CN102959989B - 超声波产生装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开一种能够输出高声压超声波的超声波产生装置。本发明的超声波产生装置(100)构成为，具备：超声波产生元件(1)，其具备在中央部形成有贯通孔(2a)的框体(2)、与框体(2)的一方的主面接合的平板状的第一振动体(3)、与框体(2)的另一方的主面接合的平板状的第二振动体(4)，且通过使第一振动体(3)和第二振动体(4)相互以反相位进行振动的压曲音叉振动模式来放出超声波；以及第一声音路径(S1)，其形成在超声波产生元件(1)的两主面中的至少一侧，对从超声波产生元(1)放出的超声波进行压缩，使超声波向沿着超声波产生元件(1)的主面的方向传播。
Description
技术领域
本发明涉及产生超声波的超声波产生装置，更详细而言，涉及能够输出高声压的超声波的超声波产生装置。
背景技术
最近，作为正确的距离测定方法，有效使用利用了超声波的距离测定方法。该方法中，从超声波产生装置放出超声波，并通过超声波传声(マイク)装置检测碰撞被测定物而从被测定物反射的超声波，根据从放出到检测所需要的时间来算出到被测定物的距离。
例如，在专利文献1中公开有一种在箱体上安装压电振动体而成的超声波产生装置。另外，专利文献1的装置构成为通过一个装置兼用作超声波产生装置和超声波传声装置的超声波传感器装置。另外，除了产生超声波的第一压电振动体之外，为了消除不需要振动，还具备与第一压电振动体反相位地振动的第二压电振动体。
图8中示出专利文献1中公开的超声波产生装置(超声波传感器装置)500。超声波产生装置500由在箱体101上安装有第一压电振动体102和第二压电振动体103的结构构成，该第二压电振动体103与第一压电振动体102反相位地振动，以用于消除不需要振动。在箱体101、第一压电振动体102、第二压电振动体103上分别连接有引线104。另外，箱体101内的空间由柔软性填充材料105充满。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2004-297219号公报
发明内容
发明要解决的课题
在上述的距离测定方法中，为了使测定结果更正确，或使可测定距离更长，提高超声波产生装置的输出声压有用。
然而，例如，在上述的现有的超声波产生装置500中，提高输出声压存在界限。即，为了提高输出声压，必须增大压电振动体的极化，或增大向压电振动体投入的电力，但压电振动体的极化存在界限，并且，当投入的电力变得过于大时，压电振动体会超过破坏界限，因此提高输出声压存在界限。
另外，最近，电子设备/装置的小型化的要求强烈，但当实现压电振动体的小型化，以使超声波产生装置小型化时，存在输出声压降低这样的问题。因此，还存在超声波产生装置的小型化困难这样的问题。
本发明为了解决上述现有的超声波产生装置所具有的问题而提出。作为其手段，本发明的超声波产生装置构成为，一种超声波产生装置，其特征在于，
具备：
平板状的超声波产生元件，其具备在中央部形成有槽及贯通孔中的至少一方的平板状的框体、与所述框体的一方的主面接合的平板状的第一振动体、以及与所述框体的另一方的主面接合的平板状的第二振动体，且通过使所述第一振动体和所述第二振动体相互以反相位进行振动的压曲音叉振动模式来放出超声波；
第一声音路径，其形成在所述超声波产生元件的两主面中的至少一侧，对从所述超声波产生元件放出的超声波进行压缩，使超声波在沿着所述超声波产生元件的主面的方向上传播；
箱体，其具备搭载有所述超声波产生元件的基板、具有收容所述超声波产生元件且周缘与所述基板接合的开口的盖构件、形成在所述基板及所述盖构件中的至少一方的一个或多个声音放出口；以及
第二声音路径，其通过由所述超声波产生元件的外周面和所述箱体的内周面构成的间隙形成，
所述第二声音路径的一部分构成所述第一声音路径，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离之差，设定为超声波波长的0.06倍以下。
第二方面的超声波产生装置，其特征在于，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离相同。
第三方面的超声波产生装置，其特征在于，
所述第一声音路径配置在所述第一或第二振动体的振动的波腹的附近。
第四方面的超声波产生装置，其特征在于，
所述第一声音路径分别形成在所述超声波产生元件的两主面上。
