CN102934173A - 闪烁器面板和放射线图像传感器 - Google Patents
闪烁器面板和放射线图像传感器 Download PDFInfo
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Abstract
提供能够谋求高分辨率化和高辉度化的闪烁器面板(1)以及放射线图像传感器(10)。闪烁器面板(1)具备:放射线透过基板(3),具有放射线的入射面(3a)和出射面(3b),并使放射线透过;闪烁器(4),由在出射面(3b)上结晶生长而成的多个柱状体构成,通过放射线的入射而产生光;FOP(6),相对于闪烁器(4)配置在与出射面(3b)的相反侧,使在闪烁器(4)产生的光传播;以及两面胶带(5),设置在闪烁器(4)与FOP(6)之间,将闪烁器(4)和FOP(6)粘结固定,并且使在闪烁器(4)产生的光透过。
Description
技术领域
本发明涉及在放射线的检测所利用的闪烁器面板和放射线图像传感器。
背景技术
一直以来,作为在放射线的检测所利用的闪烁器面板,已知的有专利文献1所公开的闪烁器面板。在专利文献1中,公开了具备透过光的光纤板(fiber optics plate)、在光纤板上蒸镀形成的闪烁器、覆盖该闪烁器的第1聚对二甲苯(Poly-para-Xylylene)膜、在第1聚对二甲苯膜上形成的Al(铝)膜、以及在Al膜上形成的第2聚对二甲苯膜的闪烁器面板。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开2005-338067号公报
专利文献2:日本特公平5-39558号公报
专利文献3:国际公开WO2004/079396号小册子
专利文献4:国际公开WO99/66346号小册子
专利文献5:日本特开2002-372586号公报
发明内容
发明所要解决的问题
近年来,根据市场的要求期望闪烁器面板的性能有进一步的提高。然而,闪烁器面板的分辨率的提高与光输出的提高处于一种权衡的关系,提高分辨率与光输出两方面的性能并不容易。
因此,本发明就有鉴于上述那样的情况,其目的在于提供一种能够谋求高分辨率化和高辉度化的闪烁器面板以及放射线图像传感器。
解决问题的技术手段
闪烁器面板具备:放射线透过体,具有放射线的入射面和出射面,并使放射线透过;闪烁器,由在出射面上结晶生长而成的多个柱状体构成,通过放射线的入射而产生光;光纤板,相对于闪烁器配置在与出射面的相反侧,并使在闪烁器产生的光传播;以及粘结层,设置在闪烁器与光纤板之间,将闪烁器与光纤板粘结固定,并且使在闪烁器产生的光透过。
根据该闪烁器面板,利用放射线的入射而产生的光通过由多个柱状体构成的闪烁器的尖端而入射到光纤板并输出至外部,因而能够避免光通过在结晶生长中发生构造应变的概率高的闪烁器的基础侧。因此,根据该闪烁器面板,能够抑制闪烁器内的构造应变所引起的光的散射或衰减的发生,因而可以谋求闪烁器面板的高分辨率化和高辉度化。
在上述闪烁器面板中,闪烁器相对于粘结层进入的深度可以为与出射面正交的方向上的闪烁器厚度的10%以下。
在这样情况下,通过进入到由多个柱状体构成的闪烁器的间隙的粘结层的粘结成分的影响,从而能够适当地抑制从闪烁器的尖端侧出射的光发生散射等。这样做有助于闪烁器面板的高分辨率化和高辉度化。
在上述闪烁器面板中,放射线透过体可以是刚性基板。
根据这样的结构,通过放射线透过体的刚性,能够提高闪烁器面板的机械强度。这样做有助于闪烁器面板的长寿命化。
在上述闪烁器面板中,放射线透过体可以为膜状。
在这样的情况下,与放射线透过体成为具有一定厚度的形状的情况相比,能够抑制放射线的衰减,因而能够确保充分的放射线透过率。另外,有利于闪烁器面板的薄型化。
