CN104216221A - 感光性树脂组成物及其应用 - Google Patents
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Abstract
本发明是有关一种感光性树脂组成物及使用该组成物所形成的间隙体或保护膜及其液晶显示组件。上述感光性树脂组成物包含碱可溶性树脂(A),包括具有不饱和基的树脂(A-1),且所述具有不饱和基的树脂(A-1)是由一混合物进行聚合反应所制得,而所述混合物含有具有至少二个环氧基的环氧化合物(i),以及具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、溶剂(D)及有机酸(E)所组成,其中,所述有机酸(E)的分子量为1000以下。
Description
技术领域
本发明是有关一种感光性树脂组成物及使用该组成物所形成的间隙体或保护膜及其液晶显示组件。特别是提供一种分辨率与显影性佳的感光性树脂组成物及使用该组成物所形成的间隙体或保护膜及其液晶显示组件。
背景技术
一般而言,彩色滤光层表面的彩色印刷像素与黑色矩阵会产生凹凸不平之处,一般于彩色滤光层的表面形成保护膜,以此隐藏不平之处,进而达到平坦化的要求。
在制造液晶显示组件或固态成像装置等光学组件中,会遇到严苛条件下的处理程序,例如在基板表面以酸性溶剂或碱性溶液浸泡的处理或以溅镀(Sputtering)形成配线电极层时,会造成局部高温的产生。因此,需于这些组件的表面上铺设保护膜,以防止制造时组件受损。为使保护膜具有抵御上述处理的特性,该保护膜需要与基板间具有优异的附着力、也需具有高透明度、高表面硬度与平滑的表面,而高耐热性与耐旋光性,可令保护膜于长期使用下不会有变色、黄化或白化等变质情况发生,此外,该保护膜还需具有良好的耐水性、耐化性、耐溶剂性、耐酸性、耐碱性等特性。
另一方面,在现有技术中,彩色液晶显示组件中,为了维持两个基板间固定的层间距(细胞间隙),于整个基板上随机喷洒如聚苯乙烯珠或硅珠,其中该珠的直径为两基板间的间距。然而,此现有方式因喷珠的位置及密度分布并不均匀,造成背光源的光线受喷珠影响而散射,进一步使得显示组件的对比度降低。因此,以光微影工艺(Photolithography)方式所开发出的间隙体用感光性组成物,遂成为业界的主流。该间隙体的形成方式,是将该间隙体用的感光性组成物先涂布至基板,再于基板与曝光源间放入一指定形状光罩,可于曝光后再经显影形成一间隙体。依据此方法,可于R、G、B有效像素外的指定位置上形成间隙体,以解决现有技术的问题;细胞间隙也可利用感光性成分形成的涂膜厚度来控制,使细胞间隙的距离变得容易控制,具有精度高的优点。
现今该保护膜及间隙体通常都以感光性树脂组成物经涂布、曝光、显影等工艺而形成。
由于该保护膜或间隙体形成于彩色滤光片或是基板上,对透明度的要求极高。若保护膜或间隙体的透明度不佳,当应用于液晶显示组件时,将造成液晶显示组件的亮度不 足,而影响液晶显示组件的显示质量。
为提高保护膜或间隙体的透明度,日本特开2010-054561号专利揭示一保护膜用的感光组成物,其包含(A)碱可溶性黏结树脂;(B)乙烯性不饱和基的化合物;(C)光起始剂;及(D)溶剂;其中该(B)乙烯性不饱和基的化合物中不饱和键的结合当量为介于90至450g/eq,且(B)乙烯性不饱和基的化合物中,单一化合物的不饱和双键为介于2至4个之间,及该(A)碱可溶性黏结树脂的重量平均分子量为介于10000至20000间。另一方面,日本特开2004-240241号专利揭示一感光组成物,其包含(A)共聚合物,该共聚物是由乙烯性不饱合羧酸(酐)、具有环氧基的乙烯性不饱合基的化合物及其他乙烯性不饱合基的化合物;(B)乙烯性不饱合基的聚合物所共聚合而得;及(C)光起始剂,其为2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(O-肟醋酸盐)、1,2-丁二酮-1-(4-吗啉基苯基)-2-(O-苯甲酰肟)、1,2-辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[O-(4-甲基苯甲酰)肟]或其类似物。然而此等感光性组成物虽可制得高透明性的保护膜或间隙体,但却有分辨率与显影性不佳的缺点。
由于上述这些原因,目前仍有需要发展一种分辨率与显影性佳的保护膜及间隙体制造用感光性树脂组成物。
发明内容
本发明利用提供特殊的碱可溶性树脂及有机酸成分,而得到一种分辨率与显影性佳的保护膜及间隙体制造用感光性树脂组成物。
因此,本发明是有关一种感光性树脂组成物,其包含:碱可溶性树脂(A),包括具有不饱和基的树脂(A-1),且所述具有不饱和基的树脂(A-1)是由一混合物进行聚合反应所制得,而所述混合物含有具有至少二个环氧基的环氧化合物(i),以及具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii);
含乙烯性不饱和基的化合物(B);
光起始剂(C);
溶剂(D);及
有机酸(E);
其中,所述有机酸(E)的分子量为1000以下。
本发明所提供的感光性树脂组成物中,优选地,具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)具有如下结构式(1)或(2)所示的结构:
其中:
R1至R4是独立表示氢原子、卤素原子、C1至C5的烷基、C1至C5的烷氧基、C6至C12的芳香基或C6至C12的芳烷基;
其中:
R5至R18是独立表示氢原子、卤素原子、C1至C8的烷基或C6至C15的芳香基;及
n表示0至10的整数。
本发明所提供的感光性树脂组成物中,优选地,所述碱可溶性树脂(A)另包含碱可溶性树脂(A-2),且所述碱可溶性树脂(A-2)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和化合物(a2)及/或其他不饱和化合物(a3)所共聚合而得。
本发明所提供的感光性树脂组成物中,优选地,所述有机酸(E)是选自脂肪族羧酸、脂环族羧酸、芳香族羧酸所组成的群组中的至少一种。
本发明所提供的感光性树脂组成物中,优选地,基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,所述具有不饱和基的树脂(A-1)的使用量为30至100重量份;所述含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30至300重量份;所述光起始剂(C)的使用量为10至80重量份;所述溶剂(D)的使用量为200至1200重量份;所述有机酸(E)的使用量为1至10重量份。
本发明所提供的感光性树脂组成物中,优选地,基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,所述碱可溶性树脂(A-2)的使用量为0至70重量份。
本发明还提供了一种于一基板上形成薄膜的方法,其包含使用前述的感光性树脂组成物施予所述基板上;较佳地,所述薄膜为保护膜或间隙体。
本发明还提供了一种基板上的薄膜,其是由前述的方法所制得。
本发明还提供了一种液晶显示组件,是包含前述的薄膜的液晶组件。
具体实施方式
本发明是有关一种感光性树脂组成物,其包含:
碱可溶性树脂(A),包括具有不饱和基的树脂(A-1),且所述具有不饱和基的树脂(A-1)是由一混合物进行聚合反应所制得,而所述混合物含有具有至少二个环氧基的环氧化合物(i),以及具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii);
含乙烯性不饱和基的化合物(B);
光起始剂(C);
溶剂(D);及
有机酸(E);
其中,有机酸(E)的分子量为1000以下。
根据本发明的碱可溶性树脂(A)包含具有不饱和基的树脂(A-1),此具有不饱和基的树脂(A-1)是由一混合物进行聚合反应所制得,且此混合物包含具有至少二个环氧基的环氧化合物(i),以及具有至少一个羧酸基与至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)。除此之外,前述的混合物更可选择性包含羧酸酐化合物(iii)及/或含环氧基的化合物(iv)。
在本发明的一具体例中,具有不饱和基的树脂(A-1)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)具有如下结构式(1)所示的结构:
其中:
R1至R4是独立表示氢原子、卤素原子、C1至C5的烷基、C1至C5的烷氧基、C6至C12的芳香基或C6至C12的芳烷基。
前述结构式(1)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)可包括但不限于由双酚芴型化合物(bisphenol fluorene)与卤化环氧丙烷(epihalohydrin)反应而得的含环氧基的双酚芴型化合物。
从广义上说,上述的双酚芴型化合物的具体例如:9,9-双(4-羟基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxyphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-甲基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-methylphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-氯苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-chlorophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-溴苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-bromophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-氟苯基)芴 [9,9-bis(4-hydroxy-3-fluorophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3-methoxyphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3,5-二甲基苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dimethylphenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3,5-二氯苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dichlorophenyl)fluorene]、9,9-双(4-羟基-3,5-二溴苯基)芴[9,9-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)fluorene]等化合物。
