CN104272431A - 制造设备的监视装置以及监视方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视装置，在移动终端的拍摄元件朝向制造设备时，基于通过位置信息获取单元获取到的位置信息、通过方向检测单元检测到的方向信息、拍摄元件的视角以及布局信息，来确定制造设备，并从存储单元提取确定出的制造设备的制造设备信息，并在显示单元显示提取出的制造设备信息的至少一部分。

Description

制造设备的监视装置以及监视方法
技术领域
本发明涉及制造设备的监视装置以及监视方法。
背景技术
以往，在半导体器件、平板显示器用基板或者太阳能电池板等的制造中，使用由多个制造装置构成的制造设备。另外，这样的制造设备配设在洁净室等工厂内。在像这样的洁净室等工厂内进行作业的作业者通过蜂鸣声、旋转灯的发光等得到从位于远方的制造设备发出的各种信息。
此外，提出有利用了使用移动电话所具备的数码相机功能，并使由数码相机捕捉的被拍摄体图像的相对的移动反映到与监视器上的显示中数据重叠地显示的箭头指针图标和其它的图像数据的移动中的数码相机功能的多维数字图像复合处理用接口技术(例如，参照专利文献1。)
专利文献1:日本特开2006－285475号公报
如上述那样，在以往通过蜂鸣声、旋转灯的发光等得到从洁净室等工厂内的制造设备中的位于远方的装置发出的各种信息。因此，有在得到的信息上有限制而得不到详细的信息的技术问题。
发明内容
本发明是为了应对上述以往的情况而完成的，目的在于提供与以往相比能够容易地获取更多的制造设备的信息的制造设备的监视装置以及监视方法。
本发明的制造设备的监视装置的一个方式，是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的包含至少多个制造装置的制造设备的制造设备的监视装置，其特征在于，上述移动终端具有：位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；拍摄元件；方向检测单元，其检测上述拍摄元件所朝向的方向；以及显示单元，上述服务器具有存储单元，该存储单元存储与上述工厂内的上述制造设备的布局有关的布局信息、和与上述制造设备有关的制造设备信息，在上述拍摄元件朝向上述制造设备时，上述服务器基于通过上述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过上述方向检测单元检测到的方向信息、上述拍摄元件的视角以及上述布局信息，来确定上述拍摄元件所朝向的上述制造设备，从上述存储单元提取确定出的上述制造设备的制造设备信息，在上述显示单元显示提取出的上述制造设备信息的至少一部分。
本发明的制造设备的监视装置的另一方式，是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视装置，其特征在于，上述移动终端具有：位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；获取上述制造设备的布局信息的单元；拍摄元件；方向检测单元，其检测上述拍摄元件所朝向的方向；以及显示单元，上述服务器具有存储单元，该存储单元存储与上述工厂内的上述制造设备有关的制造设备信息，在上述拍摄元件朝向上述制造设备时，上述服务器基于通过上述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过上述方向检测单元检测到的方向信息、上述拍摄元件的视角以及上述布局信息，来确定上述拍摄元件所朝向的上述制造设备，从上述存储单元提取确定出的上述制造设备的制造设备信息，在上述显示单元显示提取出的上述制造设备信息的至少一部分。
本发明的制造设备的监视方法的一个方式，是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的包含至少多个制造装置的制造设备的制造设备的监视方法，其特征在于，上述移动终端具有：位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；拍摄元件；方向检测单元，其检测上述拍摄元件所朝向的方向；以及显示单元，上述服务器具有存储单元，该存储单元存储与上述工厂内的上述制造设备的布局有关的布局信息、和与上述制造设备有关的制造设备信息，在上述拍摄元件朝向上述制造设备时，上述服务器基于通过上述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过上述方向检测单元检测到的方向信息、上述拍摄元件的视角以及上述布局信息，来确定上述拍摄元件所朝向的上述制造设备，从上述存储单元提取确定出的上述制造设备的制造设备信息，在上述显示单元显示提取出的上述制造设备信息的至少一部分。
