CN1039063C - 一种制造盘状纪录体的模盘的装置及其方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于制造盘状记录体的模盘的装置与方法，所述装置设有一个在基片上涂敷一层光敏层、例如一感光性树脂层的工位，一个使所主光敏层按被存贮的记录数据曝光的工位，一个用于冲洗光敏层并使带有经显影的感光性树脂层的基片的一面镀上金属的工位，和一个用来施加一金属涂层的工位，其中，各个工位容纳在一个外壳内，在每个工位内设有存放基片的装置，装在外壳内的一台传输机械至少带有一个用于抓取一片基片的传送器，该传送器能在一个水平面沿着二个互成一角度的方向上移动，也能在外壳内上下移动。

Description

一种制造盘状纪录体的模盘的装置及其方法

本发明是关于一种用于制造盘状纪录体的模盘的装置及其方法，所说的装置设有一个在基底上涂敷一层光敏层、例如一层感光性树脂层的工位，一个使所说的光敏层按照被存贮的纪录数据暴光的工位，一个用于冲洗光敏层并使带有经显形的感光性树脂层的基片的一个面镀上金属的工位，一个用来施加一金属涂层的工位和一个涂加保持层的工位。

记录体这名词意指声音载体和/或图像载体和/或数据载体及类似的载体，例如所谓的高密软盘，此外还指那些在以后可经加工以在其上面存储声音，图像或其它数据的载体。

在荷兰专利申请NO 8802211中描述了制造这样一种模盘的方法，然而其出版物上并没有提供任何有关用来实施这一方法的一种装置的结构的指示。

荷兰专利申请NO 8702157描述了一种对这类纪录体进行某种处理的装置，该装置具有一个支放纪录体的旋转台，旋转台和它的驱动机械可在几个工位之间移动。这样不仅使装置的结构变得复杂，而且还有一个缺点，即在最后一个工位的处理尚未结束且旋转台未返回到第一工位之前，在第一工位内对纪录体的处理就不能够开始，显然采用这种装置是不经济的。

此外，还提出一种设计，把上面提及的各个工位设计成独立的单位，把纪录载体在各个工位之间转送，这种独立的工位的安排需要很大的空间，而且在各个工位之间的传送会形成一个不利因素，即使得生产过程变慢。

本发明的目的是获得一种上述类型的装置及其方法，这种装置具有高效且紧凑的结构，在该装置内能按顺序进行连续操作，不需要操作者的动作。

本发明的目的是这样来实现的、其中，各个工位容纳在一个外壳内，在各种工位内设有一个存放基片装置，在外壳内置有一传输机构，其至少带有一个传送器用来抓取一片基片，传送器能在一个水平面内在互相成一角度的二个方向上移动，也能在外壳内上下移动。

获得上述装置的方法是在一基片上形成所说的模盘，基片通过传输机械在一外壳内的几个工位之间自动移动，该外壳在正常操作期间是关闭的，这些工位如：一个向所说的基片涂敷一层感光性树脂层的工位，一个按照被贮存的纪录数据使所说的感光性树脂层暴光的工位，一个用于冲洗光敏层和使带有经显影的感光性树脂层的基片的一面镀上金属的工位，和一个施加一层金属涂层的工位。

下面，参考按照本发明的结构的实施例并结台附图对本发明作进一步详细的解说。

图1是按照本发明的装置的前视图；

图2是按照本发明的装置的各个工位的平面视图；

图3是图1和图2所示的装置的剖面图；

图4是一种能从一堆基片中移去一片基片和把所说的基片移送到传输机械的装置的立面视图；

图5是图4是顶视图；

图6用于清洁和涂敷第一涂覆层和感光性树酯层的机械的平面图；

图7是一个干燥工位的部分平面图；

图8是图7的侧视图；

图9是冲洗和镀金属层工位的视图，其中部分为立面视图，部分为剖视图；

图10是用以把连接环放在基片上的装置的立视图；

图11是图10的平面图；

图12是把压紧环放到基片上的装置的立视图；

图13是图12的平面图；

图14表示了一种执行在含有电解液的槽内浸泡工序的机器；

图15是图14所示的结构的一部分尺度放大后的视图；

图16是一个工位的部分的立视图，在该工位内，所得到的模盘经过最后一道操作工序。

图17是图16的平面图。

图1至3所示的装置包括一个外壳1，在正常的操作过程中，该外壳是封闭的，其内设有2至7个单元。这2至7个单元最好是设计成能够移去整个一个单元，使得能替换成所需要的单元来完成一种(一些)相应的操作或一些(一种)其它的操作。

