CN103151248A - 一种光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法，该装置包括加热炉、两端封闭的石英管、气体控制系统、真空系统、用以容置扩散源及待扩散的外延片的石英舟以及用以推送该石英舟进入石英管的真空推进装置，该石英管一端位于加热炉炉膛中，为恒温区，另一端位于加热炉炉膛外，为冷却区，并处于室温状态，该气体控制系统可向石英管内充入氮气，该真空系统通过真空管道可对石英管抽真空。本发明的方法既避免了传统闭管扩散用氢氧焰封石英管的风险和开石英管时管内负压下，残渣吸入石英管造成的外延片污染，也解决了传统开管扩散过程中温度不均匀，扩散深度不容易控制，而且冷却时间过长的问题，本发明的方法利于批量扩散。

Description

一种光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法
技术领域
 本发明有关一种半导体光电器件领域中锌的扩散装置和扩散方法，特别是指铟镓砷光电探测器制作过程中一种新型的锌的扩散装置及扩散方法。
背景技术
传统铟镓砷外延片都是通过有机气相外延沉积（MOCVD）技术在N型磷化铟基底材料上生长铟镓砷吸收层和本征的磷化铟顶层，因此在工艺制作过程都需要通过各种掺杂技术，如：扩散、离子注入等，形成P型扩散区。因为锌的扩散工艺简单，对外延片表面损伤小，可以获得优良性能，所以得到广泛的应用。
传统闭管扩散工艺是将外延片和扩散源放入石英管内，抽真空，然后需要用氢-氧焰封石英管，再放入炉膛中扩散，这种方法操作复杂，使用危险，扩散源和石英管不能重复利用，无法实现大尺寸外延片扩散，而且外延片表面极易污染。传统的开管扩散工艺虽然可使得扩散源和石英管能够重复利用，并且操作简单，但是由于开管扩散气压随大气压波动，而且将炉膛推来推去温度波动范围大，无法实现扩散深度高精度控制。
发明内容
有鉴于此，本发明的主要目的在于提供一种操作简单、扩散深度精度高的光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法。
为达到上述目的，本发明提供一种光电探测器制作中锌的扩散装置，其包括加热炉、两端封闭的石英管、气体控制系统、真空系统、用以容置扩散源及待扩散的外延片的石英舟以及用以推送该石英舟进入石英管的真空推进装置，该石英管一端位于加热炉炉膛中，为恒温区，另一端位于加热炉炉膛外，为冷却区，并处于室温状态，该气体控制系统通过恒温进气管连接石英管的恒温区，该气体控制系统另通过冷却进气管连接石英管的冷却区，可分别向石英管内充入氮气，该真空系统通过真空管道连接该石英管，并对石英管抽真空，该真空管道上设有用以排放过多氮气的尾气管。
所述石英管恒温区一端设有水冷法兰，所述冷却区一端设有进口端法兰，该进口端法兰上设有供石英舟进出石英管的通孔。
所述真空推进装置连接有载舟板，该载舟板上靠近该真空推进装置的一端设有炉门，所述石英舟置于该载舟板上并由该真空推进装置推送于石英管内进行锌的扩散，而该炉门则由该真空推进装置推送至该进口端法兰，并封堵所述通孔。
所述石英管的水冷法兰上设有伸入恒温区的第一热电偶，所述石英管的冷却区设有第二热电偶。
所述石英舟为盒体结构，所述扩散源放置于石英舟内底部，所述外延片放置于石英舟内中部，该石英舟顶部并由盖子密封。
本发明还提供一种光电探测器制作中锌的扩散方法，该方法包括：
⑴将一封闭的石英管一端位于加热炉炉膛中恒温区，另一端位于加热炉炉膛外冷却区且处于室温状态，该扩散过程在该封闭的石英管中完成；
⑵加热炉加热到设定温度，将扩散源和外延晶片放入石英舟内，将石英舟置于载舟板上，并由真空推进装置推到石英管冷却区，关闭炉门；
⑶启动真空系统对石英管抽真空，然后向石英管内通入小流量氮气，维持石英管内设定的压力；
⑷待石英管内压力稳定后，将石英舟推到炉膛恒温区进行扩散，通过热电偶可以实时监测整个石英舟的温度变化情况；
⑸到达设定的工艺时间后，停止步骤（3）的氮气通入，将石英舟拖到冷却区进行冷却，向石英管内通入设定的大流量高纯氮气快速冷却；
⑹冷却到室温后，关闭步骤(5)中的大流量氮气，开炉门，退出石英舟，取出外延片，完成锌的扩散。
所述步骤（2）中加热炉的设定温度为450～530℃。
