CN103320201A - 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削硬脆材料的方法 - Google Patents
用于切削硬脆材料的加工组成物及切削硬脆材料的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103320201A CN103320201A CN2013100809242A CN201310080924A CN103320201A CN 103320201 A CN103320201 A CN 103320201A CN 2013100809242 A CN2013100809242 A CN 2013100809242A CN 201310080924 A CN201310080924 A CN 201310080924A CN 103320201 A CN103320201 A CN 103320201A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fragile material
- cutting hard
- processing constituent
- hard
- constituent
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 37
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title abstract description 5
- 238000003754 machining Methods 0.000 title abstract description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 9
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 63
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 29
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 17
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 15
- -1 R 31 Chemical compound 0.000 claims description 13
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 2-methylpentane-2,4-diol Chemical compound CC(O)CC(C)(C)O SVTBMSDMJJWYQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N triethylene glycol Chemical compound OCCOCCOCCO ZIBGPFATKBEMQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N (+/-)-1,3-Butanediol Chemical compound CC(O)CCO PUPZLCDOIYMWBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N Trichloroethylene Chemical compound ClC=C(Cl)Cl XSTXAVWGXDQKEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- INSRQEMEVAMETL-UHFFFAOYSA-N decane-1,1-diol Chemical compound CCCCCCCCCC(O)O INSRQEMEVAMETL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N dipropylene glycol Chemical compound OCCCOCCCO SZXQTJUDPRGNJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- TZMQHOJDDMFGQX-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1,1-triol Chemical compound CCCCCC(O)(O)O TZMQHOJDDMFGQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229940051250 hexylene glycol Drugs 0.000 claims description 2
- 229940059574 pentaerithrityl Drugs 0.000 claims description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UWJJYHHHVWZFEP-UHFFFAOYSA-N pentane-1,1-diol Chemical compound CCCCC(O)O UWJJYHHHVWZFEP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 abstract description 3
- 150000002391 heterocyclic compounds Chemical class 0.000 abstract 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 7
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N citric acid Chemical compound OC(=O)CC(O)(C(O)=O)CC(O)=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 125000000129 anionic group Chemical group 0.000 description 4
- 239000005486 organic electrolyte Substances 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000003204 osmotic effect Effects 0.000 description 3
