CN103409720B - 一种镀膜机坩埚 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种镀膜机坩埚（1），其特征在于，在所述坩埚（1）内具有导热装置（2），所述导热装置（2）包括一根或多根沿所述坩埚（1）径向设置的径向金属丝或金属条（21），以及一根或多根沿所述坩埚（1）轴向设置的轴向金属丝或金属条（22）。本发明所提供的镀膜机坩埚，新增由金属丝或金属条形成的导热装置，可以更好的传热，使放入坩埚内的有机材料受热温度均匀，达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料，提高蒸镀速率，减少开腔填料次数，提高生产效率。

Description

一种镀膜机坩埚
技术领域
本发明涉及图像显示领域，尤其涉及一种镀膜机坩埚。
背景技术
有机电致发光器件是一种自发光器件，具有电压低，视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，是新一代的显示技术。
从使用的有机电致发光材料的分子量来看，有机电致发光器件分为小分子有机电致发光器件（OLED）和高分子电致发光器件（PLED），由于分子量的不同，有机电致发光器件的制程也有很大的区别，OLED主要通过热蒸镀方式制备，PLED通过旋涂或者喷墨打印方式制备。
热蒸镀方式主要是在真空环境下（E-5Pa）加热有机材料，使升华型或者熔融型的有机材料在高温状态下气化，沉积在有薄膜场效应晶体管TFT结构或者阳极结构的基板上。目前主流的蒸镀源主要有点型蒸镀源和线型蒸镀源。点型蒸镀源的空间小，一个镀膜腔体里可以安装很多个点型蒸镀源，可以填入很多种材料，主要用在实验线和早期的量产线。由于线型蒸镀源的材料利用率和膜厚均一性要优于点型蒸镀源，近期建设的量产线大部分使用线性蒸镀源。
有机材料的蒸发温度与其裂解温度相差很小，点型蒸镀源的坩埚内部往往温差较大（上热下冷），若材料填入量较多，材料无法达到一个热平衡稳定的状态，蒸镀速率无法稳定；提高温度，使材料热稳定，往往上面的材料又有裂解的风险。若材料填入量较少，在高蒸镀速率下，坩埚上部的温度往往超过材料的裂解温度，气化的材料在经过此段区域时容易裂解。
为解决此问题，目前主要使用导热小球，在往坩埚中填入有机材料时混入导热小球，通过导热小球的传热，使材料的温度均匀。但是此种方法只对升华型的材料有很好的效果，熔融型的材料由于在高温下熔融，导热小球由于与有机材料的密度不同，会渐渐的沉积于坩埚底部，无法很好的传热。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种缩小内部温差，提高传热效率，使材料受热更均匀的镀膜机坩埚。
为了解决上述技术问题，本发明提供一种镀膜机坩埚，在坩埚内具有导热装置，导热装置包括一根或多根沿坩埚径向设置的径向金属丝或金属条，以及一根或多根沿坩埚轴向设置的轴向金属丝或金属条；径向金属丝或金属条与坩埚的主轴垂直或大致垂直，轴向金属丝或金属条与坩埚的主轴平行或大致平行；多根径向金属丝或金属条在坩埚的径向平面内形成由至少两个多边形组成的平面蜂窝状结构；平面蜂窝状结构由径向金属丝或者金属条通过编织或者焊接形成，并沿坩埚的轴向至少设置两层，多根轴向金属丝或金属条通过编织或者焊接分别连接在相邻两层平面蜂窝状结构中多边形各边对应的交点之间，形成立体蜂窝状结构；导热装置内部孔隙的体积占导热装置总体积的百分率P满足：10%<P<99%。
其中，80%<P<95%。
其中，径向金属丝或金属条和轴向金属丝或金属条中的至少一根与坩埚的内壁相接触。
其中，多边形是五边形、六边形、八边形或者不规则边长的多边形。
其中，径向金属丝或金属条和轴向金属丝或金属条的材质为金属铝、铝合金、钛合金或铜合金。
本发明所提供的镀膜机坩埚，新增由金属丝或金属条形成的导热装置，可以更好的传热，使放入坩埚内的有机材料受热温度均匀，达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料，提高蒸镀速率，减少开腔填料次数，提高生产效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例镀膜机坩埚的立体结构示意图。
图2是本发明实施例镀膜机坩埚的俯视示意图。
图3是本发明实施例镀膜机坩埚的导热装置立体结构示意图。
图4是本发明实施例镀膜机坩埚的导热装置又一立体结构示意图。
图5是本发明实施例镀膜机坩埚装有立体蜂窝状结构导热装置的示意图。
具体实施方式
下面参考附图对本发明的优选实施例进行描述。
为解决导热小球在熔融型材料里沉积的问题，请参照图1所示，本发明实施例提供一种坩埚1，在坩埚1内具有导热装置2，导热装置2包括一根或多根沿坩埚1径向设置的径向金属丝或金属条21，以及一根或多根沿坩埚1轴向设置的轴向金属丝或金属条22。具体地，径向金属丝或金属条21与坩埚1的主轴10垂直或大致垂直，轴向金属丝或金属条22与坩埚1的主轴10平行或大致平行。金属丝或者金属条的长度、与坩埚主轴10的角度根据坩埚1实际大小和实际温差确定，以确保最优化传热。由于金属丝或者金属条的导热能力明显优于有机材料，在坩埚1中加入此种导热装置2，可以使坩埚1内不同区域的有机材料受热温度均一，提升有机材料的热平衡热稳定状态，并且可以填入较多的材料，提高蒸镀速率，减少开腔填料次数，提高生产效率。径向金属丝或金属条21、轴向金属丝或金属条22中至少一根与坩埚1的内壁11相接触，以直接从坩埚1的内壁11获取热量，进一步提高传热效率。
如图2所示，作为进一步的改进，多根沿坩埚1径向设置的径向金属丝或金属条21在坩埚径向平面内形成由至少两个多边形3组成的平面蜂窝状结构4，该平面蜂窝状结构4沿坩埚轴向分层设置。如图3所示，平面蜂窝状结构4沿坩埚轴向设置为两层，分别是上层41和下层42，多根沿坩埚轴向设置的轴向金属丝或金属条22分别连接在相邻两层平面蜂窝状结构4中多边形3各边对应的交点（例如a1和a2）之间，从而形成立体蜂窝状结构。相较于图1所示的由零散的多根金属丝或者金属条构成的导热装置，立体蜂窝状结构的导热装置由于其结构规则，在坩埚1内不论是径向还是轴向的传热更加均匀，更有利于内部温差减小，同时还便于取出或放入。另外，最外围金属丝或者金属条与坩埚1的内壁11能良好的接触，以直接从坩埚1的内壁11获取热量，进一步提高传热效率。
具体地，径向金属丝或者金属条21通过编织或者焊接形成平面蜂窝状结构4。轴向金属丝或者金属条22也通过编织或者焊接连接在相邻两层平面蜂窝状结构4中多边形3对应的交点之间。多边形可以是五边形、六边形、八边形或者不规则边长的多边形。金属丝或金属条的粗细以及材质、导热装置的大小、蜂窝状结构的大小和疏密根据实际坩埚大小和实际温差确定，以确保最优化传热。通常材质有金属铝、铝合金、钛合金、铜合金等。
坩埚1越大，轴向和径向的温差越大，导热装置2中的金属丝或金属条采用导热系数较好的铝或者铝合金，具有蜂窝状结构的导热装置2（简称蜂窝状导热装置2）的网格越密，导热越好，但如果过密，所占用的体积也越多，能填充的有机材料便越少。本实施例采用孔隙率P（指蜂窝状导热装置2内部孔隙的体积占导热装置2总体积的百分率）来定义：
其中，V0表示蜂窝状导热装置2的总体积；V表示蜂窝状导热装置的绝对密实体积（即材质的体积之和）。本实施例中，10%<P<99%，优选80%<P<95%。
根据坩埚1的实际大小，蜂窝状导热装置2也相应有多种结构，例如，对于细长型结构的坩埚1，其在轴向上对导热均匀性相对较高，因此可以设置多层的立体蜂窝状导热装置2，如图4所示，具有3层由径向金属丝或金属条21组成的平面蜂窝状结构41~43，组成平面蜂窝状结构的各个六边形的交点之间通过轴向金属丝或金属条22连接，形成立体蜂窝状结构，因此在坩埚1的轴向上包括上、中、下三层平面蜂窝状结构41~43，可以对其间的有机材料更好的传热，满足了轴向上的导热均匀性。又如，对于在径向上导热均匀性较高的坩埚1，可以设置由较多多边形组成的平面蜂窝状结构，如图5所示，其在坩埚1的径向平面上形成由7个六边形组成的平面蜂窝状结构，将有利于径向的导热。当然，根据具体场合的需求，还可以综合上述情况，自行组合成最优化的导热装置，设置例如多层多蜂窝数量的导热装置2。
本发明解决了导热小球在熔融型材料里沉积的问题，新增由金属丝或金属条形成的导热装置，可以更好的传热，使有机材料的受热温度均匀，达到一个热稳定的状态。并且这种坩埚可以填入较多的材料，提高蒸镀速率，减少开腔填料次数，提高生产效率。
以上所揭露的仅为本发明较佳实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (5)

1.一种镀膜机坩埚（1），其特征在于，在所述坩埚（1）内具有导热装置（2），所述导热装置（2）包括一根或多根沿所述坩埚（1）径向设置的径向金属丝或金属条（21），以及一根或多根沿所述坩埚（1）轴向设置的轴向金属丝或金属条（22）；所述径向金属丝或金属条（21）与所述坩埚（1）的主轴（10）垂直或大致垂直，所述轴向金属丝或金属条（22）与所述坩埚（1）的主轴（10）平行或大致平行；所述多根径向金属丝或金属条（21）在所述坩埚（1）的径向平面内形成由至少两个多边形（3）组成的平面蜂窝状结构（4）；所述平面蜂窝状结构（4）由所述径向金属丝或者金属条（21）通过编织或者焊接形成，并沿所述坩埚（1）的轴向至少设置两层，多根所述轴向金属丝或金属条（22）通过编织或者焊接分别连接在相邻两层所述平面蜂窝状结构（4）中多边形（3）各边对应的交点之间，形成立体蜂窝状结构；所述导热装置（2）内部孔隙的体积占所述导热装置（2）总体积的百分率P满足：10%<P<99%。
2.根据权利要求1所述的镀膜机坩埚，其特征在于，80%<P<95%。
3.根据权利要求1或2所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述径向金属丝或金属条（21）和轴向金属丝或金属条（22）中的至少一根与所述坩埚（1）的内壁（11）相接触。
4.根据权利要求1所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述多边形（3）是五边形、六边形、八边形或者不规则边长的多边形。
5.根据权利要求4所述的镀膜机坩埚，其特征在于，所述径向金属丝或金属条（21）和轴向金属丝或金属条（22）的材质为金属铝、铝合金、钛合金或铜合金。
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