TWI680040B - 利於轂部移除的多組件機器人轂部安裝盤 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種機器人，其包括一轂部盤及一可旋轉轂部，且該可旋轉轂部設置在該轂部盤上且具有附接於其上之至少一機器人手臂。該轂部盤包括附接在該轂部上之一第一組件，及附接在一基材上之一第二組件。該轂部盤之該第一組件可分離地附接在該轂部盤之該第二組件上。

Description

利於轂部移除的多組件機器人轂部安裝盤

本申請案主張具有相同發明人及相同名稱，在2014年9月17日申請之美國暫時申請案第62/051,843號的優先權利益，且其在此全部加入。

本發明大致有關於供半導體製造使用之機器人，且更特別地有關於利於轂部移除的供與該等機器人使用之一多組件機器人轂部安裝盤。

在一典型半導體製程中，一單一晶圓會暴露於多數順序加工步驟，而該等加工步驟包含，但不限於，化學蒸氣沈積(CVD)、物理蒸氣沈積(PVD)、蝕刻、平坦化、及離子植入。這些加工步驟通常藉由機器人實施，部分是由於機器人可快速地且準確地實施重覆工作及在對人危險之環境中工作的關係。

許多現代半導體加工系統係以整合多數加工腔室之機器人群組工具為中心。這配置容許多數順序加工步驟可在該晶圓上在一高度控制之加工環境內實施，且因此使該晶圓暴露於外部污染物之情形減至最少。可選擇在一群組工具中之腔室的組合，及使用這些腔室之操作條件及 參數，以便使用一特定加工方法及加工流程製造特定結構。某些一般使用之加工腔室包括除氣腔室、基材預調整腔室、冷卻腔室、傳送腔室、化學蒸氣沈積腔室、物理蒸氣沈積腔室及蝕刻腔室。

一習知群組工具之一例揭露在U.S.6,222,337(Kroeker等人)中，其在此重現於圖1中。其中揭露之群組工具10係以具有一蛙腿構造之機器人14、28為特徵。該等機器人適合在一固定平面內提供其相關末端執行器刀片部17之徑向移動及轉動。該徑向移動及轉動可協調或組合以容許晶圓32可被拾取、傳送及由在該群組工具10內之一加工腔室運送至另一加工腔室。

請參閱圖1，多數晶圓透過一匣載入鎖12被導入該群組工具10，且由該群組工具10取出。在所示特定群組工具中，具有一晶圓盤刀片部17末端執行器之一第一機器人14係設置在一腔室18內且被用來在第一組之加工腔室之間傳送多數晶圓32。在所示特定實施例中，這些加工腔室包括前述匣載入鎖12、一除氣晶圓定向腔室20、一預清潔腔室24、一PVD TiN腔室22及一冷卻腔室26。該機器人14係顯示在它可在傳送腔室18內自由地旋轉之收縮位置中。

一第二機器人28係設置在傳送腔室30中且適合在第二組之加工腔室之間傳送多數基材。在所示特定實施例中，該第二組之加工腔室包括一冷卻腔室26及一預清潔腔室24，且亦可包括一CVD Al腔室及一PVD AlCu加工腔室。在該群組工具10中之腔室的特定構態係設計成提供可 在一單一工具中進行CVD與PVD製程之一整體加工系統。一微處理器控制器29被用來控制製程順序、在該群組工具內之條件、及該等機器人14、28之操作。

圖2顯示可在圖1之群組工具中使用之一機器人例。圖2中所示之特定機器人101具有一雙蛙腿設計且以第一與第二對手臂103與105為特徵，該等第一與第二對手臂103與105的一端附接在一腕總成107上，且另一端附接在一肘接頭109上。各腕總成107又附接在用以處理一半導體晶圓之一末端執行器111上。該機器人101進一步具有上臂113、115，且該等上臂113、115安裝在一轂部121之上與下可旋轉環117與119上。該機器人101進一步包含安裝該轂部121之一單體轂部盤123，及驅動該等上與下可旋轉環117與119之一馬達125。該轂部121及轂部盤123一起構成一轂部總成124。

如圖3所示，該機器人102安裝在該基材131上使得該轂部盤123附接在該基材131之一第一表面上。該馬達125(請參見圖2)通常延伸在該基材131下方且通過設置於其中之一孔。

