CN103324037A - 一种曝光装置及其曝光方法 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例提供了一种曝光装置及其曝光方法，涉及显示技术领域，可以节约曝光工艺的时间，提高产能。所述曝光装置包括曝光灯、掩膜板和打标设备；所述打标设备包括：设置在所述掩膜板上的导轨架，设置在所述导轨架上的至少一个打标车；还包括控制器，所述控制器用于控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。

Description

一种曝光装置及其曝光方法
技术领域
本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光装置及其曝光方法。
背景技术
在阵列基板的制作工艺中，需要对制作的产品进行打标，即在基板上制作产品的标识如ID信息和二维码，以便后续工程实现电算自动化并且能够追溯产品状态。
在生产小尺寸（7inch以下）产品时，5代线一张基板上一般可以制作上百个产品。通常在基板上完成各个产品的第一层电路图案的曝光完成后，就使用所述打标设备对基板上的每个产品逐一进行标识图案的曝光，然后进行显影、刻蚀、剥离等工艺制作形成第一层电路图案和标识图案，进而实现产品的打标。
在上述曝光的过程中，对电路图案的曝光和对标识图案的曝光是分开进行的，且对标识图案的曝光是对基板上的每个产品逐一进行标识图案的曝光，这就会导致曝光工艺的时间太长，严重影响产能。
发明内容
本发明的实施例提供一种曝光装置及其曝光方法，可以节约曝光工艺的时间，提高产能。
为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：
一种曝光装置，包括曝光灯、掩膜板和打标设备；所述打标设备包括：
导轨架，所述导轨架设置在所述掩膜板上；
至少一个打标车，所述打标车设置在所述导轨架上；
控制器，用于控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
优选的，所述打标车包括组装在一起的车体模块和显示屏模块；
所述显示屏模块包括：标识显示区域和透光缓冲区域，所述透光缓冲区域位于所述车体模块和所述标识显示区域之间；
所述标识显示区域用于在所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识；所述透光缓冲区域进行透光显示。
优选的，所述曝光灯对所述掩膜板上的第一曝光位置处的打标位置曝光完成后，所述控制器用于控制所述打标车的标识显示区域进行透光显示，同时控制所述导轨架开始移动，使所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板的第二曝光位置。
优选的，所述曝光灯对所述掩膜板进行曝光时的移动速度为0.2-0.3m/s，所述控制器控制所述导轨架的移动速度为3.0-6.0m/s。
优选的，所述导轨架和所述打标车上都设置有红外探测器，所述红外探测器用于探测所述打标车和所述导轨架在所述掩膜板上的位置。
优选的，所述控制器用于通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述导轨架在所述掩膜板上的位置，控制所述导轨架移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，然后通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述打标车在所述掩膜板上的位置，然后通过无线传输技术向所述打标车发送控制信号控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
优选的，所述装置还包括直线电机；
所述直线电机，连接所述导轨架，用于驱动所述导轨架在所述掩膜板上沿着与所述导轨架垂直的方向进行直线移动；
所述控制器，用于通过控制直线电机控制所述导轨架的移动。
一种曝光方法，应用上述的曝光装置，所述方法包括以下步骤：
曝光灯水平移动对掩膜板进行曝光；
控制器控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
优选的，所述打标车包括组装在一起的车体模块和显示屏模块；所述显示屏模块包括：标识显示区域和透光缓冲区域，所述透光缓冲区域位于所述车体模块和所述标识显示区域之间；其中，所述标识显示区域用于在所述打标车处于相应的打标位置时，显示相应的打标标识；所述透光缓冲区域进行透光显示；
则，所述控制器控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识包括：
在所述曝光灯对所述掩膜板上的第一曝光位置处的标识显示区域曝光完成后，所述控制器控制所述打标车的标识显示区域进行透光显示，同时控制所述导轨架开始移动，使所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上的第二曝光位置。
优选的，所述曝光灯对所述掩膜板进行曝光时的移动速度为0.2-0.3m/s，所述控制器控制所述导轨架的移动速度为3.0-6.0m/s。
优选的，所述导轨架和所述打标车上都设置有红外探测器，所述红外探测器用于探测所述打标车和所述导轨架在所述掩膜板上的位置，则所述控制器控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识，包括：