第五方面的超声波产生装置，其特征在于，
将从所述超声波产生元件的一方的主面放出的超声波和从所述超声波产生元件的另一方的主面放出的超声波合成。
第六方面的超声波产生装置，其特征在于，
所述第一振动体和所述第二振动体为压电多晶片型压电振动体。
另外，作为解决手段，本发明的第七方面的超声波产生装置还构成为，一种超声波产生装置，其特征在于，
具备：
平板状的超声波产生元件：其具备在中央部形成有槽及贯通孔中的至少一方的平板状的框体、由形成有激励电极的平板状的压电体构成且与所述框体的一方的主面接合的第一双压电晶片型压电振动体、由形成有激励电极的平板状的压电体构成且与所述框体的另一方的主面接合的第二双压电晶片型压电振动体，且通过使所述第一双压电晶片型压电振动体和所述第二双压电晶片型压电振动体相互以反相位进行振动的压曲音叉振动模式来放出超声波；
箱体，其具备经由导电性构件而搭载所述超声波产生元件的基板、具有收容所述超声波产生元件且周缘与所述基板接合的开口的盖构件、和形成在所述基板及所述盖构件的至少一方的一个或多个声音放出口；
第一声音路径，其通过由所述第一双压电晶片型压电振动体和所述基板构成的间隙以及由所述第二双压电晶片型压电振动体和所述盖构件构成的间隙分别形成，且在所述第一或第二双压电晶片型压电振动体的振动的波腹的附近，对从所述第一或第二双压电晶片型压电振动体放出的超声波进行压缩，使超声波在沿着所述超声波产生元件的主面的方向上传播；以及
第二声音路径，其通过由所述超声波产生元件的外周面和所述箱体的内周面构成的间隙形成，
所述第二声音路径的一部分构成所述第一声音路径，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离之差，设定为超声波波长的0.06倍以下。
第八方面的超声波产生装置，其特征在于，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离相同。
发明效果
由上述的结构构成的本发明的超声波产生装置能够取出相位一致的声压高的超声波，且能够提高输出声压。因此，在将本发明的超声波产生装置用于距离测定的情况下，能够使测定结果更正确，并且能够进一步增长可测定距离。
另外，即使实现振动体的小型化、进而实现超声波产生装置的小型化，也能够维持高的输出声压，因此根据本发明，能够实现超声波产生装置的小型化。
另外，第一声音路径可以设置在超声波产生元件的单侧，也可以设置在超声波产生元件的两侧。在设置于两侧的情况下，能够将从超声波产生元件的一方的主面放出的超声波和从超声波产生元件的另一方的主面放出的超声波合成而输出，在该情况下，能够进一步提高输出声压。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式的超声波产生装置100的立体图。
图2是表示本发明的第一实施方式的超声波产生装置100的剖视图，表示图1的虚线X-X部分。
图3是表示本发明的第一实施方式的超声波产生装置100中使用的超声波产生元件1的分解立体图。
图4是表示本发明的第一实施方式的超声波产生装置100的驱动状态的说明图。
图5是表示本发明的第二实施方式的超声波产生装置200的剖视图。
图6是表示本发明的第三实施方式的超声波产生装置300的剖视图。
图7是表示本发明的第四实施方式的超声波产生装置400的分解立体图。
图8是表示现有的超声波产生装置500的剖视图。
具体实施方式
以下，使用附图，对本发明的实施方式进行说明。
[第一实施方式]
在图1、图2中示出本发明的第一实施方式的超声波产生装置100。其中，图1是立体图，图2是表示图1的虚线X-X部分的剖视图。另外，在图3中示出超声波产生装置100中使用的超声波产生元件1。但是，图3是分解立体图。
超声波产生装置100具备超声波产生元件1。
超声波产生元件1具备框体2、第一双压电晶片型压电振动体3、和第二双压电晶片型压电振动体4。框体2在中央部形成有贯通孔2a。并且，在框体2的下侧的主面上通过粘接剂5a而接合有第一双压电晶片型压电振动体3，在框体2的上侧的主面上通过粘接剂5b而接合有第二双压电晶片型压电振动体4。即，框体2的贯通孔2a成为由第一双压电晶片型压电振动体3和第二双压电晶片型压电振动体4塞闭的结构。超声波产生元件1例如由320μm左右的厚度形成。
