CN103451665A - 一种触摸屏引线的加工工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及触摸屏引线加工技术领域,具体涉及一种触摸屏引线的加工工艺,它以氩气为保护气体,在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层,控制Mo底层的厚度为300-400埃,控制Al中间层的厚度为2400-2600埃,控制Mo表层的厚度为400-500埃;然后采用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,其中的硫酸对Al层起到了一定程度的钝化作用,减缓了Al层的刻蚀速度,用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,醋酸钠钠起到了缓冲剂的作用,使Al层的刻蚀速度得到控制,本发明工艺简单,只用过两次蚀刻液进行蚀刻就能使刻蚀后的Mo-Al-Mo触摸屏引线在断面处为斜坡状的结构。
Description
技术领域
本发明涉及触摸屏引线加工技术领域,具体涉及一种触摸屏引线的加工工艺。
背景技术
在触摸屏制作过程中,通常采用Mo-Al-Mo 作为边缘引线( 上下两层Mo层分别起保护Al层和增加附着力作用) 将纵横向电极与FPC 连通。制作过程中,通常先在玻璃基片上依次溅镀底层Mo层、中间Al层和表层Mo层,溅镀体系通常是以氩气为保护气体;接着对溅镀好的Mo-Al-Mo层进行刻蚀,以得到相应的Mo-Al-Mo触摸屏引线,最后在上面再溅镀ITO层。实践证明,若刻蚀后的Mo-Al-Mo 断面处为斜坡状时,即在玻璃表面上Mo-Al-Mo层的刻蚀断面处底层Mo层延伸出中间Al层,而同时Al层又延伸出表层Mo层,再在其上溅镀的ITO层就与MO-Al-Mo层在断面处充分接触,不留间隙,最终制得的器件可靠性就比较高。
但是在实际工艺过程中,由于普通蚀刻液对Al的刻蚀速率比Mo 快,这样刻蚀出来的结果是Mo凸出,Al凹进,往往是中间的Al层刻蚀的多,而底层与表层的Mo刻蚀的少,在断面处容易出现底切现象。这样的话,一方面断面凹陷处Al的边缘容易残留蚀刻液,容易对Al层进行进一步的腐蚀,降低了最终制得的器件的可靠性和缩短了其寿命;另一方面,当在刻蚀后的Mo-Al-Mo层上面镀ITO时,由于断面处存在Al层的凹陷,不能保证Al层与ITO层的充分接触而容易形成断路。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足,提供一种工艺简单、能使Mo-Al-Mo的断面处为斜坡状的触摸屏引线的加工工艺。
为了实现上述目的,本发明采用如下技术方案:一种触摸屏引线的加工工艺,它包括以下工艺步骤:
步骤A、以氩气为保护气体,在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层,控制Mo底层的厚度为300-400埃,控制Al中间层的厚度为2400-2600埃,控制Mo表层的厚度为400-500埃;
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,第一次蚀刻结束后冲洗干净;
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,第二次蚀刻结束后冲洗干净,得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
优选的,所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸50%~70%;硫酸10%~15%;硝酸5%~10%;2-溴-4-醛基噻唑1%~5%;水10%~30%。
更为优选的,磷酸50%~60%;硫酸12%~15%;硝酸5%~8%;2-溴-4-醛基噻唑1%~3%;水15%~25%。
优选的,所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硫酸98%、硝酸62%。
优选的,所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸40%~50%;硝酸5%~10%;醋酸钠10%~15%;3-噻唑-2-甲酰氯1%~5%;4-氯苯磺酸1%~5%;水10%~30%。
更为优选的,所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸45%~50%;硝酸8%~10%;醋酸钠12%~15%;3-噻唑-2-甲酰氯1%~3%;4-氯苯磺酸1%~2%;水10%~30%。
优选的,所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硝酸62%。
本发明与现有技术相比较,有益效果在于:本发明采用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,其中的硫酸对Al层起到了一定程度的钝化作用,减缓了Al层的刻蚀速度,用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,醋酸钠钠起到了缓冲剂的作用,使Al层的刻蚀速度得到控制,本发明工艺简单,只用过两次蚀刻液进行蚀刻就能使刻蚀后的Mo-Al-Mo触摸屏引线在断面处为斜坡状的结构。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步的说明。
实施例1。
一种触摸屏引线的加工工艺,它包括以下工艺步骤:
步骤A、以氩气为保护气体,在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层,控制Mo底层的厚度为300埃,控制Al中间层的厚度为2400埃,控制Mo表层的厚度为400埃;
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,第一次蚀刻结束后冲洗干净;
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,第二次蚀刻结束后冲洗干净,得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸50%;硫酸15%;硝酸10%;2-溴-4-醛基噻唑5%;水20%。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硫酸98%、硝酸62%。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸40%;硝酸5%;醋酸钠15%;3-噻唑-2-甲酰氯5%;4-氯苯磺酸5%;水30%。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硝酸62%。
将实施例1刻蚀出的引线放在扫描电镜下观测,其在断面处均为斜坡状。
实施例2。
一种触摸屏引线的加工工艺,它包括以下工艺步骤:
步骤A、以氩气为保护气体,在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层,控制Mo底层的厚度为350埃,控制Al中间层的厚度为2500埃,控制Mo表层的厚度为450埃;
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,第一次蚀刻结束后冲洗干净;
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,第二次蚀刻结束后冲洗干净,得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸60%;硫酸10%;硝酸5%;2-溴-4-醛基噻唑5%;水20%。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硫酸98%、硝酸62%。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸45%;硝酸10%;醋酸钠12%;3-噻唑-2-甲酰氯3%;4-氯苯磺酸5%;水25%。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硝酸62%。
将实施例2刻蚀出的引线放在扫描电镜下观测,其在断面处均为斜坡状。
实施例3。
一种触摸屏引线的加工工艺,它包括以下工艺步骤:
步骤A、以氩气为保护气体,在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层,控制Mo底层的厚度为400埃,控制Al中间层的厚度为2600埃,控制Mo表层的厚度为500埃;
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,第一次蚀刻结束后冲洗干净;
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,第二次蚀刻结束后冲洗干净,得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸70%;硫酸10%;硝酸5%;2-溴-4-醛基噻唑1%;水14%。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硫酸98%、硝酸62%。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸50%;硝酸10%;醋酸钠15%;3-噻唑-2-甲酰氯1%;4-氯苯磺酸1%;水23%。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硝酸62%。
将实施例3刻蚀出的引线放在扫描电镜下观测,其在断面处均为斜坡状。
实施例4。
一种触摸屏引线的加工工艺,它包括以下工艺步骤:
步骤A、以氩气为保护气体,在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层,控制Mo底层的厚度为400埃,控制Al中间层的厚度为2400埃,控制Mo表层的厚度为500埃;
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,第一次蚀刻结束后冲洗干净;
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,第二次蚀刻结束后冲洗干净,得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸55%;硫酸15%;硝酸10%;2-溴-4-醛基噻唑5%;水15%。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硫酸98%、硝酸62%。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸45%;硝酸8%;醋酸钠12%;3-噻唑-2-甲酰氯5%;4-氯苯磺酸5%;水25%。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硝酸62%。
将实施例4刻蚀出的Mo-Al-Mo触摸屏引线放在扫描电镜下观测,其在断面处为斜坡状。
最后应当说明的是,以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对本发明保护范围的限制,尽管参照较佳实施例对本发明作了详细地说明,本领域的普通技术人员应当理解,可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换,而不脱离本发明技术方案的实质和范围。
Claims (7)
1.一种触摸屏引线的加工工艺,其特征在于:它包括以下工艺步骤:
步骤A、以氩气为保护气体,在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、 Al中间层、Mo表层,控制Mo底层的厚度为300-400埃,控制Al中间层的厚度为2400-2600埃,控制Mo表层的厚度为400-500埃;
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻,第一次蚀刻结束后冲洗干净;
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻,第二次蚀刻结束后冲洗干净,得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
2.根据权利要求1 所述一种触摸屏引线的加工工艺,其特征在于:所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸50%~70%;硫酸10%~15%;硝酸5%~10%;2-溴-4-醛基噻唑1%~5%;水10%~30%。
3.根据权利要求2所述一种触摸屏引线的加工工艺,其特征在于:所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸50%~60%;硫酸12%~15%;硝酸5%~8%;2-溴-4-醛基噻唑1%~3%;水15%~25%。
4.根据权利要求2或3 所述一种触摸屏引线的加工工艺,其特征在于:所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硫酸98%、硝酸62%。
5.根据权利要求1 所述一种触摸屏引线的加工工艺,其特征在于:所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸40%~50%;硝酸5%~10%;醋酸钠10%~15%;3-噻唑-2-甲酰氯1%~5%;4-氯苯磺酸1%~5%;水10%~30%。
6.根据权利要求5所述一种触摸屏引线的加工工艺,其特征在于:所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成:磷酸45%~50%;硝酸8%~10%;醋酸钠12%~15%;3-噻唑-2-甲酰氯1%~3%;4-氯苯磺酸1%~2%;水10%~30%。
7.根据权利要求5或6所述一种触摸屏引线的加工工艺,其特征在于:所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为:磷酸86%、硝酸62%。
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