CN103887263A - 封装结构及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

一种封装结构,其包括承载基板、第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板,承载基板具有第一电性接触垫及第二电性接触垫,第一连接基板具有第三电性接触垫及与第四电性接触垫,每个第四电性接触垫与对应的第一电性接触垫相互电导通,第一芯片具有第一电极垫,每个第一电极垫与对应的第三电性接触垫相互电导通,第二芯片通过介电胶片与第一芯片相互连结,第二芯片具有第二电极垫,第二连接基板具有第五电性接触垫及与第二电性接触垫一一对应的第六电性接触垫,每个第五电性接触垫与第二电极垫一一对应电导通,每个第六电性接触垫与对应的第二电性接触垫相互电导通。本发明还提供所述封装结构的制作方法。

Description

封装结构及其制作方法
技术领域
本发明涉及一种半导体封装技术,特别涉及一种封装结构及其制作方法。
背景技术
随着半导体器件尺寸的不断减小,具有半导体器件的层叠封装结构也逐渐地备受关注。层叠封装结构一般通过层叠制作方法制成。在传统的层叠制作方法中,为了实现高密度集成及小面积安装,通常通过直径为200微米至300微米的焊球将上下两个封装器件电连接。现有技术中使用焊球进行电性接合时,需要考量焊球体积,使得封装器件上与焊球对应之焊垫盘面积无法有效缩小。因此,以往利用焊球达成电性连接的方式,已难以符合fine-pitch产品型态的发展。
发明内容
本发明提供一种具有较小封装体积的封装结构及其制作方法。
一种封装结构,其包括承载基板、第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板,所述承载基板具有第一电性接触垫及第二电性接触垫,所述第一连接基板具有第三电性接触垫及与第一电性接触垫一一对应的第四电性接触垫,每个所述第四电性接触垫与对应的第一电性接触垫相互电导通,所述第一芯片具有与第三电性接触垫一一对应的第一电极垫,每个所述第一电极垫与对应的第三电性接触垫相互电导通,所述第二芯片通过介电胶片与第一芯片相互连结,所述第二芯片具有第二电极垫,所述第二连接基板具有与第二电极垫一一对应的第五电性接触垫及与第二电性接触垫一一对应的第六电性接触垫,每个所述第五电性接触垫与第二电极垫一一对应电导通,每个第六电性接触垫与对应的第二电性接触垫相互电导通。
一种封装结构的制作方法,包括步骤:提供封装基板、第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板,所述承载基板具有第一电性接触垫及第二电性接触垫,所述第一连接基板具有第三电性接触垫及与第一电性接触垫一一对应的第四电性接触垫,所述第一芯片具有与第三电性接触垫一一对应的第一电极垫,所述第二芯片具有第二电极垫,所述第二连接基板具有与第二电极垫一一对应的第五电性接触垫及与第二电性接触垫一一对应的第六电性接触垫;将每个所述第四电性接触垫与对应的第一电性接触垫相互电导通,以将所述第一连接基板贴装于封装基板;将每个所述第一电极垫与对应的第三电性接触垫相互电导通,以将第一芯片贴装于第一连接基板;在所述第一芯片远离第一连接基板的表面贴合介电胶片;在介电胶片远离第一芯片的一侧贴合第二芯片;每个所述第五电性接触垫与第二电极垫一一对应电导通,以将第二连接基板贴装于第二芯片;以及将每个第二连接基板的第六电性接触垫与对应的封装基板的第二电性接触垫之间相互电导通。
一种封装结构的制作方法,包括步骤:提供封装基板、第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板,所述承载基板具有第一电性接触垫及第二电性接触垫,所述第一连接基板具有第三电性接触垫及与第一电性接触垫一一对应的第四电性接触垫,所述第一芯片具有与第三电性接触垫一一对应的第一电极垫,所述第二芯片具有第二电极垫,所述第二连接基板具有与第二电极垫一一对应的第五电性接触垫及与第二电性接触垫一一对应的第六电性接触垫;将每个所述第一电极垫与对应的第三电性接触垫相互电导通,以将第一芯片贴装于第一连接基板;将每个所述第四电性接触垫与对应的第一电性接触垫相互电导通,以将所述第一连接基板贴装于封装基板;将每个所述第五电性接触垫与第二电极垫一一对应电导通,以将第二连接基板贴装于第二芯片;在所述第一芯片远离第一连接基板的表面贴合介电胶片;在介电胶片远离第一芯片的一侧贴合第二芯片;以及将每个第二连接基板的第六电性接触垫与对应的封装基板的第二电性接触垫之间相互电导通。
本技术方案提供的封装结构,分别采用一个连接基板与一个芯片进行封装形成的堆叠式的封装结构,并将每个连接基板与封装基板进行电导通。相比于现有技术中将两个封装体采用较大锡球进行导通的方式,可以减小封装结构的体积。
附图说明
图1为本技术方案实施例提供的封装结构的剖面示意图。
图2为本技术方案提供的第一连接基板的另一结构的剖面示意图。
图3为将第一连接基板贴装于封装基板后的剖面示意图。
图4为图3的第一连接基板上贴装第一芯片后的剖面示意图。
图5为图4的第一芯片上贴合介电胶片后的剖面示意图。
图6为图5的介电胶片连结第二芯片后的剖面示意图。
图7为图6的第二芯片上贴装第二连接基板后的剖面示意图。
图8为图7的第二连接基板与封装基板之间形成键合线后的剖面示意图。
图9为图8的封装基板的一侧形成封装胶体以包覆第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片、第二封装基板后的剖面示意图。
主要元件符号说明
封装结构 100
封装基板 10
第一基底 11
第一导电线路图形 12
第二导电线路图形 13
第一防焊层 14
第二防焊层 15
第一电性接触垫 1210
第二电性接触垫 1220
第七电性接触垫 1310
第一表面 1110
第二表面 1120
有机保焊层 101
第一连接基板 20
第二基底 21
第三导电线路图形 22
第四电性接触垫 221
第三电性接触垫 23
第一导电孔 24
第三防焊层 25
第四防焊层 26
微焊球 27
铜柱 28
焊帽 29
第一芯片 30
第一封装表面 31
第一电极垫 32
第五防焊层 33
介电胶片 40
第二芯片 50
第二封装表面 51
第二电极垫 52
第六防焊层 53
第二连接基板 60
第三基底 61
第四导电线路图形 62
第六电性接触垫 621
第五电性接触垫 63
第二导电孔 64
第七防焊层 65
第八防焊层 66
键合线 67
封装胶体 70
焊球 80
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
下面将结合附图及实施例,对本技术方案提供的封装结构及其制作方法作进一步的详细说明。
请参阅图1,本技术方案第一实施例提供一种封装结构100,其包括封装基板10、第一连接基板20、第一芯片30、介电胶片40、第二芯片50、第二连接基板60、封装胶体70及焊球80。所述封装基板10、第一连接基板20、第一芯片30、介电胶片40、第二芯片50、第二连接基板60依次堆叠设置。
封装基板10包括第一基底11、分别设置于该第一基底11相对的两个表面的第一导电线路图形12和第二导电线路图形13、以及分别形成于该第一导电线路图形12和第二导电线路图形13上的第一防焊层14和第二防焊层15。
该第一基底11为多层基板,包括交替排列的多个层树脂层与多个层导电线路图形(图未示)。该第一基底11包括相对的第一表面1110及第二表面1120,该第一导电线路图形12设置于该第一基底11的第一表面1110上,该第二导电线路图形13设置于该第一基底11的第二表面1120上。该第一基底11的多个层导电线路图形之间及该第一基底11的多个层导电线路图形与该第一导电线路图形12和第二导电线路图形13分别通过导电孔(图未示)电连接。
该第一防焊层14覆盖部分该第一导电线路图形12及从该第一导电线路图形12露出的第一表面1110,使部分该第一导电线路图形12从该第一防焊层14露出,构成多个第一电性接触垫1210及多个第二电性接触垫1220。该第一电性接触垫1210呈阵列式排布,该多个第二电性接触垫1220围绕该多个第一电性接触垫1210设置,该多个第二电性接触垫1220设置于该多个第一电性接触垫1210的四周。
该第二防焊层15覆盖部分该第二导电线路图形13及从该第二导电线路图形13露出的第二表面1120,使部分该第二导电线路图形13从该第二防焊层15露出,构成多个第七电性接触垫1310,该第七电性接触垫1310呈阵列式排布。该多个第一电性接触垫1210和多个第二电性接触垫1220通过第一导电线路图形12、第二导电线路图形13的导电线路及第一基底11内的导电线路图形及导电孔与该多个第七电性接触垫1310电连接。
所述第一电性接触垫1210、第二电性接触垫1220及第七电性接触垫1310的表面可以形成有机保焊层,也可以形成有微型焊球,以易于与其他元件进行电连接。本实施例中,以第一电性接触垫1210、第二电性接触垫1220及第七电性接触垫1310的表面可以形成有有机保焊层101为例来进行说明。
所述第一连接基板20封装于封装基板10的第一导电线路图形12的一侧。本实施例中,所述第一连接基板20为玻璃电路基板。所述第一连接基板20包括第二基底21、第三导电线路图形22及第三电性接触垫23。所述第二基底21为玻璃基板,在第二基底21内形成有多个第一导电孔24,每个第三电性接触垫23通过对应的一个第一导电孔24与第三导电线路图形22相互电连接。所述第三导电线路图形22包括多根导电线路及与所述导电线路相互电连接的第四电性接触垫221。每个第四电性接触垫221均与一个第一电性接触垫1210相互对应。
所述第一连接基板20还包括第三防焊层25和第四防焊层26。所述第三防焊层25和第四防焊层26形成于第二基底21的相对两个表面。第三防焊层25内形成有开口,每个第三电性接触垫23从对应的开口露出。第四防焊层26内也形成有开口,每个第四电性接触垫221从对应的开口露出。
本实施例中,在所述第三电性接触垫23及第四电性接触垫221的表面,还形成有微焊球27,所述微焊球27从凸出于第三防焊层25或第四防焊层26。第四电性接触垫221通过其表面的微焊球27与封装基板10的第一电性接触垫1210一一对应电连接。
可以理解的是,请参阅图2,为了便于与其他元件进行焊接,第一连接基板20的第三电性接触垫23及第四电性接触垫221的表面也可以形成铜柱28,并在铜柱28远离第三电性接触垫23或第四电性接触垫221的一端形成焊帽29。
所述第一芯片30为逻辑芯片。所述第一芯片30封装于第一连接基板20。第一芯片30具有第一封装表面31。在第一封装表面31上分布有多个第一电极垫32,每个第一电极垫32均与一个第三电性接触垫23相互对应。本实施例中,在第一封装表面31上形成有第五防焊层33,所述第五防焊层33内形成有开口,每个第一电极垫32从对应的开口露出。所述第一电极垫32的表面可以形成有镍镀层,以保护第一电极垫32。本实施例中,每个第一电极垫32通过第一连接基板20的第三电性接触垫23表面的微焊球27或者铜柱28与对应的第三电性接触垫23相互电连接。
所述介电胶片40贴合于第一芯片30远离第一连接基板20的一侧表面。所述介电胶片40用于连结并电绝缘第一芯片30和第二芯片50。所述介电胶片40可以为本技术领域常见的绝缘胶片。
所述第二芯片50为存储芯片。所述第二芯片50粘结于介电胶片40。第二芯片50具有第二封装表面51。所述第二封装表面51位于第二芯片50远离介电胶片40的一侧。在第二封装表面51上分布有多个第二电极垫52。本实施例中,在第二封装表面51上形成有第六防焊层53,所述第六防焊层53内形成有开口,每个第二电极垫52从对应的开口露出。所述第二电极垫52的表面可以形成有镍镀层,以保护第二电极垫52。
第二连接基板60封装于第二芯片50。所述第二连接基板60为玻璃电路基板。所述第二连接基板60包括第三基底61、第四导电线路图形62及第五电性接触垫63。所述第三基底61为玻璃基板,在第三基底61内形成有多个第二导电孔64,每个第五电性接触垫63通过对应的一个第二导电孔64与第四导电线路图形62相互电连接。每个第五电性接触垫63与一个第二电极垫52相互对应。所述第四导电线路图形62包括多根导电线路及与所述导电线路相互电连接的第六电性接触垫621。每个第六电性接触垫621均与一个第二电性接触垫1220相互对应。本实施例中,第六电性接触垫621靠近第二连接基板60的边缘分布。
所述第二连接基板60还包括第七防焊层65和第八防焊层66。所述第七防焊层65和第八防焊层66形成于第三基底61的相对两个表面。第七防焊层65内形成有开口,每个第五电性接触垫63从对应的开口露出。第八防焊层66内也形成有开口,每个第六电性接触垫621从对应的开口露出。
本实施例中,在所述第五电性接触垫63及第六电性接触垫621的表面,也形成有微焊球27,所述微焊球27从凸出于第七防焊层65或第八防焊层66。第五电性接触垫63通过其表面的微焊球27与第二芯片50的第二电极垫52一一对应电连接。
可以理解的是,为了便于与其他元件进行焊接,第二连接基板60的第五电性接触垫63的表面也可以形成铜柱28,并在铜柱28远离第五电性接触垫63一端形成焊帽29。
每个第六电性接触垫621通过键合线67对应与一个第二电性接触垫1220相互电连接,从而使得第二连接基板60与封装基板10相互电连通。
本实施例中,封装基板10的横截面积大于第一连接基板20的横截面积。第一连接基板20的横截面积大于第一芯片30、介电胶片40、第二芯片50及第二连接基板60的横截面积。本实施例中,封装胶体70形成于封装基板10的一侧,并包覆第一连接基板20、第一芯片30、介电胶片40、第二芯片50及第二连接基板60。并且,封装胶体70也形成于封装基板10与第一连接基板20之间的空隙内、第一连接基板20与第一芯片30之间的空隙内、第二连接基板60与第二芯片50之间的空隙内。
所述焊球80形成于第七电性接触垫1310的表面,用于将封装结构100与其他元件进行连接。
本技术方案第二实施例提供一种所述封装结构100的制作方法,所述封装结构100的制作方法包括步骤:
第一步,提供所述的封装基板10、第一连接基板20、第一芯片30、介电胶片40、第二芯片50及第二连接基板60。
第二步,请参阅图3,将所述第一连接基板20贴装于封装基板10。
具体地,将第四电性接触垫221与对应的第一电性接触垫1210相互电导通。本实施例中,通过其第四电性接触垫221表面的微焊球27与封装基板10的第一电性接触垫1210一一对应电连接。
第三步,请参阅图4,将第一芯片30贴装于第一连接基板20。
具体地,将第一芯片30的每个第一电极垫32与对应的第三电性接触垫23相互电导通。具体可以为,每个第一电极垫32通过第一连接基板20的第三电性接触垫23表面的微焊球27与对应的第三电性接触垫23相互电连接。
第四步,请参阅图5,在所述第一芯片30远离第一连接基板20的表面贴合介电胶片40。
第五步,请参阅图6,在介电胶片40远离第一芯片30的一侧贴合第二芯片50。
第六步,请参阅图7,将第二连接基板60贴装于第二芯片50。
本步骤中,将第五电性接触垫63与第二芯片50的第二电极垫52一一对应导通。具体地,每个第五电性接触垫63通过其表面的微焊球27与第二芯片50的第二电极垫52一一对应电连接。
第七步,请参阅图8,在第二连接基板60与封装基板10之间相互电导通。
本实施例中,每个第六电性接触垫621通过键合线67对应与一个第二电性接触垫1220相互电连接,从而使得第二连接基板60与封装基板10相互电连通。
第八步,请参阅图9,在封装基板10一侧形成封装胶体70,使得第一连接基板20、第一芯片30、介电胶片40、第二芯片50及第二连接基板60被封装胶体包覆。并且,封装胶体70也形成于封装基板10与第一连接基板20之间的空隙内、第一连接基板20与第一芯片30之间的空隙内、第二连接基板60与第二芯片50之间的空隙内。
第九步,请参阅图1,在封装基板10的第七电性接触垫1310表面形成焊球80。
可以理解的是,本技术方案提供的封装结构,也可以不包括有焊球80。
可以理解的是,在本技术方案提供的封装结构的制作方法中,每个所述每个所述第三电性接触垫23、第四电性接触垫221及第五电性接触垫63的表面形成有铜柱,并在每个所述铜柱远离对应的电性接触垫的一端形成有焊帽,每个所述第四电性接触垫221通过其表面的铜柱及焊帽与对应的第一电性接触垫1210相互电导通,每个第三电性接触垫23通过其表面的铜柱及焊帽与对应的所述第一电极垫32相互电导通,每个所述第五电性接触垫63通过其表面的铜柱及焊帽与第二电极垫52一一对应电导通。
本技术方案第三实施例也提供一种所述封装结构100的制作方法,所述封装结构100的制作方法与第二实施例提供的制作方法相近,所述方法包括步骤:
第一步,提供提供所述的封装基板10、第一连接基板20、第一芯片30、介电胶片40、第二芯片50及第二连接基板60。
第二步,将第一芯片30贴装于第一连接基板20。
具体地,可以将第一芯片30的每个第一电极垫32与对应的第三电性接触垫23相互电导通。具体可以为,每个第一电极垫32通过第一连接基板20的第三电性接触垫23表面的微焊球27与对应的第三电性接触垫23相互电连接。
第三步,将贴装有第一芯片30的第一连接基板20贴装于封装基板10。
具体地,可以将第四电性接触垫221与对应的第一电性接触垫1210相互电导通。本实施例中,通过其第四电性接触垫221表面的微焊球27与封装基板10的第一电性接触垫1210一一对应电连接。
第四步,将第二芯片50贴装于第二连接基板60。
本步骤中,将第二连接基板60的第五电性接触垫63与第二芯片50的第二电极垫52一一对应导通。具体地,每个第五电性接触垫63通过其表面的微焊球27与第二芯片50的第二电极垫52一一对应电连接。
第五步,在第一芯片30远离第一连接基板20的一侧贴合介电胶片40。
第六步,将第二芯片50通过介电胶片40连结于第一芯片30远离第一连接基板20的一侧。
第七步与第八步与第一实施例中封装结构的制作方法的第七步与第八步相同。本实施例提供的封装结构的制作方法,通过第一连接基板20与第一芯片30,第二连接基板60与第二芯片50分别结合之后,再与封装基板10进行接合,可以进一步提供封装结构的制作良率。
本技术方案提供的封装结构,分别采用一个连接基板与一个芯片进行封装形成的堆叠式的封装结构,并将连接基板与封装基板进行电导通。相比于现有技术中将两个封装体采用较大锡球进行导通的方式,可以减小封装结构的体积。
可以理解的是,对于本领域的普通技术人员来说,可以个据本发明的技术构思做出其它各种相应的改变与变形,而所有这些改变与变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (13)

1.一种封装结构,其包括承载基板、第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板,所述承载基板具有第一电性接触垫及第二电性接触垫,所述第一连接基板具有第三电性接触垫及与第一电性接触垫一一对应的第四电性接触垫,每个所述第四电性接触垫与对应的第一电性接触垫相互电导通,所述第一芯片具有与第三电性接触垫一一对应的第一电极垫,每个所述第一电极垫与对应的第三电性接触垫相互电导通,所述第二芯片通过介电胶片与第一芯片相互连结,所述第二芯片具有第二电极垫,所述第二连接基板具有与第二电极垫一一对应的第五电性接触垫及与第二电性接触垫一一对应的第六电性接触垫,每个所述第五电性接触垫与第二电极垫一一对应电导通,每个第六电性接触垫与对应的第二电性接触垫相互电导通。
2.如权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述第一连接基板还包括第二基底,所述第二基底为玻璃基底。
3.如权利要求2所述的封装结构,其特征在于,所述第二连接基板还包括三基底,所述第三基底为玻璃基底。
4.如权利要求1所述的封装结构,其特征在于,每个所述第三电性接触垫、第四电性接触垫及第五电性接触垫的表面形成有微焊球,每个所述第四电性接触垫通过其表面的微焊球与对应的第一电性接触垫相互电导通,每个第三电性接触垫通过其表面的微焊球与对应的所述第一电极垫相互电导通,每个每个所述第五电性接触垫通过其表面的微焊球与第二电极垫一一对应电导通。
5.如权利要求1所述的封装结构,其特征在于,每个所述每个所述第三电性接触垫、第四电性接触垫及第五电性接触垫的表面形成有铜柱,并在每个所述铜柱远离对应的电性接触垫的一端形成有焊帽,每个所述第四电性接触垫通过其表面的铜柱及焊帽与对应的第一电性接触垫相互电导通,每个第三电性接触垫通过其表面的铜柱及焊帽与对应的所述第一电极垫相互电导通,每个每个所述第五电性接触垫通过其表面的铜柱及焊帽与第二电极垫一一对应电导通。
6.如权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述第六电性接触垫与对应的第二电性接触垫通过键合线相互电导通。
7.如权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述封装结构还包括封装胶体,所述形成于所述封装基板的一侧,并包覆所述第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板。
8.如权利要求1所述的封装结构,其特征在于,所述第一芯片为逻辑芯片,所述第二芯片为存储芯片。
9.一种封装结构的制作方法,包括步骤:
提供封装基板、第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板,所述承载基板具有第一电性接触垫及第二电性接触垫,所述第一连接基板具有第三电性接触垫及与第一电性接触垫一一对应的第四电性接触垫,所述第一芯片具有与第三电性接触垫一一对应的第一电极垫,所述第二芯片具有第二电极垫,所述第二连接基板具有与第二电极垫一一对应的第五电性接触垫及与第二电性接触垫一一对应的第六电性接触垫;
将每个所述第四电性接触垫与对应的第一电性接触垫相互电导通,以将所述第一连接基板贴装于封装基板;
将每个所述第一电极垫与对应的第三电性接触垫相互电导通,以将第一芯片贴装于第一连接基板;
在所述第一芯片远离第一连接基板的表面贴合介电胶片;
在介电胶片远离第一芯片的一侧贴合第二芯片;
每个所述第五电性接触垫与第二电极垫一一对应电导通,以将第二连接基板贴装于第二芯片;以及
将每个第二连接基板的第六电性接触垫与对应的封装基板的第二电性接触垫之间相互电导通。
10.一种封装结构的制作方法,包括步骤:
提供封装基板、第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板,所述承载基板具有第一电性接触垫及第二电性接触垫,所述第一连接基板具有第三电性接触垫及与第一电性接触垫一一对应的第四电性接触垫,所述第一芯片具有与第三电性接触垫一一对应的第一电极垫,所述第二芯片具有第二电极垫,所述第二连接基板具有与第二电极垫一一对应的第五电性接触垫及与第二电性接触垫一一对应的第六电性接触垫;
将每个所述第一电极垫与对应的第三电性接触垫相互电导通,以将第一芯片贴装于第一连接基板;
将每个所述第四电性接触垫与对应的第一电性接触垫相互电导通,以将所述第一连接基板贴装于封装基板;
将每个所述第五电性接触垫与第二电极垫一一对应电导通,以将第二连接基板贴装于第二芯片;
在所述第一芯片远离第一连接基板的表面贴合介电胶片;
在介电胶片远离第一芯片的一侧贴合第二芯片;以及
将每个第二连接基板的第六电性接触垫与对应的封装基板的第二电性接触垫之间相互电导通。
11.如权利要求9或10所述的封装结构的制作方法,其特征在于,还包括:在承载基板一侧形成封装胶体,使得第一连接基板、第一芯片、介电胶片、第二芯片及第二连接基板被封装胶体包覆。
12.如权利要求9或10所述的封装结构的制作方法,其特征在于,每个所述第三电性接触垫、第四电性接触垫及第五电性接触垫的表面形成有微焊球,每个所述第四电性接触垫通过其表面的微焊球与对应的第一电性接触垫相互电导通,每个第三电性接触垫通过其表面的微焊球与对应的所述第一电极垫相互电导通,每个所述第五电性接触垫通过其表面的微焊球与第二电极垫一一对应电导通。
13.如权利要求9或10所述的封装结构的制作方法,其特征在于,每个所述每个所述第三电性接触垫、第四电性接触垫及第五电性接触垫的表面形成有铜柱,并在每个所述铜柱远离对应的电性接触垫的一端形成有焊帽,每个所述第四电性接触垫通过其表面的铜柱及焊帽与对应的第一电性接触垫相互电导通,每个第三电性接触垫通过其表面的铜柱及焊帽与对应的所述第一电极垫相互电导通,每个每个所述第五电性接触垫通过其表面的铜柱及焊帽与第二电极垫一一对应电导通。
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