CN104019041B - 真空泵 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种真空泵，特别是一种涡轮分子泵，具有泵入口，泵出口以及布置在泵入口与泵出口之间的用于待抽吸的气体的泵室，以及具有用于冷却气体来冷却真空泵的至少一个冷却气体入口，且具有与冷却气体入口导气连接的且布置在泵室外部的一个或多个中空区域，其用于冷却气体，其中，所述或每个中空区域通过真空泵的至少一个待冷却部件被限制。

Description

真空泵

技术领域

本发明涉及一种真空泵，特别是一种涡轮分子泵，一种具有真空泵的布置，特别是具有涡轮分子泵的布置，以及涉及一种用于运行真空泵的方法，特别是运行涡轮分子泵的方法。

背景技术

真空泵用在不同的技术方法中，例如用于半导体制造，将待抽吸的气体(其也被称为泵气体)从待抽空的体积中排出，且对于各技术方法产生必要的真空。在此，涡轮分子泵具有特别的意义，其以高转速运行，且可以产生高纯净度的真空。

在已知的真空泵运行时，明显出现真空泵加热，这恶化了真空泵的泵特能和性能，增加了真空泵的维修保养需要，且降低了运行寿命。已知，真空泵配备冷却装置，从而避免过度加热真空泵。

例如水冷或风冷的已知冷却装置成本相对较高，且具有受限制的效果，其冷却效果基于以空气环流热的泵部件或布置于其上的冷却体。特别地，通过已知的冷却装置很难使得，局部有针对性地以下述方式冷却特别强烈加热且例如布置在泵下部区域中的泵区域，即，整体设置所期望的温度比例。由此对于这种方式冷却的真空泵也出现过度加热，这恶化了真空泵的泵和功效特性，且缩短了其寿命。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种真空泵，具有真空泵的布置，以及用于运行真空泵的方法，通过这些可以降低成本，实现真空泵的改进的泵功效以及运行寿命，且通过这些特别在真空泵的所有区域中实现有效的且足够的冷却，使得真空泵在运行期间整体有效地针对过度加热而受到保护。

该目的通过本发明的真空泵实现。

真空泵、特别是真空分子泵包括：泵入口，泵出口以及布置在泵入口与泵出口之间的用于待抽吸的气体的泵室。此外，该真空泵包括：用于冷却气体来冷却真空泵的至少一个冷却气体入口，以及与冷却气体入口导气连接的且布置在泵室外部的一个或多个中空区域，其用于冷却气体，其中，所述或每个中空区域通过真空泵的至少一个部件被限制。

在真空泵运行时，冷却气体通过冷却气体入口直接进入布置在真空泵内部的中空区域中，使得真空泵以及限制中空区域的待冷却的部件直接在最大的热产生区域中局部有针对性地被冷却。通过分开设置用于冷却的中空区域与真空泵的泵室，通过冷却气体同样避免了对泵效果的损害，如通过待抽吸的气体避免了对冷却效果的损害，使得在有效的泵运行时确保有效的冷却。

以很低的成本可实现真空泵，因为仅设置用于冷却气体的额外入口，以及用于冷却气体的一个中空区域或多个中空区域。例如，空气可作用为冷却气体，且在冷却气体入口被处理，使得不必提供特别的冷却气体。

根据一有利的实施方式，至少一个中空区域、特别每个中空区域与泵出口导气连接。在冷却气体入口处被处理的冷却气体可以通过连接泵出口的真空泵的抽吸而被吸入冷却气体入口，且被抽吸通过中空区域。

特别对于工作在高纯净真空区域中的真空泵，例如涡轮分子泵，反正通常使用前级真空泵，且可用于吸出进入真空泵的前级真空区域或前级真空室的气体，且在此从在前级真空区域中起支配作用的前级真空压力压缩至更高的压力，特别压缩至大气压力。前级真空区域在此优选形成对泵室的下游封闭。通过真空泵维持的最大真空压力可以这样的匹配，使得针对前级真空压力压缩的真空泵的前置泵级在其最佳泵性能的区域中运行，且使得在泵入口处达到最小终压。

对于在一个或多个中空区域与泵出口之间存在导气连接的情况，通过真空泵的抽吸，冷却气体可以被抽吸通过冷却气体入口且通过中空区域，使得得到受限的冷却气体流以及真空泵的强制冷却，而不需要额外的供给装置。中空区域或每个中空区域在此可以通入泵室的布置在泵出口下游的区域中，特别通入前级真空区域中。