在上述闪烁器面板中,还可以具备覆盖放射线透过体和闪烁器的外侧的防湿性保护膜。
根据这样的结构,能够抑制水分侵入到闪烁器内,因而能够避免由于水分的侵入而造成闪烁器的性能劣化,并且能够谋求闪烁器面板的耐湿性的提高和长寿命化。
在上述闪烁器中面板中,还可以具备光对应层,其形成在放射线透过体的入射面侧,使放射线透过,并且进行闪烁器所产生的光的反射和吸收中的至少一种。
根据这样的结构,即使在闪烁器产生的光的一部分向与光纤板的相反侧行进,也能够在光被光对应层反射的情况下通过反射光入射到光纤板来增加光输出。另一方面,根据这样的结构,在光被光对应层吸收的情况下,对其他光干涉的串扰成分也被吸收,因而能够提高分辨率。
在上述闪烁器面板中,粘结层可以具有基材、以及设置在基材的两侧的粘结剂。
根据这样的结构,与使用液状粘结剂作为粘结剂的情况相比,能够抑制粘结层的粘结成分深入到闪烁器的间隙。其结果是,能够抑制由于进入到闪烁器的间隙的粘结成分的影响而发生光的散射等,因而有利于闪烁器面板的高分辨率化。
一种放射线图像传感器,其特征在于,具备上述闪烁器面板、以及对在光纤板传播的光进行摄像的摄像元件。
根据该放射线图像传感器,如前述那样,可以谋求闪烁器面板的高分辨率化和高辉度化,由此能够实现放射线图像传感器的高分辨率和高辉度化。
发明的效果
根据本发明,对于闪烁器面板和放射线图像传感器能够谋求高分辨率和高辉度化。
附图说明
图1是表示本发明所涉及的闪烁器面板和放射线图像传感器的第1实施方式的截面图。
图2(a)是表示闪烁器尖端与两面胶带的粘结状态的图。图2(b)是表示闪烁器尖端与粘结剂的粘结状态的图。
图3(a)是表示闪烁器尖端与两面胶带的粘结状态的照片。图3(b)是图3(a)中的闪烁器尖端的放大照片。
图4(a)是表示闪烁器尖端与液状粘结剂的粘结状态的照片。图4(b)是图4(a)中的闪烁器尖端的放大照片。
图5(a)是表示闪烁器尖端与比图4更厚地进行涂布的液状粘结剂的粘结状态的照片。图5(b)是图5(a)中的闪烁器尖端的放大照片。
图6是表示本发明所涉及的闪烁器面板的第2实施方式的截面图。
图7是表示本发明所涉及的闪烁器面板的第3实施方式的截面图。
图8是表示第3实施方式所涉及的闪烁器面板的光输出和分辨率与涂装层颜色的关系的图表。
图9是表示本发明所涉及的闪烁器面板的第4实施方式的截面图。
符号说明:
1,11,21,31…闪烁器面板2…摄像元件3…放射线透过基板3a…入射面3b…出射面4…闪烁器4a…尖端5…两面胶带5a…基材5b…粘结剂7…防湿性保护膜10…放射线图像传感器12…放射线透过膜12a…入射面12b…出射面22…涂装层
具体实施方式
以下,参照附图详细地说明本发明的优选的实施方式。再有,在各附图中相同或相当的部分用相同符号标注,省略重复的说明。
[第1实施方式]
如图1所示,本实施方式所涉及的闪烁器面板1是将X射线等的放射线变换成闪烁光的闪烁器面板,与可以对闪烁光摄像的摄像元件2一起构成放射线图像传感器10。作为构成放射线图像传感器10的摄像元件2,可以采用将光电二极管阵列组合于薄膜晶体管的摄像元件或CCD图像传感器等。
闪烁器面板1由放射线透过基板3、闪烁器4、两面胶带5、光纤板(以下称FOP)6、以及防湿性保护膜7构成。
放射线透过基板3例如由铝、碳、石墨、玻璃等材料构成,是具备对外力的耐变形性的刚性基板。放射线透过基板3具有放射线的入射面3a和出射面3b,入射到入射面3a的放射线透过放射线透过基板3的内部而从出射面3b出射。放射线透过基板3相当于专利权利要求的范围所记载的放射线透过体。
闪烁器4是由掺杂了Tl(铊)的CsI(碘化铯)构成的荧光体,其将入射的放射线变换成闪烁光。闪烁器4通过由蒸镀使CsI的结晶在放射线透过基板3的出射面3b上生长而形成。由蒸镀形成的闪烁器4由在放射线透过基板3的出射面3b侧有基础并在与出射面3b的相反侧具有尖端4a的多个针状结晶构成(参照图2(a))。针状结晶相当于专利权利要求的范围所记载的柱状体。
