JP2007220965A - 積層構造体を有する基板及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】積層構造体を有する基板10は、基板20の表面に、少なくとも金属膜31と保護膜32をこの順に形成した積層構造体を有する基板10において、金属膜31は、銀又は銀を主成分とする銀合金からなり、保護膜32は、厚さが8Å以上32Å以下であり、かつ、金属膜31及び保護膜32は、同一のエッチング液によって一括してウェットエッチングできることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1に示す積層構造体を有する基板を用いた。積層構造体を有する基板をアニール処理し、それとは別に、図6に示す方法で積層構造体を有する基板をエッチングした。基板は、無アルカリガラス(20mm×40mm)を用いた。金属膜は、APCターゲット(組成98Ag−1Pd−1Cu)を用いて、電力が200Wの及び圧力が0.1Paの条件でスパッタリング法により形成した。このとき、金属膜は、厚さが1500Åであり、組成がAPCターゲットと略同じAPC膜であった。保護膜は、ITOターゲットを用いて、電力が100W及び圧力が0.1Paの条件でスパッタリング法により形成した。このとき、保護膜は、厚さが10Åであり、組成がITOターゲットと略同じITO膜であった。保護膜の表面の50%にフォトレジストを塗布し、金属膜及び保護膜を一括してウェットエッチングした。このとき、エッチング液として関東化学(株)製のSEA−1を用いた。
保護膜のターゲットとしてIZOターゲットを用いて、表1に示した成膜条件にてIZOの保護膜を形成した。保護膜は、厚さを10Åとした。実施例1と同様に一括してウェットエッチングとアニール処理とを行い、その結果を表1に示した。
保護膜のターゲットとしてIZOターゲットを用いて、表1に示した成膜条件にてIZOの保護膜を形成した。保護膜は、厚さを30Åとした。実施例1と同様に一括してウェットエッチングとアニール処理とを行い、その結果を表1に示した。
保護膜のターゲットとしてバナジウムターゲットを用いて、表1に示した成膜条件にてバナジウムの保護膜を形成した。保護膜は、厚さを10Åとした。実施例1と同様に一括してウェットエッチングとアニール処理とを行い、その結果を表1に示した。
基板にAPC合金の金属膜のみを形成し、実施例1と同じエッチング液を用いて金属膜をウェットエッチングし、その結果を表1に示した。
保護膜のターゲットとしてITOターゲットを用いて、表1に示した成膜条件にてITOの保護膜を形成した。保護膜は、厚さを50Åとした。実施例1と同様に一括してウェットエッチングを行い、その結果を表1に示した。
保護膜のターゲットとしてスズターゲットを用いて、表1に示した成膜条件にてスズの保護膜を形成した。保護膜は、厚さを10Åとした。実施例1と同様に一括してウェットエッチングを行い、その結果を表1に示した。
保護膜のターゲットとしてアルミニウムターゲットを用いて、表1に示した成膜条件にてアルミニウムの保護膜を形成した。保護膜は、厚さを30Åとした。実施例1と同様に一括してウェットエッチングを行い、その結果を表1に示した。
保護膜のターゲットとしてアルミニウムターゲットを用いて、表1に示した成膜条件にてアルミニウムの保護膜を形成した。保護膜は、厚さを10Åとした。実施例1と同様に一括してウェットエッチングを行い、その結果を表1に示した。
20 基板
30 積層構造体
31 金属膜
31a サイドエッチング
31b エッチングサイド面
32 保護膜
33a、33b 密着膜
34 第二保護膜
50 フォトレジスト
51 光
52 フォトマスク
53 光被照射部
90 従来の厚さの保護膜を有する基板
Claims (6)
- 基板の表面に、少なくとも金属膜と保護膜をこの順に形成した積層構造体を有する基板において、
前記金属膜は、銀又は銀を主成分とする銀合金からなり、
前記保護膜は、厚さが8Å以上32Å以下であり、
かつ、前記金属膜及び前記保護膜は、同一のエッチング液によって一括してウェットエッチングできることを特徴とする積層構造体を有する基板。 - 前記保護膜は、前記金属膜及び前記保護膜を一括してウェットエッチングする平均速度が5Å/秒以上であり、かつ、前記金属膜及び前記保護膜を一括してウェットエッチングするのに要する時間が300秒以内の材料からなることを特徴とする請求項1に記載の積層構造体を有する基板。
- 前記保護膜は、透明酸化物導電体からなることを特徴とする請求項1又は2に記載の積層構造体を有する基板。
- 前記基板は、ガラス基板、金属基板、半導体基板、セラミック基板又はプラスチック基板であることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の積層構造体を有する基板。
- 基板の表面に、少なくとも金属膜と保護膜をこの順に形成した積層構造体を有する基板の製造方法において、
銀又は銀を主成分とする銀合金からなる前記金属膜を成膜する金属膜成膜工程と、
厚さが8Å以上32Å以下で、前記金属膜と共に同一のエッチング液によって一括してウェットエッチングできる前記保護膜を成膜する保護膜成膜工程と、を備えることを特徴とする積層構造体を有する基板の製造方法。 - 前記同一のエッチング液によって前記金属膜と前記保護膜とを一括してウェットエッチングし、露出面を形成するエッチング工程をさらに備えることを特徴とする請求項5に記載の積層構造体を有する基板の製造方法。
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