在可用的前级真空泵的抽吸能力方面，尽管前级真空泵负载有冷却气体流，额外于泵气体流实现良好的冷却效果，而在真空泵中的前级真空压力以及由此真空泵的能力基本不会受损。

原理上优选地，通过冷却气体入口进入的冷却气体流是可控的，例如通过冷却气体入口的流横截面的可调节性。所期望的流横截面可例如通过真空泵的毛细管等确定或调解。特别地，冷却气体流也可在中空区域与泵出口之间的导气连接的情况下被调解成，使得冷却气体流不会引起对泵效果的干扰损害。

根据一实施方式，设置用于冷却气体的冷却气体出口，至少一个中空区域、且特别每个中空区域与该冷却气体出口导气连接。气体冷却可基本上独立于发生在泵室中的泵过程而实现，且中空区域可在真空泵内完全与泵室分开。冷却气体可通过冷却气体入口进入真空泵，该真空泵要求一个或多个中空区域，且在冷却气体出口处被排出真空泵。

分离的冷却气体出口具有优点，可在迫使冷却气体通过中空区域的不同防护措施之间选择。例如，为产生冷却气体流可将压缩机连接在冷却气体入口处，该压缩机压缩冷却气体，例如空气，且在压力下迫使其进入冷却气体入口。另一方面，冷却气体出口也可与前级真空泵连接，使得通过前级真空泵的抽吸迫使冷却气体。对此可在冷却气体出口处连接气体管道，其通入前级真空套管，其连接真空泵的泵出口与前级真空泵，使得在前级真空泵的入口处导入由泵气体流和冷却气体流构成的整体气体流。气体管道也可直接连接真空泵的冷却气体出口与前级真空泵，且例如直接通入前级真空泵的泵室。

优选地，至少一个中空区域、且特别每个中空区域基本上气密地与泵室分开。由此可以避免由于冷却气体流而使得存在于泵室中的气体压力升高，且由此可很大程度地避免泵性能的伴随恶化。在此，被迫使进入泵的冷却气体可以例如通过前述冷却气体出口被排出。气密的分开包括下述设计，即，在该设计中，中空区域以及真空泵外的泵室由此仅间接地相互导气连接，例如通过迫使泵气体和冷却气体的前级真空泵的前级真空套管。

根据另一有利实施方式，至少一个中空区域、且特别每个中空区域在真空泵的所有对于泵的存在于泵室中的气体而设置的泵级下游与泵室或与泵出口导气连接。优选地，至少一个或每个中空区域与泵室的从上游开始布置的区域气密地分开，即，中空区域仅在所有泵级的下游，例如在前级真空区域的区域中与泵室或泵出口导气连接。由此可以通过冷却气体很大程度地避免对泵性能的损害，因为进入泵室的下游区域或进入泵出口的冷却气体可以例如直接由连接在泵出口处的前级真空泵排出，而基本上不会提高前级真空压力。

例如，设置一个或多个分子且特别涡轮分子泵级作为泵级。替选地或额外于一个或多个涡轮分子泵级，特别可以在一个或多个涡轮分子泵级的下游设置一个或多个霍尔维克(Holweck)泵级、西格巴恩(Siegbahn)泵级、盖德(Gaede)泵级或侧通道泵级。

根据一实施方式，至少一个中空区域、且特别每个中空区域构建成通道。相对于膨胀的中空区域，该实施方式的优点为，所得到的冷却效果通过整体在真空泵中的相应通道布置可局部有针对性地且精确地调节。至少一个通道、且特别每个通道可至少在其长度的一部分上且特别在至少大致其整个长度上具有长形的形状，且例如基本上构建成管或纵向缝或长缝隙形的。

原理上，可以设置用于冷却气体的多个通道，其可与冷却气体入口或相互导气连接。在此，多个通道在流动方向上相互导气地串联或相互并联连接。具有多个相互分支的通道的设计也是可能的。为整体在泵中实现足够的冷却效果，优选设置成，至少一个通道或多个通道具有合并的长度，其对应于真空泵的形成泵入口的进气凸缘的流直径的至少一半，且优选对应于至少一倍、两倍或三倍。

优选地，至少一个通道、且特别每个通道基本上围绕真空泵的旋转轴基本上环形地、特别圆环形地、或环段形地延伸。原理上，真空泵可以相对于旋转轴至少近似旋转对称地构建，从而旋转泵级的例如旋转部件。在该情况下，可通过环形通道在整个真空泵中实现足够的且均匀的冷却效果。对此，至少一个通道或多个通道一起覆盖至少50％、优选至少75％且特别优选至少大致整体的相对于真空泵的旋转轴的限定的角区域。

