CN103022019A - 降低等效电阻的硅电容器及其制备方法 - Google Patents
降低等效电阻的硅电容器及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103022019A CN103022019A CN 201210552154 CN201210552154A CN103022019A CN 103022019 A CN103022019 A CN 103022019A CN 201210552154 CN201210552154 CN 201210552154 CN 201210552154 A CN201210552154 A CN 201210552154A CN 103022019 A CN103022019 A CN 103022019A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- metal level
- substrate
- electrode
- polycrystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
本发明涉及一种降低等效电阻的硅电容器,包括衬底,在衬底上表面形成多个凹槽,在衬底的上表面和凹槽的表面形成导电层,在导电层上设置介质层,在介质层上设置多晶层;所述导电层、介质层和多晶层依次设置在凹槽内,并且凹槽被多晶层填满;其特征是:在所述多晶层上设置金属层,金属层与多晶层欧姆接触;在所述金属层上设置绝缘隔离层,绝缘隔离层覆盖住下方的金属层、多晶层和介质层;在所述绝缘隔离层上设置第一连接孔和第二连接孔,在第一连接孔和第二连接孔处分别设置第一电极和第二电极,第一电极与导电层连接,第二电极与金属层接触。本发明在多晶层上覆盖金属铝,制造工艺简单,得到的电容器体积小、电容量大。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅槽电容器,尤其是一种降低等效电阻的硅电容器及其制备方法,属于半导体技术的技术领域。
背景技术
硅电容器是利用半导体技术,在P型半导体硅衬底上重掺杂N型杂质作为电容器的下电极。常用二氧化硅、氮化硅作为电容器的介质。重掺杂多晶作为电容器的上电极。硅电容器的等效串联电阻由上电极电阻、下电极电阻和介质电阻串联而成。上电极(重掺杂多晶)的电阻占主导的地位。等效串联电阻是电容器的关键参数,因为等效串联电阻(ESR)与电容功率耗散(I2×ESR,I为电流)有关,ESR高的电容器增加损耗,一方面浪费电池能量,另一方面损耗转变为热量使线路失效。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种降低等效电阻的硅电容器及其制备方法,制造工艺简单,得到的电容器体积小、电容量大。
按照本发明提供的技术方案,所述降低等效电阻的硅电容器,包括衬底,在衬底上表面形成多个凹槽,凹槽从衬底的上表面向下表面方向延伸;在所述衬底的上表面和凹槽的表面形成导电层,在导电层上设置介质层,在介质层上设置多晶层;所述导电层、介质层和多晶层依次设置在凹槽内,并且凹槽被多晶层填满;其特征是:在所述多晶层上设置金属层,金属层与多晶层欧姆接触;在所述金属层上设置绝缘隔离层,绝缘隔离层覆盖住下方的金属层、多晶层和介质层;在所述绝缘隔离层上设置第一连接孔和第二连接孔,第一连接孔的底部与导电层接触,第二连接孔的底部与金属层接触,在第一连接孔和第二连接孔处分别设置第一电极和第二电极,第一电极与导电层连接,第二电极与金属层接触,第一电极和第二电极之间由绝缘隔离层相隔离。
所述介质层为由SiO2-Si3N4-SiO2组成的叠层。
位于衬底表面的多晶层的厚度为500~800nm。
所述金属层是在多晶层表面淀积铝形成,金属层的厚度为1000~1100nm。
所述第一电极和第二电极由Al溅射形成。
所述衬底采用P型导电类型的硅衬底,导电层采用N型杂质掺杂形成。
本发明所述降低等效电阻的硅电容器的制备方法,其特征是,采用以下工艺步骤:
(1)提供第一导电类型的衬底,在衬底的上表面淀积SiO2掩膜,掩膜的厚度为1~2μm,选择性地掩蔽和刻蚀掩膜,在衬底的上表面形成若干深度为3~100μm的凹槽,凹槽从衬底的上表面向下表面方向延伸;
(2)去除衬底上的掩膜,在衬底的上表面和凹槽的表面进行第二导电类型杂质的掺杂和推结,得到导电层;在进行掺杂和推结的过程中,会产生厚度为50~80nm的二氧化硅层;
(3)去除上述衬底表面的二氧化硅层;
(4)在导电层的表面生成厚度为500~1000nm的介质层;
(5)在介质层上原位掺杂淀积多晶层,使凹槽内填满多晶层;再在900~950℃进行退火;
(6)在多晶层上选择性地涂覆光刻胶,通过各向异性等离子体刻蚀多晶层,得到需要的图形后,再去除光刻胶;
