CN103451665B - 一种触摸屏引线的加工工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及触摸屏引线加工技术领域，具体涉及一种触摸屏引线的加工工艺，它以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300-400埃，控制Al中间层的厚度为2400-2600埃，控制Mo表层的厚度为400-500埃；然后采用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，其中的硫酸对Al层起到了一定程度的钝化作用，减缓了Al层的刻蚀速度，用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，醋酸钠起到了缓冲剂的作用，使Al层的刻蚀速度得到控制，本发明工艺简单，只用过两次蚀刻液进行蚀刻就能使刻蚀后的Mo-Al-Mo触摸屏引线在断面处为斜坡状的结构。
Description
技术领域
本发明涉及触摸屏引线加工技术领域，具体涉及一种触摸屏引线的加工工艺。
背景技术
在触摸屏制作过程中，通常采用Mo-Al-Mo作为边缘引线(上下两层Mo层分别起保护Al层和增加附着力作用)将纵横向电极与FPC连通。制作过程中，通常先在玻璃基片上依次溅镀底层Mo层、中间Al层和表层Mo层，溅镀体系通常是以氩气为保护气体；接着对溅镀好的Mo-Al-Mo层进行刻蚀，以得到相应的Mo-Al-Mo触摸屏引线，最后在上面再溅镀ITO层。实践证明，若刻蚀后的Mo-Al-Mo断面处为斜坡状时，即在玻璃表面上Mo-Al-Mo层的刻蚀断面处底层Mo层延伸出中间Al层，而同时Al层又延伸出表层Mo层，再在其上溅镀的ITO层就与MO-Al-Mo层在断面处充分接触，不留间隙，最终制得的器件可靠性就比较高。
但是在实际工艺过程中，由于普通蚀刻液对Al的刻蚀速率比Mo快，这样刻蚀出来的结果是Mo凸出，Al凹进，往往是中间的Al层刻蚀的多，而底层与表层的Mo刻蚀的少，在断面处容易出现底切现象。这样的话，一方面断面凹陷处Al的边缘容易残留蚀刻液，容易对Al层进行进一步的腐蚀，降低了最终制得的器件的可靠性和缩短了其寿命；另一方面，当在刻蚀后的Mo-Al-Mo层上面镀ITO时，由于断面处存在Al层的凹陷，不能保证Al层与ITO层的充分接触而容易形成断路。
发明内容
本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种工艺简单、能使Mo-Al-Mo的断面处为斜坡状的触摸屏引线的加工工艺。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：一种触摸屏引线的加工工艺，它包括以下工艺步骤：
步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300-400埃，控制Al中间层的厚度为2400-2600埃，控制Mo表层的厚度为400-500埃；
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
优选的，所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％～70％；硫酸10％～15％；硝酸5％～10％；2-溴-4-醛基噻唑1％～5％；水10％～30％。
更为优选的，磷酸50％～60％；硫酸12％～15％；硝酸5％～8％；2-溴-4-醛基噻唑1％～3％；水15％～25％。
优选的，所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。
优选的，所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸40％～50％；硝酸5％～10％；醋酸钠10％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～5％；4-氯苯磺酸1％～5％；水10％～30％。
更为优选的，所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸45％～50％；硝酸8％～10％；醋酸钠12％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～3％；4-氯苯磺酸1％～2％；水10％～30％。
优选的，所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。
本发明与现有技术相比较，有益效果在于：本发明采用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，其中的硫酸对Al层起到了一定程度的钝化作用，减缓了Al层的刻蚀速度，用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，醋酸钠钠起到了缓冲剂的作用，使Al层的刻蚀速度得到控制，本发明工艺简单，只用过两次蚀刻液进行蚀刻就能使刻蚀后的Mo-Al-Mo触摸屏引线在断面处为斜坡状的结构。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步的说明。
实施例1。
一种触摸屏引线的加工工艺，它包括以下工艺步骤：
步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300埃，控制Al中间层的厚度为2400埃，控制Mo表层的厚度为400埃；
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％；硫酸15％；硝酸10％；2-溴-4-醛基噻唑5％；水20％。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸40％；硝酸5％；醋酸钠15％；3-噻唑-2-甲酰氯5％；4-氯苯磺酸5％；水30％。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。
将实施例1刻蚀出的引线放在扫描电镜下观测，其在断面处均为斜坡状。
实施例2。
一种触摸屏引线的加工工艺，它包括以下工艺步骤：
步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为350埃，控制Al中间层的厚度为2500埃，控制Mo表层的厚度为450埃；
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸60％；硫酸10％；硝酸5％；2-溴-4-醛基噻唑5％；水20％。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸45％；硝酸10％；醋酸钠12％；3-噻唑-2-甲酰氯3％；4-氯苯磺酸5％；水25％。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。
将实施例2刻蚀出的引线放在扫描电镜下观测，其在断面处均为斜坡状。
实施例3。
一种触摸屏引线的加工工艺，它包括以下工艺步骤：
步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为400埃，控制Al中间层的厚度为2600埃，控制Mo表层的厚度为500埃；
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸70％；硫酸10％；硝酸5％；2-溴-4-醛基噻唑1％；水14％。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％；硝酸10％；醋酸钠15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％；4-氯苯磺酸1％；水23％。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。
将实施例3刻蚀出的引线放在扫描电镜下观测，其在断面处均为斜坡状。
实施例4。
一种触摸屏引线的加工工艺，它包括以下工艺步骤：
步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为400埃，控制Al中间层的厚度为2400埃，控制Mo表层的厚度为500埃；
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线。
所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸55％；硫酸15％；硝酸10％；2-溴-4-醛基噻唑5％；水15％。
所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。
所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸45％；硝酸8％；醋酸钠12％；3-噻唑-2-甲酰氯5％；4-氯苯磺酸5％；水25％。
所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。
将实施例4刻蚀出的Mo-Al-Mo触摸屏引线放在扫描电镜下观测，其在断面处为斜坡状。
最后应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细地说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。
Claims (5)
1.一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：它包括以下工艺步骤：
步骤A、以氩气为保护气体，在玻璃基板上依次溅镀Mo底层、Al中间层、Mo表层，控制Mo底层的厚度为300-400埃，控制Al中间层的厚度为2400-2600埃，控制Mo表层的厚度为400-500埃；
步骤B、用磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液进行第一次蚀刻，第一次蚀刻结束后冲洗干净；
步骤C、用磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液进行第二次蚀刻，第二次蚀刻结束后冲洗干净，得到Mo-Al-Mo触摸屏引线，
其中，所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％～70％；硫酸10％～15％；硝酸5％～10％；2-溴-4-醛基噻唑1％～5％；水10％～30％；
其中，所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸40％～50％；硝酸5％～10％；醋酸钠10％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～5％；4-氯苯磺酸1％～5％；水10％～30％。
2.根据权利要求1所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤B的磷酸-硫酸-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸50％～60％；硫酸12％～15％；硝酸5％～8％；2-溴-4-醛基噻唑1％～3％；水15％～25％。
3.根据权利要求2所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤B中磷酸、硫酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硫酸98%、硝酸62％。
4.根据权利要求1所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤C的磷酸-醋酸钠-硝酸体系蚀刻液由以下重量百分比的原料组成：磷酸45％～50％；硝酸8％～10％；醋酸钠12％～15％；3-噻唑-2-甲酰氯1％～3％；4-氯苯磺酸1％～2％；水10％～30％。
5.根据权利要求4所述一种触摸屏引线的加工工艺，其特征在于：所述步骤C中磷酸、硝酸的质量百分比浓度分别为：磷酸86％、硝酸62％。
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