靠近装置上面有一根横梁8，该横梁沿着装置的纵向方向延伸，形成转输机械的一部分。有一滑块9可借助于驱动机构(没有显示出)沿着所说的横梁来回移动，如箭头A所指，滑块9吊着一桁架10，桁架10垂直于横梁8，另一滑块9′沿着桁架10可按箭头B所指的方向来回移动，滑块9′起支持二个传送器11和12的作用，在传送器11和12上装有可径向移动的钩状钩瓜。传送器11和12靠驱动装置(图中未显示的)可在垂直方向来回移动。

当钩瓜13沿径向向外移动时，则传送器位于一基片上，当钩瓜13再向内转时，钩瓜的钩状端头嵌入该基片下，这样该基片被相关的传输器举起并借助于上面所描述的传输机械通过外壳移动。

从图1至3可进一步看到，外壳被分成14至16三层，一层位于另一层的上面，在最上面那层14内装着传输机械。层15位于层14下面，且可以按图1和2所示的方式再分成2-7个单元，其内装有所描述的为处理记录体用的各种装置，这些单元中至少有一些内要装有一台如图3所示的旋转台。

最下一层16也相应分成2至7个单元，其内装有辅助设备，如电子仪器，液体容器及诸如此类。所说的辅助设备最好设计成可滑动的，使得在要进行维修或类似的工作时可以把它们横过壳的纵轴方向移进或移出外壳。

在第3单元上有一开孔，在装置内通过该开孔设有一支架，支架上托着许多基片，这些基片一张叠在另一张上面，通常这些基片是玻璃盘。在所说的出入开孔附近没有一台机械，该台机械进一步的细节显示在图4和图5中，所说的机械能从一堆基片上移出一片基片，并把所说的基片送到传输机械。

如图4中所示，许多基片18，例如玻璃盘，一片叠一片地堆在外壳内。

在图4和图5中所示的机械包括一固定在装置框架上的支柱19其内装有一可转动的垂直导杆20，该导杆20靠与其相连的驱动马达21旋转。

导体20穿过螺套装置22，螺套绕导杆20的中心轴的转动可以被锁柱。一条横臂23的一端与所说的螺套装置22相连接，由图中没有显示的驱动装置的驱动，横臂23与螺套装置22相应可绕着导杆20的中心轴旋转，并能沿着导杆垂直作上下移动。

面朝上的三个吸盘24固定在横臂23的自由端。

当装置内放有一堆基片18时，借助于一种合适的控制机构，横臂23可被移到该堆基片下的一个位置上，然后在该堆基片下旋转并向上移动，直到吸盘24支撑住基片18的最下面的底部。这一位置由装在横臂上的传感器25来探测。由图中没有标出的装置在吸盘24内产生一负压，然后，最下面一层基片18从该堆基片下面的位置上旋开，仃留在支放基片的支架旁边的位置上，在这一位置上，由传送器11或12中的一个把该基片18从横臂23上取走。

后面能看到，在一定的处理阶段中纪录体将是湿的。上面已经提到，由于装有二个传送器11和12，因此，一个传送器可以用来传输干基片，另一传送器可用来传送湿的基片，结果可使基片和装置避免不希望的污染。

在一片基片，通常由玻璃盘构成，被传送器11，12夹取后。该基片被向上移，通过位于层15顶壁26上的开口27移入空间14，并被送到第4单元，向下通过位于顶壁26上的开口27移到工位28，以清洗和涂覆第一层涂层和一层所谓的漆层或感光性树酯层。

