KR20070089578A - 액적 분사 장치 및 도포체의 제조 방법 - Google Patents

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나오아끼 사꾸라이
아쯔시 기나세
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가부시끼가이샤 도시바
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Abstract

본 발명의 과제는 액체 성분의 침전 및 액체 내의 기포에 의한 토출 불량의 발생을 방지할 수 있는 액적 분사 장치를 제공하는 것이다.
액체 수용부(16)로부터 공급되는 액체가 통과하는 내부 유로(2a)를 갖고, 그 내부 유로(2a)를 통과하는 액체를 액적으로서 토출하는 액적 토출 헤드(2)와, 액체 수용부(16)와 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)를 연통하는 액체 공급 유로(21)와, 그 액체 공급 유로(21) 중에 설치되어 액체 수용부(16)로부터 액적 토출 헤드(2)로 액체 공급 유로(21)를 거쳐서 액체를 공급하는 액체 공급부(17)와, 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)와 액체 수용부(16)를 연통하는 액체 복귀 유로(22)와, 그 액체 복귀 유로(22) 중에 설치되어 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)를 통과한 액체를 액적 토출 헤드(2)로부터 액체 수용부(16)로 액체 복귀 유로(22)를 거쳐서 복귀시키는 액체 복귀부(19)를 구비한다.
액적 분사 장치, 액체 수용부, 액적 토출 헤드, 액체 복귀 유로, 액체 공급 유로

Description

액적 분사 장치 및 도포체의 제조 방법{LIQUID DROPLET SPRAYING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF COATED BODY}
도1은 본 발명의 실시의 일 형태에 관한 액적 분사 장치의 개략 구성을 도시하는 외관 사시도.
도2는 도1에 도시하는 액적 분사 장치의 개략 구성을 도시하는 개략도.
도3은 도2에 도시하는 액적 분사 장치의 일부분을 확대하여 도시하는 개략도.
도4는 도1 및 도2에 도시하는 액적 토출 장치의 액체 순환 처리의 흐름을 나타내는 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 액적 분사 장치
2 : 액적 토출 헤드
2a : 내부 유로
3 : 도포 대상물(기판)
14 : 기포 제거부(액체 버퍼 탱크)
14a : 내벽면
16 : 액체 수용부
17 : 액체 공급부
18 : 탈기부
19 : 액체 복귀부
21 : 액체 공급 유로
22 : 액체 복귀 유로
[문헌 1] 일본 특허 공개 제2005-262464호 공보
본 발명은 액적을 분사하는 액적 분사 장치 및 그 액적 분사 장치를 이용한 도포체의 제조 방법에 관한 것이다.
액적 분사 장치는, 통상 액정 표시 장치, 유기 EL(Electro Luminescence) 표시 장치, 전자 방출 표시 장치, 플라즈마 표시 장치 및 전기 영동 표시 장치 등의 다양한 표시 장치를 제조하기 위해 이용되고 있다.
이와 같은 액적 분사 장치는 액체를 복수의 노즐로부터 미소한 액적으로서 각각 토출하는 액적 토출 헤드(예를 들어, 잉크젯 헤드)를 구비하고 있고, 그 액적 토출 헤드에 의해 도포 대상물인 기판에 액적을 착탄시켜 소정 패턴의 도트열을 형성하고, 예를 들어 컬러 필터나 블랙 매트릭스(컬러 필터의 프레임) 등의 도포체를 제조한다(예를 들어, 특허문헌 1 참조). 또한, 액체로서는, 수성 잉크, 유성 잉크 및 자외선 경화 잉크 등의 각종 잉크가 이용되고 있다. 예를 들어, 유성 잉크는 안료, 용제, 분산제, 첨가제 및 계면활성제 등의 각종 성분에 따라서 구성되어 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2005-262464호 공보
그러나, 전술한 바와 같은 액적 분사 장치에서는 잉크 성분의 침전이 발생하거나, 잉크 내에 기포가 발생하거나 하는 일이 있다. 이들은 액적 토출 헤드의 토출성에 악영향을 미친다.