上述适合的卤化环氧丙烷(epihalohydrin)可包括但不限于3-氯-1,2-环氧丙烷(epichlorohydrin)或3-溴-1,2-环氧丙烷(epibromohydrin)等。
上述所得的含环氧基的双酚芴型化合物包含但不限于(1)新日铁化学制造的商品:例如ESF-300等;(2)大阪瓦斯制造的商品:例如PG-100、EG-210等;(3)S.M.S Technology Co.制造的商品:例如SMS-F9PhPG、SMS-F9CrG、SMS-F914PG等。
在本发明的另一具体例中,具有不饱和基的树脂(A-1)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)具有如下结构式(2)所示的结构:
其中:
R5至R18是独立表示氢原子、卤素原子、C1至C8的烷基或C6至C15的芳香基;及
n表示0至10的整数。
前述结构式(2)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)可例如在碱金属氢氧化物存在下,使具有下式(2-1)结构的化合物与卤化环氧丙烷进行反应而得:
在上结构式(2-1)中,R5至R18以及n的定义分别与结构式(2)中的R5至R18以及n的定义相同,在此不另赘述。
而且,前述结构式(2)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)是在酸催化剂存在下,使用具有下结构式(2-2)结构的化合物与酚(phenol)类进行缩合反应后,形成具有结构式(2-1)结构的化合物。接着,加入过量的卤化环氧丙烷进行脱卤化氢反应(dehydrohalogenation),而得结构式(II)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i):
在上结构式(2-2)中,R19与R20分别为相同或不同的氢原子、卤素原子、C1至C8的烷基或C6至C15的芳香基;X1及X2分别为相同或不同的卤素原子、C1至C6的烷基或C1至C6的烷氧基。较佳地,前述的卤素原子可例如氯或溴,前述的烷基可例如甲基、乙基或叔丁基,前述的烷氧基可例如甲氧基或乙氧基。
上述适合的酚类的具体例如:酚(phenol)、甲酚(cresol)、乙酚(ethylphenol)、n-丙酚(n-propylphenol)、异丁酚(isobutylphenol)、t-丁酚(t-butylphenol)、辛酚(octylphenol)、壬基苯酚(nonylphenol)、茬酚(xylenol)、甲基丁基苯酚(methylbutylphenol)、二叔丁基酚(di-t-butylphenol)、乙烯苯酚(vinylphenol)、丙烯苯酚(propenylphenol)、乙炔苯酚(ethinylphenol)、环戊苯酚(cyclopentylphenol)、环己基酚(cyclohexylphenol)或环己基甲酚(cyclohexylcresol)等。前述的酚类一般可单独一种或混合多种使用。
基于上述具有结构式(2-2)结构的化合物的使用量为1摩尔,该酚类的使用量为0.5摩尔至20摩尔,然以2摩尔至15摩尔为较佳。
前述的酸催化剂的具体例如:盐酸、硫酸、对甲苯磺酸(p-toluenesulfonic acid)、草酸(oxalic acid)、三氟化硼(boron trifluoride)、无水氯化铝(aluminium chloride anhydrous)、氯化锌(zinc chloride)等,然以对甲苯磺酸、硫酸或盐酸为较佳。前述的酸催化剂可单独一种或混合多种使用。
另外,前述的酸催化剂的使用量虽无特别的限制,但较佳地,基于上述具有结构式(2-2)结构的化合物的使用量为100重量百分比(wt%),酸催化剂的使用量为0.1wt%至30wt%。
前述的缩合反应可在无溶剂或是在有机溶剂的存在下进行。其次,上述的有机溶剂的具体例如:甲苯(toluene)、二甲苯(xylene)或甲基异丁基酮(methyl isobutyl ketone)等。上述的有机溶剂可单独一种或混合多种使用。
基于具有结构式(2-2)结构的化合物及酚类的总重量为100wt%,上述的有机溶剂的使用量为50wt%至300wt%,然以100wt%至250wt%为较佳。另外,前述的缩合反应的操作温度为40℃至180℃,且缩合反应的操作时间为1小时至8小时。
在完成前述的缩合反应后,可进行中和处理或水洗处理。前述的中和处理是将反应 后的溶液的pH值调整为pH3至pH7,然以pH5至pH7为较佳。前述的水洗处理可使用中和剂来进行,其中此中和剂为碱性物质,且其具体例如:氢氧化钠(sodium hydroxide)、氢氧化钾(potassium hydroxide)等碱金属氢氧化物;氢氧化钙(calcium hydroxide)、氢氧化镁(magnesium hydroxide)等碱土类金属氢氧化物;二乙烯三胺(diethylene triamine)、三乙烯四胺(triethylenetetramine)、苯胺(aniline)、苯二胺(phenylene diamine)等有机胺;以及氨(ammonia)、磷酸二氢钠(sodium dihydrogen phosphate)等。前述的水洗处理可采用现有方法进行,例如,在反应后的溶液中,加入含中和剂的水溶液,反复进行萃取即可。经中和处理或水洗处理后,经减压加热处理,将未反应的酚类及溶剂予以馏除,并进行浓缩,即可获得具有式(II-1)结构的化合物。
上述适合的卤化环氧丙烷的具体例如:3-氯-1,2-环氧丙烷、3-溴-1,2-环氧丙烷或上述的任意组合。在进行前述的脱卤化氢反应之前,可预先添加或于反应过程中添加氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属氢氧化物。前述的脱卤化氢反应的操作温度为20℃至120℃,其操作时间范围为1小时至10小时。
在一实施例中,上述脱卤化氢反应中所添加的碱金属氢氧化物也可使用其水溶液。在此实施例中,将上述的碱金属氢氧化物水溶液连续添加至脱卤化氢反应系统内的同时,可于减压或常压下,连续蒸馏出水及卤化环氧丙烷,藉此分离并除去水,同时可将卤化环氧丙烷连续地回流至反应系统内。
上述的脱卤化氢反应进行前,也可添加氯化四甲铵(tetramethyl ammonium chloride)、溴化四甲铵(tetramethyl ammonium bromide)、三甲基苄基氯化铵(trimethyl benzyl ammonium chloride)等的四级铵盐作为催化剂,并在50℃至150℃下,反应1小时至5小时,再加入碱金属氢氧化物或其水溶液,于20℃至120℃的温度下,其使反应1小时至10小时,以进行脱卤化氢反应。
基于上述的具有结构式(2-1)结构的化合物中的羟基总当量为1当量,上述的卤化环氧丙烷的使用量为1当量至20当量,然以2当量至10当量为较佳。基于上述的具有结构式(2-1)结构的化合物中的羟基总当量为1当量,上述的脱卤化氢反应中添加的碱金属氢氧化物的使用量为0.8当量至15当量,然以0.9当量至11当量为较佳。
此外,为了使上述的脱卤化氢反应顺利进行,也可添加甲醇、乙醇等醇类之外,也可添加二甲砜(dimethyl sulfone)、二甲亚砜(dimethyl sulfoxide)等非质子性(aprotic)的极性溶媒等来进行反应。在使用醇类的情况下,基于上述的卤化环氧丙烷的总量为100wt%,醇类的使用量为2wt%至20wt%。然以4wt%至15wt%为较佳。在使用非质子性的极 性溶媒的例子中,基于卤化环氧丙烷的总量为100wt%,非质子性的极性溶媒的使用量为5wt%至100wt%然以10wt%至90wt%为较佳。
在完成脱卤化氢反应后,可选择性地进行水洗处理。之后,利用加热减压的方式,例如于温度为110℃至250℃且压力为1.3kPa(10mmHg)以下,除去卤化环氧丙烷、醇类及非质子性的极性溶媒等。
为了避免形成的环氧树脂含有加水分解性卤素,可将脱卤化氢反应后的溶液加入甲苯、甲基异丁基酮(methyl isobutyl ketone)等溶剂,并加入氢氧化钠、氢氧化钾等碱金属氢氧化物水溶液,再次进行脱卤化氢反应。在脱卤化氢反应中,基于上述的具有结构式(2-1)结构的化合物中的羟基总当量为1当量,碱金属氢氧化物的使用量为0.01摩尔至0.3摩尔,然以0.05摩尔至0.2摩尔为较佳。另外,上述的脱卤化氢反应的操作温度范围为50℃至120℃,且其操作时间范围为0.5小时至2小时。
在完成脱卤化氢反应后,通过过滤及水洗等步骤去除盐类。此外,可利用加热减压的方式,将甲苯、甲基异丁基酮等溶剂予以馏除,则可得到如结构式(2)所示的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)。上述结构式(2)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)可包含但不限于例如商品名为NC-3000、NC-3000H、NC-3000S及NC-3000P等日本化药制的商品。
