CN105810779B - 一种perc太阳能电池的制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积钝化叠层膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结;其中,所述背面沉积钝化叠层膜包括如下步骤:(1)采用原子层沉积方法在硅片电池背面沉积Al2O3薄膜;(2)将步骤(1)的电池放入管式炉中进行预退火,然后在其上沉积SiO2薄膜,然后在上述SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜。本发明将退火步骤和SiO2、SiNx薄膜沉积集成在同一根管子中进行,从而省去了Al2O3钝化膜单独退火步骤和退火管,节省了工艺时间,降低了生产成本,适合于产业化生产。
Description
技术领域
本发明涉及一种PERC太阳能电池的制备方法,属于太阳能电池技术领域。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池或光伏电池,可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是基于半导体PN结的光生伏特效应。
随着科技的发展,出现了局部接触背钝化(PERC)太阳能电池,这是新开发出来的一种高效太阳能电池,得到了业界的广泛关注。其核心是在硅片的背光面用氧化铝或者氧化硅薄膜(5~100纳米)覆盖,以起到钝化表面,提高长波响应的作用,从而提升电池的转换效率。但是,氧化铝或者氧化硅不导电,因此需要对该薄膜局部开口,以便于铝金属与硅片背表面接触,收集电流。另外,铝金属(通常是铝浆),在高温烧结过程中,会破坏氧化铝或者氧化硅的钝化作用,因此通常要在氧化铝或者氧化硅薄膜上再覆盖氮化硅薄膜,起到保护作用。现有的PERC太阳能电池的制备方法主要包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积氧化铝或氧化硅薄膜、沉积氮化硅保护膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结,即可得到太阳能电池。其中,在背面沉积氧化铝或氧化硅薄膜、沉积氮化硅保护膜2步又称为背面沉积钝化叠层膜,现有技术中,形成背面钝化叠层膜的方法主要有2种:1)采用原子层沉积(Atomic layer deposition,简称ALD)方法沉积Al2O3薄膜,然后在管式炉中退火,形成具有钝化效果的Al2O3薄膜,最后采用PECVD方法在其上沉积SiNx薄膜,获得背面钝化;2)采用PECVD方法依次沉积Al2O3薄膜和SiNx薄膜,获得背面钝化。
然而,上述两种方法都存在其明显的缺点,方法1)是工艺步骤较多,而且Al2O3薄膜退火时间长,影响了电池生产产能,不适合量产。而方法2)虽然减少了工艺步骤和时间,但是采用PECVD方法生长Al2O3薄膜和SiNx薄膜时,其钝化效果差,影响了电池效率。
因此,开发一种PERC太阳能电池的制备方法,以寻求更好的钝化效果,同时减少工艺步骤和时间,提高电池效率,并且适用于目前晶体硅电池的产业化生产,显然具有积极的现实意义。
发明内容
本发明的发明目的是提供一种PERC太阳能电池的制备方法。
为达到上述发明目的,本发明采用的技术方案是:一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积钝化叠层膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结;
其中,所述背面沉积钝化叠层膜包括如下步骤:
(1) 采用原子层沉积方法在硅片电池背面沉积Al2O3薄膜;
(2) 将步骤(1)的电池放入管式炉中进行预退火,退火温度为400~600℃,退火时间为5~20 min;然后在其上沉积SiO2薄膜,沉积温度为400~600℃,沉积时间为5~10min,SiO2薄膜的厚度为5~10nm;
然后在上述SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,其薄膜厚度为70~170nm;沉积时间为5~30min;
在沉积SiO2薄膜和SiNx薄膜的同时完成退火工艺。
上文中,所述步骤(2)是在管式炉中直接沉积SiO2薄膜和SiNx薄膜。
所述预退火、沉积SiO2、SiNx薄膜过程可视为总退火时间,在此过程中SiO2吸收Al2O3中释放的氢气,避免了高温烧结过程中氢气冲破SiNx薄膜,形成气泡。SiO2薄膜沉积的厚度与Al2O3薄膜的预退火时间相关:当预退火时间减小时,SiO2薄膜沉积时间增加,即膜厚增加;当去除预退火时,SiO2薄膜沉积时间增加到最大,即膜厚最厚。
上述技术方案中,所述步骤(1)中Al2O3薄膜的厚度为5~20nm,沉积温度为200~300℃。
