CN105470158A - 晶圆测试探针台及其测试方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆测试探针台，用于对待测晶圆进行自动测试，包括控制器、模拟输入装置以及模拟输入控制装置；模拟输入控制装置用于接收晶圆测试指令，并根据晶圆测试指令获取待测晶圆的数据信息；数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；模拟输入控制装置还用于控制模拟输入装置自动将数据信息输出给控制器；控制器用于接收模拟键盘输出的数据信息，并根据测试数据信息对探针台进行初始化以及参数配置后对待测晶圆进行测试；控制器还用于获取测试结果并将测试结果存储在待测晶圆的产品数据信息中。上述晶圆测试探针台具有测试效率高且不易出错的优点。还提供一种晶圆测试方法。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制备技术领域，特别是涉及一种晶圆测试探针台及其测试方法。
背景技术
在集成电路的制备过程中，晶圆测试是必不可少的一个过程。图1为晶圆测试系统(CircuitProbing，CP)的典型结构。探针台(Prober)是实现晶圆测试的关键设备，它承载晶圆并根据每个独立的管芯(Die)的大小作为步长做周期移动，保证每个待测管芯都能和探针卡良好接触。传统的晶圆测试探针台在测试过程中，所有的数据如产品名称、产品批次等均需要通过键盘面板人工手动进行输入，速度慢使得测试效率较低，且容易出错。
发明内容
基于此，有必要针对上述问题，提供一种测试效率高且不易出错的晶圆测试探针台。
还提供一种晶圆测试方法。
一种晶圆测试探针台，用于对待测晶圆进行自动测试，包括控制器、模拟输入装置以及模拟输入控制装置；所述模拟输入装置分别与所述控制器、所述模拟输入控制装置连接；所述模拟输入控制装置用于接收晶圆测试指令，并根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息；所述数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；所述模拟输入控制装置还用于控制所述模拟输入装置自动将所述数据信息输出给所述控制器；所述控制器用于接收所述模拟键盘输出的数据信息，并根据所述测试数据信息对所述探针台进行初始化以及参数配置后对所述待测晶圆进行测试；所述控制器还用于获取测试结果并将所述测试结果存储在所述待测晶圆的产品数据信息中。
在其中一个实施例中，所述晶圆测试指令包含有唯一标识所述待测晶圆的标识符；所述标识符与所述待测晶圆的数据信息具有一一对应的关系。
在其中一个实施例中，所述标识符为厂内批次号。
在其中一个实施例中，所述控制器根据所述晶圆测试指令获取待待测晶圆的数据信息具体为，所述控制器根据所述数据信息中的标识符向生产管理系统获取所述待测晶圆的数据信息。
在其中一个实施例中，所述产品数据信息包括产品名称、产品批次以及产品片号；所述测试数据包括针对所述待测晶圆的探针台启动参数配置文件的网络路径和配置参数文件名。
在其中一个实施例中，还包括手动输入装置，与所述控制器连接，用于手动输入所述数据信息给所述控制器。
在其中一个实施例中，所述模拟输入装置为模拟键盘，所述手动输入装置为矩阵式键盘。
一种晶圆测试方法，用于对待测晶圆进行自动测试，包括以下步骤：获取晶圆测试指令；根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息；所述数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；通过模拟输入装置将所述数据信息自动输入到控制器；根据所述测试数据信息对探针台进行初始化以及参数配置后进行晶圆测试；获取测试结果并将测试结果存储到所述产品数据信息中。
在其中一个实施例中，所述根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息的步骤具体为：根据所述晶圆测试指令向生产管理系统获取待测晶圆的数据信息。
在其中一个实施例中，所述晶圆测试指令包含有唯一标识所述待测晶圆的标识符；所述标识符与所述待测晶圆的数据信息具有一一对应的关系。
上述晶圆测试探针台，通过设置的模拟输入装置可以在模拟输入控制装置的控制下对所有数据进行自动输入，大大提高了输入效率且降低了出错率，有利于实现整个生产系统的无人化操作。
附图说明
图1为传统的晶圆测试系统的典型结构；
图2为一实施例中的晶圆测试探针台的结构框图；
图3为另一实施例中的晶圆测试探针台的结构框图；
图4为一实施例中的晶圆测试方法的流程图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
图2所示为一实施例中的晶圆测试探针台的结构框图。一种晶圆测试探针台用于对待测晶圆进行自动测试，包括控制器210、模拟输入装置220以及模拟输入控制装置230。其中，模拟输入装置220分别与控制器210以及模拟输入控制装置230连接。
模拟输入控制装置230用于接收晶圆测试指令，并根据晶圆测试指令获取待测晶圆的数据信息。在本实施例中，晶圆测试指令是由生产者发出。生产者可以对模拟输入控制装置230直接输入晶圆测试指令，也可以通过远程通信的方式向模拟输入控制装置230发送晶圆测试指令。晶圆测试指令中包含有唯一标识待测晶圆的数据信息的标识符。在本实施例中，该标识符为厂内批次号。通过该标识符，模拟输入控制装置230可以获取到待测晶圆的数据信息。具体地，模拟输入控制装置230根据晶圆测试指令中的标识符向生产管理系统获取待测晶圆的数据信息。获取到的数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息。其中，产品数据信息包括产品名称、产品批次以及产品片号等信息。测试数据信息则包括针对待测晶圆的探针台启动参数配置文件的网络路径和配置参数文件名。
模拟输入控制装置230在获取到待测晶圆的数据信息后控制模拟输入装置220自动输入待测晶圆的数据信息给控制器210。在本实施例中，模拟输入装置220为模拟键盘。控制器210接收模拟输入装置220输入的数据信息，并根据测试数据信息中的网络路径以及配置参数文件名获取到相关配置参数后对探针台进行初始化以及参数配置。控制器210在探针台完成初始化以及参数配置后控制探针台对待测晶圆进行测试。探针台在测试完成后将测试结果输出给控制器210。控制器210将测试结果存储在待测晶圆的产品数据信息中。从而使得测试结果中包含了如产品名称、产品批次以及产品片号等产品信息数据，满足生产需求。
上述晶圆测试探针台，测试过程所需要输入的数据信息如产品数据信息以及测试数据信息等均在模拟输入控制装置230的控制下通过模拟输入装置220自动进行输入，而不像传统的测试过程需要通过键盘人工手动输入。因此，极大的提升了数据输入的效率，进而提高整个测试过程的效率。通过模拟输入装置220进行自动数据输入，输入数据的准确率可达到100％，且能够实现整个生产过程的全自动化。
图3所示为另一实施例中的晶圆测试探针台，包括控制器310、模拟输入装置320、模拟输入控制装置330、以及手动输入装置340。其中控制器310、模拟输入装置320以及模拟输入控制装置330均在前述实施例中已经介绍，此处不赘述。手动输入装置340与控制器310连接，用于通过手动将数据输入给控制器310。在本实施例中，手动输入装置340为矩阵式键盘。通过设置手动输入装置340可以与模拟输入装置320进行并行数据输入。
图4所示为一实施例中的晶圆测试方法的流程图，用于对待测晶圆进行自动测试，包括以下步骤。
S410，获取晶圆测试指令。
晶圆测试指令由生产者发出。晶圆测试指令中包含有唯一标识待测晶圆的数据信息的标识符。标识符与待测晶圆的数据信息具有一一对应的关系。在本实施例中，该标识符为厂内批次号。
S420，根据晶圆测试指令获取待测晶圆的数据信息。
具体地，根据晶圆测试指令中的标识符向生产管理系统中获取待测晶圆的数据信息。获取到的数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息。其中，产品数据信息包括产品名称、产品批次以及产品片号等内容，而测试数据信息则包括针对待测晶圆的探针台启动参数配置文件的网络路径和配置参数文件名。
S430，通过模拟输入装置将数据信息自动输入到控制器。
通过模拟输入控制装置对模拟输入装置进行控制以实现将数据信息自动输入到控制器中，提高了输入效率且输入数据的正确率较高，可达到100％。在本实施例中，模拟输入装置为模拟键盘。
S440，根据测试数据信息对探针台进行初始化以及参数配置后进行晶圆测试。
根据数据信息中的测试数据信息中的网络路径以及配置参数文件名获取到相应的配置参数，从而对探针台进行初始化以及参数的配置。探针台在进行初始化和参数配置后对晶圆进行测试。
S450，获取测试结果并将测试结果存储到产品数据信息中。
通过将测试结果存储到产品数据信息中，使得测试结果包含了如产品名称、产品批次以及产品片号等产品信息，满足生产过程的需求。
上述晶圆测试方法，整个测试过程的数据均能够通过模拟输入装置进行自动输入，输入效率高，错误率低，有利于实现整个生产过程的自动化。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种晶圆测试探针台，用于对待测晶圆进行自动测试，其特征在于，包括控制器、模拟输入装置以及模拟输入控制装置；所述模拟输入装置分别与所述控制器、所述模拟输入控制装置连接；
所述模拟输入控制装置用于接收晶圆测试指令，并根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息；所述数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；所述模拟输入控制装置还用于控制所述模拟输入装置自动将所述数据信息输出给所述控制器；
所述控制器用于接收所述模拟键盘输出的数据信息，并根据所述测试数据信息对所述探针台进行初始化以及参数配置后对所述待测晶圆进行测试；所述控制器还用于获取测试结果并将所述测试结果存储在所述待测晶圆的产品数据信息中。
2.根据权利要求1所述的晶圆测试探针台，其特征在于，所述晶圆测试指令包含有唯一标识所述待测晶圆的标识符；所述标识符与所述待测晶圆的数据信息具有一一对应的关系。
3.根据权利要求2所述的晶圆测试探针台，其特征在于，所述标识符为厂内批次号。
4.根据权利要求2所述的晶圆测试探针台，其特征在于，所述控制器根据所述晶圆测试指令获取待待测晶圆的数据信息具体为，所述控制器根据所述数据信息中的标识符向生产管理系统获取所述待测晶圆的数据信息。
5.根据权利要求1～4任一所述的晶圆测试探针台，其特征在于，所述产品数据信息包括产品名称、产品批次以及产品片号；所述测试数据包括针对所述待测晶圆的探针台启动参数配置文件的网络路径和配置参数文件名。
6.根据权利要求1所述的晶圆测试探针台，其特征在于，还包括手动输入装置，与所述控制器连接，用于手动输入所述数据信息给所述控制器。
7.根据权利要求6所述的晶圆测试探针台，其特征在于，所述模拟输入装置为模拟键盘，所述手动输入装置为矩阵式键盘。
8.一种晶圆测试方法，用于对待测晶圆进行自动测试，包括以下步骤：
获取晶圆测试指令；
根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息；所述数据信息包括产品数据信息以及测试数据信息；
通过模拟输入装置将所述数据信息自动输入到控制器；
根据所述测试数据信息对探针台进行初始化以及参数配置后进行晶圆测试；
获取测试结果并将测试结果存储到所述产品数据信息中。
9.根据权利要求8所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述根据所述晶圆测试指令获取所述待测晶圆的数据信息的步骤具体为：根据所述晶圆测试指令向生产管理系统获取待测晶圆的数据信息。
10.根据权利要求8所述的晶圆测试方法，其特征在于，所述晶圆测试指令包含有唯一标识所述待测晶圆的标识符；所述标识符与所述待测晶圆的数据信息具有一一对应的关系。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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