CN103199041B - 晶圆允收测试程式的管理系统及其应用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及晶圆允收测试程式的管理系统及其应用方法，包括读取单元、存储单元、查询单元和显示单元；存储单元中有若干批次产品的产品批号数据及与每批次产品的产品批号数据对应的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据和测试程式详细描述数据；读取单元根据需求获取操作数据并将该操作数据传输至查询单元；查询单元查询存储单元中存储的与该操作数据相应的数据信息，并将该相应的数据信息通过显示单元进行显示；应用本发明使操作人员清楚产品应该在哪个测试机台上进行哪个晶圆允收测试程式，使得测试效率提高，进而减小半导体的出厂成本。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种晶圆允收测试程式的管理系统及其应用方法。
背景技术
在半导体制造过程中，需要经过上百道工艺步骤后才能在晶圆片上制备得到半导体器件，由于工艺步骤的复杂，对每个晶圆片进行晶圆允收测试（Wafer Acceptance Test，WAT）是必要而不可少的。而在半导体制造中，测试效率是成本管理的一个重要部分，测试效率越高，半导体器件的出厂时间越快，那么半导体的成本就越低。
然而，由于半导体厂在每个时间段都会生产很多不同类型的产品，而每个不同类型的产品的晶圆允收测试的程式均不相同，且可以用于检测的机台也各不相同，半导体厂里的操作人员并不能清楚、熟悉的知道每个产品应该在哪个测试机台上进行哪个晶圆允收测试程式，从而导致测试效率极为低下，容易发生堆货现象，延长产品的出长时间，从而增大了半导体的出厂成本。
中国专利（申请号：200710043871.1）公开了一种半导体测试管理系统，包括电路针测图，记录晶圆的电性特性；自动缺陷检测装置，检测晶圆的缺陷信息；存储筛选软件的计算机，筛选软件具有筛选标准对晶圆的缺陷信息进行筛选。
通过上述发明的半导体测试管理系统虽然能检测晶圆的缺陷，简化测试程序，而且通过计算机操作，提高测试效率，但是上述发明未能提供晶圆允收测试程式的管理系统，从而未能克服由于操作人员不清楚也不熟悉每个产品应该在哪个测试机台上进行哪个晶圆允收测试程式，从而导致测试效率极为低下，容易发生堆货现象，延长产品的出厂时间，从而增大了半导体的出厂成本的问题。
中国专利（申请号：200510064278.6）公开了一种半导体测试系统及方法，一个第一计算机产生一个新版栅道法则以及传递新版栅道法则。一个地儿极端及透过一个网络接收新版栅道法则，取得一个测试结果，将测试结果带入新版栅道法则以产生一个建议报告。其中测试结果包括相应于一个测试属性的一个测试值，当测试值满足测试属性的一个特定条件时，新版栅道法则决定一个最后建议，而建议报告包含最后建议。
上述发明提供的半导体测试系统及方法，虽然可产生一致的最后建议，但是上述发明未能提供晶圆允收测试程式的管理系统，从而未能克服由于操作人员不清楚也不熟悉每个产品应该在哪个测试机台上进行哪个晶圆允收测试程式，从而导致测试效率极为低下，容易发生堆货现象，延长产品的出厂时间，从而增大了半导体的出厂成本的问题。
发明内容
针对上述存在的问题，本发明提供一种晶圆允收测试程式的管理系统及其应用方法，从而克服了由于操作人员不清楚也不熟悉每个产品应该在哪个测试机台上进行哪个晶圆允收测试程式，从而导致测试效率极为低下，容易发生堆货现象，延长产品的出厂时间，从而增大了半导体的出厂成本的问题。
为了实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
一种晶圆允收测试程式的管理系统，其特征在于，包括读取单元、存储单元、查询单元和显示单元；
所述存储单元中存储有若干批次产品的产品批号数据，及与每批次产品的所述产品批号数据相对应的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据和测试程式详细描述数据；
所述读取单元根据工艺需求获取一操作数据并将该操作数据传输至所述查询单元；所述查询单元根据该操作数据查询所述存储单元中存储的与该操作数据相应的数据信息，并将该相应的数据信息通过所述显示单元进行显示；
所述操作数据包括一个批次产品的所述产品批号数据、所述测试机台号数据、所述测试程式名数据、所述探针程式名数据、所述探针卡类型数据、所述程式分组名数据、所述机台性能数据、所述铜/非铜制程数据、所述建程式人员工号数据和/或所述测试程式详细描述数据。
