CN104145532A - X射线照射源 - Google Patents

X射线照射源 Download PDF

Info

Publication number
CN104145532A
CN104145532A CN201380012170.5A CN201380012170A CN104145532A CN 104145532 A CN104145532 A CN 104145532A CN 201380012170 A CN201380012170 A CN 201380012170A CN 104145532 A CN104145532 A CN 104145532A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ray tube
ray
circuit substrate
wall portion
framework
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201380012170.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN104145532B (zh
Inventor
小杉典正
奥村直树
仲村龙弥
藤田澄
冈田知幸
鹈嶋秋臣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hamamatsu Photonics KK filed Critical Hamamatsu Photonics KK
Publication of CN104145532A publication Critical patent/CN104145532A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN104145532B publication Critical patent/CN104145532B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/025X-ray tubes with structurally associated circuit elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/04Electrodes ; Mutual position thereof; Constructional adaptations therefor
    • H01J35/045Electrodes for controlling the current of the cathode ray, e.g. control grids
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H01J35/18Windows
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/02Constructional details
    • H05G1/04Mounting the X-ray tube within a closed housing
    • H05G1/06X-ray tube and at least part of the power supply apparatus being mounted within the same housing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05GX-RAY TECHNIQUE
    • H05G1/00X-ray apparatus involving X-ray tubes; Circuits therefor
    • H05G1/08Electrical details
    • H05G1/70Circuit arrangements for X-ray tubes with more than one anode; Circuit arrangements for apparatus comprising more than one X ray tube or more than one cathode
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2235/00X-ray tubes
    • H01J2235/02Electrical arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J35/00X-ray tubes
    • H01J35/02Details
    • H01J35/16Vessels; Containers; Shields associated therewith
    • H01J35/18Windows
    • H01J35/186Windows used as targets or X-ray converters

Landscapes

  • X-Ray Techniques (AREA)

Abstract

在X射线照射源(2),盖部(31c)通过螺丝(65)而被紧固于主体部(35),从而在由第1电路基板(32)而被按压于壁部(31a)的内面的状态下X射线管(21)被固定于框体(31)。这样,通过由第1电路基板(32)与壁部(31a)夹入,从而能够将X射线管(21)稳定地固定在框体(31)内。另外,在该X射线照射源(2),将组装于框体(31)内的第1电路基板(32)自身使用于X射线管(21)的按压。因此,不需要用于按压X射线管(21)的新的构件,也能够避免装置结构的复杂化。