如图6所示，该工位28包含一张旋转台29，该旋转台置于一杯状的装置内，其结构至少应基本上与杯状相适应，进一步细节参考附图9的描述。

此外，在该工位内装有二个供给管33和34，该二个管33和34可分别绕着垂直轴31和32旋转。还有一清洁装置，其可以绕一垂直轴旋转，并能够作垂直径返移动，例如刷子装置36，所说的刷子装置可绕着一水平转轴旋转。

为了清洗基片，当放在旋转台29上的基片随所说的旋转台旋转时，一种冲洗液，在这个例子中是去离子水，将借助于供给管33喷在基片的上表面上，当清洗液施加在基片的上表面上时，刷子36旋转到基片上方的一个位置上对基片进行洗刷，清洗后，刷子转回到图6所示的位置，在这一位置时的刷子正位于一个凹槽37的上方，有一排水管38与凹槽相接，用来排出从刷子上滴下来的水分。清洗之后，由管33涂复上一层涂层，在涂覆上第一层涂层之后，借助于供给管34再涂敷上用来形成最后的漆层或称之谓感光性树脂层的物质，将其涂在基片表面上。

此外，有一吸水管39与杯状凹槽30相连，用于抽干水汽。

这样，在把漆层或感光性树酯层涂在基片上之后，所说的基片将通过传输机械送到使漆涂层干燥的工位40。

如附图所示，装在工位40内的带有水平管件41的空气管路用于干燥漆层。旋转台42至少有一部分经过设置在管件41底壁内的一个孔而置于管件41的内部。所说的旋转台装有3个吸盘43，在吸盘内的负压使一基片18固定在该旋转台上。旋转台能借助于与旋转台相连的驱动马达44旋转。

基片18可以由传输机械使其通过位于管件41顶壁上的一个开口而放在旋转台上，该开口可以用盖子45关闭，盖子45固定在支承臂45′的一端，支承臂45′固定在一根垂直轴46上，而该垂直轴能靠旋转马达47的带动绕它的中心轴旋转。

轴46进一步由一支承机械48所支持，而支承机械可通过调节汽缸49作上下移动。这样，为了把位于管件41顶壁上的开口打开，盖44可以被移动向上，然后作水平移动，使其从图7中实线所示的位置转到虚线所示的位置。

当把基片放到旋转台上之后，反方向移动盖子，关闭空气通道，然后用风扇(图中未示出)在空气通道中产生一股气流，加热线圈50朝垂直于空气通道纵向的方向延伸，用来对空气通道中的空气加热，图7中所示的加热线圈处在与其实际位置转了90°的位置上。

从附图7上还可以进一步看到，在空气通道内的旋转台和加热线圈之间还装有一挡板51，使空气通道稍稍变窄，这是为了使流过旋转台上基片上面的气流尽可能平稳。

在用热空气干燥之后，时而有冷却基片的冷空气通过空气管道。

实践中己表明，在一种合适的实施例中，热空气通过约为3分钟，冷空气约7分钟事实上这表明了为干燥漆层或感光性树脂层而所需的时间已明显地缩短，而至今为止所采用的是在一些炉子里干燥的方法，此时干燥时间约为1小时。

在感光性树脂层按此干燥之后，同时移开盖45把管件41打开之后，则现已带有感光性树脂层的基片可以被送到工位52，用来在纪录体上纪录所需的信息。该工位52包括一旋转台53，由传输机械把已复盖有漆层或感光性树脂层的基片送到旋转台53上，通常该工位52还包括一激光装置54，以及一光学器具55，通过它们把光线射到由托架56所支持的透镜57上。托架56固定在一根轴58上，为了便托架能在导轨60上移动，用驱动机械59使轴58能纵向移动。这样，托架移动到放在旋转台53上的基片上，感光性树脂层将根据需要纪录的信息方式被暴光。

