CN103739311A - 一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法 - Google Patents
一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法 Download PDFInfo
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- 238000000576 coating method Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 title claims abstract description 29
- 239000011204 carbon fibre-reinforced silicon carbide Substances 0.000 title claims abstract description 9
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 8
- 230000003064 anti-oxidating effect Effects 0.000 title abstract 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 34
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 15
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 19
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 19
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 17
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 9
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 claims description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 3
- DWAWYEUJUWLESO-UHFFFAOYSA-N trichloromethylsilane Chemical compound [SiH3]C(Cl)(Cl)Cl DWAWYEUJUWLESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 abstract 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 22
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 22
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 9
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 4
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 3
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001722 carbon compounds Chemical class 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 2
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 235000006708 antioxidants Nutrition 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001652 electrophoretic deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 235000013312 flour Nutrition 0.000 description 1
- 238000001027 hydrothermal synthesis Methods 0.000 description 1
- 239000005543 nano-size silicon particle Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明公开了一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法。由SiC层、C层和Nb层三种材料依次重复叠层组成。重复叠层结构中每一组循环包括SiC层、C层、Nb层和C层四层，循环次数为2～5次。通过化学气相沉积法在所制备的SiC层上交替沉积C层，Nb层，C层和SiC层，得到(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层。该涂层能够有效提高抗氧化性能，显著提高涂层的热震性能，通过控制沉积时间和沉积次数可控制基体的厚度和层数，可实现对复合涂层微观结构的控制。
Description
技术领域
本发明涉及一种抗氧化涂层及其制备方法，特别是涉及一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法。
技术背景
C/C复合材料在超过450℃的氧化气氛下开始发生氧化反应，氧化失重将使得材料的力学性能明显下降，从而限制了其在氧化气氛下的应用。目前，C/C复合材料的抗氧化措施主要有两类：(1)内部保护，对碳纤维和碳基体进行改性处理，来提高C/C复合材料的高温抗氧化性能。(2)外部涂层，通过在材料表面进行各类涂层防止含氧气体接触扩散来提高C/C复合材料的高温抗氧化性能。机体改性制备的C/C复合材料抗氧化温度均在1200℃以下，远远不能达到航空航天对材料耐高温性能的要求。涂层技术将是解决C/C复合材料氧化问题的有效的途径。
文献“申请号为200810079793.5的中国专利”公开了一种对碳材料进行碳化硅涂层的方法，将一定比例的硅粉制成悬浮液，以碳材料为电极，得到包袱一层硅的碳材料，然后进行高温烧结，得到碳化硅涂层。文献“申请号为200310231996.1的中国专利”公开了一种碳/碳复合材料纳米碳化硅外涂层的制备方法，将纳米碳化硅制成悬浮液，放入水热反应釜中，将碳/碳复合材料放在阴极上，进行电泳沉积，得到碳化硅涂层。
上述专利都可以获得较好的涂层，在高温氧化环境下，SiC涂层通过在表层氧化生成二氧化硅膜阻挡氧原子的扩散浸入，提高了碳基材料的抗氧化性能。但这些涂层都有一个共同的问题：所制备的涂层过于单一，在高温气流冲蚀作用下，表层的二氧化硅膜很容易剥落，导致底层的碳化硅暴露出来，不断的被氧化和剥落，最终导致碳化硅涂层的快速失效。
发明内容
本发明的目的旨在克服现有技术的缺陷，提供了一种具有高性能的多层抗氧化涂层及其制备方法。
为实现本发明的目的所采用的技术方案是：提供一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层，具有重复叠层结构，其特征在于由SiC层、C层和Nb层三种材料重复叠层组成。所述的重复叠层结构中每一组循环包括SiC层、C层、Nb层和C层四层，循环次数为2～5次，Nb层的两侧都是C层，SiC的两侧都是C层，最外层为SiC层。SiC层的厚度为10～30μm，C层的厚度为5～20μm，Nb层的厚度为5～20μm。
本发明通过以下步骤实现：
(1)采用化学气相沉积的方法在石墨或者C/C复合材料的表面沉积一层SiC层；SiC层的沉积条件如下：三氯甲基硅烷为前驱体，氩气为稀释气，氢气为载气，沉积温度800～1200℃，沉积时间5～20h；
(2)通过化学气相沉积法沉积C层，C层的沉积条件如下：以甲烷为源物质，氩气为稀释气体，沉积温度为800～1200℃，沉积时间3～10h；
(3)通过化学气相沉积法沉积Nb层，Nb层的沉积条件如下：以金属Nb为源物质，氩气为稀释气，氯气为反应气体，沉积温度为1000～1600℃，沉积时间3～10h；
(4)重复(2)(1)(3)；
(5)重复(4)2～5次；
(6)重复(2)；
(7)重复(1)。
本发明的有益效果：(1)由于Nb层的两侧都是C层，可形成具有梯度分布的NbC层，由因为NbC层致密可有效的阻止氧的扩散，有效提高抗氧化性能；(2)由于涂层的交替沉积能够有效缓解涂层之间热膨胀系数不同的问题，可显著提高涂层的热震性能；(3)通过控制沉积时间和沉积次数可控制基体的厚度和层数，可实现对复合涂层微观结构的控制。
具体实施方式
下面结合具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定。
实施例
一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层，其特征在于由SiC层、C层和Nb层三种材料依次重复叠层组成。所述的重复叠层结构中每一组循环包括SiC层、C层、Nb层和C层四层，循环次数为3次，Nb层的两侧都是C层，SiC的两侧都是C层，最外层为SiC层。SiC层的厚度为20μm，C层的厚度为10μm，Nb层的厚度为10μm。
本发明通过以下步骤实现：
(1)采用化学气相沉积的方法在石墨或者C/C复合材料的表面沉积一层SiC层；SiC层的沉积条件如下：三氯甲基硅烷为前驱体，氩气为稀释气，氢气为载气，沉积温度1000℃，沉积时间10h；
(2)通过化学气相沉积法沉积C层，C层的沉积条件如下：以甲烷为源物质，氩气为稀释气体，沉积温度为1000℃，沉积时间5h；
(3)通过化学气相沉积法沉积Nb层，Nb层的沉积条件如下：以金属Nb为源物质，氩气为稀释气，氯气为反应气体，沉积温度为1400℃，沉积时间5h；
(4)重复(2)(1)(3)；
(5)重复(4)2次；
(6)重复(2)；
(7)重复(1)。
Claims (6)
1.一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层，具有重复叠层结构，其特征在于由SiC层、C层和Nb层三种材料重复叠层组成。
2.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的重复叠层结构中每一组循环包括SiC层、C层、Nb层和C层四层，循环次数为2～5次，Nb层的两侧都是C层，SiC的两侧都是C层，最外层为SiC层。
3.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的SiC层的厚度为10～30μm。
4.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的C层的厚度为5～20μm。
5.根据权利要求1所述的多层抗氧化涂层，其特征在于所述的Nb层的厚度为5～20μm。
6.一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层的制备方法，其特征在于包括下述顺序的步骤：
(1)采用化学气相沉积的方法在石墨或者C/C复合材料的表面沉积一层SiC层；SiC层的沉积条件如下：三氯甲基硅烷为前驱体，氩气为稀释气，氢气为载气，沉积温度800～1200℃，沉积时间5～20h；
(2)通过化学气相沉积法沉积C层，C层的沉积条件如下：以甲烷为源物质，氩气为稀释气体，沉积温度为800～1200℃，沉积时间3～10h；
(3)通过化学气相沉积法沉积Nb层，Nb层的沉积条件如下：以金属Nb为源物质，氩气为稀释气，氯气为反应气体，沉积温度为1000～1600℃，沉积时间3～10h；
(4)重复(2)(1)(3)；
(5)重复(4)2～5次；
(6)重复(2)；
(7)重复(1)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310412249.9A CN103739311B (zh) | 2013-09-11 | 2013-09-11 | 一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310412249.9A CN103739311B (zh) | 2013-09-11 | 2013-09-11 | 一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103739311A true CN103739311A (zh) | 2014-04-23 |
| CN103739311B CN103739311B (zh) | 2015-05-06 |
Family
ID=50496403
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310412249.9A Active CN103739311B (zh) | 2013-09-11 | 2013-09-11 | 一种(Nb/C/SiC)n多层抗氧化涂层及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103739311B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140329070A1 (en) * | 2011-12-12 | 2014-11-06 | High Tech Coatings Gmbh | Carbon-based coating |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04149083A (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高温耐酸化炭素材料 |
| CN1762905A (zh) * | 2005-08-11 | 2006-04-26 | 中国科学院山西煤炭化学研究所 | 一种炭材料表面抗氧化梯度涂层的制备方法 |
| CN101565328A (zh) * | 2009-05-26 | 2009-10-28 | 西北工业大学 | 碳/碳复合材料防氧化涂层的制备方法 |
| CN101898906A (zh) * | 2010-06-11 | 2010-12-01 | 陕西科技大学 | 碳/碳复合材料SiO2-莫来石-Al2O3梯度外涂层的制备方法 |
| WO2010145704A1 (en) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | Sulzer Metaplas Gmbh | Protective coating, a coated member having a protective coating as well as method for producing a protective coating |
| CN102277560A (zh) * | 2011-08-23 | 2011-12-14 | 南京理工大学 | 化学气相沉积SiC/C梯度表面涂层提高石墨电极抗氧化性的方法 |
| CN102918176A (zh) * | 2010-04-14 | 2013-02-06 | 伊斯卡有限公司 | 硬碳涂层及其形成方法 |
-
2013
- 2013-09-11 CN CN201310412249.9A patent/CN103739311B/zh active Active
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04149083A (ja) * | 1990-10-09 | 1992-05-22 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高温耐酸化炭素材料 |
| CN1762905A (zh) * | 2005-08-11 | 2006-04-26 | 中国科学院山西煤炭化学研究所 | 一种炭材料表面抗氧化梯度涂层的制备方法 |
| CN101565328A (zh) * | 2009-05-26 | 2009-10-28 | 西北工业大学 | 碳/碳复合材料防氧化涂层的制备方法 |
| WO2010145704A1 (en) * | 2009-06-18 | 2010-12-23 | Sulzer Metaplas Gmbh | Protective coating, a coated member having a protective coating as well as method for producing a protective coating |
| CN102918176A (zh) * | 2010-04-14 | 2013-02-06 | 伊斯卡有限公司 | 硬碳涂层及其形成方法 |
| CN101898906A (zh) * | 2010-06-11 | 2010-12-01 | 陕西科技大学 | 碳/碳复合材料SiO2-莫来石-Al2O3梯度外涂层的制备方法 |
| CN102277560A (zh) * | 2011-08-23 | 2011-12-14 | 南京理工大学 | 化学气相沉积SiC/C梯度表面涂层提高石墨电极抗氧化性的方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| ZHANG YU-LEI等: "C/SiC/Si-Mo-Crmultilayer coating for carbon/carbon composites ofr oxidation protection", 《新型炭材料》 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140329070A1 (en) * | 2011-12-12 | 2014-11-06 | High Tech Coatings Gmbh | Carbon-based coating |
| US9631270B2 (en) * | 2011-12-12 | 2017-04-25 | High Tech Coatings Gmbh | Carbon-based coating |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| PB01 | Publication | ||
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