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 3
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 229920002582 Polyethylene Glycol 600 Polymers 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 2
- 150000008052 alkyl sulfonates Chemical class 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 2
- GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N diglycerol Chemical compound OCC(O)COCC(O)CO GPLRAVKSCUXZTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 230000003020 moisturizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 238000002411 thermogravimetry Methods 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000008055 alkyl aryl sulfonates Chemical class 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000004945 emulsification Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N ether Substances CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 150000007524 organic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920000867 polyelectrolyte Polymers 0.000 description 1
- 229940051841 polyoxyethylene ether Drugs 0.000 description 1
- 229920000056 polyoxyethylene ether Polymers 0.000 description 1
- 229920002503 polyoxyethylene-polyoxypropylene Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- 229960004418 trolamine Drugs 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 230000004580 weight loss Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Lubricants (AREA)
Abstract
一种用于切削硬脆材料的加工组成物,包含至少一种杂环化合物、至少一种多元醇及水,该杂环化合物是由下式(I)所示,式(I)中各个代号的定义如说明书及权利要求所界定。本发明用于切削硬脆材料的加工组成物由于包含该杂环化合物,具备能有效提升该加工组成物的保湿性的能力。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于切削硬脆材料的加工组成物,特别是涉及一种包含杂环化合物的加工组成物及其用于切削硬脆材料的方法。
背景技术
线锯切割技术为目前较为广泛被应用于切割硅晶棒的方法之一,用于切削的加工组成物的性质是影响切削质量的重要因素。用于切削的加工组成物依其特性大致可分为油溶性、水溶性、气态与半固体。良好的加工组成物应具备降低磨擦系数、减小切削阻力、渗透效果佳、对研磨粒子分散性佳、良好冷却能力及方便清洗等优异性能,且为因应环保需求的上升,良好的加工组成物也需要符合无毒、易溶于水、挥发性小及高生物可降解性等要求。
例如中国台湾专利公告I281495号公开一种用于切削的加工组成物,其包含极性非离子型溶剂、有机电解质(或聚电解质)及水,可增进研磨粒子在该加工组成物中的分散性。然而有机电解质却容易使得切削用的钢线受到腐蚀而耗损。
除了上述有机电解质的问题外,本案发明人更发现在切割硅晶棒的过程中,由于线锯切割处会产生局部高热,导致该加工组成物中的水分的散失,进而减低该加工组成物的冷却能力及切割后的硅晶片质量,因此需要频繁地补充水分,造成制程上的不便。本案发明人有鉴于此问题,发展出一种具有良好保湿性且不含有机电解质的加工组成物,有助于业界克服上述问题,提升加工组成物的应用性。
发明内容
本发明的目的在于提供一种包含杂环化合物的加工组成物,可改善一般用于切削硬脆材料的加工组成物不易保湿的问题。本发明用于切削硬脆材料的加工组成物,包含:至少一种杂环化合物、至少一种多元醇及水,该杂环化合物是由下式(I)所示:
于式(I)中,
R31与R32分别相同或不同地表示氢或C1~C7烷基;
本发明的另一目的在于提供一种切削硬脆材料的方法,是使该硬脆材料与如上所述的用于切削硬脆材料的加工组成物接触,并通过切削装置将该硬脆材料切削成多个具有切削面的硬脆片。
本发明的有益效果在于:本发明加工组成物通过其包含的杂环化合物,可提升其耐热性及稳定性,增进渗透效果及对研磨粒子的分散性,并具备能有效保湿与降粘的能力。本发明加工组成物在后续使用过程时,也不需频繁地添加水分以增进切削液的流动性,特别是在切削末期固含量极高时效果最为显著。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明进行详细说明:
本发明用于切削硬脆材料的加工组成物包含至少一种杂环化合物、至少一种多元醇及水,该杂环化合物是由下式(I)所示:
于式(I)中,
A表示
R31与R32分别相同或不同地表示氢或C1~C7烷基;
优选地,该R11、R12、R21、R22、R31、R32、R41、R42、R51、R52、R61及R62表示氢。
优选地,该杂环化合物是选自于[以下称环丁砜(sulfolane)]、[以下称γ-丁内酯(γ-butyrolactone,GBL)]、 [以下称碳酸丙烯酯(propylene carbonate)]、或它们的组合。