在基片用这种方式被暴光以后，再用上面所说的传输机械把基片18送到工位61。

如图9更详细表示的，工位61包括一台存放基片的旋转台62，旋转台62由马达63带动可绕一垂直轴旋转。

旋转台62置于一坏状装置65内，杯状装置的底部连有一排水管66。

在杯状装置65内靠近其上面部位有一环形凹槽67，从图9明显看出，所说的凹槽的内壁稍低于外壁，一根排水汽的管子68与所说的凹槽67相通。

在旋转台附近装有一根旋转轴70，该旋转轴70由驱动机械69带动绕一垂直的转轴旋转。横臂71的一端固定在转轴上，横臂71的另一端用来托放许多管子72，横臂71的托有管子的一端位于如图9所示的杯状装置的上方时，管子72能供给各种液体。

横臂71可以从这一位位置转到使托架有管子的自由端位于凹槽74(图2)上方的位置，这样从管子上滴下的任何液体或用来冲洗管子的清洗液可以经凹槽74排出。

注意，为了便于参考，在附图2中所示的横臂71和管子72没有处在它们在凹槽74上方的位置上，而是把它放在另一位置上。

另有一竖轴76支撑着一横臂77，竖轴76由驱动装置75带动旋转，在横臂77上装着三个镜片78。镜片78的作用是接收按箭头B所指方向来的激光光束，激光可以移动着穿过经上面所述的方式处理过的基片，并接着被镜片78所接受，镜片所接受的光线受到感光性树脂层在处理过程中所得到的信息的影响，这样就可以检查是否按照要求的方式进行了处理。

各种液体由各种管子依次供给，首先清洗基片，然后为了把已暴光的物质从感光性树脂层上除去，用碱性显影液冲洗感光性树脂层，当感光性树脂层按上面所述方式显影后，用激光和透镜78进行检测。

此后，对基片18上留下来的感光性树脂层和/或其向上的表面用适当的液体镀上金属，通常是镀上一层镍涂层，这样就得到了一种产品，这种产品大体上与上面提到的荷兰专利申请NO 8802211中图2所描述的产品一致。

在基片18和涂在其上面的感光性树脂层经过在工位61的处理之后，并且横臂77和71转到杯状装置旁边的位置上后，用传输机械把该基片送到下一个工位80，并放在一支撑板81上(图15)，该支撑板固定在支撑臂82的上端，当放基片时，该支撑臂处在图14所示的垂直位置上，由一种调节汽缸(没有标出)的带动下该支撑臂82可从这一垂直位置绕着水平的转轴B4转到图14中由虚线所示的位置上，调节汽缸通过连杆83与支撑臂82相连。

具体地说，基片18就因此平放在装设在支承板81内部的几根压缩弹簧85的上端头上。

然后必须在基片上放一个薄的金属接触环，尤其是用不锈钢或镍制的环，环的尺寸应使其能盖住基片的窄的外缘，并在外则稍稍凸出到基片外。

图10和图11所示的机械装在工位80内，以便为工位80提供一个金属接触环86。

这一机械包括一支承装置87，该支承装置借助于一调节汽缸88可垂直移动。

所说的支承装置87支撑了一根竖向的轴89，横臂90的一端固定在该竖轴89上。

借助于固定在支承装置上的调节汽缸91，轴89连同固定在其上面的横臂90可以绕着轴89的垂直轴旋转，所说的调节汽缸的活塞杆91′与轴89相连。

横臂90的自由端由一平板92构成，在该平板92上装有一个圆盘93，该圆盘可绕着平板92的轴94旋转，该平板93与固定在横臂90上的一台调节汽缸96的活塞杆95相连，以便使平板93旋转。

在平板93上设有三个缝口97，这三个缝口是这样的：即在轴94和各个缝口之间的距离从所说的每个缝口的一端到所说的每个缝口的另一端逐渐增大，垂直销98位于所说的缝口97内，所说的垂直销与杆99的一端相连，而杆99沿着轴94的径向方向延伸。杆99装在固定在平板92的导块99′内，以使能作纵向转动。

显然，当平板93借助调节汽缸96绕轴前后转动时，这些杆99就沿它们的纵向移动。

向下延伸的悬臂100固定在杆99的端部，在所说的悬臂100的未端连着钩爪101。

有许多环86安放在工位80附近，例如在图10所示的位置内，这些环一个迭一个放在一个台上或类似的支架上。

现在可以借助于参考图10和图11所描述的机械从这堆环中拾取最上面的一个环，首先借助于杆99使钩爪向外移动，然后进一步移动钩爪，使其位于该堆环中最上面一个环的下面的位置上，以一种合适的方式使臂90旋转和作垂直移动，然后钩爪互相相对移动，这样钩爪101将位于该堆环的是上面一个环的下面。然后，可把最上面的环移到放在支承板81的基片的上方，使横臂90在垂直方向作适当的移动并旋转，以能把环放在所说的基片上。

然后，将该基片和放在基片上的圆环压紧在支承板85上以作进一步的处理。

由图12和图13所示的机械装在能提供夹紧环102的工位80内。

从图15尤其可看出，压紧环102有一个近似L形的截面，其形状是这样的：在压紧环102被安装的位置内，压紧环102的一个脚，连同设在其内的密封环103，将位于环86的上面，而另一脚将多多少少沿着支承板81的外圆周延伸，三个沿径向伸的销子104互相按一定的间隔置于支承板81的外圆周上，并从支承板81的外圆周上向外凸出，能与位于压紧环102内的L形狭槽105相配合，所说的狭槽的短边在压紧环的底侧和内侧那一点是开放的，长边沿圆周方向延伸。

图12和图13所示的机械用于提供或移去压紧环102，它包括一个支承装置106，支承装置可借助于一个调节汽缸107作垂直移动。该支承装置支承一垂直轴108，横臂109的自由端固定在该垂直轴上，借助于固定在支承装置106上的调节汽缸110，轴108连同横臂109能绕轴108的中心轴旋转，所说的调节汽缸的活塞杆与轴108相连。

横臂109的自由端通过一竖轴112支持了一个圆盘113，所说的圆盘借助于装在横臂109上的一台调节汽缸可绕竖直轴112的中心轴旋转。另一块平板115通过螺旋116固定在平板113的底面上，为了能正确调整113和115两块板之间的位置，所说的螺栓116穿过狭槽117。

伸到板115下面的一些销轴117以一定的间隔固定在平板115上，在所说的销轴的底端固定了头部118，该头部被安装在压紧环102内部的一个弯槽孔119内，所说的弯槽孔的一端是一个扩大的孔120，在压紧环的朝上一侧该孔120是敞开的，头部118可以通过该孔120进入弯孔119或从弯孔119移出，这样，横臂109以及由横臂所支持的部件作适当的垂直运动，板113和115绕轴112作旋转运动。

转动横臂109，压紧环102可被移到图15所示的支承板81上面的一个位置上，接着再向下移，使销子104向内移，通过L形狭槽105的垂直延伸部分，压紧环102将被置于环86上。然后，借助于调节汽缸114使互相连接的板113和115旋转，带动压紧环转动，此时，压紧环通过螺栓117与板113和115连在一起。转到头部上时，销子104将位于狭槽105的水平伸长部分的封闭端，然后板113和115被转到一个能使头部118靠近孔120的位置上，从而使得板113和115连同销柱117能够向上移，而把压紧环102留在支承板81上。

然后如图14的虚线所示，把夹住的基片18和压在基片上的不锈钢连接环86转送到含有电解液的槽125中，在所说的槽内有一箱体126，箱体的一侧有开口127，支承架81连同夹在它上面的基片18对着该开口以图14中虚线所示的方式置于其内。

在图14中还可进一步看出，在箱体126内开口127前方有一块可移动的板129，板上设有通道130，这一通道适用于使其基片表面镀上金属，由于板129很容易更换成另一块带有其它通道的板，因此通道的大小可以很方便地按需要调节。

此外，在槽内还有一个接收装置131，大量的金属球，通常是镍球132置于该接收装置内，采用这种结构，可以使含有镍球132的接收装置与被处理的基片之间的距离相对比较小，约为±35mm的量级，这对基片进行快面均匀的涂覆有好的作用。

图14中还进一步表明，在箱体126的壁上在一个±50度的圆周角上装有一些与开口127相通的液体的通道133，新鲜的电解液通过这些通道供给，使新鲜的电解液大体上以平行于基片18的表面的方向流动。如图中箭头C所指的方向。

用连续供给新鲜的电解液，能使镍在基片表面上的析出达到满意的效果。

显然，沉淀在基片上的镍和置于基片上的金属连接环在这里起阴极作用，镍球将构成阳极，如通常在这一类处理中那样。

这样，在这一工位内，在基片上涂上了一薄的涂层，如上面所说的荷兰专利申请No 8802211的图3所示的内容。

一旦一层足够薄的涂层已形成，支承板81将被旋转回去，此时，支承板连同基片和涂层将用热的去离子水清洗。然后支承板返回到图14所示的位置，在此以后，用与上面所描述的装压紧环102的步骤相反的步骤移去压紧环102。现在，基片与放在其上面的环86成一整体，然后用传输装置把上面带有涂层的基片移动并放到一根旋转横臂140上，这一横臂140位于下一个工位141内。该可旋转横臂140的结构至少与上面所描述的臂23的结构相一致，由所说的横臂140把基片送到装在工位141内的一个支架142内，它可以绕一竖轴转动，也可垂直移动。

经过这种方式处理的基片可以通过一个出入口(没有显示出)从装置上取下来，使得该基片可以用常规的方法，例如用手从按上面所描述的方式在基片上所形成的称之谓阳模上取下，看起来如上面提到的荷兰专利申请No 8802211中图4所示。

如果需要的话，可以把所说的阳模放在工位141内的旋转台145上，使阳模的模压面朝上，有一光源146固定在臂147上，该臂可绕垂直轴旋转，然后使该光源移到该面的上面，以便冲洗掉留在已形成的阳模上的残留漆或感光性树脂。然后，固定在臂148(图16、17)未端的喷射机构149旋转到放在旋转台上的阳模上面，臂148可以借助于一调节汽缸150用与上面所描述的类似的方式向上向下移动，也可以借助于一水平的调节汽缸151绕一垂直转轴旋转。

喷雾机构149位于图16所示的位置上，清洗液喷浇在置于旋转台145(图16中没有标出)上的阳模152上面，以便冲洗该阳模。

然后，通过喷雾装置149可以在阳模152上喷上一层漆层，为了这一目的，臂148向下移动，使得一个接收圈153与固定在臂148上的套153′相配合，围在其内的喷雾机构将停留在置于旋转台145上的杯形装置154的园锥形的上表面上，为此，接收圈的一个底圈被设计成从其外圆周向内朝上倾斜，结果导致在接收圈153的外壁和底圈155之间形成了一个可积集任何残留漆的空间。接收圈153通过销子157和相应L形开孔与套153′相连，销子157和相应的L形开孔构成一种卡口式连接，以便能很方便地拆卸，这样，当圈内所积集的漆达到一定的数量时，可以很方便地把接收圈153拆下来进行清洗。

这样所制成的阳模可以从装置上卸下，以便贮存和/或提供给下一个操作机械。

在操作过程中，外壳1将被封闭，干净的空气可以通过由外壳和格栅159所限定的管道158提供给基片处理工位。

各种工位排列的顺序可以与上面的描述的和附图所示的顺序不同。

然而最好是在靠近外壳1的一端设置工位52，因为装在所说的工位内的仪器如激光装置和光学镜片以及感光件，是需要定期维修的。

把设备安放在装置的一端，以便容易接近这些可能要调节的设备，这样安排的结果是容易理解的。

此外，并不需要把各个工位排在一条直线上，例如，外壳1也可以是弯的。

虽然在上面是参考荷兰专利申请NO 8802211而作的，但很显然，如果使用本发明的装置，用一种不同于荷兰专利申请NO8802211所描述的方法也能在基片18上形成一种阳模。

Claims (31)

1.一种用来制造一种适于盘状记录体的模盘的装置，所说的装置有一个在基片上涂敷一层光敏层，和一层感光性树脂层的工位，一个使所说的光敏层按照被存贮的纪录数据暴光的工位，一个用于冲洗光敏层并使带有经显影的感光性树脂层的基底的一侧镀上金属的工位，一个用来涂覆金属涂层的工位，其特征是：各种工位容纳在一个外壳内，在各个工位内设有存放基片的装置，在外壳内置有一台传输机械，它至少带有一个传送器用来抓取一片基片，该传送器能在一个水平面内互相成一角度的二个方向上移动，也能在外壳内上下移动。

2.按照权利要求1所说的装置，其特征在于，处在进料工位的位置上，所说的装置有一横臂，该横臂可绕一垂直轴旋转，也可垂直移动，横臂的一端装有用来抓取一片基片的装置。

3.按照权利要求2所说的装置，其特征在于，在所说的用于抓取一片基片的装置内能产生一个低于大气压的压力。

4.按照上面任一个权利要求所说的一种装置，其特征是，在涂复光敏层的工位中有一个用于存放一片基片的旋转台，它是可移动的，例如绕垂直轴旋转，供给管向位于旋转台上的基片的朝上的表面提供冲洗液体和第一涂层材料和光敏材料，此外在所说的工位内设有一把刷子装置，该刷子装置可绕一垂直旋转并垂直移动。

5.按照权利要求4所说的装置，其特征在于在所说的旋转台旁边设有一个凹槽，所说的刷子置于凹槽上面，而所说的凹槽与一排水管相接。

6.按照上面任何一个权利要求所说的一种装置，其特征在于所说的装置有一个使涂复上的感光性树脂层干燥的干燥工位，所说的干燥工位包括一个存放一基片的空气通道，和使空气通过所说的空气通道的装置，以及使通过所说的空气通道的空气加热的装置。

7.按照权利要求6所说的装置，其特征在于，为把基片导入所说的空气通道，在空气通道的顶壁上设有一开口，该开口可被一个能垂直移动的盖子关闭，而盖子可绕一垂直的转轴旋转。

8.按照权利要求6或7所说的装置，其特征在于，在所说的空气通道内，位于放在导入空气通道内的基片的上方设有一挡板。

9.按照上面权利要求2-8中任一项权利要求所说的装置，其特征在于，所说的干燥工位设于靠近供给基片的工位处。

10.按照上面任一项权利要求所说的装置，其特征在于，冲洗感光性树脂层和使经显影的感光性树脂层镀上金属的工位内有一旋转台和一横臂，该横臂可绕着处在所说的工作台附近的一根垂直转轴旋转，横臂上支承着管子，用于处理所说的感光性树脂层的液体和镀上金属的液体通过这些管子供给。

11.按照权利要求10所说的装置，其特征在于，在所说的旋转台旁边，设有一个凹槽，凹槽与排水管相连，支承着管子的横臂可以被转到凹槽的上方。

12.按照权利要求10或11所说的装置，其特征在于，在所说的旋转台附近有一装着镜片的横臂，该横臂能绕一垂直转轴旋转，在所说的旋转台下面装有激光光源，从所说的激光光源穿过基片而来的光能被镜片所接收并被处理，以便能测定覆盖了经显影的感光性树脂层的基片的质量。

13.按照上面任一项权利要求所说的装置，其特征是，所说的装置设有一个向带有一层已显影的感光性树脂层的基片涂覆金属层的工位，在所说的工位内设有一个存放一片基片的支承装置，所说的支承装置可以绕看一水平轴在适于接收一基片的位置和一个把由所说的支承装置所支承的基片浸入到含有电解液的容器内的位置之间转动。

14.按照权利要求13所说的装置，其特征在于，在所说的涂敷一涂层的工位内设有一夹紧装置，该装置在一根绕一竖轴旋转的横臂的一端，该夹紧装置包括一些能相对于夹紧装置的轴沿径向往复移动的钩爪，用来夹取要放到基片上的环状物。

15.按照权利要求13或14所说的装置，其特征在于，在涂敷层的工位内没有一根能绕一竖轴转动的旋转臂，在所说的臂的一端装有一种使夹紧环固定到支承装置上去的机构。

16.按照权利要求15所说的一种装置，其特征在于，所说的压紧环和用来接纳一基片的支承装置带有销子和基本上成L形的开缝，销子和相应的L形开缝构成一种卡口式连接，使压紧环固定到支承装置上。

17.按照权利要求15或16所说的装置，其特征在于，用来固定压紧环的机构包括一个支承架，该支承架可以相对于横臂绕一转轴转动，有一些销轴固定在所说的支承架上并向支承架下面伸出，所说的销轴的下端装有一个压力头，该压力头被安装在位于压紧环内部的一些开孔内，这些开孔同轴围住旋转轴，在开孔的一端能使固定在销轴底部的压力方便地插入和拉出。

18.按照权利要求13至17中任一项所说的装置，其特征在于，在支承装置处于包含有电解液的容器内部的位置上时，由支承装置所支持的基片对着设在所说的容器内的一只箱体上的一个开口，箱体内装有生成涂层的颗粒材料，此外还设有一个提供新鲜电解液的装置，使新鲜的电解液流经基片的对着箱体内部的那一面。

19.按照权利要求18所说的装置，其特征在于，在箱体内装有一块可更换的平板，所说的平板上有一个开孔，该开孔的中心基本上与箱体上的开孔的中心相一致。

20.按照上面任一项权利要求所说的装置，其特征在于，所说的装置具有一个配有能接收经过处理的基片的架子以及可以绕一竖直的转轴转动且能垂直移动的横臂的工位，所说的装置带有提取基片的装置，其方式为：由传输机械放到横臂上的基片通过所说的横臂移放到接收架上同时，通过所说的横臂从所说的接收架上移走。

21.按照上面任一项权利要求所说的装置，其特征在于所说的装置有一个有旋转台的工位，所生成的模盘可以按保持涂层朝上的方式放在该旋转台上，该工位还进一步包括一根可绕一垂直轴转动的臂，臂上装有一个使摸盘暴光的光源，尤其是使留在模盘上的任何残留感光性树脂暴光的光源。

22.按照权利要求21所说的装置，其特征在于，所说的工位还进一步装有一根可绕一垂直转轴转动且能垂直往复移动的横臂，该横臂支撑喷雾装置，一种清洗液或/和一种漆可能通过该喷雾装置施加到该模盘的向上表面上。

23.按照权利要求22所说的装置，其特征在于，所说的喷雾装置被一环状的套子所围住，该套子的底部有一个向内朝上倾斜的底边。

24.按照权利要求23所说的装置，其特征在于所说的套子与横臂相连可很容易地拆卸。

25.按照前面任一权利要求的装置，其特征在于对所说光敏胶层进行暴光的工位处在靠近装置的一端。

26.按照上面任一项权利要求所说的装置，其特征在于所说的传输机械有二个抓取基片的传送器，这二个传送器固定在一滑块上，滑块可在互相成一角度的二个方向上移动，而所说的每一个传送器可以独立于另一个传送器作上下移动。

27.按照上面任一项权利要求所说的装置，其特征在于，每一个工位装在一个空间内，设有一个向所说的空间供给干净空气的装置。

28.一种制造盘状纪录体的模盘的方法，其中在一基片上形成所说的模盘，基片通过传输机械在一外壳内的几个工位之间自动移动，该外壳在正常操作期间是关闭的，这些工位如：一个向所说的基片涂敷一层感光性树脂层的工位，一个按照被贮存的纪录数据使所说的感光性树脂层暴光的工位，一个用于冲洗光敏层和使带有经显影的感光性树脂层的基片的一面镀上金属的工位，和一个施加一层金属涂层的工位。

29.按照权利要求28所说的方法，其特征是所说的基片首先在一个相适应的工位内经过冲洗和/或刷干净，然后在所说的工位内对所说的基片涂敷一层感光性树脂层。

30.按照权利要求28或29所说的方法，其特征在于，在涂复上感光性树脂层后，把基片移放到使热空气通过所说的感光性树脂层上面的工位内，以便干燥所说的感光性树脂层。

31.按照权利要求30所说的方法，其特征在于，把所说的基片放在可以封闭的空气通道内，先使热空气然后是冷空气通过该通道。

Images