예를 들어, 잉크 성분의 침전이 발생한 경우에는 잉크의 표면 장력이나 점도가 변화되어 적절한 토출 조건(예를 들어, 구동 전압이나 펄스 폭 등)이 바뀌기 때문에, 액적 토출 헤드의 토출 조건 설정을 재설정하지 않으면 액적 토출 헤드의 토출 불량이 발생하여 주름이나 긁힘 등이 생긴다. 특히, 잉크 성분의 침전이 심한 경우에는 잉크가 노즐에 막혀 액적의 불토출이 발생한다.
또한, 잉크 중의 용존 기체(용존 가스)에 의해 잉크 내에 기포가 발생한 경우에도 기포가 노즐을 막기 때문에, 액적 토출 헤드의 토출 불량이 발생하여 주름이나 긁힘 등이 생기게 된다. 특히, 기포가 잉크 중에 다수 존재하는 경우에는 많은 기포가 노즐에 고여 액적의 불토출이 발생한다.
본 발명은 상기에 비추어 이루어진 것으로, 그 목적은 액체 성분의 침전 및 액체 내의 기포에 의한 토출 불량의 발생을 방지할 수 있는 액적 분사 장치 및 도포체의 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제1의 특징은, 액적 분사 장치에 있어서, 액체를 수용하는 액체 수용부와, 액체 수용부로부터 공급되는 액체가 통과하는 내부 유로를 갖고, 내부 유로를 통과하는 액체를 액적으로서 토출하는 액적 토출 헤드와, 액체 수용부와 액적 토출 헤드의 내부 유로를 연통하여 액체 수용부로부터 액적 토출 헤드로 액체를 공급하기 위한 액체 공급 유로와, 액체 공급 유로 중에 설치되어 액체 수용부로부터 액적 토출 헤드로 액체 공급 유로를 거쳐서 액체를 공급하는 액체 공급부와, 액적 토출 헤드의 내부 유로와 액체 수용부를 연통하여 액적 토출 헤드의 내부 유로를 통과한 액체를 액적 토출 헤드로부터 액체 수용부로 복귀시키기 위한 액체 복귀 유로와, 액체 복귀 유로 중에 설치되어 액적 토출 헤드의 내부 유로를 통과한 액체를 액적 토출 헤드로부터 액체 수용부로 액체 복귀 유로를 거쳐서 복귀시키는 액체 복귀부를 구비하는 것이다.
본 발명의 실시 형태에 관한 제2 특징은, 도포체의 제조 방법에 있어서, 전술한 제1 특징에 관한 액적 분사 장치를 이용하여 도포 대상물을 향해 액적을 분사하는 것이다.
본 발명의 실시의 일 형태에 대해 도면을 참조하여 설명한다.
도1에 도시한 바와 같이, 본 발명의 실시의 일 형태에 관한 액적 분사 장치(1)는 액체인 잉크를 노즐로부터 액적으로서 토출하는 액적 토출 헤드(2)를 이용하여 기판(3)에 잉크를 도포하기 위한 잉크 도포 박스(1A)와, 그 잉크 도포 박스(1A)에 잉크를 공급하기 위한 잉크 공급 박스(1B)로 구성되어 있다. 이들 잉크 도포 박스(1A) 및 잉크 공급 박스(1B)는 서로 인접하여 배치되고, 모두 가대(4)의 상면에 고정되어 있다.
잉크 도포 박스(1A)의 내부에는 Y축 방향 슬라이드판(5), Y축 방향 이동 테이블(6), X축 방향 이동 테이블(7) 및 기판 보유 지지 테이블(8)이 적층되어 있다. 이들 Y축 방향 슬라이드판(5), Y축 방향 이동 테이블(6), X축 방향 이동 테이블(7) 및 기판 보유 지지 테이블(8)은 평판형으로 형성되어 있다.