(7)在多晶层上溅射金属铝,厚度为1000~1100nm,得到金属层;对金属层进行光刻,只保留多晶层上面的金属层;
(8)在金属层上淀积绝缘隔离层,绝缘隔离层覆盖住下方的金属层、多晶层和介质层,在绝缘隔离层上光刻出第一连接孔和第二连接孔,第一连接孔的底部与导电层接触,第二连接孔的底部与金属层接触;所述绝缘隔离层的厚度为400~600nm:
(9)在绝缘隔离层上淀积Al金属层,并光刻腐蚀使第一电极和第二电极分开。
本发明在硅衬底上形成凹槽来增加电容器的容量,通过原位掺杂多晶上面覆盖金属铝,多晶与金属铝并联的效使得ESR(等效串联电阻降)低两个数量级,ESR(等效串联电阻降)仅为几百毫欧,由于整个制造过程完成与半导体制造技术一致,所以得到的电容器具有小体积大电容量、寿命长、高可靠、耐温高、超薄的特点,可应用于石油矿产勘探、人体医疗等领域。
附图说明
图1~图4为本发明具体实施例的工艺步骤流程图,其中:
图1为得到导电层后的剖视图。
图2为得到介质层后的剖视图。
图3为得到多晶层和金属铝层后的剖视图。
图4为得到第一电极和第二电极后的剖视图。
附图标记说明:1-P型衬底、2-凹槽、3-N++导电层、4-介质层、5-多晶层、6-金属层、7-绝缘隔离层、8-第一电极、9-第二电极、10-第一连接孔、11-第二连接孔。
具体实施方式
下面结合具体附图对本发明作进一步说明。
如图4所示:本发明所述降低等效电阻的硅电容器包括P型衬底1,在P型衬底1上表面形成多个凹槽2,凹槽2从P型衬底1的上表面向下表面方向延伸;在所述P型衬底1的上表面和凹槽2的表面掺杂N型杂质、推结形成N++导电层3,在N++导电层3上设置介质层4,所述介质层4为由Oxide-SIN-oxide(氧化物层-氮化物层-氧化物层)组成的叠层,可以采用SiO2-Si3N4-SiO2;在所述介质层4上设置多晶层5,N++导电层3、介质层4和多晶层5依次设置在凹槽2内,并且凹槽2被多晶层5填满,位于P型衬底1表面的多晶层5的厚度为500~800nm,多晶层5是由原位掺杂多晶形成的导电层;在所述多晶层5上设置金属层6,金属层6与多晶层5欧姆接触,起到降低等效串联电阻的作用,金属层6是在多晶层5表面淀积铝形成,金属层6的厚度为1000~1100nm;在所述金属层6上设置绝缘隔离层7,绝缘隔离层7覆盖住下方的金属层6、多晶层5和介质层4;在所述绝缘隔离层7上设置第一连接孔10和第二连接孔11,第一连接孔10的底部与N++导电层3接触,第二连接孔11的底部与金属层6接触,在第一连接孔10和第二连接孔11处分别设置第一电极8和第二电极9,第一电极8与N++导电层3连接,第二电极9与金属层6接触,第一电极8和第二电极9之间由绝缘隔离层7相隔离;
所述第一电极8和第二电极9由Al溅射形成。
实施例一:一种降低等效电阻的硅电容器,采用以下工艺步骤:
(1)如图1所示,提供P型衬底1,在P型衬底1的上表面淀积SiO2掩膜,掩膜的厚度为1μm,选择性地掩蔽和刻蚀掩膜,在P型衬底1的上表面形成若干深度为3μm的凹槽2,凹槽2从P型衬底1的上表面向下表面方向延伸;
(2)如图1所示,采用BOE(Buffered Oxide Etch)全漂去除P型衬底1上的掩膜;在P型衬底1的上表面和凹槽2的表面采用POCl3进行N型杂质的掺杂和推结,得到N++导电层3;在进行掺杂和推结的过程中,会产生厚度为50nm的二氧化硅层;
(3)采用BOE全漂去除二氧化硅层;
(4)如图2所示,在N++导电层3的表面生成厚度为500nm的介质层4;所述介质层4可以通过热氧化生成二氧化硅、LPCVD(低压化学汽相淀积)淀积二氧化硅、LPCVD淀积氮化硅或者ALD(Atomic layer deposition,原子层淀积)淀积介质材料得到;
(5)如图3所示,在介质层4上原位掺杂淀积多晶层5,使凹槽2内填满多晶层5;再在900℃进行退火,退火后多晶层5的方块电阻为9Ω/□;
(6)如图3所示,在多晶层5上选择性地涂覆光刻胶,通过各向异性等离子体刻蚀多晶层5,得到需要的图形后,再去除光刻胶;
(7)如图3所示,在多晶层5上溅射金属铝,厚度为1000nm,得到金属层6;对金属层6进行光刻,只保留多晶层5上面的金属层6;
(8)如图4所示,在金属层6上淀积绝缘隔离层7,绝缘隔离层7覆盖住下方的金属层6、多晶层5和介质层4,在绝缘隔离层7上光刻出第一连接孔10和第二连接孔11,第一连接孔10的底部与N++导电层3接触,第二连接孔11的底部与金属层6接触;所述绝缘隔离层7可以通过LPCVD(低压化学汽相淀积)淀积二氧化硅得到,也可以通过PECVD(等离子增强化学汽相淀积)二氧化硅得到,厚度为400nm:
(9)如图4所示,在绝缘隔离层7上淀积Al金属层,并光刻腐蚀使第一电极8和第二电极9分开。
实施例二:一种降低等效电阻的硅电容器,采用以下工艺步骤:
(1)如图1所示,提供P型衬底1,在P型衬底1的上表面淀积SiO2掩膜,掩膜的厚度为2μm,选择性地掩蔽和刻蚀掩膜,在P型衬底1的上表面形成若干深度为100μm的凹槽2,凹槽2从P型衬底1的上表面向下表面方向延伸;
(2)如图1所示,采用BOE(Buffered Oxide Etch)全漂去除P型衬底1上的掩膜;在P型衬底1的上表面和凹槽2的表面采用POCl3进行N型杂质的掺杂和推结,得到N++导电层3;在进行掺杂和推结的过程中,会产生厚度为80nm的二氧化硅层;
(3)采用BOE全漂去除二氧化硅层;
(4)如图2所示,在N++导电层3的表面生成厚度为1000nm的介质层4;所述介质层4可以通过热氧化生成二氧化硅、LPCVD(低压化学汽相淀积)淀积二氧化硅、LPCVD淀积氮化硅或者ALD(Atomic layer deposition,原子层淀积)淀积介质材料得到;
(5)如图3所示,在介质层4上原位掺杂淀积多晶层5,使凹槽2内填满多晶层5;再在950℃进行退火,退火后多晶层5的方块电阻为9Ω/□;
(6)如图3所示,在多晶层5上选择性地涂覆光刻胶,通过各向异性等离子体刻蚀多晶层5,得到需要的图形后,再去除光刻胶;
(7)如图3所示,在多晶层5上溅射金属铝,厚度为1100nm,得到金属层6;对金属层6进行光刻,只保留多晶层5上面的金属层6;
(8)如图4所示,在金属层6上淀积绝缘隔离层7,绝缘隔离层7覆盖住下方的金属层6、多晶层5和介质层4,在绝缘隔离层7上光刻出第一连接孔10和第二连接孔11,第一连接孔10的底部与N++导电层3接触,第二连接孔11的底部与金属层6接触;所述绝缘隔离层7可以通过LPCVD(低压化学汽相淀积)淀积二氧化硅得到,也可以通过PECVD(等离子增强化学汽相淀积)二氧化硅得到,厚度一般为600nm:
(9)如图4所示,在绝缘隔离层7上淀积Al金属层,并光刻腐蚀使第一电极8和第二电极9分开。
实施例三:一种降低等效电阻的硅电容器,采用以下工艺步骤:
(1)如图1所示,提供P型衬底1,在P型衬底1的上表面淀积SiO2掩膜,掩膜的厚度为1μm,选择性地掩蔽和刻蚀掩膜,在P型衬底1的上表面形成若干深度为50μm的凹槽2,凹槽2从P型衬底1的上表面向下表面方向延伸;
(2)如图1所示,采用BOE(Buffered Oxide Etch)全漂去除P型衬底1上的掩膜;在P型衬底1的上表面和凹槽2的表面采用POCl3进行N型杂质的掺杂和推结,得到N++导电层3;在进行掺杂和推结的过程中,会产生厚度为60nm的二氧化硅层;
(3)采用BOE全漂去除二氧化硅层;
(4)如图2所示,在N++导电层3的表面生成厚度为600nm的介质层4;所述介质层4可以通过热氧化生成二氧化硅、LPCVD(低压化学汽相淀积)淀积二氧化硅、LPCVD淀积氮化硅或者ALD(Atomic layer deposition,原子层淀积)淀积介质材料得到;
(5)如图3所示,在介质层4上原位掺杂淀积多晶层5,使凹槽2内填满多晶层5;再在920℃进行退火,退火后多晶层5的方块电阻为9Ω/□;
(6)如图3所示,在多晶层5上选择性地涂覆光刻胶,通过各向异性等离子体刻蚀多晶层5,得到需要的图形后,再去除光刻胶;
(7)如图3所示,在多晶层5上溅射金属铝,厚度为1000nm,得到金属层6;对金属层6进行光刻,只保留多晶层5上面的金属层6;
(8)如图4所示,在金属层6上淀积绝缘隔离层7,绝缘隔离层7覆盖住下方的金属层6、多晶层5和介质层4,在绝缘隔离层7上光刻出第一连接孔10和第二连接孔11,第一连接孔10的底部与N++导电层3接触,第二连接孔11的底部与金属层6接触;所述绝缘隔离层7可以通过LPCVD(低压化学汽相淀积)淀积二氧化硅得到,也可以通过PECVD(等离子增强化学汽相淀积)二氧化硅得到,厚度一般为500nm:
(9)如图4所示,在绝缘隔离层7上淀积Al金属层,并光刻腐蚀使第一电极8和第二电极9分开。
本发明在原有掺杂多晶电极上覆盖一层金属层6,制造工艺简单,因为金属铝的串联电阻只有几十个毫欧姆,所以得到的硅电容器具有超低等效串联电阻,极佳的温度特性,可应用于石油矿产勘探、航空航天、医疗、电子产品等。
Claims (7)
1.一种降低等效电阻的硅电容器,包括衬底,在衬底上表面形成多个凹槽,凹槽从衬底的上表面向下表面方向延伸;在所述衬底的上表面和凹槽的表面形成导电层,在导电层上设置介质层,在介质层上设置多晶层;所述导电层、介质层和多晶层依次设置在凹槽内,并且凹槽被多晶层填满;其特征是:在所述多晶层上设置金属层,金属层与多晶层欧姆接触;在所述金属层上设置绝缘隔离层,绝缘隔离层覆盖住下方的金属层、多晶层和介质层;在所述绝缘隔离层上设置第一连接孔和第二连接孔,第一连接孔的底部与导电层接触,第二连接孔的底部与金属层接触,在第一连接孔和第二连接孔处分别设置第一电极和第二电极,第一电极与导电层连接,第二电极与金属层接触,第一电极和第二电极之间由绝缘隔离层相隔离。
