CN103314320B - Mems致动器对准 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于使致动器装置相对于邻近组件(例如，致动器模块的后盖或固定透镜)进行对准的方法，其包含：将多个径向延伸的凸片安置在所述致动器装置的外周边；将对应的多对凸起安装特征安置在所述邻近组件的前表面上，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及将所述凸片中的相应者插入到所述狭槽中的对应者中。

Description

MEMS致动器对准
相关申请案
本申请案为2010年11月15日申请的第12/946,680号美国专利申请案的部分接续案，所述专利申请案以全文引用的方式并入本文中。
技术领域
本发明整体涉及致动器，且更特定来说，涉及并入有适于在(例如)小型相机或其它装置中使用的微机电系统(MEMS)致动器的透镜镜筒。
背景技术
用于在小型相机中使用的致动器是众所周知的。此类致动器通常包括音圈，其用于移动透镜以聚焦、变焦或光学图像稳定。
小型相机用于多种不同电子装置中。例如，小型相机通常用于蜂窝式电话、膝上型计算机及监视装置中。小型相机可具有许多其它应用。
常常期望减小小型相机的大小。随着电子装置的大小持续减小，小型相机(其为此类电子装置的部分)的大小通常也必须减小。
此外，期望增强此类小型相机的抗冲击性能。随着小型相机的大小减小，在制造相机时经常必须使用更小、更精密的组件。由于此类消费品通常会受到实质性违规操作(例如粗暴操作及掉落)，因此必须保护小型相机的组件免于与此类违规操作相关联的冲击的损害。
例如，小型相机及其它装置经常并入有通常与透镜镜筒的光轴共轴对准而沿着所述光轴而布置的透镜镜筒，即，含有光学元件(例如，透镜、光圈、快门、成像仪及类似者)的细长管状结构。在一些实例中，可能需要相对于这些元件中的其它者而可选择地移动这些元件中的一者或一者以上(例如)以获得特定效果，例如聚焦及变焦效果。因此，随着并入有透镜镜筒的小型相机及其它装置的大小减小且减小到必须保护其免受粗暴操作的冲击的损害的程度，就产生了对大小减小的仍能够承受此类违规操作的透镜镜筒的对应需求。
发明内容
根据本发明的实施例，提供了并入有在(例如)小型相机或其它装置中使用的经同心对准的线性致动器装置的透镜镜筒，其有效地实现前述及其它有利目标。
在一个实例实施例中，一种用于使致动器装置相对于邻近组件(例如致动器模块的后盖或固定透镜)进行对准的方法包括：将多个径向延伸的凸片安置在致动器装置的外周边；将对应的多对凸起安装特征安置在邻近组件的前表面上，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及将所述凸片中的相应者插入到所述狭槽中的对应者中。
在另一实施例中，致动器模块包括具有安置在其外周边的多个径向延伸的凸片的致动器装置以及具有安置在其前表面上的对应的多对凸起安装特征的后盖，每一对特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽，每一狭槽具有插入在其中的凸片的相应一者。
在又一实施例中，透镜镜筒包括：细长镜筒；致动器装置，其具有安置在其外周边的多个径向延伸的凸片；以及固定透镜，其同心地安置在镜筒内，所述透镜具有安置在其前表面上的多对凸起安装特征，每一对特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽，每一狭槽具有插入在其中的凸片的相应一者，以使致动器装置与镜筒同心对准且安置在相对于其的选定角度位置处。
本发明的范围由权利要求书界定，权利要求书以引用的方式并入本文中。将通过考虑对一个或一个以上实施例的以下详细描述而向所属领域的技术人员提供对实施例的更完全的理解，以及实现其额外优点。将参考附加图片，将首先对其进行简单地描述。
附图说明
图1说明根据实施例的具有致动器装置的电子装置。
图2说明根据实施例的具有透镜镜筒的小型相机。
图3A说明根据实施例的具有安置于其内的致动器模块的透镜镜筒。
图3B以分解图说明根据实施例的透镜镜筒及致动器模块。
图4说明根据实施例的具有安置于其内的致动器装置的致动器模块。
图5A说明根据实施例的致动器装置的俯视图。
图5B说明根据实施例的致动器装置的俯视图。
图6A说明根据实施例的致动器装置的部分。
图6B说明根据实施例的致动器装置的部分。
图6C说明根据实施例的平台的部分。
图6D说明根据实施例的经定位以用于安装到致动器装置的可移动透镜的仰视图。
图6E说明根据实施例的安装到致动器装置的可移动透镜的侧视图。
图7说明根据实施例的致动器装置的部分。
图8说明根据实施例的处于部署配置的致动器装置的仰视图。
图9A说明根据实施例的未被施加任何电压的处于部署配置的致动器装置的部分。
图9B说明根据实施例的被施加较小电压的处于部署配置的致动器装置的部分。
图9C说明根据实施例的被施加最大电压的处于部署配置的致动器装置的部分。
图10说明根据实施例的横向缓冲器组合件。
图11说明根据实施例的铰链挠曲及运动控制扭转挠曲。
图12说明根据实施例的内部运动控制铰链。
图13说明根据实施例的悬臂挠曲。
图14说明根据实施例的蜿蜒接触挠曲及部署扭转挠曲。
图15说明根据实施例的部署停止件的俯视图。
图16说明根据实施例的部署停止件的仰视图。
图17A说明根据实施例的皮片阻尼器。
图17B说明根据实施例的在没有施加冲击的情况下安置于上部模块盖与下部模块盖之间的可移动框架。
图17C说明根据实施例的在施加冲击的情况下安置于上部模块盖与下部模块盖之间的可移动框架。
图17D说明根据实施例的另一致动器装置的部分俯视图。
图17E说明根据实施例的致动器装置的放大俯视图。
图17F说明根据实施例的致动器装置的外部铰链挠曲、横向缓冲器组合件、单一缓冲器皮片，及联锁缓冲器皮片特征。
图17G及17H说明根据实施例的外部铰链挠曲。
图17I及17J说明根据实施例的横向缓冲器组合件。
图17K及17L说明根据实施例的单一缓冲器皮片及联锁缓冲器皮片的剖面图。
图17M说明根据实施例的横向缓冲器组合件、单一缓冲器皮片及联锁缓冲器皮片的俯视图。
图17N说明根据实施例的单一缓冲器皮片及联锁缓冲器皮片的剖面图。
图18说明根据实施例的球承窝缓冲器。
图19说明根据实施例的球承窝缓冲器及两个框架铰链。
图20为根据实施例进行部分组装的图3B的第一实例透镜镜筒的分解透视图，其展示完全安置在其环形镜筒内的多个第一光学元件。
图21为根据实施例进行部分组装的第一透镜镜筒的前端正视图，其中省略了致动器装置及第二光学元件以在直接邻近致动器装置的第一光学元件的前表面上展示安装及对准特征。
图22为根据实施例的经部分组装的第一透镜镜筒的另一分解透视图，其展示完全安置在镜筒内的致动器装置。
图23为根据实施例的经部分组装的第一透镜镜筒的前端正视图，其中省略了第一光学元件及前盖以展示安装在镜筒内的致动器装置。
图24为根据实施例的经部分组装的第一透镜镜筒的另一分解透视图。
图25为根据实施例的经部分组装的第一透镜镜筒的另一透视图。
图26为根据实施例的经完全组装的第一透镜镜筒的前端正视图，其展示用一团导电粘合剂附接到致动器装置的径向凸片的柔性电路板的导线。
图27为根据实施例的图4的致动器模块的分解透视图。
图28为根据实施例的经部分组装的致动器模块的透视图。
图29为根据实施例的经部分组装的致动器模块的前端正视图。
图30为根据实施例的经完全组装的致动器模块的透视图。
图31为根据实施例的致动器模块的部分前端放大正视图，其展示致动器装置上径向延伸的凸片既用作对准机构又用作模块的电接触衬垫。
图32为根据实施例的经完全组装的致动器模块的透视图，其展示通过数团导电粘合剂电连接到致动器装置的凸片的导线或柔性电路板。
图33为根据实施例的经完全组装的致动器模块的前端正视图，其展示电连接到致动器装置的凸片的导线或柔性电路板。
图34为根据实施例的在其中根据本发明的实施例安置有致动器模块的透镜镜筒的第二实例实施例的分解透视图，其展示安置在其镜筒内的多个第一光学元件以及安装在其致动器模块内的第二光学元件。
图35为根据实施例的经部分组装的第二透镜镜筒的透视图。
图36为根据实施例的经部分组装的第二透镜镜筒的前端正视图，其展示致动器装置的径向凸片的圆周表面被用来将第一透镜的光轴同心地且与第二透镜组的光轴共轴地定位在镜筒内。
图37为根据实施例的经完全组装的第二透镜镜筒的前端正视图。
图38为根据实施例的致动器模块的部分前端放大正视图，其展示致动器装置上的径向延伸的凸片的另一实施例用作用于在透镜镜筒内同心地对准致动器装置的机构且任选地用作模块的电接触衬垫。
图39为图38的致动器模块的部分透视图。
图40为根据实施例的致动器模块的部分前端放大正视图，其展示致动器装置上的径向延伸的凸片的另一实施例用作用于在透镜镜筒内同心地对准致动器装置的机构且任选地用作模块的电接触衬垫。
图41为根据实施例的致动器模块的部分前端放大正视图，其展示致动器装置上的径向延伸的凸片的替代实施例用作用于在透镜镜筒内同心地对准致动器装置的机构且任选地用作模块的电接触衬垫。
通过参考以下详细描述而最佳地理解本发明的实施例及其优点。应了解，相同参考数字用于指示说明于一个或一个以上图中的相同元件。
具体实施方式
根据各种实施例揭示适宜用于多种不同电子装置中的致动器装置。致动器装置可经调适以用于相机中，例如小型相机。致动器装置可用于手动或自动聚焦小型相机。致动器装置可用于使小型相机变焦，或为小型相机提供光学图像稳定。致动器装置可用于对准相机内的光学器件。致动器装置可用于电子装置或任何其它装置中的任何其它所要的应用。
根据一个或一个以上实施例，致动器装置可包括一个或一个以上MEMS致动器。可使用单片构造形成致动器装置。可使用非单片构造形成致动器装置。
可使用当代制造技术形成致动器装置，例如蚀刻及微机械加工。预期各种其它制造技术。
致动器装置可由硅形成(例如，单晶硅及/或多晶硅)。致动器装置可由其它半导体形成，例如硅、锗、金刚石及砷化镓。形成致动器装置的材料可经掺杂以获得其所要导电率。致动器装置可由金属形成，例如钨、钛、锗、铝或镍。可使用此类材料的任何所要组合。
根据各种实施例揭示对致动器装置及/或由致动器装置移动的项目的运动控制。运动控制可用于促进项目的所要移动，同时减轻项目的非所要的移动。例如，运动控制可用于促进透镜沿着透镜的光轴的移动，同时抑制透镜的其它移动。因此，运动控制可用于促进透镜以单一所要平移自由度移动，同时抑制透镜在所有其它平移自由度上的移动，且同时抑制透镜在所有旋转自由度上的移动。在另一实例中，运动控制可促进透镜在所有三个平移自由度上的移动，同时抑制透镜在所有旋转自由度上的移动。
因此，可提供单独使用及用于电子装置中的增强的小型相机。小型相机适宜用于广泛多种不同电子装置中。例如，小型相机适宜用于例如蜂窝式电话、膝上型计算机、电视机、手持型装置及监视装置等电子装置中。
根据各种实施例，提供更小大小及增强的抗冲击性。增强的制造技术可用于提供这些优点及其它优点。此类制造技术可额外地增强小型相机的整体质量及可靠性，同时也实质上减小其成本。
图1说明根据实施例的具有致动器装置400的电子装置100。如本文中所讨论，致动器装置400可具有一个或一个以上致动器550。在一个实施例中，致动器550可为MEMS致动器，例如静电梳状驱动致动器。在一个实施例中，致动器550可为旋转梳状驱动致动器。
电子装置100可具有一个或一个以上致动器550，以移动其任何所要的组件。例如，电子装置100可具有例如小型相机101等光学装置，小型相机101具有用于移动光学元件(例如一个或一个以上可移动透镜301)(展示于图2中)的致动器550，所述光学元件经调适以提供聚焦、变焦及/或图像稳定。电子装置100可具有任何所要数目的致动器550，以执行任何所要的功能。
电子装置100可为蜂窝式电话、膝上型计算机、监视装置或任何其它所要的装置。小型相机101可建置在电子装置100中、可附接到电子装置100或可相对于电子装置100分离(例如，远程)。
图2说明根据实施例的具有透镜镜筒200的小型相机101。透镜镜筒200可含有一个或一个以上光学元件，例如可移动透镜301，所述一个或一个以上光学元件可由致动器装置400(展示于图1中)移动。透镜镜筒200可具有可固定的一个或一个以上光学元件。例如，透镜镜筒200可含有一个或一个以上透镜、孔径(可变的或固定的)、快门、镜(其可为平坦的、非平坦的、被供电的或未被供电的)、棱镜、空间光调制器、衍射光栅、激光器、LED及/或检测器。这些项目中的任一者可为固定的或可由致动器装置400移动。
