JP6586530B2 - 基板をマスキングするためのマスク構成、及び、マスクと基板との位置を合わせるための方法 - Google Patents
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- 処理チャンバ内での堆積中に基板(10)をマスキングするためのマスク構成(100)であって、
−前記基板(10)を支持するための第1表面(101)を有する第1プレートと、
−マスク(130)を保持するための第2プレートとを備え、前記マスク(130)が、少なくとも1つの開口を有し、かつ、前記基板(10)と前記第2プレート(120)との間に配置され、
前記第1プレート(110)が、前記第1表面(101)から突出している第1ピン(111)及び第2ピン(112)を備え、前記第1ピン(111)は、第1方向(141)への前記基板の動きを限定するために配置され、前記第2ピン(112)は、前記第1方向(141)とは異なる第2方向(142)への前記基板の動きを限定するために配置され、
前記マスク(130)は、前記第1ピン(111)を受容するための第1の孔(131)、及び、前記第2ピン(112)を受容するための第2の孔(132)を備え、前記第1の孔(131)は、前記第2方向(142)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスクの動きを可能にするよう構成され、前記第2の孔(132)は、前記第1方向(141)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスク(130)の動きを可能にするよう構成される、マスク構成(100)。 - 前記第1プレート(110)の前記第1表面(101)が、重力方向におおよそ平行に配向される、請求項1に記載のマスク構成(100)。
- 前記第1方向(141)は重力方向におおよそ平行である、請求項1又は2に記載のマスク構成(100)。
- 前記基板(10)の第1エッジ(10A)が、前記第1表面(101)から突出している前記第1ピン(111)及び第3ピン(113)に接触する、請求項1から3のいずれか一項に記載のマスク構成(100)。
- 前記基板(10)の第2エッジ(10B)が、前記第2ピン(112)に接触する、請求項1から4のいずれか一項に記載のマスク構成(100)。
- 前記マスク(130)の中心部分に接触圧力を印加するよう構成されたバネ要素(160)が、前記第2プレート(120)と前記マスク(130)との間に設けられる、請求項1から5のいずれか一項に記載のマスク構成(100)。
- 第1バネ要素(161)及び第2バネ要素(162)が、前記第2プレート(120)と前記マスク(130)との間に設けられ、前記第1バネ要素(161)と前記第2バネ要素(162)とは、前記マスク(130)の中心部分に接触圧力を印加するために、交差した様態で配置される、請求項1から6のいずれか一項に記載のマスク構成(100)。
- 前記第2プレート(120)が、前記マスク(130)の前記少なくとも1つの開口よりも大きな開孔(125)を備える、請求項1から7のいずれか一項に記載のマスク構成(100)。
- 堆積方向(115)に対向する前記第2プレート(120)の前記開孔(125)の第1エッジに傾斜がつけられる、請求項8に記載のマスク構成(100)。
- 前記マスク(130)に面する前記第2プレート(120)の前記開孔(125)の第2エッジが、バネ要素(160)を保持するための凹部(122)を有する、請求項8又は9に記載のマスク構成(100)。
- 前記第1プレート(110)が、前記マスク(130)を保持するための少なくとも1つの磁気要素(150)を備える、請求項1から10のいずれか一項に記載のマスク構成(100)。
- 処理チャンバ内での堆積中に基板(10)をマスキングするためのマスク構成(100)であって、
−前記基板(10)を支持するための第1表面(101)を有する第1プレート(110)と、
−マスク(130)を保持するための第2プレート(120)とを備え、前記マスク(130)が、少なくとも1つの開口を有し、かつ、前記基板(10)と前記第2プレート(120)との間に配置され、
前記第1プレート(110)が、前記第1表面(101)から突出している第1ピン(111)及び第2ピン(112)を備え、前記第1ピン(111)は、第1方向(141)への前記基板の動きを限定するために配置され、前記第2ピン(112)は、前記第1方向(141)とは異なる第2方向(142)への前記基板の動きを限定するために配置され、
前記マスク(130)は、前記第1ピン(111)を受容するための第1の孔(131)、及び、前記第2ピン(112)を受容するための第2の孔(132)を備え、前記第1の孔(131)は、前記第2方向(142)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスクの動きを可能にするよう構成され、前記第2の孔(132)は、前記第1方向(141)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスク(130)の動きを可能にするよう構成され、
前記第1プレート(110)の前記第1表面(101)が、重力方向におおよそ平行に配向され、
前記第1方向(141)は重力方向におおよそ平行であり、前記第2方向(142)は前記第1方向(141)対して垂直であり、
第1板バネ要素及び第2板バネ要素が、前記第2プレート(120)と前記マスク(130)との間に設けられ、前記第1板バネ要素と前記第2板バネ要素は、前記マスク(130)の中心部分に接触圧力を印加するために、交差した様態で配置され、前記第1板バネ要素及び前記第2板バネ要素は、前記マスク(130)に面する前記第2プレート(120)の開孔(125)のエッジに設けられた凹部(122)の中に受容される、マスク構成(100) - 基板に層を堆積させるための装置(200)であって、
−内部での層堆積に適合した処理チャンバ(210)と、
−前記層を形成する材料を堆積させるための堆積源(220)と、
−前記処理チャンバ(210)の中のマスク構成(100)とを備え、前記マスク構成が、
−前記基板(10)を支持するための第1表面(101)を有する第1プレート(110)と、
−マスク(130)を保持するための第2プレート(120)とを備え、前記マスク(130)が、少なくとも1つの開口を有し、かつ、前記基板(10)と前記第2プレート(120)との間に配置され、
前記第1プレート(110)が、前記第1表面(101)から突出している第1ピン(111)及び第2ピン(112)を備え、前記第1ピン(111)は、第1方向(141)への前記基板の動きを限定するために配置され、前記第2ピン(112)は、前記第1方向(141)とは異なる第2方向(142)への前記基板の動きを限定するために配置され、
前記マスク(130)は、前記第1ピン(111)を受容するための第1の孔(131)、及び、前記第2ピン(112)を受容するための第2の孔(132)を備え、前記第1の孔(131)は、前記第2方向(142)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスクの動きを可能にするよう構成され、前記第2の孔(132)は、前記第1方向(141)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスク(130)の動きを可能にするよう構成される、装置(200)。 - マスクと基板との位置を合わせるための方法(300)であって、
−前記基板が第1プレート(110)の第1表面(101)から突出している第1ピン(111)及び第2ピン(112)に接触するように、前記第1表面(101)上に前記基板(10)を配置すること(310)であって、前記第1ピン(111)は、第1方向(141)への前記基板の動きを限定するために配置され、前記第2ピン(112)は、前記第1方向(141)とは異なる第2方向(142)への前記基板の動きを限定するために配置される、配置すること(310)と、
−前記第1ピン(111)が前記マスクの第1の孔(131)の中に受容され、前記第2ピン(112)が前記マスク(130)の第2の孔(132)の中に受容されるように、前記マスク(130)を前記基板(10)上に装着すること(320)であって、前記第1の孔(131)は、前記第2方向(142)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスクの動きを可能にするよう構成され、前記第2の孔(132)は、前記第1方向(141)への、前記第1プレート(110)に対する前記マスクの動きを可能にするよう構成される、装着すること(320)と、
−前記第1プレート(110)と第2プレート(120)との間に前記基板(10)及び前記マスク(130)を保持すること(330)とを含む、方法(300)。 - 前記第1プレート(110)と前記第2プレート(120)との間に前記基板(10)及び前記マスク(130)を保持すること(330)が、前記第1プレート(110)及び前記第2プレート(120)にクランプ力を提供すること(340)を含む、請求項14に記載のマスクと基板との位置を合わせるための方法(300)。
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