CN102985734B

CN102985734B - 流体控制阀

Info

Publication number: CN102985734B
Application number: CN201180034294.4A
Authority: CN
Inventors: 竹田秀行; 池之谷真二; 村濑广之
Original assignee: CKD Corp
Current assignee: CKD Corp
Priority date: 2010-12-17
Filing date: 2011-09-30
Publication date: 2015-04-22
Anticipated expiration: 2031-09-30
Also published as: WO2012081293A1; JP5249310B2; US20130119290A1; CN102985734A; KR101880916B1; KR20130140607A; TWI541461B; JP2012127487A; TW201239224A; US8840082B2

Abstract

本申请课题在于提供一种能够防止在隔膜阀芯与阀座抵接时发生的阀座支承部的弯曲的流体控制阀。因此，流体控制阀具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在树脂制阀主体与树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯。而且，第一流路具备一端与第一口连通的第一口连通流路和另一端与阀孔连通的第一阀孔连通流路，第一口连通流路与第一阀孔连通流路连通。此外，树脂制阀主体在阀室、第一口连通流路及第一阀孔连通流路之间具备对阀座进行支承的阀座支承部。另外，阀座支承部具有阀座加强部，阀座加强部由将第一流路内的一部分堵塞的形状形成。

Description

流体控制阀

技术领域

本发明涉及一种流体控制阀，其具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在树脂制阀主体与树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯，第一流路具备一端与第一口连通的第一口连通流路和另一端与阀孔连通的第一阀孔连通流路，第一口连通流路与第一阀孔连通流路正交，树脂制阀主体具备在阀室、第一口连通流路及第一阀孔连通流路之间对阀座进行支承的阀座支承部。

背景技术

以往，作为这种技术，有下述的专利文献1记载的流体控制阀100。

如图10所示，流体控制阀100在树脂制阀主体101的上表面连结有树脂制阀上体102，在树脂制阀主体101与树脂制阀上体102之间夹持有隔膜阀芯103。流体控制阀100中，通过向树脂制阀上体102内的操作口104供给空气而使活塞105向下方滑动，由此使隔膜阀芯103向阀座106抵接。另一方面，在未向操作口104供给空气时，通过复位弹簧107使活塞105向上方滑动，隔膜阀芯103从阀座106分离。在隔膜阀芯103从阀座106分离时，在第一流路108中流动的流体通过阀室109向第二流路110流入。

其他的专利文献的流体控制阀也具有同样的结构及作用效果。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-153132号公报

专利文献2：日本特开2008-8415号公报

专利文献3：日本特开2008-208977号公报

专利文献4：日本特开2009-2442号公报

专利文献5：日本特开2009-24812号公报

发明内容

然而，现有技术存在以下的课题。

图10所示的第一流路108由与第一口连通的第一口连通流路108B和与阀室109连通的第一阀孔连通流路108A构成。而且，第一口连通流路108B及第一阀孔连通流路108A是在阀孔111的正下方正交的形状。在第一口连通流路108B与阀室109之间形成有对阀座106进行支承的阀座支承部120。

即，为了将流体控制阀100关闭，隔膜阀芯103对阀座106进行按压。由于流体控制阀100为树脂制，因此在对阀座106进行支承的阀座支承部120产生弯曲。当阀座支承部120弯曲时，图11所示的阀座106的阀座支承部120的上表面的阀座一端106A处于倾斜的状态。具体而言，与将弯曲前的阀座一端116A（图11中虚线所示）和阀座另一端106B连结的线相比，倾斜了角度θ。而且，倾斜了从弯曲前的阀座一端116A到弯曲后的阀座一端106A的距离X。

由于阀座支承部120弯曲而阀座106的阀座一端106A倾斜，隔膜阀芯103与阀座106的阀座一端106A发生摩擦，会对阀座106的密封面造成损伤。尤其是当阀座支承部120的弯曲大而阀座106的阀座一端106A较大地倾斜时，会对阀座106的密封面造成损伤。当阀座106的密封面带有损伤时，会成为流体从该伤口泄漏的原因，因此存在问题。