本发明的制造设备的监视方法的另一方式，是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视方法，上述移动终端具有：位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；获取上述制造设备的布局信息的单元；拍摄元件；方向检测单元，其检测上述拍摄元件所朝向的方向；以及显示单元，上述服务器具有存储单元，该存储单元存储与上述工厂内的上述制造设备有关的制造设备信息，在上述拍摄元件朝向上述制造设备时，基于通过上述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过上述方向检测单元检测到的方向信息、上述拍摄元件的视角以及上述布局信息，来确定上述拍摄元件所朝向的上述制造设备，从上述存储单元提取确定出的上述制造设备的制造设备信息，在上述显示单元显示提取出的上述制造设备信息的至少一部。
根据本发明，能够提供与以往相比能够容易地获取更多的与制造设备有关的信息的制造设备的监视装置以及监视方法。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的制造设备的监视装置的简要结构的图。
图2是表示图1所示的制造设备的监视装置的移动终端的简要结构的图。
图3是表示图1所示的制造设备的监视装置的数据结构的简要结构的图。
图4是表示图1所示的制造设备的监视装置的数据结构的简要结构的图。
图5是用于说明制造设备的设备ID的确定方法的图。
图6是表示图1所示的制造设备的监视装置的动作的流程图。
图7是表示图1所示的制造设备的监视装置的动作的流程图。
图8是示意性地表示显示图像的例子的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
图1是表示本发明的一实施方式的制造设备的监视装置的简要结构的图。如图1所示，制造设备的监视装置100具备映射服务器101以及多个移动终端102，映射服务器101与移动终端102能够通信。
如图2所示，移动终端102具备用于进行与上述的映射服务器101的通信的通信部102a。另外，移动终端102具备数码相机102b等拍摄元件、用于显示由该数码相机102b拍摄到的图像并且通过触摸面板等进行输入的显示、输入部102c、获取与移动终端102的当前的位置有关的位置信息的位置信息获取部102d、检测通过数码相机102b拍摄的方向的方向检测部102e、以及控制移动终端102的整体的主控制部102f。
另外，移动终端102能够通过用户的手动输入将洁净室内的危险位置信息，例如，拆下格栅而具有坠落的危险的位置等危险位置信息登录到映射服务器101。作为该移动终端102例如能够使用智能手机、平板电脑、穿戴式电脑等。另外，它们也可以具备透射式的显示装置。
另外，在图1中，110是配设在洁净室内的多个半导体制造装置，111是用于向半导体制造装置110搬运半导体晶圆等的搬运系统。作为搬运系统111，例如，使用MES(Manufacturing Execution System：制造执行系统)或者与它们类似的晶片搬运机构。而且，搬运系统111中的搬运臂信息(与搬运臂的位置有关的信息等)以一定周期被提取到映射服务器101。
另外，通过装置数据组管理服务器112收集与各半导体制造装置110有关的信息，例如，生产现状、报警发生状况、方法信息等信息。而且，通过该装置数据组管理服务器112收集到的数据以一定周期被提取到映射服务器101。
映射服务器101具备存储单元103。该存储单元103储存有用于确定洁净室内的半导体制造设备的标识符(ID)以及与洁净室内的半导体制造设备的布局有关的布局信息(映射信息)、以及表示半导体制造设备的状态等的各种信息(半导体制造设备信息)。半导体制造设备信息包含例如运转状况摘要信息、运转率推移信息(一天、一周、一个月、一年)、搬运臂位置信息、以及半导体制造装置等的操作手册(PDF等)等。此外，“半导体制造设备”除了对半导体晶圆等实施各种处理的半导体制造装置110以外，还包含搬运系统111、洁净室内的各种设置物等。
图3示有存储在上述的映射服务器101的存储单元103的各种信息的数据结构的例子。图3(a)示有构成布局信息的映射信息的例子，图3(b)示有设置物信息的例子，图3(c)示有装置信息的例子，图3(d)示有搬运臂信息的例子。
如图3(a)所示，映射信息例如是位置(二维坐标系的X坐标和Y坐标以及方向)、设置物的种类ID(装置(机型)、储料器、工具箱、格栅开口部、搬运臂、紧急出口、通道)、标识符(装置ID等)、显示属性(有无报警、有无危险性、对应优先度)等。