所述控制器通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述导轨架在所述掩膜板上的位置，控制所述导轨架移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，然后通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述打标车在所述掩膜板上的位置，然后通过无线传输技术向所述打标车发送控制信号控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
优选的，所述曝光装置还包括直线电机；所述直线电机，连接所述导轨架，用于驱动所述导轨架在所述掩膜板上沿着与所述导轨架垂直的方向进行直线移动，则所述控制器控制所述导轨架移动包括：
所述控制器通过控制直线电机控制所述导轨架的移动。
上述技术方案提供的一种曝光装置及其曝光方法，通过用控制器控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识，等待所述曝光灯移动到该曝光位置完成对该曝光位置处标识图案的曝光，这样所述曝光灯在完成对电路图案的曝光的同时，也对掩膜板上的标识位置处进行了曝光，完成了对标识图案的曝光。与现有技术中的先对掩膜板进行一次曝光，再进行对标识图案的逐一曝光相比，大大节省了曝光工艺的时间，提高产能。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种曝光装置的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种打标车的结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种曝光过程中的打标车移动示意图。
附图说明：
1-曝光灯，2-掩膜板，3-打标设备；31-导轨架，32-打标车，34-控制器，33-直线电机。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
本发明实施例提供了一种曝光装置，如图1所示，所述曝光装置包括曝光灯1、掩膜板2和打标设备3，所述打标设备3包括导轨架31，所述导轨架31设置在所述掩膜板2上；至少一个打标车32，所述打标车32设置在所述导轨架31上。控制器34，用于控制所述导轨架31比所述曝光灯1先移动到所述掩膜板2上相应的曝光位置，并控制所述打标车32移动至相应的打标位置，显示相应的打标标识。
在这里需要说明的是，所述掩膜板2上的曝光位置和打标位置是确定的，曝光灯1为线性光源，相对于所述掩膜板1进行水平运动，进行一行行的曝光操作。所述曝光位置就是指掩膜板1上一行需要曝光出标识图案的位置，所述打标位置是指所述曝光位置上需要曝光出的各个标识图案对应的位置。故优选的，所述导轨架上的打标车的个数为所述掩膜板上一行所包含的打标位置的个数。
通常情况下，各曝光位置处的打标位置都是相同的，在第一曝光位置处所述打标车移动至相应的打标位置后，在下一曝光位置处所述控制器并不需要再次控制移动所述打标车。当掩膜板上各曝光位置处的打标位置不同的，所述控制器在控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上的下一曝光位置后，还需要控制所述打标车移动至相应的打标位置。
综上所述，曝光灯1水平移动对掩膜板2进行一行行的曝光，所述控制器34控制所述导轨架31比所述曝光灯1先移动到所述掩膜板2上的相应的曝光位置，当所述曝光灯移动到所述导轨架1所处的相应的曝光位置时，就可以完成标识图案的曝光，在该相应曝光位置处的打标位置曝光完成后，所述控制器34就会控制所述导轨架31先移动到下一曝光位置，等待所述曝光灯1移动到所述下一曝光位置完成所述下一曝光位置处标识图案的曝光。这样曝光灯1对掩膜板2进行一次曝光，完成对电路图案的曝光的同时，也对掩膜板上所有标识位置处进行了曝光，完成了对标识图案的曝光。在这里，在所述曝光灯1最开始从所述掩膜板2的一个边界进行曝光时，第一个相应的曝光位置是离所述掩膜板2的该边界最近的曝光位置。
本发明实施例提供的曝光装置，可以在完成电路图案的曝光的同时，也完成了标识图案的曝光，与现有技术中的多次曝光相比，大大节省了曝光工艺的时间，提高产能。
优选的，如图2所示，所述打标车32包括组装在一起的车体模块321和显示屏模块322；所述显示屏模块322包括：标识显示区域3221和透光缓冲区域3222，所述透光缓冲区域3222位于所述车体模块321和所述标识显示区域3221之间。所述标识显示区域3221用于在所述打标车32处于相应的打标位置时，显示相应的打标标识；所述透光缓冲区域3222用于进行透光显示。
由于掩膜板2上的打标位置是固定的，在曝光灯1曝光掩膜板2的其他部分时，所述导轨架先移动至曝光位置，所述打标车移动到相应的打标位置，显示相应的打标标识。如图3所示，T1时刻，所述曝光灯1将要移动至所述曝光位置；T2时刻，所述曝光灯1完成在对应打标位置的所述打标车的标识显示区域3221处的曝光；此时，所述曝光灯1就要进入了所述透光缓冲区域3222，所述透光缓冲区域3222避免了车体模块321遮挡曝光灯的光线，在T2时刻所述曝光灯的光线移动将要超出标识显示区域3221时，标识显示区域3221变成透光显示，同时所述导轨架31开始移动至下一打标位置，且导轨架的移动速度大于所述曝光灯的移动速度，图3显示了在导轨架31移动至下一曝光位置之前的T3时刻，所述曝光灯1和打标车32的相对位置。
