CN103682135A - 一种有机电致发光器件及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明属于有机半导体材料领域，其公开了一种有机电致发光器件及其制备方法；该器件包括依次层叠的阳极基底、散射层、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极层；散射层包括四氯化钛薄膜层以及层叠在该四氯化钛薄膜层表面的锐钛型二氧化钛薄膜层。本发明提供的有机电致发光器件，散射层包括四氯化钛薄膜层和锐钛型二氧化钛薄膜层，四氯化钛材质的薄膜层中，钛离子可以锚定在阳极基底的阳极层表面，增加导电性的同时可使阳极基底与散射层之间连接更紧密，锐钛型二氧化钛材质的薄膜层，其比表面积较大，对光具有强烈的散射，可以提高出光效率生。

Description

一种有机电致发光器件及其制备方法
技术领域
本发明涉及有机半导体材料领域，尤其涉及一种有机电致发光器件及其制备方法。
背景技术
1987年，美国Eastman Kodak公司的C.W.Tang和VanSlyke报道了有机电致发光研究中的突破性进展。利用超薄薄膜技术制备出了高亮度，高效率的双层有机电致发光器件（OLED）。在该双层结构的器件中，10V下亮度达到1000cd/m2，其发光效率为1.51lm/W、寿命大于100小时。
OLED的发光原理是基于在外加电场的作用下，电子从阴极注入到有机物的最低未占有分子轨道（LUMO），而空穴从阳极注入到有机物的最高占有轨道（HOMO）。电子和空穴在发光层相遇、复合、形成激子，激子在电场作用下迁移，将能量传递给发光材料，并激发电子从基态跃迁到激发态，激发态能量通过辐射失活，产生光子，释放光能。
在传统的发光器件中，器件内部的光只有18%左右是可以发射到外部去的，而其他的部分会以其他形式消耗在器件外部，界面之间存在折射率的差（如玻璃与ITO之间的折射率之差，玻璃折射率为1.5，ITO为1.8，光从ITO到达玻璃，就会发生全反射），引起了全反射的损失，使得器件整体出光性能较低。
发明内容
本发明所要解决的问题在于提供一种出光效率较高的有机电致发光器件。
本发明的技术方案如下：
一种有机电致发光器件，包括依次层叠的阳极基底、散射层、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极层；所述散射层四氯化钛薄膜层以及层叠在该四氯化钛薄膜层表面的二氧化钛薄膜层，四氯化钛薄膜层层叠在阳极基底表面；且所述二氧化钛薄膜层中的二氧化钛为锐钛矿二氧化钛。
所述的有机电致发光器件，其中，所述空穴注入层的材质为三氧化钼、三氧化钨、或五氧化二钒。
所述的有机电致发光器件，其中，所述空穴传输层的材质为1，1-二[4-[N，N′-二(p-甲苯基)氨基]苯基]环己烷、4,4',4″-三(咔唑-9-基)三苯胺或N，N’-（1-萘基）-N，N’-二苯基-4,4’-联苯二胺。
所述的有机电致发光器件，其中，所述发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃、9,10-二-β-亚萘基蒽、4,4'-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1'-联苯或8-羟基喹啉铝。
所述的有机电致发光器件，其中，所述电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉、1,2,4-三唑衍生物或N-芳基苯并咪唑。
所述的有机电致发光器件，其中，所述阴极层的材质为金属银、铝、铂或金；所述阳极基底为铟锡氧化物玻璃、铝锌氧化物玻璃或铟锌氧化物玻璃。
本发明还提供上述有机电致发光器件的制备方法，包括如下步骤：
S1、清洗阳极基底；
S2、制备散射层：
首先，将清洗干净的阳极基底置于异丙醇中浸泡12小时；接着，取出浸泡过的阳极基底置于摩尔浓度为20~60mM的四氯化钛水溶液中浸泡20~60分钟；随后，取出浸泡过的阳极基底，并用依次用水和乙醇清洗，干燥后置于400~600℃下煅烧处理20~40分钟；
其次，将二氧化钛颗粒加入溶剂中，配置成质量浓度为20~60%的二氧化钛溶液，随后往二氧化钛溶液中依次添加1~10ml的乙酰丙酮和2~5ml的曲拉通乳化剂，搅拌，得到混合溶液；将混合溶液刮涂在煅烧处理后的阳极基底表面，烘干后再次置于400~600℃下煅烧处理20~40分钟，然后冷却至室温，阳极基底表面制得四氯化钛薄膜层和二氧化钛薄膜层层叠结构的散射层，且四氯化钛薄膜层层叠在阳极基底表面；所述二氧化钛薄膜层中的二氧化钛为锐钛矿二氧化钛；
S3、将步骤S2制得的含散射层的阳极基底置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述散射层表面依次层叠蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极层；
上述工艺结束后，制得所述有机电致发光器件。
上述有机电致发光器件的制备方法的步骤S2中：
阳极基底置于四氯化钛水溶液中浸泡时，四氯化钛水溶液的温度稳定在50~100℃范围；
所述氧化锌颗粒的粒径为20~200nm；
二氧化钛溶液中，所述溶剂为水、乙醇或正丁醇。
本发明提供的有机电致发光器件，散射层包括四氯化钛薄膜层和锐钛型二氧化钛薄膜层，四氯化钛材质的薄膜层中，钛离子可以锚定在阳极基底的阳极层表面，增加导电性的同时可使阳极基底与散射层之间连接更紧密，锐钛型二氧化钛材质的薄膜层，其比表面积较大，对光具有强烈的散射，可以提高出光效率；同时，四氯化钛薄膜层和锐钛型二氧化钛薄膜层都具有钛元素，这样可以大大提高层间的相容性和结合力，避免杂质产生。
附图说明
图1为本发明制得的有机电致发光器件的结构示意图；
图2为实施例1和对比例1的有机电致发光器件的亮度与流明效率曲线图。
具体实施方式
本发明提供的有机电致发光器件，如图1所示，包括阳极基底1、散射层2、空穴注入层3、空穴传输层4、发光层5、电子传输层6和阴极层7，即阳极基底1/散射层2/空穴注入层3/空穴传输层4/发光层5/电子传输层6/阴极层7；该器件中，散射层2包括四氯化钛（TiCl4）薄膜层以及层叠在该四氯化钛（TiCl4）薄膜层表面的二氧化钛（TiO2）薄膜层；散射层2中的二氧化钛（TiO2）薄膜层中的二氧化钛为锐钛矿二氧化钛，这种结构的二氧化钛，具有较大的比表面积，对光有强烈的散射，可有效提高器件的出光效率。
二氧化钛（TiO2）薄膜层的厚度为2-15μm。
上述有机电致发光器件中，其它各功能层的材质及厚度如下：
所述阳极基底1为铟锡氧化物玻璃（ITO）、铝锌氧化物玻璃（AZO）或铟锌氧化物玻璃（IZO），优选为ITO；其中，铟锡氧化物玻璃，简称ITO玻璃，玻璃为基底，ITO为阳极层，行业习惯上撰写为ITO；掺铝的氧化锌玻璃和掺铟的氧化锌玻璃类似；因此，实际的器件中，四氯化钛（TiCl4）薄膜层是层叠在阳极基底1的阳极层表面，阳极层为ITO、AZO或IZO层；
所述空穴注入层3的材质为三氧化钼（MoO3）、三氧化钨（WO3）或五氧化二钒（V2O5），优选为WO3；所述空穴注入层3的厚度为20-80nm，优选厚度为50nm；
所述空穴传输层4的材质为1，1-二[4-[N，N′-二(p-甲苯基)氨基]苯基]环己烷（TAPC）、4,4',4″-三(咔唑-9-基)三苯胺（TCTA）、N，N’-（1-萘基）-N，N’-二苯基-4,4’-联苯二胺（NPB），优选为TCTA；所述空穴传输层4的厚度为20-60nm，优选厚度为30nm；
所述发光层5的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃（DCJTB）、9,10-二-β-亚萘基蒽（ADN）、4,4'-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1'-联苯（BCzVBi）或8-羟基喹啉铝（Alq3），优选为BCzVBi；所述发光层5的厚度为5-40nm，优选厚度为30nm；
所述电子传输层6的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉（Bphen）、1,2,4-三唑衍生物（如TAZ）或N-芳基苯并咪唑（TPBI），优选为TAZ；所述电子传输层6的厚度为40-80nm，优选厚度为45nm；
所述阴极层7的材质为金属银（Ag）、铝（Al）、铂（Pt）或金（Au），优选为Al；所述阴极层7的厚度为80-250nm，优选厚度为100nm。
本发明提供的有机电致发光器件，散射层包括四氯化钛薄膜层和锐钛型二氧化钛薄膜层，四氯化钛材质的薄膜层中，钛离子可以锚定在阳极基底的阳极层表面，增加导电性的同时可使阳极基底与散射层之间连接更紧密，锐钛型二氧化钛材质的薄膜层，其比表面积较大，对光具有强烈的散射，可以提高出光效率；同时，四氯化钛薄膜层和锐钛型二氧化钛薄膜层都具有钛元素，这样可以大大提高层间的相容性和结合力，避免杂质产生。
上述有机电致发光器件的制备方法，包括如下步骤：
S1、清洗阳极基底，即：先将阳极基底进行光刻处理，剪裁成所需要的大小，依次用洗洁精，去离子水，丙酮，乙醇，异丙醇各超声清洗15min，去除阳极基底表面的有机污染物；
S2、制备散射层：
首先，将清洗干净的阳极基底置于异丙醇中浸泡12小时；接着，取出浸泡过的阳极基底置于摩尔浓度为20~60mM的四氯化钛水溶液中浸泡20~60分钟；随后，取出浸泡过的阳极基底，并用依次用水和乙醇清洗，干燥后置于400~600℃下煅烧处理20~40分钟；
其次，将二氧化钛颗粒加入溶剂中，配置成质量浓度为20-60%的二氧化钛溶液，随后往二氧化钛溶液中依次添加1~10ml的乙酰丙酮（起分散剂的作用，防止配制过程中二氧化钛发生团聚）和2~5ml的曲拉通乳化剂，搅拌，得到混合溶液；将混合溶液刮涂在煅烧处理后的阳极基底表面，烘干后再次置于400~600℃下煅烧处理20~40分钟，然后冷却至室温，阳极基底表面制得四氯化钛薄膜层和二氧化钛薄膜层层叠结构的散射层，二氧化钛薄膜层中的二氧化钛为锐钛矿二氧化钛；
S3、将步骤S2制得的含散射层的阳极基底置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述散射层表面依次层叠蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极层；
上述工艺结束后，制得所述有机电致发光器件。
上述有机电致发光器件的制备方法的步骤S2中：
阳极基底置于四氯化钛水溶液中浸泡时，四氯化钛水溶液的温度稳定在50~100℃范围；
所述氧化锌颗粒的粒径为20~200nm；
二氧化钛溶液中，所述溶剂为水、乙醇或正丁醇；
所述煅烧处理是在马弗炉里进行的。
上述步骤S2中，二氧化钛刮涂在阳极基底的导电阳极层所对应的表面。
下面结合附图，对本发明的较佳实施例作进一步详细说明。
以下各实施例和对比例中，制备与测试所用的仪器为：高真空镀膜设备（沈阳科学仪器研制中心有限公司，压强<1×10-3Pa）、电流-电压测试仪（美国Keithly公司，型号：2602）、电致发光光谱测试仪（美国photo research公司，型号：PR650）以及屏幕亮度计（北京师范大学，型号：ST-86LA）。
实施例1
1、先将ITO玻璃进行光刻处理，剪裁成所需要的大小，依次用洗洁精，去离子水，丙酮，乙醇，异丙醇各超声清洗15min，去除ITO玻璃表面的有机污染物；
2、制备散射层：
首先，将清洗干净的ITO玻璃置于异丙醇中浸泡12小时；接着，取出浸泡过的ITO玻璃置于摩尔浓度为40mM的TiCl4水溶液中70℃下浸泡30分钟；随后，取出浸泡过的ITO玻璃，并用依次用水和乙醇清洗，干燥后置于马弗炉里450℃下煅烧处理30分钟；
其次，将粒径为20nm的TiO2颗粒加入水中，配置成质量浓度为40%的TiO2溶液，随后往TiO2溶液中依次添加5ml的乙酰丙酮和3ml的曲拉通乳化剂，搅拌，得到混合溶液；将混合溶液刮涂在煅烧处理后的ITO玻璃表面，多次刮涂，并控制最后得到的TiO2薄膜层的厚度为12μm；烘干后再次置于马弗炉里450℃下煅烧处理30分钟，然后冷却至室温，ITO玻璃表面制得TiCl4薄膜层和TiO2薄膜层层叠结构的散射层，表示为TiCl4/TiO2，其中，TiO2薄膜层中的TiO2为锐钛矿TiO2；
3、将步骤2制得的含散射层的ITO玻璃置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述散射层表面依次层叠蒸镀以下功能层：
空穴注入层：材料为WO3，厚度为50nm；
空穴传输层：材料为TCTA，厚度为30nm；
发光层：所选材料为BCzVBi，厚度为30nm；
电子传输层：材料为TAZ，厚度为45nm；
阴极层：材料为Al，厚度为100nm；
上述工艺步骤完成后，得到所需要的有机电致发光器件，其结构为：玻璃/ITO/(TiCl4/TiO2)/WO3/TCTA/BCzVBi/TAZ/Al。
实施例2
1、先将AZO玻璃进行光刻处理，剪裁成所需要的大小，依次用洗洁精，去离子水，丙酮，乙醇，异丙醇各超声清洗15min，去除AZO玻璃表面的有机污染物；
2、制备散射层：
首先，将清洗干净的AZO玻璃置于异丙醇中浸泡12小时；接着，取出浸泡过的AZO玻璃置于摩尔浓度为20mM的TiCl4水溶液中100℃下浸泡20分钟；随后，取出浸泡过的AZO玻璃，并用依次用水和乙醇清洗，干燥后置于马弗炉里600℃下煅烧处理20分钟；
其次，将粒径为200nm的TiO2颗粒加入水中，配置成质量浓度为20%的TiO2溶液，随后往TiO2溶液中依次添加1ml的乙酰丙酮和5ml的曲拉通乳化剂，搅拌，得到混合溶液；将混合溶液刮涂在煅烧处理后的AZO玻璃表面，多次刮涂，并控制最后得到的TiO2薄膜层的厚度为15μm；烘干后再次置于马弗炉里600℃下煅烧处理20分钟，然后冷却至室温，AZO玻璃表面制得TiCl4薄膜层和TiO2薄膜层层叠结构的散射层，表示为TiCl4/TiO2，其中，TiO2薄膜层中的TiO2为锐钛矿TiO2；
3、将步骤2制得的含散射层的AZO玻璃置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述散射层表面依次层叠蒸镀以下功能层：
空穴注入层：材料为MoO3，厚度为20nm；
空穴传输层：材料为NPB，厚度为60nm；
发光层：所选材料为Alq3，厚度为40nm；
电子传输层：材料为TPBi，厚度为75nm；
阴极层：材料为Pt，厚度为80nm；
上述工艺步骤完成后，得到所需要的有机电致发光器件，其结构为：玻璃/AZO/(TiCl4/TiO2)/MoO3/NPB/Alq3/TPBi/Pt。
实施例3
1、先将IZO玻璃进行光刻处理，剪裁成所需要的大小，依次用洗洁精，去离子水，丙酮，乙醇，异丙醇各超声清洗15min，去除IZO玻璃表面的有机污染物；
2、制备散射层：
首先，将清洗干净的IZO玻璃置于异丙醇中浸泡12小时；接着，取出浸泡过的IZO玻璃置于摩尔浓度为60mM的TiCl4水溶液中80℃下浸泡45分钟；随后，取出浸泡过的IZO玻璃，并用依次用水和乙醇清洗，干燥后置于马弗炉里500℃下煅烧处理25分钟；
其次，将粒径为100nm的TiO2颗粒加入水中，配置成质量浓度为60%的TiO2溶液，随后往TiO2溶液中依次添加10ml的乙酰丙酮和2ml的曲拉通乳化剂，搅拌，得到混合溶液；将混合溶液刮涂在煅烧处理后的IZO玻璃表面，多次刮涂，并控制最后得到的TiO2薄膜层的厚度为2μm；烘干后再次置于马弗炉里500℃下煅烧处理25分钟，然后冷却至室温，IZO玻璃表面制得TiCl4薄膜层和TiO2薄膜层层叠结构的散射层，表示为TiCl4/TiO2，其中，TiO2薄膜层中的TiO2为锐钛矿TiO2；
3、将步骤2制得的含散射层的IZO玻璃置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述散射层表面依次层叠蒸镀以下功能层：
空穴注入层：材料为V2O5，厚度为45nm；
空穴传输层：材料为TAPC，厚度为45nm；
发光层：所选材料为ADN，厚度为5nm；
电子传输层：材料为Bphen，厚度为60nm；
阴极层：材料为Ag，厚度为180nm；
上述工艺步骤完成后，得到所需要的有机电致发光器件，其结构为：玻璃/IZO/(TiCl4/TiO2)/V2O5/TAPC/ADN/Bphen/Ag。
实施例4
1、先将ITO玻璃进行光刻处理，剪裁成所需要的大小，依次用洗洁精，去离子水，丙酮，乙醇，异丙醇各超声清洗15min，去除ITO玻璃表面的有机污染物；
2、制备散射层：
首先，将清洗干净的ITO玻璃置于异丙醇中浸泡12小时；接着，取出浸泡过的ITO玻璃置于摩尔浓度为30mM的TiCl4水溶液中50℃下浸泡60分钟；随后，取出浸泡过的ITO玻璃，并用依次用水和乙醇清洗，干燥后置于马弗炉里550℃下煅烧处理25分钟；
其次，将粒径为20nm的TiO2颗粒加入水中，配置成质量浓度为30%的TiO2溶液，随后往TiO2溶液中依次添加6ml的乙酰丙酮和2.5ml的曲拉通乳化剂，搅拌，得到混合溶液；将混合溶液刮涂在煅烧处理后的ITO玻璃表面，多次刮涂，并控制最后得到的TiO2薄膜层的厚度为8μm；烘干后再次置于马弗炉里550℃下煅烧处理25分钟，然后冷却至室温，ITO玻璃表面制得TiCl4薄膜层和TiO2薄膜层层叠结构的散射层，表示为TiCl4/TiO2，其中，TiO2薄膜层中的TiO2为锐钛矿TiO2；
3、将步骤2制得的含散射层的ITO玻璃置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述散射层表面依次层叠蒸镀以下功能层：
空穴注入层：材料为MoO3，厚度为80nm；
空穴传输层：材料为TCTA，厚度为60nm；
发光层：所选材料为ADN，厚度为8nm；
电子传输层：材料为TAZ，厚度为35nm；
阴极层：材料为Au，厚度为250nm；
上述工艺步骤完成后，得到所需要的有机电致发光器件，其结构为：玻璃/ITO/(TiCl4/TiO2)/MoO3/TCTA/ADN/TAZ/Au。
对比例1
1、先将玻璃基底进行光刻处理，剪裁成所需要的大小，依次用洗洁精，去离子水，丙酮，乙醇，异丙醇各超声清洗15min，去除玻璃基底表面的有机污染物；
2、制备阳极层：
通过磁控溅射设备，在洗净干燥的玻璃表面制备一层阳极层，材质为ITO，获得ITO玻璃。
3、将ITO玻璃置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述阳极层表面依次层叠蒸镀以下功能层：
空穴注入层：材料为WO3，厚度为50nm；
空穴传输层：材料为TCTA，厚度为30nm；
发光层：所选材料为BCzVBi，厚度为30nm；
电子传输层：材料为TAZ，厚度为45nm；
阴极层：材料为Al，厚度为100nm；
上述工艺步骤完成后，制得有机电致发光器件：玻璃/ITO/WO3/TCTA/BCzVBi/TAZ/Al。
图2为实施例1与对比例1制得的有机电致发光器的亮度与流明效率关系图。
从图2上可以看到，在不同亮度下，实施例1制得的有机电致发光器件的流明效率都比对比例1制得的有机电致发光器件的流明效率要大，最大的流明效率为34.1lm/W，而对比例1的仅为21.3lm/W，而且对比例1的流明效率随着亮度的增大而快速下降；这说明，四氯化钛薄膜层和锐钛型二氧化钛薄膜层层叠结构的散射层，四氯化钛薄膜层中的钛离子可以锚定在ITO玻璃的ITO导电阳极层表面，增加了导电性，而TiO2材质的薄膜层，其比表面积较大，对光具有强烈的散射，可以提高出光效率。
应当理解的是，上述针对本发明较佳实施例的表述较为详细，并不能因此而认为是对本发明专利保护范围的限制，本发明的专利保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种有机电致发光器件，其特征在于，包括依次层叠的阳极基底、散射层、空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极层；所述散射层包括四氯化钛薄膜层以及层叠在该四氯化钛薄膜层表面的二氧化钛薄膜层，且四氯化钛薄膜层层叠在阳极基底表面；所述二氧化钛薄膜层中的二氧化钛为锐钛矿二氧化钛。
2.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述阳极基底为铟锡氧化物玻璃、铝锌氧化物玻璃或铟锌氧化物玻璃。
3.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述空穴注入层的材质为三氧化钼、三氧化钨、或五氧化二钒。
4.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述空穴传输层的材质为1，1-二[4-[N，N′-二(p-甲苯基)氨基]苯基]环己烷、4,4',4″-三(咔唑-9-基)三苯胺或N，N’-（1-萘基）-N，N’-二苯基-4,4’-联苯二胺。
5.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述发光层的材质为4-（二腈甲基）-2-丁基-6-（1,1,7,7-四甲基久洛呢啶-9-乙烯基）-4H-吡喃、9,10-二-β-亚萘基蒽、4,4'-双(9-乙基-3-咔唑乙烯基)-1,1'-联苯或8-羟基喹啉铝。
6.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述电子传输层的材质为4,7-二苯基-1,10-菲罗啉、1,2,4-三唑衍生物或N-芳基苯并咪唑。
7.根据权利要求1所述的有机电致发光器件，其特征在于，所述阴极层的材质为金属银、铝、铂或金。
8.如权利要求1所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、清洗阳极基底；
S2、制备散射层：
首先，将清洗干净的阳极基底置于异丙醇中浸泡12小时；接着，取出浸泡过的阳极基底置于摩尔浓度为20~60mM的四氯化钛水溶液中浸泡20~60分钟；随后，取出浸泡过的阳极基底，并用依次用水和乙醇清洗，干燥后置于400~600℃下煅烧处理20~40分钟；
其次，将二氧化钛颗粒加入溶剂中，配置成质量浓度为20~60%的二氧化钛溶液，随后往二氧化钛溶液中依次添加1~10ml的乙酰丙酮和2~5ml的曲拉通乳化剂，搅拌，得到混合溶液；将混合溶液刮涂在煅烧处理后的阳极基底表面，烘干后再次置于400~600℃下煅烧处理20~40分钟，然后冷却至室温，阳极基底表面制得四氯化钛薄膜层和二氧化钛薄膜层层叠结构的散射层，且四氯化钛薄膜层层叠在阳极基底表面，所述二氧化钛薄膜层中的二氧化钛为锐钛矿二氧化钛；
S3、将步骤S2制得的含散射层的阳极基底置入真空蒸镀设备的反应室中，在所述散射层表面依次层叠蒸镀空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层和阴极层；
上述工艺结束后，制得所述有机电致发光器件。
9.根据权利要求7所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，步骤S2中，阳极基底置于四氯化钛水溶液中浸泡时，四氯化钛水溶液的温度稳定在50~100℃范围。
10.根据权利要求7所述的有机电致发光器件的制备方法，其特征在于，步骤S2中，所述氧化锌颗粒的粒径为20~200nm；二氧化钛溶液中，所述溶剂为水、乙醇或正丁醇。
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CN106206980A (zh) * 2016-07-15 2016-12-07 深圳市华星光电技术有限公司 一种提高光提取效率的oled器件其制备方法
CN108550715A (zh) * 2018-05-04 2018-09-18 武汉工程大学 一种用于处理氧化铟锡电极表面的简单高效的方法

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