另外，在圆筒状的阀座支承部中，若在圆周方向上存在强度差，则在密封载荷作用于阀座时，强度弱的阀座支承部会发生弯曲。由于阀座支承部弯曲，该部位无法得到充分的密封载荷。当得不到充分的密封载荷时，会从该部分发生泄漏，因此成为问题。

例如，在高温的流体流过而流体控制阀成为高温状态时，尤其是树脂制的流体控制阀容易弯曲。因此，在高温的流体流过的状态下，对于阀座施加密封载荷时，强度弱的阀座支承部弯曲而阀座支承部的反弹力下降，因而阀座的密封力下降。因此，在高温的流体流过的状态下，尤其是存在容易发生流体的泄漏的问题。而且，在流体的流体压高时，也存在容易发生泄漏的问题。

因此，本发明为了解决上述问题点而作出，其目的在于提供一种防止在隔膜阀芯与阀座抵接时发生的阀座支承部的弯曲引起的阀座的倾斜的流体控制阀。

以该课题的解决为目的而提供的本发明的一方式的流体控制阀，具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在树脂制阀主体与树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯，第一流路具备一端与第一口连通的第一口连通流路和另一端与阀孔连通的第一阀孔连通流路，第一口连通流路与第一阀孔连通流路连通，树脂制阀主体在阀室、第一口连通流路及第一阀孔连通流路之间具备对阀座进行支承的阀座支承部，流体控制阀的特征在于，阀座支承部具有阀座加强部，阀座加强部由将第一流路内的一部分堵塞的形状形成。

具有上述结构的流体控制阀能够减少隔膜阀芯与阀座抵接时发生的阀座支承部的弯曲幅度。即，通过阀座加强部能够对阀座支承部进行加强，因此能够减小阀座支承部的弯曲而减小阀座的倾斜。

另外，由于阀座支承部的弯曲减小，而阀座一端的倾斜也能够减小。由于阀座一端的倾斜减小，而隔膜阀芯与阀座一端的摩擦幅度减小。由此，阀座一端的密封面的损伤减小。具体而言，即使对于密封面带有损伤，若损伤的宽度窄而形成不超过阀座一端的密封面的范围内的损伤，则也不会发生从该伤口泄漏流体的情况。因此，根据本结构，由于阀座一端的倾斜减小，能够抑制成不超过阀座的密封面的范围内的损伤，因此不会发生流体的泄漏而能够防止流体的泄漏。

另外，通过对强度弱的阀座支承部进行加强，而能够将阀座支承部沿着圆周方向均匀地确保强度。由于能够确保阀座支承部的强度，能够防止在通过阀座承受密封载荷时强度弱的阀座支承部发生弯曲。由于能够沿着圆周方向产生均匀的密封力，因此能够减少密封性能的下降。尤其是在高温的流体流过时及流体的流体压高时有效。

在上述记载的流体控制阀中，优选的是，在从所述树脂制阀上体方向观察阀孔时，阀座加强部成为将第一阀孔连通流路的一部分堵塞的阀座加强上部，在从树脂制阀上体方向观察阀孔时，阀座加强上部成为弓形。

这是因为，由于能够对阀座支承部进行加强而增加强度，因此能够减小阀座支承部的弯曲，能够减少阀座的倾斜。

具体而言，能够形成阀座加强上部，该阀座加强上部在从树脂制阀上体方向观察阀孔时的阀孔的第一口侧成为弓形形状。阀孔的第二口侧的阀座具有将第一流路与第二流路分隔的垂直方向的支承部，因此强度强。另一方面，阀孔的第一口侧的阀座支承部由于第一流路通过其下方，因此没有垂直方向的支承，因此强度弱。因此，通过在强度弱的部分形成加强上部而能够防止阀座支承部的弯曲。由此，能够减少阀座的倾斜。

另外，以相对于阀孔而在第一口侧成为弓形形状的方式形成阀座加强上部，由此能够相对于阀孔沿着圆周方向对阀座支承部进行加强。即，由于阀座加强上部为弓形形状，而向具有强度的筒状的阀孔的连接增强。由于阀座加强上部向阀孔的连接增强，而利用具有强度的筒状的阀孔的刚性，能够增加阀座支承部的刚性。其结果是，根据后面详细说明的本实施例的一结果，减少阀座支承部的弯曲，与以往的流体控制阀相比，能够将阀座的倾斜减少61%。