致动器装置400可移动非光学装置，例如为了扫描而提供的样本。样本可为生物样本或非生物样本。生物样本的实例包括生物体、组织、细胞及蛋白质。非生物样本的实例包括固体、液体及气体。致动器装置400可用于操纵结构、光、声或任何其它所要事物。
光学元件可部分或完全包含于透镜镜筒200内。透镜镜筒200可具有任何所要的形状，例如，透镜镜筒200可实质上为圆形、三角形、矩形、正方形、五边形、六边形、八边形或任何其它形状或横截面配置。透镜镜筒200可永久或可移除地附接到小型相机101。可由小型相机101的外壳的部分界定透镜镜筒200。透镜镜筒200可部分或完全安置于小型相机101内。
图3A说明根据实施例的安置于透镜镜筒200内的致动器模块300。致动器模块300可含有致动器装置400。致动器装置400可完全包含于透镜镜筒200内、部分包含于透镜镜筒200内或完全在透镜镜筒200外部。致动器装置400可经调适以移动包含于透镜镜筒200内的光学元件、不包含于透镜镜筒200内的光学元件及/或任何其它所要的项目。
图3B以分解图说明根据实施例的透镜镜筒200及致动器模块300。可移动透镜301为光学元件的实例，其可附接到致动器装置400且可借此移动。致动器装置400可安置于上部模块盖401与下部模块盖402的中间。
可提供额外光学元件，例如固定(例如，静止)透镜302。额外光学元件可例如促进聚焦、变焦及/或光学图像稳定。可提供任何所要数目及/或类型的可移动(例如，经由致动器装置400)及固定的光学元件。
图4说明根据实施例的致动器模块300。致动器模块300可部分或完全安置于小型相机101内。致动器装置400可部分或完全安置于致动器模块300内。例如，致动器装置400可实质上夹在上部模块盖401与下部模块盖402之间。
致动器模块300可具有任何所要形状。例如，致动器模块300可实质上为圆形、三角形、正方形、矩形、五边形、六边形、八边形或任何其它形状或横截面配置。
在一个实施例中，透镜镜筒200可实质上为圆形横截面配置，且致动器模块300可实质上为圆形横截面配置。实质上圆形的透镜镜筒200及实质上圆形的致动器模块300的使用可促进大小上的有利缩减。可例如促进大小上的缩减，这是因为圆形透镜通常是优选的。实质上圆形的透镜镜筒200及具有圆形透镜的实质上圆形的致动器模块300的使用趋向于导致减小浪费的体积，且因此趋向于促进大小上的缩减。
如本文中所讨论，一个或一个以上光学元件(例如可移动透镜301)可安置于形成于致动器模块300中的开口405中(例如，孔)。举例来说，致动器550的致动可实现光学元件沿着其光轴410的移动。因此，对致动器550的致动可移动一个或一个以上透镜，以实现例如聚焦或变焦。
致动器模块300可具有形成于其内的切口403，以促进致动器模块300的组装及其内含有的致动器装置400的对准。切口403及/或部分安置于切口403内的电接触件404可用于促进致动器模块300相对于透镜镜筒200的对准。
图5A说明根据实施例的致动器装置400的俯视图，致动器装置400具有电接触件404、开口405、内部铰链挠曲501、运动学安装挠曲502、可移动框架505、外部框架506、蜿蜒接触挠曲508、部署扭转挠曲509、部署停止件510、皮片阻尼器511、球承窝缓冲器(ball-in-socket snubber)513、悬臂挠曲514、运动控制扭转挠曲515、外部铰链挠曲516、固定框架517、平台520、透镜衬垫521、枢转轴525、致动器550、空间551及块552。
块552(图5A)经展示以表示一些图中的致动器550的齿560(见图5B及7)。所属领域的技术人员将了解，梳状驱动器通常包括许多非常小的齿560，其在此比例的图上较难以图形展示。例如，致动器550在其每一侧上可具有介于1个与10,000个之间的齿，且在其每一侧上可具有约2,000个齿。因此，在一个实施例中，块552可不表示齿560的实际配置，然而代替齿560而展示，以更好地说明如本文中所讨论的致动器550的操作。
根据实施例，致动器装置400可实质上为六边形的。六边形容易促进致动器装置400在实质上圆形的透镜镜筒200内的放置。六边形也促进有效使用晶片的基板面。预期其它形状。
致动器装置400可具有多个致动器550。图5A中仅详细地说明一个致动器550。针对未详细说明的两个额外致动器550而在图5A中展示空间551。因此，在一个实施例中，致动器装置400可具有绕开口405以实质上径向对称的图案安置的三个致动器550，使得致动器550彼此间隔开约120°。致动器装置400可具有以任何所要图案安置的任何所要数目的致动器550。作为进一步的实例，致动器装置400可具有彼此间隔开约180°的两个致动器550，或可具有彼此间隔开约90°的四个致动器550。
如本文中所讨论，致动器550可包括一个或一个以上MEMS致动器、音圈致动器，或任何其它所要类型或类型的组合的致动器。例如，在一个实施例中，每一致动器550可为垂直旋转梳状驱动器。
致动器550可彼此协作，以沿着光轴410(图3B)移动平台520，光轴在图5A中垂直于致动器装置400的平面。致动器550可彼此协作而以维持平台520相对于光轴410实质上垂直的方式及以实质上减轻平台520旋转的方式移动平台520。
通过在邻近的齿560之间(由块552表示)施加电压差而完成对致动器550的致动。此致动实现致动器550的旋转，以促进本文中描述的平台520的移动。
在各种实施例中，平台520可经调适而实质上为环(例如，如图5A中所展示)。预期其它形状。平台520可具有任何所要的形状。
在部署之前，致动器装置400可为实质上平面的结构。例如，致动器装置400可实质上由单一、单件材料形成，例如硅。可由单一裸片形成致动器装置400。裸片可例如约横跨4毫米到5毫米，且例如约150微米厚。
致动器装置400可由MEMS技术形成，例如铣削或蚀刻。多个致动器装置400可形成于单一晶片上。致动器装置400的整体形状或占用面积可经调适以增强单一晶片上多个致动器装置400的形成。
在操作之前，根据实施例，每一致动器550的固定框架517可经部署以相对于彼此而偏移由块552表示的邻近齿560对。部署可导致致动器装置400的实质上非平面的整体配置。当部署时，每一致动器550可具有其从外部框架506的平面延伸的部分(例如，固定框架517)。固定框架517可从外部框架506的平面以相对于其的角度延伸。因此，当部署时，固定框架517可相对于外部框架506而实质上在平面外。
一旦部署，固定框架517可固定或锁定就位，使得(当未致动致动器550时)固定框架517并不相对于外部框架506进一步移动，且相对于外部框架506及相对于可移动框架505有角度地偏移或旋转。固定框架517可机械地固定在适当位置，粘合地结合在适当位置，或机械固定及粘合地结合的任何所要组合。
致动器550的致动可致使可移动框架505朝向部署的固定框架517旋转，以实现平台520的所要移动。运动控制扭转挠曲515及外部铰链挠曲516协作以促进如本文中所讨论的可移动框架505的运动控制的旋转。可移动框架505绕枢转轴525旋转。
图5B说明根据实施例的致动器装置400的俯视图，其具有展示于致动器550中的齿560来代替代表其的块552。为清晰起见，在图5B中所展示的齿560可考虑在数目上减小，且在大小上夸大。
图6A说明根据实施例的致动器550中的一者的俯视图，其具有内部铰链挠曲501、球承窝缓冲器513、可移动框架505、外部铰链挠曲516、运动控制扭转挠曲515、悬臂挠曲514、固定框架517、枢转轴525、蜿蜒接触挠曲508、伪运动学安装及电接触件404，及平台520。图6A进一步说明横向缓冲器组合件1001，其进一步在本文中描述。
内部铰链挠曲501与悬臂挠曲514协作，以传递从可移动框架505到平台520的所要运动。因此，致动器550的致动导致可移动框架505的旋转，此又导致如本文中所讨论的平台520的平移。
可移动框架505可以类似于门在其铰链上枢转的方式在外部铰链挠曲516上枢转。在将剪切力施加到致动器装置400后，致动器550的两个外部铰链挠曲516中的一者可即刻处于拉伸中，而外部铰链挠曲516可处于压缩中。两个运动控制扭转挠曲515在此类情况中趋向于减轻外部铰链挠曲516的非所要的屈曲。
每一致动器可实质上安置于提供相对较高横向刚性及相对较软旋转刚性的运动控制机构内。在一个实施例中，运动控制机构可具有一个或一个以上(例如，两个)外部铰链挠曲516，且可具有一个或一个以上(例如，两个)运动控制扭转挠曲515。因此，可移动框架505的移动可实质上受其所要的旋转而约束。
在一个实施例中，用于一个致动器550的运动控制机构可包括外部框架506、可移动框架505、运动控制扭转挠曲515、外部铰链挠曲516、内部铰链挠曲501、悬臂挠曲514及平台520。在一个实施例中，运动控制机构可包括趋向于将平台520的移动限制于所要的平移移动的所有结构。
根据实施例，每一致动器550可实质上包含于运动控制机构中，以实质上限制对致动器装置400上的基板面的竞争。因为每一致动器550及其相关联的运动控制机构实质上占据致动器装置400的相同表面积，所以其并不竞争基板面。因此，随着致动器550在大小上增加，其相关联的运动控制机构也可在大小上增加。在某些实施例中，期望增加致动器550的大小，以借此增加所提供的力。在某些实施例中，也期望增加运动控制机构的大小，以维持其合意地限制平台520的移动的能力。可移动框架550可被视为运动控制机构的部分。
图6B说明根据实施例的致动器550，为清晰起见，用阴影展示固定框架517。阴影固定框架517可部署到致动器装置400的平面外的位置，且可固定于此部署的位置中。
可移动框架505可支撑致动器550的移动部分，例如一些齿560(见图7)。固定框架517可支撑致动器550的固定部分，例如其它齿560(见图7)。对致动器550施加电压可致使可移动框架505绕外部铰链挠曲516朝向固定框架517旋转。电压的移除或减小可准许由内部铰链挠曲514、外部铰链挠曲516及运动控制扭转挠曲515施加的弹簧力将可移动框架505旋转远离固定框架517。可移动框架505与固定框架517之间可提供足够间隙以适应此所要的移动。
图6C说明根据实施例的具有径向变化571的平台520的部分。在一个实施例中，径向变化571可形成于平台520中，以准许平台520扩展。径向变化571可在平台520中有角度地弯曲。因此，光学元件(例如可移动透镜301)可插入于平台520的开口405中，开口405可扩展以容纳可移动透镜301，且开口405可夹住可移动透镜301。开口405可随着平台520的径向变化571变形而扩展(例如，趋向于伸直)，以便增加开口405的圆周。
图6D说明可移动透镜的透视图，其经定位以安装到致动器装置400，且图6E说明根据实施例的附接到致动器装置400的可移动透镜301的侧视图。在一个实施例中，可移动透镜301可粘合地结合到平台520，例如通过将可移动透镜301的支架522粘合地结合到透镜衬垫521。例如，环氧树脂523可用于将可移动透镜301粘合地结合到平台520。可移动透镜301可由透镜衬垫521支撑。
图7说明根据实施例的致动器550的部分，其展示在致动器550的齿560上叠加的块552。如本文中所讨论，块552代表齿560。
图8说明根据实施例的处于部署配置的致动器装置400的仰视透视图。在部署配置中，未致动的可移动框架505相对于外部框架506实质上在平面内，且经部署固定框架517相对于外部框架506及可移动框架505而实质上在平面外。
可经由电接触件404而将电压施加到每一致动器550。例如，三个接触件404中的两者可用于将电压从透镜镜筒200施加到致动器装置400。可不使用或可使用第三接触件404以冗余地从透镜镜筒200将一个极性的电压施加到致动器装置400。
可将实质上相同的电压施加到三个致动器550，以导致其移动框架505的实质上相同的移动。将实质上相同的电压施加到三个致动器550可导致平台520相对于外部框架506的平移，使得平台520保持实质上平行于外部框架506。因此，随着光学元件移动，光学元件(例如可移动透镜301)可维持所要对准，例如沿着其光轴410(图3B)。