在本发明的一具体例中,该具有不饱和基的树脂(A-1)的该具有至少一个羧酸基与至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)是选自于由以下(1)至(3)所组成的一族群:(1)丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯酰氧乙基丁二酸(2-methacryloyloxyethylbutanedioic acid)、2-甲基丙烯酰氧丁基丁二酸、2-甲基丙烯酰氧乙基己二酸、2-甲基丙烯酰氧丁基己二酸、2-甲基丙烯酰氧乙基六氢邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧乙基马来酸、2-甲基丙烯酰氧丙基马来酸、2-甲基丙烯酰氧丁基马来酸、2-甲基丙烯酰氧丙基丁二酸、2-甲基丙烯酰氧丙基己二酸、2-甲基丙烯酰氧丙基四氢邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧丙基邻苯二甲酸、2-甲基丙烯酰氧丁基邻苯二甲酸,或2-甲基丙烯酰氧丁基氢邻苯二甲酸;(2)由含羟基的(甲基)丙烯酸酯与二元羧酸化合物反应而得的化合物,其中二元羧酸化合物包含但不限于己二酸、丁二酸、马来酸、邻苯二甲酸;(3)由含羟基的(甲基)丙烯酸酯与羧酸酐化合物(iii)反应而得的半酯化合物,其中含羟基的(甲基)丙烯酸酯包含但不限于2-羟基乙基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)acrylate]、2-羟基乙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxyethyl)methacrylate]、2-羟基丙基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)acrylate]、2-羟基丙基甲基丙烯酸酯[(2-hydroxypropyl)methacrylate],4-羟基丁基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)acrylate]、4-羟基 丁基甲基丙烯酸酯[(4-hydroxybutyl)methacrylate],或季戊四醇三甲基丙烯酸酯等。另外,此处所述的羧酸酐化合物可与前述具有不饱和基的树脂(A-1)的混合物所含的羧酸酐化合物(iii)相同,故不另赘述。
正如前述,上述具有不饱和基的树脂(A-1)的混合物更可选择性包含羧酸酐化合物(iii)及/或含环氧基的化合物(iv)。前述的羧酸酐化合物(iii)可选自于由以下(1)至(2)所组成的一族群:(1)丁二酸酐(butanedioic anhydride)、顺丁烯二酸酐(maleic anhydride)、衣康酸酐(Itaconic anhydride)、邻苯二甲酸酐(phthalic anhydride)、四氢邻苯二甲酸酐(tetrahydrophthalic anhydride)、六氢邻苯二甲酸酐(hexahydrophthalic anhydride)、甲基四氢邻苯二甲酸酐、甲基六氢邻苯二甲酸酐、甲基桥亚甲基四氢邻苯二甲酸酐(methyl endo-methylene tetrahydro phthalic anhydride)、氯茵酸酐(chlorendic anhydride)、戊二酸酐或偏三苯甲酸酐(1,3-dioxoisobenzofuran-5-carboxylic anhydride)等二元羧酸酐化合物;以及(2)二苯甲酮四甲酸二酐(benzophenone tetracarboxylic dianhydride,简称BTDA)、双苯四甲酸二酐或双苯醚四甲酸二酐等四元羧酸酐化合物。
前述的含环氧基的化合物(iv)是选自于甲基丙烯酸环氧丙酯、3,4-环氧基环己基甲基丙烯酸酯、含不饱和基的缩水甘油醚化合物、含环氧基的不饱和化合物或上述的任意组合所组成的一族群。前述含不饱和基的缩水甘油醚化合物包含但不限于商品名Denacol EX-111、EX-121Denacol、Denacol EX-141、Denacol EX-145、Denacol EX-146、Denacol EX-171、Denacol EX-192等(以上为长濑化成工业株式会社的商品)。
前述具有不饱和基的树脂(A-1)可由结构式(1)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)与具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)进行聚合反应,形成一含羟基的反应产物,接着,再添加羧酸酐化合物(iii)进行反应所制得。较佳地,基于前述的含羟基的反应产物的羟基总当量为1当量,羧酸酐化合物(iii)所含有的酸酐基的当量为0.4当量至1当量,然以0.75当量至1当量为较佳。当使用多个羧酸酐化合物(iii)时,可于反应中依序添加或同时添加。较佳地,羧酸酐化合物(iii)是使用二元羧酸酐化合物及四元羧酸酐化合物时,二元羧酸酐化合物及四元羧酸酐化合物的摩尔比例为1/99至90/10,然以5/95至80/20为较佳。另外,上述反应的操作温度范围为50℃至130℃。
前述具有不饱和基的树脂(A-1)可由结构式(2)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)与具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)进行反应,形成一含羟基的反应产物,接着,再添加羧酸酐化合物(iii)及/或含环氧基的化合物(iv)进行聚合反应所制得。较佳地,基于式(II)的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)上的环氧基总当量为 1当量,前述的具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)的酸价当量为0.8当量至1.5当量,然以0.9当量至1.1当量为较佳。基于前述的含羟基的反应产物的羟基总量为100摩尔百分比(摩尔%),羧酸酐化合物(iii)的使用量为10摩尔%至100摩尔%,然而以20摩尔%至100摩尔%为较佳,又以30摩尔%至100摩尔%为更佳。
在制备前述的具有不饱和基的树脂(A-1)时,为加速反应,通常会于反应溶液中添加碱性化合物作为反应催化剂。前述的反应催化剂可单独或混合使用,且前述的反应催化剂包含但不限于三苯基膦(triphenyl phosphine)、三苯基锑(triphenyl stibine)、三乙胺(triethylamine)、三乙醇胺(triethanolamine)、氯化四甲基铵(tetramethylammonium chloride)、氯化苄基三乙基铵(benzyltriethylammonium chloride)等。较佳地,基于前述的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)与具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)的总重量为100重量份,反应催化剂的使用量为0.01重量份至10重量份,然以0.3重量份至5重量份为较佳。
此外,为了控制聚合度,通常还会于反应溶液中添加阻聚剂。上述的阻聚剂可包含但不限于甲氧基酚(methoxyphenol)、甲基氢醌(methylhydroquinone)、氢醌(hydroquinone)、2,6-二叔三丁基对甲酚(2,6-di-t-butyl-p-cresol),或吩噻嗪(phenothiazine)等。上述的阻聚剂一般可单独一种或混合多种使用。基于前述的具有至少二个环氧基的环氧化合物(i)与具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物(ii)的总重量为100重量份,阻聚剂的使用量为0.01重量份至10重量份,然以0.1重量份至5重量份为较佳。
在制备该具有不饱和基的树脂(A-1)时,必要时可使用聚合反应溶剂。前述的聚合反应溶剂的具体例如:乙醇、丙醇、异丙醇、丁醇、异丁醇、2-丁醇、己醇或乙二醇等醇类化合物;甲乙酮或环己酮等酮类化合物;甲苯或二甲苯等芳香族烃类化合物;赛珞素或丁基赛珞素(butyl cellosolve)等赛珞素(cellosolve)类化合物;卡必妥或丁基卡必妥等卡必妥类化合物;丙二醇单甲醚等丙二醇烷基醚类化合物;二丙二醇单甲醚[di(propylene glycol)methyl ether]等多丙二醇烷基醚[poly(propylene glycol)alkyl ether]类化合物;醋酸乙酯、醋酸丁酯、乙二醇乙醚醋酸酯(ethylene glycol monoethyl ether acetate)或丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate)等醋酸酯类化合物;乳酸乙酯(ethyl lactate)或乳酸丁酯(butyl lactate)等乳酸烷酯(alkyl lactate)类化合物;或二烷基二醇醚类。前述的聚合反应溶剂一般可单独一种或混合多种使用。另外,前述的具有不饱和基的树脂(A-1)的酸价为50mgKOH/g至200mgKOH/g,然以60mgKOH/g至150mgKOH/g为较佳。
基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,前述具有不饱和基的树脂(A-1)的使 用量为30重量份至100重量份,然以40重量份至100重量份为较佳,又以50重量份至100重量份为更佳。倘若完全无使用具有不饱和基的树脂(A-1)时,则所得的感光树脂组成物会有分辨率不佳的缺点。
根据本发明的碱可溶性树脂较佳是另包含碱可溶性树脂(A-2)。若同时并用碱可溶性树脂(A-1)及(A-2),则可进一步改善分辨率。
本文中所使用的“(甲基)丙烯酸”一词表示丙烯酸及/或甲基丙烯酸;“(甲基)丙烯酰基”一词表示丙烯酰基及/或甲基丙烯酰基;“(甲基)丙烯酸酯”一词表示丙烯酸酯及/或甲基丙烯酸酯。
根据本发明的碱可溶性树脂(A-2)是指可溶于碱性水溶液中的树脂,其构造并无特别限制,在本发明的一较佳具体例中,该碱可溶性树脂(A-2)是指含羧酸基的树脂、苯酚-酚醛清漆(phenol-novolac)树脂等,更佳地,该碱可溶性树脂(A-2)是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)、含环氧基的不饱和化合物(a2)及/或其他不饱和化合物(a3)在适当的聚合起始剂存在下于溶剂中所共聚合而得。