优选地,以该加工组成物的总重量为100wt%,该杂环化合物的含量范围为0.1~50wt%。更优选地,该杂环化合物的含量范围为0.1~10wt%,该加工组成物的流变特性可符合普遍切削环境以及参数设定。
当未添加该杂环化合物时,该加工组成物将会因水分失去速度快而导致切削液粘度剧烈改变,特别是在固含量高时更为显著;当该杂环化合物的含量大于50wt%时,将导致制作成本提高,且该加工组成物粘度过低易导致润滑及悬浮性不足,而难以符合一般切削条件。
该多元醇可使该加工组成物的流变特性符合普遍切削环境以及参数设定。优选地,该多元醇是选自于乙二醇、二乙二醇(diethanol glycol,DEG)、三乙二醇、四乙二醇、丙二醇、二丙二醇、丁二醇、戊二醇、己二醇、癸二醇、丙三醇、二丙三醇、己三醇、癸三醇、季戊四醇或它们的组合。
优选地,以该加工组成物的总重量为100wt%,该多元醇的含量范围为1~90wt%。
选择性地,本发明加工组成物还包含界面活性剂。该界面活性剂具有湿润、乳化及分散的效果,进而提升该加工组成物应用于线锯切割技术的切削效益。
优选地,该界面活性剂是选自于非离子型界面活性剂、阴离子型界面活性剂或它们的组合。
该非离子型界面活性剂是选自于聚乙二醇(polyethylene glycol,简称PEG)类化合物、聚丙二醇(polypropylene glycol,简称PPG)类化合物、聚氧乙烯-聚氧丙烯类共聚合物、聚氧乙烯醚类化合物或它们的组合。优选地,该聚氧乙烯醚类化合物是选自于烷基酚聚氧乙烯醚(alkylphenol ethoxylate,简称APE)化合物、直链状脂肪醇聚氧乙烯醚(polyethoxylated aliphatic linearalcohol,简称AE)化合物或它们的组合。该阴离子型界面活性剂包含烷基磷酸盐类化合物、烷基磺酸盐(alkyl sulfonate)类化合物、烷基芳基磺酸盐(alkylaryl sulfonate)类化合物或它们的组合。
在本发明的具体例中,该非离子型界面活性剂是聚氧乙烯-聚氧丙烯甘油醚(polyoxyethylene polyoxypropylene glyceryl ether)及二乙二醇单甲基醚(diethylene glycol monomethyl ether,MDG),该阴离子型界面活性剂是壬基酚聚氧乙烯醚磷酸盐。
优选地,以该加工组成物的总重量为100wt%计算,该界面活性剂的含量范围为0.01~10wt%;更优选地,该界面活性剂的含量范围为0.01~5wt%。
选择性地,本发明加工组成物还包含添加剂,例如用于调整该加工组成物的酸碱度的pH值调整剂或防锈润滑剂等等。优选地,该pH值调整剂是选自于有机酸、醇胺类或它们的组合,其包含但不限于柠檬酸、单乙醇胺(monoethanolamine)、三乙醇胺或它们的组合。优选地,本发明加工组成物的pH值范围为5~9。该防锈润滑剂包含但不限于聚乙二醇(PEG,如PEG600)。
优选地,以该加工组成物的总重量为100wt%计算,该添加剂的含量范围为0.01~10wt%。
本发明切削硬脆材料的方法是使该硬脆材料与如上所述的用于切削硬脆材料的加工组成物接触,并通过切削装置将该硬脆材料切削成多个具有切削面的硬脆片。优选地,该切削硬脆材料的方法是将该硬脆材料浸入如上所述的加工组成物中,并通过切片机将该硬脆材料切削成多个具有切削面的硬脆片。
本发明将就以下实施例作进一步说明,但应了解的是,这些实施例仅为例示说明用,而不应被解释为本发明实施的限制。
<实施例1>
取1wt%的环丁砜、89wt%的二乙二醇、9wt%的水、0.01wt%的PEG 600(购自于稳好高分子)、0.01wt%的FS-88(壬基酚聚氧乙烯醚磷酸盐,阴离子型界面活性剂,购自于稳好高分子)、0.5wt%的ENHOL GC-5026(聚氧乙烯-聚氧丙烯甘油醚,非离子型界面活性剂,购自于稳好高分子)、0.458wt%的二乙二醇单甲基醚(非离子型界面活性剂)、0.01wt%的柠檬酸及0.012wt%的单乙醇胺于室温下搅拌混合,即获得一加工组成物。
<实施例2>
除了将环丁砜改变为γ-丁内酯外,实施例2加工组成物的制法与实施例1相同。
<实施例3>
除了将环丁砜改变为碳酸丙烯酯外,实施例3加工组成物的制法与实施例1相同。
<比较例>
除了将1wt%的环丁砜及9wt%的水改变为10wt%的水外,比较例加工组成物的制法与实施例1相同。
<热重分析(thermogravimetric analysis,TGA)>
分别将实施例1~3及比较例制得的加工组成物置于一热重分析仪(购自于TA仪器,型号为Q500),将温度以10℃/min的速率从25℃升高至300℃,测量其最低沸点,结果如表1所示。
<测量重量变化率>
分别将实施例1~3及比较例制得的加工组成物称重(W1),于25℃开放环境下静置24小时,分别再次称量其重量(W2),并根据下式计算重量变化率,结果如表1所示。
表1
实施例1 | 实施例2 | 实施例3 | 比较例 | |
最低沸点(℃) | 178 | 178 | 180 | 174 |
重量变化率 | +5% | -3% | -2% | -6% |
由表1的结果可知,实施例1~3制得的加工组成物具有较比较例制得的加工组成物高的最低沸点,显示包含该杂环化合物的加工组成物的挥发性较不包含该杂环化合物低。此外,实施例1~3制得的加工组成物在经过24小时后,其重量损失明显较比较例制得的加工组成物少,显示其包含的杂环化合物能有效减少该加工组成物中水分的散失。
此外,本发明加工组成物也具有良好的渗透效果及对研磨粒子的分散能力。
综上所述,本发明用于切削硬脆材料的加工组成物由于包含该杂环化合物,具备能有效提升该加工组成物的保湿性的能力。
以上所述,仅为本发明的较佳实施例与具体例而已,当不能以此限定本发明实施的范围,即大凡依本发明权利要求及发明说明内容所作的简单的等效变化与修饰,皆仍属本发明专利涵盖的范围内。
Claims (10)
3.根据权利要求1所述的用于切削硬脆材料的加工组成物,其特征在于:该R11、R12、R21、R22、R31、R32、R41、R42、R51、R52、R61及R62表示氢。
5.根据权利要求1所述的用于切削硬脆材料的加工组成物,其特征在于:以该加工组成物的总重量为100wt%,该杂环化合物的含量范围为0.1~50wt%。
6.根据权利要求5所述的用于切削硬脆材料的加工组成物,其特征在于:以该加工组成物的总重量为100wt%,该杂环化合物的含量范围为0.1~10wt%。
7.根据权利要求1所述的用于切削硬脆材料的加工组成物,其特征在于:该多元醇是选自于乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、丙二醇、二丙二醇、丁二醇、戊二醇、己二醇、癸二醇、丙三醇、二丙三醇、己三醇、癸三醇、季戊四醇或它们的组合。