如图3(b)所示，设置物信息例如是设置物的种类ID(装置(机型)、储料器、工具箱、格栅开口部、搬运臂、紧急出口、通路等)、大小(W×H×D)、三维形状(任意的3D格式)、关联文档(操作手册的链接)等。
如图3(c)所示，装置信息例如是标识符(装置ID)、报警状况(有无发生报警、报警详细内容)、运转状况(空转、生产中、停止)、方法名称(工序所使用的方法)、方法的内容(工序所使用的方法的内容)、运转率的推移(基于运转状况，以一天、一周、一个月、一年为单位汇总的结果)等。
如图3(d)所示，搬运臂信息例如是标识符(搬运臂ID)、运转状况(移动中、停止中)、移动源(字符串)、移动目的地(字符串)等。
另外，图4示有移动终端102的数据结构的例子。图4(a)示有当前地信息的例子，图4(b)示有扩张显示信息的例子。如图4(a)所示，当前地信息例如是位置(二维坐标系的X坐标、Y坐标)、方向(例如，X轴正方向：0度，Y轴正方向：90度，X轴负方向：180度，Y轴负方向：270度等)、视野信息(视角(每个终端的固有值))等。
另外，如图4(b)所示，扩张显示信息例如是终端画面的显示位置(二维坐标系的(S，T))、设置物信息(设置物的种类ID、装置ID、搬运臂ID等)。
移动终端102如上所述，例如由智能手机、平板电脑、穿戴式电脑等构成，如图2所示，具备由数码相机102b等拍摄元件以及液晶显示器等构成的显示、输入部102c。而且，利用数码相机102b拍摄洁净室内的半导体制造设备，并能够将该图像显示于显示、输入部102c的显示画面。
另外，移动终端102具备获取与移动终端102的当前的位置有关的位置信息的位置信息获取部102d、以及检测通过数码相机102b拍摄的方向(数码相机102b所朝向的方向)的方向检测部102e。因此，例如图5所示，在利用数码相机102b拍摄洁净室内的半导体制造设备，并将该图像显示于显示、输入部102c的显示画面时，能够得到关于所得到的图像是从哪个位置拍摄了哪个方向而得到的图像的信息。此外，这些位置信息获取功能以及方向检测功能例如能够使用与移动基站或者无线接入点的通信以及6轴传感器(三轴地磁传感器和三轴加速度传感器)等传感器等来实现。
接下来，参照图6的流程图，对上述的映射服务器101以及移动终端102的半导体制造设备的监视进行说明。进行监视的作业者使用移动终端102的数码相机来拍摄配设在洁净室内的半导体制造设备，并使显示装置显示，在该状态下开始监视模式(步骤500)。此外，也可以从洁净室的外面通过窗等来进行半导体制造设备的拍摄。
首先，移动终端102进行移动终端102的位置和方向的读取(步骤501)。接下来，判断是否与上一次相比拍摄发生了变更(步骤502)，在发生了变更的情况下，将位置信息(XY坐标系中的位置、方向、视角)发送至映射服务器101，在映射服务器101查询显示内容(步骤503)。另一方面，在未发生变更的情况下，反复从步骤501开始的处理。
在映射服务器101中，根据从移动终端102发送出的位置信息(XY坐标系中的位置、方向、视角)，确定基于上述的映射信息显示在图像上的设置物的标识符(装置ID等)，并检索与该设置物有关联的信息(步骤511)。接下来，计算用于显示与检索出的设置物有关的信息的描绘区域(ST坐标系)中的显示坐标和显示字符串、图标显示属性(步骤512)。而且，发送在移动终端计算出的信息、以及设置物标签的有无(其他的显示信息的有无)的信息(步骤513)。
在从映射服务器101接受了上述的信息的移动终端102中，基于显示坐标和显示字符串、图标显示属性等信息来进行描绘处理，基于显示字符串、图标显示属性，来在移动终端102的显示画面上的由显示坐标指定的位置显示由映射服务器101检索出的与设置物有关的信息(步骤504)。
将此时的显示画面的例子示于图8。在图8所示的显示画面的例子中，以在显示画面上显示的半导体制造装置不与该半导体制造装置的装置名称(装置A～装置D)的标签重叠的方式，例如从接近的物体开始依次将T自加1来显示，并且将拆下格栅的一部分而成为开口的部分显示为“格栅开口”。此外，“格栅开口”成为显示危险的状态的信息，所以形成与装置名称的显示不同的显示，例如与装置名称的显示的颜色不同颜色的显示(例如相对于装置名称的显示是黄色的显示而是红色的显示)等。此外，在图8所示的显示画面的例子中，示有在一个显示画面显示有多个半导体制造装置的例子，但也可以站在1台半导体制造装置的前面等，仅拍摄1台半导体制造装置，并仅将该半导体制造装置的信息显示到显示画面上。
接下来，在移动终端102中，更新扩张显示信息(步骤505)，之后，判定是否结束(步骤506)，在未结束的情况下反复从步骤501开始的处理。另一方面，在结束的情况下，结束处理(步骤507)。
