CN103086329A - 降膜结晶生产电子级硫酸的方法 - Google Patents
降膜结晶生产电子级硫酸的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103086329A CN103086329A CN2013100416807A CN201310041680A CN103086329A CN 103086329 A CN103086329 A CN 103086329A CN 2013100416807 A CN2013100416807 A CN 2013100416807A CN 201310041680 A CN201310041680 A CN 201310041680A CN 103086329 A CN103086329 A CN 103086329A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sulfuric acid
- crystallizer
- crystallization
- raw material
- grade
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
本发明公开了一种降膜结晶制备电子级硫酸的方法。它将硫酸晶种加至结晶器顶部;用泵将硫酸原料从结晶器顶部流加入,底部流出循环,硫酸在结晶器中以液膜方式从顶部流下,原料流量为10~40ml/min;以逐步降温方式进行结晶,硫酸在结晶器壁形成晶层,未结晶原料从结晶器底部流出,降温至-5~-16℃;结晶完成后停泵加料,恒温10~60min,将未结晶料液排出;再逐步升温发汗;继续升温至晶层完全融化,得到一次结晶产品。将一次结晶产品做原料,重复以上操作,进行二次降膜结晶,得到电子级硫酸。本方法设备简单,生产时间较短,能耗较低,直接可制得MOS级至BV-Ⅲ级电子级硫酸,具有可观的经济效益。
Description
技术领域
本发明涉及硫酸,特别涉及降膜结晶制取电子级硫酸的方法。
技术背景
电子级硫酸属于超净高纯试剂,广泛用于半导体、超大规模集成电路的装配和加工过程, 是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂,主要用于对硅晶片的清洗和蚀刻,印刷电路板腐蚀,电镀清洗,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。近年来随着电子行业快速发展,特别是智能手机,平板电脑普及,电子级硫酸市场需求越来越大。由于其纯度和洁净度对电子元件的成品率、电性能及可靠性有着重要的影响,因此对电子级硫酸中杂质离子和颗粒含量必须严格要求。目前国内外制备超纯硫酸主要采用的方法有两种:一种是采用工业硫酸精馏法;精馏过程包括化学与处理系统、连续蒸馏系统、超净多级过滤系统及超净罐装系统四部分。在精馏过程中常需外加强氧化剂,如高锰酸钾、重铬酸钾等,将硫酸中的低价态硫和有机物氧化成硫酸。精馏法可分为常压精馏和减压精馏两种:常压精馏一般要求石英玻璃的装置材质;减压精馏可用较廉价的硼硅玻璃和氟聚合材料。另一种是用三氧化硫气体直接吸收法来制备。通常用超纯水或超纯硫酸直接吸收洁净的三氧化硫。在吸收前通常要用过氧化氢处理发烟硫酸,之后用降膜蒸发器蒸发出三氧化硫,三氧化硫经炷式过滤器过滤后,直接用电子级的超纯水或超纯硫酸直接吸收即得。精馏法适合于小规模的生产,而气体吸收法能满足大规模生产的要求。且超纯硫酸制备技术多为专利发明,生产设备也大多属专利产品。目前国内主要采用的是前一种方法,后种方法对技术和设备要求较高,国内应用此法生产有一定的困难。且在超纯硫酸的研制与生产方面,我国与国外存在明显的差距,我国主要以MOS级和BV-Ⅲ级中低档产品为主,而高规格的产品主要依赖于进口。
降膜结晶是一种提纯物质的新型技术,特别适合分离沸点相近,凝固点差异很大的不同的物系进行分离。降膜结晶作为熔融结晶技术的一种,以其晶层生长较快,设备简单,操作控制和放大容易,在工业界备受关注和应用研究。
经检索,目前涉及电子级硫酸的中国专利有201020188622.9 号《医用电子级硫酸提纯设备》,该专利涉及的技术属于硫酸精馏法。此方法设备复杂,能耗较大。201110328531.X号《静态熔融结晶生产电子级硫酸的方法》,该专利设计的技术属于静态熔融结晶法,此方法设备简单,但结晶速率较慢。目前未见到有用降膜结晶法生产和制备超净高纯硫酸的报道。
发明内容
本发明的目的是针对以上制备电子级硫酸方法的不足之处,提出一种降膜结晶生产电子级硫酸的方法。
为达到上述发明目的,发明人提供的方法包括以下步骤:
1. 将硫酸晶种加至结晶器顶部,结晶器控制在0~‐10℃;用泵将硫酸原料从结晶器顶部流加入,硫酸以液膜形式流下,使硫酸原料在结晶器与硫酸储槽间循环,硫酸流量为10~40ml/min。
2. 以逐步降温方式进行结晶,原料在结晶器壁形成晶层,未结晶原料从结晶器底部流出,降温步长为1 ~6℃/h,结晶1~3h,降温至-5~-16℃,停止进料,恒温10~60min,使未结晶硫酸排出。
3. 晶层升温发汗,升温步长为1~5℃/ h,发汗时间为3~8h,升温至3~9℃。发汗结束后,继续升温,使晶体全部溶解即得到产品质量可至优级纯。
4. 将步骤(3),得到产品重复(1)到(3)操作,进行二次降膜结晶,可得到MOS级至BV-Ⅲ级电子级硫酸。
发明人指出:本发明所用结晶器为带夹套降膜结晶器;二次降膜结晶母液可作为一次降膜结晶原料。
本方法使用的设备简单,生产时间较短,能耗较低,直接可制得MOS级至BV-Ⅲ级电子级硫酸,具有可观的经济效益。
具体实施方法