Y축 방향 슬라이드판(5)은 가대(4)의 상면에 고정되어 있다. Y축 방향 슬라이드판(5)의 상면에는 복수의 가이드 홈(5a)이 Y축 방향을 따라서 마련되어 있다. 이들 가이드 홈(5a)에는 Y축 방향 이동 테이블(6)의 하면에 설치된 가이드용 돌기부(도시하지 않음)가 결합되어 있다. 이에 의해, Y축 방향 이동 테이블(6)은 Y축 방향으로 이동 가능하게 Y축 방향 슬라이드판(5)의 상면에 설치되어 있다. 이 Y축 방향 이동 테이블(6)은 Y축 방향 이동 모터를 이용하는 구동 기구에 의해 각 가이드 홈(5a)을 따라서 Y축 방향으로 이동한다.
Y축 방향 이동 테이블(6)의 상면에는 복수의 가이드 홈(6a)이 X축 방향을 따라서 마련되어 있다. 이들 가이드 홈(6a)에는 X축 방향 이동 테이블(7)의 하면에 설치된 가이드용 돌기부(도시하지 않음)가 결합되어 있다. 이에 의해, X축 방향 이동 테이블(7)은 X축 방향으로 이동 가능하게 Y축 방향 이동 테이블(6)의 상면에 설치되어 있다. 이 X축 방향 이동 테이블(7)은 X축 방향 이동 모터를 이용하는 구동 기구에 의해 각 가이드 홈(6a)을 따라서 X축 방향으로 이동한다.
X축 방향 이동 테이블(7)의 상면에는 기판(3)을 유지하는 기판 보유 지지 테 이블(8)이 고정되어 있다. 이 기판 보유 지지 테이블(8)은 기판(3)을 파지하는 기판 파지 기구(9)를 구비하고 있고, 그 기판 파지 기구(9)에 의해 기판 보유 지지 테이블(8) 상에 기판(3)을 밀착 고정한다. 기판 파지 기구(9)로서는, 예를 들어 역ㄷ자형의 끼움 부재 등을 이용한다. 또한, 기판(3)의 보유 지지 수단으로서는 기판 파지 기구(9) 대신에, 예를 들어 기판(3)을 흡착하는 기판 흡착 기구를 설치해도 좋다. 기판 흡착 기구로서는, 예를 들어 고무 흡반(sucker)이나 흡인 펌프 등을 이용한다.
여기서, 기판 보유 지지 테이블(8)의 Y축 방향으로의 이동량은 Y축 방향 인코더의 펄스 신호(위치 신호)를 기초로 하여 검출되고, 마찬가지로 기판 보유 지지 테이블(8)의 X축 방향으로의 이동량은 X축 방향 인코더의 펄스 신호(위치 신호)를 기초로 하여 검출된다.
잉크 도포 박스(1A)의 내부에는 1세트의 컬럼(지주)(10)이 수직 설치되어 있다. 이들 컬럼(10)은 Y축 방향 슬라이드판(5)의 가이드 홈(5a)과 직교하는 방향, 즉 X축 방향에 있어서 Y축 방향 슬라이드판(5)을 끼우는 위치에 설치되어 있다.
1세트의 컬럼(10)에는 X축 방향 슬라이드판(11)이 가로로 걸쳐져 있다. X축 방향 슬라이드판(11)의 전방면에는 가이드 홈(11a)이 X축 방향을 따라서 마련되어 있다. 이 가이드 홈(11a)에는 복수의 잉크젯 헤드 유닛(12)이 늘어뜨려 설치된 베이스판(13)의 배면에 설치된 가이드용 돌기부(도시하지 않음)가 결합되어 있다. 이에 의해, 베이스판(13)은 X축 방향으로 이동 가능하게 X축 방향 슬라이드판(11)에 설치되어 있다. 이 베이스판(13), 즉 잉크젯 헤드 유닛(12)은 헤드 유닛 이동 모터를 이용하는 구동 기구에 의해 가이드 홈(11a)을 따라서 X축 방향으로 이동한다.