Description

X射线照射源
技术领域
本发明涉及在框体内具备X射线管的X射线照射源。
背景技术
作为以往的X射线照射源,存在例如专利文献1所记载的X射线管。在该以往的结构中,在具有X射线射出窗的框体内组装X射线管或高压产生模块等,使X射线管抵接于设置在X射线射出窗的附近的底座(mount)并固定。另外,在专利文献2所记载的X射线产生装置,将设置在X射线管的输出窗的周围的凸缘抵接于框体的内壁面而固定。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:美国专利第4034251号说明书
专利文献2:日本特开2000-67790号公报
发明内容
发明所要解决的课题
从使X射线的输出稳定的观点出发,在框体内稳定地固定X射线管是非常重要的。但是,如专利文献1那样,在实质上仅固定X射线管的一端侧的情况下,稳定地固定是困难的。相对于此,如专利文献2那样,如果是固定多个部位的情况,则可以使固定稳定化,但是,由于具有多个固定用构件,因而会有结构复杂化的担忧。
本发明是为了解决上述课题而完成的发明,其目的在于提供不使装置结构复杂化,能够将X射线管稳定地固定在框体内的X射线照射源。
解决课题的技术手段
为了解决上述课题,本发明所涉及的X射线照射源,其特征在于,具备:将X射线从输出窗输出的X射线管;搭载有X射线管的第1电路基板;及框体,收纳有X射线管及第1电路基板,并具有壁部,该壁部形成有将从X射线管输出的X射线朝外部射出的X射线射出窗;X射线管在由第1电路基板而被按压于壁部的内面的状态下被固定于框体。
在该X射线照射源,在由第1电路基板而被按压于壁部的内面的状态下X射线管被固定于框体。通过由第1电路基板与壁部夹入,从而能够将X射线管稳定地固定在框体内。另外,在该X射线照射源,将组装于框体内的第1电路基板自身使用于X射线管的按压。因此,不需要另外设置用于按压X射线管的构件,也可以避免装置结构的复杂化。
另外,优选,在X射线管与壁部的内面之间,以与输出窗的至少一部分接触的方式配置有具有导电性的缓冲构件。在此情况下,可以一边缓和因按压所引起的对X射线管的应力一边在框体内将X射线管稳定地固定。再有,由于缓冲构件具有导电性,因而通过使框体的电位与输出窗的电位一致,从而能够使X射线管的动作稳定。
另外,优选,框体具备:具有壁部的主体部;及固定有X射线管及第1电路基板的盖部,通过盖部由紧固构件而被紧固于主体部,从而X射线管被按压于壁部的内面。由此,能够以简单的结构进行X射线管的稳定的固定。
另外,X射线管及第1电路基板优选被竖立设置于盖部的间隔构件所支撑。在此情况下,因为通过间隔构件能够将X射线管可靠地按压于壁部的内面,并且可以在框体内确保一定的收纳空间,所以可以提高电路构成构件的配置自由度。
另外,优选,进一步具备:将供给至第1电路基板的电压进行升压的高压产生模块;及搭载有高压产生模块的第2电路基板;高压产生模块及第2电路基板由竖立设置于盖部的间隔构件而被支撑于较X射线管及第1电路基板更靠近盖部侧的位置。在此情况下,通过将X射线管及较大结构的高压产生模块收纳于收纳空间,可以有效地利用框体内的空间。
另外,优选,在X射线管,设置有朝侧方突出的供电销,在第1电路基板,设置有与X射线管的平面形状相对应的贯通孔,通过在X射线管的一部分位于贯通孔内的状态下供电销连接于贯通孔周围的边缘部,从而X射线管被保持于第1电路基板。在此情况下,能够简单地实施X射线管与第1电路基板的定位。另外,通过X射线管的一部分位于贯通孔内,从而能够仅以相当于贯通孔的深度的程度来缩小框体的厚度。
另外,优选,在X射线管,设置有朝侧方突出的供电销,在第1电路基板,设置有与X射线管的平面形状相对应的凹部,通过在X射线管的一部分位于凹部内的状态下供电销连接于凹部周围的边缘部,从而X射线管被保持于第1电路基板。在此情况下,能够简单地实施X射线管与第1电路基板的定位。另外,能够由第1电路基板稳固地按压X射线管。再有,通过X射线管的一部分位于凹部内,从而能够仅以相当于凹部的深度的程度来缩小框体的厚度。
发明的效果
根据本发明,不使装置结构复杂化,能够在框体内将X射线管稳定地固定。
附图说明
图1是表示包含本发明所涉及的X射线照射源而构成的X射线照射装置的一个实施方式的立体图。
图2是表示图1所示的X射线照射装置的功能性构成要件的方块图。
图3是图1所示的X射线照射源的立体图。
图4是图3的平面图。
图5是图4的V-V线截面图。
图6是表示X射线管与第1电路基板的固定构造的一个例子的图。