8.根据权利要求1所述的用于切削硬脆材料的加工组成物,其特征在于:以该加工组成物的总重量为100wt%,该多元醇的含量范围为1~90wt%。
9.根据权利要求1所述的用于切削硬脆材料的加工组成物,其特征在于:该用于切削硬脆材料的加工组成物还包含非离子型界面活性剂。
10.一种切削硬脆材料的方法,其特征在于:其是使该硬脆材料与根据权利要求1至9中任一权利要求所述的用于切削硬脆材料的加工组成物接触,并通过切削装置将该硬脆材料切削成多个具有切削面的硬脆片。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101110110A TWI463006B (zh) | 2012-03-23 | 2012-03-23 | A processing composition for cutting hard and brittle materials and a method of cutting hard and brittle materials |
TW101110110 | 2012-03-23 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410354509.6A Division CN104119999A (zh) | 2012-03-23 | 2013-03-14 | 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削硬脆材料的方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103320201A true CN103320201A (zh) | 2013-09-25 |
CN103320201B CN103320201B (zh) | 2015-12-02 |
Family
ID=49189248
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310080924.2A Expired - Fee Related CN103320201B (zh) | 2012-03-23 | 2013-03-14 | 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削硬脆材料的方法 |
CN201410354509.6A Pending CN104119999A (zh) | 2012-03-23 | 2013-03-14 | 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削硬脆材料的方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410354509.6A Pending CN104119999A (zh) | 2012-03-23 | 2013-03-14 | 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削硬脆材料的方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5751521B2 (zh) |
CN (2) | CN103320201B (zh) |
TW (1) | TWI463006B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105886079B (zh) * | 2016-04-25 | 2018-08-17 | 浙江模德石化有限公司 | 一种用于硬脆材料切片加工的特种切削油及其制备方法 |
CN111303981B (zh) * | 2020-03-26 | 2022-05-03 | 常州高特新材料股份有限公司 | 一种金刚线切割液及其制备方法 |
CN111635809B (zh) * | 2020-06-16 | 2022-10-28 | 西安思凯石化科技有限公司 | 水溶性金属多线切割液 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202004020067U1 (de) * | 2004-12-28 | 2005-03-10 | Wabo - Schmiertechnik Gmbh & Co Kg | Nanokeramisches Gleitcompound |
TW200923070A (en) * | 2007-09-25 | 2009-06-01 | Kyodo Yushi | Water-soluble cutting oil for isolation abrasive grain wire-saw |
CN102321497A (zh) * | 2011-08-29 | 2012-01-18 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种太阳能硅片切割液 |
CN102787005A (zh) * | 2011-05-18 | 2012-11-21 | 达兴材料股份有限公司 | 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削组成物 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3572104B2 (ja) * | 1994-08-25 | 2004-09-29 | 大智化学産業株式会社 | 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法 |
JP3379661B2 (ja) * | 1994-08-25 | 2003-02-24 | 大智化学産業株式会社 | 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法 |
JP3270313B2 (ja) * | 1994-10-25 | 2002-04-02 | 信越半導体株式会社 | 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法 |
JPH09314458A (ja) * | 1996-05-27 | 1997-12-09 | Yamamura Glass Co Ltd | 結晶化ガラスの精密研磨方法 |
