CN104122755A - 感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件 - Google Patents

感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件 Download PDF

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Abstract

本发明提供感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。所述感光性元件(1)具备支撑膜(10)、保护膜(聚丙烯膜)(30)和配置于支撑膜(10)与保护膜(30)之间的感光层(20)，保护膜(30)具有感光层(20)侧的主面(30a)和主面(30a)的相反侧的主面(30b)，主面(30a)及主面(30b)是平滑的。

Description

感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件
技术领域
本发明涉及感光性元件、感光性元件卷、抗蚀图案的制造方法以及电子部件。
背景技术
感光性元件主要是为了在印制电路布线板上形成电路而使用。另外，感光性元件还在用于保护印制电路布线板上的电路的绝缘膜的形成中、用于恒定地保持液晶显示装置中的液晶层间隙的间隔物的形成等中使用。
感光性元件通常具有支撑膜、感光层、保护膜的3层结构。感光性元件例如下使用。首先，将感光性元件的保护膜剥离后，将含有感光性树脂组合物的感光层层叠(层压)在基板上(层叠工序)。接着，由支撑膜侧对感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部(曝光工序)。之后，将支撑膜剥离除去后，将未曝光部从基板上除去(显影)，从而在基板上形成由感光性树脂组合物的固化物构成的抗蚀图案(显影工序)。
所得的抗蚀图案能够用于绝缘膜或间隔物等，而且还可作为用于通过对抗蚀图案进行镀覆处理或刻蚀处理而形成电路的掩模来使用。
然而，本技术领域中已知保护膜中的与感光层的接触面的形状有时会被转印至感光层。例如下述专利文献1中示出了：通过将保护膜中的与感光层的接触面的表面粗糙度(Ra)调整至0.15μm以下并将保护膜中所含的直径为80μm以上的鱼眼的个数控制在5个/m2以下，从而会减少层叠感光层时产生的气泡。
另外，下述专利文献2中示出了：通过将保护膜的表面粗糙度(Ra)调整至0.5μm以上，利用层叠时的加压使其形状消失，从而提高对凹凸基板的随动性。
进而，下述专利文献3中示出了：对于转印表面粗糙度为0.01～2μm的微细凹凸的感光性元件，通过将保护膜中的与感光层的接触面的Ra调整至0.05～0.5μm，可以在光纳米压印中使用的具有微细凹凸的基材上层叠不会产生气泡的感光层。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2000-330291号公报
专利文献2：日本特开2000-147755号公报
专利文献3：日本特开2009-128759号公报
发明内容
发明要解决的课题
近年来，随着电子部件的高密度化及高功能化，需要具有薄层的感光层的感光性元件。在将这种具有薄层的感光层的感光性元件的该感光层层压在基板上时，如果使用以往的感光性元件，则有时会产生层压气泡。因此，需要能够充分地抑制层压气泡的产生的感光性元件以及使用了该感光性元件的抗蚀图案的制造方法。
本发明意在解决上述课题，其目的在于提供即便感光性元件具有薄层的感光层时、在层压时也可抑制气泡产生的感光性元件。另外，本发明的目的还在于提供具备所述感光性元件的感光性元件卷、使用了所述感光性元件的抗蚀图案的制造方法、以及使用所述感光性元件获得的电子部件。
用于解决课题的手段
本发明的第1实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。
需要说明的是，本说明书中聚丙烯膜的“第1面及第2面是平滑的”如下定义：在将卷绕在卷芯上的感光性元件的聚丙烯膜剥离后，如图1所示，将支撑膜和感光层的层叠物(评价膜)F1按照感光层与作为被接触体的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(PET膜：支撑膜及感光层的宽度为PET膜的宽度的99％)相接触的方式在作为上述PET膜的F2上转印(层压温度为90℃、层压速度为2.0m/分钟)500mm，之后利用显微镜(物镜20倍)对感光层中的未与PET膜(被接触体)F2相接触的一面(感光层中与支撑膜相接触的一面)上的3个规定的测定区域(图1所示的1cm×1cm的区域A1、A2及A3。区域A1：感光层整体的长度方向及宽度方向的中央部；区域A2：将感光层在长度方向及宽度方向上分别分割成2部分所隔成的4个区域中的1个区域的中央部。区域A3：与区域A2呈对角位置的区域的中央部)进行观察时，直径为10μm以上的平均气泡数为2个以下。
本发明的第2实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下。
本发明的第3实施方式提供一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0.5μm以下。
本发明人们对将感光性元件层压至基材(基板等)时产生的气泡进行了详细研究。首先发现了，在使用具有两面带有凹凸的保护膜的感光性元件、在剥离保护膜之后层压感光性元件时，与感光层的组成无关，均产生了纤维状的气泡(参照图2)。本发明人们对所述纤维状气泡的产生原因进行了各种研究，结果发现气泡产生的主要原因是源于存在于两面带有凹凸的保护膜表面上的突起形状。
接着，利用所述专利文献1～3的见解，使用将单面平滑的保护膜按照该保护膜的平滑面与感光层相接触的方式层叠而成的感光性元件进行了研究。但是，本发明人们发现，即便在使用这种手法时，在层压工序中也会产生圆状的气泡(参照图3)。
本发明人们对包括上述结果进行研究的结果发现，在使用层叠有感光层和保护膜的感光性元件时，保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸。当如此在感光层上形成凹凸时，成为产生层压气泡的主要原因。