框体2例如由陶瓷形成，厚度为200μm左右。贯通孔2a的直径例如为2.4mm左右。另外，也可以取代贯通孔2a而在框体2的中央部分形成槽。即，框体2不局限于封闭的环状的结构体，也可以是在局部开放的环状的结构体。
第一双压电晶片型压电振动体3具备例如由钛酸锆酸铅(PZT)等形成的矩形且平板状的压电陶瓷3a。并且，在压电陶瓷3a的内部形成有内部电极3b，在压电陶瓷3a的两主面分别形成有外部电极3c、3d。内部电极3b、外部电极3c、3d例如为由Ag、Pd构成的激励电极。内部电极3b被向压电陶瓷3a的相邻的两个角部引出。另一方面，外部电极3c、3d被分别向未引出内部电极3b的压电陶瓷3a的相邻的两个角部引出。第一双压电晶片型压电振动体3的厚度例如为60μm左右。
第二双压电晶片型压电振动体4也与第一双压电晶片型压电振动体3同样，例如具备由PZT等形成的矩形且平板状的压电陶瓷4a，在压电陶瓷4a的内部形成有内部电极4b，在压电陶瓷4a的两主面分别形成有外部电极4c、4d。内部电极4b、外部电极4c、4d也为例如由Ag、Pd形成的激励电极。并且，内部电极4b被向压电陶瓷4a的相邻的两个角部引出。外部电极4c、4d被分别向未引出内部电极4b的压电陶瓷4a的相邻的两个角部引出。第二双压电晶片型压电振动体4的厚度也例如为60μm左右。
第一双压电晶片型压电振动体3的压电陶瓷3a及第二双压电晶片型压电振动体4的压电陶瓷4a分别在内部被极化。另外，在压电陶瓷3a中，外部电极3c与内部电极3b之间、和内部电极3b与外部电极3d之间，极化方向相同。同样，在压电陶瓷4a中，外部电极4c与内部电极4b之间，和内部电极4b与外部电极4d之间，极化方向相同。另一方面，压电陶瓷3a的外部电极3c与内部电极3b之间、以及内部电极3b与外部电极3d之间的极化方向、和压电陶瓷4a的外部电极4c与内部电极4b之间以及内部电极4b与外部电极4d之间，极化方向相反。
并且，在超声波产生元件1的四个角部分别形成有引出电极6a、6b、6c、6d。相邻的两个引出电极6a、6b都分别与压电陶瓷3a的内部电极3b及压电陶瓷4a的内部电极4b电连接。另一方面，剩下的相邻的两个引出电极6c、6d都分别与压电陶瓷3a的外部电极3c、3d及压电陶瓷4a的外部电极4c、4d电连接。(引出电极6a、6d在图2中示出，而引出电极6b、6c省略图示，在任一图中都未示出。)引出电极6a、6b、6c、6d例如由Ag形成。
超声波产生装置100还具备由基板7和盖构件8构成的箱体。
基板7例如由环氧玻璃形成，为矩形且平板状。在基板7的上侧的主面上形成有多个焊盘电极(未图示)。并且，在这些焊盘电极上通过导电性粘接剂9分别接合有超声波产生元件1的引出电极6a、6b、6c、6d，由此在基板7上搭载超声波产生元件1。由基板7和超声波产生元件1(第一双压电晶片型压电振动体3)构成的间隙形成第一声音路径S1，对从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波进行压缩，有助于使超声波向沿着超声波产生元件1的下侧的主面的方向传播。即，基板7为声音路径构件。由基板7和超声波产生元件1构成的间隙(第一声音路径S1)的长度被设定为30μm以上，尤其是为了使从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波的声波相位一致，并提高声压，而设定为100～200μm。另外，由于超声波产生元件1在四个角部通过导电性粘接剂9与基板7接合，因此不会阻碍从超声波产生元件1放出的超声波的传播。
盖构件8例如由锌白铜(洋白)形成，并形成有用于收容超声波产生元件1的开口8a，并且在顶板部分形成有矩形的声音放出口8b。声音放出口8b的个数任意，但在本实施方式中，形成有四个声音放出口8b。盖构件8在开口8a中收容超声波产生元件1后，开口8a的周缘例如通过粘接剂(未图示)与基板7的上侧的主面接合。由盖构件8和超声波产生元件1(第二双压电晶片型压电振动体4)构成的间隙形成第一声音路径S1，对从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波进行压缩，有助于使超声波向沿着超声波产生元件1的上侧的主面的方向传播。即，盖构件8为声音路径构件。由盖构件8和超声波产生元件1构成的间隙(第一声音路径S1)的长度设定为30μm以上，尤其是为了使从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波的声波相位一致，并提高声压，而设定为100～200μm。