两面胶带5是粘结固定闪烁器4的尖端4a侧与FOP6的构件。两面胶带5由用合成树脂等形成的薄膜状的基材5a和设置在基材5a的两面的粘结剂5b构成(参照图2(a))。另外,作为两面胶带5是采用透过在闪烁器4所产生的光的材料。两面胶带5相当于专利权利要求的范围所记载的粘结层。
FOP6是束扎多根光纤并使之一体化而形成为板状的光纤板。FOP6的一侧的主面6a被两面胶带5固定于闪烁器4的尖端4a侧。另外,在FOP6的另一侧的主面6b上设置有摄像元件2。FOP6将在闪烁器4产生并入射到主面6a的光传播到主面6b侧即摄像元件2侧。
防湿性保护膜7是防止水分侵入到闪烁器面板1内的保护膜。防湿性保护膜7例如由聚对二甲苯构成。防湿性保护膜7覆盖放射线透过基板3、闪烁器4、两面胶带5的外侧、以及FOP6的侧面6c。
这里,就本发明人进行的与闪烁器4与FOP6之间的粘结方法相关的试验结果进行说明。本发明人进行了利用两面胶带5的闪烁器4的尖端4a的粘结状态与利用液状粘结剂8的闪烁器4的尖端4a的粘结状态的比较试验。
图2(a)是表示闪烁器4的尖端4a与两面胶带5的粘结状态的图,图2(b)是表示在替代两面胶带5而使用液状粘结剂8的情况下的闪烁器4的尖端4a与液状粘结剂的粘结状态的图。另外,图3是表示闪烁器4的尖端4a与两面胶带5的粘结状态的照片,图4是表示闪烁器4的尖端4a与液状粘结剂8的粘结状态的照片。图5是表示闪烁器4的尖端4a与比图4更厚地进行涂布的液状粘结剂8的粘结状态的照片。
在图3的照片中,作为两面胶带5,使用具有丙烯类粘结剂的日东电工株式会社制的两面粘结胶带No.5601。另一方面,在图4和图5的照片中,作为液状粘结剂8,使用三键株式会社制的环氧类液状粘结剂2023(固化剂为同公司制的2131D)。该日本三键株式会社制的液状粘结剂2023是所谓低粘度粘结剂,在温度为25℃条件下粘度为0.9191(Pa·s)。另外,在表1中表示粘结方法与闪烁器4被覆的粘结成分的厚度的试验结果。闪烁器4被覆的粘结成分的厚度是指,相当于闪烁器4相对于粘结成分即两面胶带5的粘结剂5b或者液状粘结剂8所进入的深度。
[表1]
粘结方法 | 厚度(μm) | 闪烁器被覆厚度(μm) |
两面胶带 | 10 | 3~4 |
低粘度粘结剂 | 10 | 100 |
低粘度粘结剂 | 70 | 100 |
如表1和图2~图4所示,闪烁器4相对于两面胶带5的粘结剂5b所进入的深度,与闪烁器4相对于液状粘结剂8所进入的深度相比较明显较浅。另外,即使将液状粘结剂8的厚度从10μm变更到70μm,闪烁器4所进入的深度也不会变化。
另外,发现了闪烁器4相对于粘结剂5b或液状粘结剂8所进入的深度越深分辨率越降低。这被认为是因为闪烁器4所进入的深度越深,则由于粘结成分的影响而产生散射的概率越高。因此,闪烁器4所进入的深度小也可以。即,可以在针状结晶间形成空间。具体而言,闪烁器4相对于粘结剂5b或液体状粘结剂8所进入的深度可以不达到其针状结晶的柱部分而收敛于尖端部分。另外,闪烁器4所进入的深度可以是与出射面3b正交的方向上的闪烁器4厚度的30%以下,也可以进一步是10%以下。通过以成为这样的状态的方式使闪烁器4的尖端4a侧与FOP6粘结固定,从而能够适当地抑制由于进入到闪烁器4的间隙的粘结成分的影响而发生光的散射。这样做就有助于闪烁器面板1的高分辨率化和高辉度化。
再有,通过使用粘度高的液体粘结剂作为液状粘结剂8,可以减小闪烁器4所进入的深度。但是,在该情况下,由于在使闪烁器4与FOP6贴合时在液状粘结剂8内会容易产生气泡,因此需要脱泡处理的可能性变高。