图7是表示X射线管与第1电路基板的固定构造的其它的例子的图。
图8是表示X射线照射源的变形例的平面图。
图9是图8的IX-IX线截面图。
图10是表示X射线照射源的其它的变形例的平面图。
图11是图10的XI-XI线截面图。
图12是表示X射线照射源的其它的变形例的截面图。
图13是表示X射线照射源的其它的变形例的截面图。
具体实施方式
以下,参照附图,对本发明所涉及的X射线照射源的优选的实施方式进行详细的说明。图1是表示包含本发明所涉及的X射线照射源而构成的X射线照射装置的一个实施方式的立体图。该图所示的X射线照射装置1在处理例如大型玻璃的制造线中被设置于洁净室等,被构成为通过X射线的照射来进行大型玻璃的除电的光式静电去除器(光照射式除电装置)。
该X射线照射装置1具备照射X射线的多个X射线照射源2、控制X射线照射源2的控制器3、及排列X射线照射源2并进行保持的轨道构件4而构成。轨道构件4具有:在与X射线照射源2分离的方向上形成有凹部的截面大致コ字状的通道部4a;及从通道部4a的端部朝侧方突出的凸缘部4b、4b。轨道构件4由例如铝或铝合金、或者铁或铁合金等的具有导电性的金属所形成,为了保持多个X射线照射源2而确保有充分的强度。还有,轨道构件4不限于一体形成的构件,也可以为将沿着长度方向(延伸方向)分割的分割构件可自由装卸地连结的构件。在此情况下,因为能够配合被处理物的大小或数量、配置等,获得期望的形状或大小的保持构造,所以能够进行更有效率的利用X射线照射的除电。
图2是表示X射线照射装置1的功能性构成要件的方块图。如该图所示,控制器3包含控制电路11而构成。控制电路11包含例如朝向内置于X射线照射源2的X射线管21供给电力的电源电路、朝向X射线管21发送控制驱动及停止的控制信号的控制信号发送电路、及从X射线管21接收表示X射线管21到达了使用寿命的使用寿命通知信号的使用寿命通知信号接收电路等而构成。该控制电路11可以通过输入输出端子12而进行与X射线照射单元2等的外部连接。
另一方面,X射线照射源2包含产生X射线的X射线管21、将来自电源电路的电压进行升压的高压产生模块22、及驱动X射线管21及高压产生模块22的驱动电路23而构成。在驱动电路23,连接有主配线24,主配线24通过设置在其两端的输入端子及25及输出端子26而能够与其它的X射线照射单元2或控制器3等进行外部连接。
再有,在X射线照射装置1中,如图1及图2所示,一个X射线照射源2的输出端子26经由中继电缆C而可自由装卸地连接于邻接的其它的X射线照射源2的输入端子25。直到到达前端的X射线照射单元2为止,各X射线照射单元2彼此被同样地连接,而控制器3的输入输出端子12经由中继电缆C而可自由装卸地连接于基端的X射线照射源2的输入端子25。由此,各X射线照射源2的主配线24相对于控制电路11被串联连接,各X射线照射源2的驱动电路23相对于控制电路11被并联连接。
通过该结构,从一个X射线照射单元2的输入端子25所输入的电压值与从输出端子26所输出的电压值相等,从一个X射线照射单元2的输出端子26所输出的电压值与从电连接于一个X射线照射单元2的其它的X射线照射单元2的输入端子25所输入的电压值及从输出端子26所输出的电压值均相等。因此,即使在将多个X射线照射单元2连结成一列的情况下,也能够对所有的X射线照射单元2供给相同值的电压。因此,在将各X射线照射单元2彼此电连接的情况下,不需要对每个X射线照射单元2连接包含电源电路的控制器3的控制电路11,不会使配线复杂化,能够进行X射线照射单元2的连结数量的增减。
接着,对上述的X射线照射源2的结构进行详细的说明。
图3是图1所示的X射线照射源的立体图。另外,图4是图3的平面图,图5是图4的V-V线截面图。如图3至图5所示,X射线照射源2在使用不锈钢或铝等的金属制的大致长方体形状的框体31内,具有:上述的X射线管21及高压产生模块22;搭载有X射线管21及驱动电路23中的至少一部分的第1电路基板32;及搭载有高压产生模块22的第2电路基板33。
框体31如图3所示具备具有形成有将自X射线管21所产生的X射线朝向外部射出的X射线射出窗34的长方形状的壁部31a以及设置在该壁部31a的各边的侧壁部31b且一个面侧开口的主体部35、及与壁部31a相对且被安装成堵住主体部35的开口部分的盖部31c,并且被作为接地电位。X射线射出窗34在壁部31a的大致中央部分,由沿着框体31的长度方向形成为长方形状的开口部构成。