可将实质上不同的电压施加到三个致动器550，以导致其移动框架505的实质上不同的移动。通过使用三个接触件404及共同回线(common return)，可将实质上不同的电压施加到三个致动器550。因此，每一接触件404可将单独控制的电压施加到三个致动器550中的专用一者。
将实质上不同的电压施加到三个致动器550可导致平台520相对于外部框架506的平移，使得平台实质上相对于外部框架506倾斜。因此，当施加实质上不同的电压时，平台520并不一定保持实质上平行于外部框架。将不同电压施加到三个致动器550可用于例如将平台520与外部框架506对准。将不同电压施加到三个致动器550可用于促进例如光学图像稳定或透镜对准。
图9A说明根据实施例的未被施加任何电压的处于部署配置的致动器装置400的部分。没有任何电压施加到致动器装置400，可移动框架505相对于外部框架506而实质上在平面内，且经部署固定框架517相对于外部框架506及可移动框架505而实质上在平面外。
图9B说明根据实施例的被施加较小电压的处于部署配置的致动器装置400的部分。在施加较小电压的情况下，可移动框架505已朝向经部署固定框架517旋转，且处于部分致动的位置中。
图9C说明根据实施例的被施加最大电压的处于部署配置的致动器装置400的部分。如可见，可移动框架505已进一步朝向经部署固定框架517旋转，且处于完全致动的位置中。
图10说明根据实施例的横向缓冲器组合件1001的俯视图。横向缓冲器组合件1001可具有第一缓冲器部件1002及第二缓冲器部件1003。第一缓冲器部件1002可形成于固定框架517上，且第二缓冲器部件可形成于可移动框架505上。第一缓冲器部件1002及第二缓冲器部件1003可协作以在冲击或较大加速度期间抑制可移动框架505相对于固定框架517(且因而也相对于外部框架506)的非所要的横向移动。第一缓冲器部件1002与第二缓冲器部件1003之间的空隙“D”可为约2微米到3微米宽，以限制此非所要的横向移动。
图11说明根据实施例的运动控制扭转挠曲515及外部铰链挠曲516的透视图。运动控制扭转挠曲515及外部铰链挠曲516可比致动器装置400的其它部分更薄，以提供运动控制扭转挠曲515及外部铰链挠曲516的所要刚性。例如，在一个实施例中，外部铰链挠曲516、内部铰链挠曲501及运动控制扭转挠曲515可具有约100微米的宽度及约2微米到3微米的厚度。
运动控制扭转挠曲515可位于枢转轴525上。在一个实施例中，枢转轴525是连接两个外部铰链挠曲516的中心的线。在一个实施例中，枢转轴525为可移动框架506绕其旋转的绞合线或轴。
图12说明根据实施例的内部铰链挠曲501的透视图。内部铰链挠曲501可比致动器装置400的其它部分更薄，以提供内部铰链挠曲501的所要刚性。例如，在一个实施例中，内部铰链挠曲501可为约500微米长，60微米宽，及2微米到3微米厚。
图13说明根据实施例的悬臂挠曲514的透视图，其具有内部铰链挠曲501、第一变薄区段1301、较厚区段1302及第二变薄区段1303。可使用悬臂挠曲514将可移动框架505的移动传递到平台520。悬臂挠曲514可用于促进将可移动框架505的旋转转换为平台520的平移。
内部铰链挠曲501可在平台520平移时弯曲以准许可移动框架505旋转。随着可移动框架505将移动传递到平台520，第一变薄区段1301及第二变薄区段1303可弯曲以准许可移动框架505与平台520之间的距离上的变化。
悬臂挠曲514可在靠近其末端处更薄，且可在靠近其中心处更厚。此配置可决定悬臂挠曲514的所要比率的刚性。例如，可需要具有相比较低的刚性，以随着可移动框架505将移动传递到平台520而径向地补偿可移动框架505与平台520之间的距离上的变化。
图14说明根据实施例的蜿蜒接触挠曲508及部署扭转挠曲509的透视图。蜿蜒接触挠曲508可促进电接触件404与经部署固定框架之间的电接触。部署扭转挠曲509可在部署期间促进经部署固定框架517相对于外部框架506的旋转。
图15说明根据实施例的部署停止件510的透视俯视图，其展示当部署时，部署停止件510并不接触顶部侧上的外部框架506。环氧树脂1501可施加于部署停止件510及外部框架506的顶表面上，以相对于外部框架506将部署停止件510固定到适当位置内。因此，环氧树脂1501可相对于外部框架506而将经部署固定框架517固定到适当位置内。经部署固定框架517的各个部分可用作部署停止件517。例如，当经部署固定框架被部署时，经部署固定框架517的邻接外部框架506的其它部分可用作部署停止件510。
图16说明根据实施例的部署停止件510的透视仰视图，其展示当部署时，部署停止件510接触底部侧上的外部框架506。环氧树脂1501可施加到部署停止件510及外部框架506的底表面，以将部署停止件510相对于外部框架506固定到适当位置内。在需要时，环氧树脂1501可施加到部署停止件510及外部框架506的顶表面及底表面两者。
图17A说明根据实施例的皮片阻尼器511的透视图。皮片阻尼器511位于在致动器550的既定操作(例如，致动)期间的所要的相对运动相对低的地方及在冲击期间潜在的非所要的相对运动相对高的地方。例如，皮片阻尼器511可形成于枢转轴525上。
阻尼材料1701可跨外部框架506与可移动框架505之间形成的空隙1702而延伸。阻尼材料1701可具有较高阻尼系数。例如，在一个实施例中，阻尼材料1701可具有介于0.7与0.9之间的阻尼系数。例如，阻尼材料1701可具有约0.8的阻尼系数。在一个实施例中，阻尼材料1701可为环氧树脂。
阻尼材料1701可容易地准许可移动框架505相对于外部框架506的所要运动。阻尼材料1701可抑制归因于冲击而造成的可移动框架505相对于外部框架506的非所要的运动。因此，在对致动器550的致动期间，阻尼材料1701可准许可移动框架505相对于外部框架506的旋转，且在冲击期间，阻尼材料1701可抑制可移动框架505相对于外部框架506的横向运动及/或平面外的运动。
皮片阻尼器511可具有从可移动框架505延伸的皮片1706，且可具有从外部框架506延伸的皮片1707。可于皮片1706与皮片1707之间形成空隙1702。
延伸部分1708可从皮片1706延伸，且/或延伸部分1709可从皮片1707延伸。延伸部分1708及延伸部分1709可延伸空隙1702的长度，使得可使用比没有延伸部分1708及/或延伸部分1709时可能使用的阻尼材料更多的阻尼材料1701。
沟槽1719可形成于皮片1706及/或1707中，且不同于皮片1706及1707的材料的沟槽材料1720可沉积于沟槽1719中。例如，皮片1706及1707可由单晶硅形成，且沟槽材料1720可由多晶硅形成。对于皮片1706及1707及对于沟槽材料1720可使用任何所要的材料组合，以便实现皮片1706及1707的所要刚性。
图17B说明在没有施加到其的冲击的情况下安置于上部模块盖401与下部模块盖402之间的可移动框架505。在缺乏冲击时，可移动框架505保持于其未致动的位置中，且外部铰链挠曲516不弯曲。
图17C说明在可移动框架505已经由于冲击而移动到抵靠下部模块盖402的位置后的可移动框架505，所述冲击例如可起因于电子装置100掉落。可由下部模块外壳402限制或缓冲可移动框架505的移动，且借此可限制外部铰链挠曲516的非所要的双倍弯曲。以类似方式，上部模块外壳401可限制可移动框架505的移动，及外部铰链挠曲516的双倍弯曲。因此，可减轻外部铰链挠曲516内非所要的压力。
图17D到17H说明外部铰链挠曲1752的替代实施例。如此类图中所说明，在一些实施例中，外部铰链挠曲1752可为X形的，以增加对可移动框架505在横向方向上的运动控制。外部铰链挠曲516、1752可大体上趋向于弯曲，例如绕其中央部分弯曲，以促进可移动框架505相对于外部框架506的移动。预期其它形状。例如，外部铰链挠曲1752可成形为H、I、M、N、V、W、Y形，或可具有任何其它所要形状。每一外部铰链挠曲1752可包括与外部框架506及可移动框架505互连的任何所要数目的结构。所述结构可互连或可不互连。结构可相对于彼此而实质上为相同的，或可相对于彼此而实质上为不同的。每一外部铰链挠曲1752可相对于每一其它铰链挠曲1752为实质上相同的，或可相对于其它铰链挠曲1752为实质上不同的。
可通过如本文中所讨论的蚀刻而形成外部铰链挠曲516、1752及任何其它结构。外部铰链挠曲及任何其它结构可包括单晶硅、多晶硅或其任何组合。
图17D到F及17I到17N展示横向缓冲器组合件1754的替代实施例，上文结合本文中的图10讨论了横向缓冲器组合件的另一实施例。图17D到F及17I到17N的横向缓冲器组合件1754相对于图10的横向缓冲器组合件1001大体上具有更多圆形曲线。
图17D到17F说明对于约束组件(例如，可移动组件505)在±Z方向上的垂直移动以及其横向移动(即，在±X及/或±Y方向上)两者有用的联锁缓冲器皮片特征1756的实例实施例。
如图17F中所说明，此联锁皮片特征包括形成一对皮片1756A及1756B，所述对皮片1756A及1756B分别从可移动组件505及固定组件506延伸且在形成于另一相对组件上的对应肩部1762上延伸。可移动组件505上的皮片1756A限制可移动组件505在–Z方向上的移动，且固定组件506上的皮片1756B限制可移动组件505在+Z方向上的移动。另外，如图17K、17L及17N中所说明，两个组件505及506之间的空隙1760(其可如上文结合图49A到49F所讨论般形成)可限制可移动组件505在±X及/或±Y方向上的移动。
如图17M中所说明，皮片1756A及1756B的相应前末端可界定在其相对末端处的隅角，且所述隅角中的一者或一者以上可并入有椭圆嵌条1766。
如图17D到17L及17K到17N中所说明，可提供单一缓冲器皮片1758，以用于约束致动器装置1750中的组件(例如，可移动组件505)的横向移动。例如，缓冲器皮片1758(其在一些实施例中可包括多晶硅)可从固定组件(例如，组件506)且朝向可移动组件505延伸但不在其上延伸，以限制可移动组件505横向(即，在±X及/或±Y方向上)的运动。如图17K、17L及17N中所说明，可使固定组件506与可移动组件505之间的空隙1764比缓冲器皮片1758与可移动组件505之间的空隙1768相对更大，使得缓冲器皮片1758并不干涉可移动组件505的正常旋转运动，但确实发挥作用以防止其非所要的横向运动。
图18说明根据实施例的球承窝缓冲器513。球承窝缓冲器513可具有实质上圆柱形的球518，球518可滑动地安置于实质上互补的圆柱形承窝519内。球承窝缓冲器513准许平台520相对于外部框架506的所要移动，且限制其它移动。
图19说明根据实施例的球承窝513及两个框架铰链526的透视图。框架铰链526可为在另外实质上刚硬的外部框架506中的铰链挠曲。框架铰链526准许外部框架506在平面外变形，同时维持平面内所要的刚度。
图3B为根据本发明的实施例的在其中安置有致动器装置400的透镜镜筒200的第一实例实施例的分解透视图。如在图3B中所说明，透镜镜筒组合件201包括具有对应于光轴410的中心轴的环形透镜镜筒200。
多个第一光学元件(即，固定透镜302)安置在透镜镜筒200内以使得固定透镜302的相应光轴彼此之间及与透镜镜筒200的光轴410共轴对准。上文结合图5A讨论的类型的致动器装置400安置在透镜镜筒200内，位于固定透镜302的前面。致动器装置400包括致动器550(例如，在一个实施例中旋转作用的致动器)、通过悬臂挠曲(例如，柔性铰链)514耦合到致动器550中的每一者的移动平台520以及移动平台520内与装置400的中心轴同心的中心开口405。致动器装置400以下文更详细地描述的方式同心地安装在透镜镜筒200内，位于固定透镜302的前面，以使得装置400的中心轴与透镜镜筒200的光轴410及固定透镜302的光轴共轴对准。
可实质上类似于致动器模块300的前盖401的前盖(例如)通过粘合性结合剂而附接到致动器装置400的前表面，以使得前盖401内的中心开口304与移动平台520内的中心开口405同心安置。可移动透镜301安装在移动平台520的中心开口405内，以使得可移动透镜101的光轴与透镜镜筒200的中心轴410、固定透镜302的光轴以及致动器装置400的中心轴共轴对准，且使得致动器550的旋转移动致使移动平台520及可移动透镜101沿着可移动透镜101的光轴(且因此实质上共轴地沿着透镜镜筒200的光轴410)以完全平移移动而共同移动。