超声波产生装置100中，通过利用超声波产生元件1的外周面及由基板7和盖构件8形成的箱体的内周面构成的间隙，来形成第二声音路径S2。另外，第二声音路径S2的一部分在第一双压电晶片型压电振动体3的振动的波腹的附近及第二双压电晶片型压电振动体4的振动的波腹的附近构成上述的第一声音路径S1。第一声音路径S1如上述那样，对从第一双压电晶片型压电振动体3或第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波进行压缩，有助于使超声波向沿着超声波产生元件1的主面的方向传播。
由这样的结构构成的超声波产生装置100例如通过以下的方法制造。
首先，制作第一双压电晶片型压电振动体3及第二双压电晶片型压电振动体4。具体而言，准备由规定的形状构成的多张压电陶瓷印刷电路板，并在它们的表面上将用于形成内部电极3b、4b、外部电极3c、3d、4c、4d的导电性糊剂印刷成规定的形状。接着，将规定的压电陶瓷印刷电路板彼此层叠并加压后，以规定的轮廓烧成，从而得到形成有内部电极3b、外部电极3c、3d的第一双压电晶片型压电振动体3以及形成有内部电极4b、外部电极4c、4d的第二双压电晶片型压电振动体4。另外，外部电极3c、3d、4c、4d可以在将层叠的压电陶瓷印刷电路板烧成后，通过印刷或溅射等形成。
接着，准备预先制作成规定的形状的框体2，在框体2的两主面使用粘接剂5a、5b分别接合第一双压电晶片型压电振动体3和第二双压电晶片型压电振动体4，来得到超声波产生元件1。
接着，例如使用溅射等技术在超声波产生元件1的四个角部形成引出电极6a、6b、6c、6d。
接着，准备预先制作成规定的形状的基板7和盖构件8，并使用导电性粘接剂9将超声波产生元件1搭载在基板7上后，使用粘接剂(未图示)在基板7的上侧的主面上接合盖构件8，从而完成超声波产生装置100。
接着，对超声波产生装置100的驱动状态进行说明。图4(A)、图4(B)表示在超声波产生装置100的超声波产生元件1上施加有规定的频率的交流电流的状态。
构成超声波产生元件1的第一双压电晶片型压电振动体3及第二双压电晶片型压电振动体4如上述那样形成有内部电极3b、4b和外部电极3c、3d、4c、4d，并如上述那样被极化，因此通过施加交流电压，以相同的频率相互以反相位进行振动，从而重复图4(A)及图4(B)所示的状态。即，超声波产生元件1通过压曲音叉振动模式进行振动，从第一双压电晶片型压电振动体3及第二双压电晶片型压电振动体4分别放出超声波。
并且，从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波在由第一双压电晶片型压电振动体3和基板(声音路径构件)7构成的间隙所形成的第一声音路径S1的第一双压电晶片型压电振动体3的振动的波腹(最大地进行振动的部分)的附近被压缩，并如虚线箭头所示，在沿着超声波产生元件1的下侧的主面的方向上传播。在第一声音路径S1中被压缩的超声波相位一致且成为高的声压。
另一方面，从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波在由第二双压电晶片型压电振动体4和盖构件(声音路径构件)8构成的间隙所形成的第一声音路径S1的第二双压电晶片型压电振动体4的振动的波腹(最大地进行振动的部分)的附近被压缩，并如虚线箭头所示，在沿着超声波产生元件1的上侧的主面的方向上传播。在第一声音路径S1中被压缩的超声波相位一致且成为高的声压。
并且，从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波以及从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波分别如图2中虚线箭头所示，经由通过超声波产生元件1的外周面及由基板7和盖构件8形成的箱体的内周面构成的间隙所形成的第二声音路径S2而向声音放出口8b传播，并被从声音放出口8b向外部放出。
