CN103575429B - 振动片、电子装置以及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种振动片、电子装置以及电子设备，所述振动片能够防止或抑制断线、特别是制造时的断线。振动片（5）包括：一对基部（311、312），其以分隔的方式而配置；一对振动臂（313、314），其被配置在一对基部（311、312）之间。此外，振动臂（313、314）分别具有位于延伸方向上的两端部处的一对端部区域（A1、A2）、和位于端部区域（A1、A2）之间的中央部区域（A3）这三个振动区域。在各个区域（A1～A3）中分别配置有从振动臂（313、314）的侧面跃上至主面上的电极片（611、621），并且被配置在端部区域（A1、A2）内的电极片的、位于主面上的部分的平均宽度（W1），大于被配置在中央部区域（A3）内的电极片的、位于主面上的部分的平均宽度（W2）。

Description

振动片、电子装置以及电子设备

技术领域

本发明涉及一种振动片、电子装置以及电子设备。

背景技术

一直以来，作为压力传感器，已知一种将双音叉型的振动片接合在隔膜上的结构。在这种结构的压力传感器中，通过所施加的压力，振动片和隔膜一起发生变形，并通过对与该变形的程度相对应地发生变化的振动片的共振频率进行测定，从而对被施加在压力传感器上的压力的大小进行检测（例如，参照专利文献1）。

振动片具有一对基部、和对该一对基部进行连结的一对振动臂，在各个振动臂上配置有第一电极片和第二电极片。第一电极片和第二电极片被形成为，在各个振动臂的延伸方向和周向中的每一个方向上交替分布，并且被配置为，在一个振动臂和另一个振动臂上配置相反。已知通过采用这种配置，从而使振动臂的振动效率得到提高的情况。

然而，在专利文献1的振动片中，被配置在位于各个振动臂的两端部处的振动区域（端部区域）内的侧面上的电极片（在一个振动臂上为第一电极片，在另一个振动臂上为第二电极片）的、跃上至主面上的部分的宽度，和被配置在位于振动臂的中央部处的振动区域（中央部区域）内的侧面上的电极片（在一个振动臂上为第二电极片，在另一个振动臂上为第一电极片）的、跃上至主面上的部分的宽度分别被构成为，较为狭窄且大致相等。当采用这种结构时，在制造时（第一、第二电极片的图案形成工序），被配置在端部区域内的侧面上的电极片在振动臂的延伸方向上被分割，从而以此为原因而产生断线。

具体地进行说明，电极片的制造包括：使用光刻法而在被形成于振动臂的表面上的金属膜上形成抗蚀剂图案的工序、和使用蚀刻法而对从抗蚀剂图案中露出的金属膜进行去除的工序。抗蚀剂图案是通过如下方式而形成的，即，向涂敷于金属膜上的正性光刻胶膜照射曝光用光，并通过显影而对照射了曝光用光的部分的光刻胶膜进行去除。虽然也需要对振动臂的侧面（特别是，将各个振动臂的内侧面彼此连接的基部的侧面）实施曝光用光的照射，但此时，被基部的侧面所反射的曝光用光被照射到各个振动臂的端部区域的侧面、主面的与侧面之间的边界部附近这种原本不会照射曝光用光的位置，其结果为，形成一部分不慎发生了缺损的抗蚀剂图案。当使用这种抗蚀剂图案来实施蚀刻时，形成于端部区域的侧面上的电极片将在振动臂的延伸方向上被分割，这种情况将会导致断线。

专利文献1：日本特开2007－171123号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够防止或抑制断线、特别是制造时的断线的振动片、具备该振动片的电子装置及电子设备。

本发明为解决上述问题的至少一部分而完成的，其能够作为以下的方式或应用例而实现。

应用例1

本发明的振动片的特征在于，具有：两个基部，其以分隔的方式而配置；振动臂，其位于两个所述基部之间，且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置，并对两个所述基部进行连结，所述振动臂具有振动区域，所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域，在一对所述端部区域和所述中央部区域内，分别配置有从上述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片，并且所述端部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度，大于所述中央部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度。

通过设定为这种结构，从而即使例如在电极片的制造时，端部区域的电极片的、被形成于振动臂的侧面上的部分不慎被去除，也由于通过跃上至主面上的端部跃上部而维持了导通，因此能够防止不慎的断线。

应用例2

在本发明的振动片中，优选为，所述端部区域和所述中央部区域内的主面上的所述电极片的宽度沿着所述振动臂的延伸方向为固定。

通过设定为这种结构，从而防止制造工序中的不慎的断线，由此使振动臂的振动较为稳定。

应用例3

在本发明的振动片中，优选为，当将所述端部区域内的主面上的所述电极片的宽度的平均宽度设为W，并将所述振动臂在所述端部区域内的平均宽度设为W’时，满足如下关系，即，0＜W≤W’/6。