一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于上述的晶圆允收测试程式的管理系统中，包括以下步骤：
步骤一：根据生产需要对一Lot进行检测工艺时，所述读取单元读取并传送制造执行系统中该Lot的产品批号数据和/或该Lot的测试程式名数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述Lot的产品批号数据和/或所述Lot的测试程式名数据，查询并传送所述存储单元中存储的与所述Lot的产品批号数据和/或所述Lot的测试程式名数据相应的数据信息至所述显示单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
上述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述Lot的产品批号数据、所述Lot的测试机台号数据、所述Lot的测试程式名数据、所述Lot的探针程式名数据、所述Lot的探针卡类型数据、所述Lot的程式分组名数据、所述Lot的机台性能数据、所述Lot的铜/非铜制程数据、所述Lot的建程式人员工号数据和所述Lot的测试程式详细描述数据。
上述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，根据所述Lot的测试机台号数据，将该Lot装载至对应的测试机台上，并按照所述Lot的晶圆允收测试程式名数据对应的晶圆允收测试测试程式对该Lot进行检测工艺。
一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于上述的晶圆允收测试程式的管理系统中，包括：
步骤一：根据工艺需求，所述读取单元从一外部输出系统中读取并传送一个批次产品的所述测试机台号数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述测试机台号数据查询并传送所述存储单元中存储的与所述测试机台号数据相应的数据信息至所述查询单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
上述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述批次产品的产品批号数据、所述批次产品的测试机台号数据、所述批次产品的测试程式名数据、所述批次产品的探针程式名数据、所述批次产品的探针卡类型数据、所述批次产品的程式分组名数据、所述批次产品的机台性能数据、所述批次产品的铜/非铜制程数据、所述批次产品的建程式人员工号数据和所述批次产品的测试程式详细描述数据。
一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于上述的晶圆允收测试程式的管理系统中，包括：
步骤一：根据工艺需求，所述读取单元从一外部输出系统中读取并传送一个批次产品的所述探针卡类型数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述探针卡类型数据查询并传送所述存储单元中存储的与所述探针卡类型数据相应的数据信息至所述查询单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
上述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述批次产品的产品批号数据、所述批次产品的测试机台号数据、所述批次产品的测试程式名数据、所述批次产品的探针程式名数据、所述批次产品的探针卡类型数据、所述批次产品的程式分组名数据、所述批次产品的机台性能数据、所述批次产品的铜/非铜制程数据、所述批次产品的建程式人员工号数据和所述批次产品的测试程式详细描述数据。
一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于上所述的晶圆允收测试程式的管理系统中，包括：
步骤一：根据工艺需求，所述读取单元从一外部输出系统中读取并传送一个批次产品的所述建程式人员工号数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述建程式人员工号数据查询并传送所述存储单元中存储的与所述建程式人员工号数据相应的数据信息至所述查询单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