各通道可在其长度的一部分或至少大致其整个长度上具有与旋转轴的径向距离，且可以例如布置在距离区域中，其从真空泵的一半外径延伸至整个外径。各通道例如可以具有环状间隙、环状缝、环状管或相应的环状的段的形状。

为实现真空泵的整体足够冷却，可以设置用于冷却气体的至少两个通道，其围绕真空泵的旋转轴特别在不同的方向上延伸。在此，通道可以在其一端部分别与冷却气体入口直接导气连接，和/或在其另一端部分别相互导气连接，或通入真空泵的公共区域中。原理上，也可以设置多个在轴向方向上，即在旋转轴方向上间距的通道。

原理上，至少从至其他通道或至其他中空区域的可能分支上看，且至少在其长度的一部分上，且特别在至少大致其整个长度上，通道可具有垂直于其纵向延伸的封闭横截面。

根据一实施方式，至少一个通道、且特别每个通道，至少在其长度的一部分上且特别在至少大致其整个长度上，形成用于冷却气体的流横截面，其最大等于泵出口的流横截面，且特别小于泵出口的流横截面。若可能任何情况下，前级真空压力通过冷却而微小升高，且由此在真空泵中整体实现满足各要求的冷却。

优选地，至少一个中空区域、特别每个中空区域至少局部具有封闭的横截面，其特别完全由真空泵的静态部件限制。由此可以有效地密封泵室的中空区域，且可高效冷却静态泵部件，且可由此整体实现真空泵。中空区域可构建成通道，如前所述地至少从至其他通道或至其他中空区域的可能分支上看，且至少在其长度的一部分上，且特别在至少大致其整个长度上，该通道可具有封闭的横截面。

在一可特别简单实现的实施例中，一个中空区域或每个中空区域、特别通道的封闭横截面，至少在中空区域的一段中或至少在通道的纵向段中，且特别整体全部由真空泵的至少两个静态部件限制。真空区域或通道因此由至少两个组件围绕，其分别部分地限制中空区域的横截面。中空区域可至少部分地通过部件的槽形凹部或陷入部构成，其由形成中空区域其他部件覆盖。中空区域或通道也可通过部件之间的空隙或缝隙、特别环空隙或环缝隙构成。为密封中空区域，这两个部件在中空区域的边缘上直接气密地，相互贴靠和/或分别贴靠公共的密封件。

一结构上特别有利的设计在于，在真空区域的下部中构建槽，该下部至少部分地布置在泵的下部区域中，且例如形成真空泵的壳体的一部分或用于旋转轴承的壳体，其槽壁部分地限制中空区域。另一、优选平面形的部件可封闭槽开口，且由此完整对中空区域的围绕，使得中空区域具有封闭的横截面。在此，该槽在轴向方向上凹入所述下部中。平面形的部件可例如固定在所述下部的在现有的轴向凹入的且特别连续的开口中，槽可通过该开口达到，且泵的旋转轴承和/或驱动部可被置于该开口中。优选地，槽在此具有基本上圆环形或圆环段形的延伸，且另一部件可相应地通过同样圆环或圆环段形的且优选平面形的环或部分环而形成。

原理上，封闭的横截面也可以至少被限制在中空区域的一段中或通道的纵段中，且特别全部由真空泵的静止部件限制。在此，中空区域或通道可通过连续的凹部形成在各部件的固体材料中。

优选地，至少一个中空区域、且特别每个中空区域至少部分地被布置在真空泵的区域中，该区域在旋转轴方向上与真空泵的泵级间隔，且也被称为下部区域。在该下部区域中可例如布置用于转子轴的旋转轴承和/或真空泵的驱动部。中空区域或每个中空区域可以例如布置在下部区域中，且至少部分地被其所限制。中空区域也可至少部分地通过特别布置在下部区域中的导片或真空泵的平面形部件而被限制。为确保良好的导热性，对一个或每个中空区域的围绕可以至少部分地且特别完全地通过导热且特别金属的材料形成。

在最简单的情况下，可以使用空气作为冷却气体，空气在冷却气体入口处，优选在大气压和/或室温下出现。在各情况下，冷却气体被导入冷却气体入口，且低于泵的所期望的最大温度。在冷却气体入口的流体上游，冷却气体可以通过布置在真空泵外的真空泵外部的空气冷却器或通过布置在真空泵外的流体通道而被引导。