图20为经部分组装的图3B的第一透镜镜筒200的另一分解透视图，其中固定透镜302展示为完全安置在透镜镜筒200内，且图21为经部分组装的第一透镜镜筒200的前端正视图，其中省略了致动器装置400、前盖401以及可移动透镜101以展示安置在直接邻近致动器装置400的固定透镜302的前表面305上的凸起的致动器装置安装特征308及向前突出的对准销306。
如在图20及21中所说明，直接邻近致动器装置400的第一固定透镜302包括多个向前突出的对准销306以及多个凸起的平台状安装特征308，两者都对称安置在其前表面305的外部边缘周围。凸起的平台安装特征308中的一些对应于致动器装置400上可放置粘合剂以将装置400结合到直接邻近的固定透镜302的前表面305的区域，且前盖401还可具备类似的凸起安装特征308以使得其能够附接到(例如，使用粘合剂)致动器装置400的前表面及/或第一固定透镜302或致动器模块300的后盖402的前表面上的对应的凸起安装特征308。
在一些实施例中，凸起安装特征308可包括两种不同类型的特征。举例来说，位于致动器装置400的外部边缘处的凸起特征308可包括用以将前盖401结合到第一固定透镜302或致动器模块300的后盖402的径直连接特征。致动器装置400可仅在直接邻近对准销306的区域中粘合地附接到前盖401及固定透镜302或致动器模块402的后盖402。内部一组T形凸起特征308可用作停止将致动器装置400的平台520的移动部分预装载到(例如)无穷远位置焦点的停止件。如在图3B中所说明，装置400进一步包括对称安置在其外周边的电接触件404(也称为径向对准及安装凸片404)，每一凸片404具有安置在其中的外部圆周表面503及对准孔口310。
图22为经部分组装的第一透镜镜筒200的另一分解透视图，其展示致动器装置400完全安置在透镜镜筒200内，且图23为经部分组装的第一透镜镜筒200的前端正视图，其中省略了可移动透镜101及前盖401以展示同心安装在透镜镜筒200内的致动器装置400。如在图22及23中所说明，致动器装置400(例如)通过粘合性结合附接到安置在邻近的第一光学元件305上的凸起的致动器装置安装特征308，以使得对准销306中的每一者啮合凸片404中的对准孔口310中的对应一者，且凸起安装特征308的凸片状一者安置在致动器装置400的凹部504的相应一者内，以便将致动器装置400与直接邻近的固定透镜302同心对准(参看图20及21)，且使得凸片404的外部圆周表面503分别邻接透镜镜筒200的内表面，且借此将致动器装置400与透镜镜筒200同心对准。
图24及25为经部分组装的第一透镜镜筒200的其它分解透视图，且图26为经完全组装的第一透镜镜筒200的前端正视图。如在图24到26中所说明，在一个实施例中，前盖401可包括对称安置在其外周边的多个径向狭槽(例如，切口)403，每一狭槽403暴露凸片404中的相应一者的前表面。在其中致动器装置400是由导电材料(例如半导体材料(例如硅))制成的实施例中，凸片404(包括其前表面)也将为导电性的。替代地，凸片404中的至少一者的前表面可通过以导电材料(例如，金、单晶硅或多晶硅)对其进行镀敷而被制成导电性的。
在任一情形中，如在图26中所说明，被狭槽403暴露的凸片404的导电性前表面提供用于将外部接地及电力信号传递给致动器装置400的致动器550的便利方式。举例来说，在图26中所说明的实例实施例中，载运(例如)电性接地或电力信号的导线或柔性电路板312可通过(例如)安置在对应径向狭槽403内及导电性表面上的一团导电粘合剂314而电连接到凸片404的导电性前表面。
如上文所论述，第一透镜镜筒200中的可移动及固定透镜301、302中的任一者可包括透镜之外的其它光学元件，例如一组透镜，其包括复合透镜、孔径(可变的或固定的)、快门、镜(其可为平坦的、非平坦的、被供电的或未被供电的)、棱镜、空间光调节器、衍射光栅、激光器、LED、检测器及类似者。这些光学元件301、302的类型及布置可如(例如)以下各者中的任一者中所描述：2010年2月16日申请的第7,663,817号美国专利、2008年2月21日公布的第2008/0044172号美国专利申请公开案、2006年10月17日申请的第11/550,305号美国专利申请案以及2006年8月16日申请的第11/505,660号美国专利申请案，所有所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
参考图3B，在一个实施例中，可移动及固定透镜301、302中的一者或一者以上(例如可移动透镜301)可同心安装在环形透镜固持器内，且透镜301或302、透镜固持器、环形透镜镜筒200及前盖401中的至少一者可出于成本降低及抗冲击性而包括塑料材料(例如，热成形或热固性塑料)。
图27为图4的致动器模块300的分解透视图，图28为经部分组装的致动器模块300的透视图，图29为经部分组装的致动器模块300的前端正视图，且图30为经完全组装的致动器模块300的透视图。如在这些图中所说明，致动器模块300包括上文所描述的第一透镜镜筒200的特征中的许多特征，且包括(作为直接邻近致动器装置400而安置的固定透镜302的替代)具有中心开口2702的后盖(例如，下部模块盖或外壳)402及对称安置在其前表面的外周边的多个凸起的致动器装置安装特征308及向前突出的对准销306。
致动器装置400安装(例如，使用粘合剂)在后盖402的前表面上的凸起安装特征308上。致动器装置400包括对称安置在其外周边的中心开口405及径向凸片404。如上文，每一凸片404具有弓形外部圆周表面503且安置在其中的对准孔口310。
凸片404与对准销306、圆周表面503与对准孔口310之间的相互关系在图31中进行更加清晰地说明，图31为同心安装在透镜镜筒200内的致动器模块300的部分放大前端正视图，其展示致动器装置400上的径向延伸的凸片404既用作对准机构又用作致动器模块300的电接触衬垫。特定来说，致动器装置400附接到后盖402的前表面上的凸起安装特征308，以使得对准销306中的每一者啮合在对准孔口310的对应一者内、凸片状安装特征308凹进致动器装置400的凹处504中的相应一者内、且后盖402及致动器装置400的相应中心开口2702及405借此彼此同心对准。此外，当致动器模块300随后被插入到环形透镜镜筒200内时，凸片404的弓形外部圆周表面503分别与透镜镜筒200的内表面3102邻接，以便在透镜镜筒200内同心地精确地对准致动器模块300。
致动器模块300包括与上文所描述的第一透镜镜筒200的前盖401非常类似的前盖401，其中其可包括在其后表面上的多个凸起的致动器装置安装特征308、中心开口304以及对称安置在其外周边的多个径向狭槽403。如在上文的第一透镜镜筒200中，前盖401可附接到(例如，使用粘合剂)致动器装置400的前表面上的凸起安装特征308，以使得径向狭槽403中的每一者暴露凸片404中的相应一者的前表面，且前盖401的中心开口304与后盖402及致动器装置400的相应中心开口2702及405同心对准。
如在图32及33中所说明，可以类似于上文结合第一透镜镜筒200及图26所描述的方式的方式将用于控制致动器模块300的外部电力及接地信号传递到致动器模块300中。在图32及33中所说明的实例实施例中，载运(例如)电接地或电力信号的导线或柔性电路板312可通过(例如)安置在前盖401中的径向狭槽403内及凸片404的前表面上的一团导电粘合剂314而电连接到径向凸片404中的一者或一者以上的导电性前表面。
如在图34到37中所说明，上文所描述的致动器模块300可用于根据本发明的实施例制造第二实例透镜镜筒组合件3400。如同上文的第一透镜镜筒组合件201，第二透镜镜筒3400包括并入有多个固定透镜302的环形透镜镜筒200(参看图3B)。致动器模块300安装到(例如，通过用粘合剂将后盖402的后表面结合到直接邻近的固定透镜302)镜筒200内，位于固定透镜302的前面。在此实施例中，如结合图31在上文所论述，凸片404的外部圆周表面503分别邻接镜筒200的内表面3102且用于在透镜镜筒200内同心地精确地对准致动器模块300。
如在上文所描述的第一透镜镜筒200中，透镜镜筒200、可移动的及固定的透镜301、302、环形透镜固持器及前盖与后盖401及402中的一些或全部可包括塑料材料。
如结合图20到23及图31在上文所论述，可使用致动器装置400的径向延伸的凸片404(例如)通过使用(例如)粘合剂将致动器装置400附接到透镜镜筒200的邻近固定透镜302的前表面305(或致动器模块300的后盖402)上，以使固定透镜302的前表面(或致动器模块后盖402)上的对准销306中的每一者啮合在凸片404中的对准孔口310中的对应一者中，且凸片404的弓形外部圆周表面503分别邻接透镜镜筒200的圆柱形内表面3102且借此在透镜镜筒200内同心地且旋转地对准致动器装置及模块300两者，而在透镜镜筒200内同心地且旋转地对准致动器装置400(或致动器模块300)。虽然此对准布置对多数应用来说是令人满意的，但在极其小型的应用的情况下，当对准销306的大小对应减小时，其可能会变得太小而无法使用(例如)常规的注塑模制技术来可靠地制造，且由于其易碎性对应地增加，所述对准销可在插入到由相对较硬的材料(例如，硅)制成的凸片404的对应对准孔口310中时易于遭受损坏。
分别在图38及39的部分前端放大正视图及透视图中说明避免了前述问题的致动器装置400对准布置3800的替代实施例。如可在这些图中看到，与图31中所说明的对准布置不同，替代对准孔口3800用分别啮合在对应的互补狭槽3804内的凸片3802(例如径向凸片)取代凸片404中的对准销306及对应的对准孔口310，每一者由分别安置在凸片3802的相对侧的一对凸起安装特征308或“台面”进行界定。如在上文所论述，在透镜镜筒200实施例中，凸起安装特征308可形成在邻近固定透镜302的前表面上(例如，参看图3B)，且在致动器模块300实施例中，凸起安装特征308可形成在模块300的后盖402的前表面上(例如，参看图27)。
在图38及39中所说明的特定“狭槽中条”的实例实施例中，在致动器装置400的运动安装挠曲502的对应一者的中心周围存在每一者彼此相隔120度定位的三个径向延伸的凸片3802以在径向方向上给予凸片顺应性，但在其它可能的实施例中，取决于手边的应用，凸片3802的数目、安装及角度间隔可变化。在一个有利的实施例中，凸片3802可包括使用众所周知的光刻技术与致动器装置400的挠曲502及剩余部分一起形成的硅。
如在图38及39中所展示，凸片3802包括下部径向延伸的条形“腿”部及比下部宽的上部沿圆周延伸的横条或“头”部。运动安装挠曲502的上部侧壁表面与凸起安装特征308的下部侧壁表面协作，且在具有头部的实施例中，凸片3802的较宽的头部的下部侧壁表面与凸起安装特征308的相对的上部侧壁表面协作，以将致动器装置400定位在径向方向上。凸片3802的下部的侧壁与安装特征308的相对的内部侧壁协作以相对于邻近组件(即，固定透镜302)或致动器模块后盖402两者将装置400定位在圆周或旋转方向上。凸片3802的腿部可具有一般彼此平行的侧壁，进而导致大体上“I”形凸片3802，例如在图40中所说明。替代地，凸片3802可包括比腿部宽的横向头部，进而导致大体上“T”形凸片3802，例如在图41中所说明或如在图38及39中所说明，对实施例的各个实例来说，凸片3802可具有相对于彼此既平行又成角度的侧壁以形成较宽的头部，进而导致大体上“Y”形凸片3802。在任何情形下，狭槽3804的互补性侧壁优选经配置以与凸片3802的互补性侧壁的轮廓紧密匹配。
图38及39中所说明的对准布置3800的优点有若干，包括可使用于界定狭槽3804的凸起安装特征308比图31的对准销306大得多，且因此例如出于注射模制的目的，要稳健得多。而且，可能维持狭槽3804的宽度的较高的准确性，原因在于此特征由在其中形成所述特征且安装特征308的塑料在其周围收缩的模具的钢精确界定。此外，如果凸片3802的侧壁成角度且凸片以90度或更大的角增量进行布置，那么致动器装置400固有地以自身为中心，因为在安装粘合剂的热固化期间凸起特征308的材料将扩展，且借此将占据任何游隙，进而迫使凸片3802精确到达凸起安装特征308之间的中点。替代地，如果凸片3802的侧壁成角度，那么出于所要的最终居中准确性的目的，可允许安装特征308之间的较大间隙。
如上文所论述，在致动器装置400是由导电材料(例如，半导体材料(例如，硅))制成的实施例中，凸片3802，包含其前表面，也将为导电性的。替代地，凸片3802中的至少一者的前表面可通过用导电材料(例如，金、单晶硅或多晶硅)对其进行镀敷而被制成导电性的。在其它情形中，如上文所论述，凸片3802的导电性前表面提供用于将外部接地及电力信号传递到致动器装置400的致动器550的便利机构。
尽管将本文中所揭示的致动器描述为MEMS致动器，但此描述仅是通过实例的方式，且不通过限制的方式。各种实施例可包含非MEMS致动器、非MEMS致动器的组件及/或非MEMS致动器的特征。
因此，可提供适宜使用于广泛多种不同电子装置中的致动器。也可提供对致动器及/或由致动器移动的项目的运动控制。因而，可提供使用于电子装置中的增强的小型相机。
根据各种实施例，提供用于小型相机的更小大小及增强的抗冲击性。增强的制造技术可用于提供这些优点及其它优点。因此，此类制造技术可额外地增强小型相机的整体质量及可靠性，同时也实质上减小其成本。
在可适用之处，本文中阐明的各种组件可组合为复合组件及/或分离成子组件。在可适用之处，本文中描述的各种步骤的排序可改变，组合为复合步骤及/或分离成子步骤，以提供本文中描述的特征。
本文中描述的实施例说明本发明，但不限制本发明。也应理解，根据本发明的原理，许多修改及变化为可能的。

Claims (29)

1.一种用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其包括：
将多个径向延伸的凸片安置在静电梳状驱动致动器装置的外周边，其中所述凸片中的至少一者通过所述静电梳状驱动致动器的运动安装挠曲耦合到所述静电梳状驱动致动器装置；
将对应的多对凸起安装特征安置在从所述静电梳状驱动致动器装置分离的邻近组件的前表面上，所述凸起安装特征的每一对界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽；及
将所述静电梳状驱动致动器装置上的所述凸片中的相应者插入到所述邻近组件的所述狭槽中的对应者中。
2.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中所述凸片中的至少一者具有腿部及比所述腿部宽的头部。
3.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中所述邻近组件包括固定透镜或致动器模块的后盖。
4.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中所述凸片中的至少一者为大体上Y形、I形或T形。
5.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中所述多个径向延伸的凸片包括至少三个凸片。
6.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中所述凸片彼此相隔至少90度而安置。
7.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中使用光刻技术形成至少所述凸片，且其中所述静电梳状驱动致动器装置包括静电梳状驱动致动器、通过悬臂挠曲耦合到所述静电梳状驱动致动器中的每一者的移动平台、以及移动平台内与装置的中心轴同心的中心开口。
8.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中由模制塑料形成所述邻近组件及所述凸起安装特征。
9.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中用导电材料镀敷或涂覆所述凸片中的至少一者的表面。
10.根据权利要求9所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其中所述导电材料包括金、单晶硅或多晶硅。
11.根据权利要求1所述的用于使致动器装置相对于邻近组件进行对准的方法，其进一步包括经由所述凸片中的至少一者将接地或电力信号传递到所述静电梳状驱动致动器装置。
12.一种致动器模块，其包括：
静电梳状驱动致动器装置，其具有安置在其外周边的多个径向延伸的凸片，其中所述凸片中的至少一者通过所述静电梳状驱动致动器的运动安装挠曲耦合到所述静电梳状驱动致动器装置；及，
后盖，其从所述静电梳状驱动致动器装置分离，所述后盖具有安置在其前表面上的对应的多对凸起安装特征，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽，每一狭槽具有插入其中的所述凸片中的相应一者。
13.根据权利要求12所述的致动器模块，其进一步包括附接到所述静电梳状驱动致动器装置的与所述后盖相对的一侧的前盖，所述前盖具有分别暴露所述凸片中的对应者的前表面的多个径向狭槽。
14.根据权利要求12所述的致动器模块，其进一步包括耦合到所述凸片中的至少一者的前表面以用于将接地或电力信号传递到所述静电梳状驱动致动器装置的构件。
15.根据权利要求12所述的致动器模块，其中所述静电梳状驱动致动器装置包括硅，
且前盖、所述后盖或所述前盖及所述后盖两者包括注射模制塑料。
16.一种并入有根据权利要求12所述的致动器模块的透镜镜筒，透镜镜筒组合件包括具有对应于光轴的中心轴的环形透镜镜筒；以及
多个固定透镜安置在透镜镜筒内以使得所述固定透镜的相应光轴彼此之间及与透镜镜筒的光轴共轴对准。
17.一种并入有根据权利要求16所述的透镜镜筒的小型相机，所述静电梳状驱动致动器装置包括静电梳状驱动致动器、通过悬臂挠曲耦合到所述静电梳状驱动致动器中的每一者的移动平台、以及移动平台内与装置的中心轴同心的中心开口，其中所述透镜镜筒可含有一个或多个光学元件，其中所述一个或多个光学元件安装在移动平台的中心开口内，以使得所述一个或多个光学元件的光轴与透镜镜筒的中心轴、固定透镜的光轴以及所述静电梳状驱动致动器装置的中心轴共轴对准，且使得所述静电梳状驱动致动器的旋转移动致使所述移动平台及所述一个或多个光学元件沿着所述一个或多个光学元件的光轴且因此共轴地沿着所述透镜镜筒的光轴以完全平移移动而共同移动。
18.一种并入有根据权利要求17所述的小型相机的电子装置。
19.根据权利要求18所述的电子装置，其中所述电子装置包括蜂窝式电话、膝上型计算机、个人数字助理或监视装置，且其中所述一个或多个光学元件包括可移动透镜。
20.一种透镜镜筒，其包括：
细长镜筒；
静电梳状驱动致动器装置，其具有安置在其外周边的多个径向延伸的凸片，其中所述凸片中的至少一者通过所述静电梳状驱动致动器的运动安装挠曲耦合到所述静电梳状驱动致动器装置；及，
固定透镜，其从所述静电梳状驱动致动器装置分离，且其同心地安置在所述镜筒内，所述透镜具有安置在其前表面上的对应的多对凸起安装特征，每一对凸起安装特征界定具有在配置上与所述凸片中的对应者的相应侧壁互补的侧壁的狭槽，每一狭槽具有插入其中的所述凸片中的相应一者，以使所述静电梳状驱动致动器装置在所述镜筒内同心地对准且安置在相对于其的选定角度位置处。
21.一种并入有根据权利要求20所述的透镜镜筒的小型相机。
22.一种并入有根据权利要求21所述的小型相机的电子装置。
23.一种致动器模块，其包括：
后盖，其具有中心开口以及对称安置在其前表面的外部边缘周围的多个向前突出的对准销；
静电梳状驱动致动器装置，其具有多个静电梳状驱动致动器，每个所述静电梳状驱动致动器具有相对于彼此旋转移动的可移动框架和外部框架，通过柔性铰链耦合到所述静电梳状驱动致动器中的每一者的移动平台，中心开口以及对称安置在其外周边周围的多个径向凸片，其中所述凸片中的至少一者通过所述静电梳状驱动致动器的运动安装挠曲耦合到所述静电梳状驱动致动器装置，且每个凸片具有外部圆周表面以及其中的对准孔口，所述静电梳状驱动致动器装置附接到所述后盖的所述前表面，以使得对准销中的每一者啮合在所述对准孔口的对应一者内且所述后盖和所述静电梳状驱动致动器装置的相应中心开口彼此同心对准；以及
前盖，其具有中心开口以及对称安置在其外周边周围的多个径向狭槽，所述前盖附接到所述静电梳状驱动致动器装置的前表面，以使得所述径向狭槽中的每一者暴露所述凸片中的相应一者的前表面，且所述前盖的所述中心开口与所述后盖和所述静电梳状驱动致动器装置的所述相应中心开口同心对准。
24.根据权利要求23所述的致动器模块，其中所述凸片中的至少一者的所述前表面是导电的，以使得所述前表面通过安置在所述前表面上的一团导电粘合剂与导线或柔性电路板可电连接。
25.根据权利要求23所述的致动器模块，其中所述静电梳状驱动致动器装置包括半导体。
26.根据权利要求23所述的致动器模块，其中所述前盖包括热固性塑料或热成形塑料。
27.一种并入有根据权利要求23所述的致动器模块的透镜镜筒，其中所述凸片的所外部圆周表面分别邻接所述透镜镜筒的内表面，以便在透镜镜筒内同心对准所述致动器模块。
28.一种并入有根据权利要求27所述的透镜镜筒的小型相机。
29.一种并入有根据权利要求28所述的小型相机的电子装置。
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Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8604663B2 (en) 2010-11-15 2013-12-10 DigitalOptics Corporation MEMS Motion controlled actuator
US8803256B2 (en) 2010-11-15 2014-08-12 DigitalOptics Corporation MEMS Linearly deployed actuators
US8712229B2 (en) * 2010-11-15 2014-04-29 DigitalOptics Corporatin MEMS Arcuate motion control in electrostatic actuators
US8853975B2 (en) * 2011-09-28 2014-10-07 DigitalOptics Corporation MEMS Electrostatic actuator control
US9294667B2 (en) 2012-03-10 2016-03-22 Digitaloptics Corporation MEMS auto focus miniature camera module with fixed and movable lens groups
US9316808B1 (en) 2014-03-16 2016-04-19 Hyperion Development, LLC Optical assembly for a wide field of view point action camera with a low sag aspheric lens element
US10386604B1 (en) 2014-03-16 2019-08-20 Navitar Industries, Llc Compact wide field of view digital camera with stray light impact suppression
US10545314B1 (en) 2014-03-16 2020-01-28 Navitar Industries, Llc Optical assembly for a compact wide field of view digital camera with low lateral chromatic aberration
US9494772B1 (en) 2014-03-16 2016-11-15 Hyperion Development, LLC Optical assembly for a wide field of view point action camera with low field curvature
US10139595B1 (en) 2014-03-16 2018-11-27 Navitar Industries, Llc Optical assembly for a compact wide field of view digital camera with low first lens diameter to image diagonal ratio
US9316820B1 (en) 2014-03-16 2016-04-19 Hyperion Development, LLC Optical assembly for a wide field of view point action camera with low astigmatism
US9995910B1 (en) 2014-03-16 2018-06-12 Navitar Industries, Llc Optical assembly for a compact wide field of view digital camera with high MTF
US9726859B1 (en) 2014-03-16 2017-08-08 Navitar Industries, Llc Optical assembly for a wide field of view camera with low TV distortion
US9091843B1 (en) 2014-03-16 2015-07-28 Hyperion Development, LLC Optical assembly for a wide field of view point action camera with low track length to focal length ratio
CN104049334A (zh) * 2014-07-03 2014-09-17 南昌欧菲光电技术有限公司 一种摄像模组
US20160041361A1 (en) * 2014-08-06 2016-02-11 Sandia Corporation Mounting apparatus
US10488632B2 (en) * 2016-01-20 2019-11-26 Mems Optical Zoom Corporation MEMS lens actuator
US10401598B2 (en) 2017-01-26 2019-09-03 Navitar, Inc. Lens attachment for a high etendue modular zoom lens

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1895344A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-05 Mitsumi Electric Co., Ltd. Camera module
CN101246248A (zh) * 2007-02-14 2008-08-20 德昌电机股份有限公司 透镜模块
CN201184925Y (zh) * 2008-03-12 2009-01-21 德昌电机(深圳)有限公司 镜头模组
CN101542348A (zh) * 2008-10-14 2009-09-23 香港应用科技研究院有限公司 多致动器镜头致动装置
CN101546093A (zh) * 2008-03-26 2009-09-30 富准精密工业(深圳)有限公司 相机自动对焦结构

Family Cites Families (129)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2774001A (en) 1954-03-02 1956-12-11 Gen Motors Corp Motor stator laminations and method of manufacturing welded stators
JPS619370Y2 (zh) 1980-11-28 1986-03-25
US4333722A (en) 1980-12-22 1982-06-08 Eastman Kodak Company Method of controlling electromagnetic actuator in a camera, and actuator controllable thereby
US4384778A (en) 1981-11-09 1983-05-24 Eastman Kodak Company Integral, planar electromagnetic camera element/actuator
US4408857A (en) 1982-03-22 1983-10-11 Eastman Kodak Company Method and circuit for controlling an electromagnetic actuator in photographic apparatus
US4716432A (en) 1986-04-24 1987-12-29 Eastman Kodak Company Exposure control apparatus
US4860040A (en) 1987-06-19 1989-08-22 Canon Kabushiki Kaisha Camera
JP2712772B2 (ja) 1990-07-05 1998-02-16 株式会社ニコン パターン位置測定方法及び装置
JPH0727099B2 (ja) 1990-10-02 1995-03-29 キヤノン株式会社 レンズ駆動装置を有する光学機器
US5825560A (en) 1995-02-28 1998-10-20 Canon Kabushiki Xaisha Optical apparatus
US6392703B1 (en) 1995-02-28 2002-05-21 Canon Kabushiki Kaisha Optical apparatus for forming an object image on a sensing element
US6861290B1 (en) 1995-12-19 2005-03-01 Micron Technology, Inc. Flip-chip adaptor package for bare die
US5699621A (en) 1996-02-21 1997-12-23 Massachusetts Institute Of Technology Positioner with long travel in two dimensions
US5986826A (en) 1996-12-17 1999-11-16 Minolta Co., Ltd. Drive device using electromechanical conversion element
SE508968C2 (sv) 1996-12-19 1998-11-23 Ericsson Telefon Ab L M Förfarande för att göra elastiska kulor
US6426777B1 (en) 1997-04-03 2002-07-30 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Hybrid camera selectively using either silver-halide-type photographic film or photoelectric-conversion-type image sensor
US5867302A (en) 1997-08-07 1999-02-02 Sandia Corporation Bistable microelectromechanical actuator
WO1999036941A2 (en) 1998-01-15 1999-07-22 Cornell Research Foundation, Inc. Trench isolation for micromechanical devices
US5995688A (en) 1998-06-01 1999-11-30 Lucent Technologies, Inc. Micro-opto-electromechanical devices and method therefor
US6291875B1 (en) 1998-06-24 2001-09-18 Analog Devices Imi, Inc. Microfabricated structures with electrical isolation and interconnections
US6033131A (en) 1998-09-30 2000-03-07 Eastman Kodak Company Hybrid silicon-based micro-electromagnetic light shutter
US6205267B1 (en) 1998-11-20 2001-03-20 Lucent Technologies Optical switch
US6497141B1 (en) 1999-06-07 2002-12-24 Cornell Research Foundation Inc. Parametric resonance in microelectromechanical structures
JP3993343B2 (ja) 1999-06-29 2007-10-17 富士通株式会社 ガルバノマイクロミラー
US6535311B1 (en) 1999-12-09 2003-03-18 Corning Incorporated Wavelength selective cross-connect switch using a MEMS shutter array
JP3896745B2 (ja) 1999-12-17 2007-03-22 コニカミノルタフォトイメージング株式会社 駆動装置
WO2001091193A2 (en) 2000-05-23 2001-11-29 Atmel Corporation Integrated ic chip package for electronic image sensor die
US7579848B2 (en) 2000-05-23 2009-08-25 Nanonexus, Inc. High density interconnect system for IC packages and interconnect assemblies
US7190854B1 (en) * 2000-05-24 2007-03-13 Active Optical Networks, Inc. Methods for forming an array of MEMS optical elements
WO2002024466A1 (en) 2000-09-25 2002-03-28 California Institute Of Technology Freestanding polymer mems structures with anti stiction
US6958777B1 (en) 2000-09-29 2005-10-25 Ess Technology, Inc. Exposure control in electromechanical imaging devices
US6775048B1 (en) 2000-10-31 2004-08-10 Microsoft Corporation Microelectrical mechanical structure (MEMS) optical modulator and optical display system
US6636653B2 (en) 2001-02-02 2003-10-21 Teravicta Technologies, Inc. Integrated optical micro-electromechanical systems and methods of fabricating and operating the same
SE0100336L (sv) 2001-02-05 2002-08-06 Micronic Laser Systems Ab Adresseringsmetod och apparat som använder densamma tekniskt område
