 것이다. 이와 같이 검사공정을 진행함으로써, 즉각 프린팅 공정에서의 결함을 리페어할 수 있으므로 전체적인 공정시간이 줄어들고 제품의 생산성이 향상될 수 있다.
제2 노즐(8)은 검사유닛(10)의 후방에 배치되어 기판의 결함을 즉각적으로 리페어하는 역할을 한다. 검사유닛(10)에서는 기판의 결함 여부에 대한 정보를 리페어 제어부(11)로 전송하고, 상기 정보는 다시 제2 노즐(8)로 리페어 명령에 의해 전송된다. 이와 같이 리페어 명령을 전송받은 제2 노즐(8)에서는 결함이 발생한 부분에 잉크를 토출시켜 기판을 리페어하게 된다. 여기에서 중요한 것은 검사유닛(10)과 마찬가지로 제2 노즐(8)이 제1 노즐(6) 및 검사유닛(10)의 후방에서 이동하면서 실시간으로 기판을 리페어하도록 구성하는 것이다.
또한, 제2 노즐(8)은 제1 노즐(6)과 달리 잉크를 연속적으로 토출시키지 않고 액적 형태로 토출시키도록 제어되는 것이 바람직하다. 즉, 제1 노즐(6)에서 기판에 패턴을 형성한 상태이기 때문에 일부 결함이 있는 부분, 예를 들어 기판 상에 형성된 미세한 홈 등의 결함이 발생한 경우 이를 리페어하기 위해 액적 형태로 잉크를 토출시키는 것이다. 이와 같이 토출된 잉크는 기판에서 결함이 발생한 부분을 실시간으로 리페어해주기 때문에 별도의 리페어공정이 필요치 않아 전체적인 공정시간을 줄여줄 수 있다.
한편, 제1 노즐(6), 제2 노즐(8) 및 검사유닛(10)은 X축, Y축 및 Z축 방향으로 이동될 수 있으며, 각각의 구성의 이동은 독립적으로 제어될 수 있다. 참고로, 도 1에 도시된 도면부호 14는 잉크 토출용기, 도면부호 16은 압력 제어기, 도면부호 18은 온도 제어기이다.
한편, 제1 헤드(4) 또는 제2 헤드(7)에는 잉크의 유량을 제어하기 위한 잉크 유량 제어장치(20)가 설치될 수 있다. 본 발명에 의한 잉크 유량 제어장치(20)는 잉크가 수용되는 잉크 용기(30); 상기 잉크 용기(30)의 전단에 연결되고, 상기 잉크의 유량을 감지하는 유량 센서(36); 상기 잉크 용기(30)로부터 이송된 잉크를 기판에 토출시키는 노즐(6); 및 상기 유량 센서(36)로부터 감지된 신호를 전달받아 상기 잉크의 유량를 제어함으로써, 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 토출 압력 제어유닛(21)을 포함할 수 있다.
토출 압력 제어유닛(21)의 전단에는 잉크에 압력을 가하기 위한 가스(예를 들어, 질소 가스)가 유입되는 가스 유입 라인(24)이 연결된다. 그리고, 가스 유입 라인(24) 상에는 가스 유입 밸브(25)가 구비되어 가스의 유입을 제어한다. 한편, 가스 유입 라인(24)의 일측으로는 진공 라인(26)이 구비되고, 진공 라인(26) 상에는 진공 밸브(27)가 구비된다. 진공 밸브(27)는 잉크 용기(30) 내부에 발생한 버블을 제거하는 공정 시 열려 버블이 빠져나가도록 한다. 다시 말해, 진공 밸브(27)가 열린 상태에서 잉크 용기(30) 내부를 진공으로 빨아들이도록 하여 버블이 제거되도록 한 것이다.
가스 유입 라인(24)은 잉크 용기(30)와 연결되고, 잉크 용기(30)의 내부에는 잉크 유입 라인(32)이 연결된다. 잉크 유입 라인(32) 상에는 잉크 유입 밸브(33)가 구비되어 잉크의 유입을 제어한다. 한편, 잉크 유입 라인(24)의 일측에는 버블제거를 위한 가스(예를 들어, 질소 가스)가 유입되는 버블제거 가스 유입 라인(34)이 연결된다. 버블제거 가스 유입 라인(34) 상에도 버블제거 가스 유입 밸브(35)가 구비되어 버블제거 가스의 유입을 제어한다.
잉크젯 프린팅 공정을 수행하기 위해 잉크를 공급하다 보면 잉크 용기(30) 내부에 버블이 발생하는 경우가 있다. 이때, 이 버블이 제거되지 않고 잉크에 섞여서 함께 토출되면 기판에 패턴을 정확하게 형성할 수 없어 제품의 품질이 떨어지는 문제가 발생하게 된다.
따라서, 본 실시예에서는 잉크의 공급을 중단시킨 후 진공 상태에서 잉크 용기(30) 내부로 버블제거 가스가 유입되도록 한 것이다. 보다 구체적으로 설명하면, 가스 유입 밸브(25) 및 잉크 유입 밸브(33)가 닫힌 상태에서 버블제거 가스 유입 밸브(35)가 열린다. 그리고, 진공 밸브(27)가 연 상태에서 버블제거 가스가 잉크 용기(30) 내부로 유입된다. 이와 같이 버블제거 가스가 완전하게 제거되고 나면 다시 버블제거 가스 유입 밸브(35) 및 진공 밸브(27)를 닫고, 가스 유입 밸브(25) 및 잉크 유입 밸브(33)를 열어 잉크의 유입을 계속하게 된다.