在本文中，真空泵的入口和出口理解为，始终从真空泵的外部可到达的且真空泵的外部导气地与真空泵的内部连接的入口或出口，该真空泵的外部例如由真空泵的壳体限制。冷却气体入口相应地连接真空泵的外部与真空泵的内部，中空区域被布置在其中。入口或出口可以包括各入口或出口开口周围的法兰，但也可通过简单的入口或出口开口形成。

原理上，真空泵可包括多个中空区域。当在本文中涉及到“中空区域”或“通道”时，各描述只要未加说明，始终同样理解为至少一个中空区域或通道，且也理解为单一的中空区域或通道，从而涉及多个中空区域或通道，且特别涉及所有中空区域或通道。真空泵也可具有多个冷却气体入口，其分别与至少一个中空区域导气连接。

本发明的另一主题是具有本文描述的根据本发明的真空泵的真空布置，其中，在真空泵的冷却气体入口处提供用于冷却真空泵的冷却气体，且在真空泵的泵入口处，与冷却气体入口分离的承受器与待抽吸的气体接通。在承受器优选地形成封闭的、基本上气密的容积期间，其与泵入口接通，在冷却气体入口可拥有冷却气体，例如空气，在该情况下冷却气体入口可简单置于普通大气下。可在泵出口处接通前级真空泵，其排出由真空泵抽吸的气体且若需要额外排出冷却气体。关于真空泵以及其在真空布置中的使用，特别具有前级真空泵，所描述的实施方式相应地描述了根据本发明的真空布置的有利实施方式。

此外，本发明涉及一种方法，用于运行根据本文的根据本发明的真空泵，或用于运行具有根据本文的真空泵的根据本发明的真空布置，其中，真空泵的冷却气体入口提供用于冷却真空泵的冷却气体，特别提供空气，且其中，在真空泵的泵入口处提供与冷却气体分开的待抽吸的气体。在此，该待抽吸的气体被提供在封闭的承受器中，而特别地，普通空气可作为冷却气体使用。其中冷却气体入口可承受该空气。关于真空泵和真空布置以及其使用的有利实施方式，相应地描述了根据本发明的方法的有利实施方式。优选地，使用前级真空泵的抽吸，从而驱使冷却气体以及泵气体。

附图说明

下文中，根据有利实施方式，结合附图示例性地描述本发明。附图中：

图1在轴向截面中示出根据本发明的一实施方式的真空泵；

图2在横截面中以示意图示出根据本发明的另一实施方式的真空泵的下部区域；

图3在轴向截面中以示意图示出根据本发明的另一实施方式的真空泵的下部区域；

图4在侧视图中示出根据本发明的另一实施方式的真空泵的下部；

图5以沿着图4的线A-A的截面图示出图4所示的下部；

图6以沿着图4的线B-B的截面图示出图4和图5所示的下部；

图7示出在图4至图6中所示的下部，用于形成可放置冷却通道的环；以及

图8以沿着图7的线A-A的截面图示出图7所示的环。

具体实施方式

图1中所示的真空泵包括：泵入口10，其由入口法兰12包围；泵出口14，其由出口法兰16包围；以及布置其之间的泵室18，在泵运行时促使待抽吸的气体通过该泵室，且也被称为汲取室。壳体上部20以及下部22形成真空泵的壳体。

真空泵包括转子轴26，其通过磁性轴承30和球形轴承32可围绕旋转轴28旋转地支承在真空泵中，其由润滑装置34提供润滑剂。电子驱动部36用于旋转驱动转子轴26。

磁性轴承30以及随后描述的泵级容纳在壳体上部20中。下部22形成用于球形轴承32和用于润滑装置34且用于驱动部36的壳体，其位于真空泵的下部区域24中。下部22通过基段60和功能段62形成，且包括连续的开口72和槽76，其中，下文中结合图4至6更加详细地描述这些部件。

真空泵包括多个布置在转子轴26上的、在轴向方向上延伸的、且具有径向叶片的转子盘38。此外，设置定子盘40，其同样在径向方向上延伸，设置有径向叶片，且其这样的布置并且固定在真空泵的壳体中，使得其以小的轴向距离与转子盘38相对置。在此，转子盘38与相对置的定子盘40分别形成真空泵的涡轮分子泵级。

在涡轮分子泵级的下游接着真空泵的三个相互交错的霍尔维克(Holweck)泵级，其通过多个圆柱套形的且与旋转轴28同心布置的霍尔维克定子42，且同样通过圆柱套形设计的且与旋转轴28同心布置的，与转子轴26连接的霍尔维克转子套44形成。在此，霍尔维克定子42的多个螺旋线形的槽构成的泵有效径向表面分别与霍尔维克转子套44的平坦的径向表面以小的径向距离向对置，使得在表面之间形成更细的缝隙。相对对置的表面一起分别形成霍尔维克泵级，其中，在真空泵运行时，气体分子被迫使进入螺旋线形的槽中，且由此在径向上输送。

在三个在流动方向上串联的霍尔维克泵级的下游，形成真空泵的前级真空区域46，其中，通过泵级输送的气体被聚集，该气体接下来通过与前级真空区域46导气连接的泵出口14而被排出。

此外，真空泵包括冷却气体入口48，其被构建在下部22中，以及包括构建在下部22的内部中的用于冷却气体的通道50，其与泵外部以及在此存在的空气导气连接。

冷却气体入口48在径向方向上延伸进入真空泵，且通入冷却气体通道50，其具有基本上圆形横截面，基本上半圆环性地围绕旋转轴28延伸，且通入泵出口14中。

当在泵出口14处连接前级真空泵时，空气可以通过前级真空泵的抽吸而通过冷却气体入口48进入真空泵，且通过通道50至泵出口14，且在此由前级真空泵抽空。在此，空气冷却下部22的限制通道50的区域，由此在真空泵运行时防止过度加热。

原理上，也可以提供多个冷却气体通道50和/或多个冷却气体入口48，其可分别与泵出口14导气连接。

图2在横截面中示出根据另一实施方式的真空泵的下部区域24，该泵基本上对应于图1所示的真空泵。真空泵部件可容纳在下部22中，例如在图1中所述的旋转轴承或润滑装置未在图2中示出，且下部22取而代之地是连续的。

在图2中示出的泵具有两个分别与冷却气体入口48导气连接的冷却气体通道50，52，其从冷却气体入口48而出在相反的方向上基本上半圆环形地围绕旋转轴28延伸，且通入泵出口14。由此通过围绕旋转轴28的整个角度区域实现有效的冷却。在图2中通过虚线圆56示出真空泵的前级真空区域与泵出口14之间的导气连接。

图3在轴向截面中示出根据本发明的另一实施方式的真空泵的下部区域24，具有下部22，其在图2中示出为连续的。真空泵具有多个冷却气体通道50，54，其分别与在图3中未示出的冷却气体入口导气连接。

一方面，真空泵包括通道50，其完全由下部22的固体材料限制。另一方面，真空泵包括通道54，其一方面通过槽壁由设置在下部22的径向外侧上的槽围绕，且另一方面通过与下部22导气连接的外板58以及通道54在径向方向上向外限制。外板58与下部22一起限制单个通道54的大致三角形的横截面。

图4在侧视图中示出根据本发明的另一实施方式的真空泵的下部22。该下部22包括大致圆柱形围绕轴28延伸的基段60，其在使用真空泵中的下部22时形成真空泵的下部区域24。此外，下部24包括在轴向方向上与基段60相对置的套管形凸出的、且相对于轴28基本旋转对称的功能段62，其以下述的方式与直接参与泵功能的真空泵部件一同作用。

功能段62包括在径向方向上凸缘形凸出的段64，具有多个螺旋线形围绕轴28延伸的槽68。在使用在真空泵中时，段64与围绕轴28旋转的霍尔维克转子套44(参见图1)的内面形成具有小的径向缝隙宽度的缝隙。在此，该段64与霍尔维克转子套44根据霍尔维克泵级的方式一起工作，且形成动态密封部，其相对于泵的临近的中空室而密封泵室。

基段60包括泵出口14以及与泵出口14气密分开的冷却气体出口68。

图5和图6以沿着图4中的线A-A以及B-B的截面图示出图4所示的下部22。该下部22包括冷却气体入口48以及构建用于限制冷却气体通道50的槽70，其在轴向方向上凹入，且圆周线形围绕轴28至冷却气体入口68延伸，其中，槽70覆盖大致220°的角度范围。如图6所示的，槽70通过下部22的开口72从外部进入。

图7和图8示出圆形环74，具有平的横截面，其可这样的固定在开口72中，即，使得环74封闭槽70，且利用槽壁构建用于冷却气体通道50的封闭的横截面。

此外，下部22包括用于限制前级真空区域46槽(图5)以及由此与其导气连接的真空泵出口14。如参考图5和图6而看到的，对于该实施方式，冷却气体通道50在泵出口14的下部在轴向方向上延伸，且完全气密地与前级真空区域48和泵室18整体分开。为在冷却气体通道50中产生冷却气体流，例如可以在冷却气体入口48处提供压力空气。替选地，冷却气体出口68，在真空泵外部且由此在泵出口14下游，连接前级真空泵，其也可与泵出口14连接。

开口72在轴向方向上延伸通过基段60以及下部22的功能段62，其中，在功能段62的区域中可固定驱动部36(参见图1)，且在基段60的区域中泵的旋转轴承32可固定在开口72中，使得下部22形成用于该部件的壳体。开口72的下部端可通过未示出的盖而封闭。

参考标记列表

10 泵入口

12 入口法兰

14 泵出口

16 出口法兰

18 泵室

20 壳体上部

22 上部

24 下部区域

26 转子轴

28 旋转轴

30 磁性轴承

32 球形轴承

34 润滑装置

36 驱动部

38 转子盘

40 定子盘

42 霍尔维克定子

44 霍尔维克转子套

46 前级真空区域

48 冷却气体入口

50，52，54 中空区域，通道

56 圆

58 外板

60 基段

62 功能段

64 凸缘段

66 槽

68 冷却气体出口

70 槽

72 开口

74 环

76 槽

Claims (13)

1.一种真空泵，具有泵入口(10)，泵出口(14)以及布置在泵入口(10)与泵出口(14)之间的用于待抽吸的气体的泵室(18)，以及具有用于冷却真空泵的冷却气体的至少一个冷却气体入口(48)，且具有与冷却气体入口(48)导气连接的且布置在泵室(18)外部的至少两个中空区域(50，52，54)，其用于所述冷却气体，其中，所述至少两个中空区域(50，52，54)被构建在真空泵的下部(22)中，其中，所述至少两个中空区域(50，52，54)构建成通道，其中，设置有至少两个通道，所述通道在不同的方向上围绕真空泵的旋转轴(28)延伸。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，所述至少两个中空区域(50，52，54)与泵出口(14)导气连接，且通入泵出口(14)或通入布置在泵出口(14)上游的区域，或通入泵室(18)的前级真空区域(46)。

3.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，设置有用于冷却气体的冷却气体出口(68)，所述至少两个中空区域(50，52，54)与所述冷却气体出口导气连接。

4.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，所述至少两个中空区域(50，52，54)与泵室(18)气密地分开，或在真空泵的所有对于泵的存在于泵室(18)中的气体而设置的泵级(38，40，42，44)下游与泵室(18)或与泵出口(14)导气连接。

5.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，所述至少两个通道环形地或环段形地围绕真空泵的旋转轴(28)延伸。

6.根据权利要求5所述的真空泵，其特征在于，所述至少两个通道至少在其长度的一部分上，形成用于冷却气体的流体横截面，该横截面最大等于或者小于泵出口(14)的流体横截面。

7.根据权利要求1或2所述的真空泵，其特征在于，所述至少两个中空区域(50，52，54)至少局部地或整体地具有封闭的横截面，该横截面完全由真空泵的至少一个静止的部件(22，58，74)限制。

8.根据权利要求7所述的真空泵，其特征在于，所述封闭的横截面至少在中空区域(50，52，54)的一段中或整体地全部由真空泵的至少两个静止的部件(22，58，74)限制。

9.根据权利要求1所述的真空泵，所述真空泵是涡轮分子泵。

10.根据权利要求6所述的真空泵，其特征在于，所述至少两个通道在至少其整个长度上，形成用于冷却气体的流体横截面，该横截面最大等于或者小于泵出口(14)的流体横截面。

11.一种真空装置，具有根据前述权利要求中任一项所述的真空泵，其中，在真空泵的冷却气体入口(48)处提供用于冷却真空泵的冷却气体，且在真空泵的泵入口(10)处连接具有待抽吸的气体的与冷却气体入口(48)分开的容器。

12.一种用于运行根据权利要求1至8中任一项所述的真空泵或根据权利要求11所述的具有真空泵的真空装置的方法，其中，在真空泵的冷却气体入口(48)处，提供用于冷却真空泵的冷却气体，且其中，在真空泵的泵入口(10)处提供与冷却气体分开的待抽吸的气体。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述冷却气体是空气。