通过设定为这种结构，从而能够将振动臂的振动效率维持得足够高，由此能防止制造时的不慎的断线。

应用例4

在本发明的振动片中，优选为，所述主面上的所述电极片的平均宽度在7.5μm以上。

通过设定为这种结构，从而能够更加可靠地防止制造时的不慎的断线。

应用例5

在本发明的振动片中，优选为，所述振动区域通过一对所述端部区域和所述中央部区域这三个区域而构成。

由此，能够更加有效地使振动臂进行振动。

应用例6

本发明的电子装置的特征在于，具备如下的振动片，所述振动片具有：两个基部，其以分隔的方式而配置；振动臂，其位于所述两个基部之间，且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置，并对两个所述基部进行连结，所述振动臂具有振动区域，所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域，在一对所述端部区域和所述中央部区域内，分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片，并且所述端部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度，大于所述中央部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度。

由此，能够获得可靠性较高的电子装置。

应用例7

本发明的电子装置优选为压力检测元件，所述压力检测元件包括：隔膜层，其具有隔膜；所述振动片，其被固定在所述隔膜上。

由此，电子装置成为可靠性较高的压力检测元件。

应用例8

本发明的电子设备的特征在于，具备如下的振动片，所述振动片具有：两个基部，其以分隔的方式而配置；振动臂，其位于两个所述基部之间，且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置，并对两个所述基部进行连结，所述振动臂具有振动区域，所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域，在一对所述端部区域和所述中央部区域内，分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片，并且所述端部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度，大于所述中央部区域内的所述主面上的所述电极片的平均宽度。

由此，能够获得可靠性较高的电子设备。

附图说明

图1为表示本发明的第一实施方式所涉及的压力传感器的立体图。

图2为图1所示的压力传感器的分解立体图。

图3为图1所示的压力传感器所具备的振动片的平面图，图3（a）为俯视图，图3（b）为下表面的透视图。

图4（a）为沿图3中的A-A线的剖视图，图4（b）为沿图3中的B-B线的剖视图，图4（c）为沿图3中的C-C线的剖视图。

图5为图3所示的振动片的局部放大俯视图。

图6为对图1所示的压力传感器的动作进行说明的剖视图。

图7为用于对压力传感器的制造方法进行说明的立体图。

图8为用于对压力传感器的制造方法进行说明的立体图。

图9为用于对压力传感器的制造方法进行说明的立体图。

图10为表示应用了具备本发明的电子装置的电子设备的、便携式（或笔记本式）的个人计算机的结构的立体图。

图11为表示应用了具备本发明的电子装置的电子设备的、移动电话（也包含PHS）的结构的立体图。

图12为表示应用了具备本发明的电子装置的电子设备的、数码照相机的结构的立体图。

图13为表示应用了具备本发明的电子装置的电子设备的、移动体（汽车）的结构的立体图。

具体实施方式

以下，根据附图所示的实施方式对本发明的振动片、电子装置以及电子设备进行详细说明。

第一实施方式

图1为，表示本发明的第一实施方式所涉及的压力传感器的立体图，图2为，图1所示的压力传感器的分解立体图，图3为，图1所示的压力传感器所具备的振动片的平面图，图3（a）为俯视图，图3（b）为下表面的透视图，图4（a）为，沿图3中的A-A线的剖视图，图4（b）为，沿图3中的B-B线的剖视图，图4（c）为，沿图3中的C-C线的剖视图，图5为，图3所示的振动片的局部放大俯视图，图6为，对图1所示的压力传感器的动作进行说明的剖视图，图7、图8以及图9为，用于对压力传感器的制造方法进行说明的立体图。另外，在以下的说明中，将图1中的上侧称为“上”，下侧称为“下”。对于其他图而言，也与之相对应地进行说明。此外，在以下，如图1所示，将相互正交的三个轴设定为X轴、Y轴以及Z轴，并将Z轴设为与压力传感器的厚度方向相一致的轴。

如图1及图2所示，压力传感器1具有隔膜层2、嵌入有振动片（本发明的振动片）5以作为振动体31的振动体层3、和基座层4，并以层叠这三个层2、3、4的方式而构成。

优选为，隔膜层2、振动体层3以及基座层4分别由水晶构成。如此，由于利用相同的材料来构成隔膜层2、振动体层3以及基座层4，从而能够抑制因线膨胀率的不同而产生的、振动片5的非预期的翘曲或挠曲，进而能够提高压力传感器1的压力检测精度。特别是，由于利用水晶来构成振动体层3，从而成为具有优异的温度特性、振动特性的压力传感器1。

隔膜层2、振动体层3以及基座层4的外形形状分别可以使用例如光刻法和干式蚀刻或湿式蚀刻等各种蚀刻方法，而由一张水晶平板来形成。

隔膜层2、振动体层3以及基座层4利用低融点玻璃而被接合在一起。此处，作为低融点玻璃，虽然并不被特别限定，但优选使用线膨胀率与水晶接近的钒类的低融点玻璃。由此，能够抑制因各个层2、3、4与低融点玻璃之间的线膨胀率的不同而产生的、振动片5的非预期的翘曲或挠曲。