각 잉크젯 헤드 유닛(12)은 각각 액적 토출 헤드(2)를 구비하고 있다. 이들 액적 토출 헤드(2)는 각 잉크젯 헤드 유닛(12)의 선단부에 각각 착탈 가능하게 설치되어 있다. 액적 토출 헤드(2)는 액적이 토출되는 복수의 노즐(관통 구멍)을 갖는 노즐 플레이트(도시하지 않음)를 구비하고 있다. 이 액적 토출 헤드(2)에는 잉크를 저류하는 잉크 버퍼 탱크 등의 액체 버퍼 탱크(14)가 설치되어 있다. 또한, 액체 버퍼 탱크(14)는 액적 토출 헤드(2)에 일체적으로 설치되어 있고, 잉크젯 헤드 유닛(12)에 대해 액적 토출 헤드(2)와 함께 착탈된다.
잉크젯 헤드 유닛(12)에는 기판(3)면에 대해 수직 방향, 즉 Z축 방향으로 액적 토출 헤드(2)를 이동시키는 Z축 방향 이동 기구(12a)와, 액적 토출 헤드(2)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 방향 이동 기구(12b)와, 액적 토출 헤드(2)를 θ방향으로 회전시키는 θ방향 회전 기구(12c)가 설치되어 있다. 이에 의해, 액적 토출 헤드(2)는 Z축 방향 및 Y축 방향으로 이동 가능하고, θ축 방향으로 회전 가능하다.
또한, 잉크 도포 박스(1A)의 내부에는 액적 토출 헤드(2)의 노즐의 잉크 막힘 등을 청소하기 위한 헤드 보수 유닛(15)이 설치되어 있다. 이 헤드 보수 유닛(15)은 잉크젯 헤드 유닛(12)의 이동 방향의 연장선상이며 기판(3)으로부터 격리된 위치에 배치되어 있다. 또한, 잉크젯 헤드 유닛(12)이 헤드 보수 유닛(15)에 대향하는 대기 위치까지 이동하면, 헤드 보수 유닛(15)은 액적 토출 헤드(2)의 노 즐의 잉크 막힘 등을 자동적으로 세정한다.
잉크 공급 박스(1B)의 내부에는 잉크를 수용하는 잉크 탱크 등의 액체 수용부(16)와, 그 액체 수용부(16)로부터 액체 버퍼 탱크(14)를 거쳐서 각 액적 토출 헤드(2)로 잉크를 공급하는 액체 공급부(17)와, 각 액적 토출 헤드(2)에 공급되는 잉크로부터 기포의 발생 원인인 용존 기체(용존 가스)를 제거하는 탈기부(18)와, 각 액적 토출 헤드(2)로부터 액체 수용부(16)로 잉크를 복귀시키는 액체 복귀부(19)가 설치되어 있다.
또한, 각 액체 버퍼 탱크(14)에는 액체 수용부(16)로부터 잉크가 액체 공급부(17)에 의해 공급된다. 잉크로서는, 수성 잉크, 유성 잉크 및 자외선 경화 잉크 등의 각종 잉크를 이용한다. 예를 들어, 유성 잉크는 안료, 용제, 분산제, 첨가제 및 계면활성제 등의 각종 성분에 따라서 구성되어 있다.
가대(4)의 내부에는 액적 분사 장치(1)의 각 부를 제어하기 위한 제어부(20) 및 각종 프로그램을 기억하는 기억부(도시하지 않음) 등이 설치되어 있다. 제어부(20)는 각종 프로그램을 기초로 하여 Y축 방향 이동 테이블(6)의 이동 제어, X축 방향 이동 테이블(7)의 이동 제어, 베이스판(13)의 이동 제어, Z축 방향 이동 기구(12a)의 구동 제어, Y축 방향 이동 기구(12b)의 구동 제어 및 θ방향 회전 기구(12c)의 구동 제어 등을 행한다. 이에 의해, 기판 보유 지지 테이블(8) 상의 기판(3)과, 각 잉크젯 헤드 유닛(12)의 액적 토출 헤드(2)의 상대 위치를 다양하게 변화시킬 수 있다.
다음에, 액적 분사 장치(1)의 잉크 순환에 관한 각 부에 대해 상세하게 설명 한다.