在一方面，提供一種機器人，其包含(a)一轂部盤，及(b)一可旋轉轂部，且該可旋轉轂部設置在該轂部盤上且具有附接於其上之至少一機器人手臂。該轂部盤包括附接在該轂部上之一第一組件，及附接在一基材上之一第二組件。該轂部盤之該第一組件可分離地附接在該轂部盤 之該第二組件上。

在另一方面，提供一種機器人，其包含(a)一轂部盤；及(b)一可旋轉轂部，且該可旋轉轂部設置在該轂部盤上且具有附接於其上之至少一機器人手臂。該轂部盤具有一第一大致平坦圓周表面，且該第一大致平坦圓周表面具有多數第一孔，而第一組之可分離固結件延伸穿過該等第一孔。該轂部盤更具有一第二平坦圓周表面，且該第二平坦圓周表面具有多數第二孔，而第二組之可分離固結件延伸穿過該等第二孔。該轂部盤亦具有設置在該等第一與第二圓周表面間之一環形表面，且該環形表面之形狀與該轂部之相鄰表面互補。

10‧‧‧群組工具

123,205‧‧‧轂部盤

12‧‧‧匣載入鎖

124,201‧‧‧轂部總成

14‧‧‧第一機器人

125‧‧‧馬達

17‧‧‧末端執行器刀片部；晶圓盤刀片部

131‧‧‧基材

207‧‧‧第一組件

18‧‧‧腔室

209‧‧‧第二組件

20‧‧‧除氣晶圓定向腔室

215‧‧‧第一組之固結件

22‧‧‧PVD TiN腔室

219‧‧‧第二組之固結件

24‧‧‧預清潔腔室

221‧‧‧第三組之固結件

26‧‧‧冷卻腔室

223‧‧‧O形環

28‧‧‧第二機器人

243‧‧‧互補形狀溝槽

29‧‧‧微處理器控制器

261,263,265,267‧‧‧孔

30‧‧‧傳送腔室

262‧‧‧OEM轂部盤

32‧‧‧晶圓

271‧‧‧圓周、互補形狀溝槽；對齊記號

101,102‧‧‧機器人

103‧‧‧第一對手臂

273‧‧‧轂部移除工具

105‧‧‧第二對手臂

275‧‧‧腿部

107‧‧‧腕總成

277‧‧‧中央盤

109‧‧‧肘接頭

279‧‧‧腳部

111‧‧‧末端執行器

281‧‧‧互補形狀開口

113,115‧‧‧上臂

263‧‧‧環形材料；環；環形表面

117‧‧‧上可旋轉環

291‧‧‧第一圓周表面

119‧‧‧下可旋轉環

293‧‧‧第二圓周表面

121,203‧‧‧轂部

為更完整了解本發明及其優點，以下請配合其中類似符號表示類似特徵之附圖參照以下說明。

圖1係具有一機器人晶圓處理系統之一習知群組工具的圖。

圖2係可在圖1之群組工具中使用之一習知機器人的圖。

圖3係圖2所示之機器人安裝在一基材上之一實施例的圖。

圖4係一轂部總成之一特定、非限制實施例的立體圖，且該轂部總成具有在此揭露之一種二件式轂部盤。

圖5係顯示圖4之轂部總成之第一元件頂部的立體圖。

圖6係顯示圖4之轂部總成之第二元件頂部的立體圖。

圖7係顯示圖4之轂部總成之第一元件的俯視圖。

圖8係顯示圖4之轂部總成之第一元件的仰視圖。

圖9係顯示圖4之轂部總成之第二元件的俯視圖。

圖10係顯示圖4之轂部總成之第二元件的仰視圖。

圖11係圖4之轂部總成的分解圖。

圖12係圖4之轂部總成的仰視圖，顯示該下盤附接在該機器人轂部上。

圖13係圖4之轂部總成的立體圖，顯示該下盤附接在該機器人轂部上。

圖14係圖4之轂部總成的部份分解立體圖，顯示該上盤放在下盤固結件上。

圖15係圖4之轂部總成的部份分解立體圖，顯示在該總成中之O形環的配置。

圖16係圖4之轂部總成之橫截面圖與習知轂部總成之橫截面圖比較且顯示在前者中與後者比較所增加之材料。

圖17係圖6之轂部總成之第二元件頂部的放大圖，顯示在其上之對齊記號。

圖18係可用以由圖4所示種類之轂部總成移除該轂部的一工具的圖。

雖然圖1至3所示種類之機器人具有某些優點， 但它們亦具有某些有明顯缺點。例如，經常必須移除轂部121以便維修該等機器人，而這又需要移除該轂部盤123。但是，移除該轂部盤123需要進接該工具之底側。在一典型群組工具中，部分地由於該安裝硬體之緊迫限制的關係，通常會限制對該轂部121下方之區域的進接。因此，目前，轂部移除需要花費相當多時間及力氣。事實上，移除及重新安裝轂部121通常花費至少1至2小時。在經常伴隨半導體生產線停機之明顯成本的條件下，對半導體製造商而言現有轂部盤設計具有一相當大隱藏成本。

