CN103748257A - 热蒸镀装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种热蒸镀装置，其取代现有钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），使用板状的金属加热器来降低蒸镀偏差率，更为具体地涉及利用板状的金属加热器和载体的热蒸镀装置，所述板状的金属加热器设置为平行于器材的空转轴，并且所述载体位于所述板状的金属加热器正面。使用本发明的热蒸镀装置，从而增大蒸镀物质的使用效率，并能够将蒸镀物质均匀且具有再现性地蒸镀于器材上。

Description

热蒸镀装置
技术领域
本发明涉及一种热蒸镀装置，其取代现有钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），使用板状的金属加热器来降低蒸镀偏差率，更为具体地涉及利用板状的金属加热器和载体的热蒸镀装置，所述板状的金属加热器设置为平行于器材的空转轴，并且所述载体位于所述板状的金属加热器正面。使用本发明的热蒸镀装置，从而增大蒸镀物质的使用效率，并能够将蒸镀物质均匀且具有再现性地蒸镀于器材上。
背景技术
智能手机的情况下，因为正面的钢化玻璃全部用作输入工具，所以钢化玻璃正面具有耐指纹表面，并且随着智能手机需求量的增大，开发出了能够大量制造耐指纹表面的方法。
溅射（Sputtering）、电子束蒸镀（E-beam evaporation）、脉冲激光沉积（PulsedLaser Deposition，PLD）、热蒸镀（Thermal Evaporation）等作为现有的耐指纹表面镀膜方法广为人知，并且其中热蒸镀法的优点在于，工艺简单、蒸镀速度快且装置的价格相对低廉。
现有的热蒸镀装置为了生产效益，在中央设置加热器及载体，而且是将器材在所述加热器及载体周围排列的形状，通过设置于中央的加热器对载体进行加热，从而对载体内所含有的蒸镀物质进行蒸发，进而蒸镀于器材表面。此时，为了进一步提高生产效益，可使器材进行空转或空自转。如图1a，2a所示，一般所使用的加热器和载体是在钨丝或钼舟上放置载体的形状，所述载体形成为多孔陶瓷或者金属。
但是，如图1b，2b所示，所述形状为载体放置于加热器上，仅蒸镀物质的50%以下会朝向位于近处的器材方向，而剩余50%蒸镀物质可经过空转治具（jig）的直径距离到达器材背面的表面，所述治具以载体及加热器为中心排列。
在所述过程中，蒸镀物质的使用效率不仅会下降，而且可能与杂质反应，从而全面降低蒸镀品质。此外，缺点在于，由于现有的加热器的加热器构造，器材表面上下难以均匀蒸镀，尤其舟(boat)形状加热器的蒸镀偏差非常大。
发明内容
本发明为了解决所述问题而提出，目的在于提供一种热蒸镀装置，其取代现有钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），引入板状的金属加热器，从而可提高蒸镀品质，并且减小蒸镀偏差率。
为达成所述目的，本发明涉及一种热蒸镀装置，其包括：载体，其含有蒸镀物质；钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），其对所述载体进行加热；治具，其用于搭载器材，形成为可在所述载体前面进行移动。其中，以板状金属加热器代替现有的钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），所述板状金属加热器设置为与器材的公转轴平行，并且将所述载体设置于所述板状金属加热器的前面。
此外，本发明的热蒸镀装置中，为了将载体设置于板状的金属加热器前面，可形成支架，并且为了提高所述板状金属加热器和载体间的紧贴性，可在所述板状的金属加热器前面形成用于支撑载体的弹簧。此时，优选地，所述载体的截面可形成为梯形，以便易于对所述载体的弹簧进行拆装。并且，可在所述载体上形成吊钩构造，以便能够装到所述板状金属加热器一侧。
此外，为了提高所述载体的导热性，所述载体可由混合金属粒子或金属丝（wire）的陶瓷材料制造而成。此时，为了保持所述载体的电气绝缘性（electric insulation），优选地，所述金属粒子或金属丝的直径为1um～0.1mm，所述金属粒子或金属丝的含量为1～50vol%。
此外，将所述载体由导热率不同的两种以上的多孔性物质组成，并且在各个多孔性物质中含有不同的蒸镀物质，从而在加热器加热时引入时间差，使不同的物质蒸镀在器材上。
并且，为了延长所述金属加热器的寿命，可在所述加热器表面蒸镀TiN、TiAlN、CrC或CrN中的某一种，并且所述器材可适用于所有镀膜产品，并且优选地可用于在智能手机正面的钢化玻璃上蒸镀耐指纹物质。
本发明的热蒸镀装置引入板状的金属加热器，从而增加高价蒸镀物质的使用效率，并能够在器材上均匀且具有再现性地蒸镀蒸镀物质。此外，汽化的蒸镀物质全部朝向距离载体较近位置的器材方向，因此可减少蒸镀物质内的杂质含量，并提高蒸镀品质。
附图说明
图1a，图1b是表示现有的钨丝加热器和载体的使用形状及蒸镀过程的概念图。
图2a，图2b是表示现有的钼舟加热器和载体的使用形状及蒸镀过程的概念图。
图3a，图3b是表示本发明的一个实施例的利用支架的板状加热器的使用形状及蒸镀过程的概念图。
图4a，图4b是表示本发明的一个实施例的利用弹簧（spring）的板状加热器的使用形状及蒸镀过程的概念图。
图5a，图5b是表示本发明的一个实施例的利用吊钩构造的板状加热器的使用形状及蒸镀过程的概念图。
图6是本发明的一个实施例的由含有金属粒子的多孔陶瓷材料形成的载体的概念图。
图7是本发明的一个实施例的由具有不同导热性的多孔材料构成的载体的概念图。
具体实施方式
以下，参照附图对根据本发明的优选实施例进行详细说明。在此之前，本说明书及权利要求中所使用的术语或单词并未限定解释为通常或事先的意义，而应解释为符合本发明的技术思想的意义和概念。
本发明涉及一种热蒸镀装置，其包括：载体，其含有现有的蒸镀物质；加热器，其对所述含有蒸镀物质的载体进行加热；治具，其用于搭载器材，形成为可在所述载体前面进行移动。其中,所述加热器是板状的金属加热器，其设置为平行于器材的空转轴，并且所述载体位于所述板状的金属加热器的前面。
换句话说，如图3～5所示，本发明的热蒸镀装置是以板状的金属加热器替代现有的钨丝（tungsten filament）或者钼舟（molybdenum boat），所述板状的金属加热器设置为平行于器材的空转轴，并且将所述载体设置于所述板状的金属加热器的前面。
如附图所示，由于载体后面由板状金属加热器阻挡，因此通过加热器所加热进而汽化的蒸镀物质喷射至载体前面，并且仅朝向最近位置的器材方向。
由此，不同于现有的热蒸镀装置，蒸镀物质到达器材背面的表面，从而含有杂质的可能性减少，并且可实现器材表面上下均匀蒸镀。
此外，为了将载体设置于板状的金属加热器前面，可适用固定载体的多种工具。作为一个实施例，如图3a，3b所示，可在板状金属加热器上设置对载体进行固定的支架，并且如图4a，4b所示，在板状金属加热器上设置弹簧，从而可提高加热器和载体间的紧贴性。此时，所述载体的截面可形成为梯形，以便易于对所述载体的弹簧进行拆装。
此外，如图5a，5b所示，可在所述载体上做个吊钩构造，以便能够装到所述板状金属加热器一侧，并且此情况下，板状金属加热器的构造简单，可延长加热器的寿命。
如图6所示，为了提高本发明的用于热蒸镀装置载体的导热性，在普通陶瓷材料的载体中混合金属粒子或金属丝（wire）进而成型。但是，为了防止加热器和载体间的接触所引起的电阻变化和由此引起的加热不均、蒸镀再现性低下等问题，必须保持载体的电气绝缘性（electric insulation），因此优选地，所述金属粒子或金属丝的直径为1um～0.1mm，组成为1～50vol%。
优选地，由此制造而成的载体的孔隙率为5～30%，并且用于本发明的金属成分须在高温下不被汽化，所以优选地应避免低熔点的金属铟（indium）、锡、锌（zinc）、铅、铝（aluminum）等。
此外，如图7所示，用于本发明的热蒸镀装置的载体可由导热率不同的两种以上的多孔性物质组成，并且在各个多孔性物质中含有不同的蒸镀物质，从而在加热时引入时间差，在器材上蒸镀不同的蒸镀物质。
此外，为了延长本发明的板状金属加热器的寿命，优选地在所述加热器表面涂覆（coating）TiN、TiAlN、CrC、CrN等抗氧化物质。本发明的热蒸镀装置可适用于所有镀膜产品，并且优选地可用于在智能手机正面的钢化玻璃上蒸镀耐指纹物质。
本发明并非限定于所述特定实施例及说明，并且在没有脱离权利要求中所请求的本发明的主旨的前提下，本发明所属的技术领域内具有一般知识的任何人都可能实施各种变形，并且所述变形所属于本发明的保护范围内。

Claims (12)

1.一种热蒸镀装置，包括含有蒸镀物质的载体、对所述含有蒸镀物质的载体进行加热的加热器、形成为可在所述载体前面进行移动的用于器材搭载的治具，其特征在于：
所述热蒸镀装置设置为所述载体与所述器材相正对的状态下进行热蒸镀。
2.根据权利要求1所述的热蒸镀装置，其特征在于：
所述加热器为金属加热器，其设置为平行于器材空转轴，所述金属加热器上设置有所述载体。
3.根据权利要求2所述的热蒸镀装置，其特征在于：
所述加热器为板状的金属加热器，其设置为平行于器材的空转轴，并且所述载体位于所述板状的金属加热器前面。
4.根据权利要求3所述的热蒸镀装置，其特征在于：
形成有支架，其用于将所述载体设置于所述板状的金属加热器前面。
5.根据权利要求3所述的热蒸镀装置，其特征在于：
为了提高所述板状的金属加热器和载体之间的紧贴性，在所述板状的金属加热器前面形成有用于支撑载体的弹簧。
6.根据权利要求5所述的热蒸镀装置，其特征在于：
所述载体的截面为梯形，以便易于对所述载体的弹簧进行拆装。
7.根据权利要求3所述的热蒸镀装置，其特征在于：
所述载体上形成有吊钩构造，其用于将所述载体装到所述板状金属加热器一侧。
8.根据权利要求1所述的热蒸镀装置，其特征在于：
为了提高所述载体的导热性，所述载体由混合金属粒子或金属丝的陶瓷材料形成。
9.根据权利要求8所述的热蒸镀装置，其特征在于：
为了保持载体的电气绝缘性，所述金属粒子或金属丝的直径为1um～0.1mm，所述金属粒子或金属丝的含量为1～50vol%。
10.根据权利要求1所述的热蒸镀装置，其特征在于：
所述载体由导热率不同的两种以上的多孔性物质组成，并且在各个多孔性物质中含有不同的蒸镀物质，从而在加热器加热时引入时间差，使不同的物质蒸镀在器材上。
11.根据权利要求2所述的热蒸镀装置，其特征在于：
为了延长所述金属加热器的寿命，所述加热器表面涂覆有TiN、TiAlN、CrC或CrN中的某一种。
12.根据权利要求1所述的热蒸镀装置，其特征在于：
所述器材是智能手机正面的钢化玻璃，并且所述蒸镀物质是耐指纹物质。
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