对于该框体31与轨道构件4的安装而言,如图3所示,使用多个接头构件41。接头构件41由例如具有绝缘性及弹性的树脂材料所形成,具备:与轨道构件4的宽度方向(与轨道构件4的延伸方向正交的方向)大致等长地形成截面矩形的棒状的主体部41a;及分别形成在主体部41a的两端的爪部41b、41b。通过螺丝固定等将主体部41a相对于盖部31c进行固定且将爪部41b、41b分别卡合于轨道构件4的凸缘部4b、4b的端部,从而使X射线照射源2相对于轨道构件4可自由装卸地被安装。作为主体部41a的相对于盖部31c的固定方法,除了螺丝的螺合之外,也可以是粘结或熔接等。还有,也可以如图1所示,在X射线照射源2、2之间进一步安装接头构件41,通过接头构件41将连结X射线照射源2、2之间的中继电缆C的中间部分捆束于轨道构件4。
X射线管21在较框体31充分小的大致长方体形状的真空容器51内,具备:产生电子束的细丝(filament)52;使电子束加速的栅极(grid)53;及响应于电子束的入射而产生X射线的靶54。真空容器51具备:设置有后面所述的输出窗57的由导电性材料(例如不锈钢等的金属板)所构成的长方形状的壁部51a;与该壁部51a相对且由长方形状的绝缘性材料(例如玻璃)所构成的壁部51b;及沿着壁部51a、51b的外缘且由绝缘性材料(例如玻璃)所构成的侧壁部51c。侧壁部51c的高度小于壁部51a、51b的短边方向的长度。即,真空容器51成为构成高度的边的长度最短、能够将壁部51a、51b当作平板平面那样的、平板状的大致长方体形状。在壁部51a的大致中央部分,较X射线射出窗34小了一圈的开口部51d沿着真空容器51的长度方向(壁部51a、51b的长度方向)被形成为长方形状。该开口部51d构成后面所述的输出窗57。
细丝52被配置于壁部51b侧,栅极53被配置于细丝52与靶54之间。在细丝52及栅极53,分别连接有多个供电销55(参照图4)。供电销55通过侧壁部51c与壁部51b之间,成为分别朝真空容器51的宽度方向的两侧突出的状态。另外,在壁部51a的外面侧,如图5所示,以密封开口部51d的方式,紧贴固定有由例如铍或硅、钛等的X射线透过性良好且具备导电性的材料所构成的长方形状的窗口材料56,构成将在靶54所产生的X射线从X射线管21朝向外部输出的输出窗57。还有,由例如钨等所构成的靶54被形成于窗口材料56的内面。
在进行X射线管21与第1电路基板32的固定的时候,如图6(a)及图6(b)所示,在第1电路基板32的大致中央部分,形成有较由X射线管21的壁部51b侧的最外缘所构成的平面形状稍大的长方形状的贯通孔32a。该贯通孔32a的深度,即第1电路基板32的厚度,与真空容器51中的壁部51b的厚度大致相同。另外,X射线管21通过壁部51b位于贯通孔32a内并且各供电销55由焊材等的导电性构件而被连接于第1电路基板32的一个面侧的贯通孔32a周围的边缘部,从而被保持于第1电路基板32,并且与第1电路基板32上的电路电连接。再有,为了覆盖各供电销55与第1电路基板32的连接部,设置有由绝缘性树脂所形成的接合部58。接合部58在横跨真空容器51与第1电路基板32的状态下遍及真空容器51的全周而被形成,也兼作针对X射线管21相对于第1电路基板32的固定的辅助。另一方面,在进行高压产生模块22与第2电路基板33的固定的时候,如图5所示,在第2电路基板33未形成有贯通孔等,高压产生模块22在第2电路基板33通过粘结等而被固定在与第1电路基板32相对的一个面侧。
还有,在进行X射线管21与第1电路基板32的固定的时候,在第1电路基板32具有充分的厚度的情况下,也可以如图7(a)所示,在第1电路基板32,形成较由X射线管21的壁部51b侧的最外缘所构成的平面形状稍大的长方形状的凹部32b,来取代上述的贯通孔32a的形成。在此情况下,优选以壁部51b位于凹部32b内并且各供电销55与第1电路基板32的一个面侧的凹部32b周围的边缘部接触的方式配置X射线管21。
另外,不需要一定形成贯通孔32a或凹部32b等,也可以如图7(b)所示,在第1电路基板32的一个面侧,就照原样地载置X射线管21的真空容器51。在此情况下,例如可以使供电销55沿着壁部51b的侧面延伸而与第1电路基板32接触。无论何种方式,只要是供电销55电气性及物理性地接触于第1电路基板32即可,除了朝真空容器51的侧方突出的形状之外,也可以形成为例如在壁部51b的侧面或底面、或者侧壁部51c的外面等迂回。
对于框体31内的X射线管21、高压产生模块22、第1电路基板32、及第2电路基板33的固定而言,如图4及图5所示,采用由间隔构件61、62所形成的2段构造。间隔构件61、62通过例如陶磁、或聚酰亚胺·尼龙·环氧等的各种树脂材料而被形成为棒状,呈现非导电性。间隔构件61、62被配置在2个部位,以在长度方向上将真空容器51夹入。
第1段的间隔构件61通过螺丝63的紧固而竖立设置于框体31的盖部31c的内面侧,第2段的间隔构件62在将搭载了高压产生模块22的第2电路基板33夹入并进行固定的状态下被连结于第1段的间隔构件61的前端。另外,在第2段的间隔构件62的前端,搭载了X射线管21的第1电路基板32通过螺丝64的紧固而与第2电路基板33大致平行地被固定。
设置有这样的构造的盖部31c被定位成X射线管21的输出窗57从框体31的X射线射出窗34露出,通过螺丝65的紧固而被固定于主体部35。通过该螺丝65的紧固,X射线管21成为被第1电路基板32按压于框体31的壁部31a的内面的状态。还有,第2段的间隔构件62的长度成为第1段的间隔构件61的数倍左右的长度,第1电路基板32与高压产生模块22相互分离。第1电路基板32与高压产生模块22的连接,可以为有线连接,也可以为无线连接。
另外,如图4及图5所示,在X射线管21与壁部31a之间,配置有例如钢丝棉、导电垫、导电性橡胶等的具有导电性及缓冲性的缓冲构件67。缓冲构件67具备使输出窗57露出的开口部、以与窗口材料56的周缘部接触的方式包围输出窗57的周围的矩形框状部,将框体31与输出窗57电连接。另外,设置在框体31的X射线射出窗34较X射线管21的输出窗57大了一圈,在以与壁部31a相面对面的方式从上侧观察框体31的情况下,使输出窗57整体露出。因此,可以抑制从输出窗57以具有发散角的方式被放出的X射线被X射线射出窗34的边缘部遮断。再有,窗口材料56、壁部51a、缓冲构件67等的具有从X射线射出窗34露出的可能性的材料全部成为导电性并且与框体31电连接。
如以上所说明的那样,在X射线照射源2,通过由螺丝65将盖部31c紧固在主体部35,从而在通过第1电路基板32而被按压于壁部31a的内面的状态下,将X射线管21固定于框体31。这样,通过由第1电路基板32与壁部31a夹入,能够将X射线管21稳定地固定在框体31内。在本实施方式,因为构成X射线管21的真空容器51的面中,面积大且形成有输出窗57的壁部51a侧在被按压于壁部31a的内面的状态下固定有X射线管21,所以,可以进行更稳定的固定,并且在靶54所产生的热也容易传到框体31,X射线管21的散热效率也优异。另外,在该X射线照射源2,将组装于框体31内的第1电路基板32自身使用于X射线管21的按压。即,由于在X射线照射源2的动作中所必须的结构兼作X射线管21的按压构件,因此,不需要另外设置用于按压X射线管21的新的构件,也可以避免装置结构的复杂化。
另外,在X射线照射源2,在X射线管21与壁部31a的内面之间,以与构成输出窗57的薄片56接触的方式配置有具有导电性的缓冲构件67。由此,因为可以缓和因按压所引起的对X射线管21的直接的应力,另外可以进行更强的按压,所以,在框体31内能够将X射线管21更稳定地固定。再有,由于缓冲构件67具有导电性,因此,通过使框体31的电位与输出窗57的电位一致,从而能够使输出窗57的电位稳定,能够使X射线管21的动作稳定。
另外,在X射线照射源2,通过竖立设置于盖部31c的间隔构件61、62,使搭载有X射线管21的第1电路基板32与搭载有高压产生模块22的第2电路基板33成为2段构造,高压产生模块22及第2电路基板33被支撑于较X射线管21及第1电路基板32更靠近盖部31c侧的位置。通过这样的结构,由间隔构件61、62在框体31内确保一定的收纳空间,并且通过将配置在框体31内的电路分割成第1电路基板32与第2电路基板33,从而能够提高电路构成构件的配置自由度。特别是在X射线照射源2,通过将X射线管21及较大结构的高压产生模块22收纳于收纳空间,可以有效地利用框体31内的空间。
另外,在X射线照射源2,设置有从X射线管21的真空容器51朝侧方突出的供电销55,并且在第1电路基板32设置有与X射线管21的平面形状相对应的贯通孔32a,在X射线管21的壁部51b位在贯通孔32a内的状态下供电销55连接于贯通孔32a周围的边缘部,由此X射线管21被保持于第1电路基板32。由此,能够简单地实施X射线管21与第1电路基板32的定位。另外,通过X射线管21的壁部51b位于贯通孔32a内,从而能够仅以相当于贯通孔32a的深度的程度将框体31的厚度缩小,可以谋求装置的小型化。
还有,即使在如图7(a)所示形成凹部32b来代替贯通孔32a的情况下,也可以通过凹部32b简单地实施X射线管21与第1电路基板32的定位,除此之外,通过第1电路基板32与X射线管21直接面接触而能够稳固地按压X射线管21。再有,通过X射线管21的壁部51b位于凹部32b内,从而能够仅以相当于凹部32b的深度的程度来缩小框体31的厚度。
另外,即使在如图7(b)所示在第1电路基板32的一个面侧就照原样地载置X射线管21的真空容器51的情况下,通过第1电路基板32与X射线管21直接面接触,从而也能够稳固地按压X射线管21。通过X射线管21相对于壁部31a被稳固地按压,从而能够提高从X射线管21朝框体31的传热效率、即X射线管21的散热效率。
本发明不限于上述实施方式。例如在上述实施方式中,使用棒状的间隔构件61、62,但是,间隔构件的形状能够采用柱状、板状、框状等的各种形状。另外,间隔构件的配置数量或配置部位等也能够适当设计。
伴随于此,关于在框体31内的X射线管21等的组装构造也可以应用变形。例如在图8及图9所示的例子中,使第1电路基板32具有第2电路基板33的功能来减少基板的数量,由配置在X射线管21的长度方向的两侧与宽度方向的两侧的4个部位的间隔构件71来支撑第1电路基板32。间隔构件71的长度与图5所示的间隔构件61、62的合计的长度大致相同等,确保第1电路基板32与盖部31c之间的空间。再有,高压产生模块22在第1电路基板32,被固定于X射线管21的相反侧的面。
在这样的结构中,通过减少电路基板的数量,从而能够进一步缩小框体31的厚度。另外,通过由4个部位的间隔构件71支撑第1电路基板32,从而能够使由第1电路基板32产生的X射线管21的按压均匀化,能够将X射线管21在框体31内更稳定地固定。还有,间隔构件71的长度,如果能够形成配置高压产生模块22所需要的空间,则也可以短于间隔构件61、62的合计的长度。
另外,在例如图10及图11所示的例子中,使用面积大于图4及图5所示的第1电路基板32的框体31及第1电路基板32,在第1电路基板32的一个面侧,在X射线管21的宽度方向的一方侧设置驱动X射线管21的驱动电路23的配置区域81,在另一方侧搭载高压产生模块22。另外,将框状的间隔构件82固定在盖部31c,在间隔构件82的前端固定第1电路基板32。即使在这样的结构中,也可以通过减少电路基板的数量而能够进一步缩小框体31的厚度。另外,通过由框状的间隔构件82支撑第1电路基板32,从而可以使由第1电路基板32产生的X射线管21的按压均匀化,可以将X射线管21在框体31内更稳定地固定。
另外,在例如图12所示的例子中,在框体31的侧壁部31b设置沿着壁部31a的内面的延伸部,将该延伸部与壁部31a的端部由螺丝86进行紧固。由此,X射线管21除了通过第1电路基板32而被按压于壁部31a的内面,还通过壁部31a的内面而相对于第1电路基板32被按压。因此,能够在第1电路基板32与壁部31a的内面更稳固地夹入X射线管21,从而能够将X射线管21在框体31内更稳定地固定。
再有,在例如图13所示的例子中,在第1电路基板32与壁部31a之间设置间隔构件87,来取代配置在第1电路基板32与第2电路基板33之间的间隔构件62。再有,使第1电路基板32介在并使螺丝88紧固于间隔构件87的一个端部,使壁部31a介在并使螺丝89紧固于间隔构件87的另一个端部。即使在这样的结构中,X射线管21除了通过第1电路基板32而被按压于壁部31a的内面,也还通过壁部31a的内面而相对于第1电路基板32被按压。因此,能够在第1电路基板32与壁部31a的内面更稳固地夹入X射线管21,从而能够将X射线管21在框体31内更稳定地固定。
还有,也可以不一定使用框体内的间隔构件。在此情况下,也可以例如在盖部31c自身设置朝框体31内突出的突出部,通过突出部按压第1电路基板32。另外,也可以在侧壁部31b设置具有相同的作用的突出部。
符号的说明
1…X射线照射装置、2…X射线照射源、21…X射线管、22…高压产生模块、31…框体、31a…壁部、31c…盖部、32…第1电路基板、32a…贯通孔、32b…凹部、33…第2电路基板、34…X射线射出窗、35…主体部、55…供电销、57…输出窗、61、62、71、82、87…间隔构件、65、86、88、89…螺丝(紧固构件)、67…缓冲构件。