US6914635B2 (en) 2001-02-08 2005-07-05 Nokia Mobile Phones, Ltd. Microminiature zoom system for digital camera
US6583524B2 (en) 2001-03-07 2003-06-24 Hewlett-Packard Company Micro-mover with balanced dynamics
US6771001B2 (en) 2001-03-16 2004-08-03 Optical Coating Laboratory, Inc. Bi-stable electrostatic comb drive with automatic braking
US6604863B2 (en) 2001-06-18 2003-08-12 Mike Trzecieski Actuator mechanism for precision alignment of optical components
CZ300287B6 (cs) 2001-07-17 2009-04-08 Acmos Chemie Gmbh & Co. Zpusob výroby permanentní separacní vrstvy usnadnující vyjímání výlisku z formy plazmovou polymerací na povrchu formy, forma vyrobená tímto zpusobem a její použití
US6806991B1 (en) * 2001-08-16 2004-10-19 Zyvex Corporation Fully released MEMs XYZ flexure stage with integrated capacitive feedback
US20030048036A1 (en) 2001-08-31 2003-03-13 Lemkin Mark Alan MEMS comb-finger actuator
US20030062422A1 (en) 2001-09-10 2003-04-03 Fateley William G. System and method for encoded spatio-spectral information processing
US6738539B2 (en) 2001-10-03 2004-05-18 Continuum Photonics Beam-steering optical switching apparatus
US7307653B2 (en) 2001-10-19 2007-12-11 Nokia Corporation Image stabilizer for a microcamera module of a handheld device, and method for stabilizing a microcamera module of a handheld device
US20090065429A9 (en) 2001-10-22 2009-03-12 Dickensheets David L Stiffened surface micromachined structures and process for fabricating the same
US7093827B2 (en) 2001-11-08 2006-08-22 Massachusetts Institute Of Technology Multiple degree of freedom compliant mechanism
US7872394B1 (en) 2001-12-13 2011-01-18 Joseph E Ford MEMS device with two axes comb drive actuators
US6679055B1 (en) 2002-01-31 2004-01-20 Zyvex Corporation Electrothermal quadmorph microactuator
US6850675B1 (en) 2002-02-04 2005-02-01 Siwave, Inc. Base, payload and connecting structure and methods of making the same
US7813634B2 (en) 2005-02-28 2010-10-12 Tessera MEMS Technologies, Inc. Autofocus camera
US6777629B2 (en) 2002-05-08 2004-08-17 Motorola, Inc. Micro electro-mechanical system with one or more moving parts method and apparatus
US6675671B1 (en) 2002-05-22 2004-01-13 Sandia Corporation Planar-constructed spatial micro-stage
US6950570B1 (en) 2002-08-13 2005-09-27 Active Optical Networks, Inc. Integrated fiber, sensor and lens arrays for optical networks
KR20040020395A (ko) 2002-08-30 2004-03-09 삼성전자주식회사 고효율 프로젝션 시스템
US6913941B2 (en) 2002-09-09 2005-07-05 Freescale Semiconductor, Inc. SOI polysilicon trench refill perimeter oxide anchor scheme
US7148603B1 (en) 2002-11-27 2006-12-12 Sandia Corporation Mechanically latchable tiltable platform for forming micromirrors and micromirror arrays
US6847907B1 (en) 2002-12-31 2005-01-25 Active Optical Networks, Inc. Defect detection and repair of micro-electro-mechanical systems (MEMS) devices
US20040136680A1 (en) 2003-01-09 2004-07-15 Teraop Ltd. Single layer MEMS based variable optical attenuator with transparent shutter
JP2004281644A (ja) 2003-03-14 2004-10-07 Canon Inc 駆動機構及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法
KR100545070B1 (ko) 2003-03-18 2006-01-24 삼성전기주식회사 디지털 카메라 모듈, 그 조립장치 및 방법
US6914711B2 (en) 2003-03-22 2005-07-05 Active Optical Networks, Inc. Spatial light modulator with hidden comb actuator
TWI265380B (en) 2003-05-06 2006-11-01 Asml Netherlands Bv Lithographic projection apparatus
EP1496699B1 (en) 2003-07-08 2009-06-10 Lg Electronics Inc. Rotary camera assembly of mobile communication device
US7458263B2 (en) 2003-10-20 2008-12-02 Invensense Inc. Method of making an X-Y axis dual-mass tuning fork gyroscope with vertically integrated electronics and wafer-scale hermetic packaging
US6936524B2 (en) 2003-11-05 2005-08-30 Akustica, Inc. Ultrathin form factor MEMS microphones and microspeakers
US20050148433A1 (en) 2003-12-31 2005-07-07 Shen-Tai Industry Co., Ltd. Water trampoline
US7542188B2 (en) 2004-01-20 2009-06-02 National University Of Singapore Optical scanning using vibratory diffraction gratings
JP4162606B2 (ja) 2004-01-26 2008-10-08 富士フイルム株式会社 光変調素子、光変調素子アレイ、及び画像形成装置
US7477842B2 (en) 2004-03-12 2009-01-13 Siimpel, Inc. Miniature camera
JP2005284147A (ja) 2004-03-30 2005-10-13 Fuji Photo Film Co Ltd 撮像装置
US7038150B1 (en) 2004-07-06 2006-05-02 Sandia Corporation Micro environmental sensing device
US7285879B2 (en) 2004-08-09 2007-10-23 Mitsumi Electric Co., Ltd. Autofocus actuator
US7277107B2 (en) 2004-08-12 2007-10-02 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Image-forming apparatus
US7242541B2 (en) * 2004-09-16 2007-07-10 Sony Corporation Fabrication of MEMS zoom lens structure
WO2006047326A1 (en) 2004-10-21 2006-05-04 Fujifilm Dimatix, Inc. Sacrificial substrate for etching
KR100584424B1 (ko) * 2004-11-04 2006-05-26 삼성전자주식회사 카메라 렌즈 어셈블리의 손떨림 보정 장치
JP4681874B2 (ja) 2004-12-24 2011-05-11 キヤノン株式会社 駆動装置
KR100616662B1 (ko) 2005-01-13 2006-08-28 삼성전기주식회사 진동특성과 내충격성이 향상된 초점조절장치
US7557470B2 (en) 2005-01-18 2009-07-07 Massachusetts Institute Of Technology 6-axis electromagnetically-actuated meso-scale nanopositioner
KR100599124B1 (ko) 2005-02-14 2006-07-12 삼성전자주식회사 부유 구조체 제조방법
US9158106B2 (en) 2005-02-23 2015-10-13 Pixtronix, Inc. Display methods and apparatus
US20060209012A1 (en) 2005-02-23 2006-09-21 Pixtronix, Incorporated Devices having MEMS displays