另外，阀座加强上部以将第一阀孔连通流路的一部分堵塞的方式形成，但能够将流动的流体的流动妨碍形成为最小限度。即，流体具有径直地流动的性质。因此，流过第一阀孔连通流路的流体在流路的圆角部的外侧流动。因此，即使在成为圆角部的内侧的部分形成弓形的阀座加强上部，对流体的流量造成的影响也少。因此，由于对流体的流量造成的影响少，从而能够将在第一阀孔连通流路中流动的流体的妨碍形成为最小限度。

在上述记载的流体控制阀中，优选的是，在从树脂制阀主体侧面方向观察第一口时，阀座加强部成为将第一流路的一部分堵塞的阀座加强下部，在从树脂制阀主体侧面方向观察第一口时，阀座加强下部成为弓形。

这是因为，由于能够加强阀座支承部而增加强度，因此能够减小阀座支承部的弯曲。

具体而言，能够形成阀座加强下部，该阀座加强下部在从树脂制阀主体侧面方向观察阀孔时的第一流路内的阀座支承部侧成为弓形形状。由于第一流路呈截面圆形状，因此通过使该截面圆形状的第一流路的一部分形成为弓形形状，能够将阀座加强下部牢固地固定。由于能够将阀座加强下部牢固地固定，从而能够增加阀座支承部的强度，因此能够防止阀座支承部的塑性变形。因此，根据后面详细说明的本实施方式的一结果，通过形成在第一流路内的阀座支承部侧成为弓形形状的阀座加强下部，能够减少阀座支承部的弯曲，与以往的流体控制阀相比能够将阀座的倾斜减少22%。

在上述记载的流体控制阀中，优选的是，阀座加强上部和阀座加强下部相对于阀座支承部而成为截面大致L形状。

这是因为能够使用阀座加强上部和阀座加强下部的强度。因此，根据在后面详细说明的本实施方式的一结果，能够减少阀座支承部的弯曲，与以往的流体控制阀相比，能够将阀座的倾斜减少92%。

发明效果

根据上述流体控制阀，能够防止隔膜阀芯与阀座抵接时发生的阀座支承部的弯曲引起的阀座的倾斜。

附图说明

图1是本发明的第一实施方式的流体控制阀（闭阀状态）的剖视图。

图2是本发明的第一实施方式的流体控制阀（开阀状态）的剖视图。

图3是本发明的第一实施方式的树脂制阀主体的俯视图。

图4是本发明的第二实施方式的流体控制阀的局部放大剖视图。

图5是本发明的第二实施方式的流体控制阀的局部放大侧视图。

图6是本发明的第三实施方式的流体控制阀的局部放大剖视图。

图7是表示将本发明的实施方式的现有技术的流体控制阀的阀座的倾斜与实施方式的流体控制阀的阀座的倾斜进行了比较的实验结果的图。

图8是本发明的第四实施方式的流体控制阀的局部放大剖视图。

图9是本发明的第四实施方式的流体控制阀的局部放大侧视图。

图10是现有技术的流体控制阀（闭阀状态）的剖视图。

图11是现有技术的流体控制阀的阀座部分的局部放大概念图。

具体实施方式

接下来，参照附图，说明本发明的流体控制阀的实施方式。

（第一实施方式）

<流体控制阀的整体结构>

图1是第一实施方式的流体控制阀1的剖视图，表示阀闭状态。图2是第一实施方式的流体控制阀1的剖视图，表示阀开状态。图3表示树脂制阀主体2的俯视图。

第一实施方式的流体控制阀1与现有技术同样地，向半导体制造装置组装，控制药液的供给。流体控制阀1是常开型的气动式开闭阀。流体控制阀1在树脂制阀主体2的上表面连结有树脂制阀上体3，在树脂制阀主体2与树脂制阀上体3之间夹持有隔膜阀芯4。流体控制阀1通过使树脂制阀上体3内的活塞35滑动，而使隔膜阀芯4与阀座15抵接或分离。流体控制阀1中，用于向半导体制造装置安装的安装板5固定设置在树脂制阀主体2的下表面。