根据本发明的不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)的构成比例为5至50重量份,较佳为8至45重量份,更佳为10至40重量份。不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)是指包含羧酸基或羧酸酐结构及聚合结合用的不饱和键的化合物,其结构并无特别限制,例如不饱和单羧酸化合物、不饱和二羧酸化合物、不饱和酸酐化合物、多环型不饱和羧酸化合物、多环型不饱和二羧酸化合物、多环型不饱和酸酐化合物。
在本发明的具体例中,不饱和单羧酸化合物为(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基六氢化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯、omega-羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯(商品名为ARONIX M-5300,东亚合成制)。
在本发明的具体例中,不饱和二羧酸化合物为马来酸、富马酸、甲基富马酸、衣康酸、柠康酸等。在本发明的具体例中,不饱和二羧酸酐化合物为前述不饱和二羧酸化合物的酸酐化合物。
在本发明的具体例中,多环型不饱和羧酸化合物为5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯。
在本发明的具体例中,多环型不饱和二羧酸化合物为5,6-二羧酸二环[2.2.1]庚-2-烯。在本发明的具体例中,多环型不饱和二羧酸酐化合物为前述多环型不饱和二羧酸化合物 的酸酐化合物。
在本发明的较佳具体例中,不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)为丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯及2-甲基丙烯酰基乙氧基六氢化苯二甲酸。这些不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物(a1)可单独或混合多种使用。
本发明含环氧基的不饱和化合物(a2)的构成比例为10至50重量份,较佳为12至45重量份,更佳为15至40重量份。上述含环氧基的不饱和化合物(a2)的具体例为:含环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物、含环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物、环氧丙醚化合物。
在本发明的具体例中,含环氧基的(甲基)丙烯酸酯化合物为(甲基)丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-环氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯。
在本发明的具体例中,含环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物为α-乙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丁基丙烯酸环氧丙酯、α-乙基丙烯酸6,7-环氧庚酯。
在本发明的具体例中,环氧丙醚化合物为邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)、对-乙烯基苯甲基环氧丙醚(p-vinylbenzylglycidylether)。
本发明含环氧基的不饱和化合物(a2)较佳具体例为甲基丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚及对-乙烯基苯甲基环氧丙醚。
其他不饱和化合物(a3)的构成比例为0至85重量份,较佳为10至80重量份,更佳为20至75重量份。其他不饱和化合物(a3)的具体例为(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂环族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不饱和二羧酸二酯、(甲基)丙烯酸羟烷酯、(甲基)丙烯酸酯的聚醚、芳香乙烯化合物及其他不饱和化合物。
在本发明的具体例中,(甲基)丙烯酸烷基酯为(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸二级丁酯、(甲基)丙烯酸三级丁酯。
在本发明的具体例中,(甲基)丙烯酸脂环族酯为(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基环己酯、三环[5.2.1.02,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯(或称为(甲基)丙烯酸双环戊酯)、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯。
在本发明的具体例中,(甲基)丙烯酸芳基酯为(甲基)丙烯酸苯基酯、甲基丙烯酸苯甲酯。
在本发明的具体例中,不饱和二羧酸二酯为马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯。
在本发明的具体例中,(甲基)丙烯酸羟烷酯为(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯。
在本发明的具体例中,(甲基)丙烯酸酯的聚醚为聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯。
在本发明的具体例中,芳香乙烯化合物为苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间-甲基苯乙烯,对-甲基苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯。
在本发明的具体例中,其他不饱和化合物为丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-环己基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-芐基马来酰亚胺、N-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸酯、N-丁二酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、N-丁二酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸酯、N-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯、N-(9-吖啶基)马来酰亚胺。
本发明的其他不饱和化合物(a3)较佳具体例为(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸三级丁酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯。根据本发明其他不饱和化合物(a3)可单独或组合使用。
本发明的碱可溶性树脂(A-2)在制造时所使用溶剂的具体例为醇、醚、二醇醚、乙二醇烷基醚醋酸酯、二乙二醇、二丙二醇、丙二醇单烷基醚、丙二醇烷基醚醋酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳香烃、酮、酯。
在本发明的具体例中,醇为甲醇、乙醇、苯甲醇、2-苯乙醇、3-苯基-1-丙醇。
在本发明的具体例中,醚为四氢呋喃。
在本发明的具体例中,二醇醚为乙二醇单丙醚、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚。
在本发明的具体例中,乙二醇烷基醚醋酸酯为乙二醇丁醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、乙二醇甲醚醋酸酯。
在本发明的具体例中,二乙二醇为二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇甲乙醚。
在本发明的具体例中,二丙二醇为二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、二丙二醇甲乙醚。
在本发明的具体例中,丙二醇单烷基醚为丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单 丙醚、丙二醇单丁醚。
在本发明的具体例中,丙二醇烷基醚醋酸酯为丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、丙二醇丁醚醋酸酯。
在本发明的具体例中,丙二醇烷基醚丙酸酯为丙二醇甲醚丙酸酯、丙二醇乙醚丙酸酯、丙二醇丙醚丙酸酯、丙二醇丁醚丙酸酯。
在本发明的具体例中,芳香烃为甲苯、二甲苯。
在本发明的具体例中,酮为甲乙酮、环己酮、二丙酮醇。
在本发明的具体例中,酯为乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、2-羟基丙酸乙酯、2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、羟乙酸甲酯、羟乙酸乙酯、羟乙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸丙酯、乳酸丁酯、3-羟基丙酸甲酯、3-羟基丙酸乙酯、3-羟基丙酸丙酯、3-羟基丙酸丁酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、乙氧基乙酸丙酯、乙氧基乙酸丁酯、丙氧基乙酸甲酯、丙氧基乙酸乙酯、丙氧基乙酸丙酯、丙氧基乙酸丁酯、丁氧基乙酸甲酯、丁氧基乙酸乙酯、丁氧基乙酸丙酯、丁氧基乙酸丁酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-甲氧基丙酸丁酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-乙氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸丁酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸甲酯、2-丁氧基丙酸乙酯、2-丁氧基丙酸丙酯、2-丁氧基丙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸丙酯、3-甲氧基丙酸丁酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸丙酯、3-乙氧基丙酸丁酯、3-丙氧基丙酸甲酯、3-丙氧基丙酸乙酯、3-丙氧基丙酸丙酯、3-丙氧基丙酸丁酯、3-丁氧基丙酸甲酯、3-丁氧基丙酸乙酯、3-丁氧基丙酸丙酯、3-丁氧基丙酸丁酯。