在所述步骤（3）与步骤（5）中，通过质量流量计精确控制通入的氮气的流量，同时通过控制进入石英管内氮气的压力，可以实现在不同压力下进行扩散。
所述扩散源为磷化锌和本征磷化铟粉末混合物，或者砷化锌和本征磷化铟粉末混合物，或者磷化锌、砷化锌和本征磷化铟粉末的混合物。
本发明铟镓砷光电探测器锌的扩散方法通过控制进气压力，可以实现大于一个大气压的精确压力下扩散，实现稳定扩散；扩散过程在一封闭的石英管中完成；封闭的石英管一端位于加热炉膛中，另一端位于加热炉膛外且处于室温状态，实现加热炉和扩散温度波动小，扩散深度精确控制；通过用PLC控制工艺参数，实现全程自动化。因此该方法，操作简单，安全，成本低，更适合新型高端产品的扩散工艺要求。
附图说明
图1为本发明光电探测器制作中锌的扩散装置结构示意图；
图2为本发明中的石英舟结构示意图；
图3为本发明光电探测器制作中锌的扩散方法步骤流程图。
具体实施方式
为便于对发明的结构及方法及其达到的效果有进一步的了解，现结合附图并举较佳实施例详细说明如下。
为了在铟镓砷探测器工艺之中获得良好光电特性，必须通过扩散获得良好的PN结，本发明的目的正是在本征磷化铟中进行锌扩散。
如图1所示，本发明光电探测器制作中锌的扩散装置包括加热炉6、两端封闭的石英管5、气体控制系统1、真空系统18、石英舟9、用以推送石英舟9进入石英管5的真空推进装置11及与真空推进装置11连接的载舟板10，该载舟板10上靠近真空推进装置11的一端设有炉门12。该石英管5一端位于加热炉6炉膛中，为恒温区15，另一端位于加热炉6炉膛外，为冷却区14，并处于室温状态，该石英管5恒温区15一端设有水冷法兰4，冷却区14一端设有进口端法兰8，该进口端法兰8上设有供石英舟9进出的通孔。该气体控制系统1通过恒温进气管2连接石英管5的恒温区15，该气体控制系统1另通过冷却进气管7连接石英管5的冷却区14，分别可向石英管5内充入氮气，真空系统18通过真空管道17连接进口端法兰8，并可对石英管5抽真空，该真空管道17上设有尾气管19。石英管5的水冷法兰4上设有伸入恒温区15的第一热电偶3，冷却区14设有第二热电偶13。如图2所示，该石英舟9为盒体结构，内部容置有扩散源90及待扩散的外延片91，该扩散源90放置于石英舟9内底部，外延片91放置于石英舟9内中部，并由盖子92将石英舟9顶部密封，石英舟9置于载舟板10上并由真空推进装置11推送于石英管5内进行锌的扩散，而炉门12则由真空推进装置11推送至进口端法兰8，并封堵通孔。
本发明的扩散装置在使用时，首先将加热炉6的温度预先设定在扩散温度，如450～530℃；将待扩散的外延片和扩散源准备好，放入石英舟9内，将石英舟9放在载舟板10上，通过真空推进装置11将石英舟9推入石英管5冷却区14；关上炉门12，开启真空系统18，对石英管5进行抽真空，此时关闭尾气管19；开启气体控制系统1，通过恒温进气管2对石英管5充入氮气，避免扩散过程中残余氧气氧化扩散源和外延片，并通过气体面板上质量流量计精确控制通入石英管5内氮气的流量，并打开尾气管19用以排放过多的氮气以维持石英管5内设定的压力；调节氮气压力，待石英管5内气压稳定后，将石英舟9推入恒温区15进行扩散一定时间，通过第一热电偶3可以实时监测整个石英舟9的温度变化情况；扩散完毕，关闭恒温进气管2，同时将石英舟9拖到冷却区14，通过冷却进气管7充入大流量氮气快速冷却石英舟9和外延片91，同时启动冷却风扇降温；待第二热电偶13显示温度降至室温，关闭冷却进气管7，然后通过真空推进装置11将石英舟9拖出放置于空气中，取出外延片91；最后真空推进装置11推进至炉门12关闭。
如图3所示，本发明光电探测器制作中锌的扩散方法的具体工艺步骤为：
⑴将一封闭的石英管一端位于加热炉炉膛中恒温区，另一端位于加热炉炉膛外冷却区且处于室温状态，该扩散过程在该封闭的石英管中完成；
⑵加热炉加热到设定温度，该设定温度可为450～530℃，将扩散源和外延晶片放入石英舟内，将石英舟置于载舟板上，并由真空推进装置推到石英管冷却区，关闭炉门；
⑶启动真空系统对石英管抽真空，然后向石英管内通入小流量氮气，并通过气体面板上质量流量计精确控制通入石英管内氮气的流量，维持石英管内设定的压力；
⑷待石英管内压力稳定后，将石英舟推到炉膛恒温区进行扩散，通过热电偶可以实时监测整个石英舟的温度变化情况；
