JP3270313B2 - 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法 - Google Patents
切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、シリコン単結晶や多結
晶、その他化合物半導体やセラミック等のインゴットの
切断用に有効な切削液（水溶性切削液）、その製造方法
およびこの切削液を用いるインゴットの切断方法に関す
る。
晶、その他化合物半導体やセラミック等のインゴットの
切断用に有効な切削液（水溶性切削液）、その製造方法
およびこの切削液を用いるインゴットの切断方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、シリコン単結晶等のインゴット切
断用の切削液としては、主に、鉱物油を主成分とする非
水溶性切削油が用いられており、この切削油にＳｉＣ等
の砥粒を混合・分散させた切削剤（スラリー）をインゴ
ットの切断部に供給することにより、インゴットのスラ
イスが行われている。そして、このスライス品は、洗浄
工程を経て次工程に供される。また、インゴットの切断
に用いられた後のスラリーは、廃棄物として処理されて
いる。
断用の切削液としては、主に、鉱物油を主成分とする非
水溶性切削油が用いられており、この切削油にＳｉＣ等
の砥粒を混合・分散させた切削剤（スラリー）をインゴ
ットの切断部に供給することにより、インゴットのスラ
イスが行われている。そして、このスライス品は、洗浄
工程を経て次工程に供される。また、インゴットの切断
に用いられた後のスラリーは、廃棄物として処理されて
いる。
【０００３】前記スライス品の洗浄は、これに付着する
切削油等を除去するものであり、従来、洗浄液として有
機溶剤系のもの（例えばトリクロロエタン、塩化メチレ
ン等）が用いられてきた。この有機溶剤系の洗浄液によ
れば、洗浄操作が簡単になる利点がある。
切削油等を除去するものであり、従来、洗浄液として有
機溶剤系のもの（例えばトリクロロエタン、塩化メチレ
ン等）が用いられてきた。この有機溶剤系の洗浄液によ
れば、洗浄操作が簡単になる利点がある。
【０００４】また、上記インゴット切断用の加工具とし
ては外周刃、内周刃、バンドソーまたはワイヤソーが用
いられている。この場合、直径３インチ以上の比較的大
径のインゴットの切断には、ワイヤソーやバンドソーが
多用されるようになっている。その理由は他の加工具に
比べて、より均一な厚さでインゴットをスライスするこ
とができ、切断屑の発生量が少なくてすむだけでなく、
一度に多数のウエーハを切断できるからである。
ては外周刃、内周刃、バンドソーまたはワイヤソーが用
いられている。この場合、直径３インチ以上の比較的大
径のインゴットの切断には、ワイヤソーやバンドソーが
多用されるようになっている。その理由は他の加工具に
比べて、より均一な厚さでインゴットをスライスするこ
とができ、切断屑の発生量が少なくてすむだけでなく、
一度に多数のウエーハを切断できるからである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、鉱物油を主成
分とする切削油は、引火性のある危険物であり、安全性
に乏しいという問題があった。また、上記有機溶剤系の
洗浄液は、発ガンや大気汚染（オゾン層の破壊）の主原
因になるため最近、使用が禁止されている。さらに、前
記スラリーは切断に供された後、廃棄物として焼却処理
されるのが一般的であり、この焼却も大気汚染の一原因
になっている。このため、その代替品の開発が待たれて
いた。
分とする切削油は、引火性のある危険物であり、安全性
に乏しいという問題があった。また、上記有機溶剤系の
洗浄液は、発ガンや大気汚染（オゾン層の破壊）の主原
因になるため最近、使用が禁止されている。さらに、前
記スラリーは切断に供された後、廃棄物として焼却処理
されるのが一般的であり、この焼却も大気汚染の一原因
になっている。このため、その代替品の開発が待たれて
いた。
【０００６】さらに、インゴット切断の場合において
は、切断速度の増大とともに得られたスライス品に「反
り」が発生（スライス品の中央部が凸状になる）しやす
くなり、ワイヤソーの場合では、直径８インチのシリコ
ン単結晶インゴットを切断速度１ｍｍ／ｍｉｎ以上で切
断すると、反りが２０μｍを超えることがあり、このよ