从以上的试验结果,可以认为,作为闪烁器4与FOP6之间的粘结方法,液状粘结剂8更能够采用两面胶带5。通过使用两面胶带5作为粘结方法,与使用液状粘结剂8的情况相比,能够减小闪烁器4相对于粘结剂5b或液状粘结剂8的进入深度。
接着,参照图1说明第1实施方式所涉及的闪烁器面板1的制造方法。
首先,进行在放射线透过基板3的出射面3b形成闪烁器4的闪烁器形成工序。在闪烁器形成工序中,首先是加热放射线透过基板3。其后,在使放射线透过基板3旋转的状态下通过蒸镀法使掺杂了Tl的CsI的针状结晶在出射面3b上生长,由此形成闪烁器4。
接着,进行将闪烁器4的尖端4a侧与FOP6粘结固定的粘结固定工序。在粘结固定工序中,通过由两面胶带5使闪烁器4的尖端4a侧贴合于FOP6的主面6a来进行粘结固定。
其后,进行形成防湿性保护膜7的保护膜形成工序。在保护膜形成工序中,首先将FOP6置入到CVD(Chemical Vapor Deposition)装置的蒸镀室。然后,通过使FOP6露出于使聚对二甲苯的原料升华而得到的蒸气中的CVD法,形成覆盖放射线透过基板3、闪烁器4、以及FOP6的防湿性保护膜7。由以上的工序制造出第1实施方式所涉及的闪烁器面板1。
接着,就第1实施方式所涉及的闪烁器面板1的作用效果进行说明。
根据第1实施方式所涉及的闪烁器面板1,由放射线的入射而在闪烁器4产生的闪烁光通过尖端4a入射到FOP6并输出到摄像元件2,因而能够避免光通过在结晶生长中发生构造应变的概率高的闪烁器4的基础侧。因此,根据该闪烁器面板1,由于能够抑制闪烁器4内的构造应变而引起的光散射或衰减的发生,因此可以谋求闪烁器面板1的高分辨率化和高辉度化。
另外,根据闪烁器面板1,能够利用放射线透过基板3的刚性来提高机械强度。这样做有助于闪烁器面板1的长寿命化。
此外,根据该闪烁器面板1,由于使用两面胶带5作为粘结方法,因此与使用液状粘结剂8的情况相比,粘结剂5b贴紧于基材5a而难以进入到闪烁器4的间隙,因而能够抑制粘结成分深入到由闪烁器4的被覆厚度即多个针状结晶构成的闪烁器4的间隙。其结果是,能够避免由于进入到闪烁器4的间隙的粘结成分的影响而产生光的散射等,因而有利于闪烁器面板1的高分辨率化。
另外,根据闪烁器面板1,通过覆盖放射线透过基板3以及闪烁器4的外侧的防湿性保护膜7而能够抑制水分侵入到闪烁器4内,因而能够避免因水分的侵入而造成的闪烁器4性能劣化,并且能够谋求到闪烁器面板1的耐湿性的提高和长寿命化。
另外,通过谋求该闪烁器面板1的高分辨率化和高辉度化,从而能够实现放射线图像传感器10的高分辨率化和高辉度化。
再有,本发明人就第1实施方式中的闪烁器4的尖端4a侧,进行了以形成大致与出射面3b平行的面的方式研磨的情况与不进行研磨的情况的比较试验。在表2中表示闪烁器面板的分辨率和光输出的比较结果。再有,在表2中,以闪烁器尖端无研磨为基准(100%)而相对地进行评价。
[表2]
试样 | 分辨率 | 光输出 |
闪烁器尖端无研磨 | 100% | 100% |
闪烁器尖端有研磨 | 97% | 101% |
如表2所示,对闪烁器4的尖端4a侧研磨的情况与不研磨的情况之间不能认为有着显著的差异。因此,即使是研磨闪烁器4的尖端4a侧的情况,也能够有效地适用本发明。再有,闪烁器4的针状结晶的一部分通过研磨而成为没有尖端部分的柱状结晶。在专利权利要求的范围所记载的柱状体中也当然包含该柱状结晶。
[第2实施方式]
如图6所示,第2实施方式所涉及的闪烁器面板11与第1实施方式所涉及的闪烁器面板1的不同点在于替代了放射线透过基板3而具备放射线透过膜12。