上述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述批次产品的产品批号数据、所述批次产品的测试机台号数据、所述批次产品的测试程式名数据、所述批次产品的探针程式名数据、所述批次产品的探针卡类型数据、所述批次产品的程式分组名数据、所述批次产品的机台性能数据、所述批次产品的铜/非铜制程数据、所述批次产品的建程式人员工号数据和所述批次产品的测试程式详细描述数据。
上述技术方案具有如下优点或者有益效果：
在测试工艺工艺中，通过运用本发明提供的晶圆允收测试程式的管理系统及其应用方法，使操作人员能够清楚熟悉的知道每个产品应该在哪个测试机台上进行哪个晶圆允收测试程式，从而使得测试效率提高，不易发生堆货现象，加快产品的出厂时间，进而减小了半导体的出厂成本。
附图说明
图1是根据本发明的实施例1的晶圆允收测试程式的管理系统的结构示意图。
图2是根据本发明的实施例2的应用晶圆允收测试程式的管理系统的方法流程示意图；
图3是根据本发明的实施例3的应用晶圆允收测试程式的管理系统的方法流程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。
实施例1：
图1是根据本发明的实施例1的晶圆允收测试程式的管理系统的结构示意图；如图所示，实施例1的晶圆允收测试程式的管理系统，包括读取单元、存储单元、查询单元和显示单元；
其中，存储单元中存储有若干批次产品的产品批号数据，及与每批次产品的所述产品批号数据相对应的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据和测试程式详细描述数据；
读取单元根据工艺需求获取一操作数据并将该操作数据传输至查询单元；所述查询单元根据该操作数据查询所述存储单元中存储的与该操作数据相应的数据信息，并将该相应的数据信息通过所述显示单元进行显示；
其中，操作数据包括一个批次产品的产品批号数据、测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据、测试程式详细描述数据中的任意一种或多种；
相应的数据信息为该批次产品的产品批号数据、测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据、测试程式详细描述数据。
实施例2：
图2是根据本发明的实施例2的应用晶圆允收测试程式的管理系统的方法流程示意图；如图所示，实施例2的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法包括以下步骤：
步骤一：根据生产需要对一Lot进行检测工艺时，读取单元读取并传送制造执行系统中该Lot的产品批号数据和/或该Lot的测试程式名数据至查询单元；
步骤二：查询单元根据该Lot的产品批号数据和/或该Lot的测试程式名数据，查询并传送存储单元中存储的与该Lot的产品批号数据和/或该Lot的测试程式名数据相应的数据信息至显示单元，其中，相应的数据信息包括：该Lot的产品批号数据、该Lot的测试机台号数据、该Lot的测试程式名数据、该Lot的探针程式名数据、该Lot的探针卡类型数据、该Lot的程式分组名数据、该Lot的机台性能数据、该Lot的铜/非铜制程数据、该Lot的建程式人员工号数据和该Lot的测试程式详细描述数据；
步骤三：通过显示单元将相应的数据信息进行显示；操作人员根据显示的相应的数据信息，即该Lot的测试机台号数据，将该Lot装载至对应的测试机台上，并按照该Lot的晶圆允收测试程式名数据对应的晶圆允收测试测试程式对该Lot进行检测工艺。
实施例3：
图3是根据本发明的实施例3的应用晶圆允收测试程式的管理系统的方法流程示意图；如图所示，实施例2的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法包括以下步骤：
步骤一：根据工艺需求，读取单元从一外部输出系统中读取并传送一个批次产品的测试机台号数据至查询单元；
步骤二：查询单元根据该批次产品的测试机台号数据查询并传送存储单元中存储的与批次产品的测试机台号数据相应的数据信息至查询单元，其中，相应的数据信息包括：所述批次产品的产品批号数据、所述批次产品的测试机台号数据、所述批次产品的测试程式名数据、所述批次产品的探针程式名数据、所述批次产品的探针卡类型数据、所述批次产品的程式分组名数据、所述批次产品的机台性能数据、所述批次产品的铜/非铜制程数据、所述批次产品的建程式人员工号数据和所述批次产品的测试程式详细描述数据；
步骤三：通过显示单元将相应的数据信息进行显示；从而查询人员能够方便的得知该批次产品的相关信息。
实施例3仅为查询一批次产品的相关信息的一个实施例，当有工程师或者操作人员需要进行查询时，可以通过产品批号数据、的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据、测试程式详细描述数据中任意一种或者多种查询条件进行查询，均可以得到关于该批次产品的相关信息。
综上所述，在测试工艺工艺中，通过运用本发明提供的晶圆允收测试程式的管理系统及其应用方法，使操作人员能够清楚熟悉的知道每个产品应该在哪个测试机台上进行哪个晶圆允收测试程式，从而使得测试效率提高，不易发生堆货现象，加快产品的出厂时间，进而减小了半导体的出厂成本。
以上所述仅为本发明较佳的实施例，并非因此限制本发明的申请专利范围，所以凡运用本发明说明书及图示内容所作出的等效变化，均包含在本发明的保护范围内。
Claims (9)
1.一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于晶圆允收测试程式的管理系统中，其中所述晶圆允收测试程式的管理系统包括读取单元、存储单元、查询单元和显示单元；
所述存储单元中存储有若干批次产品的产品批号数据，及与每批次产品的所述产品批号数据相对应的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据和测试程式详细描述数据；
所述读取单元根据工艺需求获取一操作数据并将该操作数据传输至所述查询单元；所述查询单元根据该操作数据查询所述存储单元中存储的与该操作数据相应的数据信息，并将该相应的数据信息通过所述显示单元进行显示；
所述操作数据包括一个批次产品的所述产品批号数据、所述测试机台号数据、所述测试程式名数据、所述探针程式名数据、所述探针卡类型数据、所述程式分组名数据、所述机台性能数据、所述铜/非铜制程数据、所述建程式人员工号数据和/或所述测试程式详细描述数据；
该方法包括以下步骤：
步骤一：根据生产需要对一批次进行检测工艺时，所述读取单元读取并传送制造执行系统中该批次的产品批号数据和/或该批次的测试程式名数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述批次的产品批号数据和/或所述批次的测试程式名数据，查询并传送所述存储单元中存储的与所述批次的产品批号数据和/或所述批次的测试程式名数据相应的数据信息至所述显示单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
2.如权利要求1所述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述批次的产品批号数据、所述批次的测试机台号数据、所述批次的测试程式名数据、所述批次的探针程式名数据、所述批次的探针卡类型数据、所述批次的程式分组名数据、所述批次的机台性能数据、所述批次的铜/非铜制程数据、所述批次的建程式人员工号数据和所述批次的测试程式详细描述数据。
3.如权利要求2所述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，根据所述批次的测试机台号数据，将该批次装载至对应的测试机台上，并按照所述批次的晶圆允收测试程式名数据对应的晶圆允收测试测试程式对该批次进行检测工艺。
4.一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于晶圆允收测试程式的管理系统中，其中所述晶圆允收测试程式的管理系统包括读取单元、存储单元、查询单元和显示单元；
所述存储单元中存储有若干批次产品的产品批号数据，及与每批次产品的所述产品批号数据相对应的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据和测试程式详细描述数据；
所述读取单元根据工艺需求获取一操作数据并将该操作数据传输至所述查询单元；所述查询单元根据该操作数据查询所述存储单元中存储的与该操作数据相应的数据信息，并将该相应的数据信息通过所述显示单元进行显示；
所述操作数据包括一个批次产品的所述产品批号数据、所述测试机台号数据、所述测试程式名数据、所述探针程式名数据、所述探针卡类型数据、所述程式分组名数据、所述机台性能数据、所述铜/非铜制程数据、所述建程式人员工号数据和/或所述测试程式详细描述数据；
该方法包括：
步骤一：根据工艺需求，所述读取单元从一外部输出系统中读取并传送一个批次产品的所述测试机台号数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述测试机台号数据查询并传送所述存储单元中存储的与所述测试机台号数据相应的数据信息至所述查询单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