うな大きな反りは、シリコンウエーハ等を製造加工する
ときの障害になるうえ、結果として、その歩留りが低下
する原因にもなっている。
は、切断速度の増大とともに得られたスライス品に「反
り」が発生（スライス品の中央部が凸状になる）しやす
くなり、ワイヤソーの場合では、直径８インチのシリコ
ン単結晶インゴットを切断速度１ｍｍ／ｍｉｎ以上で切
断すると、反りが２０μｍを超えることがあり、このよ
うな大きな反りは、シリコンウエーハ等を製造加工する
ときの障害になるうえ、結果として、その歩留りが低下
する原因にもなっている。
【０００７】本発明は、上記の点に鑑みなされたもの
で、その目的は、切削液を水溶性とすることにより、従
来の非水溶性切削油を用いる場合における引火の危険性
や、被切削材洗浄工程における有機溶剤の使用に伴う大
気汚染等の諸問題を解決するとともに、大径のシリコン
単結晶インゴット等を切断するときのスライス品の反り
を低下させることにある。
で、その目的は、切削液を水溶性とすることにより、従
来の非水溶性切削油を用いる場合における引火の危険性
や、被切削材洗浄工程における有機溶剤の使用に伴う大
気汚染等の諸問題を解決するとともに、大径のシリコン
単結晶インゴット等を切断するときのスライス品の反り
を低下させることにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の切削液
は、無機ベントナイト、有機ベントナイトの少なくとも
一方と、脂肪酸イミダゾールの水溶液とを、主成分とし
て含有することを特徴とする。
は、無機ベントナイト、有機ベントナイトの少なくとも
一方と、脂肪酸イミダゾールの水溶液とを、主成分とし
て含有することを特徴とする。
【０００９】請求項２に記載の切削液は、請求項１にお
いて、前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪酸トリグ
リセライドイミダゾールを含有し、更にＮ−メチル−２
−ピ ロリドンとステアリン酸との反応物を含有すること
を特徴とする。
いて、前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪酸トリグ
リセライドイミダゾールを含有し、更にＮ−メチル−２
−ピ ロリドンとステアリン酸との反応物を含有すること
を特徴とする。
【００１０】請求項３に記載の切削液は、請求項１にお
いて、前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪酸トリグ
リセライドイミダゾ−ルを含有し、更に硼酸イミダゾー
ル、Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリン酸との反
応物を含有することを特徴とする。
いて、前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪酸トリグ
リセライドイミダゾ−ルを含有し、更に硼酸イミダゾー
ル、Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリン酸との反
応物を含有することを特徴とする。
【００１１】請求項４に記載の切削液は、請求項１，２
または３において、保水性向上剤、水洗浄性向上剤、砥
粒の沈降防止剤、砥粒の分散性向上剤、潤滑性向上剤、
冷却性向上剤、浸透性向上剤、防錆剤、防錆力補助剤、
不凍性向上剤、粘度回復性補助剤および消泡剤からなる
群より任意に選ばれた複数種の主剤もしくは補助剤を含
有することを特徴とする。
または３において、保水性向上剤、水洗浄性向上剤、砥
粒の沈降防止剤、砥粒の分散性向上剤、潤滑性向上剤、
冷却性向上剤、浸透性向上剤、防錆剤、防錆力補助剤、
不凍性向上剤、粘度回復性補助剤および消泡剤からなる
群より任意に選ばれた複数種の主剤もしくは補助剤を含
有することを特徴とする。
【００１２】請求項５に記載の切削液の製造方法は、請
求項２に記載の切削液を製造するに際し、水に無機ベン
トナイト、有機ベントナイトの少なくとも一方を分散せ
しめ、該分散液に、重合脂肪酸グリセライドとイミダゾ
ールとの反応により得られた重合脂肪酸トリグリセライ
ドイミダゾールを含有する原料液（１）を溶解させた
後、該溶液に、Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリ
ン酸との反応により得られたＮ−メチル−２−ピロリド
ンとステアリン酸との反応物を含有する原料液（２）と
オレイン酸を溶解させ、更にこの溶液に、イミダゾール
と硼酸との反応により得られた硼酸イミダゾールを含有
する原料液（３）を溶解させた後、この溶液にエチレン
ジアミンテトラ酢酸Ｎａ塩、ベンゾトリアゾール、シリ
コーン系消泡剤などを含む複数種の主剤もしくは補助剤
を添加することを特徴とする。
求項２に記載の切削液を製造するに際し、水に無機ベン
トナイト、有機ベントナイトの少なくとも一方を分散せ
しめ、該分散液に、重合脂肪酸グリセライドとイミダゾ
ールとの反応により得られた重合脂肪酸トリグリセライ
ドイミダゾールを含有する原料液（１）を溶解させた
後、該溶液に、Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリ
ン酸との反応により得られたＮ−メチル−２−ピロリド
ンとステアリン酸との反応物を含有する原料液（２）と
オレイン酸を溶解させ、更にこの溶液に、イミダゾール
と硼酸との反応により得られた硼酸イミダゾールを含有
する原料液（３）を溶解させた後、この溶液にエチレン
ジアミンテトラ酢酸Ｎａ塩、ベンゾトリアゾール、シリ
コーン系消泡剤などを含む複数種の主剤もしくは補助剤
を添加することを特徴とする。
【００１３】請求項６に記載のインゴットの切断方法
は、請求項１，２，３または４に記載の切削液に砥粒を
分散させた分散液を切削剤（スラリー）として用い、ワ
イヤソーまたはバンドソーによりシリコン単結晶等のイ
ンゴットをスライスすることを特徴とする。
は、請求項１，２，３または４に記載の切削液に砥粒を
分散させた分散液を切削剤（スラリー）として用い、ワ
イヤソーまたはバンドソーによりシリコン単結晶等のイ
ンゴットをスライスすることを特徴とする。
【００１４】本発明に係る切削液は無機ベントナイト、
有機ベントナイトの少なくとも一方と、脂肪酸イミダゾ
ールの水溶液とを、主成分として含有するものであり、
一般的に下記の主原料と各種補助剤との組合せにより構
成される。 （Ａ）無機ベントナイト、有機ベントナイト（主原
料）： 架橋型の分散剤で、砥粒の沈降防止剤、または砥粒の分
散性向上剤として作用する。 （Ｂ）重合脂肪酸トリグリセライドイミダゾール（原料
液１）： 脂肪酸イミダゾールとして、砥粒の分散性を維持し回復
剤として効果があり、保水性向上剤として作用する外、
この切削液の粘度回復性補助剤と、この切削液の防錆剤
とを兼ねるものである。 （Ｃ）Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリン酸との
反応物（原料液２）： 水洗浄性向上剤として作用する外、砥粒の分散性向上剤
および、この切削液の潤滑性向上剤（摩擦係数低下
剤）、冷却性向上剤、不凍性向上剤としても作用する。 （Ｄ）オレイン酸（不飽和脂肪酸）： この切削液の潤滑性向上剤（摩擦係数低下剤）としての
外、浸透性向上剤としての効果がある。 （Ｅ）硼酸イミダゾール（原料液３）： この切削液の防錆剤である。 （Ｆ）エチレンジアミンテトラ酢酸Ｎａ塩： 金属イオン吸着剤（キレート剤）である。２Ｎａ〜４Ｎ
ａ塩が使用される。 （Ｇ）ベンゾトリアゾール（トリルトリアゾール）： この切削液の防錆力補助剤である。 （Ｈ）シリコーン系消泡剤： ジメチルポリシロキサンのエマルジョンで、この切削液
の消泡剤である。 （Ｉ）精製水： この切削液をイオン化するためのイオン化溶媒である。
有機ベントナイトの少なくとも一方と、脂肪酸イミダゾ
ールの水溶液とを、主成分として含有するものであり、
一般的に下記の主原料と各種補助剤との組合せにより構
成される。 （Ａ）無機ベントナイト、有機ベントナイト（主原
料）： 架橋型の分散剤で、砥粒の沈降防止剤、または砥粒の分
散性向上剤として作用する。 （Ｂ）重合脂肪酸トリグリセライドイミダゾール（原料
液１）： 脂肪酸イミダゾールとして、砥粒の分散性を維持し回復
剤として効果があり、保水性向上剤として作用する外、
この切削液の粘度回復性補助剤と、この切削液の防錆剤
とを兼ねるものである。 （Ｃ）Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリン酸との
反応物（原料液２）： 水洗浄性向上剤として作用する外、砥粒の分散性向上剤
および、この切削液の潤滑性向上剤（摩擦係数低下