對涉及該製程之技術人員而言，該轂部盤123之移除或重新安裝亦具有明顯人體工學風險。詳而言之，當與該工具下方之受限空間耦合時，現有轂部盤設計使工作者採取笨拙之姿勢且進行不舒適之動作以便進接及移除或重新安裝用於該轂部盤之安裝螺絲。在該移除或重新安裝中，工作者之下身、頸部、手臂及手會全部處於不舒適姿勢及移動狀態一段長時間，這會導致過勞及受傷。

此外，該轂部盤123之移除或重新安裝經常對在該等腔室及工具中之周圍硬體造成破壞。通常，一技術人員被迫進入一腔室之下部以便進接該等安裝螺絲。在移除或重新安裝過程中，該技術人員經常被迫躺在氣體管線、導線、水線及高壓RF與AC電纜上。因此，每次進行移除或重新安裝程序時，附帶傷害之可能性高。

目前已發現的是前述問題可利用在此揭露之轂部盤設計克服。在一較佳實施例中，這轂部盤具有一2組件 設計，其中該第一(上)組件附接在該轂部上，該第二(下)組件附接在該基材上，且該第一組件可分離地附接在該第二組件上。因此，移除該轂部只需要使該第一組件由該第二組件分離即可，而這分離可藉由移除可從該基材上方(例如，從該緩衝腔室之內部)進接之一連串螺絲來達成。由於這些螺絲可輕易進接且不在一空間受限之位置，轂部移除可比習知轂部盤更快地達成，且沒有上述人體工學問題及附帶傷害之風險。

圖4顯示具有依據在此教示之一轂部盤之一轂部總成的一特定、非限制實施例。這轂部總成201係設計成可與圖1至3之機器人中的轂部總成124互換。該轂部總成201包含一轂部203及一二件式轂部盤205，且該轂部盤205具有第一組件207及第二組件209。該轂部盤205之第一組件207係更詳細地顯示在圖7與8中，且該轂部盤205之第二組件209更詳細地顯示在圖6、9與10中。

在一較佳實施例中，該轂部盤205之尺寸與圖4之轂部盤123之尺寸相當，因此容許在傳統平台中以前者取代後者。在這特定實施例中之轂部盤205適用於Centura、Producer及Endura平台中的200mm及300mm傳統及EHub中，但是可了解的是類似轂部盤可依據在此之教示製成可與其他機器人及平台使用。

圖11係圖4之轂部總成201的部份分解圖。如在此所見，該轂部盤205之第一組件207係藉由延伸穿過孔261(請參見圖7與8)的第一組之固結件215而附接在該轂部 203之底側，該轂部盤205之第二組件209係藉由延伸穿過孔263(請參見圖6、9與10)的第二組之固結件219而附接在該轂部盤205之第一組件207上，且該轂部盤205之該第二組件209係藉由延伸穿過孔265(請參見圖7至8)及267(請參見圖6、9與10)的第三組之固結件221(請參見圖14)而附接在一基材(通常，一腔室底部)上。

如圖11所示，一O形環223設置在該轂部總成201之第一與第二組件207與209之間以便在其中維持一真空密封。該O形環223宜包含一彈性材料例如，腈橡膠、丁基橡膠或PTFE(聚四氟乙烯)，且安裝在該第二組件209中之一圓周、互補形狀溝槽271中。圖15顯示該O形環223安裝在該轂部總成201之第二組件209的圓周溝槽271(請參見圖11)中。

由圖11可了解的是該轂部盤205之設計容許該轂部203可藉由移除該等第二組之固結件219而由一基材移除。如此做可使該轂部盤205之第一與第二組件207與209互相分離，但使該轂部盤205之第二組件209附接在該基材上，且使該轂部盤之第一組件207附接在該轂部盤205上。進一步可了解的是這移除可由該基材上方達成，在此對該等第三組之固結件221之進接通常是不受阻礙的(但是亦可為該移除可由該基材之下方，或由上方與下方達成的實施例)。因此，可使用在此揭露之二件式轂部盤205來克服如上所述之在所屬技術領域中之各種問題。

