CN104076084A - 一种摩擦电纳米传感器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基于电子转移机制的摩擦纳米传感器，该传感器包括：第一导电元件，第一导电元件下表面接触放置的第一摩擦层，第二导电元件，第二导电元件上表面直接生长或化学键连的纳米结构物，为第二摩擦层，以及，空间保持件；其中，所述空间保持件用于使所述第一摩擦层下表面与所述第二摩擦层上表面面对面并保持一定间距；所述第一摩擦层与所述第二摩擦层能够在外力的作用下至少部分接触、并在外力撤销时通过所述空间保持件的作用而恢复原有间距，同时通过所述第一导电元件和所述第二导电元件向外输出电信号；并且，所述电信号能够在所述第二摩擦层与待探测目标物质结合后发生改变。本传感器具有自驱动、高灵敏度、便携性等优势。

Description

一种摩擦电纳米传感器
技术领域
本发明涉及一种传感器，特别是利用摩擦纳米发电机的原理而制作的摩擦电纳米传感器。
背景技术
在微电子和材料技术高速发展的今日，大量新型具有多种功能和高度集成化的微型电子器件不断被开发出来，并在人们日常生活的各个领域展现出前所未有的应用前景。传感网络将是未来驱动经济发展的根本动力。传感包括机械传感，化学传感，生物传感和气体传感。纳米传感器是指利用传感器件将环境中值得注意的分子讯息（如重金属含量或人体中特定生物分子的改变量）转换成电讯号以便纪录分析的一种装置。随着科技不断的进步，其应用也越来越广，包括在化学分析、医疗诊断、食品工业或环境监测等领域上，皆可见到各种纳米传感器的运用。然而一般纳米传感器皆须外接电源来驱动其工作，不仅耗费能源，而且目前常用的电源以可充电或一次性电池为主，这些电源的体积较大，使纳米传感器的应用范围受到了严重的制约，同时电池废弃后对环境产生的恶劣影响也促使人们努力的寻找更为环保的动力来源。
自然界和人类生命存续过程中会不断产生各种动能和势能，如何将这些微小的能量转变为我们所需的驱动力来源，是人们在不断探寻的方向。但是，目前在分子传感领域，相关的报导极少，值得大力推广。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种基于摩擦电的纳米传感器，能够将运动、振动等自然存在的机械能转化为电能，同时结合电子的转移机制，实现了无需外接电源的纳米传感器技术。
为实现上述目的，本发明提供的摩擦电纳米传感器包括：
第一导电元件，
第一导电元件下表面接触放置的第一摩擦层，
第二导电元件，
第二导电元件上表面直接生长或化学键连的纳米结构物，为第二摩擦层，
以及，空间保持件；
其中，所述空间保持件用于使所述第一摩擦层下表面与所述第二摩擦层上表面面对面并保持一定间距；
所述第一摩擦层与所述第二摩擦层能够在外力的作用下至少部分接触、并在外力撤销时通过所述空间保持件的作用而恢复原有间距，同时通过所述第一导电元件和所述第二导电元件向外输出电信号；
并且，所述电信号能够在所述第二摩擦层与待探测目标物质结合后发生改变；
优选地，所述纳米结构物与待探测目标物质结合后二者之间能够形成电子转移；
优选地，所述电信号的变化量与待探测目标物质的种类和/或浓度有关；
优选地，所述纳米结构物能够与待探测目标物质发生高选择性的相互作用；
优选地，所述纳米结构物为纳米线、纳米片、纳米棒、纳米管和/或纳米锥构成的纳米阵列；
优选地，所述纳米结构物为金属氧化物；
优选地，所述纳米结构物选自二氧化钛、三氧化二铁、四氧化三铁和氧化锆；
优选地，所述待探测物质含有邻位二羟基；
优选地，所述带探测物质选自邻苯二酚、表儿茶素、表没食子儿茶素、3,4-二羟基苯乙酸、茜素、抗坏血酸或多巴胺。
优选地，所述第一摩擦层下表面和第二摩擦层的材料之间存在摩擦电极序差异；
优选地，所述第一摩擦层的下表面材料为绝缘材料或金属材料；
优选地，所述绝缘材料选自苯胺甲醛树脂、聚甲醛、乙基纤维素、聚酰胺尼龙11、聚酰胺尼龙66、羊毛及其织物、蚕丝及其织物、纸、聚乙二醇丁二酸酯、纤维素、纤维素醋酸酯、聚乙二醇己二酸酯、聚邻苯二甲酸二烯丙酯、再生纤维素海绵、棉及其织物、聚氨酯弹性体、苯乙烯-丙烯腈共聚物、苯乙烯-丁二烯共聚物、木头、硬橡胶、醋酸酯、人造纤维、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇、聚酯、聚异丁烯、聚氨酯弹性海绵、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯醇缩丁醛、丁二烯-丙烯腈共聚物、氯丁橡胶、天然橡胶、聚丙烯腈、聚(偏氯乙烯-co-丙烯腈)、聚双酚A碳酸酯、聚氯醚、聚偏二氯乙烯、聚（2,6-二甲基聚亚苯基氧化物）、聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚二苯基丙烷碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、聚二甲基硅氧烷、聚三氟氯乙烯、聚四氟乙烯和派瑞林；所述金属材料选自金、银、铂、铝、镍、铜、钛、铬或上述金属形成的合金薄膜；
优选地，所述绝缘材料为聚四氟乙烯或聚二甲基硅氧烷；
优选地，所述第一摩擦层下表面分布有微米或次微米量级的微结构；
优选地，所述微结构选自纳米线、纳米棒、纳米管、纳米锥、纳米颗粒、纳米沟槽、微米线、微米棒、微米管、微米锥、微米颗粒、微米沟槽；
优选地，所述第一摩擦层下表面有纳米材料的点缀或涂层；
优选地，所述纳米材料的点缀或涂层选自纳米颗粒、纳米管、纳米线和纳米棒；