此外，优选在低融点玻璃中含有颗粒状的隔离物。由于含有隔离物，从而能够更加有效地抑制因各个层2、3、4与低融点玻璃之间的线膨胀率的不同而产生的、振动片5的非预期的翘曲或挠曲。另外，隔膜层2、振动体层3以及基座层4之间的接合也可以使用各种粘接剂或Au-Au等金属-金属接合，以代替低熔点玻璃。

隔膜层

隔膜层2具有薄壁部21和框部22，其中，所述薄壁部21通过受到来自外部的压力而发生变形，所述框部22被形成在该薄壁部21的周围。此外，隔膜层2具有一对支承部23、24，所述一对支承部23、24从薄壁部21的下表面突出，并在Y轴方向上分隔形成。在这一对支承部23、24上，经由低融点玻璃而固定有振动片5。

基座层

基座层4以隔着振动体层3而与隔膜层2对置的方式被设置。在基座层4上设置有上表面开放的凹部41。通过使该凹部41与被形成在隔膜层2上的凹部（薄壁部21）对置，从而形成空间S，在该空间S内设置有振动片5。

空间S优选为真空状态。通过将空间S设定为真空状态，从而能够降低振动片5的CI（CrystalImpedance:晶体阻抗）值，进而提高频率稳定性。另外，为了将空间S设为真空状态，可列举出如下方式，例如，在真空状态（真空环境）下对隔膜层2、振动体层3以及基座层4进行接合的方法；预先在基座层4上形成贯穿孔，在常压下将隔膜层2、振动体层3以及基座层4接合在一起之后，经由所述贯穿孔而将空间S形成为真空状态，并将填充物（AuS、AuGe等）填充至贯穿孔中从而进行密封的方法等。

振动体层

振动体层3被配置在隔膜层2和基座层4之间。该振动体层3具有：振动体31（振动片5）；框状的框部32，其被设置为包围振动体31的周围；四个连结部331、332、333、334，其对振动体31和框部32进行连结。

框部32具有在从隔膜层2侧进行观察的俯视观察时，从隔膜层2露出的露出部321，在该露出部321上以在X轴方向上分隔的方式而并排设置有后文叙述的导电衬垫63、64。

振动体31具有以在Y轴方向上相互分隔的方式而配置的两个基部311、312、和对该两个基部311、312进行连结的一对振动臂313、314。

振动臂313、314分别位于两个基部311、312之间，且以从基部311、312中的一方向另一方延伸的方式而配置。此外，振动臂313、314隔开间隔，并相互平行，且呈在Y轴方向上延伸的长条形状。另外，作为振动臂的数量，并不限定于两个，可以为一个，也可以为三个以上。

这种振动体31在基部311、312处，经由低融点玻璃而被固定在支承部23、24上。

四个连结部331～334分别呈在X轴方向上延伸的长条形状，连结部331、332对基部311和框部32进行连结，连结部333、334对基部312和框部32进行连结。另外，对于连结部的数量或延伸方向，只要能够将振动体31连结在框部32上则不被特别限定，例如，针对于各个基部311、312，可以形成有一个或三个以上的连结部。

在以上这种形状的振动体层3上形成有导体图案。导体图案具有：一对激励电极61、62，其被形成在振动体31上；一对导电衬垫63、64，其被形成在框部32的露出部321上；配线65、66，其对激励电极61、62和导电衬垫63、64进行电连接。

在这种压力传感器1中，通过振动体31和激励电极61、62而构成了振动片5，当向激励电极61、62之间施加交变电压时，振动臂313、314将反复相互接近、远离从而进行振动。特别是，如本实施方式的振动片5这种双音叉型的振动片，对牵拉、压缩应力的灵敏度较为良好，作为压敏元件的分辨率较为优异。因此，使用这种振动片5的压力传感器1能够发挥优异的压力检测能力。

一对激励电极61、62被配置为，使振动片5的振动模式以关于振动片5的中心轴Y’对称的模式而进行振动。图3（a）为，从隔膜层2侧观察振动片5时的俯视图，图3（b）为，从隔膜层2侧观察振动片5时的下表面的透视图。此外，在图4中，图示了沿图3中的A-A线的剖视图、沿B-B线的剖视图、以及沿C-C线的剖视图。

如图3及图4所示，激励电极61具有：多个电极片611，其被形成在振动臂313、314上；配线612、613，其被形成在基部311上，并且对被形成在振动臂313上的电极片611和被形成在振动臂314上的电极片611进行连接；配线614、615，其被形成在基部312上，并且对被形成在振动臂313上的电极片611和被形成在振动臂314上的电极片611进行连接。

与此相同，激励电极62具有：多个电极片621，其被形成在振动臂313、314上；配线622、623，其被形成在基部311上，并且对被形成在振动臂313上的电极片621和被形成在振动臂314上的电极片621进行连接；配线624、625，其被形成在基部312上，并且对被形成在振动臂313上的电极片621和被形成在振动臂314上的电极片621进行连接。