在圖11所示之特定實施例中，使用六個固結件 219將該轂部盤205之第二組件209附接在該轂部盤205之第一組件207上，且使用十二個8-32固結件215將轂部盤205之第一組件207附接在該轂部203上。如圖14所示，使用十五個8-32固結件221將該轂部盤205之第二組件209附接在該基材上。如上所述，該等固結件219可由該工具之頂部移除，且因此容許該轂部203由該工具之頂部移除。較佳地，該等第一、第二及第三組之固結件215、219與221係旋轉地接合互補形狀螺孔的具螺紋固結件。因此，該等第一組之固結件215宜旋轉地接合孔261，該等第二組之固結件219宜旋轉地接合孔265與267，且該等第三組之固結件221宜旋轉地接合孔環263及/或設置在該基材中之螺孔。

圖14至15顯示將該O形環223放在該轂部盤205之第二組件209上的情形。一互補形狀溝槽243(請參見圖14)設置在該第二組件209中，且該O形環223安裝在該互補形狀溝槽243內(請參見圖15)。該轂部盤205使該傳送腔室與該大氣分開。因此O形環223用以維持通過該等第一與第二組件207與209間之界面的這密封之完整性。此外，三對齊銷(未圖示)設置在該轂部盤205之第二組件209中以確保在該轂部盤205之該等第一與第二組件207與209間的適當對齊。

如上所述，可經常使用在此揭露之該等轂部盤來取代傳統設備中之轂部盤。在該等應用中，需要該二件式轂部盤來具有與該原始設備製造商(OEM)轂部盤相當之結構完整性。但是，相較於單體OEM結構，將該轂部盤製 成一多組件結構會減少該轂部盤之結構完整性。雖然這問題可藉由增加該轂部盤之全體尺寸(例如，藉由增加該等轂部盤組件之厚度)來解決，但是該方法在欲使用該轂部盤來取代一OEM轂部盤之應用中是不可接受的，因為該轂部盤在數個方向上受到限制。因此可了解的是強化一二件式轂部盤，同時保存其可在傳統平台中使用之能力是重要的。

在圖4所示之轂部盤205之較佳實施例中，這問題係透過相較於該OEM轂部選擇地增加材料至該轂部盤來解決。完成這的方式可參照圖16了解，而該圖16比較依據在此之教示之一轂部盤205的一橫截面輪廓與一OEM轂部盤262之一橫截面輪廓。如在此所見，相較於該OEM轂部盤262，該轂部盤205之第一組件207具有一不同橫截面輪廓。這輪廓之差異來自於在該轂部盤205之第一組件207的內緣增加一環形材料263，而該對應OEM轂部盤262在這區域中具有一開放空間。這環263明顯地強化全部轂部盤結構，因此這可補償伴隨將該轂部盤205分成多數組件帶來之任何機械完整性的損失。同時，該增加之環形材料不會干涉該轂部總成之其他材料(即，在每一其他方面，該二件式轂部盤205具有與該傳統OEM轂部盤262相同之整體尺寸)，且因此適用於OEM轂部盤取代應用。

該轂部盤205之第一組件207的輪廓具有有助於收容可由該下轂部軸承所產生之任何粒子的另一優點。如圖7所示，這輪廓包括其中具有多數孔265之一第一大致平坦圓周表面291、其中具有多數孔261之一第二大致平坦圓 周表面293、及設置在該等第一與第二圓周表面291與293間且形狀與該轂部之相鄰表面互補的一環形表面263。雖然這輪廓在此述種類之二件式轂部盤205的範圍內特別有利，但所屬技術領域中具有通常知識者可了解的是這輪廓亦可在單體轂部盤中使用，且亦可獲得較佳機械強度及收容由該下轂部軸承所產生之粒子的好處。

圖17進一步顯示圖5之轂部盤205之第二組件209的細節。如在此所見，該轂部盤205之第二組件209具有多數對齊記號271。這些對齊記號271可被用來對齊該轂部203之磁性耦合器。

在一組合之情況中，在此所述之該轂部盤205之第一與第二組件207與209宜在一公差範圍內互相平行，且該公差範圍等於或大於它取代之該OEM轂部盤的公差範圍。這目的可藉由使用一應力釋放鋁合金作為基底材料，並配合該製造圖之幾何公差來達成。

圖18顯示可配合在此揭露之轂部盤使用的一轂部移除工具。如在此所見，該轂部移除工具273包含多數腿部275，且該等腿部275的一端與一中央盤277接合，且另一端終止在多數腳部279中，而該等腳部279接合設置在該轂部盤205之第一組件207中的多數互補形狀開口281。較佳地，該等互補形狀開口281小到足以使它們不會侵佔與該O形環223形成一密封所需之區域。

在某些實施例中，可配合附接在該中央盤277及該轂部上之多數旋轉工具(未圖示)來使用該轂部移除工具 273，且該等旋轉工具使用一螺軸使該轂部由該基材沿垂直於該基材之一軸升高。使用時，在已移除必要固結件後，可藉由接合該工具之腳部279與設置在該第一組件207中之互補形狀開口281，將該轂部移除工具273附接在該轂部203上，然後它可單獨或與另一工具一起使用以移除該轂部203。

在某些實施例中，至少一機器人手臂包括係配置成一蛙腿構態之第一與第二手臂，其中該等第一與第二手臂在其一第一端被附接在一第一腕總成上，且其中該腕總成具有係附接於其上之一晶圓刀片部。較佳地，該至少一機器人手臂更包括係配置成一蛙腿構態之第三與第四手臂，其中該等第三與第四手臂在其一第一端被附接在一第二腕總成上，且其中該等第一與第二手臂在其一第二端被附接在一第一肘總成上，且該等第三與第四手臂在其一第二端被附接在一第二肘總成上。再者，該機器人更包含第一與第二下臂，其中該第一下臂之一第一端被附接在該第一腕總成上，其中該第一下臂之一第二端被附接在該轂部上，其中該第二下臂之一第一端被附接在該第一腕總成上，且其中該第二下臂之一第二端被附接在該轂部上。

包括公報、專利申請案、及專利之在此所述之所有參考案因此加入參考至相同程度，如同各參考案單獨地且特別地表示為被加入作為參考且在此全部被提出。

除非在此另外表示或與上下文清楚地互相矛盾，否則在說明本發明之上下文中(特別在以下申請專利範圍 之上下文中)使用該用語「一」及「該」與類似涉及對象應解釋成包含單數及複數。除非另外聲明，否則該等用語「包含」、「具有」、「包括」、及「含有」應解釋為開放用語(即，表示「包括，但不限於」)。除非在此另外說明，否則在此值之範圍的列舉只是要作為個別地表示落在該範圍內之各分開值的一簡記法，且各分開值加入該說明書中，如同它個別地在此列舉。除非在此另外表示或與上下文清楚地互相矛盾，否則在此所述之所有方法可以任何適當順序實施。除非另外聲明，否則使用在此提供之任一或所有例子，或舉例語言(如，「例如」)，只是要更佳地說明本發明而不是要限制本發明之範疇。在說明書中沒有語言應被解釋為表示任何未請求元件對於實施本發明是重要的。

在此說明的是本發明之較佳實施例，包括發明人習知之用以實施本發明的最佳模式。所屬技術領域中具有通常知識者藉由閱讀前述說明可了解這些較佳實施例之多數變化。本發明人預期所屬技術領域中具有通常知識者可適當地使用該等變化，且本發明人意圖讓本發明可以在此特別說明者以外之方式實施。因此，本發明包括可適用法律所允許之在附加申請專利範圍中列舉之標的物的所有修改及等效物。此外，除非在此另外表示或與上下文清楚地互相矛盾，否則本發明包含在其所有可能變化中之上述元件的任一組合。

Claims (23)