优选地，所述第一摩擦层为在第一导电元件下表面直接生长或化学键连的纳米阵列；
优选地，无外力施加时，所述第一摩擦层下表面与所述第二摩擦层上表面之间的距离比第一摩擦层的厚度大一个数量级以上；
优选地，所述第二摩擦层上表面与第一摩擦层下表面形状相同，使得在有外力施加时，所述第一摩擦层下表面与所述第二摩擦层上表面完全接触；
优选地，还包括与第一导电元件上表面接触放置的第一绝缘支撑层和/或与第二导电元件下表面接触放置的第二绝缘支撑层；
优选地，所述第一绝缘支撑层和/或第二绝缘支撑层为有机玻璃板材、聚乙烯板材或聚氯乙烯板材；
优选地，所述第一导电元件和第二导电元件选自金属、导电氧化物或导电高分子；
优选地，所述第一导电元件和第二导电元件选自金、银、铂、铝、镍、铜、钛、铬或硒，以及由上述金属形成的合金；
本发明提供一种上述摩擦电纳米传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）清洗第二导电元件；
（2）在第二导电元件上表面原位生长纳米结构物，以形成第二摩擦层；
（3）提供第一摩擦层；
（4）在第一摩擦层上表面沉积第一导电元件；
（5）将第一导电元件和第二导电元件与外电路进行电连接；
（6）安装空间保持件，以使第一摩擦层和第二摩擦层面对面并保持一定间隙；
优选地，所述原位生长方法选自水热反应法、外延生长法和电化学刻蚀法；
优选地，所述原位生长方法为水热反应法，并且对原位生长形成的纳米阵列进行超声清洗；
优选地，水热反应温度为0℃-250℃，更优选50℃-250℃，更优选100℃-200℃；
优选地，反应时间为10-30小时，优选15-25小时，优选24小时；
优选地，在步骤（5）和（6）之间还包括为第一导电元件的外侧加装第一绝缘支撑层和/或在第二导电元件的外侧加装第二绝缘支撑层的步骤。
与现有技术相比，本发明的摩擦电纳米传感器具有下列优点：
首先，首次利用摩擦电纳米发电机的原理结合电子转移机制实现了自驱动分子传感技术，并探明了摩擦电纳米传感器的工作机制，使本领域的技术人员能够在本发明公开内容的指引下制备出所需的摩擦电纳米传感器。
其次，本发明首次发现将纳米结构物直接长在导电元件上，能够显著提高电信号的输出性能，打破了以往需要先制备摩擦层再在摩擦层表面形成纳米结构的限制，大大简化了制备方法、降低了成本，同时还为电信号的优化输出提供了一条新的途径。
第三，本发明的摩擦电纳米传感器具有体积小、自驱动的特性，能够广泛用于各种领域，而且节约能源，是一种绿色的传感器件。
第四，本发明的摩擦电纳米传感器可以通过调控纳米结构物，来适应待探测目标物质的变化，具有方便的可调控性。
第四，本发明的摩擦电纳米传感器不仅能够高选择性的与待探测目标物质发生相互作用，而且仅需要待探测目标物质与传感器之间发生产生电子转移现象，即可使电信号产生变化，因而具有极高的探测灵敏度。
第五，本发明的摩擦电纳米传感器制作方便，成本低，易于产业推广和应用。
附图说明
通过附图所示，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
图1为本发明摩擦电纳米传感器的一种典型结构示意图；
图2为本发明摩擦电纳米传感器受到外力作用时的典型结构示意图，其中（a）为第二摩擦层为纳米结构物，（b）为第一摩擦层和第二摩擦层均为纳米结构物；
图3为本发明摩擦电纳米传感器的工作原理示意图；
图4为本发明摩擦电纳米传感器的纳米结构物与待探测目标物质儿茶素之间发生电子转移的实验数据，其中（a）为紫外可见吸收光谱图，（b）为循环伏安曲线；
图5为本发明摩擦电纳米传感器的另一种典型结构示意图，其中（a）为空间保持件位于两个绝缘支撑体之间的情形，（b）为空间保持件位于绝缘支撑体外侧的情形；
图6为本发明摩擦电纳米传感器的另一种典型结构示意图；
图7为本发明摩擦电纳米传感器一种典型结构的横截面剖视图；
图8为本发明实施例的摩擦电纳米传感器用来侦测儿茶素所得到的开路电压与短路电流输出图；
图9为本发明实施例的摩擦电纳米传感器用来侦测儿茶素的浓度范围；
图10为不同温度下进行水热反应得到的二氧化钛纳米阵列的电镜照片；
图11为超声波处理前后二氧化钛纳米阵列的电镜照片；
图12为对比例的开路电压输出图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
其次，本发明结合示意图进行详细描述，在详述本发明实施例时，为便于说明，所述示意图只是示例，其在此不应限制本发明保护的范围。
本发明的摩擦电纳米传感器利用了纳米结构物与待探测物质之间的电子转移能够影响摩擦纳米发电机信号输出的特点，选择能够与待探测物质形成高选择性相互作用的物质作为摩擦层，使其在含有待探测物质的环境中能够提供与原来不同的输出讯号，进而达到侦测的目的。
图1为本发明的摩擦电纳米传感器的一种典型结构，包括：第一导电元件11、第一导电元件11下表面接触放置的第一摩擦层12；第二导电元件21、第二导电元件21上表面直接生长的、由纳米结构物40构成的阵列，从而形成第二摩擦层22；绝缘空间保持件30。其中，绝缘空间保持件30用于连接第一导电元件11和第二导电元件21，使第一摩擦层12与第二摩擦层22面对面，并且在没有外力施加时二者保持一定的间隙。对摩擦电纳米传感器施加外力时（参见图2-a），所述第一摩擦层12与第二摩擦层22接触并有微小切向滑动，由于摩擦起电效应，在所述第一摩擦层12与所述第二摩擦层22之间发生表面电荷转移。