剤）、冷却性向上剤、不凍性向上剤としても作用する。 （Ｄ）オレイン酸（不飽和脂肪酸）： この切削液の潤滑性向上剤（摩擦係数低下剤）としての
外、浸透性向上剤としての効果がある。 （Ｅ）硼酸イミダゾール（原料液３）： この切削液の防錆剤である。 （Ｆ）エチレンジアミンテトラ酢酸Ｎａ塩： 金属イオン吸着剤（キレート剤）である。２Ｎａ〜４Ｎ
ａ塩が使用される。 （Ｇ）ベンゾトリアゾール（トリルトリアゾール）： この切削液の防錆力補助剤である。 （Ｈ）シリコーン系消泡剤： ジメチルポリシロキサンのエマルジョンで、この切削液
の消泡剤である。 （Ｉ）精製水： この切削液をイオン化するためのイオン化溶媒である。
【００１５】その他、本発明の切削液を製造するための
原材料を列挙すると以下の通りである。 （１）Ｎ−メチル−２−ピロリドン： 飽和脂肪酸の溶解を促進する溶媒としても作用する。 （２）重合脂肪酸グリセライド （３）ステアリン酸（飽和脂肪酸） （４）イミダゾール： この切削液の主原料であると同時に、増粘・防錆剤とし
ても作用する。分子式はＣ4 Ｈ6 Ｎ2 で２ＭＺ型が使用
される。 （５）硼酸： この切削液の防錆力補助剤としても作用する。
原材料を列挙すると以下の通りである。 （１）Ｎ−メチル−２−ピロリドン： 飽和脂肪酸の溶解を促進する溶媒としても作用する。 （２）重合脂肪酸グリセライド （３）ステアリン酸（飽和脂肪酸） （４）イミダゾール： この切削液の主原料であると同時に、増粘・防錆剤とし
ても作用する。分子式はＣ4 Ｈ6 Ｎ2 で２ＭＺ型が使用
される。 （５）硼酸： この切削液の防錆力補助剤としても作用する。
【００１６】上記重合脂肪酸グリセライドは、少なくと
もカルボキシル基を含有する。重合脂肪酸グリセライド
としては、平均分子量は約２０００のものが好ましい。
重合脂肪酸グリセライドとしては、（１）多不飽和脂肪
酸を異性化させた後、Diels-Alder 反応で付加させて得
られる多官能性脂肪酸にグリセリンを反応させて得られ
るものや、（２）多不飽和脂肪酸の二重結合の隣の炭素
に重合性モノマーを付加させて得られる多官能性脂肪酸
にグリセリンを反応させて得られるものが挙げられる。
これらのうち上記（１）の多官能性脂肪酸としては、一
般にダイマー酸と称されるものが好ましい例として挙げ
られる。
もカルボキシル基を含有する。重合脂肪酸グリセライド
としては、平均分子量は約２０００のものが好ましい。
重合脂肪酸グリセライドとしては、（１）多不飽和脂肪
酸を異性化させた後、Diels-Alder 反応で付加させて得
られる多官能性脂肪酸にグリセリンを反応させて得られ
るものや、（２）多不飽和脂肪酸の二重結合の隣の炭素
に重合性モノマーを付加させて得られる多官能性脂肪酸
にグリセリンを反応させて得られるものが挙げられる。
これらのうち上記（１）の多官能性脂肪酸としては、一
般にダイマー酸と称されるものが好ましい例として挙げ
られる。
【００１７】本発明の切削液は、例えば以下の手順で製
造される。 原料液（１）の調製（重合脂肪酸トリグリセライドイ
ミダゾールの合成）： 精製水を温度５０℃〜６０℃に加温し、重合脂肪酸トリ
グリセライドを攪拌持続し、加添する。充分攪拌し温度
５０℃〜６０℃に戻った時点で、イミダゾール２ＭＺを
添加し反応させる。 原料液（２）の調製（Ｎ−メチル−２−ピロリドンと
ステアリン酸との反応物の合成）： メチル−２−ピロリドン液を温度６０℃〜７０℃に加温
し、且つ攪拌しつつ、飽和脂肪酸（ステアリン酸）を添
加し反応させる。 原料液（３）の調製（硼酸イミダゾールの合成）： 精製水を温度５０℃〜６０℃に加温し且つ、攪拌しつ
つ、イミダゾール２ＭＺを加添し、溶解終了後硼酸を添
加し反応させる。 切削液（１）の調製： 精製水にベントナイトを添加して攪拌・分散させ、原料
液（１）を常温で溶解し、この溶液に前記原料液（２）
を添加、溶解する。その上で原料液（３）を挿入し、溶
解後温度５０℃〜６０℃に加温した後、不飽和脂肪酸
（オレイン酸）を溶解させる。これにより切削液（１）
の主成分液が得られる。この主成分液に金属イオン吸着
剤（キレート剤）、ベンゾトリアゾール（トリルトリア
ゾール）のような防錆力補助剤、その他シリコーン系消
泡剤を添加・混合し完成品とする。
造される。 原料液（１）の調製（重合脂肪酸トリグリセライドイ
ミダゾールの合成）： 精製水を温度５０℃〜６０℃に加温し、重合脂肪酸トリ
グリセライドを攪拌持続し、加添する。充分攪拌し温度
５０℃〜６０℃に戻った時点で、イミダゾール２ＭＺを
添加し反応させる。 原料液（２）の調製（Ｎ−メチル−２−ピロリドンと
ステアリン酸との反応物の合成）： メチル−２−ピロリドン液を温度６０℃〜７０℃に加温
し、且つ攪拌しつつ、飽和脂肪酸（ステアリン酸）を添
加し反応させる。 原料液（３）の調製（硼酸イミダゾールの合成）： 精製水を温度５０℃〜６０℃に加温し且つ、攪拌しつ
つ、イミダゾール２ＭＺを加添し、溶解終了後硼酸を添
加し反応させる。 切削液（１）の調製： 精製水にベントナイトを添加して攪拌・分散させ、原料
液（１）を常温で溶解し、この溶液に前記原料液（２）
を添加、溶解する。その上で原料液（３）を挿入し、溶
解後温度５０℃〜６０℃に加温した後、不飽和脂肪酸
（オレイン酸）を溶解させる。これにより切削液（１）
の主成分液が得られる。この主成分液に金属イオン吸着
剤（キレート剤）、ベンゾトリアゾール（トリルトリア
ゾール）のような防錆力補助剤、その他シリコーン系消
泡剤を添加・混合し完成品とする。
【００１８】本発明の切削液は、これに砥粒を混合・分
散させたスラリーとして用いられ、シリコン単結晶また
は多結晶からなるインゴットの切断用に特に有効である
が、化合物半導体あるいはセラミック等々の切断にも広
く使用することができる。また、この切削液が用いられ
る切断装置としては、ワイヤソーやバンドソー、これら
を多重化したマルチワイヤソーやマルチバンドソーが含
まれる。更には外周刃や内周刃の切断装置にも転用が可
能である。
散させたスラリーとして用いられ、シリコン単結晶また
は多結晶からなるインゴットの切断用に特に有効である
が、化合物半導体あるいはセラミック等々の切断にも広
く使用することができる。また、この切削液が用いられ
る切断装置としては、ワイヤソーやバンドソー、これら
を多重化したマルチワイヤソーやマルチバンドソーが含
まれる。更には外周刃や内周刃の切断装置にも転用が可
能である。
【００１９】本発明の切削液を製造するための原料液
（１）〜（３）の成分・組成は、標準的には［表１］〜
［表３］に示すとおりである。
（１）〜（３）の成分・組成は、標準的には［表１］〜
［表３］に示すとおりである。
【００２０】
【表１】
【００２１】
【表２】
【００２２】
【表３】
【００２３】上記原料液（１）〜（３）を用いて製造さ
れる切削液の成分・組成は、標準的には［表４］に示す
とおりである。
れる切削液の成分・組成は、標準的には［表４］に示す
とおりである。
【００２４】
【表４】
【００２５】つぎに、本発明の実施例と、従来の切削液
による比較例について説明する。 実施例１および比較例１ 実施例１の切削液を構成する原料液（１）〜（３）の成
分・組成を［表５］〜［表７］に示し、この切削液を構
成する各原料成分と組成を［表８］に示す。
による比較例について説明する。 実施例１および比較例１ 実施例１の切削液を構成する原料液（１）〜（３）の成
分・組成を［表５］〜［表７］に示し、この切削液を構
成する各原料成分と組成を［表８］に示す。
【００２６】
【表５】
【００２７】
【表６】
【００２８】
【表７】
【００２９】
【表８】
【００３０】上記本発明の切削液と、従来例の非水溶性
切削油の物性を示すと、［表９］のとおりである。
切削油の物性を示すと、［表９］のとおりである。
【００３１】
【表９】
【００３２】上記本発明の切削液および、従来の切削油
と砥粒（ＳｉＣ砥粒であり、ＧＣ♯６００、平均砥粒径
１９〜２０μｍ）を１．０〜１．５リットル：１．５ｋ
ｇの割合で混合・分散させたスラリーを用い、線径が
０．１８ｍｍのマルチワイヤソーの張力を３．０ｋｇｆ
とし、シリコン単結晶のインゴットを切断速度１ｍｍ／
ｍｉｎで、肉厚０．７５ｍｍのスライス品に切断した。
と砥粒（ＳｉＣ砥粒であり、ＧＣ♯６００、平均砥粒径
１９〜２０μｍ）を１．０〜１．５リットル：１．５ｋ
ｇの割合で混合・分散させたスラリーを用い、線径が
０．１８ｍｍのマルチワイヤソーの張力を３．０ｋｇｆ
とし、シリコン単結晶のインゴットを切断速度１ｍｍ／
ｍｉｎで、肉厚０．７５ｍｍのスライス品に切断した。
【００３３】その結果、実施例１の切削液を用いた場
合、直径８インチのインゴットでは、スライス品の反り
（凸状に変形した中央部と、外周部との高さの差の最大
値）は１００枚の全てが２０μｍ以下となった。これに
対し、比較例１の従来の切削油を用いた場合、直径８イ