도2에 도시한 바와 같이, 액적 토출 헤드(2)는 액체 수용부(16)로부터 공급되는 잉크가 통과하는 내부 유로(2a)를 갖고 있고(도3 참조), 그 내부 유로(2a)를 통과하는 잉크를 액적으로서 토출한다. 또한, 제어부(20)는 각 액적 토출 헤드(2)를 각각 구동 제어하는 헤드 제어부(20a)와, 액체 공급부(17), 탈기부(18), 액체 복귀부(19) 및 복수의 밸브(23)를 구동 제어하는 액체 순환 제어부(20b)를 갖고 있다.
액체 수용부(16)와 각 액적 토출 헤드(2) 사이에는 액체 수용부(16)와 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)를 연통하는 액체 공급 유로(21)가 설치되어 있다. 이 액체 공급 유로(21)는 액체 수용부(16)로부터 각 액적 토출 헤드(2)로 잉크를 공급하기 위한 유로이다. 액체 공급 유로(21)로서는, 예를 들어 튜브 등을 이용한다.
각 액적 토출 헤드(2)와 액체 수용부(16) 사이에는 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)와 액체 수용부(16)를 연통하는 액체 복귀 유로(22)가 설치되어 있다. 이 액체 복귀 유로(22)는 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)를 통과한 잉크를 각 액적 토출 헤드(2)로부터 액체 수용부(16)로 복귀시키기 위한 유로이다. 액체 복귀 유로(22)로서는, 예를 들어 튜브 등을 이용한다.
액체 공급 유로(21) 중에는 액체 수용부(16)측으로부터 차례로 탈기부(18), 액체 공급부(17), 각 밸브(23) 및 각 액체 버퍼 탱크(14)가 설치되어 있다. 또한, 액체 복귀 유로(22) 중에는 액체 복귀부(19)가 설치되어 있다.
탈기부(18)는 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크로부터 잉크 중의 용존 기체를 제거하는 장치이다. 또한, 각 밸브(23)는 각 액적 토출 헤드(2)에 각각 대응시켜 설치되어 있다. 이들 밸브(23)는, 통상 개방 상태이고, 대응하는 액적 토출 헤드(2)의 교환 시 등에 폐쇄된다.
액체 공급부(17)는 액체 수용부(16)로부터 각 액적 토출 헤드(2)로 액체 공급 유로(21)를 거쳐서 잉크를 공급하는 장치이다. 이 액체 공급부(17)로서는, 예를 들어 액체용 펌프 등을 이용한다.
액체 복귀부(19)는 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)를 통과한 잉크를 각 액적 토출 헤드(2)로부터 액체 수용부(16)로 액체 복귀 유로(22)를 거쳐서 복귀시키기 위해 유로 내의 액체에 유동시키고 싶은 방향으로의 힘을 부여하는 장치이다. 이 액체 복귀부(19)로서는, 예를 들어 액체용 펌프 등을 이용한다.
액체 버퍼 탱크(14)는 그 내부에 저류한 잉크의 액면과 액적 토출 헤드(2)의 노즐면(노즐 플레이트의 외면)과의 수두차(수두압)를 이용하여 노즐 선단부의 잉크의 액면(메니스커스)을 조정한다. 이에 의해, 잉크의 누출이나 토출 불량이 방지되어 있다.
또한, 액체 버퍼 탱크(14)는 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크로부터 기포를 제거하는 기포 제거부로서 기능한다. 이 액체 버퍼 탱크(14)는, 도3에 도시한 바와 같이 그 내부의 내벽면(14a)을 따라서 잉크를 흐르게 하고, 그 내벽면(14a)을 따라서 흐른 잉크를 저류한다. 이때, 액체 공급 유로(21) 중에 존재하는 기포가 제거된다. 특히, 액적 토출 헤드(2)의 교환 등의 작업에 의해 액체 공급 유로(21) 중에 침입한 기포도 제거된다.
다음에, 이와 같은 액적 분사 장치(1)의 액적 분사 처리 및 액체 순환 처리에 대해 설명한다. 액적 분사 장치(1)의 제어부(20)가 각종 프로그램를 기초로 하여 액적 분사 처리 및 액체 순환 처리를 실행한다.