具体的，第一摩擦层12与所述第二摩擦层22之间发生表面电荷转移，是指，由第一摩擦层12与所述第二摩擦层22的材料之间存在摩擦电极序差异而引起的摩擦起电现象。这里的“摩擦电极序”，是指根据材料对电荷的吸引程度将其进行的排序，两种材料在相互接触的瞬间，在接触面上正电荷从摩擦电极序中极性较负的材料表面转移至摩擦电极序中极性较正的材料表面。迄今为止，还没有一种统一的理论能够完整的解释电荷转移的机制，一般认为，这种电荷转移和材料的表面功函数相关，通过电子或者离子在接触面上的转移而实现电荷转移。需要进一步说明是，电荷的转移并不需要两种材料之间的相对摩擦，只要存在相互接触即可。
本发明中所述的“接触电荷”，是指在两种摩擦电极序极性存在差异的材料在接触摩擦并分离后其表面所带有的电荷，一般认为，该电荷只分布在材料的表面，分布最大深度不过约为10纳米。需要说明的是，接触电荷的符号是净电荷的符号，即在带有正接触电荷的材料表面的局部地区可能存在负电荷的聚集区域，但整个表面净电荷的符号为正。
本发明的摩擦电纳米传感器的电信号输出原理，参见图3。未施加外力时，第一摩擦层12与第二摩擦层22分离，见图3中a图；在外力（箭头所示）的作用下，第一摩擦层12与第二摩擦层22相互接触，在接触的瞬间发生表面电荷转移，形成一层表面接触电荷，见图3中b图。由于第一摩擦层12与第二摩擦层22之间的材料在摩擦电极序中的位置不同，第一摩擦层12表面产生负电荷，而第二摩擦层22表面产生正电荷，两种电荷的电量大小相同。当外力消失时，由于空间保持件30的恢复作用，第一摩擦层12与第二摩擦层22之间发生分离，产生间隙。由于间隙的存在，第一摩擦层12表面的负电荷对第一导电元件11上电子的排斥作用力大于第二摩擦层22表面的正电荷对第一导电元件11上电子的吸引作用，第二摩擦层22表面的正电荷对第二导电元件21上电子的吸引力大于第一摩擦层12表面的负电荷的排斥作用。因此，电子将从第一导电元件11经过外电路流向第二导电元件21，并在第一导电元件11上产生正电荷，在第二导电元件21上产生负电荷，参见图3中c图。该过程即产生了通过外电路/负载的瞬时脉冲电流。当外力再度施加时，在第一摩擦层12表面的负电荷的排斥力作用下，第二导电元件21上的电子又再度流回第一导电元件12，形成方向相反的瞬时电流，参见图3中d图的箭头所示。如此往复，形成交流脉冲电流，这是摩擦纳米传感器输出电信号的基本原理。可见本发明的纳米传感器向外输出电信号，必须有两个摩擦层的接触和分离过程，对于接触面积的大小并没有特殊要求，但是很显然接触摩擦的面积越大，产生的表面电荷越多，从而向外输出的电信号强度也越大。
将该摩擦电纳米传感器放入需要探测的环境中，由于形成第二摩擦层22的纳米结构物40能够与待探测目标物质发生高选择性的相互作用，会选择性地使环境中的待探测目标物质附着在第二摩擦层22上，这种作用直接导致了纳米结构物40和第一摩擦层12接触摩擦过程中产生的电信号发生变化，而这种变化与待探测目标物质的种类和/或浓度有关系，因为不同种类的目标物质在电子转移特性上会有差别，而待探测目标物质的浓度越大，能与传感器结合的物质就越多，对第二摩擦层的影响也越大，这就使我们能够通过电信号的变化来感知待探测目标物质的信息，以上是本发明摩擦电纳米传感器的基本工作原理。
其中，“高选择性的相互作用”是指相同浓度的物质与纳米结构物发生相互作用时，待探测目标物质的作用效果具有统计学意义的显著性，具体为：待探测目标物质作用前后传感器输出电流密度与电压的变化值至少是其他环境物质作用前后变化值的3倍。这种高选择性主要得益于纳米结构物40对待探测目标物质的选择性吸附。
待探测目标物质对摩擦电纳米传感器输出电信号的影响来源于2个方面：一是待探测目标物质与纳米结构物之间的电子转移作用，该作用会使纳米结构物在与待探测目标物质作用后，能够发生转移的电子数目发生变化，从而使其在接下来与第一摩擦层12接触后，所形成的接触电荷发生变化，对外输出的电信号也相应的增强或减弱。这种电子转移作用最为常见的是通过化学键的形成而被促成，因此一般选择能够与待探测目标物质作用并形成化学键的纳米结构物来构成本发明的传感器，例如当待探测目标物为含有邻位二羟基的物质时，传感器中使用的纳米结构物为金属氧化物，优选三氧化二铁，四氧化三铁，二氧化钛和二氧化锆。因为邻位二羟基会与金属氧化物中的金属产生配体向金属的电子转移(Ligand-to-metal charge transfer)作用，此作用会导致待探测目标物质转移电子给纳米金属氧化物，使得其所能提供的电子数目比正常情况多上许多，接下来与第一摩擦层12相接触后的转移电子数目增加，若此时第一摩擦层12的组成为绝缘体，则传感器输出的电信号会上升；若此时第一摩擦层12的组成为金属，则传感器输出的电信号会减弱。图4给出了纳米结构物为纳米二氧化钛阵列、待探测物质为邻苯二酚（即儿茶素）的情况下，待探测物质与纳米结构物结合前后的紫外吸收光谱图（图4-a）和循环伏安曲线（图4-b），其中（i）为结合前，（ii）为结合后，图4-a内部的小图为结合前后的颜色变化。可以看出，二氧化钛纳米阵列与邻苯二酚结合后的光响应范围拓宽，而且导带边缘由-0.54V降到-0.62V，说明有电子从邻苯二酚向二氧化钛的缺陷能阶上转移。这个实验结果不仅是电子转移的直接证据，也为本领域的人员提供了一个筛选纳米结构物种类的合适方法，使得人们在探测其他物质时也能够根据本发明所提供的原则和方法来选择合适的纳米结构物。