Claims (7)

1.一种X射线照射源,其特征在于,
具备:
将X射线从输出窗输出的X射线管;
搭载有所述X射线管的第1电路基板;及
框体,收纳有所述X射线管及所述第1电路基板,并具有形成有将从所述X射线管输出的X射线朝外部射出的X射线射出窗的壁部,
所述X射线管在由所述第1电路基板而被按压于所述壁部的内面的状态下被固定于所述框体。
2.如权利要求1所述的X射线照射源,其特征在于,
在所述X射线管与所述壁部的内面之间,以与所述输出窗的至少一部分接触的方式配置有具有导电性的缓冲构件。
3.如权利要求1或2所述的X射线照射源,其特征在于,
所述框体具备:具有所述壁部的主体部;及固定有所述X射线管及所述第1电路基板的盖部,
通过所述盖部由紧固构件而被紧固于所述主体部,从而所述X射线管被按压于所述壁部的内面。
4.如权利要求3所述的X射线照射源,其特征在于,
所述X射线管及所述第1电路基板被竖立设置于所述盖部的间隔构件支撑。
5.如权利要求4所述的X射线照射源,其特征在于,
进一步具备:将供给至所述第1电路基板的电压进行升压的高压产生模块;及搭载有所述高压产生模块的第2电路基板,
所述高压产生模块及所述第2电路基板由竖立设置于所述盖部的间隔构件而被支撑于较所述X射线管及所述第1电路基板更靠近所述盖部侧的位置。
6.如权利要求1至5中任一项所述的X射线照射源,其特征在于,
在所述X射线管,设置有朝侧方突出的供电销,
在所述第1电路基板,设置有与所述X射线管的平面形状相对应的贯通孔,
通过在所述X射线管的一部分位于所述贯通孔内的状态下所述供电销连接于所述贯通孔周围的边缘部,从而所述X射线管被保持于所述第1电路基板。
7.如权利要求1至5中任一项所述的X射线照射源,其特征在于,
在所述X射线管,设置有朝侧方突出的供电销,
在所述第1电路基板,设置有与所述X射线管的平面形状相对应的凹部,
通过在所述X射线管的一部分位于所述凹部内的状态下所述供电销连接于所述凹部周围的边缘部,从而所述X射线管被保持于所述第1电路基板。
CN201380012170.5A 2012-03-02 2013-02-07 X射线照射源 Expired - Fee Related CN104145532B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012046840A JP5899006B2 (ja) 2012-03-02 2012-03-02 X線照射源
JP2012-046840 2012-03-02
PCT/JP2013/052898 WO2013129068A1 (ja) 2012-03-02 2013-02-07 X線照射源