⑸到达设定的工艺时间后，停止步骤（3）中的氮气通入，将石英舟拖到冷却区进行冷却，并向石英管内通入设定的大流量高纯氮气快速冷却，并通过质量流量计精确控制氮气的流量；
⑹冷却到室温后，关闭步骤（5）中的大流量氮气，开炉门，退出石英舟，取出外延片，完成锌的扩散。
在步骤（3）与步骤（5）中通过控制进入石英管内氮气的压力，可以实现在不同压力下进行扩散。
本发明的石英管内压力可以精确控制，所有工艺参数均可通过PLC提取实现自动控制，石英舟为特别设计，扩散源为磷化锌和本征磷化铟粉末混合物，或者砷化锌和本征磷化铟粉末混合物，或者磷化锌、砷化锌和本征磷化铟粉末的混合物。
本发明可实现如下有益效果：
1、可以实现扩散过程中温度波动小，扩散压力恒定，锌在磷化铟中高精度深度的扩散；扩散完后晶片可快速冷却；
2、避免了闭管扩散工艺中危险的氢-氧焰封石英管及打开石英管过程中的晶片污染；
3、避免了传统开管扩散中压力随大气压波动，扩散深度不容易精确控制，扩散温度波动大的问题；
4、实现自动化操作，可以让操作人员远离锌扩散危险区域，避免扩散过程中有害气体对人体造成的危害；
5、工艺方便，重复性好，扩散源和石英舟可重复利用，适合大规模生产。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非用于限定本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种光电探测器制作中锌的扩散装置，其特征在于，其包括加热炉、两端封闭的石英管、气体控制系统、真空系统、用以容置扩散源及待扩散的外延片的石英舟以及用以推送该石英舟进入石英管的真空推进装置，该石英管一端位于加热炉炉膛中，为恒温区，另一端位于加热炉炉膛外，为冷却区，并处于室温状态，该气体控制系统通过恒温进气管连接石英管的恒温区，该气体控制系统另通过冷却进气管连接石英管的冷却区，可分别向石英管内充入氮气，该真空系统通过真空管道连接该石英管，并对石英管抽真空，该真空管道上设有用以排放过多氮气的尾气管。
2.如权利要求1所述的光电探测器制作中锌的扩散装置，其特征在于，所述石英管恒温区一端设有水冷法兰，所述冷却区一端设有进口端法兰，该进口端法兰上设有供石英舟进出石英管的通孔。
3.如权利要求2所述的光电探测器制作中锌的扩散装置，其特征在于，所述真空推进装置连接有载舟板，该载舟板上靠近该真空推进装置的一端设有炉门，所述石英舟置于该载舟板上并由该真空推进装置推送于石英管内进行锌的扩散，而该炉门则由该真空推进装置推送至该进口端法兰，并封堵所述通孔。
4.如权利要求1所述的光电探测器制作中锌的扩散装置，其特征在于，所述石英管的水冷法兰上设有伸入恒温区的第一热电偶，所述石英管的冷却区设有第二热电偶。
5.如权利要求1所述的光电探测器制作中锌的扩散装置，其特征在于，所述石英舟为盒体结构，所述扩散源放置于石英舟内底部，所述外延片放置于石英舟内中部，该石英舟顶部并由盖子密封。
6.一种光电探测器制作中锌的扩散方法，其特征在于，该方法包括：
⑴将一封闭的石英管一端位于加热炉炉膛中恒温区，另一端位于加热炉炉膛外冷却区且处于室温状态，该扩散过程在该封闭的石英管中完成；
⑵加热炉加热到设定温度，将扩散源和外延晶片放入石英舟内，将石英舟置于载舟板上，并由真空推进装置推到石英管冷却区，关闭炉门；
⑶启动真空系统对石英管抽真空，然后向石英管内通入小流量氮气，维持石英管内设定的压力；
⑷待石英管内压力稳定后，将石英舟推到炉膛恒温区进行扩散，通过热电偶可以实时监测整个石英舟的温度变化情况；
⑸到达设定的工艺时间后，停止步骤（3）的氮气通入，将石英舟拖到冷却区进行冷却，向石英管内通入设定的大流量高纯氮气快速冷却；
⑹冷却到室温后，关闭步骤（5）中的大流量氮气，开炉门，退出石英舟，取出外延片，完成锌的扩散。
7.如权利要求6所述的光电探测器制作中锌的扩散方法，其特征在于，所述步骤（2）中加热炉的设定温度为450～530℃。
8.如权利要求6所述的光电探测器制作中锌的扩散方法，其特征在于，在所述步骤（3）与步骤（5）中，通过质量流量计精确控制通入的氮气的流量，同时通过控制进入石英管内氮气的压力，可以实现在不同压力下进行扩散。
9.如权利要求6所述的光电探测器制作中锌的扩散方法，其特征在于，所述扩散源为磷化锌和本征磷化铟粉末混合物，或者砷化锌和本征磷化铟粉末混合物，或者磷化锌、砷化锌和本征磷化铟粉末的混合物。