上述技术方案中,所述步骤(2)中,在SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,其沉积温度为400~600℃。
上述技术方案中,所述步骤(2)中,采用SiH4和N2O气体沉积SiO2薄膜;采用SiH4和NH3气体沉积SiNx薄膜。
优选的,采用P型硅片,其电阻率范围为0.5~4 ohm•cm。
与之相应的另一种技术方案,一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积钝化叠层膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结;
其中,所述背面沉积钝化叠层膜包括如下步骤:
(1) 采用原子层沉积方法在硅片电池背面沉积Al2O3薄膜;
(2) 将步骤(1)的电池放入管式炉中,直接在Al2O3薄膜上沉积SiO2薄膜,沉积时间10~30min,沉积温度为400~600℃,SiO2薄膜的厚度为10~30nm;然后在SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,在沉积SiO2薄膜与SiNx薄膜的同时完成了Al2O3薄膜的退火。
上文中,所述步骤(2)是在管式炉中直接沉积SiO2薄膜和SiNx薄膜。
所述直接沉积SiO2和SiNx薄膜过程可视为总退火时间,在此过程中SiO2吸收Al2O3中释放的氢气,避免了高温烧结过程中氢气冲破SiNx薄膜,形成气泡。
上述技术方案中,所述步骤(1)中Al2O3薄膜的厚度为5~20nm,沉积温度为200~300℃。
上述技术方案中,所述步骤(2)中,在SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,其沉积温度为400~600℃,沉积时间为5~30min,其薄膜厚度为70~170nm。
上述技术方案中,所述步骤(2)中,采用SiH4和N2O气体沉积SiO2薄膜;采用SiH4和NH3气体沉积SiNx薄膜。
由于上述技术方案运用,本发明与现有技术相比具有下列优点:
1、本发明开发了一种新的PERC太阳能电池的制备方法,先在电池背面采用ALD方法沉积Al2O3钝化膜,然后在管式炉中集成Al2O3钝化膜退火和SiO2、SiNx薄膜沉积工艺,即将退火步骤和SiO2、SiNx薄膜沉积集成在同一根管子中进行,从而省去了Al2O3钝化膜单独退火步骤和退火管,节省了工艺时间,降低了生产成本,适合于产业化生产;
2、本发明在Al2O3和SiNx薄膜中间沉积SiO2薄膜,可以吸收Al2O3薄膜退火时释放出的氢气,避免了高温烧结氢气冲破SiNx薄膜而出现的气泡问题,从而获得了高质量的钝化薄膜,大大减少了背面载流子复合,最终获得0.05%-0.1%的效率提升;
3、本发明在管式炉的选择方面没有限制,可以采用国产的管式炉,价格便宜,可达到同样的钝化效果,这样大大降低了生产成本。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明进一步描述。
实施例一:
一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:
首先,提供用于制备太阳能电池的第一导电类型的电池衬底;具体地,衬底为P型硅,电阻率范围为0.5~4 ohm•cm。电池衬底的正面被太阳光照射,电池衬底背面不被太阳光照射。
第一步,在电池衬底的正面形成金字塔绒面结构;该绒面可以通过碱液腐蚀形成,绒面尺寸为1~5微米;
第二步,对电池衬底的正面进行杂质掺杂;具体地,对P型硅掺杂B或Ga杂质,采用高温扩散或者离子注入方法形成PN结;
第三步,对电池衬底背面进行抛光和清洗正面PSG;一般采用碱或酸抛光的方法形成背面抛光面,反射率范围:25%~40%;然后采用HF和HCl清洗正面PSG;
第四步,背面沉积Al2O3薄膜;采用ALD沉积方法,薄膜厚度为5~20nm,沉积温度为250℃;
第五步,管式炉中集成Al2O3薄膜退火和SiO2、SiNx薄膜沉积工艺,具体如下:
首先将Al2O3钝化膜硅片放入管式炉中进行预退火,退火温度为500℃,退火时间为5~20min;然后在其上沉积SiO2薄膜,沉积温度为500℃,沉积时间为5~10min;
然后在上述SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,其薄膜厚度为70~170nm;沉积时间为5~30min,沉积温度为500℃;
第六步,正面沉积SiNx减反射膜。通常采用PECVD方法生长;
第七步,背面开口形成接触;采用激光,腐蚀浆料等开口;
第八步,正、背面电极印刷及烧结;即可得到背面集成钝化的PERC太阳能电池。
实施例二:
一种PERC太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:
首先,提供用于制备太阳能电池的第一导电类型的电池衬底;具体地,衬底为P型硅,电阻率范围为0.5~4 ohm•cm。电池衬底的正面被太阳光照射,电池衬底背面不被太阳光照射。
第一步,在电池衬底的正面形成金字塔绒面结构;该绒面可以通过碱液腐蚀形成,绒面尺寸为1~5微米;
第二步,对电池衬底的正面进行杂质掺杂;具体地,对P型硅掺杂B或Ga杂质,采用高温扩散或者离子注入方法形成PN结;
第三步,对电池衬底背面进行抛光和清洗正面PSG;一般采用碱或酸抛光的方法形成背面抛光面,反射率范围:25%~40%;然后采用HF和HCl清洗正面PSG;
第四步,背面沉积Al2O3薄膜;采用ALD沉积方法,薄膜厚度为5~20nm,沉积温度为200℃;
第五步,将Al2O3钝化膜硅片放入管式炉中,直接沉积SiO2薄膜,沉积温度为450℃,沉积时间为5~30min;然后在SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜(沉积温度为450℃,沉积时间为5~10min,薄膜厚度为70~170nm),在沉积SiO2薄膜与SiNx薄膜的同时完成了Al2O3薄膜的退火;
第六步,正面沉积SiNx减反射膜。通常采用PECVD方法生长;
第七步,背面开口形成接触;采用激光,腐蚀浆料等开口;
第八步,正、背面电极印刷及烧结;即可得到背面集成钝化的PERC太阳能电池。
Claims (9)
1.一种PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积钝化叠层膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结;
其中,所述背面沉积钝化叠层膜包括如下步骤:
(1) 采用原子层沉积方法在硅片背面沉积Al2O3薄膜;
(2) 将步骤(1)的硅片放入管式炉中进行预退火,退火温度为400~600℃,退火时间为5~20 min;然后在其上沉积SiO2薄膜,沉积温度为400~600℃,沉积时间为5~10min,SiO2薄膜的厚度为5~10nm;
然后在上述SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,其薄膜厚度为70~170nm;沉积时间为5~30min;
在沉积SiO2薄膜和SiNx薄膜的同时完成退火工艺。
2.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)中Al2O3薄膜的厚度为5~20nm,沉积温度为200~300℃。
3.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中,在SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,其沉积温度为400~600℃。
4.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中,采用SiH4和N2O气体沉积SiO2薄膜;采用SiH4和NH3气体沉积SiNx薄膜。
5.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于:采用P型硅片,其电阻率范围为0.5~4 ohm•cm。
6.一种PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:制绒、扩散、背抛光、刻蚀和去杂质玻璃、背面沉积钝化叠层膜、正面沉积氮化硅减反射层、背面局部开口、丝网印刷正背面金属浆料、烧结;
其中,所述背面沉积钝化叠层膜包括如下步骤:
(1) 采用原子层沉积方法在硅片背面沉积Al2O3薄膜;
(2) 将步骤(1)的硅片放入管式炉中,直接在Al2O3薄膜上沉积SiO2薄膜,沉积时间10~30min,沉积温度为400~600℃,SiO2薄膜的厚度为10~30nm;然后在SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,在沉积SiO2薄膜与SiNx薄膜的同时完成了Al2O3薄膜的退火。
7.根据权利要求6所述的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(1)中Al2O3薄膜的厚度为5~20nm,沉积温度为200~300℃。
8.根据权利要求6所述的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中,在SiO2薄膜上沉积SiNx薄膜,其沉积温度为400~600℃,沉积时间为5~30min,其薄膜厚度为70~170nm。
9.根据权利要求6所述的PERC太阳能电池的制备方法,其特征在于:所述步骤(2)中,采用SiH4和N2O气体沉积SiO2薄膜;采用SiH4和NH3气体沉积SiNx薄膜。
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