1. 一種機器人，包含：一轂部盤；一可旋轉轂部，其設置在該轂部盤上且具有係附接於其上之至少一機器人手臂；及一馬達，其中該轂部盤包括係附接在該轂部上之一第一組件，及係附接在一基材上之一第二組件，其中該轂部盤之該第一組件係可分離地附接在該轂部盤之該第二組件上，其中該轂部係設置在該基材的一第一側邊上，且其中該馬達係設置在該基材的一第二側邊上。
2. 如請求項1之機器人，更包含係設置在該轂部盤之該等第一與第二組件間的一O形環。
3. 如請求項2之機器人，更包含在該轂部盤之該第二組件之一表面上的一圓周溝槽，其中該O形環座置在該圓周溝槽中。
4. 如請求項1之機器人，其中該轂部盤之該第一組件具有多數第一孔，且第一組之可分離固結件延伸穿過該等第一孔。
5. 如請求項4之機器人，其中該轂部盤之該第二組件具有第一組之螺孔，且其中該等第一組之可分離固結件中之各可分離固結件旋轉地接合該等第一組之螺孔中之一螺孔。
6. 如請求項1之機器人，其中該轂部盤之該第二組件具有多數第二孔，且第二組之可分離固結件延伸穿過該等第二孔。
7. 如請求項6之機器人，其中該基材具有第二組之螺孔，且其中該等第二組之可分離固結件中之各可分離固結件旋轉地接合該等第二組之螺孔中之一螺孔。
8. 如請求項1之機器人，其中該轂部盤之該第一組件具有多數第三孔，且第三組之可分離固結件延伸穿過該等第三孔。
9. 如請求項8之機器人，其中該轂部具有第三組之螺孔，且其中該等第三組之可分離固結件中之各可分離固結件旋轉地接合該等第三組之螺孔中之一螺孔。
10. 如請求項1之機器人，其中該至少一機器人手臂包括係配置成一蛙腿構態之第一與第二手臂。
11. 如請求項10之機器人，其中該等第一與第二手臂在其一第一端被附接在一第一腕總成上。
12. 如請求項11之機器人，其中該腕總成具有係附接於其上之一晶圓刀片部。
13. 如請求項10之機器人，其中該至少一機器人手臂更包括係配置成一蛙腿構態之第三與第四手臂。
14. 如請求項13之機器人，其中該等第三與第四手臂在其一第一端被附接在一第二腕總成上。
15. 如請求項14之機器人，其中該等第一與第二手臂在其一第二端被附接在一第一肘總成上，且該等第三與第四手臂在其一第二端被附接在一第二肘總成上。
16. 如請求項15之機器人，更包含第一與第二下臂，其中該第一下臂之一第一端被附接在該第一腕總成上，其中該第一下臂之一第二端被附接在該轂部上，其中該第二下臂之一第一端被附接在該第一腕總成上，且其中該第二下臂之一第二端被附接在該轂部上。
17. 一種群組工具，包含如請求項1之機器人。
18. 如請求項1之機器人，其中該轂部盤安裝在一基材上。
19. 如請求項18之機器人，其中該轂部盤之該第一組件具有多數第一、第二與第三孔，且第一、第二與第三組之可分離固結件分別延伸穿過該等第一、第二與第三孔，其中該等第一組之可分離固結件將該轂部盤之該第一組件固定在該轂部上，其中該等第二組之可分離固結件將該轂部盤之該第二組件固定在該基材上，且其中該等第三組之可分離固結件將該轂部盤之該第二組件固定在該轂部盤之該第一組件上。
20. 如請求項19之機器人，其中該第三組之可分離固結件可由該基材中安裝有該轂部盤的側邊分離。
21. 如請求項1之機器人，其中該轂部盤之該第一組件具有一第一大致平坦、圓周表面，且該第一大致平坦、圓周表面具有多數第一孔，而第一組之可分離固結件延伸穿過該等第一孔；其中該轂部盤之該第一組件更具有一第二大致平坦、圓周表面，且該第二大致平坦、圓周表面具有多數第二孔，而第二組之可分離固結件延伸穿過該等第二孔；且其中該轂部盤之該第一組件更具有係設置在該等第一與第二圓周表面間之一環形表面，且該環形表面之形狀與該轂部之相鄰表面互補。
22. 一種機器人，包含：一轂部盤；及一可旋轉轂部，其設置在該轂部盤上且具有係附接於其上之至少一機器人手臂；其中該轂部盤具有一第一大致平坦、圓周表面，且該第一大致平坦、圓周表面具有多數第一孔，而第一組之可分離固結件延伸穿過該等第一孔；其中該轂部盤更具有一第二大致平坦、圓周表面，且該第二大致平坦、圓周表面具有多數第二孔，而第二組之可分離固結件延伸穿過該等第二孔；且其中該轂部盤更具有係設置在該等第一與第二圓周表面間之一環形表面，且該環形表面之形狀與該轂部之相鄰表面互補。
23. 如請求項22之機器人，其中該等第二組之可分離固結件將該轂部盤附接在該轂部上。