另外，在用于获得上述见解而使用的上述专利文献1的保护膜中，直径为80μm以上的鱼眼的数量是每1m2为5个以下。但是，即便在使用这种保护膜时，也确认了会产生层压气泡。另一方面确认了，即便在使用直径为80μm以上的鱼眼为每1m2存在1000个以上的保护膜时，有时也不会产生层压气泡。即，本发明人们发现了，与鱼眼的存在无关，是由于保护膜的两面的形状而导致层压气泡产生。
保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸的理由并不清楚，但本发明人们推测如下。
即，感光性元件通常卷绕在圆筒状等的卷芯上，以卷状的形态进行储藏。图4所示的感光性元件100具备支撑膜110、层叠于支撑膜110上的感光层120、以及层叠于感光层120上的保护膜130。保护膜130具有感光层120侧的主面130a和主面130a的相反侧的主面130b。在感光性元件100的储藏时，按照支撑膜110被配置于最外侧(图4的下侧)的方式来卷绕。
推测在将感光性元件100卷绕在卷芯上时，存在于保护膜130中未与感光层120相接触的主面130b上的凹凸A被支撑膜110挤压，凹凸A的一部分或全部被转印至感光层120，从而在感光层120上形成凹凸B。
与此相对，根据本发明的感光性元件，即便在感光性元件具有薄层的感光层时，也可抑制在进行层压时产生气泡。
获得这种效果的主要原因推测如下所述。但是主要原因并非限定于下述内容。即，本发明的感光性元件中，除了感光层侧的第1面是平滑的之外，第2面也是平滑的。因此，将感光性元件卷绕在卷芯上时，由于抑制了第2面的形状被转印至感光层，因此可以抑制在层压时成为气泡主要原因的凹凸形成于感光层上。由此推测，可以抑制在进行层压时产生气泡。
然而，如果在将具有薄层的感光层的感光性元件的该感光层层压于基材时产生层压气泡，则存在损害搭载使用这种感光性元件所获得的固化物(特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等)的电子部件的可靠性的课题。另一方面，根据本发明的感光性元件，即便在感光性元件具有薄层的感光层时，由于可以抑制进行层压产生气泡，因此也可以使搭载使用本发明的感光性元件所获得的固化物(抗蚀图案等)的电子部件的可靠性提高。
本发明的感光性元件中，感光层的厚度优选小于20μm。具有这种薄层的感光层的感光性元件有时会显示与具有厚度为20μm以上的感光层的感光性元件不同的行为，但根据本发明的感光性元件，即便是如此感光层是薄层的情况，也可抑制在进行层压时产生气泡。
本发明人们发现了，保护膜中未与感光层相接触的面的形状会有助于在感光层上形成凹凸的现象在感光层的厚度为10μm以下时特别显著地发生。推测是由于感光层变薄、感光层的体积减小，从而导致发生上述现象。与此相对，在本发明的感光性元件中，感光层的厚度也可以为10μm以下。在本发明的感光性元件中，即便在使用具有10μm以下的感光层的感光性元件时，也可抑制在进行层压时产生气泡。
本发明的感光性元件在400～700nm波长区域内的平均透光率可以为80％以上。此时，可以将感光性元件优选地用于要求透明性的触摸面板用途等中。
感光层还可含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物及光聚合引发剂。
本发明的感光性元件还可被用于在透明基材上形成固化物。
本发明的第4实施方式提供一种感光性元件卷，其具备卷芯和卷绕在该卷芯上的感光性元件，所述感光性元件是本发明的感光性元件。
本发明的第5实施方式提供一种抗蚀图案的制造方法，其具备下述工序：将本发明的感光性元件的所述聚丙烯膜剥离后、将所述感光层及所述支撑膜层叠在基材上的工序；对所述感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部的工序；以及将所述感光层中的所述光固化部以外的部分除去的工序。
本发明的第6实施方式提供一种电子部件，其具备通过本发明的抗蚀图案的制造方法获得的抗蚀图案。另外，本发明的第7实施方式提供一种电子部件，其具备本发明的感光性元件的所述感光层的固化物。
发明效果
根据本发明，即便在感光性元件具有薄层的感光层时，也可抑制在进行层压时产生气泡。由此，可以使搭载使用本发明的感光性元件所获得的固化物(抗蚀图案等)的电子部件的可靠性提高。例如，通过使用所述感光性元件以获得固化物(特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等)，可以在不损害电子部件的可靠性的情况下制造搭载这种固化物的电子部件。
根据本发明，可以提供感光性元件的用于形成固化物(特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等)的应用。根据本发明，可以提供感光性元件的用于制造电子部件的应用。例如，根据本发明，可以提供感光性元件的用于形成具有固化物(保护构件等)的电子部件的该固化物的应用。根据本发明，可以提供感光性元件的用于在基材(例如透明基材)上形成固化物(例如树脂固化物图案等抗蚀图案)的应用。根据本发明，可以提供感光性元件的用于制造触摸面板的应用。例如，根据本发明，可以提供感光性元件的用于在触摸面板用基材上形成保护膜(例如树脂固化物图案等抗蚀图案)的应用。
附图说明
图1为用于说明平滑性的评价方法的示意图。
图2为表示纤维状气泡的SEM照片。
图3为表示圆状气泡的SEM照片。
图4为用于说明气泡产生的推测机理的示意截面图。
图5为表示本发明的实施方式的感光性元件的示意截面图。
图6为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的示意截面图。
图7为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的示意截面图。
图8为表示本发明的一个实施方式的电子部件的示意俯视图。
图9为表示本发明的一个实施方式的电子部件的部分截面图。
图10为表示本发明的一个实施方式的电子部件的示意俯视图。
图11为表示本发明的一个实施方式的电子部件的示意俯视图。
图12为图11的部分切开立体图。
图13为沿着图12的XIII-XIII线的部分截面图。
图14为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的部分切开立体图。
图15为用于说明本发明的一个实施方式的电子部件的制造方法的部分截面图。
图16为表示本发明的一个实施方式的电子部件的部分俯视图。
图17为表示层压气泡的评价结果的显微镜照片。
符号说明
1、1a、1b、100感光性元件；10、110支撑膜；20、120感光层；22、422、423保护膜；30、130保护膜；30a、130a主面(第1面)；30b、130b主面(第2面)；40导电层；200触摸面板用基材；210、220触摸面板用电极；230光掩模；300带有固化膜的触摸面板用基材；400、500、600触摸面板；401、501、601透明基板；402触摸画面；403、404、503、504、604透明电极；405、505a、505b、605引出布线；406连接电极；407连接端子；504a导电材料部；504b桥接部；524、625绝缘膜；604a透明电极布线；608开口部；A、B凹凸；A1、A2、A3测定区域；C区域；F1感光层；F2PET膜；L活性光线。
具体实施方式
以下对本发明的实施方式详细地进行说明。但本发明并非限定于以下的实施方式，可以在其主旨范围内进行各种变形来实施。
本说明书中，“(甲基)丙烯酸”是指丙烯酸或甲基丙烯酸，“(甲基)丙烯酸酯”是指丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯、“(甲基)丙烯酸树脂”是指丙烯酸树脂或甲基丙烯酸树脂。
(感光性元件)
本实施方式的感光性元件具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于支撑膜与聚丙烯膜之间的感光层，聚丙烯膜具有感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，满足下述(I)～(III)中的至少一个。
(I)所述第1面及所述第2面是平滑的。
(II)所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下。
(III)所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0.5μm以下。
以下进一步对本实施方式的感光性元件进行说明。图5是表示本实施方式的感光性元件的示意截面图。图5(a)所示的感光性元件1是层叠(A)支撑膜10、(B)感光层(感光性树脂组合物层)20及(C)保护膜30而成的感光性元件。感光层20配置于支撑膜10与保护膜30之间。感光性元件1在层叠方向上按顺序具备支撑膜10、感光层20和保护膜30。
作为支撑膜10，可以使用聚合物膜，优选具有耐热性及耐溶剂性的聚合物膜。作为这种聚合物膜，例如可举出聚对苯二甲酸乙二醇酯膜等聚酯膜；聚乙烯膜、聚丙烯膜等聚烯烃膜；聚碳酸酯膜。其中，从透明性及耐热性优异的观点出发，优选聚对苯二甲酸乙二醇酯膜。
作为支撑膜10，例如可举出帝人Dupont Films株式会社制的Tetoron(商标名)膜G2系列、HS系列、03系列、Mylar膜D系列；Toray株式会社制的Lumirror FB50系列；东洋纺织株式会社制的COSMOSHINE系列。
支撑膜10的厚度从通过抑制机械强度降低来抑制涂布时支撑膜破裂等问题的发生的观点出发，优选为1μm以上，更优选为12μm以上。支撑膜10的厚度从在抑制析像度降低的同时还抑制价格提高的观点出发，优选为100μm以下，更优选为25μm以下。
感光层20含有感光性树脂组合物。作为感光性树脂组合物，只要是具有感光性则无特别限定，例如可举出含有(a)粘合剂聚合物、(b)光聚合性化合物及(c)光聚合引发剂的组合物。
作为(a)成分，例如可举出(甲基)丙烯酸树脂、苯乙烯树脂、环氧树脂、酰胺树脂、酰胺环氧树脂、醇酸树脂及酚醛树脂。(a)成分可单独使用1种或者组合使用2种以上。其中，作为(a)成分，从碱显影性优异的观点出发，优选(甲基)丙烯酸树脂。(a)成分例如具有来自光聚合性单体的结构单元，可通过使光聚合性单体发生聚合(例如自由基聚合)来制造。
作为光聚合性单体，例如可举出苯乙烯、乙烯基甲苯等在α-位或芳香族环上经取代的能够聚合的苯乙烯衍生物；(甲基)丙烯酸；(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸庚酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯等(甲基)丙烯酸烷基酯；(甲基)丙烯酸二环戊基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯、(甲基)丙烯酸二甲基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸二乙基氨基乙酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯等(甲基)丙烯酸衍生物；马来酸。作为光聚合性单体，可以单独使用1种或者组合使用2种以上。
(a)成分从可挠性优异的观点出发，作为所述光聚合性单体，优选含有选自(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸苄酯及(甲基)丙烯酸缩水甘油酯中的至少1种。
作为用于使光聚合性单体发生聚合的聚合引发剂，例如可举出自由基聚合引发剂。作为自由基聚合引发剂，可适当使用在可逆加成-裂解链转移聚合(RAFT聚合)中使用的聚合引发剂。
作为自由基聚合引发剂，例如可举出过氧化苯甲酰、过氧化乙酰、过氧化月桂酰、过氧化二叔丁基、氢过氧化异丙苯、叔丁基过氧化氢、过氧化二异丙苯基等过氧化引发剂；AIBN(2,2’-偶氮双异丁腈)、V-65(偶氮双二甲基戊腈)等偶氮引发剂。其中，从可以使用低沸点的溶剂及难以引起副反应等观点出发，优选偶氮引发剂，更优选AIBN。
(a)成分的重均分子量从析像度优异的观点出发，优选为10000以上，更优选为15000以上，进一步优选为20000以上，特别优选为30000以上。(a)成分的重均分子量从析像度优异的观点出发，优选为200000以下，更优选为150000以下，进一步优选为100000以下。(a)成分的重均分子量可以使用标准聚苯乙烯的标准曲线、利用凝胶渗透色谱法(GPC)在下述条件下进行测定。
[GPC条件]
泵：日立L-6000型(株式会社日立制作所制、产品名)
色谱柱：Gelpack GL-R420、Gelpack GL-R430、Gelpack GL-R440(以上为日立化成株式会社制、产品名)
洗脱液：四氢呋喃
测定温度：40℃
流量：2.05mL/分钟
检测器：日立L-3300型RI(株式会社日立制作所制、产品名)
作为(b)成分的光聚合性化合物，可以使用具有烯键式不饱和基团的光聚合性化合物。作为具有烯键式不饱和基团的光聚合性化合物，例如可举出单官能乙烯基单体、二官能乙烯基单体及具有至少3个能够聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体。(b)成分可单独使用1种或组合使用2种以上。
作为单官能乙烯基单体，例如可举出上述的光聚合性单体。其中，优选(甲基)丙烯酸、(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯。
作为二官能乙烯基单体，例如可举出聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、2,2-双(4-(甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基苯基)丙烷)、2,2-双(4-((甲基)丙烯酰氧基聚丙氧基)苯基)丙烷、2,2-双(4-((甲基)丙烯酰氧基聚乙氧基聚丙氧基)苯基)丙烷及双酚A二缩水甘油基醚二(甲基)丙烯酸酯。
作为具有至少3个能够聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体，例如可举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷三(甲基)丙烯酸酯、四羟甲基甲烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯及三羟甲基丙烷三缩水甘油基醚三(甲基)丙烯酸酯。
(b)成分从在基材(例如透明基材)上形成固化物时与基材的密合性优异的观点出发，优选含有具有至少3个能够聚合的烯键式不饱和基团的多官能乙烯基单体。
作为(c)成分的光聚合引发剂，例如可举出二苯甲酮、N,N,N’,N’-四甲基-4,4’-二氨基二苯甲酮(别名米氏酮)、4-甲氧基-4’-二甲基氨基二苯甲酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮、2-甲基-1-[4-(甲基硫代)苯基]-2-吗啉基-1-丙酮等芳香族酮；苯偶姻甲基醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻苯基醚等苯偶姻醚化合物；苯偶姻、甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻化合物；1-[4-(苯基硫代)苯基]-1,2-辛二酮2-(O-苯甲酰基肟)(例如BASF株式会社制的产品名“OXE-01”)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙酮O-乙酰基肟(例如BASF株式会社制的产品名“OXE-02”)等肟酯化合物；2,4,6-三甲基苯甲酰基-二苯基-膦氧化物等膦氧化物化合物；苄基二甲基缩酮等苄基衍生物；9-苯基吖啶、1,7-双(9,9’-吖啶基)庚烷等吖啶衍生物；N-苯基甘氨酸、N-苯基甘氨酸衍生物、香豆素系化合物、噁唑系化合物。
其中，从所形成的固化物(保护膜等)的透明性优异的观点以及图案形成能力(例如厚度为10μm以下时的图案形成能力)优异的观点出发，优选肟酯化合物及膦氧化物化合物。(c)成分可单独使用1种或组合使用2种以上。
感光层20中(a)成分的配合量从涂膜性优异、抑制边缘融合(树脂从感光性元件端部渗出的现象)的观点出发，相对于(a)成分及(b)成分的总量100质量份优选为40质量份以上，更优选为50质量份以上。(a)成分的配合量从在抑制感度降低的同时还抑制机械强度减弱的观点出发，相对于(a)成分及(b)成分的总量100质量份优选为80质量份以下，更优选为70质量份以下。
感光层20中(b)成分的配合量从提高固化物(例如固化膜)的机械强度的观点出发，相对于(a)成分及(b)成分的总量100质量份优选为20质量份以上，更优选为30质量份以上。(b)成分的配合量从涂膜性优异、抑制边缘融合(树脂从感光性元件端部渗出的现象)的观点出发，相对于(a)成分及(b)成分的总量100质量份优选为60质量份以下，更优选为50质量份以下。
感光层20中(c)成分的配合量从获得充分感度的观点出发，相对于(a)成分及(b)成分的总量100质量份优选为0.1质量份以上，更优选为0.2质量份以上。(c)成分的配合量从抑制曝光时在组合物表面上的吸收增大、内部的光固化变得不充分的观点出发，相对于(a)成分及(b)成分的总量100质量份优选为20质量份以下，更优选为10质量份以下。
感光层20还可根据需要含有孔雀绿等染料；三溴甲基苯基砜、隐色结晶紫等光发色剂；对甲苯磺酰胺等增塑剂；阻聚剂、热发色防止剂、颜料、填充剂、消泡剂、阻燃剂、稳定剂、密合性赋予剂、流平剂、剥离促进剂、抗氧化剂、香料、成像剂、热交联剂作为任意成分。该任意成分的各自的含量相对于(a)成分及(b)成分的总量100质量份例如为0.01～20质量份。所述任意成分可单独使用1种或者组合使用2种以上。
感光层20可如下形成：将构成成分溶解在甲醇、乙醇、丙酮、甲乙酮、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、甲苯、N,N-二甲基甲酰胺、丙二醇单甲酯、丙二醇单甲基醚乙酸酯、二甲基乙酰胺等溶剂或它们的混合溶剂中，获得固体成分为30～60质量％左右的溶液，将所得溶液涂布在支撑膜10上之后进行干燥，从而形成。接着，通过在感光层20上层叠保护膜30，获得感光性元件1。
感光层20的厚度(干燥后的厚度)优选小于20μm。另外，感光层20的厚度从易于获得抑制气泡产生的效果的观点出发，优选为下述厚度。即，感光层20的厚度从抑制随动性降低、抑制缺陷产生的观点出发，优选为1μm以上，更优选为2μm以上。感光层20的厚度从易于将电子部件薄型化(例如在作为触摸面板等强烈要求薄型化的电子部件的构成构件进行使用时，易于将电子部件薄型化)的观点出发，更优选为15μm以下，进一步优选为10μm以下，特别优选为9μm以下，极其优选为8μm以下，非常优选为7μm以下。另外，感光层20的厚度还可以是20μm以上。
感光层20在30℃下的粘度从抑制在将感光性元件卷绕在卷芯上时发生边缘融合的观点出发，优选为15MPa·s以上，更优选为25MPa·s以上。感光层20在30℃下的粘度从抑制树脂流动降低、易于抑制气泡产生的观点出发，优选为50MPa·s以下，更优选为40MPa·s以下。