액적 분사 처리에서는, 제어부(20)는 각 잉크젯 헤드 유닛(12)을 대기 위치로부터 기판(3)에 대향하는 위치까지 이동시킨다. 이때, 각 잉크젯 헤드 유닛(12)은 X축 방향 슬라이드판(11)의 가이드 홈(11a)으로 안내되어 기판(3)에 대향하는 위치까지 이동한다. 계속해서, 제어부(20)는 Y축 방향 이동 테이블(6) 및 X축 방향 이동 테이블(7)을 구동 제어하고, 제어부(20)의 헤드 제어부(20a)는 각 잉크젯 헤드 유닛(12)의 액적 토출 헤드(2)의 토출 동작을 구동 제어한다. 이에 의해, 액적 토출 헤드(2)는 내부 유로(2a) 내의 잉크를 액적으로서 각 노즐로부터 각각 토출하고, Y축 방향으로 이동하는 기판(3)에 이들 액적을 착탄시켜 소정 패턴의 도트열을 차례로 형성한다.
액체 순환 처리에서는, 제어부(20)의 액체 순환 제어부(20b)는, 도4에 도시한 바와 같이 액적 분사 장치(1)의 전원 투입 중, 통상 각 밸브(23)를 폐쇄한 상태로 유지하여 액체 공급부(17) 및 탈기부(18)를 구동한다(단계 S1). 이에 의해, 액체 수용부(16) 내의 잉크가 액체 공급 유로(21)를 거쳐서 탈기부(18)를 통과한다. 이때, 탈기부(18)에 의해 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크로부터 용존 기체가 제거된다. 용존 기체가 제거된 잉크는 액체 공급 유로(21)를 거쳐서 각 액체 버퍼 탱크(14)에 저류된다. 이때, 각 액체 버퍼 탱크(14)에 의해 액체 공급 유로(21) 중에 존재하는 기포가 제거된다. 그 후, 각 액체 버퍼 탱크(14) 내의 잉크는 대응하는 액적 토출 헤드(2)의 토출 동작에 따라서 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a)에 공급된다. 그 내부 유로(2a)에 공급된 잉크는 전술한 액적 분사 처리에 의해 액적 토출 헤드(2)의 각 노즐로부터 액적으로서 토출된다.
다음에, 액체 순환 제어부(20b)는 각 액적 토출 헤드(2)의 토출 동작이 소정시간(예를 들어, 3분간 정도) 정지하고 있는지 여부를 판단하여(단계 S2), 그 정지에 대기한다(단계 S2의 아니오). 예를 들어, 액체 순환 제어부(20b)는 기판(3)의 반송 중이나 단 바꾸기 중 등과 같이, 각 액적 토출 헤드(2)의 토출 동작이 중지 중인지의 여부를 판단한다.
각 액적 토출 헤드(2)의 토출 동작이 소정 시간 정지하고 있다고 판단한 경우에는(단계 S2의 예), 액체 복귀부(19)를 구동하여(단계 S3), 단계 S2로 처리를 복귀시킨다. 이에 의해, 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a) 중의 잉크가 액체 복귀 유로(22)를 거쳐서 액체 수용부(16)로 복귀된다. 이와 같이 하여, 액체 수용부(16) 내의 잉크가 액체 공급 유로(21), 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a) 및 액체 복귀 유로(22)를 순환하게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시 형태에 따르면, 액체 복귀 유로(22) 및 액체 복귀부(19)를 설치함으로써, 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a) 내의 잉크가 액체 복귀 유로(22)를 거쳐서 액체 수용부(16)로 복귀되고, 액체 수용부(16) 내의 잉크가 각 액적 토출 헤드(2)의 내부 유로(2a) 및 액체 복귀 유로(22)를 순환하게 되므로, 잉크 성분의 침전이 방지된다. 또한, 액체 공급 유로(21) 중 에 탈기부(18)를 설치함으로써, 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크로부터 용존 기체가 제거되므로, 액체 공급 유로(21) 중에 기포가 발생하는 것이 방지된다. 이들의 것으로부터 잉크 성분의 침전 및 잉크 내의 기포에 의한 토출 불량의 발생을 방지할 수 있다.