实施例1:将硫酸晶种15g加入结晶器顶部,结晶器壁温降至0℃。取97%原料硫酸1500g置于带夹套玻璃容器中,用泵将硫酸原料打入结晶器中,原料流量为10ml/min。逐步降温结晶,降温步长2.5℃/h,结晶时间2h,到-5℃结束。恒温60min,使未挂膜结晶料液排出。升温发汗,发汗步长1℃/h,发汗时间8h,升温至3℃,继续升温结晶体全部融化,得到一次结晶产品。用一次结晶产品为原料,进行二次降膜结晶操作,得到最终电子级产品。最后得到产品中硫酸的质量分数为97.9%,收率33.4%。
实施例2:将硫酸晶种20g加入结晶器顶部,结晶器壁温降至-10℃。取97.5%原料硫酸2000g置于带夹套玻璃容器中,用泵将硫酸原料打入结晶器中,原料流量为40ml/min。逐步降温结晶,降温步6℃/h,结晶时间1h,到-16℃结束。恒温10min,使未挂膜结晶料液排出。升温发汗,发汗步长5℃/h,发汗时间4h,升温至4℃,继续升温结晶体全部融化,得到一次结晶产品。用一次结晶产品为原料,进行二次降膜膜结晶操作,得到最终电子级产品。最后得到产品中硫酸的质量分数为98.3%,收率31.4%。
实施例3:将硫酸晶种18g加入结晶器顶部,结晶器壁温降至-8℃。取97.3%原料硫酸1800g置于带夹套玻璃容器中,用泵将硫酸原料打入结晶器中,原料流量为30ml/min。逐步降温结晶,降温步1℃/h,结晶时间3h,到-11℃结束。恒温30min,使未挂膜结晶料液排出。升温发汗,发汗步长4℃/h,发汗时间5h,升温至9℃,继续升温结晶体全部融化,得到一次结晶产品。用一次结晶产品为原料,进行二次降膜膜结晶操作,得到最终电子级产品。最后得到产品中硫酸的质量分数为98.5%,收率30.2%。
产品检测结果见表1。
表1.电子级硫酸的指标要求及实例产品杂质含量
注:ND表示未检出。
Claims (6)
1. 降膜结晶制备电子级硫酸的方法,其特征在于它包括以下步骤:
(1) 将硫酸晶种加至结晶器顶部,结晶器控制在0~‐10℃;用泵将硫酸原料从结晶器顶部加入,硫酸以液膜形式流下,使硫酸原料在结晶器与硫酸原料储槽间循环;
(2) 以逐步降温方式进行结晶,硫酸在结晶器壁形成晶层,未结晶原料硫酸从结晶器底部流出,结晶1~3h,降温至-5~-16℃,停止进料,恒温10~60min,使未结晶硫酸排出;
(3) 晶层升温发汗,发汗时间为4~8h,升温至3~9℃,发汗结束后,继续升温,使晶体全部溶解即得到产品,质量可至优级纯;
(4) 将步骤(3),得到产品重复(1)到(3)操作,进行二次降膜结晶,可得到MOS级至BV-Ⅲ级电子级硫酸。
2.如权利要求1所述的方法,其特征为步骤(1)的硫酸流量为10~40ml/min。
3.如权利要求1所述的方法,其特征为步骤(2)的降温步长为1~6℃/h。
4.如权利要求1所述的方法,其特征为步骤(4)的发汗升温步长为1~5℃/ h。
5.如权利要求1所述的方法,其特征为所述结晶器为带夹套降膜结晶器。
6.如权利要求1所述的方法,其特征为将二次降膜结晶母液作为一次降膜结晶原料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2013100416807A CN103086329A (zh) | 2013-02-04 | 2013-02-04 | 降膜结晶生产电子级硫酸的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2013100416807A CN103086329A (zh) | 2013-02-04 | 2013-02-04 | 降膜结晶生产电子级硫酸的方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103086329A true CN103086329A (zh) | 2013-05-08 |
Family
ID=48199536
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2013100416807A Pending CN103086329A (zh) | 2013-02-04 | 2013-02-04 | 降膜结晶生产电子级硫酸的方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103086329A (zh) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107840776A (zh) * | 2016-09-19 | 2018-03-27 | 中国石油化工股份有限公司 | 分离制备高纯度2,6‑二异丙基萘的方法 |
CN108069405A (zh) * | 2016-11-10 | 2018-05-25 | 天津大学(青岛)海洋工程研究院有限公司 | 熔融结晶法浓缩稀硫酸 |
CN109970604A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-07-05 | 青岛科技大学 | 一种提纯2,4-甲苯二异氰酸酯的工艺 |
CN112441567A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-03-05 | 联仕(昆山)化学材料有限公司 | 电子级硫酸的生产工艺及生产用低温蒸发纯化吸收装置 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102464573A (zh) * | 2010-11-09 | 2012-05-23 | 浙江龙盛化工研究有限公司 | 一种利用熔融结晶制备高纯间苯二酚的方法 |