本发明的碱可溶性树脂(A-2)在制造时所使用溶剂较佳为二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯。根据本发明碱可溶性树脂(A-2)在制造时所使用溶剂可单独或组合使用。
根据本发明的碱可溶性树脂(A-2)在制造时所使用的聚合起始剂,其具体例为偶氮化合物或过氧化物。
偶氮化合物的具体例为2,2’-偶氮双异丁腈、2,2’-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮双(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2’-偶氮双-2-甲基丁腈、4,4’-偶氮双(4-氰基戊酸)、二甲基2,2’-偶氮双(2-甲基丙酸酯)、2,2’-偶氮双(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)。
过氧化物的具体例为过氧化二苯甲酰、过氧化十二酰、叔丁基过氧化叔戊酸酯、1,1-双(叔丁基过氧化)环己烷、过氧化氢。
根据本发明碱可溶性树脂(A-2)在制造时所使用的聚合起始剂可单独或组合使用。
本发明的碱可溶性树脂(A-2)的重量平均分子量一般为3000至100000,较佳为4000至80000,更佳为5000至60000。碱可溶性树脂(A-2)的分子量调整,可使用单一树脂,也可使用两种或两种以上不同分子量的树脂并用来达成。
在本发明的一具体例中,基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,碱可溶性树脂(A-2)的使用量为0至70重量份;较佳为0至60重量份;更佳为为0至50重量份。
根据本发明的该含乙烯性不饱和基的化合物(B)可选自于具有1个乙烯性不饱和基的化合物或具有2个以上(含2个)乙烯性不饱和基的化合物。
前述的具有1个乙烯性不饱和基的化合物可包含但不限于(甲基)丙烯酰胺((meth)acrylamide)、(甲基)丙烯酰吗啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、异丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸异冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、叔辛基(甲基)丙烯酰胺、二丙酮(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、氮,氮-二甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯[tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate]、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、2-羟基-(甲基)丙烯酸乙酯、2-羟基-(甲基)丙烯酸丙酯、乙烯基己内酰胺、氮-乙烯基吡咯烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚单(甲基)丙烯酸乙二酯、聚单(甲基)丙烯酸丙二酯、(甲基)丙烯酸冰片酯等。前述的具有1个乙烯性不饱和基的化合物一般可单独一种或混合多种使用。
前述的具有2个以上(含2个)乙烯性不饱和基的化合物包含但不限于乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧乙烷(简称EO)改质的三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧丙烷改质(简称PO)的三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲 基)丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二三羟甲基丙酯[di(trimethylolpropane)tetra(meth)acrylate]、经环氧乙烷改质的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改质的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的甘油三(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改质的双酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚缩水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等。前述的具有2个以上(含2个)乙烯性不饱和基的化合物一般可单独一种或混合多种使用。
上述的含乙烯性不饱和基的化合物(B)的具体例如:三丙烯酸三羟甲基丙酯、经环氧乙烷改质的三丙烯酸三羟甲基丙酯、经环氧丙烷改质的三丙烯酸三羟甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二三羟甲基丙酯、经环氧丙烷改质的甘油三丙烯酸酯或上述的任意组合。
基于前述的碱可溶性树脂(A)的总量为100重量份,含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30重量份至300重量份。较佳地,含乙烯性不饱和基的化合物(B)的含量范围为50重量份至250重量份。更佳地,含乙烯性不饱和基的化合物(B)的含量范围为70重量份至200重量份,以此使感光性树脂组成物具有良好的显影性。
根据本发明的光起始剂(C)并无特别限制,在本发明的一实施例中,其可包含但不限于O-酰基肟系化合物、三氮杂苯系化合物、苯乙烷酮类化合物、二咪唑类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、酮醇类化合物、酮醇醚类化合物、酰膦氧化物类化合物、醌类化合物、含卤素类化合物、过氧化物等,以下分别叙述。
上述的O-酰基肟系化合物的具体例为:1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[4-(苯酰基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-苯酰基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基 -6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)等。
前述的O-酰基肟系化合物以1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)(例如Ciba Specialty Chemicals制的OXE01)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)(例如Ciba Specialty Chemicals制的OXE02)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)等为较佳。上述的O-酰基肟系化合物可单独一种或混合多种使用,具体视实际需要而定。
上述的三氮杂苯系化合物可包括但不限于乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物及4-(对-胺基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物等。
前述的乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为:2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-3-(1-对-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮杂苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯等。
前述的2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为:2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯等。
前述的4-(对-胺基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为:4-[对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N-(对-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-双(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮杂苯等。
前述的三氮杂苯系化合物以4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯等为较佳。上述的三氮杂苯系化合物可单独一种或混合多种使用,具体视实际需要而定。
上述的苯乙烷酮类化合物的具体例为:对二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、对-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等。前述的苯乙烷酮类化合物以2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等为较佳。上述的苯乙烷酮类化合物可单独一种或多种使用,具体视实际需要而定。
上述的二咪唑类化合物的具体例为:2,2’-双(邻-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(对-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。前述的二咪唑类化合物以2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑为较佳。上述的二咪唑类化合物可单独一种或混合多种使用,具体视实际需要而定。
上述的二苯甲酮类化合物的具体例为:噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨酮-4-砜、二苯甲酮、4,4’-双(二甲胺)二苯甲酮、4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮等。前述的二苯甲酮类化合物以4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮为较佳。上述的二苯甲酮类化合物可单独一种或混合多种使用,具体视实际需要而定。
上述的α-二酮类化合物的具体例为:苯偶酰、双乙酰等。上述额酮醇类化合物的具体例为:二苯乙醇酮。上述的酮醇醚类化合物的具体例为:二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮异丙醚等。上述的酰膦氧化物类化合物的具体例为:2,4,6-三甲基苯酰二苯基膦氧化物、双-(2,6-二甲氧基苯酰)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。上述的醌类化合物的具体例为:蒽醌、1,4-萘醌等。上述的含卤素类化合物的具体例为:苯酰甲基氯、三溴甲基苯砜、三(三氯甲基)-s-三氮杂苯等。上述的过氧化物的具体例为:二-叔丁基过氧化物等。上述的α-二酮类化合物、酮醇类化合物、酮醇醚类化合物、酰膦氧化物类化合物、醌类化合物、含卤素类化合物、过氧化物等可单独一种或混合多种使用,具体视实际需要而定。
本发明的光起始剂(C)的使用量可依需要调配,在本发明的一具体例中,基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,该光起始剂(C)的使用量为10至80重量份,较佳为12至75重量份,更佳为15至70重量份。
根据本发明的溶剂(D)为可和其他有机成分完全溶解而且其挥发性必须高到在常压下只需少许热量便可使其从分散液中蒸发。因此常压下其沸点低于150℃的溶剂最常使用,这些溶剂包括芳香族系,如苯、甲苯、及二甲苯;醇系,如甲醇及乙醇;醚类系,如乙二醇单丙醚、二乙二醇二甲醚、四氢呋喃、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚;酯类系,如乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯;酮系,如甲乙酮以及丙酮。其中以二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯及3-乙氧基丙酸乙酯单独或两者并用较佳,其对感光性树脂组成物的储存安定性最佳。
本发明的溶剂(D)的使用量可依需要调配,在本发明的一具体例中,基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份,溶剂(D)的使用量为200至1200重量份,较佳为250至1100重量份,更佳为300至1000重量份。
根据本发明的该有机酸(E)的分子量为1000以下。
在本发明的具体例中,分子量为1000以下的有机酸包含但不限于脂肪族羧酸、脂环族羧酸或芳香族羧酸。
作为上述脂肪族羧酸,例如可列举:甲酸(formic acid)、乙酸(acetic acid)、丙酸(propionic acid)、丁酸(butyric acid)、戊酸(valeric acid)、新戊酸(pivalic acid)、己酸(caproic acid)、二乙基乙酸(diethyl acetic acid)、庚酸(heptanoic acid)、辛酸(octanoic acid)、2-呋喃甲酸(2-Furoic acid)等单羧酸;草酸(oxalic acid)、丙二酸(malonic acid)、丁二酸(succinic acid)、戊二酸(glutaric acid)、己二酸(adipic acid)、庚二酸(pimelic acid)、辛二酸(suberic acid)、壬二酸(azelaic acid)、癸二酸(sebacic acid)、十三烷二酸(brassylic acid)、甲基丙二酸(methylmalonic acid)、乙基丙二酸(ethyl malonate acid)、二甲基丙二酸(dimethyl malonic acid)、甲基丁二酸(methyl succinic acid)、四甲基丁二酸(tetramethyl succinic acid)、亚甲基丁二酸(itaconic acid)、甲基顺丁烯二酸(citraconic acid)、顺丁烯二酸(maleic acid)、反丁烯二酸(fumaric acid)、甲基反丁烯二酸(methyl fumaric acid)等二羧酸;1,2,3-丙三甲酸(1,2,3-propanetricarboxylic acid)、乌头酸(aconitic acid)、降莰三酸(camphoronic acid)等三羧酸。
作为上述脂环族羧酸,例如可列举:胆酸(cholic acid)、脱氧胆酸(deoxycholic acid)、 石胆酸(lithocholate)等具有类固醇结构的羧酸衍生物、金刚烷羧酸衍生物(adamantane carboxylic acid derivatives)、金刚烷二羧酸(adamantane dicarboxylic acid)、环己基甲酸(cyclohexyl carboxylic acid)、环己基二甲酸(Cyclohexyl dicarboxylic acid)等。
作为上述芳香族羧酸,可列举羧基直接键结于苯基的芳香族羧酸、或羧基经由碳链键结于苯基的羧酸,作为其具体例,可列举:苯甲酸(benzoic acid)、甲苯甲酸(toluic acid)、小茴香酸(cumin acid)、2,3-二甲基苯甲酸(2,3-dimethylbenzoic acid)、3,5-二甲基苯甲酸(3,5-dimethylbenzoic acid)等芳香族单羧酸;邻苯二甲酸(phthalic acid)、间苯二甲酸(isophthalic acid)、对苯二甲酸(terephthalic acid)等芳香族二羧酸;偏苯三甲酸(trimellitic acid)、1,3,5-苯三甲酸(1,3,5-benzene tricarboxylic acid)、1,2,3,5-苯四甲酸(1,2,3,5-pyromellitic acid)、均苯四甲酸(pyromellitic acid)等三元以上的芳香族多羧酸;及苯基乙酸(phenyl acetic acid)、氢阿托酸(Hydratropic acid)、氢桂皮酸(hydrocinnamic acid)、杏仁酸(mandelic acid)、苯基丁二酸(phenyl succinic acid)、阿托酸(atropic acid)、桂皮酸(cinnamic acid)、亚桂皮乙酸(cinnamylideneacetic acid)、香豆酸(coumaric acid)、伞形酸(umbellic acid)等其他芳香族羧酸。前述有机酸可单独或合并使用。针对涂膜的透明性提高、碱溶解性、对溶剂的溶解性、防止形成像素的部分以外的区域的残渣观点而言,该有机酸较佳为丙二酸、己二酸、亚甲基丁二酸、甲基顺丁烯二酸、2-呋喃甲酸、反丁烯二酸、甲基反丁烯二酸。
本发明的该有机酸(E)的使用量可依需要调配,在本发明的一具体例中,基于碱可溶性树脂(A)额使用量为100重量份,有机酸(E)的使用量为1至10重量份,较佳为1.5至9重量份,更佳为2至8重量份。
若无使用有机酸(E),会有分辨率及显影性不佳的问题。然而若使用分子量为1000以上的有机酸,也会有分辨率及显影性不佳的问题。
虽不愿为理论所限制,但同时利用酸浓度增加,与显影液酸碱中和的机会增加,进而增加显影性,也可得到较小线幅。且随着分子量上升,单位重量下的酸浓度降低,显影性下降。
较佳地,根据本发明的感光性树脂组成物可依所需的物性及化性进一步包含添加剂,此添加剂的选择为本发明所属技术领域的技术人员可决定。在本发明的具体例中,该添加剂为填充剂、碱可溶性树脂(A)以外的高分子化合物、紫外线吸收剂、防凝集剂、界面活性剂、密着促进剂、保存安定剂、耐热性促进剂。
在本发明较佳的具体例中,填充剂为:玻璃、铝;碱可溶性树脂(A)以外的高分子 化合物为聚乙烯醇、聚乙二醇单烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯。
紫外线吸收剂为2-(3-叔丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯基迭氮、烷氧基苯酮;及防凝集剂为聚丙烯酸钠。
该界面活性剂可促进根据本发明的组成物的涂布性,在本发明的具体例中,界面活性剂可使用含氟界面活性剂或有机硅界面活性剂。