电极片611、621被形成为，在振动臂313、314的长度方向和周向中的每一个方向上交替分布，并且被形成为，在振动臂313和振动臂314上配置相反。

此外，电极片611、621沿着振动臂313、314的长度方向而交替形成有共计三个。因此，能够使振动臂313、314与电极片611、621的配置相对应，而沿着其长度方向（延伸方向）划分为三个振动区域。具体而言，能够将振动臂313、314划分为：第一端部区域（端部区域）A1，其包含图4（a）的剖面；第二端部区域（端部区域）A2，其包含图4（b）的剖面；中央部区域A3，其包含图4（c）的剖面，并位于第一端部区域A1和第二端部区域A2之间。

如此，由于振动臂313、314分别具有由三个区域A1～A3构成的振动区域，从而能够更高效地使振动臂313、314进行振动。因此，使作为压力传感器的灵敏度较为优异。

以下，依次对第一端部区域A1、第二端部区域A2、中央部区域A3各个区域的电极配置进行详细说明。

第一端部区域A1

在振动臂313中，于其上表面和下表面上形成有电极片621a、621b，并于两侧面上形成有电极片611a、611b。此外，电极片611a、611b分别以跨及振动臂313的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振动臂313的上表面和下表面上，于宽度方向上的中央部处形成有电极片621a、621b，于隔着该电极片621a、621b的两端部处形成有电极片611a、611b。此外，电极片621a、621b分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。此外，主面（上表面和下表面）上的电极片611a、611b（跃上部611a’、611b’）分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。

另一方面，在振动臂314中，于其上表面和下表面上形成有电极片611c、611d，并于两侧面上形成有电极片621c、621d。此外，电极片621c、621d分别以跨及振动臂314的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振动臂314的上表面和下表面上，于宽度方向上的中央部处形成有电极片611c、611d，于隔着该电极片611c、611d的两端部处形成有电极片621c、621d。此外，电极片611c、611d分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。此外，主面（上表面和下表面）上的电极片621c、621d（跃上部621c’、621d’）分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。

此外，电极片611a、611d经由被形成在基部311的下表面上的配线612而被电连接，电极片611b、611c经由被形成在基部311的上表面上的配线613而被电连接。此外，电极片621a、621c经由被形成在基部311的上表面上的配线622而被电连接，电极片621b、621d经由被形成在基部311的下表面上的配线623而被电连接。

第二端部区域A2

在振动臂313中，于其上表面和下表面上形成有电极片621e、621f，并于两侧面上形成有电极片611e、611f。此外，电极片611e、611f分别以跨及振动臂313的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振动臂313的上表面和下表面上，于宽度方向上的中央部处形成有电极片621e、621f，于隔着电极片621e、621f的两端部处形成有电极片611e、611f。此外，电极片621e、621f分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。此外，主面（上表面和下表面）上的电极片611e、611f（跃上部611e’、611f’）分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。

另一方面，在振动臂314中，于其上表面和下表面上形成有电极片611g、611h，并于两侧面上形成有电极片621g、621h。此外，电极片621g、621h分别以跨及振动臂314的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振动臂314的上表面和下表面上，于宽度方向上的中央部处形成有电极片611g、611h，于隔着电极片611g、611h的两端部处形成有电极片621g、621h。此外，电极片611g、611h分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。此外，主面（上面和下面）上的电极片621g、621h（跃上部621g’、621h’）分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。

另外，电极片611e、611g经由被形成在基部312的上表面上的配线614而被电连接，电极片611f、611h经由被形成在基部311的下表面上的配线615而被电连接。此外，电极片621e、621h经由被形成在基部311的上表面上的配线624而被电连接，电极片621f、621g经由被形成在基部311的下表面上的配线625而被电连接。

中央部区域A3

在振动臂313中，于其上表面和下表面上形成有电极片611i、611j，并于两侧面上形成有电极片621i、621j。此外，电极片621i、621j分别以跨及振动臂313的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振动臂313的上表面和下表面上，于宽度方向上的中央部处形成有电极片611i、611j，于隔着电极片611i、611j的两端部处形成有电极片621i、621j。此外，电极片611i、611j分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，且该宽度互为相等。此外，主面（上表面和下表面）上的电极片621i、621j（跃上部621i’、621j’）分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。

电极片611i在振动臂313的上表面上的第一端部区域A1与中央部区域A3之间，与电极片611a、611b电连接。此外，电极片611j在振动臂313的下表面上的第二端部区域A2和中央部区域A3之间，与电极片611e、611f电连接。此外，电极片621i、621j在振动臂313的上表面上的第二端部区域A2和中央部区域A3之间，与电极片621e电连接。

另一方面，在振动臂314中，于其上表面和下表面上形成有电极片621k、621l，并于两侧面上形成有电极片611k、611l。此外，电极片电极片611k、611l分别以跨及振动臂314的上表面和下表面的方式而形成。因此，在振动臂314的上表面和下表面上，于宽度方向上的中央部处形成有电极片621k、621l，于隔着电极片621k、621l的两端部处形成有电极片电极片611k、611l。此外，电极片621k、621l分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，并且该宽度互为相等。此外，主面（上表面和下表面）上的电极片611k、611l（跃上部611k’、611l’）分别沿着Y轴方向而具有大致固定的宽度，且该宽度互为相等。

此外，电极片621k在振动臂313的上表面上的第一端部区域A1和中央部区域A3之间，与电极片621c、621d电连接。此外，电极片621l在振动臂313的下表面上的第二端部区域A2和中央部区域A3之间，与电极片621g、621h电连接。此外，电极片611k、611l在振动臂313的上表面上的第二端部区域A2和中央部区域A3之间，与电极片611g电连接。

以上，对激励电极61、62的结构进行了详细说明。如图5所示，在振动片5中，被形成在第一端部区域A1（第二端部区域A2）内的跃上部的宽度（平均宽度）被构成为，大于被形成在中央部区域A3内的跃上部的宽度（平均宽度）。以下，代表性地对被形成在振动臂313的上表面上的跃上部611b’、621j’的宽度的不同进行说明，对于其他跃上部（例如跃上部611f’、621j’，跃上部621d’、611l’，跃上部621h’、611l’等），省略其说明。

当将跃上部611b’的宽度（平均宽度）设为W1，将跃上部621j’的宽度（平均宽度）设为W2时，W1、W2满足W1＞W2的关系。通过使W1、W2满足这种关系，从而能够防止制造时的激励电极61、62的断线。

如后文所述，在振动片5的制造工序中，包括在振动体31的表面上形成激励电极61、62的工序，在该工序中，包括使用光刻法而在被形成于振动体31的表面上的金属膜上形成抗蚀剂图案（掩膜）的工序、和使用蚀刻法而对从抗蚀剂图案中露出的金属膜进行去除的工序。

抗蚀剂图案是通过如下方式而形成的，即，向涂布在金属膜上的正性光刻胶膜照射曝光用光,并通过显影而对照射了曝光用光的部分的光刻胶膜进行去除。虽然也需要对振动体31的侧面（特别是，各个振动臂313、314的内侧面、将振动臂313、314的内侧面彼此连结的基部311、312的侧面）实施曝光用光的照射，但此时，被基部311、312的侧面所反射的曝光用光被照射到各个振动臂313、314的端部区域A1、A2的侧面、主面的与侧面的边界部附近这种原本不会照射曝光用光的区域，其结果为，形成有一部分不慎发生了缺损的抗蚀剂图案。当使用这种抗蚀剂图案进行蚀刻时，被形成在端部区域A1、A2的侧面上的电极片611、621在振动臂313、314的延伸方向上将被分割，这有可能导致断线。

然而，通过满足W1＞W2的关系，从而即使例如位于振动臂313、314的端部区域A1、A2的侧面上的金属膜（电极片611、621）的一部分不慎被去除，也由于通过被形成在其上表面和下表面上的跃上部611’、621’而确保了电连接，因此防止了激励电极61、62的断线。

另外，作为W1的值，虽然未被特别限定，但优选在7.5μm以上。通过设定为这种大小，从而能够更加显著地发挥上述效果。此处，虽然为了提高上述效果，而优选进一步增大W1，但如果增大W1，则必须与之相对应地减少与跃上部611’并排形成的电极片621a的宽度。然而，当减少电极片621a的宽度时，振动臂313的振动特性将降低。因此，从抑制振动特性的降低的观点出发，优选将W1设定在振动臂313的宽度的1/6以下的程度。即，当将振动臂313的宽度（第一端部区域的平均宽度）设定为W3时，优选为满足0＜W1≤W3/6的关系，并且更优选为满足7.5＜W1≤W3/6的关系。根据同样的观点，对于被配置在振动臂的上表面及下表面上的电极而言，优选为端部区域＜中央部区域，并且优选为端部区域的电极片611（c、d、g、h）、621（a、b、e、f）的宽度在振动臂的一半以上。

此外，通过使W1、W2满足W1＞W2的关系，从而形成振动效率优异的振动片5。在第一端部区域A1、第二端部区域A2以及中央部区域A3中，最有助于振动臂313的振动的区域为中央部区域A3。因此，优选为，在振动臂313的中央部区域A3中，尤其要尽可能较大地形成被形成于上表面和下表面上的电极片611i、611j的宽度，以提高电场效率。只要满足W1＞W2的关系，则在中央部区域A3中，便能够减小跃上部621j的宽度，并与之相对应地增大电极片611i、611j的宽度。因此，形成振动效率优异的振动片5。

另外，虽然为了进一步提高上述效果，而优选设定为W2＝0，但在考虑到制造时的电极片621的图案形成精度（通过光刻法形成掩膜的形成精度）时，优选将W2设定为2μm左右。当采用这种值时，将能够有效地防止随着制造时的掩膜的偏移而产生的激励电极61、62的断线，且能够充分地发挥上述效果。

此外，在振动片5中，于各个区域A1、A2、A3中，被形成在振动臂313、314的上表面和下表面上的各个电极片611、612的宽度沿着Y轴方向相等，并且，跃上部611’、621’的宽度沿着Y轴方向相等，而且，在振动臂313、314的上表面和下表面上，沿着宽度方向邻接的电极片之间的分隔距离（由图5中的D所表示的距离）沿着Y轴方向相等。由于通过采用这种电极配置，能够使均匀的电场作用在振动臂313、314的长度方向上的整个区域内，因此振动臂313、314的振动较为稳定。此外，由于能够防止电场向预定位置的集中，因此形成了即使对于强激励也能够在强度上充分承受的激励电极61、62。

以上，对压力传感器1的结构进行了说明。这种压力传感器1以如下方式进行动作。当如图6（a）所示的压力被施加于隔膜层2上时，如图6（b）所示，薄壁部21将以使两个支承部23、24的下表面外扩的方式进行挠曲。通过该薄壁部21的挠曲，从而在振动臂313、314上施加有牵拉力。由于振动片5具有当振动臂313、314上施加有牵拉应力时振荡频率将增高的特性，因此通过对振动片5的振荡频率的变化量进行检测，并根据所检测出的振荡频率的变化量，从而能够导出被施加于压力传感器1上的压力的大小。

2.振动片的制造方法

振动片5的制造方法包括：准备振动体31的工序、和在振动体31的表面上形成激励电极61、62的工序。

首先，如图7所示，准备水晶平板，通过使用光刻法和蚀刻法（湿式蚀刻）而将该水晶平板图案形成为预定形状，从而获得振动体层3。在所获得的振动体31的侧面上显现出水晶的结晶面。

接下来，如图8所示，通过蒸镀或溅射而在振动体31的表面上形成金属膜600。虽然作为金属膜600的结构，只要能够获得激励电极61、62则并不被特别限定，但优选设定为例如由Ni（镍）、Cr（铬）等构成的基底层和由Au（金）、Ag（银）、Cu（铜）等构成的电极层层叠而成的层叠结构。根据这种结构，能够形成与振动体31的贴紧性优异并且导电性优异的激励电极61、62。接下来，在金属膜600上形成光刻胶膜（正性光刻胶膜）700。

接下来，以与金属膜600的欲去除部分（构成激励电极61、62的部分以外的部分）相对应的方式，经由掩膜而向光刻胶膜700照射曝光用光以进行曝光，并通过显影液而对曝光了的部分进行去除。由此，形成了仅在与激励电极61、62相对应的部分处形成有光刻胶膜的抗蚀剂图案。并且，通过经由该抗蚀剂图案来进行湿式蚀刻，从而对金属膜600的从抗蚀剂图案中露出的部分进行去除。通过以上操作，从而在振动体31上形成了激励电极61、62。

此处，在实施曝光时，对振动体31的侧面部分也需要照射曝光用光。特别是，由于基部311的对振动臂313的内周面彼此进行连结的侧面311’的、水晶的结晶面露出，从而并排构成了多个朝向不同方向的面。由于为了形成配线613、623而需要向侧面311’照射曝光用光，因此当如图8所示这样照射曝光用光LL时，存在曝光用光LL在侧面311’上发生反射，且反射后的曝光用光LL’被照射到振动臂313的内侧面上的可能性。由于反射后的曝光用光LL’所照射的位置为，成为电极片611（611b）的部分，因此为原本不被照射曝光用光LL的区域。如此，当在振动臂313、314内侧面的非预期的区域内照射有曝光用光LL时，例如，如图9所示，位于电极片611b的振动臂313的内侧面上的部位将不慎被去除，这将成为断线的原因。

然而，如上文所述，由于在振动片5中，被形成于第一端部区域A1内的跃上部611b’的宽度W1被构成为，大于被形成于中央部区域A3内的跃上部621j’的宽度W2，即，由于形成于第一端部区域A1内的跃上部611b’的宽度W1被确保为足够宽，因此即使产生了上述这种非预期的去除部，也能够通过跃上部611b’来充分地确保导通（能够防止断线）。另外，虽然在上述的说明中，对向侧面311’照射并发生了反射的曝光用光LL’被照射至振动臂313的内侧面上的情况进行了说明，但对于如下情况而言也是相同的，所述情况包括：向侧面311’照射并发生了反射的曝光用光LL’被照射至振动臂314的内侧面上的情况；向基部312的对振动臂313的内周面彼此进行连结的侧面照射并发生了反射的曝光用光LL’被照射至振动臂313、314的内侧面上的情况。

此外，虽然由于在实施湿式蚀刻时，蚀刻液容易滞留在电极片611、621的角部（例如图9中的81～84等）处，因此在现有技术中，存在电极片611、621从这些角部处被剥离的可能性，但在振动片5中，由于形成于第一端部区域A1内的跃上部611b’的宽度W1被确保为足够宽，因此能够有效地防止这种电极片611、621的剥离。因此，从这一观点出发也能够防止断线。

以上，对振动片5的制造方法进行了说明。

另外，如上文所述，作为W1的值，虽然未被特别限定，但优选在7.5μm以上。通过上述制造方法，分别制造各100个W1＝7.5μm的振动片5、和W1＝4μm的振动片5，并确认有无断线。其结果为，在W1＝7.5μm时，断线的振动片5为1%左右，与此相对，在W1＝4μm时，断线的振动片5为10%左右。如此，通过将W1设定在7.5μm以上，从而能够有效地发挥上述效果（断线防止的效果）。

此外，如上文所述，优选将W1设定在振动臂313、314的宽度的1/6以下的程度，更优选设定在1/10以下。对于第一、第二端部区域A1、A2的电极片611（c、d、g、h）、621（a、b、e、f）而言，也优选为将电极宽度设定在振动臂的一半以上。利用上述制造方法，分别制造各100个W1为振动臂313、314的宽度的1/6的振动片5、和W1为振动臂313、314的宽度的1/5的振动片5，并根据CI值而对振动效率进行测定。其结果为，W1为振动臂313、314的宽度的1/5的振动片5的CI值，相对于W1为振动臂313、314的宽度的1/6的振动片5的CI值而言，平均劣化了20%左右。由此可知，通过将W1设定在振动臂313、314的宽度的1/6以下的程度，从而发挥了优异的振动效率。

电子设备

接下来，根据图10～图13，对应用了本发明的电子装置的电子设备（本发明的电子设备）进行详细说明。

图10为，表示应用了具备本发明的电子装置的电子设备的便携式（或笔记本式）的个人计算机的结构的立体图。在该图中，个人计算机1100通过具备键盘1102的主体部1104、和具备显示部2000的显示单元1106而构成，显示单元1106以能够经由铰链结构部而相对于主体部1104进行转动的方式被支承。在这种个人计算机1100中，内置有用于对外部压力或操作时的手指的按压进行检测的压力传感器1。

图11为，表示应用了具备本发明的电子装置的电子设备的移动电话（也包含PHS（PersonalHandy-phoneSystem：个人移动电话系统））1200的结构的立体图。在该图中，移动电话1200具备多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，并且在操作按钮1202和听筒1204之间配置有显示部2000。在这种移动电话1200中内置有用于对外部压力或操作时的手指的按压进行检测的压力传感器1。

图12为，表示应用了具备本发明的电子装置的电子设备的数码照相机的结构的立体图。另外，在该图中，还简单地图示了与外部设备之间的连接。此处，通常的照相机通过被摄物体的光学图像而使银盐感光胶片感光，与此相对，数码照相机1300通过CCD（ChargeCoupledDevice：电荷耦合元件）等摄像元件而对被摄物体的光学图像进行光电转换，从而生成摄像信号（图像信号）。

在数码照相机1300的壳体（主体）1302的背面上设置有显示部，并且成为根据由CCD产生的摄像信号来进行显示的结构，显示部作为将被摄物体显示为电子图像的取景器而发挥功能。此外，在壳体1302的正面侧（图中背面侧）设置有包含光学镜片（摄像光学系统）及CCD等在内的受光单元1304。

在这种数码照相机1300中，当摄像者对显示在显示部上的被摄物体图像进行确认，并按下快门1306时，该时间点的CCD的摄像信号将被传送并存储于存储器1308中。此外，在该数码照相机1300中，在壳体1302的侧面设置有影像信号输出端子1312、和数据通信用的输入输出端子1314。而且，如图所示，根据需要，而在影像信号输出端子1312上连接有影像监控器1430，在数据通信用的输入输出端子1314上连接有个人计算机1440。并且，形成有如下的结构，即，通过预定的操作，从而使被储存于存储器1308中的摄像信号被输出至影像监控器1430或个人计算机1440中。在这种数码照相机1300中，内置有用于对外部压力或操作时的手指的按压进行检测的压力传感器1。

图13为，表示应用了配备本发明的电子装置的电子设备的移动体（汽车）的结构的立体图。汽车1500具有车身1501和四个车轮1502，并被构成为，通过被设置在车身1501中的未图示的发动机而使车轮1502进行旋转。在这种汽车1500中内置有压力传感器1。压力传感器1可以作为对车身1501的倾斜进行检测的倾斜计、或对车身1501的加速度进行检测的角速度传感器而使用，例如，能够根据来自压力传感器1的信号而对车身1501的姿态进行检测，并根据检测结果而对悬架的硬软进行控制、或对各个车轮1502的制动进行控制。除此之外，这种电子部件也可以在两足步行机器人或无线电控制直升飞机中进行利用。

另外，具备有本发明的电子装置的电子设备除了能够应用于图10的个人计算机（便携式个人计算机）、图11的移动电话、图12的数码照相机、图13的移动体中之外，还能够应用于如下装置中，例如，喷墨式喷出装置（例如喷墨式打印机）、膝上型个人计算机、电视机、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本（也包括带有通信功能的产品）、电子词典、台式电子计算机、电子游戏机、文字处理器、工作站、可视电话、防盗用视频监视器、电子双筒望远镜、POS（pointofsale：销售点）终端、医疗设备（例如电子体温计、血压计、血糖仪、心电图计测装置、超声波诊断装置、电子内窥镜）、鱼群探测器、各种测量设备、计量仪器类（例如，车辆、飞机、船舶的计量仪器类）、飞行模拟器等。

以上，虽然根据图示的实施方式而对本发明的振动片、电子装置以及电子设备进行了说明，但本发明并不限定于此，各个部分的结构也可以置换为具有相同功能的任意结构。

此外，虽然在上述实施方式中，对通过水晶而构成了振动体层（振动体）的结构进行了说明，但作为振动体层的构成材料，并不限定于水晶，也可以通过例如钽酸锂、铌酸锂、硼酸锂、钛酸钡等水晶之外的压电材料而构成。

此外，虽然在上述实施方式中，振动片的振动臂在长度方向上被划分为三个振动区域（第一端部区域、第二端部区域以及中央部区域），但并不限定于此，例如也可以被划分为五个区域。换言之，可以采用如下结构，即，沿着振动臂的延伸方向，中央部区域被划分为第一中央部区域、第二中央部区域以及第三中央部区域。在这种情况下，一方的电极片和另一方的电极片也在振动臂的长度方向上被交替地配置。

符号说明

1…压力传感器；2…隔膜层；21…薄壁部；22…框部；23、24…支承部；3…振动体层；31…振动体；311、312…基部；311’…侧面；313、314…振动臂；32…框部；321…露出部；331、332、333、334…连结部；4…基座部；41…凹部；5…振动片；600…金属膜；61、62…激励电极；611、611a～611l、621、621a～621l…电极片；611’、611a’、611b’、611e’、611f’、611k’、611l’、621’、621c’、621d’、621g’、621h’、621i’、621j’、621l’…跃上部；612、613、614、615、622、623、624、625…配线；63、64…导电衬垫；65、66…配线；700…光刻胶膜；81～84…角部；1100…个人计算机；1102…键盘；1104…主体部；1106…显示单元；1200…移动电话；1202…操作按钮；1204…听筒；1206…话筒；1300…数码照相机；1302…壳体；1304…受光单元；1306…快门；1308…存储器；1312…影像信号输出端子；1314…输入输出端子；1430…影像监控器；1440…个人计算机；1500…汽车；1501…车身；1502…车轮；2000…显示部；A1…第一端部区域；A2…第二端部区域；A3…中央部区域；D…分隔距离；LL、LL’…曝光用光；W1、W2、W3…宽度。

Claims (8)

1.一种振动片，其特征在于，具有：

两个基部，其以分隔的方式而配置；

振动臂，其位于两个所述基部之间，且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置，并对两个所述基部进行连结，所述振动臂具有振动区域，所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域，

在一对所述端部区域和所述中央部区域内，分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片以及与所述从侧面跃上至主面上的电极片并排形成在所述主面上的主面上的电极片，并且所述端部区域内的所述主面上的所述从侧面跃上的电极片的平均宽度，大于所述中央部区域内的所述主面上的所述从侧面跃上的电极片的平均宽度。

2.如权利要求1所述的振动片，其特征在于，

所述端部区域和所述中央部区域内的主面上的所述电极片的宽度沿着所述振动臂的延伸方向为固定。

3.如权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

当将所述端部区域内的主面上的、所述电极片的宽度的平均宽度设为W，并将所述振动臂在所述端部区域内的平均宽度设为W’时，满足如下的关系，即，0＜W≤W’/6。

4.如权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

所述主面上的所述电极片的平均宽度在7.5μm以上。

5.如权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，

所述振动区域通过一对所述端部区域和所述中央部区域这三个区域而构成。

6.一种电子装置，其特征在于，

具备如下的振动片，

所述振动片具有：

两个基部，其以分隔的方式而配置；

振动臂，其位于两个所述基部之间，且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置，并对两个所述基部进行连结，所述振动臂具有振动区域，所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域，

在一对所述端部区域和所述中央部区域内，分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片以及与所述从侧面跃上至主面上的电极片并排形成在所述主面上的主面上的电极片，并且所述端部区域内的所述主面上的所述从侧面跃上的电极片的平均宽度，大于所述中央部区域内的所述主面上的所述从侧面跃上的电极片的平均宽度。

7.如权利要求6所述的电子装置，其中，

所述电子设备为如下的压力检测元件，

所述压力检测元件包括：

隔膜层，其具有隔膜；

所述振动片，其被固定在所述隔膜上。

8.一种电子设备，其特征在于，

具备如下的振动片，

所述振动片具有：

两个基部，其以分隔的方式而配置；

振动臂，其位于两个所述基部之间，且以从一个所述基部朝向另一个所述基部延伸的方式而配置，并对两个所述基部进行连结，所述振动臂具有振动区域，所述振动区域具备位于延伸方向上的两端部侧的一对端部区域、和位于一对所述端部区域之间的中央部区域，

在一对所述端部区域和所述中央部区域内，分别配置有从所述振动臂的侧面跃上至与所述侧面相连接的主面上的电极片以及与所述从侧面跃上至主面上的电极片并排形成在所述主面上的主面上的电极片，并且所述端部区域内的所述主面上的所述从侧面跃上的电极片的平均宽度，大于所述中央部区域内的所述主面上的所述从侧面跃上的电极片的平均宽度。