CN208183062U - 一种坩埚和蒸镀用蒸发源 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种坩埚和蒸镀用蒸发源，属于蒸镀技术领域，其可解决现有的坩埚的不同区域的放热量不同导致喷嘴的蒸镀效率不一致，影响整体膜层的均一性的问题。本实用新型的坩埚中在金属的壁面内侧设置了无机非金属材质的热传导层，该坩埚用于蒸镀时，在其内加入预蒸镀的原料，坩埚外部的加热元件将金属的壁面加热，金属的壁面将热量传递给热传导层，热传导层作为有机材料的热源，由于热传导层为无机非金属材质，相较于现有的局部排布电热丝对有机材料进行加热的方式，热传导层的热稳定性和热均一性更好。

Description

一种坩埚和蒸镀用蒸发源

技术领域

本实用新型属于蒸镀技术领域，具体涉及一种坩埚和蒸镀用蒸发源。

背景技术

在OLED真空蒸镀工艺中，进行膜层蒸镀时，一般是将有机材料放置槽型的坩埚中，坩埚的锅体的两侧壁外设有电阻丝，坩埚顶部设有喷嘴，通过电阻丝对坩埚内的有机材料进行加热，有机材料进行物理状态受热发生变化后由喷嘴喷出，蒸镀到基板上，形成有机膜层。

发明人发现现有技术中至少存在如下问题：目前使用的坩埚的材料为金属钛，受电热丝(即加热电阻丝)排布的影响，以及坩埚的金属性质的影响，不同区域的坩埚的放热量不同，这就导致坩埚内部的不同区域的材料受热也不相同，不同喷嘴的蒸镀效率不一致，最终致使蒸镀在基板上的膜厚也不一致，使得整体膜层均一性差。

实用新型内容

本实用新型针对现有的不同区域的坩埚的放热量不同导致喷嘴的蒸镀效率不一致，影响整体膜层的均一性的问题，提供一种坩埚和蒸镀用蒸发源。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是：

一种坩埚，包括锅体，所述锅体的至少部分壁面内设有热传导层，所述壁面由金属材料构成，所述热传导层由无机非金属材料构成。

可选的是，所述热传导层由石英陶瓷构成。

可选的是，所述壁面由金属钛构成。

可选的是，所述锅体还包括设于所述热传导层内的内壁，所述内壁由金属材料构成。

可选的是，所述内壁的厚度与所述壁面的厚度的比值范围为1％-20％。

可选的是，所述内壁由金属钛构成。

可选的是，所述热传导层与内壁之间设有间隙。

可选的是，所述加热元件包括电热丝。

可选的是，所述锅体为槽底、槽壁围成的槽状锅体，所述槽状锅体的开口位置处设置槽顶，所述槽顶上连接有喷嘴。

本实用新型还提供一种蒸镀用蒸发源，包括上述的坩埚。

可选的是，所述蒸镀用蒸发源还包括加热元件，所述加热元件设于所述坩埚的壁面的外部，用于加热所述坩埚。

附图说明

图1为本实用新型的实施例1的坩埚的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例2的坩埚的一种结构示意图；

图3为本实用新型的实施例2的坩埚的另一种结构示意图；

图4为本实用新型的实施例2的坩埚沿A-A’的截面图；

其中，附图标记为：1、壁面；2、热传导层；3、内壁；4、槽底；5、槽壁；6、槽顶；7、喷嘴。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述。

实施例1：

本实施例提供一种坩埚，如图1所示，包括锅体，所述锅体的至少部分壁面1内设有热传导层2，所述壁面1由金属材料构成，所述热传导层2由无机非金属材料构成。

本实施例的坩埚中在壁面1内侧设置了热传导层2，该坩埚用于蒸镀时，在其内加入预蒸镀的原料例如有机材料等，坩埚外部的加热元件将金属的壁面1加热，金属的壁面1将热量传递给热传导层2，热传导层2作为有机材料的热源，由于热传导层2为无机非金属材质，相较于现有的局部排布电热丝对有机材料进行加热的方式，热传导层2的热稳定性和热均一性更好。本实施例中不对壁面1和热传导层2的具体材料进行限定，通常壁面1选自耐高温的金属材料，热传导层2选自耐高温的无机非金属材料即可。

实施例2：

本实施例提供一种坩埚，如图2所示，包括锅体，所述锅体的至少部分壁面1内设有热传导层2，所述壁面1由金属钛构成，所述热传导层2由无机非金属材料构成。

本实施例中坩埚的壁面1采用金属钛制成，这样设计的好处是：由于钛的耐腐蚀性好，锅体可以长期在高温条件下使用，壁面1不会被腐蚀。

作为本实施例的一种优选方案，所述热传导层2由石英陶瓷构成。

其中，石英陶瓷具有耐高温、热稳定性强、热传导能力强等特点，在坩埚进行加热时，石英陶瓷作为直接向有机材料提供热源的部件，可以使得坩埚内部各个位置处均匀受热。

在实际应用中，通过加热后的石英陶瓷的温度可达到200-1000℃，发明人发现，高温的石英陶瓷存在黏附有机材料的不良现象。为了进一步解决该问题，在一个具体实施例中，如图2所示，所述锅体还包括设于所述热传导层2内的内壁3，所述内壁3由金属材料构成。

需要说明的是，本实施例中在热传导层2内设置内壁3的作用是：对有机材料和热传导层2进行物理隔离，防止有机材料黏附于热传导层2上，避免浪费有机材料或影响蒸镀工艺的顺利进行。

本实施例中不对坩埚锅体的具体尺寸进行限定，可以根据蒸镀面积等进行调整，本实施例中也不对内壁3或避免的厚度进行限定，通常，其隔离作用的内壁3厚度小于壁面1的厚度。具体的，所述内壁3的厚度与所述壁面1的厚度的比值范围为1％-20％。

其中，较薄的内壁3需要的金属材料相对较少，较薄的内壁3能起到隔离内部有机材料与热传导层2的作用即可；较厚的壁面1可以作为整个锅体的主体和支撑体，且在长期的高温使用中，较厚的壁面1不易变形。

在一个具体实施例中，所述内壁3由金属钛构成。

也就是说，本实施例的锅体可看做是内壁3与其外部的壁面1形成的空心结构，该内薄外厚的空心结构的材料均为金属钛。其中，热传导层2设于空心结构内部。

在一个具体实施例中，如图3所示，所述锅体为槽底4、槽壁5围成的槽状锅体，所述槽状锅体的开口位置处设置槽顶6，所述槽顶6上连接有喷嘴7。

本实施例的锅体为长槽状，槽底4和槽壁5的结构类似，如图4所示(图4为沿图3的A-A’的截面图)，由外至内均为壁面1、热传导层2、内壁3，其中，槽状锅体的顶部设有槽顶6，槽顶6上连接有多个喷嘴7，多个喷嘴7可以沿长槽的长度方向均匀排布。

在另一个具体实施例中，所述热传导层2与内壁3之间设有间隙。

也就是说，该实施例中传导层与内壁3并未相互接触，而是设置一定间隔。这样设计的好处是，热传导层2作为有机材料的唯一热源，使得其内部所有的有机材料所接受到的加热温度完全一致。

实施例3：

本实施例提供一种蒸镀用蒸发源，包括上述的任意一种形式的坩埚。

在一个具体实施例中，所述蒸镀用蒸发源还包括加热元件。

具体的，加热元件可以是电热丝。该蒸镀用蒸发源使用时，整面的石英陶瓷更靠近有机材料设置，电热丝通过易传导热量的金属的壁面1为石英陶瓷提供热量，石英陶瓷受热后，将热能传递至有机材料，即有机材料由温度稳定且一致的石英陶瓷直接提供热量，因此各个位置处的有机材料受热均匀。坩埚内部各个位置处受热均匀，最终蒸镀有机材料得到的膜层的均一性良好。

可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本实用新型的原理而采用的示例性实施方式，然而本实用新型并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本实用新型的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种坩埚，包括锅体，其特征在于，所述锅体的至少部分壁面内设有热传导层，所述壁面由金属材料构成，所述热传导层由无机非金属材料构成。

2.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述热传导层由石英陶瓷构成。

3.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述壁面由金属钛构成。

4.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述锅体还包括设于所述热传导层内的内壁，所述内壁由金属材料构成。

5.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述内壁的厚度与所述壁面的厚度的比值范围为1％-20％。

6.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述内壁由金属钛构成。

7.根据权利要求4所述的坩埚，其特征在于，所述热传导层与内壁之间设有间隙。

8.根据权利要求1所述的坩埚，其特征在于，所述锅体为槽底、槽壁围成的槽状锅体，所述槽状锅体的开口位置处设置槽顶，所述槽顶上连接有喷嘴。

9.一种蒸镀用蒸发源，其特征在于，包括权利要求1-8任一项所述的坩埚。

10.根据权利要求9所述的蒸镀用蒸发源，其特征在于，所述蒸镀用蒸发源还包括加热元件，所述加热元件设于所述坩埚的壁面的外部，用于加热所述坩埚。