该含氟界面活性剂中,其末端、主链及侧链至少包含一氟烷基或一氟烯基。在本发明的具体例中,含氟界面活性剂为1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基硫酸钠、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷、氟烷苯磺酸钠、氟烷磷酸钠、氟烷羧酸钠、氟烷聚氧乙烯醚、二丙三醇四(氟烷聚氧乙烯醚)、氟烷铵碘、氟烷甜菜碱、氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷基烷醇。在本发明的另一具体例中,含氟界面活性剂为BM-1000、BM-1100(BM CHEMIE制)、Megafac F142D、F172、F173、F183、F178、F191、F471、F476(大日本墨水及化学工业制)、Fluorad FC170C、FC-171、FC-430、FC-431(住友化学制)、氯氟碳S-112、S-113、S-131、S-141、S-145、S-382、SC-101、SC-102、SC-103、SC-104、SC-105、SC-106(旭硝子制)、F Top EF301、303、352(新秋田化成制)、Ftergent FT-100、FT-110、FT-140A、FT-150、FT-250、FT-251、FTX-251、FTX-218、FT-300、FT-310、FT-400S(NEOSU制)。
有机硅界面活性剂为TORE有机硅DC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA、SH28PA、SH29PA、SH30PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8427、SF-8428、DC-57、DC-190(Dow Corning Toray Silicone制)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(GE东芝有机硅制)。
除前述的含氟界面活性剂或有机硅界面活性剂外,界面活性剂为聚氧乙烯烷基醚,如月桂醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯硬脂酸醚、聚氧乙烯油基醚;聚氧乙烯芳基醚,如聚氧乙烯正辛基苯醚、聚氧乙烯正壬基苯酚醚;聚氧乙烯二烷基酯,如聚氧乙烯二月桂酸、聚氧乙烯二硬脂酸;非离子界面活性剂,如KP341(信越化学制)、poly flow No.57、95(共荣社油脂化学工业制)。
前述界面活性剂可单独或混合使用。
该密着促进剂可用以提升基材的黏着力,其较佳为官能性硅烷交联剂,较佳地,硅烷交联剂包含羧基、烯基、异氰酸酯基、环氧基、胺基、巯基或卤素。在本发明的具体 例为对-羟基苯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯三乙酰氧基硅烷、乙烯三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)硅烷、γ-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己烷基)乙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基二甲基甲氧基硅烷、3-胺丙基三甲氧基硅烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基硅烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷。另一方面,包含但不限于商品名SZ6030(Dow Corning Toray Silicone制)以及商品名KBE-903、KBE-603、KBE-403与KBM-403(信越化学制)等接着助剂。接着助剂可单独或混合使用。
该保存安定剂可为硫、醌、氢醌、聚氧化物、胺、亚硝基化合物或硝基。其具体例为4-甲氧基苯酚、(N-亚硝基-N-苯基)羟胺铝、2,2-硫代双(4-甲基-6-叔丁基苯酚)、2,6-二-叔丁基苯酚。
该耐热性促进剂可为N-(烷氧基甲基)甘脲化合物、N-(烷氧基甲基)三聚氰胺。N-(烷氧基甲基)甘脲化合物具体例为N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(异丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丁氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(叔丁氧基甲基)甘脲;较佳为N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲。N-(烷氧基甲基)三聚氰胺的具体例为N,N,N',N',N'',N''-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(异丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N'',N''-六(叔丁氧基甲基)三聚氰胺;较佳为N,N,N',N',N'',N''-六(甲氧基甲基)三聚氰胺。市售品如NIKARAKKU N-2702、MW-30M(三和化学制)。
根据本发明的添加剂使用量为本发明所属技术领域的技术人员可决定的,较佳地,基于碱可溶性树脂(A)100重量份,该添加剂的使用量为0至10重量份;更佳为0至6重量份;尤佳为0至3重量份。
本发明也提供一种于一基板上形成薄膜的方法,其包含使用前述的感光性树脂组成物施予该基板上;较佳地,该薄膜为保护膜或间隙体。
本发明又提供一种基板上的薄膜,其是由前述的方法所制得。
在本发明的一具体例中,该保护膜的制造方法至少包含下列步骤:
(a)将根据本发明的感光树脂组合物于一基板上形成一膜;
(b)以放射线照射该膜的至少一部份;
(c)放射线照射后进行显影;
(d)显影后进行加热。
这里依序说明如下:
步骤(a)将根据本发明的感光树脂组合物于一基板上形成一膜。在形成保护膜时,先将由红色、绿色及蓝色着色层组成的像素层形成于一透明基板上,再将根据本发明的感光树脂组合物形成于该像素层上。于形成间隙体时,在已形成有保护膜及像素层的透明基板上,形成一透明导电膜,再于透明导电膜上形成本发明的感光树脂组合物的膜。
在本发明的具体例中,透明基板为玻璃基板或树脂基板等,较佳为玻璃基板,例如钠钙玻璃及无碱玻璃。树脂基板的具体例为聚对苯二甲酸乙二酯、聚丁烯对苯二甲酸酯、聚醚砜、聚碳酸酯及聚酰亚胺。
该透明导电基板为在透明基板的具体例为全部表面包含具有氧化锡(SnO2)的NESA膜()或具有氧化铟-氧化锡(In2O3-SnO2)的ITO膜等。
膜的形成方法可使用涂布法或干膜法。
以涂布法形成膜的方法为将根据本发明的感光树脂组合物的溶液涂布于前述的透明导电膜上,此膜较佳是先将涂布面加热(预烤)。应用于涂布法的组成物溶液的固形物浓度较佳为5至50wt%;更佳为10至40wt%;尤佳为15至35wt%。涂布法举例但不限于喷涂法、辊涂、旋涂法、缝模涂布法、棒涂布法、喷墨涂布法;较佳为旋涂法或缝模涂布法。
另一方面,以干膜法形成膜的方法为将包含根据本发明的感光树脂组合物的感光干膜(简称感光干膜)堆栈于一基膜上。
于一干膜上,前述的感光干膜可堆栈并于移除溶剂后形成感光膜。应用于干膜法的根据本发明的感光树脂组合物其固形物浓度较佳为5至50wt%;更佳为10至50wt%;尤佳为20至50wt%;最佳为30至50wt%。感光干膜的基膜的具体例为聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚乙烯、聚丙烯、聚碳酸酯、聚氯乙烯。该感光干膜的基膜的厚度较佳为15至125μm;更佳为1至30μm。
当感光干膜不使用时,该感光干膜亦可堆栈并以覆盖膜保存。根据本发明额覆盖膜较佳为具有离型性,以使在不使用时不分离但在使用时可轻易分离。具有前述特性的覆盖膜的具体例为将有机硅脱模剂涂布或印刷于合成树脂膜上,例如PET薄膜、聚丙烯薄膜、聚乙烯薄膜、聚氯乙烯薄膜、聚胺酯薄膜。该覆盖膜的厚度较佳为约5至30μm。该等覆盖膜亦可为积层二或三层覆盖膜。
以干膜法堆栈该膜的方法的具体例为在透明基膜上热压粘合透明感光干膜。
在前述的方法中,该膜较佳是以涂布法制造,其次为使用干膜法,且较佳为实施预烤。预烤的条件可依成分及混合比例而有所不同,较佳为1至15分钟加热70至120℃。
于预烤后的膜的厚度较佳为0.5至10μm;更佳为1.0至7.0μm。
步骤(b)以放射线照射该膜的至少一部份。当照射该膜的一部分时,可使用例如具有预定图案的光罩照射。
使用作为曝光的放射线的具体例为可见光、紫外光或远红外光。其中该放射线的波长较佳为250至550nm的包含紫外光的范围,较佳为包含365nm。
放射剂量(曝光量)是于波长365nm以照度计(OAI model356,Optical Associates Inc.)量测放射线强度。较佳为100至5000J/m2;更佳为200至3000J/m2。
步骤(c)于放射线照射后进行显影,以去除不需要的部分并形成一预定的图案。
显影用的显影液的具体例为无机碱,如氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、硅酸钠、偏硅酸酸钠、和氨;第一级脂肪胺,如乙胺、正丙胺;第二级脂肪胺,如二乙胺、正丙胺;第三级脂肪胺,如三甲胺、二乙胺甲基、二甲基乙基胺、三乙胺;第三级脂肪环酸,如吡咯、哌啶、N-甲基哌啶、N-甲基1,8-二氮杂双环[5.4.0]-7-十一碳烯、1,5-二氮杂双环[4.3.0]-5-壬烯;第三级芳香胺,如吡啶、甲基嘧啶、二甲基吡啶、喹啉;第四级铵盐碱性化合物,如四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵的水溶液。水溶性有机溶剂及/或表面活性剂,如甲醇、乙醇,也可视需要添加于上述碱性化合物中。
该显影的方法,例如浸渍法、含浸法或淋浴法,较佳是室温至180℃显影约10秒。
所要的图案于显影后进行蒸气清洗30至90秒,并经由压缩空气或氮气风干。
步骤(d)于显影后进行加热。将所得的具有图案的膜以适当的加热器,例如加热板或烘箱进行加热至如100至250℃进行30至180分钟(后烤)。
前述所制造的具有所要图案配置的间隙体或保护膜具有优异的性质,例如抗压强度、液晶配向膜的耐磨强度、基板的黏着力。
本发明也提供一种液晶显示组件,是包含前述的薄膜。
根据本发明的液晶显示组件较佳将根据本发明的感光树脂组合物形成间隙体,并于至少一侧形成保护膜;较佳为两侧。
根据本发明的液晶显示组件可由下列两方法制造。