<树脂制阀主体的结构>

树脂制阀主体2是对PTFE（聚四氟乙烯）、PFA（四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物）等耐腐蚀性和耐热性优异的树脂进行成形而成。

如图1所示，在树脂制阀主体2的上表面形成有圆柱状的阀室13。阀室13连通有与圆形状的第一口23连通的第一流路21的一端和与圆形状的第二口24连通的第二流路22的一端。在第一流路21向阀室13开口的部分上形成有阀孔16。在阀孔16的周边部一体形成有阀座15。

第一流路21具有一端与第一口23连通的第一口连通流路21a和另一端与阀室13连通的第一阀孔连通流路21b。第一口连通流路21a相对于第一口23的中心而沿着轴心方向形成。另一方面，第一阀孔连通流路21b沿着阀孔16的轴心方向形成。第一口连通流路21a与第一阀孔连通流路21b在树脂制阀主体2内部垂直连结，在连结部形成有圆角部21c。

如图1所示，在阀室13、第一口连通流路21a与第一阀孔连通流路21b之间形成有对阀座15进行支承的阀座支承部17。阀座支承部17具有阀座加强上部18。如图3所示，在从树脂制阀主体2的上表面观察时，阀座加强上部18形成在第一阀孔连通流路21b的流路内。而且，如图3所示，在从树脂制阀主体2的上表面观察时，阀座加强上部18是由弦18a和圆弧18b构成的弓形形状。弦18a和圆弧18b在接点18c处相接。图3所示的阀座加强上部18的截面积可以通过弓形的面积的公式来求出。

如图3所示，阀孔16的形状由于阀座加强上部18形成在流路内，而成为截面大致D形状的流路形状。如图1所示，在本实施方式中对于从阀座加强上部18的阀座15到第一阀孔连通流路21b进行45度的倒角。通过倒角，能够增加向阀孔16流入的流体的流量。

阀孔16的第二流路22侧的阀座另一端15a由将第一流路21与第二流路22分隔的垂直方向的支承部20来支承。阀座15由支承部20及阀座支承部17支承为圆筒状。阀座15的除阀座支承部17以外的部分由支承部20支承。

<树脂制阀上体的结构>

图1所示的树脂制阀上体3以PPS（聚苯硫醚）、PFA、PP、PVDF等具有耐腐蚀性和刚性的树脂为材质。树脂制阀上体3由工作缸32和盖33构成，形成活塞室34。树脂制的活塞35以可滑动的方式向活塞室34装填，通过压缩设置在其与工作缸32之间的复位弹簧31始终被向图中上方施力。活塞35对应于从操作口33a向活塞室34供给的操作空气的压力与复位弹簧31的反弹力的平衡，而在活塞室34内向图中上下方向移动。在活塞35上一体成形有活塞杆36。活塞杆36与活塞35一体地构成而能够在工作缸32滑动，且与隔膜阀芯4连结。

<隔膜阀芯的结构>

隔膜阀芯4以PTFE（聚四氟乙烯）等耐腐蚀性及耐热性优异的树脂为材质，通过切削而制作。隔膜阀芯4包括：与阀座15抵接或分离的圆柱状的阀芯部4a；与阀芯部4a的外周面连接的薄膜部4b；沿着薄膜部4b的外缘设置成厚壁的周缘部4c。隔膜阀芯4通过将周缘部4c夹入树脂制阀主体2与树脂制阀上体3之间而密封于环状槽26的内壁来固定。

<流体控制阀的作用效果>

（流体的输入输出）

如图2所示，流体控制阀1中，在第一流路21上连接第一口23，在第二流路22上连接第二口24。流体控制阀1在未向操作口33a供给操作空气时，通过复位弹簧31的力使隔膜阀芯4从阀座15分离。因此，从第一口23向第一流路21流入的流体经由阀孔16而向阀室13、第二流路22供给，向第二口24输出。

另一方面，如图1所示，流体控制阀1中，在向操作口33a供给操作空气时，活塞35下降而使隔膜阀芯4与阀座15抵接。因此，从第一口23经由第一流路21向阀孔16流入的药液在阀座15中由隔膜阀芯4隔断，不会从第二流路22向第二口24输出。

（阀座加强部的效果）

流体控制阀1通过相对于上述隔膜阀芯4的阀座15进行抵接分离来进行流体的流量的控制。然而，隔膜阀芯4对于阀座15向下方加压。因此，在对阀座15进行支承的阀座支承部17产生负荷。其结果是，在图10所示的以往的流体控制阀100中，阀座支承部120因负荷而发生弯曲。当阀座支承部120弯曲时，如图11所示，阀座106的阀座支承部120的上表面的阀座一端106A倾斜。具体而言，与将弯曲前的阀座一端116A（图11中双点划线所示）和弯曲后的阀座另一端106B连结的线相比，倾斜角度θ。而且，因弯曲而倾斜了从阀座一端116A到阀座一端106A的距离X。由于阀座支承部120弯曲而阀座一端106A倾斜而隔膜阀芯103与阀座一端106A发生摩擦，会对阀座一端106A的密封面造成损伤。尤其是阀座支承部120的弯曲大而阀座一端106A较大地倾斜时，阀座一端106A的密封面会产生损伤。当阀座一端106A的密封面产生损伤时，会成为流体从该伤口泄漏的原因，因此存在问题。

然而，根据本实施方式，阀座支承部17具有阀座加强上部18。因此，能够减小隔膜阀芯4按压阀座15时产生的阀座支承部17的弯曲的幅度。即，通过阀座加强上部18能够对阀座支承部17进行加强，因此即使隔膜阀芯4对于阀座15施加向下方的加压力，阀座支承部17也能够对抗向下方的加压力，因此能够将产生弯曲的情况抑制成小幅度。

另外，通过减小阀座支承部17的弯曲幅度，而能够减小阀座一端15b的倾斜幅度。由于阀座一端15b的倾斜幅度减小，而隔膜阀芯4与阀座一端15b的摩擦幅度减小。由此对于阀座一端15b的密封面的损伤减小。具体而言，即使带有与阀座一端15b的密封面的圆周方向垂直的损伤，若损伤的幅度窄且形成不超过阀座一端15b的密封面的范围内的损伤，则流体也不会从其伤口泄漏。因此，根据本实施方式，通过使阀座一端15b的倾斜减小，能够抑制成不超过阀座一端15b的密封面的范围内的损伤的大小，因此不会发生流体的泄漏而能够防止泄漏。

另外，由于能够减小阀座支承部17的弯曲，而能够防止反复疲劳引起的阀座支承部17的塑性变形。由于能够防止阀座支承部17的塑性变形，因此能够确保隔膜阀芯4与阀座15之间的整周的密封力的均匀性。由于能够确保密封力的均匀性而能够防止流体的泄漏。

另外，由于能够防止阀座支承部17的弯曲，而能够防止超过阀座15的密封面的损伤。因此，能够减少更换流体控制阀1的更换频度，能够降低使用成本。而且，由于能够防止阀座支承部17的塑性变形，而能够确保密封的均匀性。

图7是表示本发明的阀座的倾斜的效果的条形图。纵轴上，在设现有技术的流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜角度θ的比例为“1”时，对流体控制阀100的倾斜角度θ的比例与本发明的倾斜角度的比例进行比较。横轴中，（A）表示流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜角度θ的比例，（C）表示本实施方式的流体控制阀1的阀座一端15b的倾斜角度的比例。

如图7所示，与（A）的流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜角度θ的比例相比，（C）的本实施方式的流体控制阀1的阀座一端15b的倾斜角度的比例成为0.39。即，由于流体控制阀1的阀座支承部17具有阀座加强上部18，因此能够将阀座的倾斜减少61%。

另外，阀座加强上部18在从树脂制阀上体3方向观察阀孔16时，成为弓形形状，由此能够对阀座支承部17进行加强而强度增加，因此能够减小阀座支承部17的弯曲幅度，从而能够减少阀座一端15b的倾斜角度。

具体而言，能够形成阀座加强上部18，该阀座加强上部18在从树脂制阀上体3方向观察阀孔16时的阀孔16的第一口连通流路21a侧成为弓形形状。阀孔16的第二流路22侧的阀座另一端15a具有将第一流路21与第二流路22分隔的垂直方向的支承部20，因此强度强。另一方面，阀孔16的第一口连通流路21a侧的阀座支承部17由于第一流路21通过其下方，因此没有垂直方向的支承而强度弱。因此，通过在强度弱的部分形成阀座加强上部18而能够防止阀座支承部17的弯曲。由此，能够减少阀座15的倾斜。

另外，通过以相对于阀孔16而在第一口连通流路21a侧成为弓形形状的方式形成阀座加强上部18，如图3所示，能够相对于阀孔16沿着圆周方向S对阀座支承部17进行加强。即，由于阀座加强上部18为弓形形状，而向具有强度的筒状的阀孔16的连接增强。由于阀座加强上部18向阀孔16的连接增强，通过支承部20，利用具有强度的筒状的阀孔16的刚性，能够增加阀座支承部17的刚性。其结果是，减少阀座支承部17的弯曲，与以往的流体控制阀100相比，能够将阀座15的倾斜减少61%。

另外，阀座加强上部18以堵塞第一阀孔连通流路21b的一部分的方式形成，但能够将流体的流动的妨碍形成为最小限度。即，由于流体具有径直流动的性质，因此在第一阀孔连通流路21b中流动的流体较多地在流路的圆角部21c的外侧部分流动。因此，即使在圆角部21c的内侧部分形成弓形的阀座加强上部18，对流体的流量造成的影响也少。其结果是，能够将在第一阀孔连通流路21b中流动的流体的妨碍形成为最小限度。

另外，通过对强度弱的阀座支承部17进行加强，而能够将阀座支承部17及支承部20沿着圆周方向均匀地确保强度。由于能够确保阀座支承部17的强度，而能够防止在阀座15受到密封载荷时强度弱的阀座支承部17发生弯曲的情况。由于沿着圆周方向能够产生均匀的密封力，因此能够减少密封性能的下降。尤其是在高温状态或过大的密封载荷作用于阀座时有效。

（第二实施方式）

<树脂制阀主体的结构>

图4表示树脂制阀主体50的剖视图。图5表示树脂制阀主体50的侧视图。

在第二实施方式中，仅第一实施方式的流体控制阀1中的树脂制阀主体2的阀座支承部17的形状不同，其他的结构相同。因此，使用图4及图5，说明与第一实施方式的树脂制阀主体2的阀座支承部17相比发生了变更的第二实施方式的树脂制阀主体50的阀座支承部57，关于其他的结构，使用与第一实施方式同样的标号而省略说明。

如图4所示，在阀室13、第一口连通流路21a与第一阀孔连通流路21b之间形成有对阀座15进行支承的阀座支承部57。阀座支承部57具有阀座加强下部59。如图5所示，在从右侧面的第一口23观察第一流路21时，阀座加强下部59形成在第一口连通流路21a的流路内。而且，阀座加强下部59是由弦59a和圆弧59b构成的弓形形状。图5所示的阀座加强下部59的截面积可以通过弓形的面积的公式求出。阀座加强下部59的弓形的面积占据第一口23为圆形状时的面积的约10%程度的比例。

如图5所示，第一口连通流路21a的形状由于阀座加强下部59形成在流路内，因此成为截面大致D形状的流路形状。

<流体控制阀的作用效果>

关于流体的输入输出的作用效果，由于与第一实施方式的流体控制阀1相同，因此省略说明。

（阀座加强部的效果）

根据本实施方式，阀座支承部57具有阀座加强下部59。因此，能够对阀座支承部57进行加强而强度增加，因此能够减小阀座支承部57的弯曲幅度，从而能够减少阀座一端15b的倾斜角度。

具体而言，能够形成阀座加强下部59，该阀座加强下部59在从树脂制阀主体50侧面方向观察阀孔16时的第一口连通流路21a内的阀座支承部57侧成为弓形形状。由于第一流路21成为截面圆形状，因此通过使该截面圆形状的一部分为弓形形状而连结，能够将阀座加强下部59牢固地固定。由于能够将阀座加强下部59牢固地固定，而能够增加阀座支承部57的强度，因此能够减小阀座支承部57的弯曲幅度。因此，通过形成在第一口连通流路21a内的阀座支承部57侧成为弓形形状的阀座加强下部59，而能够增强阀座支承部57的强度。

图7是表示本发明的阀座的倾斜的效果的条形图。纵轴上，在设现有技术的流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜角度θ的比例为“1”时，对流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜角度θ的比例与本发明的倾斜角度的比例进行比较。横轴中，（A）表示流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜角度θ的比例，（B）表示本实施方式的流体控制阀的阀座一端15b的倾斜角度的比例。

如图7所示，与（A）的流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜角度θ的比例相比，（B）的本实施方式的流体控制阀的阀座一端15b的倾斜角度的比例成为0.78。即，由于流体控制阀的阀座支承部57具有阀座加强下部59，因此能够将阀座支承部57的倾斜减少22%。

（第三实施方式）

<树脂制阀主体的结构>

图6表示树脂制阀主体60的剖视图。

在第三实施方式中，仅第一实施方式的流体控制阀1中的树脂制阀主体2的阀座支承部17的形状不同，其他的结构相同。因此，关于与第一实施方式的树脂制阀主体2的阀座支承部17相比发生了变更的第三实施方式的树脂制阀主体60的阀座支承部67，使用图6进行说明，关于其他的结构，使用与第一实施方式同样的标号而省略说明。

如图6所示，在阀室13、第一口连通流路21a与第一阀孔连通流路21b之间形成有对阀座15进行支承的阀座支承部67。阀座支承部67具有阀座加强上部68及阀座加强下部69。如图6所示，由于阀座加强上部68和阀座加强下部69而阀座加强部相对于阀座支承部67成为截面大致L形状。在图6中，为了便于理解由于阀座加强上部68及阀座加强下部69而阀座加强部相对于阀座支承部67为截面大致L形状的情况，分开地明确记载阀座支承部67。需要说明的是，有时阀座加强上部68和阀座加强下部69与阀座支承部67一体成型而无法识别为L形状。

阀座加强上部68的结构与第一实施方式的阀座加强上部18的结构相同。而且，阀座加强下部69的结构与第二实施方式的阀座加强下部59为同样的结构。因此，省略详细的说明。

<流体控制阀的作用效果>

（阀座加强部的效果）

根据本实施方式，由于阀座加强上部68和阀座加强下部69而相对于阀座支承部67成为截面大致L形状，从而能够使用阀座加强上部68和阀座加强下部69的强度。因此，与以往的流体控制阀100相比，能够使阀座支承部67的强度增强。即，通过形成阀座加强上部68和阀座加强下部69，与以往相比，能够确保阀座支承部67的强度，因此能够减小弯曲幅度。因此，能够减少阀座一端15b的倾斜，因此能够防止隔膜阀芯4与阀座15之间的密封的不均匀。

图7是表示本发明的阀座的倾斜防止的效果的条形图。纵轴上，在设现有技术的流体控制阀100的倾斜为“1”时，对流体控制阀100的倾斜与本发明的倾斜进行比较。横轴中，（A）表示流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜，（D）表示本实施方式的流体控制阀的阀座一端15b的倾斜。

如图7所示，与（A）的流体控制阀100的阀座一端106A的倾斜相比，（D）的本实施方式的流体控制阀的阀座一端15b的倾斜成为0.08。即，由于流体控制阀的阀座支承部67具有阀座加强上部68及阀座加强下部69，因此能够将阀座支承部67的倾斜减少92%。

（第四实施方式）

<树脂制阀主体的结构>

图8表示树脂制阀主体70的剖视图。图9表示树脂制阀主体70的侧视图。

在第四实施方式中，仅第一实施方式的流体控制阀1中的树脂制阀主体2的阀座支承部17的形状不同，其他的结构相同。因此，使用图8及图9，说明与第一实施方式的树脂制阀主体2的阀座支承部17相比发生了变更的第四实施方式的树脂制阀主体70的阀座支承部77，关于其他的结构，使用与第一实施方式同样的标号，省略说明。

如图8所示，在阀室13、第一口连通流路21a与第一阀孔连通流路21b之间形成对阀座15进行支承的阀座支承部77。阀座支承部77具有阀座加强部78。如图9所示，在从树脂制阀主体70的右侧面观察时，阀座加强部78形成在第一口连通流路21a的流路内。具体而言，由于阀座加强部78对阀座支承部77进行加强，因此相对于第一口连通流路21a沿着轴心方向形成。阀座加强部78为棒状，且为了使流体沿着径向容易流动而形成为截面椭圆形状的流线形状。由于是截面椭圆形状的流线形状，因此即使在流体从第一流路21向第二流路22流动时或相反地流动时，也不会对流体的流动造成大的干扰。

<流体控制阀的作用效果>

（阀座加强部的效果）

根据本实施方式，阀座支承部77具有阀座加强部78。因此，阀座支承部77的强度提高，从而能够防止阀座15的弯曲引起的阀座一端15b下沉的情况。

另外，阀座加强部78能够直接起到顶棍的作用而对阀座支承部77进行支承。因此，能够直接支承阀座支承部77，从而能够直接增强阀座支承部77的强度。

需要说明的是，本发明并未限定为上述实施方式，在不脱离发明的主旨的范围内能够进行各种应用。

例如，可以将用于对阀座支承部进行加强的阀座加强上部的形状设为月牙型的弓形形状。通过设为月牙形的弓形形状，能够加宽第一流路的宽度，能够使在第一流路中流动的流体的流动更加良好。

例如，在本实施方式中，阀座加强上部及阀座加强下部与阀座支承部一体成型，但在阀座加强上部及阀座加强下部内也可以包含金属等。通过包含金属等，与树脂制的阀座加强上部及阀座加强下部相比，能够进一步增加强度。需要说明的是，在与阀座支承部一体成型时，阀座加强上部及阀座加强下部作为形状而表现在外部，但作为材质未表现在外部。在阀座支承部与阀座加强上部及阀座加强下部一体成型时，将成为从现有技术的流体控制阀中的第一流路露出而堵塞流路的形状的部分设为阀座加强上部或阀座加强下部。

标号说明

1 流体控制阀

13 阀室

15 阀座

16 阀孔

17 阀座支承部

18、68 阀座加强上部

59、69 阀座加强下部

2 树脂制阀主体

21 第一流路

21a 第一口连通流路

21b 第一阀孔连通流路

23 第一口

24 第二口

3 树脂制阀上体

4 隔膜阀芯

Claims

1.一种流体控制阀，具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与所述树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在所述树脂制阀主体与所述树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯，

所述第一流路具备一端与第一口连通的第一口连通流路和另一端与阀孔连通的第一阀孔连通流路，所述第一口连通流路与所述第一阀孔连通流路连通，

所述树脂制阀主体在阀室、所述第一口连通流路及所述第一阀孔连通流路之间具备对阀座进行支承的阀座支承部，

所述流体控制阀的特征在于，

所述阀座支承部具有阀座加强部，

所述阀座加强部由将所述第一流路内的一部分堵塞的形状形成，

在从所述树脂制阀上体方向观察所述阀孔时，所述阀座加强部成为将所述第一阀孔连通流路的一部分堵塞的阀座加强上部，

在从所述树脂制阀上体方向观察所述阀孔时，所述阀座加强上部成为弓形。

2.一种流体控制阀，具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与所述树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在所述树脂制阀主体与所述树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯，

所述流体控制阀的特征在于，

所述阀座支承部具有阀座加强部，

在从所述树脂制阀主体侧面方向观察所述第一口时，所述阀座加强部成为将所述第一流路的一部分堵塞的阀座加强下部，

在从所述树脂制阀主体侧面方向观察所述第一口时，所述阀座加强下部成为弓形。

3.一种流体控制阀，具备具有第一流路和第二流路的树脂制阀主体、与所述树脂制阀主体的上表面连结的树脂制阀上体、夹持在所述树脂制阀主体与所述树脂制阀上体之间的树脂制的隔膜阀芯，

所述流体控制阀的特征在于，

所述阀座支承部具有阀座加强部，

在从所述树脂制阀上体方向观察所述阀孔时，所述阀座加强上部成为弓形，

在从所述树脂制阀主体侧面方向观察所述第一口时，所述阀座加强下部成为弓形，

所述阀座加强上部和所述阀座加强下部相对于所述阀座支承部而成为截面大致L形状。