한편, 잉크 유입 라인(32)의 전단에는 유량 센서(36)가 구비된다. 유량 센서(36)는 제1 노즐(6)로 유입되는 잉크의 유량을 실시간으로 감지하는 부분으로서, 유량 센서(36)에서 감지된 신호는 유량 보드(38)를 통해 토출 압력 제어유닛(21)으로 전달된다.
토출 압력 제어유닛(21)은, 상기 유량 센서(36)에서 감지된 신호를 수신하는 신호 수신부(22); 및 상기 신호 수신부(22)로부터 전달된 신호를 기초로 하여 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 토출 압력 제어부(23)를 포함할 수 있다.
이와 같이 유량 센서(36)를 통해 잉크의 토출 압력을 실시간으로 제어하게 되면 제1 노즐(6)에서 토출되는 잉크의 토출 압력을 미세하게 제어할 수 있기 때문에 보다 정교하게 기판에 패턴을 형성할 수 있게 된다.
또한, 도 3을 참조하면, 잉크 용기(30)는 서로 다른 잉크가 수용되는 복수개로 구성되고, 상기 잉크 용기(30)는 각각 복수개의 제1 노즐(6)과 연결되어 잉크를 공급할 수도 있다. 이때에는 토출 압력 제어유닛(21)에서 각각의 잉크 용기(30)마다 유량 센서(36)가 연결되도록 구성될 것이다.
도 1에서는 제1 노즐(6) 측에 잉크 유량 제어장치(20)가 설치되는 것으로 도시하였으나, 제2 노즐(8) 측에도 잉크 유량 제어장치(20)가 설치되어 제2 노즐(8)의 잉크 토출 압력을 제어할 수 있음은 물론이다.
상기에서는 본 발명의 특정의 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
2 : 지지대 4 : 제1 헤드
6 : 제1 노즐 7 : 제2 헤드
8 : 제2 노즐 10 : 검사유닛
11 : 리페어 제어부 12 : 기판 스테이지
14 : 잉크 토출용기 16 : 압력 제어기
18 : 온도 제어기 20 : 잉크 유량 제어장치
21 : 토출 압력 제어유닛 22 : 신호 수신부
23 : 토출 압력 제어부 24 : 가스 유입 라인
25 : 가스 유입 밸브 26 : 진공 라인
27 : 진공 밸브 30 : 잉크 용기
32 : 잉크 유입 라인 33 : 잉크 유입 밸브
34 : 버블제거 가스 유입 라인
35 : 버블제거 가스 유입 밸브
36 : 유량 센서 38 : 유량 보드

Claims (8)

  1. 잉크가 수용되는 잉크 용기;
    상기 잉크 용기의 전단에 연결되고, 상기 잉크의 유량을 감지하는 유량 센서;
    상기 잉크 용기로부터 이송된 잉크를 기판에 토출시키는 노즐; 및
    상기 유량 센서로부터 감지된 신호를 전달받아 상기 잉크의 유량를 제어함으로써, 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 토출 압력 제어유닛을 포함하고,
    상기 잉크 용기에는 내부에 발생한 버블을 제거하는 버블제거 가스가 유입되는 버블제거 가스 유입 라인이 연결되는 것을 특징으로 하는 잉크 유량 제어장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 버블제거 가스는 상기 잉크의 유입을 중단시킨 후 진공 상태에서 유입되는 것을 특징으로 하는 잉크 유량 제어장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 잉크 용기는 서로 다른 잉크가 수용되는 복수개로 구성되고, 상기 잉크 용기는 각각 복수개의 노즐과 연결되어 잉크를 공급하는 것을 특징으로 하는 잉크 유량 제어장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 토출 압력 제어유닛은,
    상기 유량 센서에서 감지된 신호를 수신하는 신호 수신부; 및
    상기 신호 수신부로부터 전달된 신호를 기초로 하여 상기 잉크의 토출 압력을 제어하는 토출 압력 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 잉크 유량 제어장치.
  6. 기판이 로딩되는 기판 스테이지;
    상기 기판의 상부를 따라 이동하면서 상기 기판에 잉크를 토출시키는 제1 노즐;
    상기 제1 노즐의 후방에서 이동하면서 상기 기판의 결함 여부를 검사하는 검사유닛;
    상기 검사유닛의 후방에서 이동하면서 결함이 발생한 부분에 잉크를 토출시키는 제2 노즐;
    상기 검사유닛으로부터 상기 기판의 결함 여부에 대한 정보를 전송받아 상기 제2 노즐로 리페어 명령을 전송하는 리페어 제어부; 및
    상기 제1 노즐 또는 제2 노즐로 유입되는 잉크의 유량을 제어하는 제 1 항, 제 3 항, 제 4 항 또는 제 5 항 중 어느 한 항에 따른 잉크 유량 제어장치를 포함하는 잉크젯 프린팅 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 노즐, 검사유닛 및 제2 노즐은 서로 독립적으로 이동되도록 제어되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제1 노즐은 상기 기판에 연속적으로 잉크를 토출시키고, 상기 제2 노즐은 상기 기판에 잉크를 액적 형태로 토출시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 프린팅 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2005185978A (ja) 2003-12-26 2005-07-14 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェット式薄膜形成装置及び薄膜形成方法
JP2007253433A (ja) 2006-03-23 2007-10-04 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造装置、及び、その製造方法
JP2010017877A (ja) 2008-07-08 2010-01-28 Ulvac Japan Ltd インクヘッドモジュール、印刷装置、ヘッド交換方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005185978A (ja) 2003-12-26 2005-07-14 Ricoh Printing Systems Ltd インクジェット式薄膜形成装置及び薄膜形成方法
JP2007253433A (ja) 2006-03-23 2007-10-04 Seiko Epson Corp 液体噴射ヘッドの製造装置、及び、その製造方法
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