또한, 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크로부터 기포를 제거하는 기포 제거부로서 액체 버퍼 탱크(14)를 액체 공급 유로(21) 중에 설치함으로써, 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크로부터 기포가 제거되므로, 보다 확실하게 잉크 내의 기포에 의한 토출 불량의 발생을 방지할 수 있다. 특히, 액적 토출 헤드(2)의 교환 등의 작업에 의해 액체 공급 유로(21) 중에 침입한 기포도 제거할 수 있다.
또한, 액체 버퍼 탱크(14)가 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크를 내벽면(14a)을 따라서 흐르게 하고, 내벽면(14a)을 따라서 흐른 잉크를 저류함으로써, 간단한 구성에 의해 액체 공급 유로(21)를 흐르는 잉크로부터 확실하게 기포를 제거할 수 있다. 또한, 액체 버퍼 탱크(14)의 잉크 저류량을 바꿈으로써 노즐 내의 잉크의 액면을 용이하게 조정할 수도 있다.
또한, 전술한 액적 분사 장치(1)를 이용하여 도포 대상물인 기판(3)을 향해 액적을 분사함으로써, 예를 들어 컬러 필터나 블랙 매트릭스(컬러 필터의 프레임) 등의 도포체가 제조되므로, 도포체의 제조 불량의 발생을 방지할 수 있어, 신뢰성이 더 높은 도포체를 얻을 수 있다.
(다른 실시 형태)
또한, 본 발명은 전술한 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 그 요지를 일탈 하지 않는 범위에 있어서 다양하게 변경 가능하다.
예를 들어, 전술한 실시 형태에 있어서는 액체 공급 유로(21)에 액체 버퍼 탱크(14)를 설치하고 있지만, 이에 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 액체 공급 유로(21)에 액체 버퍼 탱크(14)를 설치하지 않도록 해도 좋다.
본 발명에 따르면, 액체 성분의 침전 및 액체 내의 기포에 의한 토출 불량의 발생을 방지할 수 있다.

Claims (5)

  1. 액체를 수용하는 액체 수용부와,
    상기 액체 수용부로부터 공급되는 상기 액체가 통과하는 내부 유로를 갖고, 상기 내부 유로를 통과하는 상기 액체를 액적으로서 토출하는 액적 토출 헤드와,
    상기 액체 수용부와 상기 액적 토출 헤드의 상기 내부 유로를 연통하여 상기 액체 수용부로부터 상기 액적 토출 헤드로 상기 액체를 공급하기 위한 액체 공급 유로와,
    상기 액체 공급 유로 중에 설치되어 상기 액체 수용부로부터 상기 액적 토출 헤드로 상기 액체 공급 유로를 거쳐서 상기 액체를 공급하는 액체 공급부와,
    상기 액적 토출 헤드의 상기 내부 유로와 상기 액체 수용부를 연통하여 상기 액적 토출 헤드의 상기 내부 유로를 통과한 상기 액체를 상기 액적 토출 헤드로부터 상기 액체 수용부로 복귀시키기 위한 액체 복귀 유로와,
    상기 액체 복귀 유로 중에 설치되어 상기 액적 토출 헤드의 상기 내부 유로를 통과한 상기 액체를 상기 액적 토출 헤드로부터 상기 액체 수용부로 상기 액체 복귀 유로를 거쳐서 복귀시키는 액체 복귀부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 분사 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 액체 공급 유로 중에 설치되어 상기 액체 공급 유로를 흐르는 상기 액체로부터 용존 기체를 제거하는 탈기부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 분사 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 액체 공급 유로 중에 설치되어 상기 액체 공급 유로를 흐르는 상기 액체로부터 기포를 제거하는 기포 제거부를 구비하는 것을 특징으로 하는 액적 분사 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 기포 제거부는 상기 액체 공급 유로를 흐르는 상기 액체를 내벽면을 따라서 흐르게 하고, 상기 내벽면을 따라서 흐른 상기 액체를 저류하는 것을 특징으로 하는 액적 분사 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재된 액적 분사 장치를 이용하여 도포 대상물을 향해 액적을 분사하는 것을 특징으로 하는 도포체의 제조 방법.
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