另外，在上述的处理之后，如图7所示，在移动终端102中，点击其显示画面上的特定位置，若点击的处理程序起动(步骤601)，则在点击位置(S，T)检索扩张显示信息并确定设置物(步骤602)。
而且，判定与该设置物对应的设置物标签的有无(步骤603)，在有对应的设置物标签的情况下，在映射服务器101查询显示内容(步骤604)，基于从映射服务器101发送出的信息来进行描绘处理并进行信息的显示(步骤605)。在该情况下，作为显示的内容，例如，是设置物的大小、三维形状、关联文档(操作手册等)，在是半导体制造装置的情况下，是报警状况、运转状况、方法名称、方法的内容、运转率的推移，在是搬运臂的情况下，是运转状况、移动源、移动目的地等。另一方面，在没有对应的设置物标签的情况下，结束处理。
优选地，上述移动终端102具有按照每个利用者选择显示模式并能够自定义显示(通知)信息(危险位置信息、装置信息等)的功能。在该情况下，例如，能够为如下那样的显示模式和显示信息。
安全巡视模式：CR内报警通知、危险位置信息(格栅开口信息)更新通知
线路工程师模式：CR内报警通知、危险位置信息(格栅开口信息)更新通知、工序报警通知、维护周期预告通知
FE模式：CR内报警通知、危险位置信息(格栅开口信息)更新通知、工序结束预告通知
操作人员模式：CR内报警通知、危险位置信息(格栅开口信息)更新通知
如上述那样，通过按照每个利用者来选择显示模式并自定义显示信息(危险位置信息、装置状态等)，能够根据利用者来显示所需要的显示信息。
另外，优选上述移动终端102具有将利用数码相机102b拍摄的图像信息、和与拍摄的位置有关的位置信息以及方向信息发送至映射服务器101，更新在存储单元103存储的各种信息，对信息进行共享化的功能。
例如，在映射服务器101产生了没有信息的新的“格栅开口部”的情况下，该信息是表示危险的信息(危险位置信息)，所以优选在洁净室的入室者之间进行共享化。在该情况下，利用移动终端102的数码相机102b拍摄“格栅开口部”。将该拍摄到的图像信息和位置信息以及方向信息发送至映射服务器101。此时，优选地，移动终端102内的图像信息为了安全，而自动地被消除，防止图像信息被带到外部。
映射服务器101根据从移动终端102发送出的图像信息、和位置信息以及方向信息，更新与映射信息以及设置物信息的“格栅开口部”有关的信息。而且，将更新后的信息发送至各移动终端102，并将更新信息显示于各移动终端102。
因此，在映射服务器101存在没有信息的“格栅开口部”的情况下等，携带各移动终端102的利用者能够共享与该“格栅开口部”有关的信息。
此外，在洁净室内无法使用网络的情况下，也可以在离开洁净室时，使移动终端102接近配设在出入口附近的NFC标签，以此为触发而起动移动终端102的应用程序软件，将拍摄到的图像信息和位置信息以及方向信息发送至映射服务器101，消除移动终端102内的图像信息。在该情况下，映射服务器101也根据从移动终端102发送的图像信息、位置信息，来更新映射信息以及设置物信息的与“格栅开口部”有关的信息。而且，将更新后的信息发送至各移动终端102，并将更新信息显示于各移动终端102。
另外，在移动终端102中，也可以按照以下的方式获得位置信息。即，在进入洁净室时将映射信息(半导体制造设备的标识符(ID)、和位置信息的字符串数据)下载到移动终端102。
而且，进入洁净室内，站在半导体制造设备(半导体制造装置110)的前面获得其标识符(ID)信息。该标识符(ID)信息例如能够通过如下的任意的方法获取。
以特定的图案、颜色点亮半导体制造装置110的信号塔，利用移动终端102的数码相机102b识别半导体制造装置110的信号塔来获得其标识符(ID)信息的方法。
在半导体制造装置110的画面上显示QR代码，利用移动终端102的数码相机102b识别该QR代码来获得其标识符(ID)信息的方法。
半导体制造装置110带有收纳了其标识符(ID)信息的NFC标签，使移动终端102接近该NFC标签从而获得标识符(ID)信息的方法。
从半导体制造装置110发出特定的蜂鸣，利用移动终端102的话筒识别该蜂鸣从而根据蜂鸣的种类推断其标识符(ID)信息的方法。
利用移动终端102的数码相机102b拍摄半导体制造装置110的顶部画面，将装置状态(报警、执行方法名称等)与装置数据组管理服务器112的信息进行比较来获得半导体制造装置110的标识符(ID)信息的方法。
而且，在移动终端102，根据在进入时下载的映射信息(标识符(ID)和位置信息的字符串数据)、以及半导体制造装置110的标识符(ID)信息来把握当前位置。另外，在从该位置开始移动时，基于上述的六轴传感器(三轴地磁传感器和三轴加速度传感器)等的值，预测当前的位置。