保护膜30是聚丙烯膜。保护膜30具有感光层20侧的主面(第1面)30a和主面30a的相反侧的主面(第2面)30b，主面30a及主面30b是平滑的(两面平滑)。
主面30a及主面30b的两面平滑可以通过在将感光性元件1卷绕在卷芯上之后层压感光层20来进行确认。当主面30a及主面30b具有凹凸而不平滑时，凹凸会被转印至感光层20上而形成气泡，但当主面30a及主面30b的两面是平滑时，由于没有凹凸会被转印至感光层20上，因此可以抑制气泡形成。
主面30a及主面30b的两面是平滑的可以按照以下顺序进行确认。首先，将感光性元件1卷绕在卷芯(例如外径为84mm、内径为76mm)上。感光性元件1例如按照支撑膜10被配置在最外侧的方式、以90N/m的张力被卷绕在卷芯上。接着，将经卷绕的感光性元件1的保护膜30剥离后，如图1所示，将支撑膜10及感光层20的层叠物(图1的符号F1)按照感光层20与PET膜相接触的方式在PET膜(图1的符号F2、支撑膜10及感光层20的宽度是PET膜的宽度的99％)上转印(在层压温度为90℃、层压速度为2.0m/分钟、辊线压为0.63MPa、PET膜的宽度方向的两端以大致等间隔从感光层20露出的条件下进行转印)500mm。例如，感光层20的宽度为495mm、PET膜的厚度为125μm、PET膜的宽度为500mm。作为PET膜，例如可以使用东洋纺织株式会社制的产品名“A-4300”。然后，利用显微镜(物镜20倍)对感光层20中未与PET膜相接触的主面(感光层20中与支撑膜10相接触的面)上的3个规定的测定区域(图1所示的1cm×1cm的区域A1、A2及A3。区域A1：感光层20整体的长度方向及宽度方向的中央部；区域A2：将感光层20在长度方向及宽度方向上分别分割成2部分而隔成的4个区域中的1个区域的中央部。区域A3：与区域A2呈对角位置的区域的中央部)进行观察。在这种观察中确认到的直径为10μm以上的气泡数平均为2个以下时，可以确认主面30a及主面30b的两面是平滑的。显微镜观察中例如可以使用形状测定激光显微镜。
主面30a及主面30b的算术平均粗糙度(Ra)从进一步抑制在进行层压时产生气泡的观点出发，优选为0.05μm以下，更优选为0.04μm以下，进一步优选为0.03μm以下，特别优选为0.02μm以下。算术平均粗糙度(Ra)还可以是0μm。
主面30a及主面30b的最大高度(Rmax)从进一步抑制在进行层压时产生气泡的观点出发，优选为0.5μm以下，更优选为0.4μm以下，进一步优选为0.35μm以下。最大高度(Rmax)还可以是0μm。
保护膜30的两面的算术平均粗糙度(Ra)及最大高度(Rmax)例如可按照下述顺序进行测定。
(a)由保护膜切出5cm×10cm的测定样品。
(b)在平坦的玻璃基板(10cm×10cm)上用吸管(spuit)滴下1滴水后，按照没有气泡进入的方式利用清洁辊将测定样品压接在玻璃基板上。
(c)利用砝码将测定样品的长度方向的两端固定，任意选择10处测定样品中的测定区域(284.1μm×213.1μm的区域)。
(d)使用形状测定激光显微镜(VK-X200、KEYENCE株式会社制)，以物镜50倍观察测定区域，同时测定算术平均粗糙度(Ra)及最大高度(Rmax)，之后算出共计10处的平均值。
(e)反复进行上述工序(a)～(d)，共计获取3次测定值，将重复3次的平均值作为算术平均粗糙度(Ra)及最大高度(Rmax)来采用。
对于保护膜30的厚度，为了获得保护膜30的充分强度，从抑制在将保护膜30粘贴在感光层20上时产生断裂的观点出发，优选为1μm以上，更优选为5μm以上，进一步优选为15μm以上。保护膜30的厚度从在抑制价格增高的同时还抑制层压保护膜30时产生皱褶的观点出发，优选为100μm以下，更优选为50μm以下，进一步优选为35μm以下，特别优选为30μm以下。
作为保护膜30，例如可举出E-201F(王子F-Tex株式会社制、两面平滑聚丙烯膜)。
感光层20与支撑膜10的粘接强度优选大于感光层20与保护膜30的粘接强度。感光层20与支撑膜10的粘接强度为感光层20与保护膜30的粘接强度以上时，具有在层压时除去保护膜30时、感光层20转印至保护膜30侧的倾向。
感光性元件1例如可如下获得：将上述感光性树脂组合物涂布在支撑膜10上并进行干燥而形成感光层20后，将保护膜30层叠在感光层20上，从而获得。
感光性元件1在400～700nm波长区域内的平均透光率从可以将感光性元件优选用于要求透明性的触摸面板用途等中的观点出发，优选为80％以上，更优选为85％以上。透光率可以利用UV分光计(例如株式会社日立制作所制、228A型W光束分光光度计及紫外可见光分光光度计(U-3310))、浊度计(例如日本电色工业株式会社制、产品名“NDH5000”)等进行测定。
感光性元件1的厚度从进一步抑制层压气泡产生的观点出发，优选为20μm以上，更优选为30μm以上。感光性元件1的厚度的上限例如为100μm。
感光性元件1中，感光层20还可以与支撑膜10和/或保护膜30相接触。另一方面，在本实施方式的感光性元件中，在支撑膜10与保护膜30之间，除了感光层20之外，还可层叠其它的层(中间层)，感光层20也可不与支撑膜10或保护膜30相接触。例如。图5(b)所示的感光性元件(感光性导电膜)1a除了支撑膜10、感光层20及保护膜30之外，还进一步具备配置于支撑膜10与感光层20之间的(D)导电层40。另外，感光性元件1a中，还可在导电层40中含浸感光层20的感光性树脂组合物中的成分。
本实施方式的感光性元件可以用于形成固化物(特别是绝缘膜、间隔物、触摸面板的保护构件等永久抗蚀剂等。例如由感光性树脂组合物的固化膜图案构成的固化膜)。本实施方式的感光性元件可以用于制造电子部件。例如，本实施方式的感光性元件可以用于形成具有固化物(保护构件等)的电子部件的该固化物。本实施方式的感光性元件可以用于在基材(例如透明基材)上形成固化物(例如树脂固化物图案等抗蚀图案)。本实施方式的感光性元件可以用于制造触摸面板。例如，本实施方式的感光性元件可以用于在触摸面板用基材上形成保护膜(例如树脂固化物图案等抗蚀图案)。
(感光性元件卷)