US6054422A (en) * | 1999-02-19 | 2000-04-25 | Ppt Research, Inc. | Cutting and lubricating composition for use with a wire cutting apparatus |
US6602834B1 (en) * | 2000-08-10 | 2003-08-05 | Ppt Resaerch, Inc. | Cutting and lubricating composition for use with a wire cutting apparatus |
JP2003138248A (ja) * | 2001-10-16 | 2003-05-14 | Ppt Research Inc | 切削又は研磨用スラリー組成物およびその利用 |
US7985719B2 (en) * | 2008-04-28 | 2011-07-26 | Ward Irl E | Cutting and lubricating composition for use with a wire cutting apparatus |
CN102337674A (zh) * | 2010-07-16 | 2012-02-01 | 赵兴民 | 包含甘油的组合物作为化纤丝纺丝润滑油和硅晶片切割液的用途 |
-
2012
- 2012-03-23 TW TW101110110A patent/TWI463006B/zh not_active IP Right Cessation
-
2013
- 2013-03-14 CN CN201310080924.2A patent/CN103320201B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2013-03-14 CN CN201410354509.6A patent/CN104119999A/zh active Pending
- 2013-03-14 JP JP2013051904A patent/JP5751521B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202004020067U1 (de) * | 2004-12-28 | 2005-03-10 | Wabo - Schmiertechnik Gmbh & Co Kg | Nanokeramisches Gleitcompound |
TW200923070A (en) * | 2007-09-25 | 2009-06-01 | Kyodo Yushi | Water-soluble cutting oil for isolation abrasive grain wire-saw |
CN102787005A (zh) * | 2011-05-18 | 2012-11-21 | 达兴材料股份有限公司 | 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削组成物 |
CN102321497A (zh) * | 2011-08-29 | 2012-01-18 | 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 | 一种太阳能硅片切割液 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013224413A (ja) | 2013-10-31 |
CN103320201B (zh) | 2015-12-02 |
CN104119999A (zh) | 2014-10-29 |
JP5751521B2 (ja) | 2015-07-22 |
TW201339295A (zh) | 2013-10-01 |
TWI463006B (zh) | 2014-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104395448B (zh) | 水性加工液 | |
CN103013638B (zh) | 一种用于固定磨料线切割的水溶性冷却液及其制备方法 | |
FI69482C (fi) | Foerfarande foer mekanisk bearbetning av metaller och smoerjmedelskoncentrat | |
CN102492533A (zh) | 一种耐硬水半合成金属切削液及其制备方法 | |
JP5487516B2 (ja) | 水溶性金属加工油剤 | |
CN103320201B (zh) | 用于切削硬脆材料的加工组成物及切削硬脆材料的方法 | |
CN104822813A (zh) | 浓金属加工流体和金属加工方法 | |
CN111518603A (zh) | 一种水性全合成蓝宝石玻璃切割液及其制备方法 | |
KR20120049216A (ko) | 고정 지립 와이어 소용 수용성 가공액 | |
CN102851108A (zh) | 一种金刚石线切割液及其制备方法 | |
CN105008505A (zh) | 水性加工液 | |
CN103351911B (zh) | 一种润滑切削液 | |
KR20090104097A (ko) | 금속 가공용 오일제 및 금속 가공 방법 | |
CN106590907A (zh) | 一种含石墨烯的金属切削液及其制备方法 | |
CN103351925B (zh) | 一种切削液组合物 | |
CN104120019B (zh) | 一种水基防锈防腐耐磨切削液及其制备方法 | |
CN103555392A (zh) | 一种含有离子液体的微乳化金属切削液及其制备方法和应用 | |
CN103242944B (zh) | 多功能水性环保可循环利用晶硅精密切割液 | |
CN107129858A (zh) | 一种用于金刚石线切割硅片的冷却液 | |
CN106221882A (zh) | 一种防锈切削液 | |
CN111635809B (zh) | 水溶性金属多线切割液 | |
CN105695074A (zh) | 一种环保金属切削液 | |
TW202248406A (zh) | 加工液、加工液用組成物及脆性材料加工液組成物 | |
CN103122272B (zh) | 一种环境友好型高压高速切削金属加工液 | |
CN107142146B (zh) | 一种精密加工用乳化液及其制备方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151202 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |