CN104928628B - 一种蒸镀坩埚 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蒸镀坩埚，属于OLED制备技术领域。蒸镀坩埚包括坩埚本体和导热部件；导热部件设置在坩埚本体内部，导热部件用于将坩埚本体上的热量直接传递到位于坩埚本体中部的蒸镀材料中。本发明通过在坩埚本体内部设置导热部件，通过导热部件将坩埚本体的热量直接传递至位于坩埚本体中部的蒸镀材料中，减小位于坩埚本体中部的蒸镀材料和靠近坩埚本体内壁的蒸镀材料的温度差异，避免位于坩埚本体中部的蒸镀材料发生剩余而结块存留在坩埚本体内，提高蒸镀材料的利用率，且保证坩埚本体内的蒸镀材料整体的蒸镀速率稳定，保证蒸镀成膜的效果，从而保证器件的性能，也保证位于坩埚本体中部的蒸镀材料的性能。

Description

一种蒸镀坩埚

技术领域

本发明涉及OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)制备技术领域，特别涉及一种蒸镀坩埚。

背景技术

在制造OLED时，使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。

目前在使用坩埚蒸镀用于制作OLED的有机材料时，先将有机材料盛放于坩埚内，坩埚外部包裹有加热丝，该加热丝在通电时可对坩埚进行加热，盛放在坩埚内的有机材料在高温下蒸发或升华为气体，气体上升并遇到位于坩埚上方的OLED基板，在OLED基板上发生凝华，从而将有机材料蒸镀到OLED基板上。

在实现本发明的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题：

由于有机材料的导热速率较慢，位于坩埚中部的有机材料由于远离坩埚内壁，其温度较低，导致其蒸发或升华的速率相对靠近坩埚内壁的有机材料较慢，长时间的蒸镀速率差异不仅会导致位于坩埚中间的有机材料出现剩余而结块留在坩埚内，使得材料利用率降低；还会导致坩埚内的有机材料整体蒸镀的速率不稳定，影响蒸镀成膜的质量，从而影响器件的性能；且位于坩埚中间的有机材料发生蒸发或升华相对靠近坩埚内壁的有机材料需要的时间更长，而长期蒸镀会影响有机材料的质量。

发明内容

为了解决现有技术的坩埚在蒸镀时会导致材料利用率低，导致坩埚内的有机材料整体蒸镀的速率不稳定，影响蒸镀成膜的质量，从而影响器件性能及长期蒸镀会影响有机材料质量的问题，本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚。所述技术方案如下：

一种蒸镀坩埚，所述蒸镀坩埚包括坩埚本体和导热部件；

所述导热部件设置在所述坩埚本体内部，所述导热部件用于将所述坩埚本体上的热量直接传递到位于所述坩埚本体中部的蒸镀材料中。

具体地，所述导热部件为导热箅子，所述导热箅子由导热体构成，且所述导热体上分布有多个通孔。

具体地，所述导热箅子平行或近似于所述坩埚本体底面，且所述坩埚本体的轴线与所述导热箅子的轴线之间的距离不超过第一预设尺寸。

进一步地，所述导热箅子的导热体按照所述导热箅子由外至内的方向由疏至密。

具体地，所述导热箅子的通孔为正方形、长方形、菱形、三角形中的一种或多种。

具体地，所述导热箅子的通孔的大小大于所述坩埚本体的防爆沸金属片的通孔的大小。

进一步地，所述蒸镀坩埚包括多层导热箅子，所述多层导热箅子相互平行或近似平行，且任意相邻两层所述导热箅子间有间隙。

具体地，所述蒸镀坩埚包括两层或三层导热箅子。

进一步地，所述蒸镀坩埚还包括导热架，所述蒸镀坩埚包括的每层导热箅子均固定在所述导热架上。

具体地，所述导热箅子为网状结构。

具体地，所述导热箅子为设有多个通孔的板体。

具体地，所述导热部件与所述坩埚本体内壁接触或者所述导热部件的边缘与所述坩埚本体内壁之间的间隔不超过第二预设尺寸。

具体地，所述导热部件为空间网状结构。

具体地，所述导热部件包括螺旋体和多个导热体，所述螺旋体沿所述坩埚本体内壁设置，所述多个导热体中的每个导热体的两端分别连接至所述螺旋体上，形成空间网状结构。

具体地，所述导热部件包括第一螺旋体、第二螺旋体和多个导热体，所述第一螺旋体和所述第二螺旋体均沿所述坩埚本体内壁设置，所述多个导热体均沿水平方向设置，且所述多个导热体中的每个导热体的一端与所述第一螺旋体连接，另一端与所述第二螺旋体连接。

进一步地，所述蒸镀坩埚还包括空心导热柱，所述空心导热柱的外形轮廓与所述坩埚本体内壁轮廓一致，所述导热部件固定在所述空心导热柱中，所述空心导热柱的外壁与所述坩埚本体的内壁接触。

进一步地，所述导热部件由导热性好、热稳定性好且耐腐蚀的材料制成。

具体地，所述导热部件的材料为钛合金、钼或钨。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

本发明通过在坩埚本体内部设置导热部件，通过导热部件将坩埚本体的热量直接传递至位于坩埚本体中部的蒸镀材料中，减小位于坩埚本体中部的蒸镀材料和靠近坩埚本体内壁的蒸镀材料的温度差异，从而缩小位于坩埚本体中部的蒸镀材料和靠近坩埚本体内壁的蒸镀材料的蒸镀速率之间的差异，避免位于坩埚本体中部的蒸镀材料发生剩余而结块存留在坩埚本体内，提高蒸镀材料的利用率，且保证坩埚本体内的蒸镀材料整体的蒸镀速率稳定，保证蒸镀成膜的效果，从而保证器件的性能，也保证位于坩埚本体中部的蒸镀材料的性能。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明一实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图；

图2是本发明又一实施例提供的蒸镀坩埚的使用状态参考图；

图3是本发明又一实施例提供的导热箅子的结构示意图；

图4是本发明又一实施例提供的导热箅子的结构示意图；

图5是本发明又一实施例提供的导热箅子的结构示意图；

图6是本发明又一实施例提供的导热架和导热箅子的装配结构示意图；

图7是本发明又一实施例提供的导热部件和空心导热柱的装配结构示意图；

图8是本发明又一实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图；

图9是本发明又一实施例提供的蒸镀坩埚的结构示意图；

图10是本发明又一实施例提供的导热部件的结构示意图。

其中：

1 坩埚本体，

2 导热部件，21 导热体，22 通孔，23 螺旋体，24 第一螺旋体，25 第二螺旋体，

3 坩埚盖，

4 防爆沸金属片，41 防爆沸金属片的通孔，

5 导热架，

6 空心导热柱，

7 有机材料，

8 电热丝，

9 玻璃基板，

A 加热区域。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

OLED是制作平面显示装置中重要的电子元器件。OLED包括玻璃基板和有机材料涂层，有机材料涂层是通过蒸镀坩埚将有机材料蒸镀到玻璃基板上形成的。

参见图1和2，本发明实施例提供了一种蒸镀坩埚，用于将有机材料7蒸镀到玻璃基板9上形成有机材料层，该蒸镀坩埚包括：坩埚本体1和导热部件2；

导热部件2设置在坩埚本体1内部，导热部件2用于将坩埚本体1上的热量直接传递到位于坩埚本体1中部的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)中。

本发明的工作原理为：

参见图2，钳锅本体1的下部为加热区域A，钳锅本体1外壁上包裹着电热丝8，在蒸镀前，将导热部件2安装在加热区域A中，再向坩埚本体1内装入有机材料7，使导热部件2埋于有机材料7中，然后安装防爆沸金属片4，并盖上坩埚盖3，在坩锅盖3的上方放置玻璃基板，然后开始蒸镀坩锅本体1中的有机材料7。

在开始蒸镀时向电热丝8通电，电热丝8将电能转化为热能对坩埚本体1进行加热，由于坩埚本体1导热性良好，电热丝8上的热量能够均匀地传递到坩埚本体1上。坩埚本体1将其热量传递给靠近其内壁的有机材料7和导热部件2，离坩锅本体1内壁较近的有机材料7受热蒸发或升华为气体并上升；导热部件2将坩锅本体1的热量传递给离坩锅本体1内壁较远的有机材料7，如位于坩锅本体1中部的有机材料7，离坩锅本体1内壁较远的有机材料7受热蒸发或升华为气体并上升。有机材料7蒸发或升华产生的气体上升时依次经由防爆沸金属片的通孔41和坩埚盖3上的通孔离开坩埚本体1并继续上升，直到碰到位于坩埚本体1上方的玻璃基板9，因玻璃基板9的温度低于坩埚本体1内的温度，有机材料7蒸发或升华产生的气体在玻璃基板9上发生凝华形成薄膜，也即形成OLED的有机涂层。

本发明通过在坩埚本体1内部设置导热部件2，通过导热部件2将坩埚本体1的热量直接传递至位于坩埚本体1中部的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)中，减小位于坩埚本体1中部的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)和靠近坩埚本体1内壁的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)的温度差异，从而缩小位于坩埚本体1中部的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)和靠近坩埚本体1内壁的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)的蒸镀速率之间的差异，避免位于坩埚本体1中部的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)发生剩余而结块存留在坩埚本体1内，提高蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)的利用率，且保证坩埚本体1内的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)整体的蒸镀速率稳定，保证蒸镀成膜的效果，从而保证器件的性能，也保证位于坩埚本体1中部的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)的性能。

其中，导热部件2与坩埚本体1内壁接触或者导热部件2的边缘与坩埚本体1内壁之间的距离不超过第二预设尺寸。如第二预设尺寸为0.5毫米，则导热部件2边缘各处任意一点与坩埚本体1内壁之间的距离均不大于0.5毫米，保证坩埚本体1上的热量能够快速传递到导热部件2上。

优选地，导热部件2与坩埚本体1内壁接触。

如图3所示，也可参见图4和图5，具体地，导热部件2为导热箅子，导热箅子由导热体21构成，且导热体21上分布有多个通孔22。

在本发明实施例中，导热部件2通过导热体21将坩埚本体1上的热量传递至位于坩埚本体1中部的有机材料7中。导热体上分布的通孔有如下两个作用，包括：当向坩埚本体1内添加有机材料7时，有机材料7经导热体21上的通孔22进入加热区域A中，并填充导热部件2下方的加热区域A；当电热丝8通电后，有机材料7受热发生蒸发或升华产生气体，该气体经导热体21上的通孔22离开加热区域A。

如图8所示，导热部件2还可以为空间网状结构。整个空间网状结构穿过坩埚本体1的中心，且与坩埚本体1内壁固定。所述空间网状结构为非平面状的网状结构，所述空间网状结构可以为由处于不同平面内的直线或曲线交叉构成的规则或不规则的空间立体网状结构；所述空间网状结构还可以为由平面网按各种方式扭转而成为非平面的网状，如所述空间网状结构可以为为由平面网按螺旋方式扭转而成的螺旋体网状结构。

如图9所示，导热部件2包括螺旋体23和多个导热体21，螺旋体23沿坩埚本体1内壁设置，多个导热体21中的每个导热体21的两端分别连接至螺旋体23上，形成空间网状结构。其中，多个导热体21中的部分导热体21经过坩埚本体1中部，且离坩埚本体1轴线最近的导热体21与坩埚本体1轴线之间的距离小于第三预设尺寸，如第三预设尺寸为0.5毫米，则离坩埚本体1轴线最近的导热体21与坩埚本体1轴线之间的距离小于0.5毫米。

在本实施例中，通过螺旋体23与坩埚本体1内壁接触，从而将坩埚本体1上的热量传递至导热体上，通过导热体21将热量传递至远离坩埚本体1内壁的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)中。整个导热部件2为一个整体，便于安装和取出，从而便于清理坩埚本体1。

如图10所示，导热部件2包括第一螺旋体24、第二螺旋体25和多个导热体21，第一螺旋体24和第二螺旋体25均沿坩埚本体1内壁设置，多个导热体21均沿水平方向设置，且多个导热体21中的每个导热体21的一端与第一螺旋体14连接，另一端与第二螺旋体15连接。

优选地，第一螺旋体24和第二螺旋体25相对坩埚本体1轴线对称设置。

在本实施例中，导热部件2的结构类似于DNA分子的双螺旋结构，通过第一螺旋体24和第二螺旋体25构成双螺旋结构的外侧，通过多个导热体21构成双螺旋结构的内侧，第一螺旋体24和第二螺旋体25沿坩埚本体1内壁设置，从而将坩埚本体1上的热量传递至多个导热体21中，多个导热体21中的每个导热体21的一端与第一螺旋体24连接，另一端与第二螺旋体25连接，从而通过多个导热体21将热量传递至远离坩埚本体1内壁的蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)中。整个导热部件2为一个整体，便于安装和取出，从而便于清理坩埚本体1。

其中，第一螺旋体24和第二螺旋体25由坩埚本体1某一横截面所在圆周上的不同位置起螺旋，第一螺旋体24和第二螺旋体25起螺旋的位置之间的距离大于1.5倍该横截面的半径。优选地，第一螺旋体24和第二螺旋体25起螺旋的位置之间的距离为坩埚本体1在该横截面的直径，第一螺旋体24和第二螺旋体25相对坩埚本体1的轴线对称设置。

如图1所示，具体地，导热箅子平行或近似平行于坩埚本体1底面，且坩埚本体1的轴线与导热箅子的轴线之间的距离不超过第一预设尺寸。

在本发明实施例中，如第一预设尺寸为1毫米，则坩埚本体1的轴线穿过导热箅子的位置在以导热箅子的中心为圆心，以1毫米为半径的圆所在的区域内，确保导热箅子边缘各处与坩埚本体1内壁之间的距离满足第二预设尺寸。当导热箅子与坩埚本体1底面平行时，导热箅子的轴线与坩埚本体1轴线共线或平行，且当导热箅子的轴线与坩埚本体1的轴线平行时，导热箅子的轴线与坩埚本体1的轴线之间的距离小于第一预设尺寸；当导热箅子与坩埚本体1底面近似平行时，导热箅子的轴线与坩埚本体1的轴线相交，导热箅子的轴线与坩埚本体1的轴线之间形成夹角，且该夹角不大于设定角度，如设定角度为5度，则导热箅子的轴线与坩埚本体1的轴线之间的夹角可以为2度、3度或5度。因电热丝8缠绕在坩埚本体1外部，当导热箅子与坩埚本体1底面平行或近似平行时，在沿坩埚本体1径向由外至内的方向上，坩锅本体1内的有机材料7能够均匀地获得导热部件2传递的热量，从而避免有机材料7局部的热量过高而发生爆沸，避免小块的有机材料7发生爆喷而封堵防爆沸金属片的通孔41，影响蒸镀效果。

如图3所示，也可参见图4及图5，进一步地，导热箅子的导热体21按照导热箅子由外至内的方向由疏至密。

在本发明实施例中，靠近坩埚本体1的有机材料7主要通过坩埚本体1内壁获得热量，而远离坩埚本体1的有机材料7主要通过导热部件2导热和有机材料7之间的热交换获得热量，由于有机材料7的导热性能较差，故离坩埚本体1内壁越远的有机材料7能够通过有机材料7之间的热交换获得的热量越少，而由于导热部件2上的热量均匀分布在其导热体21上，通过导热箅子的导热体21按照导热箅子由外至内的方向由疏至密，使得越远离坩埚本体1内壁的有机材料7与导热箅子的导热体21的接触面积越大，也即越远离坩埚本体1内壁的有机材料7能够从导热部件2上获得的热量越多，从而使得坩埚本体1内部的有机材料7整体受热均匀，减少有机材料7发生爆沸的几率。

如图3所示，也可参见图4和图5，具体地，导热箅子的通孔22为正方形、长方形、菱形、三角形中的一种或多种，还可为其他任意形状，其具体形状以便于加工为准。

如图1所示，也可参见图2，具体地，导热箅子的通孔22的大小大于坩埚本体1的防爆沸金属片的通孔41的大小。

在本发明实施例中，导热箅子的通孔22的大小大于坩埚本体1的防爆沸金属片的通孔41的大小，从而在减少有机材料7发生爆沸的基础上避免影响蒸镀速率。

如图1所示，也可参见图2及图6，进一步地，蒸镀坩埚包括多层导热箅子，多层导热箅子相互平行或近似平行，且任意相邻两层导热箅子间有间隙。

在本发明实施例中，通过多层导热箅子共同将坩埚本体1上的热量传递至有机材料7中，使得坩埚本体1上的热量能够充分传递至有机材料7中，且在坩埚本体1轴线方向上有机材料7的受热更为均匀，减少有机材料7发生爆沸的几率。

如图1所示，也可参见图2，具体地，坩埚包括两层或三层导热箅子。

在本发明实施例中，导热箅子设为两层至三层，在保证坩埚本体1上的热量能够充分传递至有机材料7中的基础上，避免导热箅子上的导热体21对有机材料7蒸发或升华产生的气体的上升产生较大阻力，从而避免影响蒸镀速率。

如图6所示，进一步地，蒸镀坩埚还包括导热架5，蒸镀坩埚包括的每层导热箅子均固定在导热架5上。

在本发明实施例中，当蒸镀坩埚包括多层导热箅子时，通过将多层导热箅子分别固定在导热架5上形成一个整体，便于保证蒸镀坩埚包括的各层导热箅子之间的间隙，且便于安装和清理蒸镀坩埚。

当然，本领域技术人员可知，由于坩埚本体1从上至下横截面积依次变小，当蒸镀坩埚内不设置导热架5时，导热箅子的外径大于加热区域A最下端的内径且小于加热区域A最上端的内径，导热箅子可根据其外径的不同而直接固定在坩埚本体1内相应的位置；如果有机材料7为通过升华产生气体的材料，则导热箅子与坩埚本体1内壁的关系可以为接近但未接触，当导热箅子与坩埚本体1接近但未接触时，导热箅子边缘各处与坩埚本体1内壁的距离小于第二预设尺寸。此时，导热箅子可通过如下方式设置在坩埚本体1内：先在坩埚本体1内装入部分有机材料7，再将导热箅子置于有机材料7上方，最后再在导热箅子上方装入有机材料7，使导热箅子埋于有机材料7中，通过有机材料7支撑导热箅子。

如图3所示，也可参见图5，具体地，导热箅子为网状结构。

在本发明实施例中，通过网状的导热箅子将坩埚本体1上的热量传递至坩埚本体1中部的有机材料7中，有机材料7蒸发或升华产生的气体离开加热区域A的通道较大，受到的阻力较小，从而避免影响蒸镀速率。

其中，导热箅子上的通孔22的形状可以为任意形状的多边形，如矩形、菱形、三角形等。

如图4所示，具体地，导热箅子为设有多个通孔22的板体。

在本发明实施例中，通过板体将坩埚本体1的热量传递至坩埚本体1中部的有机材料7中，导热箅子的导热体21与有机材料7的接触面积较大，使得坩埚本体1上的热量能够充分传递至有机材料7中。

其中，导热箅子上的通孔22的形状可以为多边形、圆形、椭圆形等，其具体形状以便于加工为准。

如图7所示，进一步地，蒸镀坩埚还包括空心导热柱6，空心导热柱6的外形轮廓与坩埚本体1内壁轮廓一致，导热部件2固定在空心导热柱6中，空心导热柱6的外壁与坩埚本体1的内壁接触。

在本发明实施例中，通过空心导热柱6的外壁与坩埚本体1内壁接触，空心导热柱6与坩埚本体1内壁的接触面积较大，从而使得坩埚本体1上的热量能够充分传递至导热部件2上。

当然，本领域技术人员可知，当蒸镀坩埚为多层导热箅子且多层导热箅子平行设置时，相邻两层导热箅子的空心导热柱6可连接为一体，便于生产、安装和清理蒸镀坩埚。

其中，导热部件2由导热性好、热稳定性好且耐腐蚀的材料制成。

在本发明实施例中，导热部件2不仅需要导热性好，且由于蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)升华时的温度较高，部分蒸镀材料(参见图2中的有机材料7)具有腐蚀性，故用于制作导热部件2的材料在导热性良好的基础上还需具有良好的热稳定性和耐腐蚀性。

其中，导热部件2的材料为钛合金、钼或钨。

当然，本领域技术人员可知，导热部件2还可为陶瓷材料或其他满足要求的复合材料。

上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (14)

1.一种蒸镀坩埚，其特征在于：所述蒸镀坩埚包括坩埚本体、防爆沸金属片和导热部件；

所述导热部件设置在所述坩埚本体内部，所述导热部件用于将所述坩埚本体上的热量直接传递到位于所述坩埚本体中部的蒸镀材料中；所述防爆沸金属片设置在所述坩埚本体内部，且位于所述导热部件的上方；

所述导热部件为导热箅子，所述导热箅子由导热体构成，且所述导热体上分布有多个通孔；所述导热箅子的通孔的大小大于所述坩埚本体的防爆沸金属片的通孔的大小；

所述导热箅子平行或近似平行于所述坩埚本体底面，且所述坩埚本体的轴线与所述导热箅子的轴线之间的距离不超过1毫米；且所述导热箅子的导热体按照所述导热箅子由外至内的方向由疏至密。

2.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热箅子的通孔为正方形、长方形、菱形、三角形中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述蒸镀坩埚包括多层导热箅子，所述多层导热箅子相互平行或近似平行，且任意相邻两层所述导热箅子间有间隙。

4.根据权利要求3所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述蒸镀坩埚包括两层或三层导热箅子。

5.根据权利要求3或4所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述蒸镀坩埚还包括导热架，所述蒸镀坩埚包括的每层导热箅子均固定在所述导热架上。

6.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热箅子为网状结构。

7.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热箅子为设有多个通孔的板体。

8.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热部件与所述坩埚本体内壁接触或者所述导热部件的边缘与所述坩埚本体内壁之间的间隔不超过第二预设尺寸。

9.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热部件为空间网状结构。

10.根据权利要求9所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热部件包括螺旋体和多个导热体，所述螺旋体沿所述坩埚本体内壁设置，所述多个导热体中的每个导热体的两端分别连接至所述螺旋体上，形成所述空间网状结构。

11.根据权利要求1或9所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热部件包括第一螺旋体、第二螺旋体和多个导热体，所述第一螺旋体和所述第二螺旋体均沿所述坩埚本体内壁设置，所述多个导热体均沿水平方向设置，且所述多个导热体中的每个导热体的一端与所述第一螺旋体连接，另一端与所述第二螺旋体连接。

12.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述蒸镀坩埚还包括空心导热柱，所述空心导热柱的外形轮廓与所述坩埚本体内壁轮廓一致，所述导热部件固定在所述空心导热柱中，所述空心导热柱的外壁与所述坩埚本体的内壁接触。

13.根据权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热部件由导热性好、热稳定性好且耐腐蚀的材料制成。

14.根据权利要求13所述的蒸镀坩埚，其特征在于：所述导热部件的材料为钛合金、钼或钨。