感光性元件1可以以任意形态进行储存，通常可以以在圆筒状等的卷芯上卷绕成卷状的形态来进行储存。本实施方式的感光性元件卷具备卷芯和卷绕在该卷芯上的感光性元件，所述感光性元件是本实施方式的感光性元件。作为卷芯的材质，只要是以往使用的材质则无特别限定，例如可举出聚乙烯树脂、聚丙烯树脂、聚苯乙烯树脂、聚氯乙烯树脂、ABS树脂(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)等塑料。在储存时，优选按照支撑膜处于最外侧的方式来进行卷绕。在感光性元件卷绕成卷状的感光性元件卷的端面上，从保护端面的观点出发，优选设置端面隔板。此外，在感光性元件卷的端面上，从耐边缘融合的观点出发，优选设置防湿端面隔板。在捆扎感光性元件卷时，优选包裹在透湿性小的黑铁皮中进行包装。
(抗蚀图案的制造方法)
本实施方式的抗蚀图案的制造方法(形成方法)按顺序具备层叠工序、曝光工序和显影工序。以下示出使用了感光性元件1的方法作为一例。
在层叠工序中，将感光性元件1的保护膜30剥离后，将感光层20及支撑膜10层叠在基材(基板等)上。感光层20及支撑膜10按照以感光层20、支撑膜10的顺序配置于基材上的方式层叠在基材上。
作为要层叠感光性元件1的基材表面(凹凸表面)的材质并无特别限定，例如可举出玻璃、硅及金属。
层叠工序中的感光层20的加热温度优选为50～130℃，更优选为90～130℃。压接压力(辊线压)优选为0.1～1.0MPa(1～10kgf/cm2)。但加热温度及压接压力并非限定于上述条件。在如上所述将感光层20加热至50～130℃时，并非一定要预先对具有微细凹凸结构的基材进行预热处理，但为了进一步提高层叠性，也可以进行基材的预热处理。
在曝光工序中，对感光层20的规定部分照射活性光线，在感光层20上形成光固化部。存在于感光层20上的支撑膜10为透明的时，也可透过支撑膜10将活性光线照射到感光层20上。支撑膜10是不透明的时，将支撑膜10除去。从保护感光层20的观点出发，优选支撑膜10是透明的。
作为活性光线的光源，使用公知的光源(例如碳弧灯、汞蒸气弧灯、超高压汞灯、高压汞灯、氙灯等有效放射紫外线的光源)。除此以外还可使用照相用泛光灯、太阳能灯等有效放射可见光的光源。
在显影工序中，将感光层20中的光固化部以外的部分除去，获得抗蚀图案。显影工序中，在曝光工序后根据需要除去支撑膜10。剥离工序通常用手进行，也可通过使用任意的工具、机械来高效地进行处理。
还可通过根据需要进行80～250℃左右的加热处理来对抗蚀图案进一步进行固化。加热处理可以在将支撑膜10从感光层20上剥离之前进行，也可在将支撑膜10从感光层20上剥离之后进行。
(电子部件及其制造方法)
本实施方式的电子部件具备本实施方式的感光性元件的感光层的固化物(固化膜等)。电子部件例如具备所述固化物作为保护构件(保护膜等)。本实施方式的电子部件例如具备通过上述抗蚀图案的制造方法获得的抗蚀图案。作为电子部件，例如可举出触摸面板、液晶显示器、有机电致发光、太阳能电池组件、印制电路布线板及电子纸。以下对使用感光性元件获得的电子部件及其制造方法(抗蚀图案的使用例、保护膜的使用位置)进一步进行说明。
使用图6及图7，作为使用感光性元件获得的电子部件及其制造方法的第1实施方式，说明触摸面板及其制造方法的一例。图6及图7是用于说明带有固化膜(保护膜)的触摸面板(触摸传感器)用基材的制造方法的示意截面图。
首先，如图6(a)所示，准备感光性元件1b。接着，如图6(b)所示，将感光性元件1b的保护膜30剥离后，在配置于基材(触摸面板用基材)200上的电极(触摸面板用电极)210、220上层叠支撑膜10及感光层20。接着，如图7(a)所示，隔着光掩模230对感光层20的规定部分照射活性光线L，形成光固化部。然后，在活性光线L的照射后，将感光层20中的光固化部以外的部分(感光层20的未被照射活性光线L的部分)除去。由此，如图7(b)所示，形成将电极210、220的至少一部分覆盖的保护膜22。如上获得带有固化膜的触摸面板用基材300。
接着，使用图8～10，作为使用感光性元件获得的电子部件及其制造方法的第2实施方式，说明触摸面板及其制造方法的一例。图8是表示静电电容式触摸面板的一例的示意俯视图。图9是表示静电电容式触摸面板的一例的部分截面图，图9(a)是沿着图8中的区域C的IXa-IXa线的部分截面图，图9(b)是表示与图9(a)不同形态的部分截面图。图10是表示静电电容式触摸面板的其它例的示意俯视图。
图8及图9(a)所示的触摸面板(静电电容式触摸面板)400在透明基板(透明基材、触摸面板用基材)401的单面上具有用于检测触摸位置坐标的触摸画面402。在透明基板401上交替地配置有用于检测触摸画面402的区域的静电电容变化的透明电极403及透明电极404。透明电极403、404分别检测触摸位置的静电电容的变化。由此，透明电极403检测X位置坐标的信号、透明电极404检测Y位置坐标的信号。
在透明基板401上配置有用于将在透明电极403、404中检测到的触摸位置的检测信号传递至外部电路的引出布线405。引出布线405与透明电极403、404在直接连接的同时，还介由配置于透明电极403、404上的连接电极406相连接(参照图9(a))。此外，如图9(b)所示，引出布线405与透明电极403、404还可以不介由连接电极406而直接连接。引出布线405的一端连接于透明电极403、404，引出布线405的另一端连接于用于与外部电路连接的连接端子407。
在引出布线405、连接电极406及连接端子407上配置有保护膜(树脂固化膜图案)422。在图9(a)所示的截面中，用保护膜422将透明电极404的一部分以及引出布线405和连接电极406的全部覆盖。本实施方式的感光性元件可优选用于形成固化物(树脂固化膜图案)来作为用于保护引出布线405、连接电极406及连接端子407的保护膜422。
另外，这种保护膜422还可同时保护位于传感区域的电极。例如在图8中，通过保护膜422保护引出布线405、连接电极406、传感区域的部分电极及连接端子407的一部分。配置保护膜的位置还可适当变更。例如如图10所示，还可按照将触摸画面402全部保护的方式来配置保护膜423。
对使用了本实施方式的感光性元件的触摸面板400的制造方法进行说明。首先，在透明基板401上形成用于检测X位置坐标的透明电极403。接着，隔着绝缘层(未图示出)形成用于检测Y位置坐标的透明电极404。作为透明电极403、404的形成方法，例如可以采用对配置于透明基板401上的透明电极层进行刻蚀的方法。
