CN103988066A - 用于光学测量的环氧树脂模塑的气室及形成方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于气体含量和/或浓度的光学测量的气室（1），所述气室包含腔体（1a）、至少一个用于气体交换的孔（11）、至少一个用于光发射装置（2）的第一插座（12）、以及至少一个用于光检测装置（3）的第二插座（13）。通过所述腔体（1a）的光学测量路径（A）的长度被第一插座（12）中的光发射装置（2）和第二插座（13）中的光检测装置（3）之间的直接或间接距离界定。本发明教导，环氧模塑化合物被用来形成气室（1）的至少界定光学测量路径（A）的部分。
Description
技术领域
本发明涉及一种气室（gas cell），该气室用于宏观系统中气体含量和/或浓度的光学测量，在该宏观系统中光学测量路径的长度处于厘米的范围。所述气室包含腔体、至少一个用于气体交换的孔、至少一个用于入射光的第一插座（socket）、以及至少一个用于光检测装置的第二插座。通过所述腔体的光学测量路径的长度由第一插座中的光发射装置和第二插座中的光检测装置之间的直接或间接距离而被界定。本发明还涉及形成创造性的气室的方法。
背景技术
在光学测量路径处于厘米或更长的范围的用于光学测量的气室的制造中，机械稳定性直接影响传感器输出的稳定性并因此限制传感器的准确性。低成本的气室通常采用热塑性材料通过注塑成型而被制造。这种气室通常随着温度和湿度的变化、或者在机械应力或力到达塑料时发生变形。已知的是，使用对于注塑模具是可能的高性能热塑性材料（例如液晶聚合物（LCP））。同样已知的是，如果需要更好的准确性或稳定性，则使用金属。例如，高灵敏度的检漏仪使用金属光学器件和/或金属力学器件，当然会使制造成本显著提高。
发明内容
技术问题
在光学测量路径处于厘米或更长的范围的用于光学测量的气室的制造中，一个技术问题是，形成一种气室，其具有高机械稳定性和具有在发射器和检测器之间的良好界定的和稳定的光学路径长度。
一个技术问题是，制造一种反射表面，该表面足够光滑，而不会扭曲被反射的发射光的波前（wave front），特别是当一个检测路径可以在一个或几个反射表面中导致几个反射时，并且同时对于温度变化和/或机械应力保持稳定和耐用，而不会在反射光的波前中引入扭曲。
一个技术问题是，制造能够在这样的环境中运作的气室，在该环境中存在对于气室中的部件的环境问题，并且在该环境中能够向这些部件提供良好的环境保护。
一个技术问题是，封装部件（例如检测器和发射器），而不会有焊线连接被破坏和损毁的风险，并且不会覆盖不需要被覆盖的部件的部分。
还有一个技术问题是，当使用用于制造气室的已知技术时，将光学镜功能和加热器或其他电子器件整合在镜内。
还有一个技术问题是，处理在光学零件上（特别是在反射表面上）出现的、由于温度接近露点时的温度变化而产生的凝露。
技术方案
为了解决上述问题中的一个或多个，并且从如上定义的发明领域的立场来看，本发明提出了一种气室，其中环氧树脂模塑化合物（epoxy mold compound ，EMC）已经被用来形成气室的至少界定光学测量路径的部分。
在本发明的说明中，术语“陶瓷增强的封装（Ceramic Reinforced Encapsulation，CRE）”将被使用。对于CRE，可以使用标准的高度矿物填充的环氧树脂（highly mineral filled Epoxy），它是被主要在电子IC封装产业中被广泛地使用的混合物。该材料在电子部件产业中成功的原因是，在成型过程期间的物料粘度非常低，使得即使最微小的电子芯片以及它们的微米薄的焊线连接也被该注塑化合物嵌入并完全地填充，而不会被破坏或损毁。
使用气室的气体传感器的稳定性和分辨率高度依赖于光学测量路径的机械稳定性，这意味着测量路径的物理长度需要是被良好地界定的、稳定的并且能够承受机械应力和温度变化，这在宏观系统中是特别难以达到的，在宏观系统中光学测量路径的长度是在厘米的范围或更长，还意味着被发射的光在被气室中的反射装置反射时它的波前会保持而不会扭曲，其中这些反射装置能够承受机械应力和温度变化，这在宏观系统中同样是难以达到的，在宏观系统中反射表面可以是几个平方厘米。本发明教导，使用环氧树脂模塑化合物（EMC）来形成气室的界定光学测量路径的部分，因此提供满足这些条件的测量路径，但是，应该理解的是，可能使用环氧树脂模塑化合物（EMC）来形成界定光学测量路径的部分之外的部分，或者甚至形成整个气室。
第一插座适于将光发射装置保持在它的正确位置。该插座可以适于固定光发射装置的不同形式，例如通过螺纹的螺栓、卡口紧固、紧固上的卡扣或者通过胶粘剂（例如环氧树脂胶）。
本发明建议，光发射装置被置于第一插座中，并且光发射装置被至少部分地封装在EMC中。这种封装使得可能将光发射装置固定在它的正确位置中，而不用任何其他方式来固定光发射装置。
同样可能的是，光发射装置被光学透明材料（例如光学透明的EMC）覆盖，以进行保护。
如以上用于将光发射装置固定在第一插座中所述，第二插座可以适于以不同方式固定光检测装置。本发明建议，光检测装置被置于第二插座中，并且光检测装置被至少部分地封装在EMC中。这种封装使得可能将光检测装置固定在它的正确位置中，而不用任何其他方式来固定光检测装置。
同样可能的是，光检测装置被光学透明材料覆盖，以进行保护。它可以是光学透明的EMC或光学过滤器，它们不仅提供保护，还提供这样的装置，该装置将在入射光中将会被光检测装置检测的波长和将不会被检测的波长分离。
本发明还建议，腔体包含至少一个光反射装置，其中测量路径包含在光反射装置中的反射。光反射装置可以是光反射镜，该光反射镜可以被至少部分地封装在EMC中。
可能的是，将压电式转换器（piezo transducer）置于反射镜之后，它适于调整反射镜的位置，并且该压电式转换器能够被封装在EMC中。
同样可能的是，光反射装置是反射表面，其中反射表面的形状被形成在EMC中。该反射表面因此是界定测量路径的一部分，并且它绝不会扭曲测量路径中的光的波前。
本发明建议，加热装置可以被置于光反射装置之后，该加热装置可以被封装在EMC中。
与气室相关的电子部件（例如放大装置、计算装置、存储装置、或用于光发射装置的驱动器电子器件）也可以被封装在EMC中。
同样可能的是，将与气室相关的光学部件（例如光学过滤装置、光束分离装置或光学栅格）至少部分地封装在EMC中。
本发明还建议，气体过滤装置（例如防止腔体的污染的过滤器）可以被置于孔中，其中气体过滤装置被至少部分地封装在EMC中。
本发明还涉及形成用于气体含量和/或浓度的光学测量的气室的方法，所述气室包含腔体、至少一个用于气体交换的孔、至少一个用于光发射装置的第一插座、以及至少一个用于光检测装置的第二插座，并且其中通过腔体的光学测量路径的长度被第一插座中的光发射装置和第二插座中的光检测装置之间的直接或间接距离界定。本发明特别教导，环氧树脂模塑化合物（EMC）被用来形成气室的至少界定光学测量路径的部分。
本发明建议，光发射装置被置于第一插座中，该光发射装置被至少部分地封装在EMC中。这些光发射装置可以被光学透明材料（例如光学透明的EMC）覆盖，以进行保护。
本发明还建议，光检测装置被置于第二插座中，该光检测装置被至少部分地封装在EMC中。这些光检测装置可以被光学透明材料（例如光学透明的EMC或光学过滤器）覆盖，以进行保护。
腔体可以包含至少一个光反射装置，其中测量路径包含在光反射装置中的反射。
光反射装置可以是光反射镜，该光反射镜可以被至少部分地封装在EMC中。
压电式转换器可以被置于反射镜之后并且适于调整反射镜的位置，并且该压电式转换器可以被封装在EMC中。
光反射装置还可以是反射表面，其中反射表面的形状可以被形成在EMC中。
