CN103906991A - 测试玻璃更换 - Google Patents

Abstract

一种真空镀膜系统中用于光学测量膜特性的测试玻璃更换器，其具有能够移动的基片座(2)，用于将至少一个基片引入通过至少一个镀膜材料流的路径，具有用于至少一个测试玻璃元件的底座(6)，其刚性地连接至旋转轴(4)并且能够相对于基片座(2)围绕旋转轴(4)旋转，并且具有控制装置，用于每种情况下将一个测试玻璃元件插入光学测量装置的光路中并插入至少一个镀膜材料流中，其中底座(6)具有相对于轴(4)偏心地偏移的至少两个凹槽(7)以用于每种情况的一个测试玻璃元件，并且底座(6)相对于轴(4)的旋转运动可以由控制装置引起，其特征在于，提供定心装置(10)，通过定心装置(10)可以对底座(6)施加扭转力矩和保持力矩，从而将布置在凹槽(7)之一中的测试玻璃元件带入测量装置的测量位置。在通过该装置的用于测试玻璃更换的方法中提出，在将布置在凹槽(7)之一中的测试玻璃元件移入测量装置的测量位置之前，通过控制装置引起底座(6)的旋转运动，所述旋转运动将所述测试玻璃元件带入第一位置，该位置与测量位置的角距离小于凹槽(7)之间的角距离，并且之后通过定心装置(10)将所述测试玻璃元件带入测量位置。

Description

测试玻璃更换

技术领域

根据独立权利要求的前序部分，本发明涉及在真空镀膜系统中光学测量膜特性时的测试玻璃更换。

背景技术

从DE102005010681A1中已知用于镀膜过程的光学监测的测量装置。这种测量装置对于基片或者布置在移动的基片座上的监测玻璃的透射测量具有高的测量精度。这里，光源布置在基片座和布置在基片座下方的光阑之间的真空室中。光接收器单元布置在光源的光路中的真空室的外部。基片座被设计为容纳至少一个基片并且可以在真空室中在镀膜源上移动。基片座优选地绕轴旋转，其中所述至少一个基片穿过光源和光接收器单元之间的光路以用于透射测量，并且光阑遮蔽镀膜源上的测量区域。

使用这种测量装置，所选的基片或者旋转基片座上的监视玻璃的透射被间歇地测量。对于具有很多层膜的镀膜过程，在实践中发现缺陷积累会引起相当大的膜厚度缺陷。为了消除这种缺陷积累，在若干层膜之后将测量玻璃更换为未镀膜的玻璃通常是有益的。在多层膜系统中，在大约30-40层膜之后必须更换。使用所述的测量装置，监测玻璃仅可在真空室打开时手动更换。这种手动更换引起耗费时间的过程中断。另外，基片可能会被真空室打开和空气流通以及随后的重新抽空产生的微粒污染。即使有另外的清洁步骤，在实践中发现该微粒污染远大于没有这种类型的过程中断的过程中的污染。

另外，EP0241589B1公开了一种在引言中提到的类型的测试玻璃更换器，其中，用于容纳多个测试玻璃的底座安装在基片座上，并且能够随基片移动以及本身能够相对于基片移动。所述测试玻璃更换器包括控制装置，其适合在真空条件下操作，用于一次将一块测试玻璃插入测量装置的光路中，以及至少一个镀膜材料流中。

由于测试玻璃可以在真空条件下更换而不必使真空室空气流通，使用这种测试玻璃更换器能够克服现有技术的缺点。然而，即使使用这种测试玻璃更换器，仍发现一些缺点。尤其是，底座从开关拨动销的突出必须被精确地阻止直到达到预先计算的底座的旋转角。必要的旋转角是[360°/测试玻璃的数量]。另外，必须确保测试玻璃在其通过旋转角之后精确地布置在光学测量的光路的中央。为此，开关拨动销和突出的非常精确的机械协调是必需的。随时间的进程也必须非常准确的协调。实践中还发现，精确地定心以及非常精确地机械协调的实现是很困难的，这使得测试玻璃的定位不准确以及由此的不可重复定位。由于镀膜期间基片座的旋转，具有测试玻璃的底座很容易移动，这还引起测试玻璃的位置发生不期望的位移。