(1)于至少一侧具有透明导电膜的第一(电极)透明基板的一侧或两侧将根据本发明的感光性树脂组成物利用前述的方法形成一个保护膜或间隙体。之后,将具有液晶配向性的配向膜形成于具有间隙体及/或保护膜的透明导电膜上。这些基材,以配向膜所形成 侧做为内面,使各种配向膜的液晶排列方向成反方向平行或垂直方向并通过一定间隙(细胞间隙)反向配置,在以基材表面(配向膜)及间隔所区划的细胞间隙内填充液晶,封装充填孔构成液晶单元。因此内外的液晶单元可由黏接垂直偏光板或排列于一个基板表面的液晶偏振方向,形成内外表面的配向方向一致的液晶显示组件。
(2)于至少一侧具有透明导电膜的第一透明基板的一侧或两侧将根据本发明的感光性树脂组成物利用类似前述(1)的方法形成保护膜或间隙体。之后,沿基板的端点利用紫外光硬化型的黏着剂涂布于其上,之后再将微小液晶利用液晶分配器滴于基板上,接着于真空下堆栈基板,并在可发射紫外光的高压水银灯照射下封合。最后将液晶内外的偏光板贴合即可得液晶显示组件。
根据本发明的液晶显示组件可应用的具体例为向列型液晶或层列型液晶;较佳为向列型液晶,例如Shiff碱型液晶、氧化偶氮型液晶、联苯型液晶、苯基环乙烷型液晶、酯型液晶、三联苯型液晶、联苯环己烷型液晶、嘧啶型液晶、二恶烷聚环辛烷型液晶、二环辛烷型液晶、五环辛烷型液晶、氯化物型液晶、如胆固醇碳酸盐或胆甾液晶的胆固醇型液晶;也可添加手性剂如p-癸氧基苯亚甲基-p-胺基-2-甲基丁基肉桂酸酯(C-15、CB-15,默克制)的强诱电型液晶。
于液晶的外侧可使用偏光板、聚乙烯醇的配向延伸、可吸收碘的“H膜”、或夹于纤维醋酸保护膜及偏光板间的H膜。
以下列实例予以详细说明本发明,唯并不意谓本发明仅局限于此等实例所揭示的内容。
具有不饱和基的树脂(A-1-1)的制造方法
将100重量份的芴环氧化合物(型号ESF-300,新日铁化学制;环氧当量231)、30重量份的丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基铵、0.1重量份的2,6-二叔丁基对甲酚,及130重量份的丙二醇甲醚醋酸酯以连续式添加方式加入至500mL的四口烧瓶中,且入料速度控制在25重量份/分钟,该反应过程的温度维持在100℃-110℃,反应15小时,即可获得一固成分浓度为50wt%的淡黄色透明混合液。
接着,将100重量份的上述所得的淡黄色透明混合液溶于25重量份的乙二醇乙醚醋酸酯中,并同时添加6重量份的四氢邻苯二甲酸酐及13重量份的二苯甲酮四甲酸二酐,并加热至110℃-115℃,反应2小时,即可得一酸价为98.0mgKOH/g的具有不饱和基的树脂(以下简称为A-1-1)。
具有不饱和基的树脂(A-1-2)的制造方法
将100重量份的芴环氧化合物(型号ESF-300,新日铁化学制;环氧当量231)、30重量份的丙烯酸、0.3重量份的氯化苄基三乙基铵、0.1重量份的2,6-二-叔丁基对甲酚,及130重量份的丙二醇甲醚醋酸酯以连续式添加方式加入置500mL的四口烧瓶中,且入料速度控制在25重量份/分钟,该反应过成的温度维持在100℃-110℃,反应15小时,即可获得一固成分浓度为50wt%的淡黄色透明混合液。
接着,将100重量份的上述所得的淡黄色透明混合液溶于25重量份的乙二醇乙醚醋酸酯中,并添加13重量份的二苯甲酮四甲酸二酐,在90℃-95℃下反应2小时,接着,添加6重量份的四氢邻苯二甲酸酐,并于90℃-95℃下反应4小时,即可得一酸价为99.0mgKOH/g的具有不饱和基的树脂(以下简称为A-1-2)。
具有不饱和基的树脂(A-1-3)的制造方法
将400重量份的环氧化合物[型号NC-3000,日本化药(株)制;环氧当量288]、102重量份的丙烯酸、0.3重量份的甲氧基酚(methoxyphenol)、5重量份的三苯基膦,及264重量份的丙二醇甲醚醋酸酯置于反应瓶中,该反应过成的温度维持在95℃,反应9小时,即可获得一酸价为2.2mgKOH/g的中间产物。接着,加入151重量份的四氢邻苯二甲酸酐(tetrahydrophthalic anhydride),在95℃下反应4小时,即可得一酸价为102mgKOH/g,且重量平均分子量为3200的具有不饱和基的树脂(以下简称为A-1-3)。
如下表1所示的成分合成碱可溶性树脂(A-2)。
碱可溶性树脂(A-2-1)
在一容积1000毫升的四颈锥瓶上设置氮气入口、搅拌器、加热器、冷凝管及温度计,导入氮气后,添加30重量份的甲基丙烯酸、35重量份的甲基丙烯酸环氧丙酯、10重量份的1,3-丁二烯、25重量份的苯乙烯、2.4重量份的2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)以及240重量份的二乙二醇二甲醚溶剂。接着,缓慢搅拌上述成份使溶液升温至85℃,并于此温度下聚缩合5小时。然后,将溶剂脱挥后,可得一碱可溶性树脂(A-2-1)。
碱可溶性树脂(A-2-2)至(A-2-5)是以与碱可溶性树脂(A-2-1)相同的步骤来制备,不同的地方在于:改变原料的种类、使用量及合成条件,如表1所示。
高分子量有机酸(E-4)
在一容积1000毫升的四颈锥瓶上设置氮气入口、搅拌器、加热器、冷凝管及温度计,导入氮气后,添加5重量份的甲基丙烯酸、95重量份的甲基丙烯酸甲酯、6重量份的2,2'-偶氮二(2-甲基丁腈)以及240重量份的二乙二醇二甲醚溶剂。接着,缓慢搅拌上述成份使溶液升温至60℃,并于此温度下聚缩合2小时。然后,将溶剂脱挥后,可得一重量平均分子量为2000的高分子量有机酸。
感光性树脂组成物的组成:
如下表2所示的成分制备感光性树脂。
实施例1:
将100重量份的碱可溶性树脂(A-1-1)、30重量份的含乙烯性不饱和基的化合物(B-1)、10重量份的光起始剂(C-1-1)、1重量份的有机酸(D-1)加入200重量份的溶剂(D-1)中,以摇动式搅拌器搅拌均匀后,即可制得感光性树脂组成物实施例1。
实施例2至9及比较例1至4:
实施例2至9及比较例1至4是以与实施例1相同的步骤来制备感光性树脂组成物,不同的地方在于:改变原料的种类及其使用量,该原料的种类及其使用量如表2及3所示。
间隙体或保护膜的形成:
于100×100×0.7mm的素玻璃基板上以旋转涂布方式得到约6μm的涂膜,接续以90℃预烤2至3分钟后,再将该涂膜置于所指定的光罩图案间以紫外线照射,其能量为100mJ/cm2(曝光机型号为AG500-4N;M&R Nano Technology制)。将曝光后的涂膜浸渍于0.05%的KOH水溶液45秒,除去未曝光的部分。最后以清水清洗,再以235℃后烤30分钟,可获得素玻璃基板上的间隙体膜或保护膜。
评价方式:
(1)分辨率
将实施例以及比较例所制得的各种感光性树脂组成物,于玻璃基板上以旋转涂布方式涂布,在100℃下预烤2分钟,可得到约1μm的预烤涂膜。将该预烤涂膜介于线与间距(line and space)的光罩(日本Filcon制),利用50mJ/cm2的紫外光(曝光机型号AG500-4N;M&R Nano Technology制)进行照射后,再以0.84%氢氧化钾水溶液,于23℃下予以显影1分钟,将基板上未曝光部份的涂膜除去,然后以纯水洗净,其形成的线条幅度的最小值定为分辨率。
◎:最小图案线幅≦10μm
○:10μm<最小图案线幅≦15μm
△:15μm<最小图案线幅≦20μm
╳:20μm<最小图案线幅
(2)显影性
以指定的光罩图案(msak)贴紧上述的预烤图膜,用紫外光(曝光机Canon PLA-501F)以100mJ/cm2的光量照射后,再浸渍于23℃的显影液1分钟显影,将基板尚未曝光的部分除去,以纯水洗净,再以235℃后烤80分钟,即可在玻璃基板上形成所要的感光性树脂图案,以显微镜观察,确定未曝光的部分是否有残渣存在。
○:无残渣
△:少许残渣
╳:残渣很多
表2
表3
。
Claims (10)
1.一种感光性树脂组成物,包含:
碱可溶性树脂A,包括具有不饱和基的树脂A-1,且所述具有不饱和基的树脂A-1是由一混合物进行聚合反应所制得,而所述混合物含有具有至少二个环氧基的环氧化合物i,以及具有至少一个羧酸基及至少一个乙烯性不饱和基的化合物ii;
含乙烯性不饱和基的化合物B;
光起始剂C;
溶剂D;及
有机酸E;
其中,所述有机酸E的分子量为1000以下。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其中,所述具有至少二个环氧基的环氧化合物i具有如下结构式1或结构式2所示的结构:
其中:
R1至R4是独立表示氢原子、卤素原子、C1至C5的烷基、C1至C5的烷氧基、C6至C12的芳香基或C6至C12的芳烷基;
其中:
R5至R18独立表示氢原子、卤素原子、C1至C8的烷基或C6至C15的芳香基;及
n表示0至10的整数。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其中,所述碱可溶性树脂A还包含碱可溶性树脂A-2,且所述碱可溶性树脂A-2是由不饱和羧酸或不饱和羧酸酐化合物a1、含环氧基的不饱和化合物a2及/或其他不饱和化合物a3所共聚合而得。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其中,所述有机酸E是选自脂肪族羧酸、脂环族羧酸、芳香族羧酸所组成的群组中的至少一种。
5.根据权利要求1所述的感光性树脂组成物,其中,基于所述碱可溶性树脂A的使用量为100重量份,所述具有不饱和基的树脂A-1的使用量为30至100重量份;所述含乙烯性不饱和基的化合物B的使用量为30至300重量份;所述光起始剂C的使用量为10至80重量份;所述溶剂D的使用量为200至1200重量份;所述有机酸E的使用量为1至10重量份。
6.根据权利要求3所述的感光性树脂组成物,其中,基于所述碱可溶性树脂A的使用量为100重量份,所述碱可溶性树脂A-2的使用量为0至70重量份。
7.一种于一基板上形成薄膜的方法,其包含使用权利要求1至6中任一项所述的的感光性树脂组成物施予所述基板上。
8.一种基板上的薄膜,其是由权利要求7所述的方法所制得。
9.根据权利要求8所述的薄膜,其是为液晶显示组件用的保护膜或间隙体。
10.一种液晶显示组件,其包含根据权利要求8或9所述的薄膜。
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