待探测目标物质对摩擦电纳米传感器输出电信号影响的另一方面是待探测目标物质与第二摩擦层22的摩擦电特性不同，当待探测目标物质被吸附之后，待探测目标物质覆盖了部分第二摩擦层22的表面，使得与第一摩擦层12相接触的整个摩擦面的得失电子能力发生变化，从而导致传感器输出的电信号受到影响。可以看出，这两方面的作用都是与待探测目标物的种类和浓度有关的，当待探测目标物与第二摩擦层22之间的电子转移相对容易和/或摩擦电特性相差较大，那么当其与第二摩擦层22发生作用后，对输出电信号的影响就较为明显，反之信号的变化就相对微弱。而且在达到饱和吸附量之前，待探测目标物的浓度应该与输出电信号的变化量呈正相关。因此，在实际应用中如果要检测其他的目标物，只要根据其化学和物理性质，按照本发明所公开的上述原理，来选择相应的纳米结构物来作为本发明传感器的第二摩擦层22即可。
利用直接生长在导电元件上的纳米结构物，特别是通过金属氧化物构成的纳米结构物与待探测目标物质之间的高选择性相互作用和摩擦电特性差异来调控摩擦电纳米传感器的响应特性，从而实现对待探测目标物质的高灵敏度侦测是本发明首次提出并将其器件化的。以下将结合图1所示的实施例，对本发明摩擦电纳米传感器的各组成部件进行详细的说明，但是很显然这种撰写方式只是为了使申请文件更加简洁、明了，因此以下内容并不仅局限于图1所示的实施例，而是对本发明所公开的所有技术方案都适用。
第一摩擦层12和第二摩擦层22的主要作用是通过摩擦产生电信号输出，因此二者分别由具有不同摩擦电特性的材料组成，所述的不同摩擦电特性意味着二者在摩擦电极序中处于不同的位置，从而使得二者在发生摩擦的过程中能够在表面产生接触电荷。常规的绝缘材料都具有摩擦电特性，均可以作为制备本发明第一摩擦层12和第二摩擦层22的材料，此处列举一些常用的绝缘材料并按照摩擦电极序由正极性到负极性排序：苯胺甲醛树脂、聚甲醛、乙基纤维素、聚酰胺11、聚酰胺6-6、羊毛及其编织物、蚕丝及其织物、纸、聚乙二醇丁二酸酯、纤维素、纤维素醋酸酯、聚乙二醇己二酸酯、聚邻苯二甲酸二烯丙酯、再生纤维素海绵、棉及其织物、聚氨酯弹性体、苯乙烯-丙烯腈共聚物、苯乙烯-丁二烯共聚物、木头、硬橡胶、醋酸酯、人造纤维、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇、聚酯（涤纶）、聚异丁烯、聚氨酯弹性海绵、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯醇缩丁醛、丁二烯-丙烯腈共聚物、氯丁橡胶、天然橡胶、聚丙烯腈、聚(偏氯乙烯-co-丙烯腈)、聚双酚A碳酸酯、聚氯醚、聚偏二氯乙烯、聚（2,6-二甲基聚亚苯基氧化物）、聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚二苯基丙烷碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、聚二甲基硅氧烷、聚三氟氯乙烯、聚四氟乙烯、派瑞林，包括派瑞林C、派瑞林N、派瑞林D、派瑞林HT、和派瑞林AF4。限于篇幅的原因，并不能对所有可能的材料进行穷举，此处仅列出几种具体的材料供人们参考，但是显然这些具体的材料并不能成为本发明保护范围的限制性因素，因为在发明的启示下，本领域的技术人员根据这些材料所具有的摩擦电特性很容易选择其他类似的材料。
相对于绝缘体，导体均具有容易失去电子的摩擦电特性，在摩擦电极序的列表中常位于末尾处。因此，导体也可以作为制备第一摩擦层12或第二摩擦层22的原料。常用的导体包括金属、导电氧化物或导电高分子，其中金属包括金、银、铂、铝、镍、铜、钛、铬或硒，以及由上述金属形成的合金；导电氧化物常用的如铟锡氧化物ITO等。由于导电材料本身就可以作为导电元件使用，因此当摩擦层使用导电材料时，可以将导电元件和相应的摩擦层合二为一。
通过实验发现，当第一摩擦层12和第二摩擦层22材料的得电子能力相差越大（即在摩擦电极序中的位置相差越远）时，发电机输出的电信号越强。所以，可以根据实际需要，选择合适的材料来制备第一摩擦层12和第二摩擦层22，以获得更好的输出效果。优选第一摩擦层12为聚四氟乙烯或聚二甲基硅氧烷和/或第二摩擦层22为二氧化钛，三氧化二铁，四氧化三铁或二氧化锆。
现有的纳米发电机都是采用薄膜状的摩擦层，或者是在该薄膜状的摩擦层表面通过刻蚀等技术形成纳米结构以增大摩擦面积。但是本发明人首次发现，当采用直接在导电元件上生长或化学键连纳米结构物40作为一个摩擦层时，电信号的输出性能大幅增加（具体可参见实施例1和对比例1的数据对比）。所谓的直接生长是指纳米结构物在导电元件表面原位形成；而化学键连是指纳米结构物与导电元件表面通过化学键相连，这种连接可以是纳米结构物在导电元件表面原位生长的过程中形成，也可以是在后续加工的过程中形成的，例如将纳米结构物附着在导电元件表面后，通过加热等方式，使纳米结构物与导电元件之间形成化学键连。电信号输出性能增加的原因可能是在增大了摩擦面积的同时，原位生长的纳米结构物与导电元件之间的联系更为紧密，从而电子在二者之间的转移更为容易，因此使得摩擦产生的表面接触电荷更容易转移到导电元件上，从而使输出的电信号强度增加。所以，虽然本实施例仅有一个摩擦层采用了直接生长的纳米结构物40形式，但是本领域的技术人员完全可以预测得到，当两个摩擦层均采用类似的结构，摩擦面积和表面电荷的转移性能会进一步提升，从而获得更好的输出效果（如图2-b所示，其中第一摩擦层12也由纳米阵列构成，在施加外力后第一摩擦层12和第二摩擦层22的纳米阵列相互交错，摩擦面积进一步提升）。因此，在实际应用过程中，可以综合成本和输出性能的要求来选择使用1个或2个直接生长在导电元件表面的纳米结构物摩擦层。纳米结构物原位生长的方法可以采用水热法、外延生长法、电化学刻蚀法等等。