2.如权利要求1所述的降低等效电阻的硅电容器,其特征是:所述介质层为由SiO2-Si3N4-SiO2组成的叠层。
3.如权利要求1所述的降低等效电阻的硅电容器,其特征是:位于衬底表面的多晶层的厚度为500~800nm。
4.如权利要求1所述的降低等效电阻的硅电容器,其特征是:所述金属层是在多晶层表面淀积铝形成,金属层的厚度为1000~1100nm。
5.如权利要求1所述的降低等效电阻的硅电容器,其特征是:所述第一电极和第二电极由Al溅射形成。
6.如权利要求1所述的降低等效电阻的硅电容器,其特征是:所述衬底采用P型导电类型的硅衬底,导电层采用N型杂质掺杂形成。
7.一种降低等效电阻的硅电容器的制备方法,其特征是,采用以下工艺步骤:
(1)提供第一导电类型的衬底,在衬底的上表面淀积SiO2掩膜,掩膜的厚度为1~2μm,选择性地掩蔽和刻蚀掩膜,在衬底的上表面形成若干深度为3~100μm的凹槽,凹槽从衬底的上表面向下表面方向延伸;
(2)去除衬底上的掩膜,在衬底的上表面和凹槽的表面进行第二导电类型杂质的掺杂和推结,得到导电层;在进行掺杂和推结的过程中,会产生厚度为50~80nm的二氧化硅层;
(3)去除上述衬底表面的二氧化硅层;
(4)在导电层的表面生成厚度为500~1000nm的介质层;
(5)在介质层上原位掺杂淀积多晶层,使凹槽内填满多晶层;再在900~950℃进行退火;
(6)在多晶层上选择性地涂覆光刻胶,通过各向异性等离子体刻蚀多晶层,得到需要的图形后,再去除光刻胶;
(7)在多晶层上溅射金属铝,厚度为1000~1100nm,得到金属层;对金属层进行光刻,只保留多晶层上面的金属层;
(8)在金属层上淀积绝缘隔离层,绝缘隔离层覆盖住下方的金属层、多晶层和介质层,在绝缘隔离层上光刻出第一连接孔和第二连接孔,第一连接孔的底部与导电层接触,第二连接孔的底部与金属层接触;所述绝缘隔离层的厚度为400~600nm:
(9)在绝缘隔离层上淀积Al金属层,并光刻腐蚀使第一电极和第二电极分开。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201210552154 CN103022019A (zh) | 2012-12-17 | 2012-12-17 | 降低等效电阻的硅电容器及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN 201210552154 CN103022019A (zh) | 2012-12-17 | 2012-12-17 | 降低等效电阻的硅电容器及其制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103022019A true CN103022019A (zh) | 2013-04-03 |
Family
ID=47970438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN 201210552154 Pending CN103022019A (zh) | 2012-12-17 | 2012-12-17 | 降低等效电阻的硅电容器及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103022019A (zh) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106997878A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-08-01 | 无锡中微晶园电子有限公司 | 双层结构的硅电容器及其制造方法 |
CN109003962A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-12-14 | 无锡中微晶园电子有限公司 | 一种高频硅电容器的制造方法 |
WO2020029177A1 (zh) * | 2018-08-09 | 2020-02-13 | 深圳市为通博科技有限责任公司 | 电容器及其制作方法 |
WO2020215260A1 (zh) * | 2019-04-24 | 2020-10-29 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 电容器及其制备方法 |
CN114157257A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-03-08 | 电子科技大学 | 一种集成lc滤波器及其制造方法 |
-
2012