5.如权利要求4所述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述一个批次产品的产品批号数据、所述一个批次产品的测试机台号数据、所述一个批次产品的测试程式名数据、所述一个批次产品的探针程式名数据、所述一个批次产品的探针卡类型数据、所述一个批次产品的程式分组名数据、所述一个批次产品的机台性能数据、所述一个批次产品的铜/非铜制程数据、所述一个批次产品的建程式人员工号数据和所述一个批次产品的测试程式详细描述数据。
6.一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于晶圆允收测试程式的管理系统中，其中所述晶圆允收测试程式的管理系统包括读取单元、存储单元、查询单元和显示单元；
所述存储单元中存储有若干批次产品的产品批号数据，及与每批次产品的所述产品批号数据相对应的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据和测试程式详细描述数据；
所述读取单元根据工艺需求获取一操作数据并将该操作数据传输至所述查询单元；所述查询单元根据该操作数据查询所述存储单元中存储的与该操作数据相应的数据信息，并将该相应的数据信息通过所述显示单元进行显示；
所述操作数据包括一个批次产品的所述产品批号数据、所述测试机台号数据、所述测试程式名数据、所述探针程式名数据、所述探针卡类型数据、所述程式分组名数据、所述机台性能数据、所述铜/非铜制程数据、所述建程式人员工号数据和/或所述测试程式详细描述数据；
该方法包括：
步骤一：根据工艺需求，所述读取单元从一外部输出系统中读取并传送一个批次产品的所述探针卡类型数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述探针卡类型数据查询并传送所述存储单元中存储的与所述探针卡类型数据相应的数据信息至所述查询单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
7.如权利要求6所述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述一个批次产品的产品批号数据、所述一个批次产品的测试机台号数据、所述一个批次产品的测试程式名数据、所述一个批次产品的探针程式名数据、所述一个批次产品的探针卡类型数据、所述一个批次产品的程式分组名数据、所述一个批次产品的机台性能数据、所述一个批次产品的铜/非铜制程数据、所述一个批次产品的建程式人员工号数据和所述一个批次产品的测试程式详细描述数据。
8.一种利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，应用于晶圆允收测试程式的管理系统中，其中所述晶圆允收测试程式的管理系统包括读取单元、存储单元、查询单元和显示单元；
所述存储单元中存储有若干批次产品的产品批号数据，及与每批次产品的所述产品批号数据相对应的测试机台号数据、测试程式名数据、探针程式名数据、探针卡类型数据、程式分组名数据、机台性能数据、铜/非铜制程数据、建程式人员工号数据和测试程式详细描述数据；
所述读取单元根据工艺需求获取一操作数据并将该操作数据传输至所述查询单元；所述查询单元根据该操作数据查询所述存储单元中存储的与该操作数据相应的数据信息，并将该相应的数据信息通过所述显示单元进行显示；
所述操作数据包括一个批次产品的所述产品批号数据、所述测试机台号数据、所述测试程式名数据、所述探针程式名数据、所述探针卡类型数据、所述程式分组名数据、所述机台性能数据、所述铜/非铜制程数据、所述建程式人员工号数据和/或所述测试程式详细描述数据；
该方法包括：
步骤一：根据工艺需求，所述读取单元从一外部输出系统中读取并传送一个批次产品的所述建程式人员工号数据至所述查询单元；
步骤二：所述查询单元根据所述建程式人员工号数据查询并传送所述存储单元中存储的与所述建程式人员工号数据相应的数据信息至所述查询单元；
步骤三：通过所述显示单元将所述相应的数据信息进行显示。
9.如权利要求8所述的利用晶圆允收测试程式的管理系统的方法，其特征在于，步骤二中所述相应的数据信息包括：所述一个批次产品的产品批号数据、所述一个批次产品的测试机台号数据、所述一个批次产品的测试程式名数据、所述一个批次产品的探针程式名数据、所述一个批次产品的探针卡类型数据、所述一个批次产品的程式分组名数据、所述一个批次产品的机台性能数据、所述一个批次产品的铜/非铜制程数据、所述一个批次产品的建程式人员工号数据和所述一个批次产品的测试程式详细描述数据。
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