对于纳米结构物的形态，本发明人对此作了大量的对比实验，发现直接生长在导电元件表面的纳米结构物中，由长径比较大的纳米单元所形成的纳米阵列效果最好，例如，由纳米线、纳米片、纳米棒、纳米管和/或纳米锥等形成的纳米阵列都具有很好的输出性能。
为了进一步增加第一摩擦层12与第二摩擦层22之间的接触面积，从而增大接触电荷量，还可以对第一摩擦层12下表面进行物理改性，使其表面分布有微米或次微米量级的微结构阵列。具体的改性方法包括光刻蚀、化学刻蚀和离子体刻蚀等。也可以通过纳米材料的点缀或涂层的方式来实现该目的，所述的纳米材料可以选自纳米颗粒，纳米管，纳米线和纳米棒，根据实际需要可以具体选择金纳米颗粒，金纳米线，金纳米棒，金纳米管，银纳米颗粒，银纳米线，银纳米棒，银纳米管，铜纳米颗粒，铜纳米线，铜纳米棒，铜纳米管，二氧化硅纳米颗粒，二氧化硅纳米线，二氧化硅纳米棒，二氧化硅纳米管，三氧化二铁或四氧化三铁纳米颗粒，三氧化二铁或四氧化三铁纳米线，三氧化二铁或四氧化三铁纳米棒，三氧化二铁或四氧化三铁纳米管，二氧化钛纳米颗粒，二氧化钛纳米线，二氧化钛纳米棒，二氧化钛纳米管，二氧化锆纳米颗粒，二氧化锆纳米线，二氧化锆纳米棒，二氧化锆纳米管。
也可以对相互接触的第一摩擦层12下表面行化学改性，能够进一步提高电荷在接触瞬间的转移量，从而提高接触电荷密度和发电机的输出功率。化学改性又分为如下两种类型：
一种方法是对第一摩擦层12，在极性为正的材料表面引入更易失电子的官能团（即强给电子基团），或者在极性为负的材料表面引入更易得电子的官能团（强吸电子基团），都能够进一步提高电荷在相互滑动时的转移量，从而提高摩擦电荷密度和发电机的输出功率。强给电子基团包括：氨基、羟基、烷氧基等；强吸电子基团包括：酰基、羧基、硝基、磺酸基等。官能团的引入可以采用等离子体表面改性等常规方法。例如可以使氧气和氮气的混合气在一定功率下产生等离子体，从而在基板材料表面引入氨基。
另外一种方法是在极性为正的基板材料表面引入正电荷，而在极性为负的基板材料表面引入负电荷。具体可以通过化学键合的方式实现。例如，可以在聚二甲基硅氧烷（英文简写为PDMS）基板表面利用水解-缩合（英文简写为sol-gel）的方法修饰上正硅酸乙酯（英文简写为TEOS），而使其带负电。也可以在金属金薄膜层上利用金-硫的键结修饰上表面含十六烷基三甲基溴化铵（CTAB）的金纳米粒子,由于十六烷基三甲基溴化铵为阳离子，故会使整个基板变成带正电性。本领域的技术人员可以根据基板材料的得失电子性质和表面化学键的种类，选择合适的修饰材料与其键合，以达到本发明的目的，因此这样的变形都在本发明的保护范围之内。
另外，本发明的摩擦电纳米传感器能够正常工作的一个关键还在于与待探测目标物质作用前后，输出电信号要有变化。如前所述，本发明通过选择合适的第二摩擦层22的材料，使其能够与待探测目标物质之间发生电子转移来保证这一点。同时如果能够兼顾其摩擦特性与待探测目标物质的摩擦特性有差别，就能进一步优化本发明传感器的探测灵敏度和信号输出强度。
本发明并不限定第一摩擦层12和第二摩擦层22必须是硬质材料，也可以选择柔性材料，因为材料的硬度并不影响二者之间的摩擦效果，本领域的技术人员可以根据实际情况进行选择。第一摩擦层12和第二摩擦层22的厚度对本发明的实施没有显著影响，只是在制备的过程中需要综合考虑摩擦层强度与发电效率等因素。本发明优选摩擦层为薄层，厚度为50nm-2cm，优选100nm-1cm，更优选500nm-5mm，更优选1μm-2mm，这些厚度对本发明中所有的技术方案都适用。第一摩擦层12的厚度越薄越好,但由于现有技术局限，最优选为1μm-100μm；第二摩擦层22厚度无局限，但从经济方面考量，最优选为50nm-200nm。
对第一摩擦层12和第二摩擦层22的形状没有特殊限制，只要保证在外力的作用下第一摩擦层12下表面与第二摩擦层22的上表面至少有部分接触即可。但是，为了获得更好的电信号输出性能，第一摩擦层12下表面和第二摩擦层22上表面形状最好相同，使得在有外力施加时，所述第一摩擦层12下表面与所述第二摩擦层40的上表面完全接触，以产生最大的接触电荷密度。
虽然对第一摩擦层12的下表面与第二摩擦层22上表面的间距没有特殊要求，但是为了使在摩擦过程中产生的接触电荷尽量完全地转移到导电元件上，优选该间距比第一摩擦层12的厚度大，最好能大一个数量级以上。
第一导电元件11和第二导电元件21作为发电机的两个电极，需要具备能够导电的特性，可选自金属、导电氧化物或导电高分子，常用的金属包括金、银、铂、铝、镍、铜、钛、铬或硒，以及由上述金属形成的合金；常用的导电氧化物包括铟锡氧化物ITO和离子掺杂型的半导体。第一导电元件11最好与第一摩擦层12表面紧密接触，以保证电荷的传输效率；可以采用沉积的方法在第一摩擦层12表面制备，例如电子束蒸发、等离子体溅射、磁控溅射或蒸镀等方法；还可以直接利用金属板作为导电元件，用导电胶将其与第一摩擦层12电连接。而第二导电元件21需要作为第二摩擦层22的原位生长基底，为提高电荷传输效率，优选第二摩擦层22能够在第二导电元件21表面进行外延生长，以使二者形成一个整体，例如第二导电元件21为钛，可以在其表面通过水热法形成所需的二氧化钛纳米阵列，从而使第二导电元件21和第二摩擦层22成为紧密结合的一体结构。
导电元件可以是薄膜或薄层，厚度的可选范围为10nm-2cm，优选为50nm-5mm，更优选为100nm-1mm，更优选为500nm-500μm，更优选为1μm-100μm。导电元件并不必须限定是硬质的，也可以是柔性的，因为柔性导电元件同样可以起到对摩擦层的支撑和导电作用。
第一导电元件11和第二导电元件21与外电路连接的方式可以是通过导线或金属薄层与外电路连接。
空间保持件30，用于保持第一摩擦层12和第二摩擦层22之间在有外力的作用下能够相互接触，而在没有外力的作用下形成空隙。空间保持件30可以采用弹性有机物等具有绝缘特性的弹性材料，例如弹性橡胶和弹簧，并根据第一导电元件11、第一摩擦层12、第二导电元件21、第二摩擦层22的形状、尺寸及相对位置，决定绝缘空间保持件30的形状和位置。例如可以在第二导电层21上围绕第二摩擦层22周围粘贴一圈所述的绝缘空间保持件，也可以直接将绝缘空间保持件粘结在摩擦层的表面，还可以将空间保持件连在导电元件的外侧，如图5-b所示，其中空间保持件30为U形弹性片，可以仅在传感器的一侧设置，也可以两侧都设置。当空间保持件30连接在绝缘支撑体上时，还可以使用导电材料制备，例如金属弹片或弹簧等。
本实施例中的待探测物质为含有邻位二羟基的物质，即分子中含有2个处于相邻位置的羟基，优选分别与2个羟基相连的邻位碳原子之间是不饱和键，更优选2个羟基分别连在不饱和环的2个相邻碳原子上，并且这2个碳原子之间是不饱和键，例如邻苯二酚、表儿茶素、表没食子儿茶素、3,4-二羟基苯乙酸、茜素、抗坏血酸或多巴胺。当然，根据实际需要还可以对其他物质进行探测，只需如前所述调整纳米结构物的种类和/或形态即可。
图5-a为本发明摩擦电纳米传感器的另一种典型结构示意图，包括第一绝缘支撑层10、与第一绝缘支撑层10下表面接触放置的第一导电元件11、与第一导电元件11下表面接触放置的第一摩擦层12；第二绝缘支撑层20、第二绝缘支撑层20上表面接触放置的第二导电元件21；第二导电元件21上表面原位生长的第二摩擦层22；空间保持件30。其中，空间保持件30用于连接第一绝缘支撑层10和第二绝缘支撑层20，使第一摩擦层12下表面与第二摩擦层22上表面面对面并且在没有外力施加时二者保持一定的间隙。在有外力施加时，所述第一摩擦层12下表面与第二摩擦层22接触并有微小切向滑动，由于摩擦起电效应，在所述第一摩擦层12与所述第二摩擦层22之间发生表面电荷转移。
该实施例与图1所示的实施例主要区别在于使用了绝缘支撑层，并将空间保持件30的粘贴位置由导电元件改在绝缘支撑层上，这样的设计使得传感器整体的机械强度增加，并且由于支撑层的绝缘特性使得空间保持件30可以由导电材料制备。
第一绝缘支撑层10和第二绝缘支撑层20可以为硬性材料，也可以为柔性材料。优选采用不可变形的硬性材料，例如有机玻璃板材、聚乙烯板材、聚氯乙烯板材等。其厚度没有特别限制，可以根据强度需要自由选择。
图6为本发明摩擦电纳米传感器的另一种典型结构示意图。该实施例与图5-a所示的实施例结构基本相同，区别仅在于第一导电元件11同时作为第一摩擦层而存在。这种设计大大简化了摩擦电纳米传感器的结构和制备过程，更利于在工业生产中的推广和应用，而且导电材料的失电子能力相对较强，更利于改善电信号的输出性能。
本发明还提供一种上述摩擦纳米传感器的制备方法，包括如下步骤：
（1）清洗第二导电元件，可以用有机溶剂和/或水清洗，例如丙酮、乙醚、乙醇等常用清洗剂；
（2）在第二导电元件上表面原位生长纳米结构物，以形成第二摩擦层；其中原位生长方法可以根据第二导电元件和纳米结构物的种类不同而有针对性的选择。为了提高导电元件和摩擦层之间的电荷转移效率，优选使用金属导电元件，并使用与其相应的金属氧化物作为纳米结构物，原位生长方法可以采用水热反应法、外延生长法和电化学刻蚀法等等；优选采用水热反应法和外延生长法，并且对原位生长的纳米阵列进行超声清洗，优选水热反应温度为0℃-250℃，更优选50℃-250℃，更优选100℃-200℃；其中，100℃适合于纳米片生长，150℃适合于较小尺寸纳米片生长，150℃适合于纳米线生长；反应时间为10-30小时，优选15-25小时，优选24小时；
（3）提供第一摩擦层；
（4）在第一摩擦层上表面沉积第一导电元件；沉积方法可以采用半导体领域的常规方法，例如电子束蒸发、真空溅射、蒸镀、磁控离子溅射等；
（5）将第一导电元件和第二导电元件与外电路测量器件进行电连接；具体的连接方式可以采用导线或导电薄膜直接连接；
（6）在第一导电元件和第二导电元件上安装若干绝缘空间保持件，以使第一摩擦层和第二摩擦层面对面并保持一定间隙。
还可以包含步骤（5-1），即在步骤（5）和（6）之间为第一导电元件的外侧加装第一绝缘支撑层和/或在第二导电元件的外侧加装第二绝缘支撑层，以提高传感器的整体强度。
实施例1儿茶素（即邻苯二酚）传感器
采用厚度为50nm、尺寸为1.8cm×0.6cm的金属金薄膜层作为第一导电层，厚度为25μm的聚四氟乙烯（英文简称PTFE）薄膜层作为第一摩擦层，采用厚度为125μm、尺寸为1.8cm×0.6cm的金属钛薄膜层作为第二导电层，通过水热法在钛薄膜上原位生长长度为4.2μm的二氧化钛纳米线阵列作为第二摩擦层，此二氧化钛纳米线阵列不只可作为摩擦层，更可对儿茶素造成选择性吸附的结果，进而变成儿茶素感测器，如图8所示。第一绝缘支撑层和第二绝缘支撑层均为有机玻璃板材，二者之间通过弹簧连接，连接方式参见图7。未在第一支撑层或第二支撑层上施加外力时，第二摩擦层和PDMS薄膜层分离，互相之间留有3cm的间隙。由于聚四氟乙烯在摩擦电极序中具有极负的极性，而二氧化钛相比较之下在摩擦电极序中的极性较正，本实施例的材料组合有利于提高摩擦电纳米传感器的输出。
通过上述摩擦电纳米传感器的第一导电元件和第二导电元件引出导线后，与全桥整流器相连，使摩擦电纳米传感器产生的交流电流输出转化为直流电流输出。以固定外力施加在此摩擦电纳米传感器上，可得到约4.3V的输出电压及1.1μA/cm2的输出电流密度（图8a及8b）。当此感测器与儿茶素（0.5mM）作用后，其输出电压升高至21.3V，电流则为3.2μA/cm2（图8c及8d）。进一步对不同浓度（1μM-1mM）的儿茶素进行侦测，发现其线性范围落在10μM-0.5mM（图9），侦测极限可达5μM，明显展示出了其应用潜力。
实施例2多巴胺传感器
采用厚度为5mm、尺寸为2cm×2cm的金属铝薄板作为第一导电元件，厚度为40μm，且具金字塔形的聚二甲基硅氧烷（英文简称PDMS）薄膜层作为第一摩擦层，首先在硅片上旋转涂覆上一层光刻胶，利用光刻的方法在光刻胶上形成边长在微米或次微米量级的正方形窗口阵列；将光刻完成后的第一摩擦层经过热氢氧化钾的化学刻蚀，在窗口处形成金字塔形的凹陷结构阵列。采用厚度为5mm、尺寸为2cm×2cm的金属铜薄板作为第二导电元件，在其上原位生长长度为5μm的三氧化二铁纳米线阵列作为第二摩擦层。用弹性橡胶作为绝缘空间保持件将金属铜薄板和金属铝薄板连接，使得聚二甲基硅氧烷层与三氧化二铁层面对面，并且无外力施加时保持二者的间距为1cm，从而形成多巴胺传感器。该实施例中，当表面有微米结构的聚二甲基硅氧烷阵列与三氧化二铁颗粒在外力作用下接触并发生挤压时，由于PDMS具弹性，其能够进入并填充三氧化二铁颗粒表面的凹陷结构，较水平面接触增大了接触面积，因而具有很好的电信号输出性能。
实施例3抗坏血酸传感器
以聚乙烯板材作为2个绝缘支撑，弹性胶作为绝缘空间保持件，采用组装金纳米颗粒薄膜做为第一导电元件及第一摩擦层，作法为先蒸镀50nm、尺寸为1cm×1cm的金薄膜，再利用1,3-二巯基丙烷（1,3-dimercaptopropane）组装上尺寸为56nm的金纳米颗粒，采用厚度为100nm的金属铝作为第二导电元件，50nm厚的二氧化锆纳米棒阵列形成的薄膜作为第二摩擦层，以实现对抗坏血酸的高选择性吸附。本实施例中，在使用二氧化锆纳米阵列的基础上，又采用表面具有金纳米颗粒的金薄膜作为第一摩擦层，使其与第二摩擦层的接触面积明显增加，改善了传感器的电信号输出性能。
实施例4纳米传感器的制备方法
本实施例详述实施例1中使用的纳米传感器的制备方法。
（1）第一步：二氧化钛纳米阵列的原位生长。
尺寸为1.8cm×0.6cm的金属钛薄片分别在丙酮、乙醇和水中用超声清洗10分钟，放入有特氟龙衬里的不锈钢反应釜中，加入20mL浓度为1M的氢氧化钠水溶液，在设定的温度下反应24h，然后在空气下冷却。经过第一阶段的水热反应，Ti薄片表面被Na2Ti2O4(OH)2纳米阵列所覆盖，用水清洗后将其浸入20mL浓度为1M的HCl水溶液10min，以实现H+对Na+的置换，从而形成H2Ti2O4(OH)2纳米阵列，置换反应后再次用水清洗、室温干燥，500℃下被烧3h后形成所需的二氧化钛纳米阵列。
在该步骤中，发明人对比了不同的水热反应温度，发现通过控制反应温度可以控制纳米阵列的单元形态，具体参见图10，其中（a）、（b）、（c）和（d）分别为25℃、100℃、150℃和200℃的反应结果。可以看出，通过改变水热反应的温度，可以原位制备纳米棒、纳米片和纳米线等不同形态的纳米阵列，能够满足不同的使用需要。
在该步骤中，为了提高传感器电信号输出的稳定性，本发明人还增加了一个特殊处理步骤，即在置换反应后的水洗过程加入超声30s，能够除去在纳米阵列生长过程中形成的一些不稳定结构。从图11中可以很明显的看到该步骤的作用，其中（a）是超声处理之前的电镜照片，而（b）是处理后的电镜照片。该步骤虽然简单，但是可以很有效的解决纳米发电机信号输出不稳定的问题，这是本发明首次提出的。
（2）第二步：纳米传感器的组装。
在厚度为25μm的商品聚四氟乙烯（简称PTFE）薄膜上用电子束蒸发的方法沉积上一层50nm厚的金属Cu薄膜，然后将该Cu/PTFE组合材料粘合在聚对苯二甲酸乙二酯（简称PET）柔性基底的内表面，并且使PTFE薄膜处于整体的顶端。将第一步中制备的TiO2纳米阵列/Ti薄膜与Cu/PTFE/PET相对放置，使得TiO2纳米阵列与PTFE薄膜面对面相对，将Ti薄片和Cu薄膜用导线引出与测量装置相连，即完成本发明纳米传感器的组装。
对比例1
与实施例1的材料和步骤基本相同，区别仅在于第二摩擦层不是在钛薄层上原位生长的二氧化钛纳米线阵列，而是二氧化钛纳米颗粒直接平铺粘在钛薄层上，吸附儿茶素后的开路电压图见图12。可以看出，由于其接触表面积较小，输出的开路电压远低于二氧化钛纳米阵列，而且信号的稳定程度较差，可能与工作过程中粒子的脱落有关。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims (33)

1.一种摩擦电纳米传感器，其特征在于包括：
第一导电元件，
第一导电元件下表面接触放置的第一摩擦层，
第二导电元件，
第二导电元件上表面直接生长或化学键连的纳米结构物，为第二摩擦层，
以及，空间保持件；
其中，所述空间保持件用于使所述第一摩擦层下表面与所述第二摩擦层上表面面对面并保持一定间距；
所述第一摩擦层与所述第二摩擦层能够在外力的作用下至少部分接触、并在外力撤销时通过所述空间保持件的作用而恢复原有间距，同时通过所述第一导电元件和所述第二导电元件向外输出电信号；
并且，所述电信号能够在所述第二摩擦层与待探测目标物质结合后发生改变。
2.如权利要求1所述的传感器，其特征在于所述纳米结构物与待探测目标物质结合后二者之间能够形成电子转移。
3.如权利要求1或2所述的传感器，其特征在于所述电信号的变化量与待探测目标物质的种类和/或浓度有关。
4.如权利要求1-3任一项所述的传感器，其特征在于所述纳米结构物能够与待探测目标物质发生高选择性的相互作用。
5.如权利要求1-4任一项所述的传感器，其特征在于所述纳米结构物为纳米线、纳米片、纳米棒、纳米管和/或纳米锥构成的纳米阵列。
6.如权利要求1-5任一项所述的传感器，其特征在于所述纳米结构物为金属氧化物。
7.如权利要求6所述的传感器，其特征在于所述纳米结构物选自二氧化钛、三氧化二铁、四氧化三铁和二氧化锆。
8.如权利要求1-7任一项所述的传感器，其特征在于所述待探测物质含有邻位二羟基。
9.如权利要求8所述的传感器，其特征在于所述带探测物质选自邻苯二酚、表儿茶素、表没食子儿茶素、3,4-二羟基苯乙酸、茜素、抗坏血酸或多巴胺。
10.如权利要求1-9任一项所述的传感器，其特征在于所述第一摩擦层下表面和第二摩擦层的材料之间存在摩擦电极序差异。
11.如权利要求1-10任一项所述的传感器，其特征在于所述第一摩擦层的下表面材料为绝缘材料或金属材料。
12.如权利要求11所述的传感器，其特征在于所述绝缘材料选自苯胺甲醛树脂、聚甲醛、乙基纤维素、聚酰胺尼龙11、聚酰胺尼龙66、羊毛及其织物、蚕丝及其织物、纸、聚乙二醇丁二酸酯、纤维素、纤维素醋酸酯、聚乙二醇己二酸酯、聚邻苯二甲酸二烯丙酯、再生纤维素海绵、棉及其织物、聚氨酯弹性体、苯乙烯-丙烯腈共聚物、苯乙烯-丁二烯共聚物、木头、硬橡胶、醋酸酯、人造纤维、聚甲基丙烯酸甲酯、聚乙烯醇、聚酯、聚异丁烯、聚氨酯弹性海绵、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚乙烯醇缩丁醛、丁二烯-丙烯腈共聚物、氯丁橡胶、天然橡胶、聚丙烯腈、聚(偏氯乙烯-co-丙烯腈)、聚双酚A碳酸酯、聚氯醚、聚偏二氯乙烯、聚（2,6-二甲基聚亚苯基氧化物）、聚苯乙烯、聚乙烯、聚丙烯、聚二苯基丙烷碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、聚二甲基硅氧烷、聚三氟氯乙烯、聚四氟乙烯和派瑞林；所述金属材料选自金、银、铂、铝、镍、铜、钛、铬或上述金属形成的合金薄膜。
13.如权利要求12所述的传感器，其特征在于所述绝缘材料为聚四氟乙烯或聚二甲基硅氧烷。
14.如权利要求1-13任一项所述的传感器，其特征在于所述第一摩擦层下表面分布有微米或次微米量级的微结构。
15.如权利要求14所述的传感器，其特征在于所述微结构选自纳米线、纳米棒、纳米管、纳米锥、纳米颗粒、纳米沟槽、微米线、微米棒、微米管、微米锥、微米颗粒、微米沟槽。
16.如权利要求1-15任一项所述的传感器，其特征在于所述第一摩擦层下表面有纳米材料的点缀或涂层。
17.如权利要求16所述的传感器，其特征在于所述纳米材料的点缀或涂层选自纳米颗粒、纳米管、纳米线和纳米棒。
18.如权利要求1-17任一项所述的传感器，其特征在于所述第一摩擦层为在第一导电元件下表面直接生长或化学键连的纳米阵列。
19.如权利要求1-18任一项所述的传感器，其特征在于无外力施加时，所述第一摩擦层下表面与所述第二摩擦层上表面之间的距离比第一摩擦层的厚度大一个数量级以上。
20.如权利要求1-19任一项所述的传感器，其特征在于所述第二摩擦层上表面与第一摩擦层下表面形状相同，使得在有外力施加时，所述第一摩擦层下表面与所述第二摩擦层上表面完全接触。
21.如权利要求1-20任一项所述的传感器，其特征在于还包括与第一导电元件上表面接触放置的第一绝缘支撑层和/或与第二导电元件下表面接触放置的第二绝缘支撑层。
22.如权利要求21所述的传感器，其特征在于所述第一绝缘支撑层和/或第二绝缘支撑层为有机玻璃板材、聚乙烯板材或聚氯乙烯板材。
23.如权利要求1-22任一项所述的传感器，其特征在于所述第一导电元件和第二导电元件选自金属、导电氧化物或导电高分子。
24.如权利要求23所述的传感器，其特征在于所述第一导电元件和第二导电元件选自金、银、铂、铝、镍、铜、钛、铬或硒，以及由上述金属形成的合金。
25.一种如权利要求1-24任一项所述摩擦电纳米传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）清洗第二导电元件；
（2）在第二导电元件上表面原位生长纳米结构物，以形成第二摩擦层；
（3）提供第一摩擦层；
（4）在第一摩擦层上表面沉积第一导电元件；
（5）将第一导电元件和第二导电元件与外电路进行电连接；
（6）安装空间保持件，以使第一摩擦层和第二摩擦层面对面并保持一定间隙。
26.如权利要求25所述的制备方法，其特征在于所述原位生长的方法选自水热反应法、外延生长法和电化学刻蚀法。
27.如权利要求26所述的制备方法，其特征在于所述原位生长方法为水热反应法，并且对原位生长形成的纳米阵列进行超声清洗。
28.如权利要求26或27所述的制备方法，其特征在于所述水热反应温度为0℃-250℃。
29.如权利要求28所述的制备方法，其特征在于所述水热反应温度为50℃-250℃。
30.如权利要求29所述的制备方法，其特征在于所述水热反应温度为100℃-200℃。
31.如权利要求26-30任一项所述的制备方法，其特征在于所述水热反应时间为10-30小时。
32.如权利要求31所述的制备方法，其特征在于所述水热反应时间为15-25小时。
33.如权利要求25-31任一项所述的制备方法，其特征在于在步骤（5）和（6）之间还包括为第一导电元件的外侧加装第一绝缘支撑层和/或在第二导电元件的外侧加装第二绝缘支撑层的步骤。
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