优选的，此时曝光灯的移动速度为0.2-0.3m/s,所述导轨架的移动速度为3.0-6.0m/s。
优选的，所述导轨架31和所述N个打标车32上都设置有红外探测器（图中未显示），所述红外探测器用于探测所述打标车32和所述导轨架31在所述掩膜板2上的位置。
所述红外探测器可以通过红外探测，检测到打标车与导轨架，打标车与打标车之间的距离，从而探测到各个打标车和所述导轨架31在所述掩膜板上的位置，这样所述打标车3和所述导轨架312就可以通过控制器34的控制移动到所述掩膜板2上相应的位置。
优选的，所述控制器34可以通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述导轨架31在所述掩膜板2上的位置，控制所述导轨架31移动到所述掩膜板2上相应的曝光位置。所述控制器34还可以通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述打标车32在所述掩膜板上的位置，然后通过无线传输技术向所述打标车发送控制信号控制所述打标车移动至相应的打标位置，显示相应的打标标识。这样就避免了现有技术中的通过数据引线来控制打标车所造成的对曝光工艺的干扰。
优选的，如图1所示，所述曝光装置还包括直线电机33，所述直线电机33连接所述导轨架31，用于驱动所述导轨架31在所述掩膜板2上沿着与所述导轨架31垂直的方向进行直线移动。此时，所述控制器34就会通过控制直线电机33来控制所述导轨架的移动。
本发明实施例还提供了一种曝光方法，所述曝光方法应用上述的曝光装置，包括以下步骤：
101、曝光灯水平移动对掩膜板进行曝光。
102、控制器控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
控制器在进行步骤101的同时，循环进行步骤102，直至所述掩膜板上的曝光位置全部被曝光。这样完成步骤101，对所述掩膜板进行一次曝光后，就同时完成了对电路图案和标识图案的曝光。与现有技术中的多次曝光相比，大大节省了曝光工艺的时间，提高产能。
如图2所示，所述打标车32包括组装在一起的车体模块321和显示屏模块322；所述显示屏模块322包括：标识显示区域3221和透光缓冲区域3222，所述透光缓冲区域3222位于所述车体模块321和所述标识显示区域3221之间，所述标识显示区域用于在所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识；所述透光缓冲区域进行透光显示；此时，步骤102具体包括以下步骤：
1021、在所述曝光灯对所述掩膜板上的第一曝光位置处的标识显示区域曝光完成后，所述控制器控制所述打标车的标识显示区域进行透光显示，同时控制所述导轨架开始移动，使所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上的第二曝光位置。。
由于掩膜板2上的打标位置是固定的，在曝光灯曝光掩膜板的其他部分时，所述导轨架先移动至曝光位置，所述打标车移动到相应的达标位置，显示相应的打标标识。如图3所示，T1时刻，所述曝光灯1将要移动至所述曝光位置；T2时刻，所述曝光灯1完成在对应打标位置的所述打标车的标识显示区域3221处的曝光；此时，所述曝光灯1就要进入了所述透光缓冲区域3222，所述透光缓冲区域3222避免了车体模块321遮挡曝光灯的光线，在T2时刻所述曝光灯的光线移动将要超出标识显示区域3221时，标识显示区域3221变成透光显示，同时所述导轨架31开始移动至下一打标位置，且导轨架的移动速度大于所述曝光灯的移动速度，图3显示了在导轨架31移动至下一打标位置之前的T3时刻，所述曝光灯1和打标车32的相对位置。优选的，此时曝光灯的移动速度为0.2-0.3m/s,所述导轨架的移动速度为3.0-6.0m/s。
所述导轨架和所述打标车上都设置有红外探测器，所述红外探测器用于探测所述打标车和所述导轨架在所述掩膜板上的位置，则步骤102和103中所述的所述控制器控制所述打标车移动至相应的打标位置，显示相应的打标标识，包括：
所述控制器通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述导轨架在所述掩膜板上的位置，控制所述导轨架移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，然后通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述打标车在所述掩膜板上的位置，再通过无线传输技术向所述打标车发送控制信号控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。这样就避免了现有技术中的通过数据引线来控制打标车所造成的对曝光工艺的干扰。
优选的，所述曝光装置还包括直线电机33，则所述控制器控制所述导轨架移动，所述直线电机，连接所述导轨架，用于驱动所述导轨架在所述掩膜板上沿着与所述导轨架垂直的方向进行直线移动，则所述控制器控制所述导轨架移动包括：所述控制器通过控制直线电机控制所述导轨架的移动。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应所述以权利要求的保护范围为准。

Claims (12)

1.一种曝光装置，其特征在于，包括曝光灯、掩膜板和打标设备；所述打标设备包括：
导轨架，所述导轨架设置在所述掩膜板上；
至少一个打标车，所述打标车设置在所述导轨架上；
控制器，用于控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述打标车包括组装在一起的车体模块和显示屏模块；
所述显示屏模块包括：标识显示区域和透光缓冲区域，所述透光缓冲区域位于所述车体模块和所述标识显示区域之间；
所述标识显示区域用于在所述打标车处于相应的打标位置时，显示相应的打标标识；
所述透光缓冲区域进行透光显示。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述曝光灯对所述掩膜板上的第一曝光位置处的打标位置曝光完成后，所述控制器用于控制所述打标车的标识显示区域进行透光显示，同时控制所述导轨架开始移动，使所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板的第二曝光位置。
4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述曝光灯对所述掩膜板进行曝光时的移动速度为0.2-0.3m/s，所述控制器控制所述导轨架的移动速度为3.0-6.0m/s。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述导轨架和所述打标车上都设置有红外探测器，所述红外探测器用于探测所述打标车和所述导轨架在所述掩膜板上的位置。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述控制器用于通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述导轨架在所述掩膜板上的位置，控制所述导轨架移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，然后通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述打标车在所述掩膜板上的位置，再通过无线传输技术向所述打标车发送控制信号控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括直线电机；
所述直线电机，连接所述导轨架，用于驱动所述导轨架在所述掩膜板上沿着与所述导轨架垂直的方向进行直线移动；
所述控制器，用于通过控制直线电机控制所述导轨架的移动。
8.一种采用如权利要求1所述曝光装置的曝光方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
曝光灯水平移动对掩膜板进行曝光；
控制器控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述打标车包括组装在一起的车体模块和显示屏模块；所述显示屏模块包括：标识显示区域和透光缓冲区域，所述透光缓冲区域位于所述车体模块和所述标识显示区域之间；其中，所述标识显示区域用于在所述打标车处于相应的打标位置时，显示相应的打标标识；所述透光缓冲区域进行透光显示；
则，所述控制器控制所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，并控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识包括：
在所述曝光灯对所述掩膜板上的第一曝光位置处的标识显示区域曝光完成后，所述控制器控制所述打标车的标识显示区域进行透光显示，同时控制所述导轨架开始移动，使所述导轨架比所述曝光灯先移动到所述掩膜板上的第二曝光位置。
10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述曝光灯对所述掩膜板进行曝光时的移动速度为0.2-0.3m/s，所述控制器控制所述导轨架的移动速度为3.0-6.0m/s。
11.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述导轨架和所述打标车上都设置有红外探测器，所述红外探测器用于探测所述打标车和所述导轨架在所述掩膜板上的位置，则所述控制器控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识，包括：
所述控制器通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述导轨架在所述掩膜板上的位置，控制所述导轨架移动到所述掩膜板上相应的曝光位置，然后通过无线传输技术接收所述红外探测器探测到的所述打标车在所述掩膜板上的位置，再通过无线传输技术向所述打标车发送控制信号控制所述打标车处于相应的打标位置，显示相应的打标标识。
12.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述曝光装置还包括直线电机；所述直线电机，连接所述导轨架，用于驱动所述导轨架在所述掩膜板上沿着与所述导轨架垂直的方向进行直线移动，则所述控制器控制所述导轨架移动包括：
所述控制器通过控制直线电机控制所述导轨架的移动。
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