ンチのインゴットでは、スライス品の反りは１００枚
中、９６枚が２０μｍ以下となった。このように、本発
明の水溶性切削液によれば、従来の非水溶性切削油と同
等の切断結果を得ることができた。
合、直径８インチのインゴットでは、スライス品の反り
（凸状に変形した中央部と、外周部との高さの差の最大
値）は１００枚の全てが２０μｍ以下となった。これに
対し、比較例１の従来の切削油を用いた場合、直径８イ
ンチのインゴットでは、スライス品の反りは１００枚
中、９６枚が２０μｍ以下となった。このように、本発
明の水溶性切削液によれば、従来の非水溶性切削油と同
等の切断結果を得ることができた。
【００３４】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
切削液によれば、大径のシリコン単結晶等のインゴット
を、従来の切削油の場合と同等に高速で、かつスライス
品に大きな反りを発生させることなく切断することがで
きる。また、本発明の切削液は水溶性であるから、引火
による火災の危険性はなく、得られたスライス品に付着
する切削液の洗浄を水洗により行うことができて好都合
である。また、洗浄排水の処理では、既設の排水処理設
備を利用することが可能であり、切断に供したスラリー
の処理も同様に行うことができるため、従来の有機溶剤
系の洗浄液を用いる場合と異なり大気汚染を引き起こす
危険がなく、更に、本発明の切削液はアミン系化合物を
含まないから、発ガンの心配もなくなるなどの効果があ
る。
切削液によれば、大径のシリコン単結晶等のインゴット
を、従来の切削油の場合と同等に高速で、かつスライス
品に大きな反りを発生させることなく切断することがで
きる。また、本発明の切削液は水溶性であるから、引火
による火災の危険性はなく、得られたスライス品に付着
する切削液の洗浄を水洗により行うことができて好都合
である。また、洗浄排水の処理では、既設の排水処理設
備を利用することが可能であり、切断に供したスラリー
の処理も同様に行うことができるため、従来の有機溶剤
系の洗浄液を用いる場合と異なり大気汚染を引き起こす
危険がなく、更に、本発明の切削液はアミン系化合物を
含まないから、発ガンの心配もなくなるなどの効果があ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｃ１０Ｍ 133:46 Ｃ１０Ｍ 133:46 105:70 105:70 139:00 139:00 Ａ 105:24 105:24 133:06 133:06 133:44 133:44 155:02） 155:02） Ｃ１０Ｎ 40:22 Ｃ１０Ｎ 40:22 70:00 70:00 (72)発明者 芦田 昭雄 東京都墨田区八広２丁目17番10号 大智 化学産業株式会社内 (72)発明者 木内 悦男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益 半導体工業株式会社内 (72)発明者 早川 和男 群馬県群馬郡群馬町足門762番地 三益 半導体工業株式会社内 (72)発明者 外山 公平 福島県西白河郡西郷村大字小田倉字大平 150番地 信越半導体株式会社 半導体 白河研究所内 (56)参考文献 特開 平８−60176（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−57848（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−218594（ＪＰ，Ａ) 特許2816940（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C10M 173/02 C10M 103/06 C10M 105/24 C10M 105/70 C10M 105/78 C10M 125/30 C10M 129/40 C10M 133/06 C10M 133/44 - 133/46 C10M 139/00 C10M 155/02 C10N 40:22 C10N 70:00 B28D 7/02 H01L 21/304
Claims (6)
- 【請求項１】 無機ベントナイト、有機ベントナイトの
少なくとも一方と、脂肪酸イミダゾールの水溶液とを、
主成分として含有することを特徴とする切削液。 - 【請求項２】 前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪
酸トリグリセライドイミダゾールを含有し、更にＮ−メ
チル−２−ピロリドンとステアリン酸との反応物を含有
することを特徴とする請求項１に記載の切削液。 - 【請求項３】 前記脂肪酸イミダゾールとして重合脂肪
酸トリグリセライドイミダゾ−ルを含有し、更に硼酸イ
ミダゾール、Ｎ−メチル−２−ピロリドンとステアリン
酸との反応物を含有することを特徴とする請求項１に記
載の切削液。 - 【請求項４】 保水性向上剤、水洗浄性向上剤、砥粒の
沈降防止剤、砥粒の分散性向上剤、潤滑性向上剤、冷却
性向上剤、浸透性向上剤、防錆剤、防錆力補助剤、不凍
性向上剤、粘度回復性補助剤および消泡剤からなる群よ
り任意に選ばれた複数種の主剤もしくは補助剤を含有す
ることを特徴とする請求項１，２または３に記載の切削
液。 - 【請求項５】 請求項２に記載の切削液を製造するに際
し、水に無機ベントナイト、有機ベントナイトの少なく
とも一方を分散せしめ、該分散液に、重合脂肪酸グリセ
ライドとイミダゾールとの反応により得られた重合脂肪
酸トリグリセライドイミダゾールを含有する原料液
（１）を溶解させた後、該溶液に、Ｎ−メチル−２−ピ
ロリドンとステアリン酸との反応により得られたＮ−メ
チル−２−ピロリドンとステアリン酸との反応物を含有
する原料液（２）とオレイン酸を溶解させ、更にこの溶
液に、イミダゾールと硼酸との反応により得られた硼酸
イミダゾールを含有する原料液（３）を溶解させた後、
この溶液にエチレンジアミンテトラ酢酸Ｎａ塩、ベンゾ
トリアゾール、シリコーン系消泡剤などを含む複数種の
主剤もしくは補助剤を添加することを特徴とする切削液
の製造方法。 - 【請求項６】 請求項１，２，３または４に記載の切削
液に砥粒を分散させた分散液を切削剤（スラリー）とし
て用い、ワイヤソーまたはバンドソーによりシリコン単
結晶等のインゴットをスライスすることを特徴とするイ
ンゴットの切断方法。
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|---|---|---|---|
| JP30063995A JP3270313B2 (ja) | 1994-10-25 | 1995-10-25 | 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28423594 | 1994-10-25 | ||
| JP6-284235 | 1994-10-25 | ||
| JP30063995A JP3270313B2 (ja) | 1994-10-25 | 1995-10-25 | 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法 |
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| JPH08209184A JPH08209184A (ja) | 1996-08-13 |
| JP3270313B2 true JP3270313B2 (ja) | 2002-04-02 |
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ID=26555383
Family Applications (1)
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| JP30063995A Expired - Fee Related JP3270313B2 (ja) | 1994-10-25 | 1995-10-25 | 切削液、その製造方法およびインゴットの切断方法 |
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|---|---|---|---|---|
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-
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- 1995-10-25 JP JP30063995A patent/JP3270313B2/ja not_active Expired - Fee Related
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