发明内容

因此，本发明的目的是改进引言中所述类型的测试玻璃更换。

该目的通过独立权利要求的特征部分实现。测试玻璃更换器的有利的进展在从属权利要求中限定。

根据本发明的用于在真空镀膜系统中光学测量膜特性的测试玻璃更换器，具有能够移动的基片座，用于引导通过至少一个镀膜材料流的路径上的至少一个基片；具有用于测试玻璃元件的平板状底座，其刚性地连接至旋转轴并且围绕旋转轴相对于基片座旋转；以及具有控制装置，用于一次将一个测试玻璃元件插入光学测量装置的光路中并且插入至少一个镀膜材料流中；其中，底座具有至少一个相对于轴偏心偏移的凹槽用于各个测试玻璃元件，并且底座围绕轴的旋转运动可以由控制装置引起，其特征在于，具有定心装置，通过该装置，可以对底座施加扭转力矩和保持力矩，以使布置在凹槽之一中的测试玻璃元件进入测量装置的测量位置。用于涂布镀膜材料并且在其上进行测量的测试玻璃元件的精确定位由此能够以简单的方式实现，而不必为了更换和/或定位测试玻璃元件而使真空室空气流通，也不必为了定位而以非常精确的方式机械地协调各个组件。

这里，测试玻璃元件可以是圆形的或者特别地椭圆形的测试玻璃。另外，测试玻璃元件可以被形成为在圆的一部分上扩展的玻璃环部件。

一个实施例的特征在于定心装置具有至少一个相对于基片座以固定角度布置的执行元件，以及至少一个相对于旋转轴以固定角度布置并且可以被执行元件通过弹簧弹力作用的轴承元件。由于执行元件与轴承元件啮合，平板形状的底座固定地连接至旋转轴并且由此各个测试玻璃元件之后可以精确地定位，因为执行元件经由轴承元件对旋转轴和底座施加一个保持力矩，这样，底座相对于基片座固定在它的位置至少直到底座按照计划进一步旋转。

在另外的实施例中，可以提供载体平板，其可以被紧固至或者被紧固至基片座并且具有用于旋转轴的通孔以及至少一个相对于旋转轴偏心布置的测量开口，其中，底座被布置在基片座和载体平板之间的空隙中。

该实施例中的载体平板特别用于容纳执行元件，由此承载它并且将它固定在相对于基片座的固定角度。因此，执行元件可以在通过载体平板的旋转轴上与轴承元件啮合，并且可以产生准确的定位。另外，偏心的测量开口仅释放一条光路以用于测量，而所提供的其它任何测试玻璃元件都被载体平板保护以免受载体平板上的真空室区域的影响。

另外的实施例的特征在于，轴承元件被形成为中心部，其刚性地连接至旋转轴并且具有布置在中心部边缘的V个数量的凹口，其中至少凹口之一对应于凹槽之一，并且其中执行元件被形成为弹簧销，其布置在载体平板上并且通过弹簧弹力经由自由端与凹口之一啮合。

可替换的实施例的特征在于，轴承元件被形成为布置在平板状底座上的槽状凹口，其中，凹口对应于凹槽之一，以及特征在于，执行元件包括球形元件、布置在载体平板上的球形元件的上止动开口以及弹簧元件，球形元件可以被布置或者被布置在平板状底座和载体平板之间，弹簧元件被布置在载体平板上并且作用于球形元件，其中球形元件可以通过弹簧弹力与凹口啮合。

两种替代都具有如下优势，由于弹簧销或者球形元件与对应凹口之一的啮合，定位可以非常精确，特别是如果弹簧销端部或者球形元件的半径与对应凹口的半径协调，那么弹簧销或者球形元件可以与对应凹口基本上没有间隙的啮合。

根据另一实施例，控制装置包括若干旋转臂或突出，其数量对应于凹槽的数量。通过旋转臂或突出可以对旋转轴施加扭转力矩。另外，提供了可以被移入旋转臂或突出的相应轨道的开关拨动销，如此，通过旋转臂或突出，底座能够旋转一个角距离。

因为旋转臂或突出的数量对应于凹槽，凹槽数量相应优选地对应于布置在底座上的测试玻璃元件的数量，由于开关拨动销与旋转臂或突出之一的啮合，另外的测试玻璃可以容易地或高效地旋转进入测量位置，而不需要执行复杂的机械协调。为了拖住旋转臂或突出，它甚至足以将开关拨动销移入旋转臂或突出的轨道一段短的时间。

为了免受基片支架下方的真空室区域的影响，在底座和基片座之间布置了保护装置，以使一次仅单独一个测试玻璃元件暴露在其镀膜和测量位置。优选的是，保护装置布置在载体平板上，以使一次仅单独一个测试玻璃元件暴露在其镀膜和测量位置。这里，保护装置可以特别地是圆形平板，其与旋转轴同轴地布置并且具有可以与测量位置对齐的单独开口。

特别地以圆形平板形式的保护装置提供了针对底座(包括其可移动部件，以及不打算镀膜的测试玻璃元件)的镀膜过程的简单而有效的保护。保护装置仅允许对测量位置的测试玻璃元件的镀膜。

除了上述透射测量，测试玻璃元件上的膜特性也可以在反射中测量。反射测量的情况下，载体平板可以不形成开口。

根据本发明的通过前述类型的装置的测试玻璃更换的方法，其特征在于，在将布置在凹槽之一中的测试玻璃元件移入测量装置的测量位置之前，通过控制装置引起底座的旋转运动，该旋转运动将所述测试玻璃元件移入第一位置，该位置与测量位置的角距离小于凹槽之间的角距离，并且所述玻璃测试元件随后通过定心装置移入测量位置。

附图说明

参照附图对本发明的优选的示例性实施例的描述将使另外的目的、特征、优势和可能的应用变得显而易见。这里，所述的和/或示意图所示的所有特征分别地和以任意组合地形成本发明的主题部分，不论其在权利要求中的总结或是权利要求的引用关系。

图1示出了根据本发明的一个实施例的测试玻璃更换器，其具有相对于弹簧销的第一位置处的中心部。

图2示出了图1所示的测试玻璃更换器，其具有相对于弹簧销的第二位置处的中心部。

图3示出了用于根据本发明的实施例的测试玻璃更换器的覆盖平板。

图3a示出了根据本发明的测试玻璃更换器的另外的实施例的一些组件。

图4示出了根据本发明的实施例的测试玻璃更换器相对于具有第一操作位置处的开关拨动销的开关装置在基片座上的布置。

图5示出了具有第二操作位置处的开关拨动销的图4所示的布置。

图6示出了本发明的另外的实施例的执行元件和轴承元件。

图7示出了测试玻璃更换的自动化过程的方框图。

具体实施方式

测试玻璃更换器1的优选实施例在图1中示出。在下文中，图1中可见的测试玻璃更换器的侧面优选地是上侧面，而不可见的侧面优选地是下侧面，但是本发明的内容不限于此。

在本实施例中为圆形的载体平板3在其中央具有通孔(图1中不可见)，通过该通孔引导旋转轴4。

载体平板3下方具有用于容纳测试玻璃元件的底座6。测试玻璃元件可以以圆形或椭圆形的形式形成或者被形成为玻璃环部件。本实施例中的载体平板3具有开口5’，开口5’偏心地布置并且测试玻璃元件可以通过开口5’插入底座6或者从底座6移除。

在本实施例中，底座6具有用于容纳测试玻璃元件的四个开口7。在该实施例中，底座6被形成为圆形平板并且在其中央刚性地连接至旋转轴4。底座6与所述旋转轴4以及中心部11共同安装，由此相对于载体平板3能够旋转。

底座6的开口7被形成为圆孔，该孔的最大直径略小于所使用的测试玻璃元件的直径。特别地，该孔被形成为盲孔。由于半径之间的差异，测试玻璃元件的承载边缘产生在底座6的开口7上。

定心装置具有至少一个相对于基片座以固定角度布置的执行元件(控制元件)以及至少一个相对于旋转轴以固定角度布置的轴承元件，可以通过执行元件(优选地利用弹簧弹力)作用于轴承元件。这里，弹簧弹力被理解为意指由弹性元件产生的任何力，特别是弹簧的夹紧力。

中心部11作为轴承元件被布置在载体平板3的上侧面并且固定地连接至旋转轴4。中心部11能够连同旋转轴4一起相对于载体平板3旋转。中心部11在其外围包括4个沿轴向的凹口12，作为执行元件的可移动弹簧销13与所述凹口12啮合。具有凹口12的中心部11与弹簧销13一起组成定心装置10。

旋转臂14设置在中心部11的凹口12之间的脊上，并且最初平行于载体平板3径向地向外延伸，以使随后在载体平板3的径向最外边缘区域以大约90°角向上弯曲。旋转臂也可以附接至旋转轴4。

弹簧销13装配在弹簧销轴承18上，其允许弹簧销13在旋转轴4的径向方向上移动。轴承18固定地连接至载体平板3，然而优选是可移动地。在本案中，轴承18被形成为圆柱缸体并且用螺丝固定在载体平板3上。当中心部11旋转时，弹簧销13克服弹簧弹力从凹口12压出并且越过中心部11的两个凹口12之间的脊。

如图2所示，在示出的中心部11相对于弹簧销13的位置，所述弹簧销布置在两个凹口12的中间并且具有旋转轴4和弹簧销13之间的最大距离。如果现在通过旋转臂14的运动使旋转轴4相对于载体平板3轻微地旋转，弹簧销13由于其弹簧弹力进入紧邻的凹口12并且被准确地定位在该凹口12的中央。如果不施加任何扭转力矩，中心部11以及由此测试玻璃元件的底座6通过弹簧销13的弹簧弹力保持在它们的位置。

本实施例中的载体平板3具有另一开口5，其偏心地布置并且位于例如用于透射测量的光路中。

在本实施例中，载体平板3通过螺钉19a、19b、19c固定地连接至基片座2，螺钉19a、19b、19c以卡口闭合的方式固定载体平板3。

图3示出了覆盖平板8，其被固定至或者可以被固定至载体平板3的下侧面。这里，覆盖平板8至载体平板3的固定留下足够的空间以用于具有测试玻璃元件的底座6的旋转。覆盖平板8具有开口9，其定位于径向方向从而与载体平板3的开口5对齐。由于通过中心部11的凹口12以及弹簧销13对底座6中的开口7的定位，相应的测试玻璃精确地定位于载体平板3的开口5以及覆盖平板8的开口9中。

在另一实施例中，载体平板、覆盖平板以及覆盖物通过螺钉相互连接并形成一个单元，其可以以预装配的方式安装在圆顶上。

在根据本发明的测试玻璃更换器的实施例中，图3a示出了其上布置有覆盖物3a的载体平板3。在载体平板3的下方设置作为保护装置的覆盖平板8，其类似于图3的实施例具有开口9，通过开口9测试玻璃6a可以从下方镀膜。覆盖平板8通过螺钉19e、19f连接至载体平板3的下表面，其中，底座6可以在覆盖平板8和载体平板3之间移动。

在所示的实施例中，基片以及由此测试玻璃元件从下方镀膜。覆盖平板8通过它的一个开口9将镀膜精确地限制在位于开口5和开口9中的测试玻璃上。通过载体平板3上的开口5、具有测试玻璃的底座6上的开口7以及覆盖平板8上的开口9的布置，光路被释放以用于当前测试玻璃元件的透射测量。