放射线透过膜12是有机膜,例如是由聚对二甲苯的二甲苯类的材料或由尿素类的材料构成的膜状的构件。放射线透过膜12的厚度为1μm~100μm。放射线透过膜12具有放射线的入射面12a和出射面12b,入射到入射面12a的放射线透过放射线透过膜12的内部而从出射面12b出射。放射线透过膜12相当于专利权利要求的范围所记载的放射线透过体。
接着,参照图6说明第2实施方式所涉及的闪烁器面板11的制造方法。
首先,进行对闪烁器形成用基板的表面涂布剥离剂的剥离剂涂布工序。该剥离剂是用于从基板剥离在下一道工序所形成的放射线透过膜12的剥离剂。其后,进行将基板放入到CVD装置的蒸镀室并通过CVD法形成放射线透过膜12的透过膜形成工序。
接着,进行在放射线透过膜12上形成闪烁器4的闪烁器形成工序。在闪烁器形成工序中,首先加热形成有放射线透过膜12的基板。其后,在使基板旋转的状态下通过蒸镀法使掺杂了Tl的CsI的针状结晶在出射面3b上生长,由此形成闪烁器4。
接着,进行将闪烁器4的尖端4a侧与FOP6粘结固定的粘结固定工序。在粘结固定工序中,通过两面胶带5而将闪烁器4的尖端4a侧贴合于FOP6的主面6a,由此进行粘结固定。其后,进行从基板剥离放射线透过膜12的剥离工序。
在剥离工序之后,进行形成防湿性保护膜7的保护膜形成工序。在保护膜形成工序中,将FOP6置入到CVD装置的蒸镀室,通过CVD法形成覆盖放射线透过膜12、闪烁器4和FOP6的防湿性保护膜7。通过以上工序制造出第2实施方式所涉及的闪烁器面板11。
根据以上说明的第2实施方式所涉及的闪烁器面板11,与使放射线透过膜12成为具有一定厚度的形状的情况相比,能够抑制放射线的衰减,因而能够确保充分的放射线透过率。另外,有利于闪烁器面板11的薄型化。
[第3实施方式]
如图7所示,第3实施方式所涉及的闪烁器面板21与第2实施方式所涉及的闪烁器面板11的不同点在于具备涂装层22。
涂装层22通过在放射线透过膜12的入射面12a涂装由包含特定颜色的颜色材料的树脂构成的涂料而形成。作为这样的涂料,可以利用在有机溶剂等溶入成为粘合剂的树脂并混合了颜料作为成为着色成分的颜色材料的普通涂料。另外,对于涂料的种类,也可以利用珐琅(enamel)涂料、喷漆涂料、氨基甲酸酯涂料等各种各样的涂料。作为涂料的涂装方法,可以使用以雾状喷涂涂料的喷雾涂装等。
通过该涂装层22,进行在闪烁器4产生的闪烁光的吸收或反射。涂装层22的光的吸收率以及光的反射率可以通过改变涂料的颜色来调整。涂装层22被形成为使X射线等的放射线透过。涂装层22起到作为专利权利要求的范围所记载的光对应层的功能。再有,除了涂装层22外,例如还可以将Al(铝)为主成分的Al层等作为光对应层来使用。
另外,涂装层22的外侧被防湿性保护层7覆盖。第3实施方式所涉及的闪烁器面板21通过在第2实施方式中的保护膜形成工序之前,设置将涂装层22形成在放射线透过膜12的入射面12a的涂装层形成工序(光对应层形成工序)而制造。
根据以上说明的第3实施方式所涉及的闪烁器面板21,即使在闪烁器4产生的光的一部分向与FOP6的相反侧行进,也能够在光被涂装层22反射的情况下通过反射光入射到FOP6来增加光输出。另一方面,在光被涂装层22吸收的情况下,对其他光干涉的串扰成分也被吸收,因而能够提高分辨率。
图8是表示第3实施方式所涉及的闪烁器面板21的光输出和分辨率与涂装层22的颜色的关系的图表。在图8中,X1表示无涂装层22的情况、X2表示对涂装层22使用丙烯类的白色涂料的情况、X3表示对涂装层22使用碳类黑色涂料的情况。另外,在表3中用数值表示与上述X1~X3对应的闪烁器面板的分辨率和光输出。再有,在图8和表3中,以在闪烁器的放射线入射侧形成Al(铝)反射膜而提高了辉度特性的闪烁器面板(以下称“A型”,具体而言,如国际公报W099/66350的图1所记载的以FOP、闪烁器、第1保护膜、铝反射膜、第2保护膜的顺序构成)为基准(100%)相对地进行评价。另外,作为比较例,表示与A型不同而不形成反射膜来提高分辨率特性的闪烁器面板(以下称“B型”,具体而言,以FOP、闪烁器、金属吸收膜、保护膜的顺序构成)的分辨率和光输出。