US7769284B2 (en) 2005-02-28 2010-08-03 Silmpel Corporation Lens barrel assembly for a camera
US7838322B1 (en) * 2005-02-28 2010-11-23 Tessera MEMS Technologies, Inc. Method of enhancing an etch system
US7570882B2 (en) 2005-02-28 2009-08-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Shutter for miniature camera
US20060192858A1 (en) 2005-02-28 2006-08-31 Calvet Robert J Oil damping for camera optical assembly
US7359131B1 (en) 2005-02-28 2008-04-15 Siimpel Corporation Lens positioning systems and methods
US7555210B2 (en) 2005-02-28 2009-06-30 Siimpel, Inc. Axial snubbers for camera
US7646969B2 (en) 2005-02-28 2010-01-12 Siimpel Corporation Camera snubber assembly
JP2006297543A (ja) 2005-04-20 2006-11-02 Sumitomo Precision Prod Co Ltd Ｍｅｍｓデバイス及びその製造方法
US7210352B2 (en) 2005-06-14 2007-05-01 Innovative Micro Technology MEMS teeter-totter apparatus with curved beam and method of manufacture
US7583006B2 (en) * 2005-07-26 2009-09-01 Siimpel Corporation MEMS digital linear actuator
CN100468116C (zh) 2005-09-23 2009-03-11 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 数码相机模组
US7372074B2 (en) 2005-10-11 2008-05-13 Honeywell International, Inc. Surface preparation for selective silicon fusion bonding
JP4857021B2 (ja) 2006-05-08 2012-01-18 株式会社タムロン アクチュエータ及びそれを備えたレンズユニット及びカメラ
JP2008010624A (ja) 2006-06-29 2008-01-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置の製造方法および半導体装置
US7436207B2 (en) 2006-07-21 2008-10-14 Microchip Technology Incorporated Integrated circuit device having at least one of a plurality of bond pads with a selectable plurality of input-output functionalities
US20080054757A1 (en) 2006-08-31 2008-03-06 Vladimir Anatolyevich Aksyuk Tip-tilt actuator
US7697834B1 (en) * 2006-10-13 2010-04-13 Siimpel Corporation Hidden autofocus
US7545591B1 (en) 2006-10-17 2009-06-09 Siimpel Corporation Uniform wall thickness lens barrel
US8004780B2 (en) 2009-05-08 2011-08-23 Tessera MEMS Technologies, Inc. Integrated lens barrel
WO2008061025A1 (en) 2006-11-09 2008-05-22 Siimpel Corporation Integrated lens barrel
US7663817B1 (en) 2007-01-19 2010-02-16 Siimpel Corporation Optical system with plano convex lens
EP2264507A3 (en) 2007-01-19 2011-07-20 Pixtronix Inc. A display apparatus
US7855489B2 (en) 2007-01-31 2010-12-21 Hitachi Global Storage Technologies, Netherlands, B.V. Microactuator substrate
GB0702897D0 (en) 2007-02-15 2007-03-28 Johnson Electric Sa Voice coil motor
JP2008203402A (ja) 2007-02-19 2008-09-04 Konica Minolta Opto Inc センサ装置、および撮像装置
KR100872031B1 (ko) 2007-02-26 2008-12-05 (주) 포코 자기구동기를 이용한 비접촉식 스캐너
JP4398990B2 (ja) 2007-03-28 2010-01-13 株式会社東芝 駆動機構
US8098289B2 (en) 2007-05-02 2012-01-17 Lite-On Technology Corporation Micro-optical image stabilizer
US7719752B2 (en) 2007-05-11 2010-05-18 Qualcomm Mems Technologies, Inc. MEMS structures, methods of fabricating MEMS components on separate substrates and assembly of same
US20080309191A1 (en) * 2007-06-14 2008-12-18 Tsung-Kuan Allen Chou Mems moving platform with lateral zipping actuators
JP5121344B2 (ja) 2007-08-03 2013-01-16 キヤノン株式会社 構造体の作製方法
US7990628B1 (en) * 2007-08-29 2011-08-02 Tessera MEMS Technologies, Inc. Planar flexure system with high pitch stiffness
JP4910998B2 (ja) 2007-11-19 2012-04-04 ソニー株式会社 像ぶれ補正装置、レンズ鏡筒及び撮像装置
US7645627B2 (en) 2008-01-24 2010-01-12 Delphi Technologies, Inc. Method for manufacturing a sensor device
US7843021B2 (en) 2008-02-28 2010-11-30 Shandong Gettop Acoustic Co. Ltd. Double-side mountable MEMS package
CN101546090B (zh) 2008-03-25 2011-09-28 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 成像装置
JP5238479B2 (ja) 2008-04-01 2013-07-17 株式会社トプコン Ｍｅｍｓミラー走査器の駆動方法及びｍｅｍｓアクチュエータ走査器の駆動方法及びｍｅｍｓアクチュエータの回転角制御方法
KR20100130616A (ko) 2008-04-08 2010-12-13 코니카 미노루따 호르딩구스 가부시끼가이샤 액추에이터 어레이 시트
US7986449B2 (en) 2008-05-16 2011-07-26 Microvision, Inc. Induced resonance comb drive scanner
CN101604063B (zh) 2008-06-13 2011-11-09 富准精密工业(深圳)有限公司 相机结构
WO2010038229A2 (en) 2008-10-02 2010-04-08 Audio Pixels Ltd. Actuator apparatus with comb-drive component and methods useful for manufacturing and operating same
JP2010129700A (ja) * 2008-11-26 2010-06-10 Nitto Denko Corp ダイシング・ダイボンドフィルム及び半導体装置の製造方法
JP2010145264A (ja) * 2008-12-19 2010-07-01 Pioneer Electronic Corp Ｍｅｍｓデバイスの製造方法、ｍｅｍｓデバイスおよび接合マザー基板
JP2010167536A (ja) * 2009-01-23 2010-08-05 Seiko Epson Corp アクチュエータおよびアクチュエータ連結体
TWM362417U (en) * 2009-03-13 2009-08-01 Largan Precision Co Ltd Photographing module
US8269395B2 (en) * 2009-10-02 2012-09-18 Siyuan He Translating and rotation micro mechanism
KR101063047B1 (ko) * 2010-06-23 2011-09-07 엘지이노텍 주식회사 멤즈 엑츄에이터가 구비된 카메라 모듈 및 그의 구동 방법

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1895344A1 (en) * 2006-08-31 2008-03-05 Mitsumi Electric Co., Ltd. Camera module
CN101246248A (zh) * 2007-02-14 2008-08-20 德昌电机股份有限公司 透镜模块
CN201184925Y (zh) * 2008-03-12 2009-01-21 德昌电机(深圳)有限公司 镜头模组
CN101546093A (zh) * 2008-03-26 2009-09-30 富准精密工业(深圳)有限公司 相机自动对焦结构
CN101542348A (zh) * 2008-10-14 2009-09-23 香港应用科技研究院有限公司 多致动器镜头致动装置

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012067859A2 (en) 2012-05-24
US20120121243A1 (en) 2012-05-17
CN103314320A (zh) 2013-09-18
US8521017B2 (en) 2013-08-27
US20130343740A1 (en) 2013-12-26
CN106443933A (zh) 2017-02-22
WO2012067859A3 (en) 2012-07-12
US8953934B2 (en) 2015-02-10

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