CN103645428A

CN103645428A - 提高wat测试效率的系统及方法

Info

Publication number: CN103645428A
Application number: CN201310597786.5A
Authority: CN
Inventors: 席与凌; 娄晓祺; 莫保章
Original assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Current assignee: Shanghai Huali Microelectronics Corp
Priority date: 2013-11-22
Filing date: 2013-11-22
Publication date: 2014-03-19

Abstract

本发明公开了一种提高WAT测试效率的方法，应用于WAT测试机台中，包括：预先采集各种类结构器件的信息，整理所述信息，将整理后的信息存储至所述WAT测试机台中；预先根据各种类结构器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件，整理所述测试方法和测试条件，将整理后的测试方法和测试条件存储至所述WAT测试机台中；在所述WAT测试机台测试待测器件时，调用所述WAT测试机台中与所述待测器件对应的信息以及测试方法和测试条件，对所述待测器件进行测试。本发明还提供了提高WAT测试效率的系统，采用本发明的技术方案，节约了WAT测试过程中采集信息及选择测试方法和测试条件的时间，提高了WAT测试的效率。

Description

提高WAT测试效率的系统及方法

技术领域

本发明涉及微电子技术领域，尤其涉及一种提高WAT测试（Wafer Acceptance Test，晶圆允收测试）效率的系统和方法。

背景技术

随着集成电路加工工艺日益复杂，在集成电路的WAT测试（Wafer Acceptance Test，晶圆允收测试）时需要测试的参数越来越多。特别是在新产品开发时，测试参数往往达几千甚至上万项。

现有的WAT测试中，常规方法是测试时每次采集器件结构的信息以及根据器件的测试目的选择测试条件和测试方法，因此在大规模的量产中就会耽误较多的时间，从而造成WAT测试效率低下的问题。

中国专利（公开号：CN103336257A）公开了一种WAT测试系统及方法，包括：管理程序建立模组，用于为每个探针卡分别建立独立的探针卡程序；读取模组，于每次测试开始前，读取当前使用探针卡标示；自动获取模组，根据读取的探针卡的标示于建立的所有的探针卡程序中自动获取唯一针对当前探针卡的管理程序；测试模组，根据获取的当前探针卡的管理程序得到当前探针卡的信息，并进行产品测试，通过该发明，可避免每次测试前需对当前使用的探针卡做针尖调整，提高了WAT测试的效率。

中国专利（公开号：CN103308840A）公开了一种晶圆可接受测试方法，在测试机台对晶圆进行WAT测试之前，先选取测试电压扫描区间，接着，使用测试机台对晶圆进行测试，测试机台能够记录测试电压扫描区间内所有的电性参数值，因此可以由该区间内所有的电性参数值绘制出电性参数曲线，进而可以由电性参数曲线得出特定的电性参数数值，当测试机台在测试之后反馈的电性参数不准确或者无法反馈电性参数时，无需人工进行第二测试，从而节省了时间和劳动力，提高了检测效率。

上述两个专利并未解决现有技术中WAT测试需要每次采集器件结构的信息以及根据器件的测试目的选择测试条件和测试方法，因此在大规模的量产中就会耽误较多的时间，从而造成WAT测试效率低下的问题。

发明内容

针对上述存在的问题，本发明公开一种提高WAT测试效率的系统及方法，以克服现有技术中WAT测试需要每次采集器件结构的信息以及根据器件的测试目的选择测试条件和测试方法，因此在大规模的量产中就会耽误较多的时间，从而造成WAT测试效率低下的问题。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种提高WAT测试效率的方法，应用于WAT测试机台中，包括如下步骤：

S1，预先采集各种类结构器件的信息，整理所述信息，将整理后的信息存储至所述WAT测试机台中；

S2，预先根据各种类结构器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件，整理所述测试方法和测试条件，将整理后的测试方法和测试条件存储至所述WAT测试机台中；

S3，在所述WAT测试机台测试待测器件时，调用所述WAT测试机台中与所述待测器件对应的信息以及测试方法和测试条件，对所述待测器件进行测试。

上述的提高WAT测试效率的方法，其中，所述步骤S1具体为：预先在进行WAT测试结构设计时，采集各测试结构中各种类结构器件的规格信息以及布局信息，根据器件种类分别整理预先采集的各种类结构器件的规格信息以及布局信息，将整理后的规格信息以及布局信息存储至所述WAT测试机台中。

上述的提高WAT测试效率的方法，其中，所述规格信息包括所在器件模组信息、器件尺寸信息、器件引脚布局信息。

上述的提高WAT测试效率的方法，其中，所述布局信息包括所在测试模组信息、位置坐标信息。

上述的提高WAT测试效率的方法，其中，所述步骤S2具体为：预先根据各种类结构器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件，根据器件种类分别整理测试方法和测试条件，将整理后的测试方法和测试条件存储至所述WAT测试机台中。

一种提高WAT测试效率的系统，应用于WAT测试机台中，包括：

采集模块，用于采集各种类结构器件的信息；

设定模块，用于根据各种类结构器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件；

处理模块，用于整理采集模块中采集的信息和设定模块中设定的测试方法和测试条件，并将整理后的信息以及测试方法和测试条件存储至数据存储模块中；

数据存储模块，用于存储经处理模块整理后的信息以及测试方法和测试条件；

调用及测试模块，从数据存储模块中调用与待测器件对应的信息以及测试方法和测试条件，根据调用的与待测器件对应的信息以及测试方法和测试条件对待测器件进行测试。

上述的提高WAT测试效率的系统，其中，所述采集模块用于预先在WAT测试结构设计时，采集各测试结构的各种类结构器件的规格信息以及布局信息。

上述的提高WAT测试效率的系统，其中，所述规格信息包括所在器件模组信息、器件尺寸信息、器件引脚布局信息。

上述的提高WAT测试效率的系统，其中，所述布局信息包括所在测试模组信息、位置坐标信息。

上述的提高WAT测试效率的系统，其中，所述处理模块用于根据器件种类分别整理采集模块中采集的信息和设定模块中设定的测试方法和测试条件，并将整理后的信息以及测试方法和测试条件存储至数据存储模块中。

上述发明具有如下优点或者有益效果：

采用本发明的系统和方法，预先采集各种类结构器件的信息，并预先根据各器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件，分别进行整理之后，存储至WAT测试机台中，测试过程中只需根据待测器件的测试需求调用相应器件的信息以及对应的测试方法和测试条件即可，无须每次采集器件结构的信息以及根据器件的测试目的设定测试条件和测试方法，在大规模的量产中，节约了大量的测试时间，提高了WAT测试的效率。

具体附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明及其特征、外形和优点将会变得更加明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未可以按照比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1是本发明提高WAT测试效率的系统及方法的第一实施方式的流程图；

图2是本发明提高WAT测试效率的系统及方法的第二实施方式的结构示意图；

图3是本发明提高WAT测试效率的系统及方法中整理后的规格信息的结构示意图；

图4是本发明提高WAT测试效率的系统及方法中整理后的布局信息的结构示意图；

图5是本发明提高WAT测试效率的系统及方法中整理后的测试条件及测试方法的结构示意图；

图6是本发明提高WAT测试效率的系统及方法中调用信息及测试方法及测试条件进行测试的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和具体的实施例对本发明作进一步的说明，但是不作为本发明的限定。

本发明第一实施方式涉及一种提高WAT测试效率的方法，应用于WAT测试机台中，如图1所示，包括如下步骤：

S1，预先采集各种类结构器件的信息，整理所述信息，将整理后的信息存储至所述WAT测试机台中，以便进行WAT测试时可直接调用；

S2，先根据各种类结构器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件，整理所述测试方法和测试条件，将整理后的测试方法和测试条件存储至所述WAT测试机台中，以便进行WAT测试时可直接调用；

其中，如图3-6所示，步骤S1具体为：预先在进行WAT测试结构设计时，采集各测试结构中各种类结构器件的规格信息以及布局信息，根据器件种类分别整理预先采集的各种类结构器件的规格信息以及布局信息，将整理后的规格信息以及布局信息存储至所述WAT测试机台中，其中的规格信息包括所在器件模组信息、器件尺寸信息、器件引脚布局信息，其中的布局信息包括所在测试模组信息、位置坐标信息；步骤S2可具体为预先根据各种类结构器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件，根据器件种类分别整理测试方法和测试条件，将整理后的测试方法和测试条件存储至所述WAT测试机台中。

图3体现了根据器件种类1整理后的规格信息示意图，规格信息包括测试尺寸分类、所在器件模组和器件引脚布局，根据器件种类整理后的规格信息如图3所示的树形结构，其中器件种类1对应不同的测试尺寸，测试尺寸又各自对应不同的器件模组，器件模组又各自对应引脚布局；图4体现了根据器件种类1整理后的布局信息示意图，布局信息包括所在测试模组信息和位置坐标信息，根据器件种类整理后的布局信息如图4所示的树形结构；图5中体现了根据器件种类1整理后的测试方法和测试条件的示意图，根据器件种类整理测试方法和测试条件如图5所示的树形结构。

如图6所示，可以直接调用待测器件的器件种类以及器件尺寸，然后调用测试方法及测试条件对待测器件进行测试，节约了WAT测试的时间，提高了WAT测试的效率。

在本实施方式中，可以对采集的信息以及测试方法和测试条件进行定期更新采集并进行整理，以使得WAT测试机台中的信息以及测试方法和测试条件可以满足测试时的调用需求。

本发明第二实施方式涉及一种提高WAT测试效率的系统，应用于WAT测试机台中，如图2所示，包括：

采集模块，用于采集各种类结构器件的信息；

其中，上述的提高WAT测试效率的系统，所述采集模块用于预先在WAT测试结构设计时，采集各测试结构的各种类结构器件的规格信息以及布局信息，其中，规格信息包括所在器件模组信息、器件尺寸信息、器件引脚布局信息，布局信息包括所在测试模组信息、位置坐标信息；所述处理模块用于根据器件种类分别整理采集模块中采集的信息和设定模块中设定的测试方法和测试条件，并将整理后的信息以及测试方法和测试条件存储至数据存储模块中。

不难发现，本实施方式为与第一实施方式相对应的系统实施例，本实施方式可与第一实施方式互相配合实施。第一实施方式中提到的相关技术细节在本实施方式中依然有效，为了减少重复，这里不再赘述。相应地，本实施方式中提到的相关技术细节也可应用在第一实施方式中。

值得一提的是，本实施方式中所涉及到的各模块均为逻辑模块，在实际应用中，一个逻辑模块可以是一个物理模块，也可以是一个物理模块的一部分，还可以以多个物理模块的组合实现。此外，为了突出本发明的创新部分，本实施方式中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的模块引入，但这并不表明本实施方式中不存在其它的模块。

采用本发明上述两个实施方式的系统及方法，预先采集各种类结构器件的信息并根据器件种类选择对应的测试方法和测试条件，在进行WAT测试时，可以直接调用信息以及对应的测试方法和测试条件，从而节约了WAT测试的时间，提高了WAT测试的效率。

本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。

以上对本发明的较佳实施例进行了描述。需要理解的是，本发明并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例，这并不影响本发明的实质内容。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

Claims

1.一种提高WAT测试效率的方法，应用于WAT测试机台中，其特征在于，包括如下步骤：

2.如权利要求1所述的提高WAT测试效率的方法，其特征在于，所述步骤S1具体为：预先在进行WAT测试结构设计时，采集各测试结构中各种类结构器件的规格信息以及布局信息，根据器件种类分别整理预先采集的各种类结构器件的规格信息以及布局信息，将整理后的规格信息以及布局信息存储至所述WAT测试机台中。

3.如权利要求2所述的提高WAT测试效率的方法，其特征在于，所述规格信息包括所在器件模组信息、器件尺寸信息、器件引脚布局信息。

4.如权利要求2所述的提高WAT测试效率的方法，其特征在于，所述布局信息包括所在测试模组信息、位置坐标信息。

5.如权利要求1所述的提高WAT测试效率的方法，其特征在于，所述步骤S2具体为：预先根据各种类结构器件的测试目的设定对应的测试方法和测试条件，根据器件种类分别整理测试方法和测试条件，将整理后的测试方法和测试条件存储至所述WAT测试机台中。

6.一种提高WAT测试效率的系统，应用于WAT测试机台中，其特征在于，包括：

采集模块，用于采集各种类结构器件的信息；

7.如权利要求6所述的提高WAT测试效率的系统，其特征在于，所述采集模块用于预先在WAT测试结构设计时，采集各测试结构的各种类结构器件的规格信息以及布局信息。

8.如权利要求7所述的提高WAT测试效率的系统，其特征在于，所述规格信息包括所在器件模组信息、器件尺寸信息、器件引脚布局信息。

9.如权利要求7所述的提高WAT测试效率的系统，其特征在于，所述布局信息包括所在测试模组信息、位置坐标信息。

10.如权利要求6所述的提高WAT测试效率的系统，其特征在于，所述处理模块用于根据器件种类分别整理采集模块中采集的信息和设定模块中设定的测试方法和测试条件，并将整理后的信息以及测试方法和测试条件存储至数据存储模块中。