[表3]
试样 | 分辨率 | 光输出 |
A型 | 100% | 100% |
B型 | 219% | 49% |
X1 | 174% | 88% |
X2 | 154% | 113% |
X3 | 252% | 64% |
如图8和表3所示,通过变更涂装层22的颜色得到了具有各种类型的光输出和分辨率的闪烁器面板21。另外,使用了白色涂料的闪烁器面板21,与其它闪烁器面板相比,表现出光输出高而分辨率低的特性;使用了黑色涂料的闪烁器面板21,与其它闪烁器面板相比,表现出光输出低而分辨率高的特性。因此,根据该闪烁器面板21,改变构成涂装层22的颜色材料来变更涂装层22的光的反射率或吸收率,由此能够实现闪烁器面板21的特性的容易变更。
[第4实施方式]
如图9所示,第4实施方式所涉及的闪烁器面板31与第3实施方式所涉及的闪烁器面板21不同在于涂装层的形状。
第4实施方式所涉及的涂装层32被形成为,不仅向放射线透过膜12的入射面12a突出而且向放射线透过膜12的侧面突出,并覆盖到放射线透过膜12、闪烁器4、两面胶带5、以及FOP6的侧面6c为止。涂装层32的外周缘与FOP6的主面6b在相同平面上露出于外部。
根据以上说明的第4实施方式所涉及的闪烁器面板21,能够获得与第3实施方式所涉及的闪烁器面板21同样的效果。
本发明并不限定于上述实施方式。例如,将闪烁器4粘结固定于FOP6的粘结层并不限于两面胶带5,可以使用液状粘结剂等各种各样的粘结构件。
另外,作为闪烁器4,除了掺杂了Tl的CsI之外,还可以利用掺杂了Na(钠)的CsI、掺杂了Tl的NaI(碘化钠)、掺杂了Eu(铕)的LiI(碘化锂)、掺杂了Tl的KI(碘化钾)等。
产业上的利用可能性
本发明可以利用在闪烁器面板或放射线图像传感器。
Claims (8)
1.一种闪烁器面板,其特征在于:
具备:
放射线透过体,具有放射线的入射面和出射面,并使所述放射线透过;
闪烁器,由在所述出射面上结晶生长而成的多个柱状体构成,通过所述放射线的入射而产生光;
光纤板,相对于所述闪烁器配置在与所述出射面的相反侧,并使在所述闪烁器产生的光传播;以及
粘结层,设置在所述闪烁器与所述光纤板之间,将所述闪烁器与所述光纤板粘结固定,并且使在所述闪烁器产生的光透过。
2.如权利要求1所述的闪烁器面板,其特征在于:
所述闪烁器相对于所述粘结层所进入的深度为,与所述出射面正交的方向上的所述闪烁器厚度的30%以下。
3.如权利要求1或2所述的闪烁器面板,其特征在于:
所述放射线透过体是刚性基板。
4.如权利要求1或2所述的闪烁器面板,其特征在于:
所述放射线透过体为膜状。
5.如权利要求1~4中的任一项所述的闪烁器面板,其特征在于:
还具备覆盖所述放射线透过体和所述闪烁器的外侧的防湿性保护膜。
6.如权利要求1~5中的任一项所述的闪烁器面板,其特征在于:
还具备光对应层,其形成在所述放射线透过体的所述入射面侧,使所述放射线透过,并且进行所述闪烁器所产生的光的反射和吸收中的至少一种。
7.如权利要求1~6中的任一项所述的闪烁器面板,其特征在于:
所述粘结层具有基材、以及设置在基材的两侧的粘结剂。
8.一种放射线图像传感器,其特征在于:
具备所述权利要求1~7中的任一项所述的闪烁器面板、以及对在所述光纤板传播的光进行摄像的摄像元件。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
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