为了将新的测试玻璃带入镀膜材料流并且同样进入用于透射测量的光路中，底座6通过旋转臂14、中心部11和旋转轴4相对于载体平板3和覆盖平板8旋转，并且将依次布置的载体玻璃定位底座6的一个圆形路径上。

图4示出了基片座2上的测试玻璃更换器1的布置，在本实施例中，其被形成为能够旋转的圆顶。测试玻璃更换器1通过螺钉19d固定在圆顶的相应开口上。这里，测试玻璃更换器1的下侧面，即覆盖平板8，指向圆顶的内部。

具有旋转臂14的中心部11布置在圆顶的外表面。

独立于圆顶之外，提供了与测试玻璃更换器1相关的开关装置，该开关装置由开关拨动销15组成，其经由轴16连接至执行器17，借此，开关拨动销15可以被驱动。由于轴16的运动，开关拨动销15可以在测试玻璃更换器1的方向上枢转。铰链装置15a布置在轴16上以调节开关拨动销15。

如图5所示，开关拨动销15定位于测试玻璃更换器1的两个旋转臂14之间。如果现在圆顶在镀膜过程中旋转，旋转臂14中之一与开关拨动销15接触，以使圆顶的旋转引起中心部11连同旋转轴4旋转。具有测试玻璃元件的底座6由此相对于连接至用于共同旋转的圆顶的组件(即载体平板3和覆盖平板8)旋转。

如果因为圆顶的旋转，中心部11的旋转到达这样的程度，即弹簧销13已经超过旋转轴4和弹簧销13之间的最大距离点，那么开关拨动销15经由轴16的旋转通过执行器17的作用旋转回来。弹簧销13的弹簧弹力引起中心部11的精确定位以及由此引起下一个测试玻璃元件在已对齐的开口5、7和9处的精确定心。

在本实施例中，轴16从真空镀膜室通过真空通孔向外引导，真空镀膜室中布置有执行器17。轴16很容易手动移动或者以电机驱动的方式通过真空通孔。

当然，开关拨动销15的驱动的另一实施例也包含在该发明中。特别地，开关拨动销15的枢转驱动可以具有不同于图4所示的方向的旋转轴。

为了旋转圆顶，使用提供的并未在图中示出的旋转驱动。优选地，圆顶在测试玻璃更换期间比常规镀膜过程期间旋转地更慢。特别地，借助耦合至圆顶的旋转驱动的角度传感器，更换过程很容易自动完成。

前述可替换地，如果圆顶是固定的，也可以使旋转臂14旋转。为此，为了使开关拨动销15在两个旋转臂14之间枢转，开关拨动销15必须另外机械地旋转以引导开关拨动销15使弹簧销13被引导进入紧邻的凹口12。

由于借助于弹簧销13的自定心，根据本发明的测试玻璃更换器1允许测试玻璃元件在镀膜材料流中和/或在透射测量的光路中精确地定位。与现有技术相比，当基片座固定时更换测试玻璃元件也成为可能。

对于弹簧销和中心部的定位，可替换地，如图6所示，也可以形成执行元件和轴承元件。

钢片弹簧20固定在载体平板3上的一端。球状物25定位于载体平板3和用于测试玻璃元件的底座6之间。载体平板3具有圆形的止动开口30，其被形成为使球状物25具有上止动部。通过弹簧弹力，球状物25被向下压在底座6上；参照图6a，其示出更换过程期间未定位的测试玻璃的布置。

用于测试玻璃元件的底座6具有槽状凹口35(圆角面)，其被布置以使得：如图6b所示，如果测试玻璃位于测量位置，球状物25被压入圆角面35之一。由于对球状物25的弹簧压力，保持平板6被止动并固定。对于下次更换，保持平板6通过能够克服弹簧弹力的旋转臂绕旋转轴旋转。圆角面35留出球状物25的区域并且保持平板6将球状物25向上推，如图6a所示。

测试玻璃更换的过程如图7所示。

旋转编码器刚性地耦合而不滑至基片座2(例如圆顶，平板)的旋转轴。

旋转编码器每次旋转都在相同的旋转角提供一个零脉冲。另外，在旋转过程中，产生每个旋转角的固定地限定数量的增量脉冲。优选地使用每次旋转具有8192个脉冲的旋转编码器。这对应每2.6角分一个脉冲的分辨率。

零脉冲经由线路发送到计数器。增量脉冲经由第二线路发送到计数器。计数器通过零脉冲重置并且通过增量脉冲递增。由此，计数器状态对应于基片座2的一定的旋转角。

当前计数器状态通过控制单元读出。由此得知相对于零脉冲的基片座的当前旋转角。相对于零脉冲的测试玻璃更换器1的位置可以通过校准确定。由此得知旋转过程中测试玻璃更换器1的当前位置。

自动的测试玻璃更换过程将在下文中描述。

基片座2通过驱动旋转。在预先确定的旋转角，用于触发开关拨动销15的输出由控制单元引起。选择用于引起输出的旋转角以使开关拨动销15恰好在更换器1的旋转臂14通过开关拨动销15之前枢转。

在另一预先确定的旋转角，用于开关拨动销15的输出被重置，以使开关拨动销再次枢转回来。选择这样的角度以使开关拨动销15恰好通过两个凹口12之间的点；如图1所示。在球状物固定件的变型中，选择角度以使球状物25恰好进入一个圆角面35，见图6。由此，更换过程完成。

可以控制基片座2的驱动旋转速度。可以根据旋转角使旋转速度适应更换过程的任一时刻，从而一方面在最小的机械组件应力下实现安全定位，另一方面尽可能快地完成该过程。之后，旋转速度可以再次被增加。

已知的系统实践中仅仅对具有550mm旋转平板直径的小溅射系统可靠地起作用，然而根据本发明的测试玻璃更换器1也可以用于具有1500mm或更大的圆顶直径的大系统，与小溅射系统相比，大系统具有不精确的结构。另外，根据本发明的测试玻璃更换器1几乎可以放在基片座2(圆顶、平板、行星传动)的任何期望点。为了适应现有系统，仅需要提供由开关拨动销15、轴16和执行器17组成的开关装置。

因此，本发明的原理也适用于不是从内而外镀膜而是从上面镀膜的系统。在这种情况下，测试玻璃更换器1旋转180°，以使覆盖平板8指向向外或向上布置的镀膜源，并且载体平板3布置在基片座的下侧面。

除了上面提到的透射测量，测试玻璃元件上的膜特性也可以在反射中测量。在反射测量的情况下，支持平板3可以不形成开口5。

参考标记列表

1    测试玻璃更换器

2    基片座

3    载体平板

3a   覆盖物

4    旋转轴

5    载体平板3上的开口

5’   载体平板3上的开口

6    底座

6a   测试玻璃

7    底座6中的容纳开口

8    覆盖平板

9    覆盖平板8的开口

10   定心装置

11   轴承元件、中心部

12   凹口

13   执行元件、弹簧销

14   旋转臂

15   开关拨动销

15a  铰链装置

16   轴

17   执行器

18   弹簧销底座

19a、b、c、d、f   螺钉

20   弹簧

25   球状物

26   执行元件

30   止动开口

35   轴承元件、凹口

Claims (11)

1.一种测试玻璃更换器，用于光学测量真空镀膜系统中的膜特性，其具有能够移动的基片座(2)以用于引导在通过至少一个镀膜材料流的路径上的至少一个基片，具有用于至少一个测试玻璃元件的底座(6)，其刚性地连接至旋转轴(4)并且能够相对于所述基片座(2)绕所述旋转轴(4)旋转，以及具有控制装置，其用于一次将一个测试玻璃元件插入光学测量装置的光路中并插入所述至少一个镀膜材料流中，其中，所述底座(6)具有至少一个相对于所述轴(4)偏心地偏移的凹槽(7)，并且所述底座(6)相对于所述轴(4)的旋转运动能够由所述控制装置引起，其特征在于，提供定心装置(10)，通过所述定心装置(10)可以对所述底座(6)施加扭转力矩和保持力矩，以用于将布置在凹槽(7)之一中的测试玻璃元件带入所述测量装置的测量位置。

2.根据权利要求1所述的测试玻璃更换器，其特征在于，所述定心装置(10)具有至少一个相对于基片座(2)以固定角度布置的执行元件(13、26)以及至少一个相对于旋转轴(4)以固定角度布置的轴承元件(11、35)，通过弹簧弹力执行元件(13、26)能够作用于所述轴承元件(11、35)。

3.根据权利要求1-2中之一所述的测试玻璃更换器，其特征在于，提供相对于所述基片座(2)被固定地布置或者能够被固定地布置的载体平板(3)，其具有用于所述旋转轴(4)的通孔以及优选地具有相对于所述旋转轴(4)偏心地布置的至少一个测量开口(5)，其中，所述底座(6)被布置或者能够被布置在所述基片座(2)和所述载体平板(3)之间的空隙中。

4.根据权利要求3所述的测试玻璃更换器，其特征在于，所述轴承元件(11)被形成为刚性地连接至所述旋转轴(4)的中心部(11)并且具有布置在所述中心部(1)的边缘的若干凹口(12)，其中，至少所述凹口(12)之一对应于所述凹槽(7)之一，以及所述执行元件(13)被形成为弹簧销(13)，其布置在所述载体平板(3)上并且能够通过弹簧弹力经由自由端与所述凹口(12)之一啮合。

5.根据权利要求3所述的测试玻璃更换器，其特征在于，所述轴承元件(30)被形成为布置在平板状底座(6)上的槽状凹口(35)，其中，所述凹口(35)对应于所述凹槽(7)之一，以及所述执行元件(26)包括球形元件(25)、布置在所述载体平板(3)上的所述球形元件(25)的上止动开口(30)以及弹簧元件(20)，所述球形元件能够被布置或者被布置在所述平板状底座(6)和所述载体平板(3)之间，所述弹簧元件(20)布置在所述载体平板(3)上并且作用于所述球形元件(25)，其中，所述球形元件(25)能够通过弹簧弹力与所述凹口(35)啮合。

6.根据权利要求1-5中之一所述的测试玻璃更换器，其特征在于，所述控制装置包括若干旋转臂(14)或突出，通过所述旋转臂(14)或突出能够对所述旋转轴(4)施加扭转力矩，并且具有至少一个开关拨动销(15)，所述开关拨动销(15)能够被移入所述旋转臂(8)或突出的相应轨道中，其中，所述底座(6)能够通过所述旋转臂(14)或突出旋转一个角距离。

7.根据前述权利要求中之一所述的测试玻璃更换器，其特征在于，所述底座(6)和所述基片座(2)之间布置了保护装置，以使一次仅单独一个测试玻璃元件暴露于它的镀膜和测量位置。

8.根据权利要求7所述的测试玻璃更换器，其特征在于，所述保护装置被形成为覆盖平板(8)，其具有能够与所述测量位置对齐的开口(9)。

9.根据前述权利要求中之一所述的测试玻璃更换器，其特征在于，至少一个测试玻璃元件被形成为圆形或椭圆形的测试玻璃。

10.根据前述权利要求中之一所述的测试玻璃更换器，其特征在于，至少一个测试玻璃元件被形成为玻璃环部件。

11.利用根据前述权利要中之一所述的装置进行测试玻璃更换的方法，其特征在于，在将布置在所述凹槽(7)之一中的测试玻璃元件带入所述测量装置的测量位置之前，通过所述控制装置引起所述底座(6)的旋转运动，该旋转运动将所述测试玻璃元件带入第一位置，该位置与所述测量位置的角距离小于所述凹槽(7)之间的角距离，并且所述玻璃测试元件随后通过所述定心装置(10)被带入所述测量位置。

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