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Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104716027A (zh) * 2013-12-13 2015-06-17 山东华光光电子有限公司 一种半导体激光器Zn杂质源扩散的装置及其应用
CN105551948A (zh) * 2015-12-11 2016-05-04 合肥海润光伏科技有限公司 一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法
CN109166947A (zh) * 2018-08-30 2019-01-08 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 一种多轴可调的悬挂支撑装置
CN110243173A (zh) * 2019-04-30 2019-09-17 河南诺巴迪材料科技有限公司 全自动氢气还原炉
CN110376363A (zh) * 2019-08-09 2019-10-25 义乌市婉聚电子有限公司 一种测定pe回收料碳黑含量的设备
CN113818088A (zh) * 2021-08-05 2021-12-21 武汉光迅科技股份有限公司 一种扩散工艺中的自动扩散装置及其使用方法
CN117038800A (zh) * 2023-10-08 2023-11-10 南通大鹏光电有限公司 一种太阳能光伏电池制造用扩散炉
CN117059536A (zh) * 2023-08-16 2023-11-14 武汉敏芯半导体股份有限公司 一种扩散用石英舟及其扩散方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129090A (en) * 1973-02-28 1978-12-12 Hitachi, Ltd. Apparatus for diffusion into semiconductor wafers
JPS57190316A (en) * 1981-05-20 1982-11-22 Nec Corp Manufacture of compound semiconductor device
JPH09205097A (ja) * 1996-01-25 1997-08-05 Sony Corp 熱処理方法及び熱処理装置
JPH11145070A (ja) * 1997-11-07 1999-05-28 Sony Corp 横型拡散炉
CN1409379A (zh) * 2002-09-18 2003-04-09 中国电子科技集团公司第十三研究所 铟镓砷光电探测器制造的开管锌扩散方法
CN1767152A (zh) * 2004-10-25 2006-05-03 厦门三安电子有限公司 铟镓砷光电探测器芯片制作的箱式锌扩散方法
KR20070017606A (ko) * 2005-08-08 2007-02-13 동부일렉트로닉스 주식회사 반도체 소자 제조를 위한 수평형 퍼니스 장치
CN101493282A (zh) * 2008-01-23 2009-07-29 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种快速变温真空炉
TW201217734A (en) * 2010-06-04 2012-05-01 Shinetsu Chemical Co Heat treatment furnace
CN102492934A (zh) * 2011-12-26 2012-06-13 彭鹏 一种制备石墨烯薄膜的装置、方法及所得石墨烯薄膜
CN202322974U (zh) * 2011-11-07 2012-07-11 沈阳师范大学 面向实验室的快速气体渗入工艺中使用的设备

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4129090A (en) * 1973-02-28 1978-12-12 Hitachi, Ltd. Apparatus for diffusion into semiconductor wafers