- 2012-12-17 CN CN 201210552154 patent/CN103022019A/zh active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106997878A (zh) * | 2017-03-31 | 2017-08-01 | 无锡中微晶园电子有限公司 | 双层结构的硅电容器及其制造方法 |
CN109003962A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-12-14 | 无锡中微晶园电子有限公司 | 一种高频硅电容器的制造方法 |
WO2020029177A1 (zh) * | 2018-08-09 | 2020-02-13 | 深圳市为通博科技有限责任公司 | 电容器及其制作方法 |
US11063113B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-07-13 | Shenzhen Weitongbo Technology Co., Ltd. | Capacitor and method for fabricating the same |
WO2020215260A1 (zh) * | 2019-04-24 | 2020-10-29 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 电容器及其制备方法 |
CN112136211A (zh) * | 2019-04-24 | 2020-12-25 | 深圳市汇顶科技股份有限公司 | 电容器及其制备方法 |
CN114157257A (zh) * | 2021-12-03 | 2022-03-08 | 电子科技大学 | 一种集成lc滤波器及其制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102683318B (zh) | 硅电容器内部多层电极连接结构及连接方法 | |
CN103022019A (zh) | 降低等效电阻的硅电容器及其制备方法 | |
CN202534649U (zh) | 提高截止效果的沟槽型功率mos器件 | |
CN105870194A (zh) | 一种沟槽型CoolMOS及其制作方法 | |
CN101937927A (zh) | 深沟槽超级pn结结构及其形成方法 | |
CN102544107A (zh) | 一种改进型终端结构的功率mos器件及其制造方法 | |
CN102420252A (zh) | 超高元胞密度深沟槽功率mos器件及其制造方法 | |
EP3295485A1 (en) | Etch stop region based fabrication of bonded semiconductor structures | |
CN103295898A (zh) | 一种利用超深沟槽结构制造瞬变电压抑制二极管的方法 | |
JP6231377B2 (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2024517203A (ja) | 選択性パッシベーションコンタクト電池およびその製造方法 | |
CN205159322U (zh) | 一种mosfet器件 | |
CN104282766A (zh) | 一种新型碳化硅mosfet及其制造方法 | |
CN202473933U (zh) | 一种改进型终端结构的功率mos器件 | |
CN102956481B (zh) | 具有源极沟槽的沟槽式功率半导体元件的制造方法 | |
CN102543716B (zh) | 金属硅化物阻挡层的形成方法 | |
CN106449774A (zh) | 优化表面电场的沟槽式势垒肖特基结构及其制作方法 | |
CN103700645A (zh) | Mom电容及其制作方法 | |
CN206134689U (zh) | 高集成度的低压沟槽栅dmos器件 | |
CN102569180A (zh) | 功率mos接触孔的制造方法 | |
CN102820375B (zh) | 一种背接触太阳能电池的制备方法 | |
CN205828394U (zh) | 一种沟槽型CoolMOS | |
CN102723361B (zh) | 一种基于自对准工艺的三多晶SOI SiGe HBT集成器件及制备方法 | |
CN103367462A (zh) | 一种具有绝缘层隔离超结结构肖特基半导体装置及其制备方法 | |
CN104319292A (zh) | 一种新型碳化硅mosfet及其制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130403 |