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN104145532A true CN104145532A (zh) 2014-11-12
CN104145532B CN104145532B (zh) 2016-05-18

Family

ID=49082271

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201380012170.5A Expired - Fee Related CN104145532B (zh) 2012-03-02 2013-02-07 X射线照射源

Country Status (7)

Country Link
US (1) US9349563B2 (zh)
JP (1) JP5899006B2 (zh)
KR (1) KR101943685B1 (zh)
CN (1) CN104145532B (zh)
DE (1) DE112013001252T5 (zh)
TW (1) TWI566643B (zh)
WO (1) WO2013129068A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107783201B (zh) * 2017-10-25 2024-04-02 同方威视技术股份有限公司 光机屏蔽罩及安检设备
CN112243310B (zh) * 2019-07-16 2022-04-22 清华大学 多射线源加速器和检查方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4007376A (en) * 1975-08-07 1977-02-08 Samuel Morton Zimmerman Video x-ray imaging system and method
US5949849A (en) * 1996-09-27 1999-09-07 Hamamatsu Photonics K.K. X-ray generator and electrostatic remover using the same
CN1994029A (zh) * 2004-09-02 2007-07-04 浜松光子学株式会社 X射线源
CN101083867A (zh) * 2003-05-30 2007-12-05 浜松光子学株式会社 X射线发生装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4034251A (en) 1976-02-23 1977-07-05 North American Philips Corporation Transmission x-ray tube
EP0426898B1 (de) * 1989-11-09 1993-08-25 Siemens Aktiengesellschaft Röntgenstrahler
JP4046863B2 (ja) 1998-08-27 2008-02-13 浜松ホトニクス株式会社 X線管を備えたx線発生装置
JP2001351797A (ja) * 2000-06-07 2001-12-21 Non-Destructive Inspection Co Ltd X線発生器
JP3777539B2 (ja) * 2000-12-07 2006-05-24 株式会社島津製作所 X線発生装置
JP4829535B2 (ja) * 2005-05-31 2011-12-07 浜松ホトニクス株式会社 X線発生装置及び照射ユニット
JP4889979B2 (ja) * 2005-08-30 2012-03-07 浜松ホトニクス株式会社 X線源
JP2007005319A (ja) * 2006-08-04 2007-01-11 Hamamatsu Photonics Kk X線発生装置及びそれを用いた除電装置
CN102347187B (zh) * 2010-07-30 2016-01-20 株式会社理学 工业用x射线发生装置
US8903047B1 (en) * 2010-11-02 2014-12-02 Moxtek, Inc. High voltage circuit with arc protection

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4007376A (en) * 1975-08-07 1977-02-08 Samuel Morton Zimmerman Video x-ray imaging system and method
US5949849A (en) * 1996-09-27 1999-09-07 Hamamatsu Photonics K.K. X-ray generator and electrostatic remover using the same
CN101083867A (zh) * 2003-05-30 2007-12-05 浜松光子学株式会社 X射线发生装置
CN1994029A (zh) * 2004-09-02 2007-07-04 浜松光子学株式会社 X射线源

Also Published As

Publication number Publication date
US20150063548A1 (en) 2015-03-05
CN104145532B (zh) 2016-05-18
JP2013182815A (ja) 2013-09-12
KR101943685B1 (ko) 2019-01-29
WO2013129068A1 (ja) 2013-09-06
US9349563B2 (en) 2016-05-24
TWI566643B (zh) 2017-01-11
KR20140132717A (ko) 2014-11-18
JP5899006B2 (ja) 2016-04-06
DE112013001252T5 (de) 2014-11-27
TW201352071A (zh) 2013-12-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4875124B2 (ja) 太陽電池モジュール
RU2332751C1 (ru) Соединитель электродов, содержащий пластину, и используемый с ним модуль батареи
CN102656961A (zh) 电子控制设备
JPH09191066A (ja) Icソケット
JP5100694B2 (ja) 半導体装置
CN103687303A (zh) 功率半导体器件和pcb 的联接组件及其制造方法
KR20200022994A (ko) 엑스레이 튜브 및 이의 제조방법
CN104145532A (zh) X射线照射源
US20160081173A1 (en) X-ray generation device and x-ray generating unit and high voltage generating unit constituting same
WO2016152904A1 (ja) フレキシブルプリント配線板の接合構造、集光型太陽光発電モジュール、及び、フレキシブルプリント配線板の接合方法
US20190296311A1 (en) Battery cell for electric vehicle battery pack
JP2012160339A (ja) 組電池および電池接続方法
KR101211639B1 (ko) 전극 지지수단을 구비하는 전자총 및 이를 포함하는 x선관
JP5918571B2 (ja) X線照射源
JP6063273B2 (ja) X線照射源
CN103621193A (zh) 功率电子开关系统
JP2008226783A (ja) X線発生器及びx線装置
JPS62205670A (ja) フレキシブル太陽電池モジユ−ル
KR100259222B1 (ko) 표시장치
US20030192860A1 (en) Vacuum switch
JP2018037218A (ja) 電池モジュール
JP3508521B2 (ja) パワーモジュール用端子接続具および端子接続方法
KR101716423B1 (ko) 플렉시블 회로기판을 이용한 열전지와 외부 커넥터의 연결구조
RU25118U1 (ru) Электронный прибор конструкции "олейников-щербинко"
JP2011029280A (ja) 高周波モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20160518

Termination date: 20210207

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee