CN104201252A - 一种perc太阳能电池的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、在硅片背面局部丝网印刷氧化铝薄膜或氧化硅薄膜、热处理、正面沉积氮化硅减反射层、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到PERC太阳能电池。本发明在硅片背面局部丝网印刷钝化薄膜,再加上后续的热处理固化,形成带有一定图案的背钝化层,以达到背面局部钝化的目的,减少了现有技术中背面氮化硅镀膜和局部开口2步工序,大大简化了制备工艺。
Description
技术领域
本发明涉及一种PERC太阳能电池的制备方法,属于太阳能电池技术领域。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。
另一方面,局部接触背钝化(PERC)太阳能电池是今年新开发出来的一种高效太阳能电池,得到了业界的广泛关注。其核心是在硅片的背光面用氧化铝或者氧化硅薄膜(5~100纳米)覆盖,以起到钝化表面,提高长波响应的作用,从而提升电池的转换效率。但是,氧化铝或者氧化硅不导电,因此需要对该薄膜局部开口,以便于铝金属与硅片背表面接触,收集电流。另外,铝金属(通常是铝浆),在高温烧结过程中,会破坏氧化铝或者氧化硅的钝化作用,因此通常要在氧化铝或者氧化硅薄膜上再覆盖氮化硅薄膜,起到保护作用。现有的PERC太阳能电池的制备方法主要包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积氧化铝或氧化硅薄膜、沉积氮化硅保护膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到太阳能电池。其中,氧化铝薄膜的制备方法通常采用化学气相沉积(CVD)或者原子层沉积(ALD);氧化硅薄膜的制备方法通常采用化学气相沉积(CVD)或者管式热氧化(Thermal Oxidation);开口通常采用激光或者丝网印刷浆料腐蚀并清洗干燥。
显然,上述方法存在如下问题:(1) 工艺步骤复杂,需要设置保护膜、开口等工序,工序繁多;(2) 制备氧化铝或者氧化硅所用的化学气相沉积(CVD),或者原子层沉积(ALD)都是比较精密而昂贵的设备,因此不仅要求企业的原始成本投入极高,而且这些设备的使用成本也较高,这便大大提高了企业的制造成本。
发明内容
本发明的发明目的是提供一种PERC太阳能电池的制备方法。
为达到上述发明目的,本发明采用的技术方案是:一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、在硅片背面局部丝网印刷氧化铝薄膜或氧化硅薄膜、热处理、正面沉积氮化硅减反射层、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到PERC太阳能电池;
其中,所述背面丝网印刷氧化铝薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化铝纳米颗粒、松油醇和乙二醇,且氧化铝的质量分数大于或等于30%;所述氧化铝纳米颗粒的直径为10~50纳米;
所述背面丝网印刷氧化硅薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化硅纳米颗粒、松油醇和乙二醇,且氧化硅的质量分数大于或等于30%;所述氧化硅纳米颗粒的直径为10~50纳米;
所述热处理的温度为100~800℃,处理时间为10~40分钟;热处理之后得到的背面钝化层的厚度为100~300纳米。
上文中,所述在硅片背面局部丝网印刷氧化铝薄膜或氧化硅薄膜,再加上后续的热处理固化,形成带有一定图案的背钝化层,以达到背面局部钝化的目的。
本发明用简单成熟的丝网印刷氧化铝或氧化硅浆料,代替昂贵的氧化铝或氧化硅薄膜生长工艺,不仅减少了背面氮化硅镀膜和局部开口工序,而且可以采用传统而简单的印刷设备代替昂贵的CVD/ALD设备,而且省去了氮化硅镀膜设备和开口的激光设备,降低了成本。
所述在硅片背面局部采用丝网印刷技术,还可以采用钢板印刷、喷墨打印、旋涂等方式。
优选的,所述热处理的温度为300~700℃。
优选的,所述热处理之后得到的背面钝化层的厚度为200~250纳米。
与之相应的另一种技术方案,一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、在硅片背面局部丝网印刷混合薄膜、热处理、正面沉积氮化硅减反射层、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到PERC太阳能电池;
其中,所述背面丝网印刷混合薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化铝纳米颗粒、氧化硅纳米颗粒、松油醇和乙二醇,且氧化铝的质量分数大于或等于30%,氧化硅的质量分数大于或等于30%;所述氧化铝纳米颗粒的直径为10~50纳米,所述氧化硅纳米颗粒的直径为10~50纳米;
所述热处理的温度为100~800℃,处理时间为10~40分钟;热处理之后得到的背面钝化层的厚度为100~300纳米。
上文中,所述在硅片背面局部丝网印刷混合薄膜,再加上后续的热处理固化,形成带有一定图案的背钝化层,以达到背面局部钝化的目的。
所述混合薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化铝纳米颗粒、氧化硅纳米颗粒,因此得到的背面钝化层是氧化铝纳米颗粒、氧化硅纳米颗粒的混合薄膜。本发明可以一次性得到的氧化铝纳米颗粒、氧化硅纳米颗粒的混合薄膜,避免了现有技术中需要2次沉积工序才能得到氧化铝薄膜和氧化硅薄膜。
优选的,所述热处理的温度为300~700℃。
优选的,所述热处理之后得到的背面钝化层的厚度为200~250纳米。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
1、本发明开发了一种新的PERC太阳能电池的制备方法,在硅片背面局部丝网印刷钝化薄膜,再加上后续的热处理固化,形成带有一定图案的背钝化层,以达到背面局部钝化的目的,减少了现有技术中背面氮化硅镀膜和局部开口2步工序,大大简化了制备工艺;
2、本发本采用简单成熟的丝网印刷氧化铝或氧化硅浆料,代替昂贵的氧化铝或氧化硅薄膜生长工艺,采用传统而简单的印刷设备代替昂贵的CVD/ALD设备,省去了氮化硅镀膜设备和开口的激光设备,降低了生产成本,取得了显著的效果;
3、本发明的制备方法简单易行,成本较低,适于推广应用。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明进一步描述。
实施例一:
一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、在硅片背面局部丝网印刷氧化铝薄膜、热处理、正面沉积氮化硅减反射层、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到PERC太阳能电池;
其中,所述背面丝网印刷氧化铝薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化铝纳米颗粒、松油醇和乙二醇,所述氧化铝纳米颗粒的直径为10纳米;
所述热处理的温度为500℃,处理时间为10~40分钟;热处理之后得到的背面钝化层的厚度为250纳米。
实施例二:
一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、在硅片背面局部丝网印刷混合薄膜、热处理、正面沉积氮化硅减反射层、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到PERC太阳能电池;
其中,所述背面丝网印刷混合薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化铝纳米颗粒、氧化硅纳米颗粒、松油醇和乙二醇,所述氧化铝纳米颗粒的直径为15纳米,所述氧化硅纳米颗粒的直径为10纳米;
所述热处理的温度为700℃,处理时间为10~40分钟;热处理之后得到的背面钝化层的厚度为300纳米。
Claims (6)
1.一种PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、在硅片背面局部丝网印刷氧化铝薄膜或氧化硅薄膜、热处理、正面沉积氮化硅减反射层、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到PERC太阳能电池;
其中,所述背面丝网印刷氧化铝薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化铝纳米颗粒、松油醇和乙二醇,且氧化铝的质量分数大于或等于30%;所述氧化铝纳米颗粒的直径为10~50纳米;
所述背面丝网印刷氧化硅薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化硅纳米颗粒、松油醇和乙二醇,且氧化硅的质量分数大于或等于30%;所述氧化硅纳米颗粒的直径为10~50纳米;
所述热处理的温度为100~800℃,处理时间为10~40分钟;热处理之后得到的背面钝化层的厚度为100~300纳米。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述热处理的温度为300~700℃。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于:所述热处理之后得到的背面钝化层的厚度为200~250纳米。
4.一种PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、在硅片背面局部丝网印刷混合薄膜、热处理、正面沉积氮化硅减反射层、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到PERC太阳能电池;
其中,所述背面丝网印刷混合薄膜所用的浆料,其组分主要包括氧化铝纳米颗粒、氧化硅纳米颗粒、松油醇和乙二醇,且氧化铝的质量分数大于或等于30%,氧化硅的质量分数大于或等于30%;所述氧化铝纳米颗粒的直径为10~50纳米,所述氧化硅纳米颗粒的直径为10~50纳米;
所述热处理的温度为100~800℃,处理时间为10~40分钟;热处理之后得到的背面钝化层的厚度为100~300纳米。
5.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述热处理的温度为300~700℃。
6.根据权利要求4所述的制备方法,其特征在于:所述热处理之后得到的背面钝化层的厚度为200~250纳米。
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