另外，预先在洁净室内的特定点标记NFC标签，在进入洁净室时将映射信息(特定点和位置信息的字符串数据)下载到移动终端102。而且，在进入到洁净室内时，使移动终端102接近特定点的NFC标签，从而把握当前位置。在该情况下，在从该位置开始移动时，基于六轴传感器(三轴地磁传感器和三轴加速度传感器)等传感器等的值，预测当前的位置。
另外，一般地，洁净室内，从安全方面考虑在网络、移动终端的利用上具有限制。因此，优选在上述的制造设备的监视装置100中，具有在持有移动终端102进入洁净室内时，核对移动终端102能否带入洁净室内的功能。
该情况下，在进入洁净室内时，使移动终端102接近认证用的NFC标签。以与该NFC标签的通信为触发而起动移动终端102内的认证功能，若在移动终端102内具有“许可OK信息”，则能够利用应用程序软件，移至洁净室内使用模式。在该情况下，为
蓝牙：关闭
3G：关闭
GPS：关闭等。
另外，在移动终端102内没有“许可OK信息”的情况下，针对装置数据组管理服务器112，通过对移动终端102的MAC地址等核对等来进行确认。在该移动终端102不能被带入洁净室内的情况下，不能利用该移动终端102的应用程序软件(设备功能无效化)，
照相机功能无效化
蓝牙：关闭
3G：关闭
GPS：关闭等。
另外，移动终端102具有在利用数码相机102b拍摄了特定的半导体制造装置110时，移动终端102的显示器就像该半导体制造装置110的打开的窗那样，能够将装置内部的状态作为图像来观察的功能。这能够通过对由移动终端102拍摄到的图像和配设在半导体制造装置110的内部的照相机的图像进行合成并显示到移动终端102的显示器来实现。
该功能例如通过点击显示在移动终端102的显示器的半导体制造装置110的图像而被起动，通过摇动移动终端102(抖动方向)，能够显示摇动了配设在半导体制造装置110的内部的照相机所得的图像。因此，不用打开检修门，就能够确认装置内部的情况。
另外，移动终端102具有在利用数码相机102b拍摄了特定的半导体制造装置110时，能够显示没有该半导体制造装置110的状态的装置的背侧的状态的功能。即，以覆盖到AR空间的半导体制造装置110的表面的方式来投影测绘配设在半导体制造装置110的后面的照相机的映像，从而显示没有半导体制造装置110的状态的映像。该功能例如通过点击显示于移动终端102的显示器的半导体制造装置110的图像而被起动。因此能够进行成为死角的半导体制造装置110的背侧的安全确认等。
如上述那样，根据本实施方式，若利用移动终端102的数码相机102b拍摄半导体制造装置110等半导体制造设备，则能够与该拍摄图像重叠地显示该半导体制造装置110的装置名称、装置的状态、装置的操作手册等信息。另外，也能够对具有操作员等坠落的危险性的格栅的开口等的危险位置信息进行显示。因此，与以往相比能够容易地获取更多的与半导体制造设备有关的信息。
此外，本发明并不局限于上述的实施方式，当然能够进行各种变形。
本发明的制造设备的监视装置以及监视方法能够利用在半导体器件、平板显示器用基板或者太阳能电池板等的制造领域等。因此，具有工业上的可利用性。
附图标记的说明：100…制造设备的监视装置；101…映射服务器；102…移动终端；103…存储装置；110…半导体制造装置；111…搬运系统。

Claims (12)

1.一种制造设备的监视装置，通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的包含至少多个制造装置的制造设备，所述制造设备的监视装置的特征在于，
所述移动终端具有：
位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；
拍摄元件；
方向检测单元，其检测所述拍摄元件所朝向的方向；以及
显示单元，
所述服务器具有存储单元，该存储单元存储与所述工厂内的所述制造设备的布局有关的布局信息、和与所述制造设备有关的制造设备信息，
在所述拍摄元件朝向所述制造设备时，所述服务器基于通过所述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过所述方向检测单元检测到的方向信息、所述拍摄元件的视角以及所述布局信息，来确定所述拍摄元件所朝向的所述制造设备，
从所述存储单元提取确定出的所述制造设备的制造设备信息，
在所述显示单元显示提取出的所述制造设备信息的至少一部分。
2.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述移动终端将拍摄到的图像、通过所述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过所述方向检测单元检测到的方向信息发送至所述服务器，并能够更新所述制造设备信息。
