CN103542715A - 一种靶材复合烧结炉 - Google Patents

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谭宏胜
李欢
吕文强
吴敦元
李飞龙
陈泰
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Abstract

本发明公开了一种靶材复合烧结炉，主要由机械框架、耐材炉膛、承烧平台等组成。要解决的技术问题是：产品内外受热不均，炉膛开裂、塌顶、掉渣等现象，其技术要点是：机械框架主体采用A3型钢和板材焊接而成，方型双层水冷结构，顶部承压设计、中间法兰连接，液压承烧平台由液压动力单元和承烧台组成，通过液压油缸驱动承烧台上升和下降，耐材炉膛选用多层不同规格的微波专用耐材拼装而成，内部预埋陶瓷螺栓，陶瓷压板通过固定在炉膛内部的螺杆铆固压紧，硅钼棒四周吊挂布置，测温热偶从顶部伸入炉膛，微波辅助加热的多组磁控管均匀分布在炉膛顶部，本发明具有控温精度高、温度均匀、能耗低、运行可靠、操作简便等特点。

Description

一种靶材复合烧结炉
技术领域
本发明涉及用于靶材高温烧结的工业炉领域，具体是一种靶材复合烧结炉。
背景技术
靶材复合烧结炉主要适用于靶材的高温烧结工艺。靶材主要应用于电子及信息产业，不论是半导体集成电路、记录介质还是平面显示、工件表面涂装都得到广泛的应用，是一种高附加值的功能材料，随着我国电子信息产业的迅速发展，我国已逐渐成为世界上靶材的最大需求国家之一。目前，国内没有满足靶材高温烧结工艺要求的高温烧结炉。靶材的烧结对温度的敏感性要求非常高，传统的电加热炉其加热方式是由外及内，很难使产品内外同时受热均匀，而微波加热虽然可以通过分子的运动使产品受热，但它会造成产品内热而外冷，同样会造成产品内外受热不均。另外，以往在炉膛结构的设计和耐材的选择上存在着诸多隐患，往往会造成炉膛开裂、塌顶、掉渣等现象，不能满足产品的正常烧结。
发明内容
本发明一种靶材复合烧结炉所要解决的技术问题是：提供电加热辅助微波加热的一种靶材复合烧结炉，二者相互补充，有效确保了靶材烧结的均匀性，整个框架双层水冷外密封结构，耐材炉膛选用不同规格的专用耐材拼装而成，通过陶瓷压板将耐材铆固压紧，避免炉膛开裂、塌顶现象的产生。
本发明一种靶材复合烧结炉所采取的技术方案是：一种靶材复合烧结炉的机械框架为落地式外密封结构，上部用于固定耐材炉膛，下部用于固定液压承烧台，耐材炉膛顶部与法兰连接，连接处增加微波密封，液压承烧平台由液压动力单元和承烧台组成，承烧台下设计有支撑结构，液压动力单元驱动承烧台上升和下降，耐材炉膛四周吊挂布置硅钼棒，测温热偶从耐材炉膛顶部(4)伸入耐材炉膛，多组磁控管均匀分布在耐材炉膛顶部，实现微波辅助加热，炉膛侧面中心位置设置有红外测温仪，真空泵预抽真空，实现炉膛内气氛的快速置换。机械框架主体采用A3型钢和板材焊接而成，方型双层水冷结构，机械框架表面设计有挂板，挂板表面防腐处理。耐材炉膛选用多层不同规格的专用耐材、采用施压咬口方式拼装而成，耐材炉膛内部预埋陶瓷螺栓，陶瓷压板通过固定在耐材炉膛内部的螺杆铆固压紧，耐材炉膛顶部设置有不锈钢防泄漏装置。
本发明一种靶材复合烧结炉的有益效果是：框架表面设计有挂板，挂板表面防腐处理，既形成设备的整体外观又防止高温对操作人员造成的意外伤害；液压承烧平台的设置，承烧台上设计有独特的支撑结构，保证了运行的平稳性和可靠性，有效的防止承烧台在使用过程中的下沉现象；炉膛设置有效的保证了腔体的平整性、密封性和可靠性，避免了炉膛开裂、塌顶现象的产生；实现对不同温度不同产品的辅助加热，不但满足了高、精、尖试验或产品的要求，而且弥补了电加热在低温段和对于较大产品受热不均匀的不足。
附图说明
图1是本发明一种靶材复合烧结炉的炉体结构示意图。
1为机械框架，2为耐材炉膛，3为承烧平台，4为顶部，5为法兰，6为挂板，7为液压动力单元，8为承烧台，9为支撑结构，10为陶瓷螺栓，11为陶瓷压板，12为硅钼棒，13为测温热偶，14为真空泵，15为多组磁控管，16为防泄漏装置，17为红外测温仪。
具体实施方式
如图1，一种靶材复合烧结炉，主要由机械框架1、耐材炉膛2、承烧平台3等组成。其中，机械框架1为落地式外密封结构，上部用于固定耐材炉膛2，下部用于固定液压承烧平台3；机械框架1主体采用A3型钢和板材焊接而成，方型双层水冷结构，耐材炉膛2顶部4与法兰5连接，连接处增加微波密封，机械框架1表面设置有挂板6，挂板6表面防腐处理，既形成设备的整体外观又防止高温对操作人员造成的意外伤害；液压承烧平台3由液压动力单元7和承烧台8组成，通过液压驱动承烧台8上升和下降，保证了运行的平稳性和可靠性，承烧台8下设置有支撑结构9，有效的防止承烧台8在使用过程中的下沉现象；耐材炉膛2选用多层不同规格的专用耐材拼装而成，施工时采用施压咬口方式，耐材炉膛2内部预埋陶瓷螺栓10，陶瓷压板11通过固定在耐材炉膛2内部的螺杆铆固压紧，有效的保证了腔体的平整性、密封性和可靠性，避免了耐材炉膛2开裂、塌顶现象的产生；硅钼棒12四周吊挂布置，测温热偶13从耐材炉膛2顶部4伸入耐材炉膛2，真空泵14可以预抽真空，实现耐材炉膛2内气氛的快速置换；多组磁控管15均匀分布在耐材炉膛2顶部4，耐材炉膛2顶部4设置有不锈钢防泄漏装置16，耐材炉膛2侧面中心位置设置红外测温仪17，实现了对不同温度不同产品的辅助加热，满足了高、精、尖试验或产品的要求，弥补了电加热在低温段和对于较大产品受热不均匀的不足。

Claims (3)

1.一种靶材复合烧结炉，主要由机械框架(1)、耐材炉膛(2)、承烧平台(3)等组成。其特征在于：所述的机械框架(1)为落地式外密封结构，上部用于固定耐材炉膛(2)，下部用于固定液压承烧台(3)，耐材炉膛(2)顶部(4)与法兰(5)连接，连接处增加微波密封，液压承烧平台(3)由液压动力单元(7)和承烧台(8)组成，承烧台(8)下设计有支撑结构(9)，液压动力单元(7)驱动承烧台(8)上升和下降，耐材炉膛(2)四周吊挂布置硅钼棒(12)，测温热偶(13)从耐材炉膛(2)顶部(4)伸入耐材炉膛(2)，多组磁控管(15)均匀分布在耐材炉膛(2)顶部(4)，实现微波辅助加热，炉膛(2)侧面中心位置设置有红外测温仪(17)，真空泵(14)预抽真空，实现炉膛内气氛的快速置换。
2.根据权利要求1所述的一种靶材复合烧结炉，其特征在于：所述的机械框架(1)主体采用A3型钢和板材焊接而成，方型双层水冷结构，机械框架(1)表面设计有挂板(6)，挂板(6)表面防腐处理。
3.根据权利要求1所述的一种靶材复合烧结炉，其特征在于：所述的耐材炉膛(2)选用多层不同规格的专用耐材、采用施压咬口方式拼装而成，耐材炉膛(2)内部预埋陶瓷螺栓(10)，陶瓷压板(11)通过固定在耐材炉膛(2)内部的螺杆铆固压紧，耐材炉膛(2)顶部(4)设置有不锈钢防泄漏装置(16)。
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