接着，在透明基板401上形成用于与外部电路连接的引出布线405及连接引出布线405和透明电极403、404的连接电极406。引出布线405及连接电极406可以在形成透明电极403、404之后形成，还可在形成透明电极403、404时同时地形成。作为引出布线405及连接电极406的形成方法，例如可采用在金属溅射后进行刻蚀的方法。引出布线405例如还可以使用含有薄片状银的导电糊状材料、利用丝网印刷法、在形成连接电极406时同时地形成。接着，形成用于连接引出布线405和外部电路的连接端子407。
按照将利用上述工序形成的透明电极403、透明电极404、引出布线405、连接电极406及连接端子407覆盖的方式，压接本实施方式的感光性元件的感光层，将感光层20转印至这些构成构件上。接着，隔着所需形状的光掩模，对感光层20以图案状照射活性光线，形成光固化部。照射活性光线之后，进行显影，将感光层20中的光固化部以外的部分除去。由此，形成由感光层20的光固化部构成的保护膜422。如上可以制造具备保护膜422的触摸面板(具备带有保护膜422的触摸面板用基材的触摸面板)400。
接着，使用图11～15，作为使用感光性元件获得的电子部件及其制造方法的第3实施方式，说明透明电极存在于同一平面的静电电容式触摸面板及其制造方法的一例。图11是表示触摸面板的一例的示意俯视图。图12是图11的部分切开立体图。图13是沿着图12的XIII-XIII线的部分截面图。图14是用于说明触摸面板的制造方法的部分切开立体图，图14(a)是表示具备透明电极的基板的部分切开立体图，图14(b)是表示静电电容式触摸面板的部分切开立体图。图15是用于说明触摸面板的制造方法的部分截面图，图15(a)是沿着图14(a)的XVa-XVa线的部分截面图，图15(b)是表示形成绝缘膜的工序的部分截面图，图15(c)是沿着图14(b)的XVc-XVc线的部分截面图。
图11～13所示的触摸面板(静电电容式触摸面板)500在透明基板(透明基材、触摸面板用基材)501上具有检测静电电容变化的透明电极503及透明电极504。透明电极503对X位置坐标的信号进行检测。透明电极504对Y位置坐标的信号进行检测。透明电极503及透明电极504存在于同一平面上。在透明电极503、504上连接有用于与控制作为触摸面板的电信号的驱动元件电路(未图示出)的控制电路连接的引出布线505a及引出布线505b。在透明电极503与透明电极504交叉的部分处，在透明电极503与透明电极504之间配置有绝缘膜524。
使用图14～15对触摸面板500的制造方法进行说明。触摸面板500的制造方法中，例如还可使用下述基板：利用使用了透明导电材料的公知方法、在透明基板501上预先形成了透明电极503及用于形成透明电极504的导电材料部的基板。例如，如图14(a)及图15(a)所示，准备预先形成有透明电极503和用于形成透明电极504的导电材料部504a的基板。接着，如图15(b)所示，在透明电极503与透明电极504变得交叉的透明电极503的一部分(透明电极503中被两个导电材料部504a夹持的部分)上，通过将本实施方式的感光性元件的感光层进行曝光及显影，形成绝缘膜524。接着，如图14(b)及图15(c)所示，利用公知的方法，在绝缘膜524上形成导电图案作为透明电极504的桥接部504b。通过利用桥接部504b将导电材料部504a之间导通而形成透明电极504。然后，通过形成引出布线505a、505b，获得触摸面板500。本实施方式的感光性元件可优选用于形成固化物(树脂固化膜图案)来作为绝缘膜524。
透明电极503、504例如还可通过使用了ITO等的公知方法来形成。引出布线505a、505b除了利用透明导电材料之外，还可通过使用了Cu、Ag等金属等的公知方法来形成。另外，在触摸面板500的制造方法中，还可使用预先形成有引出布线505a、505b的基板。
接着，使用图16，作为使用感光性元件获得的电子部件的第4实施方式，说明触摸面板的一例。图16是表示触摸面板之一例的部分俯视图。图16所示的触摸面板600是旨在触摸面板的窄框化的面板。
触摸面板600具有透明基板(透明基材、触摸面板用基材)601、透明电极604、布线(透明电极布线)604a、引出布线605及绝缘膜(绝缘膜、例如透明绝缘膜)625。透明电极604及布线604a配置于透明基板601上。布线604a自透明电极604延伸。绝缘膜625配置于透明电极604的端部及布线604a上。引出布线605配置于绝缘膜625上。在一部分的透明电极604的端部上方，在绝缘膜625上形成开口部608。透明电极604及引出布线605介由开口部608而连接及导通。本实施方式的感光性元件可优选用于形成固化物(树脂固化膜图案)来作为绝缘膜625。
【实施例】
以下通过实施例说明本发明，但本发明并非限定于其。
＜感光性树脂组合物的溶液的制备＞
如下制作粘合剂聚合物溶液。首先，在具备搅拌器、回流冷却器、不活泼性气体导入口及温度计的烧瓶中装入表1所示的成分(1)，在氮气气氛下升温至80℃。一边将反应温度保持于80℃±2℃，一边用4小时的时间均匀地滴加表1所示的成分(2)。在滴加成分(2)之后，在80℃±2℃下持续搅拌6小时，获得重均分子量(Mw)为约80000的粘合剂聚合物溶液(固体成分为45质量％)。
表1
另外，重均分子量是在下述条件下利用凝胶渗透色谱法(GPC法)进行测定、使用标准聚苯乙烯的标准曲线进行换算而导出的。
[GPC条件]
泵：日立L-6000型(株式会社日立制作所制、产品名)
色谱柱：Gelpack GL-R420、Gelpack GL-R430、Gelpack GL-R440(以上由日立化成株式会社制、产品名)
洗脱液：四氢呋喃
测定温度：40℃
流量：2.05mL/分钟
检测器：日立L-3300型RI(株式会社日立制作所制、产品名)
以表2所示的配合量(质量份单位)混合下述表2所示的各成分，从而制备感光性树脂组合物的溶液。另外，是按照(a)成分的不挥发成分的质量(固体成分量)达到表2所示的配合量的方式来混合上述合成的粘合剂聚合物溶液。
表2
表2的各成分的详细情况如下所述。
(a)粘合剂聚合物
PM-300：上述合成的粘合剂聚合物
(b)光聚合性化合物
TMPTA：三羟甲基丙烷三丙烯酸酯(日本化药株式会社制)
(c)光聚合引发剂
OXE-01：1-[4-(苯基硫代)苯基]-1,2-辛二酮2-(O-苯甲酰基肟)(BASF株式会社制)
(其它成分)
AW-500：苯酚系阻聚剂(川口化学工业株式会社制)
SH-30：有机硅流平剂(Toray·Dowcorning株式会社制)
＜感光性元件的制作＞
(实施例1)