3.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述移动终端通过选择显示模式，能够预先设定在所述显示单元显示的所述制造设备信息。
4.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述制造设备信息包含与格栅的开口部有关的信息。
5.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述制造设备信息包含与所述制造装置的运转率的推移有关的信息。
6.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述制造设备信息包含与所述制造装置的操作手册有关的信息。
7.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述制造设备信息包含与搬运系统中的搬运臂的位置有关的信息。
8.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述移动终端根据所述制造设备的识别信息和所述布局信息来检测该移动终端的位置。
9.根据权利要求1所述的制造设备的监视装置，其特征在于，
所述移动终端在利用所述拍摄元件拍摄了所述制造设备时，能够从所述服务器获取拍摄到的所述制造设备的内部的图像或者拍摄到的所述制造设备的后方的图像并显示。
10.一种制造设备的监视装置，通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备，所述制造设备的监视装置的特征在于，
所述移动终端具有：
位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；
获取所述制造设备的布局信息的单元；
拍摄元件；
方向检测单元，其检测所述拍摄元件所朝向的方向；以及
显示单元，
所述服务器具有存储单元，该存储单元存储与所述工厂内的所述制造设备有关的制造设备信息，
在所述拍摄元件朝向所述制造设备时，所述服务器基于通过所述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过所述方向检测单元检测到的方向信息、所述拍摄元件的视角以及所述布局信息，来确定所述拍摄元件所朝向的所述制造设备，
从所述存储单元提取确定出的所述制造设备的制造设备信息，
在所述显示单元显示提取出的所述制造设备信息的至少一部分。
11.一种制造设备的监视方法，是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的包含至少多个制造装置的制造设备的制造设备的监视方法，所述制造设备的监视方法的特征在于，
所述移动终端具有：
位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；
拍摄元件；
方向检测单元，其检测所述拍摄元件所朝向方向；以及
显示单元，
所述服务器具有存储单元，该存储单元存储与所述工厂内的所述制造设备的布局有关的布局信息、和与所述制造设备有关的制造设备信息，
在所述拍摄元件朝向所述制造设备时，所述服务器基于通过所述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过所述方向检测单元检测到的方向信息、所述拍摄元件的视角以及所述布局信息，来确定所述拍摄元件所朝向的所述制造设备，
从所述存储单元提取确定出的所述制造设备的制造设备信息，
在所述显示单元显示提取出的所述制造设备信息的至少一部分。
12.一种制造设备的监视方法，是通过服务器和能够与该服务器通信的移动终端来监视配设在工厂内的制造设备的制造设备的监视方法，所述制造设备的监视方法的特征在于，
所述移动终端具有：
位置信息获取单元，其获取与该移动终端的当前的位置有关的位置信息；
获取所述制造设备的布局信息的单元；
拍摄元件；
方向检测单元，其检测所述拍摄元件所朝向的方向；以及
显示单元，
所述服务器具有存储单元，该存储单元存储与所述工厂内的所述制造设备有关的制造设备信息，
在所述拍摄元件朝向所述制造设备时，所述服务器基于通过所述位置信息获取单元获取到的位置信息、通过所述方向检测单元检测到的方向信息、所述拍摄元件的视角以及所述布局信息，来确定所述拍摄元件所朝向的所述制造设备，
从所述存储单元提取确定出的所述制造设备的制造设备信息，
在所述显示单元显示提取出的所述制造设备信息的至少一部分。
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