JPS57190316A (en) * 1981-05-20 1982-11-22 Nec Corp Manufacture of compound semiconductor device
JPH09205097A (ja) * 1996-01-25 1997-08-05 Sony Corp 熱処理方法及び熱処理装置
JPH11145070A (ja) * 1997-11-07 1999-05-28 Sony Corp 横型拡散炉
CN1409379A (zh) * 2002-09-18 2003-04-09 中国电子科技集团公司第十三研究所 铟镓砷光电探测器制造的开管锌扩散方法
CN1767152A (zh) * 2004-10-25 2006-05-03 厦门三安电子有限公司 铟镓砷光电探测器芯片制作的箱式锌扩散方法
KR20070017606A (ko) * 2005-08-08 2007-02-13 동부일렉트로닉스 주식회사 반도체 소자 제조를 위한 수평형 퍼니스 장치
CN101493282A (zh) * 2008-01-23 2009-07-29 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种快速变温真空炉
TW201217734A (en) * 2010-06-04 2012-05-01 Shinetsu Chemical Co Heat treatment furnace
CN202322974U (zh) * 2011-11-07 2012-07-11 沈阳师范大学 面向实验室的快速气体渗入工艺中使用的设备
CN102492934A (zh) * 2011-12-26 2012-06-13 彭鹏 一种制备石墨烯薄膜的装置、方法及所得石墨烯薄膜

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104716027A (zh) * 2013-12-13 2015-06-17 山东华光光电子有限公司 一种半导体激光器Zn杂质源扩散的装置及其应用
CN104716027B (zh) * 2013-12-13 2017-08-01 山东华光光电子股份有限公司 一种半导体激光器Zn杂质源扩散的装置及其应用
CN105551948A (zh) * 2015-12-11 2016-05-04 合肥海润光伏科技有限公司 一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法
CN105551948B (zh) * 2015-12-11 2018-05-15 合肥海润光伏科技有限公司 一种提高太阳电池扩散均匀性的装置及其方法
CN109166947A (zh) * 2018-08-30 2019-01-08 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 一种多轴可调的悬挂支撑装置
CN110243173A (zh) * 2019-04-30 2019-09-17 河南诺巴迪材料科技有限公司 全自动氢气还原炉
CN110376363A (zh) * 2019-08-09 2019-10-25 义乌市婉聚电子有限公司 一种测定pe回收料碳黑含量的设备
CN113818088A (zh) * 2021-08-05 2021-12-21 武汉光迅科技股份有限公司 一种扩散工艺中的自动扩散装置及其使用方法
CN117059536A (zh) * 2023-08-16 2023-11-14 武汉敏芯半导体股份有限公司 一种扩散用石英舟及其扩散方法
CN117059536B (zh) * 2023-08-16 2024-03-01 武汉敏芯半导体股份有限公司 一种扩散用石英舟及其扩散方法
CN117038800A (zh) * 2023-10-08 2023-11-10 南通大鹏光电有限公司 一种太阳能光伏电池制造用扩散炉
CN117038800B (zh) * 2023-10-08 2023-12-15 南通大鹏光电有限公司 一种太阳能光伏电池制造用扩散炉

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