将上述获得的感光性树脂组合物的溶液均匀地涂布在厚度为16μm的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(东洋纺织株式会社制、产品名“COSMOSHINEA-1517”)上。利用70℃及110℃的热风对流式干燥器依次进行干燥处理，形成干燥后的厚度为5μm的感光层。通过将感光层与保护膜(王子F-Tex株式会社制、产品名“E-201F”)粘贴，获得依次层叠聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(支撑膜)、感光层和保护膜而成的感光性元件。按照支撑膜被配置于最外侧的方式，以90N/m的张力，将所得的感光性元件以卷状卷绕在圆筒状的卷芯(外径为84mm、内径为76mm)上。
(实施例2～4、比较例1～6)
除了代替保护膜(王子F-Tex株式会社制、产品名“E-201F”)而使用表3所示的保护膜之外，与实施例1同样地获得感光性元件。
＜表面粗糙度的测定＞
保护膜的两面的算术平均粗糙度(Ra)及最大高度(Rmax)按照下述顺序进行测定。
(a)由保护膜切出5cm×10cm的测定样品。
(b)在平坦的玻璃基板(10cm×10cm)上用吸管(spuit)滴下1滴水后，按照没有气泡进入的方式利用清洁辊将测定样品压接在玻璃基板上。
(c)利用砝码将测定样品的长度方向的两端固定，任意选择10处测定样品中的测定区域(284.1μm×213.1μm的区域)。
(d)使用形状测定激光显微镜(VK-X200、KEYENCE株式会社制)，以物镜50倍观察测定区域，同时测定算术平均粗糙度(Ra)及最大高度(Rmax)，之后算出共计10处的平均值。
(e)反复进行上述工序(a)～(d)，共计获取3次测定值，将重复3次的平均值作为算术平均粗糙度(Ra)及最大高度(Rmax)来采用。
＜平均透光率的测定＞
使用UV分光计(株式会社日立制作所制、228A型W光束分光光度计)，测定感光性元件在波长400～700μm波长区域内的平均透光率。
＜层压气泡评价＞
将保护膜剥离后，如图1所示，在下述层压条件下将感光性元件(宽度为495mm)的感光层在基材(PET膜、厚度为125μm、宽度为500mm、东洋纺织株式会社制、产品名“A-4300”)上转印500mm。然后，将支撑膜剥离后，利用显微镜(物镜20倍)对感光层中未与基材相接触的主面上的3个测定区域(图1所示的1cm×1cm的区域A1、A2及A3)进行表面观察，评价直径为10μm以上的层压气泡的平均气泡数。
[层压条件]
层压辊温度：90℃(上下均是)
层压速度；2.0m/分钟
辊线压：0.63MPa
将有关实施例1～4及比较例1～6的评价结果示于表3。其中，在算术平均粗糙度(Ra)及最大高度(Rmax)的栏中，“第1面”是指保护膜中与感光层相接触的面、“第2面”是指保护膜中未与感光层相接触的面。
另外，将层压气泡评价中实施例1及比较例1的观察结果之一例示于图17中。图17(a)是实施例1的观察结果、图17(b)是比较例1的观察结果。
表3
表3所示的保护膜的详细情况如下所述。
E-201F：两面平滑聚丙烯膜(王子F-Tex株式会社制)
OPP膜A：聚丙烯膜(样品物)
OPP膜B：聚丙烯膜(样品物)
OPP膜C：聚丙烯膜(样品物)
NF-15：两面凹凸聚乙烯膜(Tamapoly株式会社制)
E-200C：两面凹凸聚丙烯膜(王子制纸株式会社制)
E-201：单面平滑聚丙烯膜(王子F-Tex株式会社制)
EM-501：两面微细粗化聚丙烯膜(王子F-Tex株式会社制)
MA-411：高粗化/平滑聚丙烯膜(王子F-Tex株式会社制)
MA-420：粗化/粗化聚丙烯膜(王子F-Tex株式会社制)
如表3所示，通过使用具有两面平滑的保护膜的感光性元件，即便在感光性元件具有薄层的感光层时，也可抑制层压时产生气泡。
(实施例5)
将实施例1的感光层的厚度变为20μm，与实施例1同样地获得感光性元件。将所得的感光性元件以卷状卷绕在圆筒状的卷芯上之后，与实施例1同样地确认层压气泡的产生，结果是未产生气泡。
产业上的可利用性
根据本发明，即便是感光性元件具有薄层的感光层时，也可抑制在进行层压时产生气泡。特别是，根据本发明，即便是使用具有10μm以下的感光层的感光性元件时，也可抑制在进行层压时产生气泡。

Claims (12)

1.一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面是平滑的。
2.一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的算术平均粗糙度Ra为0.05μm以下。
3.一种感光性元件，其具备支撑膜、聚丙烯膜和配置于所述支撑膜与所述聚丙烯膜之间的感光层，所述聚丙烯膜具有所述感光层侧的第1面和该第1面的相反侧的第2面，所述第1面及所述第2面的最大高度Rmax为0.5μm以下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度小于20μm。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层的厚度为10μm以下。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性元件，其在400～700nm波长区域内的平均透光率为80％以上。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性元件，其中，所述感光层含有粘合剂聚合物、光聚合性化合物及光聚合引发剂。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性元件，其被用于在透明基材上形成固化物。
9.一种感光性元件卷，其具备卷芯和卷绕在该卷芯上的感光性元件，所述感光性元件是权利要求1～8中任一项所述的感光性元件。
10.一种抗蚀图案的制造方法，其具备下述工序：
将权利要求1～8中任一项所述的感光性元件的所述聚丙烯膜剥离后、将所述感光层及所述支撑膜层叠在基材上的工序；
对所述感光层的规定部分照射活性光线以形成光固化部的工序；以及
将所述感光层中的所述光固化部以外的部分除去的工序。
11.一种电子部件，其具备通过权利要求10所述的抗蚀图案的制造方法获得的抗蚀图案。
12.一种电子部件，其具备权利要求1～8中任一项所述的感光性元件的所述感光层的固化物。
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