CN202237354U (zh) * | 2011-09-29 | 2012-05-30 | 中国石油化工股份有限公司 | 熔融结晶器 |
CN102502530A (zh) * | 2011-10-26 | 2012-06-20 | 瓮福(集团)有限责任公司 | 静态熔融结晶生产电子级硫酸的方法 |
-
2013
- 2013-02-04 CN CN2013100416807A patent/CN103086329A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102464573A (zh) * | 2010-11-09 | 2012-05-23 | 浙江龙盛化工研究有限公司 | 一种利用熔融结晶制备高纯间苯二酚的方法 |
CN202237354U (zh) * | 2011-09-29 | 2012-05-30 | 中国石油化工股份有限公司 | 熔融结晶器 |
CN102502530A (zh) * | 2011-10-26 | 2012-06-20 | 瓮福(集团)有限责任公司 | 静态熔融结晶生产电子级硫酸的方法 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
张建文: "降膜结晶技术及其数值模拟研究", 《中国博士学位论文全文数据库(电子期刊)工程科技Ⅰ辑》 * |
曹攀等: "电子级硫酸制备工艺及发展现状", 《无机盐工业》 * |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107840776A (zh) * | 2016-09-19 | 2018-03-27 | 中国石油化工股份有限公司 | 分离制备高纯度2,6‑二异丙基萘的方法 |
CN107840776B (zh) * | 2016-09-19 | 2021-02-09 | 中国石油化工股份有限公司 | 分离制备高纯度2,6-二异丙基萘的方法 |
CN108069405A (zh) * | 2016-11-10 | 2018-05-25 | 天津大学(青岛)海洋工程研究院有限公司 | 熔融结晶法浓缩稀硫酸 |
CN108069405B (zh) * | 2016-11-10 | 2021-05-07 | 天津大学(青岛)海洋工程研究院有限公司 | 一种熔融结晶法浓缩稀硫酸的方法 |
CN109970604A (zh) * | 2019-04-25 | 2019-07-05 | 青岛科技大学 | 一种提纯2,4-甲苯二异氰酸酯的工艺 |
CN109970604B (zh) * | 2019-04-25 | 2021-03-19 | 青岛科技大学 | 一种提纯2,4-甲苯二异氰酸酯的工艺 |
CN112441567A (zh) * | 2021-01-04 | 2021-03-05 | 联仕(昆山)化学材料有限公司 | 电子级硫酸的生产工艺及生产用低温蒸发纯化吸收装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN111704109A (zh) | 连续法制备电子级氢氟酸的方法及系统 | |
KR101598401B1 (ko) | 고순도 황산을 제조하는 방법 및 시스템 | |
CN101774555B (zh) | 液膜结晶制备电子级磷酸的方法 | |
CN102092684A (zh) | 一种制备电子级超高纯氢氟酸的方法 | |
CN105621374A (zh) | 一种超纯硫酸的制备方法 | |
CN105565281A (zh) | 一种超纯硫酸的制备方法 | |
CN103086329A (zh) | 降膜结晶生产电子级硫酸的方法 | |
CN103663459B (zh) | 一种组合熔析精炼提纯工业硅的方法 | |
CN217418195U (zh) | 一种电子级硫酸生产装置 | |
CN101538023A (zh) | 钛白粉废酸的处理方法 | |
CN103613075A (zh) | 一种超纯电子级氢氟酸的制备方法 | |
CN111994879A (zh) | 一种电子级硫酸的制备工艺 | |
CN111533091A (zh) | 一种el级硫酸的生产装置及其生产工艺 | |
CN101597032A (zh) | 电子级高纯氢氟酸的制备方法 | |
CN102502530A (zh) | 静态熔融结晶生产电子级硫酸的方法 | |
CN110155955B (zh) | 一种利用有色冶炼烟气制取电子级硫酸的生产方法 | |
CN104030261B (zh) | 一种高纯度电子级磷酸的生产方法 | |
CN212503988U (zh) | 连续法制备电子级氢氟酸的系统 | |
CN103265072A (zh) | 一种氯氧化锆结晶方法 | |
CN102633293A (zh) | 一种多级循环免蒸发硫酸铜精制方法 | |
CN103112872B (zh) | 微电子用超纯氟铵系列蚀刻液的制备方法 | |
CN209872365U (zh) | 一种环保节能型超净高纯硫酸生产设备 | |
CN107200312A (zh) | 一种利用废含氟硝酸制备硝酸、氟硼酸钾和硝酸钾的方法 | |
CN115028147A (zh) | 一种精馏和吹脱集成法连续制备电子级硝酸的工艺 | |
CN108862348A (zh) | 一种电极箔腐蚀废硫酸的回收利用方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130508 |