本发明建议，加热装置可以被置于光反射装置之后，该加热装置可以被封装在EMC中。
本发明还建议，与气室相关的电子部件（例如放大装置、计算装置、存储装置、或用于光发射装置的驱动器电子器件）可以被封装在EMC中。
本发明还建议，与气室相关的光学部件（例如光学过滤装置、光束分离装置或光学栅格）可以被至少部分地封装在EMC中。
气体过滤装置（例如防止腔体的污染的过滤器）可以被置于孔中，并且该气体过滤装置可以被至少部分地封装在EMC中。
创造性的方法教导，所述气室可以由传递模塑（transfer moulding）形成。即使产品中的传统注塑成型可以在短得多的循环时间（即仅几秒钟）内制造，但是对于传递模塑，循环时间通常是在1-2分钟的范围内，CRE仍然可以对每个部分提供较低的生产成本，因为本发明建议，在一个和相同的制造工具中平行地制造多个气室，这将对每个部件提供非常经济的生产成本。
本发明建议，对EMC使用高度矿物填充的环氧树脂。
优点
根据本发明的气室和方法的优点是，CRE技术封装以较低的制造成本提供了高的生产精确度、优良的机械稳定性和良好的环境保护，提供了本产业要求的所有良好特性。
改进的CRE使得能够允许部件的某些区域被打开并被暴露至开放空气，而不用被模塑化合物覆盖。如有需要，还可能使用光学透明的EMC覆盖这些开口区域，这使得能够提供部分的或完全的封装，以从危险的环境中保护部件。
附图说明
现在将参照附图详细地描述根据本发明的气室和方法，在附图中：
图1是创造性的气室的示意图和非常简化的横截面图。
图2是制造工具的示意图和非常简化的图示，多个气室可以通过该工具平行地被制造。
图3a、3b和3c是根据本发明的气室的第一个实施例的透视和剖视图。
图4a、4b和4c是根据本发明的气室的第二个实施例的透视和剖视图。
图5a、5b、5c、5d和5e是根据本发明的气室的第三个实施例的透视和剖视图。
具体实施方式
现在将参照图1描述本发明，图1示出了用于气体含量和/或浓度的光学测量的气室1。该气室包含腔体1a、至少一个用于气体交换的孔11、至少一个用于光发射装置的第一插座12、以及至少一个用于光检测装置的第二插座13。在本发明的描述中并且在附图中，为了简单起见，每个孔11、以及第一和第二插座12、13都仅仅示出了一个；但是，对于本领域技术人员显而易见的是，多个孔和插座可以被用于气室的不同应用。
多个孔可以被用来增强通过腔体的气体交换。如果使用多个不同的光发射装置，以使用具有不同波长的光发射装置或者以对于通过该气室的不同光学路径使用不同的光发射装置，则可以使用多个第一插座。如果使用多个光检测装置，以检测来自具有不同波长的不同光发射装置的光和/或以结束通过该气室的不同光学路径的路径，则可以使用多个第二插座。可以使用光学部件来将来自一个光发射装置的光分为多个光学路径以被多个检测装置检测。同样可能的是，具有这样的光学部件，来自不同光发射装置的多个不同光学路径可以通过它们而被合并并且被一个检测装置检测。
光发射装置2可以是不同类型的光源，例如提供宽谱范围的波长的具有白炽灯灯丝的光源，或者具有小范围或单一波长的光源，例如发光二极管或激光器。根据气室的具体实施方式，光可以是任何波长的电磁辐射。
光检测装置3可以是任何类型的传感器或检测器，其适于检测被接收的光的特定波长或者范围广泛的波长。
通过腔体1a的光学测量路径A的长度被第一插座12中的光发射装置和第二插座13中的光检测装置之间的直接或间接距离界定。在光发射装置2和光接收装置3之间的直接路径是简单的路径，但是有时会太短。长的光学测量路径（从而增强气室的灵敏度）的需要、以及小尺寸的气室的需求，要求光学测量路径A通过腔体被反射一次或多次，以通过小的腔体得到足够长的测量路径。因此光学测量路径通常是在光发射装置2和光接收装置3之间的间接路径，其中该路径在腔体11中的反射装置上被反射一次或多次。图1示出了这样的光学测量路径A，它在到达光检测装置3之前被反射两次，因此它被在光发射装置和光检测装置之间的间接距离界定。
本发明教导，使用环氧树脂模塑化合物（EMC）来形成气室的至少界定气室1中的光学测量路径的部分。当使用EMC时，陶瓷增强的封装（CRE）可以被用来封装气室1内的不同部件，并借此在气室中整合并保护这些部件。这也会将部件以非常高的准确性置于它们预定的位置，其中即使在气室的宽的温度变化、湿度变化或机械应力期间它们的位置也会被保持，因此可以在光发射装置12和光检测装置13之间得到良好界定的和稳定的光学测量路径A。
因此本发明建议，光发射装置12可以被置于第一插座2中。该光发射装置12可以通过与第一插座相连的一些紧固装置而被固定，并且/或者它可以被至少部分地封装在EMC中。
为了保护光发射装置2，本发明建议，光发射装置2可以被光学透明材料12’（例如光学透明的EMC）覆盖。
本发明还建议，光检测装置3可以被置于第二插座13中，并且该光检测装置3被至少部分地封装在EMC中。同样地，光检测装置3可以被光学透明材料13’覆盖。该材料也可以是光学透明的EMC或者它可以是具有进一步的功能的光学过滤器，它从将被检测的光波长中分离不将被检测的光波长。
为了提供足够长的测量路径，本发明建议，腔体包含至少一个光反射装置4，其中测量路径A包含在光反射装置4中的反射。该光反射装置4可以是光反射镜41，它可以被至少部分地封装在EMC中。
可以被封装在EMC中的部件的例子是压电式转换器5，它能够被置于反射镜41之后并且适于调整反射镜41的位置。
光反射装置4也可以是反射表面42，反射表面42的形状可以被形成在EMC中。
可以被封装在EMC中的部件的另一个例子是加热装置6，它可以被置于光反射装置4之后。该加热装置6可以是适于向反射装置4提供热量的任何装置，从而防止雾由于气室1内的气体中的湿度而积聚在反射装置4上。附图示出了加热装置6被置于反射表面42之后，应该理解的是，还可能将加热装置置于镜41之后，即使没有这样的加热装置被示出于附图中。
可以被封装在EMC中的部件的其他例子是与气室相关的电子部件，例如放大装置71、计算装置72、存储装置73、或用于光发射装置2的驱动器电子器件74。
还可以被至少部分地封装在EMC中的部件的其他例子是与气室相关的光学部件，例如光学过滤装置8、光束分离装置或光学栅格，光束分离装置和光学栅格没有被示出于附图中。
还可能的是，将部件（例如气体过滤装置9）至少部分地封装在EMC中，其中气体过滤装置9可以是防止腔体1的污染的过滤器，并且它可以被置于孔11中。
本发明建议，EMC是高度矿物填充的环氧树脂。
本发明还涉及形成用于气体含量和/或浓度的光学测量的气室1的方法，该气室包含腔体1a、至少一个用于气体交换的孔11、至少一个用于光发射装置的第一插座12、以及至少一个用于光检测装置的第二插座13，其中通过腔体1a的光学测量路径A的长度被第一插座12中的光发射装置和第二插座13中的光检测装置之间的直接或间接距离界定。本发明特别教导，使用环氧树脂模塑化合物（EMC）来形成气室的至少界定气室1中的光学测量路径的部分。
本发明建议，光发射装置2被置于第一插座12中，并且光发射装置2被至少部分地封装在EMC中。本发明还建议，光发射装置2可以被光学透明材料12’（例如光学透明的EMC）覆盖。
以相同的方式，可能的是，将光检测装置3置于第二插座13中，该光检测装置3可以被至少部分地封装在EMC中。
同样地，光检测装置3可以被光学透明材料13’ （例如光学透明的EMC或者光学过滤器）覆盖。
如果腔体1a包含至少一个光反射装置4，其中测量路径包含在光反射装置4中的反射，并且如果光反射装置4是光反射镜41，则本发明建议，光反射镜41被至少部分地封装在EMC中。
还可能的是，在反射镜41之后设有压电式转换器5，它适于调整反射镜41的位置，在该情况下，本发明建议，压电式转换器5可以被封装在EMC中。
如果腔体包含至少一个光反射装置4，其中测量路径包含在光反射装置4中的反射，并且如果光反射装置4是反射表面42，则本发明建议，反射表面42的形状被形成在EMC中。
不管使用何种类型的反射装置4，本发明建议，加热装置6可以被置于光反射装置4之后，并且加热装置6可以被封装在EMC中。
本发明还建议，与气室相关的电子部件（例如放大装置71、计算装置72、存储装置73、或用于光发射装置2的驱动器电子器件74）被封装在EMC中。
本发明还建议，与气室相关的光学部件（例如光学过滤装置8、光束分离装置或光学栅格）可以被至少部分地封装在EMC中。
本发明还建议，气体过滤装置9（例如防止腔体1a的污染的过滤器）被置于孔11中，并且气体过滤装置9被至少部分地封装在EMC中。
本发明教导，气室1可以通过传递模塑的方式而被形成，图2示出了多个气室1、1’、1’’、1’’’可以在一个和相同的制造工具1b中被平行地制造。
一种建议被用作EMC的材料是高度矿物填充的环氧树脂。
图1是本发明的非常简单的和示意性的图示，其中EMC被用来形成整个气室，但是，本发明涉及这样的气室，其中EMC被用来至少形成气室的界定光学测量路径的部分。
图3是这样的例子，其中EMC被用来形成气室31的仅仅一部分。图3a示出了气室31的视图，其中示出了三对不同的开口312a、312b、312c，这些开口适于将来自光发射装置32的电源连接32’引出气室，以连接至印刷电路板（PCB）和在PCB上的其他电子部件。
图3b和3c示出了气室31的孔311被过滤装置39覆盖，该过滤装置适于在放置腔体31a的污染的同时允许进出气室的气体交换3B。图3c是气室的横截面图，其中用于光学测量路径3A的界定部分36用黑色填充。可以看出，光发射装置32被置于第一插座312中，而光检测装置33被置于第二插座313中。光学测量路径3A从光发射装置32直接到达光检测装置33，并且该距离被界定部分36界定。因为EMC被用来至少形成界定部分36，所以光学测量路径是良好界定的和稳定的。
为了示出宏观系统中的尺寸的例子，可以提出，图3的气室使用灯作为光源，其中灯的直径是3mm，被旋进气室的外层部分的螺栓具有m16螺纹。
图4示出了根据图3的气室的略加修改的实施例。两个孔411a、411b被用来提供进出气室41的气体交换4B。这两个孔411a、411b适于强制的气体交换，其中过滤装置（如果需要）可以被置于强制的气体流中的任何地方。
用作反射装置44的反射镜441被置于光检测装置43的对面。
在图4b示出的实施例中，光发射装置42被置于第一插座（未在附图中示出）中，使光发射装置42靠近反射镜441放置。反射镜具有凹入的形状，将从光发射装置射出的光向光检测装置43反射并聚集。
图4c示出了和图4b相同的实施例，但是其中光发射装置42已经被置于第一插座（未在附图中示出）中，使光发射装置42靠近光检测装置43放置。光学测量路径4A间接地从光发射装置42经过反射镜441到达光检测装置43。
界定部分46对光发射装置42、反射镜441和光检测装置43提供了良好界定的和稳定的位置，因此提供良好界定的和稳定的光学测量路径4A。
图5示出了根据本发明形成的气室51的另一个例子。图5a示出了气室的横截面侧视图。在这里可以看出，第一界定部分561（被示出于图5b中的透视图中）包含具有光发射装置52的第一插座512和具有三个不同的检测装置53a、53b、53c的三个第二插座513a、513b、513c。第二界定部分562（被示出于图5c中的透视图中）包含反射表面54。EMC被用来形成第一界定部分561和第二界定部分562。稳定的第一界定部分561将提供发射装置52和三个检测装置53a、53b、53c的精确和安全的定位和对齐。第二界定部分562将提供反射表面54，它被成形为这样的形状，该形状将提供预期的反射，而不会扭曲入射光的波前。
图5d示出了PCB 57，它被模制进第二界定部分562。该PCB持有两个加热装置56a、56b，它们适于加热反射表面，以避免在反射表面54上的任何凝露。
图5e示出了第二界定部分562，其中EMC 58已经被用来形成反射表面54的形状，并且其中反射表面已经被金属化来提供反射特性。该两个加热装置56a、56b已经被封装在形成反射表面54的EMC 58中。
当第一和第二界定部分561、562被安装至管状元件563的时候，气室51被形成，并且其中EMC已经被用来形成用于界定气室51中的测量路径的关键部分。
可能不合适的是，使用EMC来形成管状元件563，因为该元件在其细长的形状中可以相对地大和长。如果不能通过EMC，则该元件可以通过提供足够的温度稳定性的任何其他方式而被形成。
为了示出宏观系统中的尺寸的另一个例子，可以提出，图5的气室被用于酒精计中，其中在光发射装置52和反射表面54之间的距离是8 cm的水平，并且其中反射表面54具有2 cm x 4 cm的表面。
不直接界定光学测量路径的部分可以以其他方式制造；但是，没有事实阻止EMC也被用来形成这些部分。
应该理解的是，本发明不被限制于前面描述的和说明的示例性实施例，可以在由附属的权利要求书界定的本发明的范围内进行修改。
Claims (37)
1.用于在宏观系统中的气体含量和/或浓度的光学测量的气室，所述气室包含腔体、至少一个用于气体交换的孔、至少一个用于光发射装置的第一插座、至少一个用于光检测装置的第二插座，并且其中通过所述腔体的光学测量路径的长度由被置于所述第一插座中的光发射装置和被置于所述第二插座中的光检测装置之间的直接或间接距离而被界定，其特征在于，环氧树脂模塑化合物（EMC）被用来形成所述气室的至少界定所述光学测量路径的部分。
2.根据权利要求1所述的气室，其特征在于，光发射装置被置于所述第一插座中，并且所述光发射装置被至少部分地封装在所述EMC中。
3.根据权利要求1或2所述的气室，其特征在于，所述光发射装置被光学透明材料覆盖。
4.根据权利要求3所述的气室，其特征在于，所述光学透明材料是光学透明的EMC。
5.根据前述权利要求中任一项所述的气室，其特征在于，光检测装置被置于所述第二插座中，并且所述光检测装置被至少部分地封装在所述EMC中。
6.根据权利要求1或5所述的气室，其特征在于，所述光检测装置被光学透明材料覆盖。
7.根据权利要求6所述的气室，其特征在于，所述光学透明材料是光学透明的EMC。
8.根据权利要求6所述的气室，其特征在于，所述光学透明材料是光学过滤器。
9.根据前述权利要求中任一项所述的气室，其特征在于，所述腔体包含至少一个光反射装置，并且所述测量路径包含在所述光反射装置中的反射。
10.根据权利要求9所述的气室，其特征在于，所述光反射装置是光反射镜，并且所述光反射镜被至少部分地封装在所述EMC中。
11.根据权利要求10所述的气室，其特征在于，压电式转换器被置于所述反射镜之后并且适于调整所述反射镜的位置，并且所述压电式转换器被封装在所述EMC中。
12.根据权利要求9所述的气室，其特征在于，所述光反射装置是反射表面，并且所述反射表面的形状被形成在所述EMC中。
13.根据权利要求9至12中任一项所述的气室，其特征在于，加热装置被置于所述光反射装置之后，并且所述加热装置被封装在所述EMC中。
14.根据前述权利要求中任一项所述的气室，其特征在于，与所述气室相关的电子部件被封装在所述EMC中，所述电子部件例如是放大装置、计算装置、存储装置、或用于所述光发射装置的驱动器电子器件。
15.根据前述权利要求中任一项所述的气室，其特征在于，与所述气室相关的光学部件被至少部分地封装在所述EMC中，所述光学部件例如是光学过滤装置、光束分离装置或光学栅格。
16.根据前述权利要求中任一项所述的气室，其特征在于，气体过滤装置被置于所述孔中，所述气体过滤装置例如是防止所述腔体的污染的过滤器，并且所述气体过滤装置被至少部分地封装在所述EMC中。
17.根据前述权利要求中任一项所述的气室，其特征在于，所述EMC是高度矿物填充的环氧树脂。
18.根据前述权利要求中任一项所述的气室，其特征在于，光学测量路径的长度处于厘米的范围。
19.形成用于气体含量和/或浓度的光学测量的气室的方法，所述气室包含腔体、至少一个用于气体交换的孔、至少一个用于光发射装置的第一插座、以及至少一个用于光检测装置的第二插座，并且其中通过所述腔体的光学测量路径的长度由被置于所述第一插座中的光发射装置和被置于所述第二插座中的光检测装置之间的直接或间接距离而被界定，其特征在于，环氧树脂模塑化合物（EMC）被用来形成所述气室的至少界定所述光学路径的部分。
20.根据权利要求19所述的方法，其特征在于，光发射装置被置于所述第一插座中，并且所述光发射装置被至少部分地封装在所述EMC中。
21.根据权利要求19或20所述的方法，其特征在于，所述光发射装置被光学透明材料覆盖。
22.根据权利要求21所述的方法，其特征在于，所述光学透明材料是光学透明的EMC。
23.根据权利要求19至22中任一项所述的方法，其特征在于，光检测装置被置于所述第二插座中，并且所述光检测装置被至少部分地封装在所述EMC中。
24.根据权利要求19或23所述的方法，其特征在于，所述光检测装置被光学透明材料覆盖。
25.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，所述光学透明材料是光学透明的EMC。
26.根据权利要求24所述的方法，其特征在于，所述光学透明材料是光学过滤器。
27.根据权利要求19至26中任一项所述的方法，其中所述腔体包含至少一个光反射装置，并且其中所述测量路径包含在所述光反射装置中的反射，其特征在于，所述光反射装置是光反射镜，并且所述光反射镜被至少部分地封装在所述EMC中。
28.根据权利要求27所述的方法，其特征在于，压电式转换器被置于反射镜之后并且适于调整所述反射镜的位置，并且所述压电式转换器被封装在所述EMC中。
29.根据权利要求19至26中任一项所述的方法，其中所述腔体包含至少一个光反射装置，并且其中所述测量路径包含在所述光反射装置中的反射，其特征在于，所述光反射装置是反射表面，并且所述反射表面的形状被形成在所述EMC中。
30.根据权利要求27至29中任一项所述的方法，其特征在于，加热装置被置于所述光反射装置之后，并且所述加热装置被封装在所述EMC中。
31.根据权利要求19至30中任一项所述的方法，其特征在于，与所述气室相关的电子部件被封装在所述EMC中，所述电子部件例如是放大装置、计算装置、存储装置、或用于所述光发射装置的驱动器电子器件。
32.根据权利要求19至31中任一项所述的方法，其特征在于，与所述气室相关的光学部件被至少部分地封装在所述EMC中，所述光学部件例如是光学过滤装置、光束分离装置或光学栅格。
33.根据权利要求19至32中任一项所述的方法，其特征在于，气体过滤装置被置于所述孔中，所述气体过滤装置例如是防止所述腔体的污染的过滤器，并且所述气体过滤装置被至少部分地封装在所述EMC中。
34.根据权利要求19至33中任一项所述的方法，其特征在于，所述气室由传递模塑形成。
35.根据权利要求34所述的方法，其特征在于，多个气室在一个和相同的制造工具中被平行地制造。
36.根据权利要求19至35中任一项所述的方法，其特征在于，对所述EMC使用高度矿物填充的环氧树脂。
37.根据权利要求19至36中任一项所述的方法，其特征在于，光学测量路径的长度处于厘米的范围。
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