从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波和从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波在向声音放出口8b传播并被从声音放出口8b向外部放出之前，进行合成来提高声压，因此使输出声压进一步提高。另外，从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波到达声音放出口8b为止的距离和从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波到达声音放出口8b为止的距离不同，但它们之差只不过为超声波产生元件1的厚度即320μm左右，在提高声压的效果上没有影响。即，通过超声波产生元件1放出的超声波例如为60kHz，波长为5.7mm，与此相对，距离之差为320μm左右，为0.06λ以下，在提高声压的效果上没有影响。
以上，对本发明的第一实施方式的超声波产生装置100的结构、制造方法的一例、驱动状态进行了说明。但是，本发明的超声波产生装置没有限定为上述的内容，按照发明的主旨能够进行各种变更。
例如，第一声音路径S1可以形成在超声波产生元件1的两主面中的至少一侧，在形成于一侧的情况下，放出的超声波的相位也一致，且声压也提高。
另外，构成超声波产生元件1的第一及第二振动体也可以取代双压电晶片型压电振动体3、4，而例如为压电单晶片型压电振动体或压电多晶片型压电振动体等其它种类的振动体。另外，在构成超声波产生元件1的第一及第二振动体为双压电晶片型压电振动或压电多晶片型压电振动体的情况下，能够通过在振动体的端面形成的电极与外部连接，因此不需要使用接合线。因此，不需要用于连接接合线的空间，能够实现小型化，且能够使由振动体和声音路径构件构成的间隙变小，能够将从振动体放出的超声波压缩而进一步提高声压。另外，双压电晶片型压电振动体或压电多晶片型压电振动体由于施加给压电陶瓷的电场强，因此与压电单晶片型压电振动体相比，驱动力大。因此，在构成超声波产生元件1的第一及第二振动体为双压电晶片型压电振动体或压电多晶片型压电振动体的情况下，能够进一步提高声压。
[第二实施方式]
图5中示出本发明的第二实施方式的超声波产生装置200。但是，图5是剖视图。
在超声波产生装置200中，取代上述的第一实施方式的超声波产生装置100中使用的盖构件8而使用盖构件18。对于其它的结构，与第一实施方式同样。
盖构件18形成有用于收容超声波产生元件1的开口18a，并且在顶板部分形成有一个声音放出口18b。
在超声波产生装置200中，由于声音放出口18b为一个，因此能够将声压高的超声波集中放出。
[第三实施方式]
图6中示出本发明的第三实施方式的超声波产生装置300。但是，图6是剖视图。
在超声波产生装置300中，取代上述的第一实施方式的超声波产生装置100中使用的盖构件8而使用盖构件28。对于其它的结构，与第一实施方式同样。
盖构件28形成有用于收容超声波产生元件1的开口28a，还在侧板部分形成有一个声音放出口28b。
在超声波产生装置300中，从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波到达声音放出口28b为止的距离与从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波到达声音放出口28b为止的距离相同，因此能够效率良好地将两个超声波合成，从而能够提高声压。另外，声音放出口28b可以在盖构件28的侧板部分形成多个。优选在彼此对置的侧面上形成。更优选在全部的侧面上形成。
[第四实施方式]
图7中示出本发明的第四实施方式的超声波产生装置400。但是，图7是分解立体图。
在超声波产生装置400中，对上述的第一实施方式的超声波产生装置100中施加几个变更。在超声波产生装置400中，取代上述的第一实施方式的超声波产生装置100中使用的超声波产生元件1、盖构件8、导电性粘接剂9，而使用超声波产生元件11、盖构件38、和导电性粘接剂19。
首先，在超声波产生元件11中，将在框体12上形成的贯通孔12a形成为矩形。
并且，使用以与超声波产生元件11的对置的两边对应的方式在基板7的上侧的主面上涂敷成线状的一对导电性粘接剂19，来将超声波产生元件11与基板7的上侧的主面接合。
并且，在盖构件38的顶面上形成一对线状的声音放出口38b。另外，线状的声音放出口38b相对于将超声波产生元件11与基板7接合所使用的导电性粘接剂19，沿垂直方向配置。
由这样的结构构成的超声波产生装置400能够在使从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波和从第二双压电晶片型压电振动体4放出的超声波有效地向声音放出口38b传播后，将两者合成，并从声音放出口38b以高声压向外部放出。涂敷成线状的导电性粘接剂19不会妨碍从第一双压电晶片型压电振动体3放出的超声波的传播。
符号说明：
1、11：超声波产生元件
2、12：框体
3：第一双压电晶片型压电振动体
4：第二双压电晶片型压电振动体
3b、4b：内部电极
3c、3d、4c、4d：外部电极
5a、5b：粘接剂
7：基板
8、18、28、38：盖构件
8a、18a、28a、(38a)：开口
8b、18b、28b、38b：声音放出口
9、19：导电性粘接剂
S1：第一声音路径
S2：第二声音路径
Claims (8)
1.一种超声波产生装置，其特征在于，
具备：
平板状的超声波产生元件，其具备在中央部形成有槽及贯通孔中的至少一方的平板状的框体、与所述框体的一方的主面接合的平板状的第一振动体、以及与所述框体的另一方的主面接合的平板状的第二振动体，且通过使所述第一振动体和所述第二振动体相互以反相位进行振动的压曲音叉振动模式来放出超声波；
第一声音路径，其形成在所述超声波产生元件的两主面中的至少一侧，对从所述超声波产生元件放出的超声波进行压缩，使超声波在沿着所述超声波产生元件的主面的方向上传播；
箱体，其具备搭载有所述超声波产生元件的基板、具有收容所述超声波产生元件且周缘与所述基板接合的开口的盖构件、形成在所述基板及所述盖构件中的至少一方的一个或多个声音放出口；以及
第二声音路径，其通过由所述超声波产生元件的外周面和所述箱体的内周面构成的间隙形成，
所述第二声音路径的一部分构成所述第一声音路径，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离之差，设定为超声波波长的0.06倍以下。
2.根据权利要求1所述的超声波产生装置，其特征在于，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离相同。
3.根据权利要求1或2所述的超声波产生装置，其特征在于，
所述第一声音路径配置在所述第一或第二振动体的振动的波腹的附近。
4.根据权利要求1或2所述的超声波产生装置，其特征在于，
所述第一声音路径分别形成在所述超声波产生元件的两主面上。
5.根据权利要求1或2所述的超声波产生装置，其特征在于，
将从所述超声波产生元件的一方的主面放出的超声波和从所述超声波产生元件的另一方的主面放出的超声波合成。
6.根据权利要求1或2所述的超声波产生装置，其特征在于，
所述第一振动体和所述第二振动体为压电多晶片型压电振动体。
7.一种超声波产生装置，其特征在于，
具备：
平板状的超声波产生元件：其具备在中央部形成有槽及贯通孔中的至少一方的平板状的框体、由形成有激励电极的平板状的压电体构成且与所述框体的一方的主面接合的第一双压电晶片型压电振动体、由形成有激励电极的平板状的压电体构成且与所述框体的另一方的主面接合的第二双压电晶片型压电振动体，且通过使所述第一双压电晶片型压电振动体和所述第二双压电晶片型压电振动体相互以反相位进行振动的压曲音叉振动模式来放出超声波；
箱体，其具备经由导电性构件而搭载所述超声波产生元件的基板、具有收容所述超声波产生元件且周缘与所述基板接合的开口的盖构件、和形成在所述基板及所述盖构件的至少一方的一个或多个声音放出口；
第一声音路径，其通过由所述第一双压电晶片型压电振动体和所述基板构成的间隙以及由所述第二双压电晶片型压电振动体和所述盖构件构成的间隙分别形成，且在所述第一或第二双压电晶片型压电振动体的振动的波腹的附近，对从所述第一或第二双压电晶片型压电振动体放出的超声波进行压缩，使超声波在沿着所述超声波产生元件的主面的方向上传播；以及
第二声音路径，其通过由所述超声波产生元件的外周面和所述箱体的内周面构成的间隙形成，
所述第二声音路径的一部分构成所述第一声音路径，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离之差，设定为超声波波长的0.06倍以下。
8.根据权利要求7所述的超声波产生装置，其特征在于，
由所述第一声音路径及所述第二声音路径中至少一方构成的从所述超声波产生元件的一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离与由所述第一声音路径及所述第二声音路径中的至少一方构成的从所述超声波产生元件的另一方的主面到所述声音放出口的声音路径的距离相同。
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